KR20030086372A - 액정표시장치용 투명기판에 포토레지스트를 코팅하는 방법 - Google Patents

액정표시장치용 투명기판에 포토레지스트를 코팅하는 방법 Download PDF

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KR20030086372A
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photoresist
spin cup
chuck
liquid crystal
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KR1020020024594A
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변성호
한상태
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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    • A43—FOOTWEAR
    • A43C—FASTENINGS OR ATTACHMENTS OF FOOTWEAR; LACES IN GENERAL
    • A43C7/00—Holding-devices for laces

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  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

상면에 안착되는 액정표시장치용 투명기판을 회전시키는 척과, 외부로부터 공급되는 포토레지스트를 상기 투명기판 상으로 떨어뜨리는 유입관을 포함하는 포토레지스트 코팅장치를 사용하여, 상기 투명기판 상에 상기 포토레지스트를 코팅하는 방법으로서, 상기 척의 상면에 상기 투명기판이 안착되는 단계와; 상기 투명기판을 1차 회전시키는 단계와; 상기 유입관을 통해 상기 1차 회전하는 투명기판 상면으로 상기 포토레지스트를 떨구는 단계와; 상기 투명기판을 2차 회전시키는 단계를 포함하는 포토레지스트 코팅방법을 제공한다.

Description

액정표시장치용 투명기판에 포토레지스트를 코팅하는 방법{photo-resist coating method on substrate for liquid crystal display device}
본 발명은 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 좀 더 자세하게는 액정표시장치에 포함되는 액정패널용 기판을 구현하기 위해서, 투명기판에 박막을 증착한 후 이의 상면으로 포토레지스트(photo-resist)를 코팅(coating)하는 포토레지스트 코팅방법에 관한 것이다.
근래에 들어 사회가 정보화 시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display)분야가 급속도로 발전해 왔다. 특히 최근에는 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 수요자 요구를 충족시킬 수 있는 박막트랜지스터형 액정표시장치(Thin film transistor-liquid crystal display device)가 개발됨에 따라, 기존의 브라운관(cathode-ray tube : CRT)을 대체하며 새로운 디스플레이 분야의 주류를 형성하고 있다.
일반적으로 액정은 분자구조가 가늘고 길며 그 배열에 있어 방향성을 갖는 광학적 이방성과, 인위적으로 이들 액정에 전기장을 인가할 경우 분자배열 방향이 변하는 분극성질을 가지고 있다. 이에 통상의 액정표시장치에 있어 사용자에게 원하는 화상을 디스플레이하는 가장 핵심적인 부분으로 액정패널은, 간단히 서로 마주보는 일면에 각각 전계 생성 전극이 설치된 두 장의 기판을 구비하여 이들 사이로 액정이 충진된 구성을 가지고, 각 전계 생성 전극에 적절한 전압을 인가해 발생되는 전기장의 변화로 액정분자의 배열 방향을 인위적으로 조절함으로서, 빛의 투과율을 변화시켜 여러 가지 화상을 표현하게 된다.
이 경우 각 기판의 마주보는 일면 상에는 전술한 전계 생성 전극을 포함하는 여러 가지 구성요소들이 집적되는데, 이들 구성요소는 보통 투명기판 상에 수 차례에 걸친 박막의 증착 및 이의 선택적인 식각을 통해 구현된다.
특히 투명기판 상에 박막을 증착한 후 이를 식각하기 전(前) 단계에 있어서, 기(旣) 증착된 박막 중 선택된 일부만을 식각할 수 있도록 포토리소그라피(photo-lithography) 공정이 진행되는데, 이는 박막이 증착된 투명기판 전(全) 면적으로 포토레지스트(photo-resist)를 고르게 코팅하는 포토레지스트 코팅공정과, 소정의 패턴(pattern)을 가지는 노광 마스크(mask)를 포토레지스트 코팅막 위로 씌운 후 빛에 노출시켜, 이의 일부를 제거해 박막을 외부로 노출시키는 노광 및 현상공정을 포함하고 있다.
이에 후속되는 식각공정에서는 이 노출된 박막을 식각한 후 잔여 포토레즈스트를 제거함으로서 박막을 소정의 형태로 패터닝(patterning)하게 되는 것이다.
참고로 전술한 포토리소그라피 공정에서 감광성 수지로 사용되는 포토레지스트는, 각각 현상되는 형태에 따라 양성과 음성으로 구분될 수 있지만 통상 감광제(sensitizer)와 용매(solvent)로 이루어져 일정정도의 점성을 가지는 액상의 중합체(polymer) 물질이 사용된다.
또한 박막이 증착된 투명기판의 전(全) 면적으로 포토레지스트를 고르게 코팅하기 위해서는 통상 스핀 코터(spin coater)라 약칭되는 포토레지스트 코팅장치가 사용되는데, 도 1은 이의 일반적인 구조를 설명하기 위한 개략단면도이고, 도 2는 도 1의 II-II 선을 따라 절단한 횡단면을 도시한 도면이다.
일반적인 포토레지스트 코팅장치는 상면이 개구되고 저면이 밀폐된 보울(bowl) 형상의 아우터 컵(outer cup : 20) 및 이와 유사한 보울 형상을 가지고 아우터 컵(20) 내부에 위치하는 스핀컵(spin cup : 30)과, 이들 각각의 상면을 밀폐하는 뚜껑 역할의 미스트 커버(mist cover : 40) 및 스핀컵 커버(spin cup cover : 50)를 포함하는 바, 이를 조금 달리 설명하면, 상면이 미스트 커버(40)로 밀폐되는 아우터 컵(20) 내부로, 상면이 스핀컵 커버(50)로 밀폐되는 스핀컵(30)이 위치하고, 이 스핀컵(30) 내에는 액정표시장치용 투명기판(5)이 실장되는 것으로, 결국 미스트 커버(40)로 밀폐되는 아우터 컵(20) 내측으로 스핀컵 커버(50)로 밀폐되는 스핀컵(30)이 수용되고, 이 스핀컵(30) 내부에 투명기판(5)이 수용된다 할 수 있다.
이때 스핀컵(30) 내에는 투명기판(5)의 지지를 위한 척(chuck : 60)이 설치되는데, 이는 특히 후술하는 포토레지스트의 고른 코팅을 위해 회전이 가능하도록 아우터 컵(20)의 저면과(20a) 스핀컵 커버의 저면(30a)을 관통하여 외부의 모터(M)와 연결된다. 또한 전술한 미스트 커버(40)와 스핀컵 커버(50)는 일체형으로 승강 가능하게 구성되는 것이 일반적이며, 특히 스핀컵 커버(50)와 스핀컵(20) 사이로는 외부로부터 포토레지스트가 공급되는 유입관(70) 및 이의 말단에 결합된 노즐(75)이 이동 가능하게 설치된다.
이상에서 설명한 포토레지스트 코팅장치를 통해 액정표시장치용 투명기판(5) 상에 포토레지스트를 코팅하는 일반적인 방법을 도 4의 순서도 및 전술한 도 1 과도 2를 참조하여 설명한다.
최초 미스트 커버(40)과 스핀컵 커버(50)가 상승하여 각각 아우터 컵(20)과 스핀컵(30)을 개방하면(S1), 투명기판(5)이 척(60) 상면에 로딩(loading)된 후(S2), 유입관(70)이 이동하여 노즐(75)을 투명기판(5) 중앙 상단에 위치 맞춤한다.(S3) 이때 투명기판(5) 및 척(60)은 정지상태를 유지하고 있으며, 외부에서 유입관(70)으로 공급된 포토레지스트는 노즐(75)을 통해 투명기판(5) 중앙에 떨구어진 후(S4), 이 유입관(70)이 다시 외부로 빠져나가게 되는데(S5), 이 동안 도면부호 80으로 표시한 투명기판(5) 중앙에 떨어진 포토레지스트는 투명기판 상면을 따라 일정정도 확산된다.
이어 미스트 커버(40)와 스핀컵 커버(50)가 다시 하강하여 아우터 커버(20)와 스핀컵(30)을 각각 밀폐하면(S6) 모터(M)가 구동함에 따라 척(60) 및 이에 고정된 투명기판(5)을 회전시키게 되는데, 이는 통상 분당 500 내지 900 의 회전속도(RPM)를 가지고 있으므로 원심력에 의해 중앙에 떨어진 포토레지스트(80)는 투명기판 전(全) 면적으로 코팅되고, 이와 동시에 불필요한 잔류 포토레지스트가 제거된다.(S7)
이때 통상 500 내지 900 알피엠(RPM)으로 고속 회전하는 투명기판(5) 중앙에 떨어진 포토레지스트(80)가 튀어 스핀컵(30) 내부를 오염시키는 것을 방지하기 위해서, 스핀컵(30) 내측으로는 투명기판(5)의 가장자리를 둘러싸는 측벽 형상의 비산방지링(90)이 설치되고, 아우터 컵(20) 저면(20a)과 비산방지링(90)의 하단에는 각각 잔류 포토레지스트를 외부로 배출할 수 있는 제 1 및 제 2 배출구(22, 92)가설치됨이 일반적이다.
또한 미설명 부호 95는 고속으로 회전하는 척(60) 및 투명기판(5)에 의해 내부 대기가 불균일하게 요동치는 것을 방지하기 위해 스핀컵 커버의 하단에 설치되는 정류판으로서, 일반적인 액정표시장치의 포토레지스트 코팅장치에 흔히 사용되는 수법이다.
그러나 전술한 구성과 구동방법을 가지는 통상의 포토레지스트 코팅장치는 사용상 몇 가지 문제점을 가지고 있는데, 이 중 하나가 투명기판(5) 상에 떨구어진 포토레지스트가 충분히 확산되지 못함에 따른 포토레지스트의 불균일 코팅현상이다.
즉, 도 3은 일반적인 포토레지스트 코팅장치에 의한 코팅공정에 있어서, 척(도 1의 60)이 회전하기 직전 투명기판(5) 중앙에 떨어진 포토레지스트(80)를 도시한 것으로, 최초 투명기판(5) 중앙에 떨어진 후 일정시간의 경과에 따라 투명기판(5) 상면을 따라 원형으로 퍼져나가지만 이내 포토레지스트가 가지는 점성에 의해 멈추게 된다. 이에 투명기판(5) 중앙에 떨어진 포토레지스트(80)의 퍼짐 현상은 가급적 넓게 이루어지는 것이 보다 균일한 코팅을 가능하게 하지만, 포토레지스트가 가지는 점성에 의해 이 퍼짐 현상은 한계를 가지게 되므로, 통상 다량의 포토레지스트를 사용하여 이를 만족시키고 있는 실정이다.
그러나 이는 후속되는 공정에 있어서, 투명기판(5)이 고속으로 회전함에 따라 최소량의 포토레지스트 외에는 모두 제거되는 점을 감안하면 결국 불필요하게 다량의 포토레지스트가 사용되는 단점을 가지고, 이에 따른 폐액처리 비용의 증가는 물론 환경오염의 원인이 되고 있다.
또한 지나치게 많은 양의 포토레지스트가 사용될 경우, 비산방지링(90)이나 스핀컵(30)으로 튀어나간 포토레지스트가 다시 투명기판(5) 상으로 떨어지는 등 투명기판이 오염될 소지가 더욱 커지며, 이는 실제 공정에서도 얼룩으로 나타나는 현상이 빈번하게 관찰되는 바, 이어지는 노광 및 현상공정의 신뢰성을 크게 저하시키는 단점을 가지고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 최소량의 포토레지스트를 사용하면서도 특히 투명기판의 전 면적에 걸쳐 균일하게 코팅할 수 있는, 보다 개선된 포토레지스트 코팅방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 일반적인 포토레지스트 코팅장치의 개략단면도
도 2는 도 1의 II-II 선을 따라 절단한 단면을 도시한 횡단면도
도 3은 일반적인 포토레지스트 코팅방법을 통해 투명기판 상에 떨구어진 포토레지스트를 도시한 평면도
도 4는 액정표시장치용 투명기판에 포토레지스트를 코팅하는 일반적인 방법을 순서대로 도시한 순서도
도 5는 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅방법이 적용 가능한 포토레지스트 코팅장치의 일례를 도시한 개략단면도
도 6은 도 5의 VI-VI 선을 따라 절단한 단면을 도시한 횡단면도
도 7은 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅방법을 사용하여 투명기판 상에 떨구어진 포토레지스트를 도시한 평면도
도 8은 액정표시장치용 투명기판에 포토레지스트를 코팅하는 본 발명에 따른 방법을 순서대로 도시한 순서도
본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 상면에 안착되는 액정표시장치용 투명기판을 회전시키는 척과, 외부로부터 공급되는 포토레지스트를 상기 투명기판 상으로 떨어뜨리는 유입관을 포함하는 포토레지스트 코팅장치를 사용하여, 상기 투명기판 상에 상기 포토레지스트를 코팅하는 방법으로서, 상기 척의 상면에 상기 투명기판이 안착되는 단계와; 상기 투명기판을 1차 회전시키는 단계와; 상기 유입관을 통해 상기 1차 회전하는 투명기판 상면으로 상기 포토레지스트를 떨구는 단계와; 상기 투명기판을 2차 회전시키는 단계를 포함하는 포토레지스트 코팅방법을 제공한다. 이때 특히 상기 투명기판의 1차 회전속도는 600 알피엠(RPM) 정도이고, 상기 2차 회전속도는 500 이상 900 알피엠 이하인 것을 특징으로 한다. 또한 상기 포토레지스트 코팅장치는, 상기 척이 실장되는 보울(bowl) 형상의 스핀컵과, 상기 스핀컵을 개폐하도록 승강 가능한 스핀컵 커버를 더욱 포함하고, 상기 척의 상면에 상기 투명기판이 안착되는 단계 이전, 상기 스핀컵 커버는 상승하여 상기 스핀컵을 개방하는 단계와; 상기 유입관을 통해 상기 1차 회전하는 투명기판 상면으로 상기 포토레지스트를 떨구는 단계 이후, 상기 스핀컵 커버가 하강하여 상기 스핀컵을 밀폐하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다. 이때 상기 유입관은, 상기 스핀컵 커버의 상승 시 상기 스핀컵 커버와 상기 스핀컵 사이로 이동 가능하거나 또는 상기 스핀컵 커버를 관통하여 설치되는 것을 특징으로 하는 바, 이하 본 발명에 대한 올바른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 포토레지스트의 코팅방법은 특히 투명기판에 떨구어진 포토레지스트의 퍼짐을 가급적 확대하기 위한 것으로, 이때 사용되는 포토레지스트 코팅장치는 전술한 일반적인 그것이 사용될 수 있다.
즉, 본 발명은 일반적인 포토레지스트 코팅장치를 사용하면서도 그 구동방법에 변형을 가함으로서, 보다 균일한 포토레지스트 코팅을 가능하게 하는 것으로, 도 5는 본 발명이 적용 가능한 포토레지스트 코팅장치의 일례를 도시한 도면이며, 도 6은 도 5의 VI-VI 선을 따라 절단한 횡단면을 도시한 도면이다.
이는 상면이 개구되고 저면이 밀폐된 보울(bowl) 형상의 아우터 컵(120) 및 이와 유사한 보울 형상을 가지고 아우터 컵(120) 내부로 위치한 스핀컵(130)과, 이들 각각의 상면을 밀폐하는 뚜껑 역할의 미스트 커버(140) 및 스핀컵 커버(150)를 포함하는 바, 이때 스핀컵(130) 내에는 액정표시장치용 투명기판(5)이 실장됨으로서 결국 미스트 커버(40)로 밀폐되는 아우터 컵(120) 내측으로 스핀컵 커버(150)로 밀폐되는 스핀컵(130)이 수용되고, 이 스핀컵(130) 내부에 투명기판(5)이 실장된다.
이때 스핀컵(130) 내에는 투명기판(5)의 지지 및 고정을 위한 척(160)이 설치되는데, 이는 후술하는 포토레지스트의 고른 코팅을 위해 아우터 컵(120)과 스핀컵(120)의 저면(120a, 130a)을 각각 관통하여 외부의 모터(M)와 연결되어 회전이 가능하게 구성되며, 전술한 미스트 커버(140)와 스핀컵 커버(150)는 일체형으로 승강 가능되는 것이 유리하다. 또한 스핀컵 커버(150)의 상승 시(時) 이와 스핀컵(120) 사이로 이동 가능하게 설치되는 유입관(170)이 설치되어, 외부로부터 공급되는 포토레지스트를 투명기판(5)으로 떨구도록 하는바, 이때 유입관(170)의 말단에는 노즐(175)이 결합될 수 있음은 일반적인 경우와 동양(同樣)이라 할 수 있다.
그리고 후술하는 포토레지스트의 코팅방법에 있어서, 고속으로 회전하는 척(160) 및 투명기판(5)으로부터 포토레지스트가 튀어 장비를 오염시키는 것을 방지하기 위해서, 스핀컵(130) 내측으로 투명기판(5)의 가장자리를 둘러싸는 측벽 형상의 비산방지링(190)이 설치되고, 아우터 컵(120)의 저면(120a)과 비산방지링(190)의 하단에는 각각 잔류 포토레지스트를 외부로 배출할 수 있는 제 1 및 제 2 배출구(122, 192)가 설치될 수 있음은 전술한 바 있다.
또한 미설명 부호 195는 척(160) 및 투명기판(5)에 의해 내부 대기가 불균일하게 요동치는 것을 방지하기 위해 스핀컵 커버(150) 하단에 설치되는 정류판을 표시한 것으로, 이는 일반적인 액정표시장치의 포토레지스트 코팅장치에서도 흔히 사용되는 방법이다.
도 8은 이상에서 설명한 포토레지스트 코팅장치를 사용하여 투명기판에 포토레지스트를 코팅하는 본 발명을 순서대로 도시한 순서도로서, 이와 전술한 도 5 및 도 6을 참조하여 설명한다.
먼저 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅방법은 최초 미스트 커버(140)과 스핀컵 커버(150)가 상승하여 각각 아우터 컵(120)과 스핀컵(130)을 개방하게 되고(S'1), 이어 투명기판(5)이 척(160) 상면에 안착되는 로딩공정이 진행된다.(S'2)
이후 본 발명은 특히 척(160) 및 투명기판(5)이 1차 회전하게 되고(S'3), 이와 동시에 유입관(170)이 이동하여 노즐(175)을 투명기판(5) 중앙 상단에 위치 맞춤하는 것이 일반적인 경우와 비교하여 특이하다 할 수 있는데(S'4), 즉, 본 발명은 투명기판(5)으로 포토레지스트가 떨구어지기 전에 이미 이를 1차 회전시킴으로서, 회전하는 투명기판(5)으로 포토레지스트를 떨구는 것을 특징으로 한다.
이에 척(160)은 그 상면에 투명기판(5)이 안착된 직후부터 1차 회전하게 되며, 이 동안 유입관(170) 및 그 말단에 결합된 노즐(175)이 스핀컵(130) 내부로 이동하게 되는 것이다.(S'3, S'4)
이후 외부로부터 유입관(170)으로 공급된 포토레지스트는 노즐(175)을 통해1차 회전하는 투명기판(5) 중앙에 떨어지게 되는데, 바람직하게는 투명기판(5)의 단위시간당 회전수는 가급적 클수록 유리하지만, 지나치게 빠를 경우 포토레지스트가 투명기판(5)에 밀착되지 못하고 튀어나갈 염려가 있으므로 통상 분당 600 회 정도의 회전속도를 가지는 것이 유리하다.
이어 유입관(170) 및 그 말단의 노즐(175)이 외부로 빠져나간 후(S'6) 미스트 커버(140)와 스핀컵 커버(150)가 다시 하강함으로서 아우터 커버(120)와 스핀컵(130)이 각각 밀폐되는데(S'7), 이후 분당 500 내지 900 의 회전수를 가지고 척(160) 및 이에 고정된 투명기판(5)이 2차 회전함에 따라 원심력으로 포토레지스트를 전(全) 면적으로 코팅하고, 이와 동시에 최소량의 포토레지스트 외에 모두 제거되도록 한다.(S'8)
즉, 도 7은 이상에서 설명한 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅공정에 있어서, 미스트 커버(140)와 스핀컵 커버(150)가 닫히기 직전 투명기판(5) 중앙에 떨어진 포토레지스트를 도시한 것으로, 600 알피엠 정도로 1차 회전하는 투명기판(5) 중앙에 떨어진 포토레지스트(180)는, 일반적인 경우보다 적은 양을 사용해도 월등히 넓은 면적으로 퍼져나감을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.
따라서 이어지는 500내지 900 알피엠 정도의 2차 회전에 의해, 포토레지스트는 보다 균일하게 투명기판(5) 전 면적에 걸쳐 고르게 코팅될 수 있게 된다.
이때 특히 비록 별도의 도면을 제시하지는 않았지만, 1차 회전하는 투명기판(5) 상으로 포토레지스트가 떨구어진 후 유입관(170) 및 노즐(175)의 이동과, 미스트 커버(140) 및 스핀컵 커버(150)가 하강함에 따라 투명기판(5)이 오염될소지가 있으므로, 이를 방지하기 위해 유입관(170)과 노즐(175)을 각각 스핀컵 커버(140) 및 미스트 커버(150)를 관통하여 투명기판(5) 상단에 위치맞춤 되도록 삽입할 수 있고, 이 경우 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅방법은 투명기판(5)의 척(160) 상으로의 로딩 후, 이들 미스트 커버(140) 및 스핀컵 커버(150)를 닫아 투명기판(5)이 존재하는 영역을 밀폐시키고, 이어 투명기판(5)을 1차 회전시키면서 포토레지스트를 떨어뜨릴 수 있을 것이다.
즉, 본 발명의 특징은 투명기판(5)이 회전하는 상태에서 포토레지스트를 떨구는 것을 핵심으로 하는 바, 이를 위한 장치의 구성은 다소 변형이 가능될 수 있는 것이다.
본 발명은 액정표시장치용 투명기판 상에 포토레지스트를 고르게 코팅할 수 있는 방법을 제공함으로서, 보다 균일한 포토레지스트 코팅은 물론 후속되는 노광 및 현상공정의 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있는 장점을 가지고 있다.
특히 본 발명은 일반적인 포토레지스트 코팅장치에도 적용이 가능한 것을 특징으로 하는 바, 비록 비교적 간단한 방법으로 구현될 수 있지만 그 효과는 매우 크다. 즉, 액상의 포토레지스트가 투명기판으로 떨어지기 전 투명기판을 이미 회전시킴으로서 일반적인 경우와 비교하면 월등히 적은 양의 포토레지스트를 사용함에도 보다 균일한 코팅을 가능하게 하며, 이에 불필요한 다량의 포토레지스트를 절약할 수 있어 폐액 처리에 부담을 줄이는 잇점을 가지고 있다.

Claims (4)

  1. 상면에 안착되는 액정표시장치용 투명기판을 회전시키는 척과, 외부로부터 공급되는 포토레지스트를 상기 투명기판 상으로 떨어뜨리는 유입관을 포함하는 포토레지스트 코팅장치를 사용하여, 상기 투명기판 상에 상기 포토레지스트를 코팅하는 방법으로서,
    상기 척의 상면에 상기 투명기판이 안착되는 단계와;
    상기 투명기판을 1차 회전시키는 단계와;
    상기 유입관을 통해 상기 1차 회전하는 투명기판 상면으로 상기 포토레지스트를 떨구는 단계와;
    상기 투명기판을 2차 회전시키는 단계
    를 포함하는 포토레지스트 코팅방법
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 투명기판의 1차 회전속도는 600 알피엠(RPM) 정도이고, 상기 2차 회전속도는 500 이상 900 알피엠 이하인 포토레지스트 코팅방법
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 포토레지스트 코팅장치는, 상기 척이 실장되는 보울(bowl) 형상의 스핀컵과, 상기 스핀컵을 개폐하도록 승강 가능한 스핀컵 커버를 더욱 포함하고,
    상기 척의 상면에 상기 투명기판이 안착되는 단계 이전, 상기 스핀컵 커버는 상승하여 상기 스핀컵을 개방하는 단계와;
    상기 유입관을 통해 상기 1차 회전하는 투명기판 상면으로 상기 포토레지스트를 떨구는 단계 이후, 상기 스핀컵 커버가 하강하여 상기 스핀컵을 밀폐하는 단계
    를 더욱 포함하는 포토레지스트 코팅방법
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 유입관은, 상기 스핀컵 커버의 상승 시 상기 스핀컵 커버와 상기 스핀컵 사이로 이동 가능하거나 또는 상기 스핀컵 커버를 관통하여 설치되는 포토레지스트 코팅방법
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20160094353A (ko) 2016-07-20 2016-08-09 한상관 인공어초 겸용 저층수 배출용 친환경 어도와 결합 되어 구성되는 저층수 배출용 친환경 삼각형수문을 이용하여 오염된 하천수를 정화시켜주도록 작용하면서 파괴되어가는 하천생태계를 자연적으로 복원시켜주도록 작용하는 자연친화적인 친환경 공법
KR20160098120A (ko) 2016-07-30 2016-08-18 한상관 물고기들과 하천에 서식하는 생물들의 상,하류이동을 이동이 용이하도록 구성되는 인공어초 겸용 저층수 배출용 친환경 어도와 결합 되어 구성되는 저층수 배출용 친환경 가동보를 이용하여 오염된 하천수를 정화시켜주도록 작용하면서 파괴되어가는 하천생태계를 자연적으로 복원시켜주도록 작용하는 자연친화적인 친환경 공법
KR20160098123A (ko) 2016-07-31 2016-08-18 한상관 인공어초 겸용 저층수 배출용 친환경 어도와 결합 되어 구성되는 저층수 배출용 친환경 가동보를 이용하여 오염된 하천수를 정화시켜주도록 작용하면서 파괴되어가는 하천생태계를 자연적으로 복원시켜주도록 작용하는 자연친화적인 친환경 공법
KR20160102936A (ko) 2016-08-13 2016-08-31 한상관 저층수 배출용 친환경 가동보를 이용하여 오염된 하천수를 정화시켜주도록 작용하면서 파괴되어가는 하천생태계를 자연적으로 복원시켜주도록 작용하면서 전기를 생산하도록 구성되는 자연친화적인 친환경 전력생산공법
KR20160104592A (ko) 2016-08-16 2016-09-05 한상관 오염된 하천수를 정화시켜주도록 작용하면서 하천생태계를 자연적으로 복원시켜주도록 작용함과 동시에 전기를 생산하는 자연친화적인 전력생산 친환경 공법
KR20170004918A (ko) 2016-12-06 2017-01-11 한상관 발전용 권양기의 내부에 다중으로 구성 발전수차를 이용하여 지속적으로 전기를 생산함과 동시에 오염된 하천수를 정화시키는 자연친화적인 전력생산 친환경 공법
KR20170005777A (ko) 2016-11-21 2017-01-16 한상관 2중으로 구성되는 권양기와 2중 권양기의 후면부에 구성되는 발전용 권양기의 내부에 다중으로 구성 발전수차를 이용하여 지속적으로 전기를 생산함과 동시에 오염된 하천수를 정화시키는 자연친화적인 전력생산 친환경 공법

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