KR20070072139A - 매뉴얼 도어가 설치된 하우징 - Google Patents

Abstract

매뉴얼 도어가 설치된 하우징이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 매뉴얼 도어가 설치된 하우징은 포토리소그래피 공정 수행을 위한 장비를 수용하는 하우징(housing), 장비를 조작하기 위해 하우징 외부에 개폐가능하도록 설치된 도어 및 도어의 소정 영역에 개폐가능하도록 설치된 매뉴얼 도어를 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 작업자는 스핀 코터 모듈 내의 밸브를 조작하거나 및 스핀 코터 모듈의 유지 보수를 위해 하우징에 설치된 매뉴얼 도어를 연 상태에서 작업을 할 수 있으며, 이 때, 매뉴얼 도어를 열더라도 하우징 내부에 수용된 스핀 코터 모듈의 동작이 중단되지 않으므로, 제조공정상 불필요하게 시간이 소요되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.

하우징, 스핀 코터, 밸브, 도어, 포토리소그래피

Description

매뉴얼 도어가 설치된 하우징{Housing with manual door}

도 1은 전형적인 포토 레지스트 도포 공정을 수행하기 위한 각 모듈을 개략적으로 도시한 도면,

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 매뉴얼 도어가 설치된 하우징을 개략적으로 도시한 도면, 그리고

도 3은 도 2의 하우징 내에 수용되는 장치의 일예로서 포토레지스트 코팅장치를 도시한 도면이다.

( 도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명 )

200: 하우징 210: 도어

220: 매뉴얼(manual) 도어

본 발명은 매뉴얼 도어가 설치된 하우징에 관한 것으로, 보다 상세하게는 장비의 유지 보수를 수행하기 하우징에 설치된 도어를 열더라도 하우징 내에 수용된 장비의 구동이 중단되지 않도록 하기 위한 매뉴얼 도어가 설치된 하우징에 관한 것이다.

일반적으로 평판형 표시장치(Flat Display Panel)의 하나인 액정표시장치는 음극선관에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면 크기의 음극선관에 비해 작을 뿐 아니라 발열량도 작기 때문에 플라즈마 표시 장치나 전계방출 표시장치와 함께 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.

이러한 액정표시장치는 특수하게 표면처리된 2개의 얇은 유리 기판 사이에 액정을 주입하고 상하 유리 기판 위의 전극의 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 영상을 표시하는 작동 원리를 갖는다.

이러한 액정표시장치의 제조공정에 대해 간단히 살펴보면, 먼저 TFT 기판이라 불리는 하부 유리 기판상에 액티브 소자를 주사하는 주사선과 각 화소에 영상신호를 인입하는 신호선을 격자 형태로 형성하여 복수의 화소를 정의하고, 각 화소에 화소전극과 상기 각 화소전극에 인입될 영상신호를 스위칭하는 박막 트랜지스터를 형성한다.

그리고, 컬러 필터 기판이라 불리는 상부 유리 기판 상에 R,G,B의 각 컬러 레지스트를 순차적으로 도포하여 컬러 필터층을 형성하고, 컬러 필터층 상에 화소전극에 대향하는 공통전극을 형성한다. 이 때, 컬러 레지스트 사이에는 빛샘 차단을 위한 블랙 매트릭스가 형성된다.

이와 같은 박막 트랜지스터 기판이나 컬러 필터 기판의 제조공정은 실리콘 반도체 제조공정과 유사하다. 즉, 박막증착(Thin Film Deposition), 사진(Photolithography), 식각(etching) 등의 공정으로 이루어져 있으며, 개개의 공정 전후에 결과 및 이상 여부를 확인하기 위한 검사와 청정도를 유지하기 위한 세정을 포함한다.

이 중 포토리소그래피 공정은 마스크에 그려진 패턴을 박막이 증착된 유리 기판 상에 전사시켜 형성하는 공정으로 기판에 감광물질인 포토 레지스트를 도포하는 포토 레지스트 도포(Photo Ressist: PR Coating) 공정과, 포토 레지스트 상부에 포토 마스크를 배치한 후 포토 마스크에 형성된 패턴(pattern)대로 노광시키는 정렬 및 노광(Align & Exposure) 공정, 그리고 노광된 포토 레지스트를 현상하는 현상(Develope) 공정으로 이루어진다. 이러한 포토리소그래피 공정은 자동화 설비에서 인-라인(in-line) 방식으로 순차적으로 진행된다.

도 1은 전형적인 포토 레지스트 도포 공정을 수행하기 위한 각 모듈을 개략적으로 도시한 도면이다. 도 1에 도시된 스핀 코터 모듈은 회전에 의한 원심력을 이용하여 기판상에 적하된 포토 레지스트를 균일하게 도포시키는 장치로서, 이러한 스핀 코터 모듈은 투명한 셀룰러 재질로 이루어진 육면체 형태의 하우징(1) 내에 수용된다.

이 때, 스핀 코터 모듈의 유지 보수를 위해서 작업자는 하우징(1) 외부에 설치된 도어(door, 2)를 여는 것이 필수적인데, 이 때 도어(2)를 열게 되면 구동중인 스핀 코터 모듈은 동작 중단 상태가 되어 작업중인 유리 기판이 손상될 우려가 있다.

예를 들어, 스핀 코터 모듈에 사용되는 감광액의 교체를 위해서는 노즐 불량을 예방하기 위해 기존에 사용되고 있는 노즐(nozzle)에 신너(thinner)를 채워야 하는데, 이와 같이 노즐에 신너를 채우기 위해서는 작업자는 하우징(1)에 설치된 도어(2)를 연 후 작업을 해야한다. 그런데, 작업자가 하우징(1)의 도어(2)를 열게 되면, 스핀 코터 모듈에 인터락(inetrlock)이 걸려 스핀 코팅 공정이 완료된 유리 기판이 다른 모듈로 진입할 수 없게 되고, 이에 따라 제품의 생산준비시간이 증가되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 장비(예를 들면, 스핀 코터 모듈)의 인터락에 영향을 주지 않으면서 장비의 유지 보수를 수행할 수 있도록 한 매뉴얼 도어가 설치된 하우징을 제공하고자 하는 데 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 매뉴얼 도어가 설치된 하우징은 포토리소그래피 공정 수행을 위한 장비를 수용하는 하우징(housing); 상기 장비를 조작하기 위해 하우징 외부에 개폐가능하도록 설치된 도어; 및 상기 도어의 소정 영역에 개폐가능하도록 설치된 매뉴얼 도어;를 포함하는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 장비는, 스핀 코터인 것이 바람직하다.

여기서, 상기 매뉴얼 도어의 재질은, 투명한 셀룰러 물질인 것이 바람직하다.

이 때, 상기 매뉴얼 도어가 열린 경우에도, 상기 장비의 구동이 중단되지 않는 것이 바람직하다.

이하에서는 첨부된 예시도면을 참조하여 본 발명에 대해 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 매뉴얼 도어가 설치된 하우징의 구조를 도시한 도면이다. 도 2를 참조하면, 하우징(200) 내에는 다양한 구동장치들이 수용될 수 있으나, 여기서는 포토 레지스트 코팅장치가 하우징 내에 수용되는 것을 일례로 하여 설명한다.

도 3은 도 2의 하우징 내에 수용되는 장치의 일예로서 포토 레지스트 코팅장치를 도시한 도면이다. 도 3을 참조하면, 포토 레지스트 코팅장치(100)는 상면이 개구되고 저면이 밀폐된 보울(bowl) 형상의 아우터 컵(outer cup: 20) 및 이와 유사한 보울 형상을 가지고 아우터 컵(20) 내에 고정되는 스핀컵(spin cup: 30)과 이들 각각의 상면을 밀폐하는 뚜껑으로서 미스트 커버(mist cover: 40) 및 스핀컵 커버(spin cup cover: 50)를 포함한다. 이 때, 스핀컵(30) 내부에는 유리 기판이 실장됨에 따라 결국 미스트 커버(40)로 밀폐되는 아우터 컵(20) 내로, 스핀컵 커버(50)로 밀폐되는 스핀컵(30)이 수용되고, 이 스핀컵(30) 내부에 유리 기판(5)이 실장된다.

또한, 스핀컵(30) 내에는 유리 기판(5)의 지지 및 고정을 위한 척(chuck: 60)이 설치되는데, 이는 포토 레지스트의 고른 코팅을 위해 아우터 컵(20)과 스핀컵(30)의 저면(20a, 30a)을 각각 관통하여 외부의 모터(M)와 연결됨으로써 회전이 가능하고, 스핀컵 커버(50)와 미스트 커버(40)는 일체형으로 승강 가능하게 구성되는 것이 일반적이다.

이에 외부로부터 공급되는 포토 레지스트를 유도하는 유입관(70) 및 이의 말단에 부설되어 유리 기판(5)으로 포토 레지스트를 떨구는 노즐(75) 또한 이동가능한 것으로, 최초 미스트 커버(40)와 스핀컵 커버(50)가 상승하여 각각 아우터 컵(20)과 스핀컵(30)을 개방하면 유리 기판(5)이 척(60)의 상면에 로딩(loading)되고, 이어 말단에 노즐(75)이 결합된 유입관(70)이 이동하여 노즐(75)을 유리 기판(5)의 중앙에 위치 맞춤한다.

이 때, 유리 기판(5) 및 척(60)은 정지상태를 유지하고 있으며, 외부에서 유입관(70)으로 공급된 포토 레지스트는 노즐(75)을 통해 유리 기판(5) 중앙에 떨구어진 후 다시 외부로 빠져나가게 된다. 이 동안 도면부호 80으로 표시된 유리 기판(5) 중앙에 떨어진 포토 레지스트는 일정 정도의 점도를 가지는 액상물질이므로 원형으로 확산된다.

이 후 유입관(70) 및 노즐(75)이 완전히 빠져나가면 미스트 커버(40)와 스핀컵 커버(50)가 다시 하강함으로써 아우터 커버(20)와 스핀컵(30)이 각각 밀폐되고, 후속하여 모터(M)가 구동함에 따라 통상 분당 500 내지 900의 회전수를 가지고 척(60) 및 이에 고정된 유리 기판(5)을 회전시켜, 이의 중앙에 떨어진 포토 레지스트(80)를 원심력으로 전(全)면적 코팅하게 되는 것이다.

이 때 통상 500 내지 900 알피엠(RPM:Revolution Per Minute)으로 회전하는 유리 기판(5) 중앙에 떨어진 포토 레지스트(80)가 튀어 스핀컵(30) 내부를 오염시키는 것을 방지하기 위해, 스핀컵(30)의 내측으로 유리 기판(5)의 가장자리를 둘러싸는 측벽 형상의 비산방지링(90)이 설치되고, 아우터 컵(20)의 저면(20a)과 비산방지링(90)의 하단에는 각각 잔류 포토 레지스트를 외부로 방출할 수 있는 제1 및 제2 배출구(22, 92)가 설치됨이 일반적이다. 또한, 미설명 부호 95는 고속으로 회전하는 척(60) 및 유리 기판(5)에 의해 내부 대기가 불균일하게 요동치는 것을 방지하기 위해 스핀컵 커버의 하단에 설치되는 정류판을 표시한 것으로, 일반적인 액정표시장치의 포토 레지스트 코팅장치에 흔히 사용되는 수법이다.

한편, 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 매뉴얼 도어가 설치된 하우징의 구조에 대해 살펴보면 다음과 같다.

하우징(200)의 중앙에는 하우징(200)의 내부에 수용된 포토 레지스트 코팅장치(100) 각 부분을 조작 또는 수리하기 위한 도어(210)가 설치된다. 구체적으로 작업자는 도어(210)가 열려진 상태에서만 포토 레지스트 코팅장치(100)의 노즐(75)에 신너를 채울 수 있게 된다. 그러나, 도어(210)가 열려지게 되면, 전술한 바와 같이 포토 레지스트 코팅장치에 인터락(inetrlock)이 걸려 스핀 코팅 공정이 완료된 유리 기판이 다른 모듈로 진입할 수 없게 되고, 이에 따라 제품의 생산준비시간이 길어지게 된다.

따라서, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 상기 도어(210)의 소정 영역에 포토레지스트 코팅장치의 조작을 위한 매뉴얼(manual) 도어(220)가 설치된다. 도어 (210) 및 매뉴얼 도어(220)의 재질은 투명한 셀룰러 물질이므로, 작업자는 하우징(200) 외부에서 하우징(200) 내에 수용된 포토 레지스트 코팅장치의 각 부분을 살펴볼 수 있게 된다. 이러한 매뉴얼 도어(220)는 작업자의 수조작에 의해서만 개폐되므로, 매뉴얼 도어(220)의 개폐 여부와 무관하게 스핀 코팅 공정이 진행될 수 있을 것이다.

이 때, 매뉴얼 도어는 작업자 이외의 자가 함부로 열지 못하도록 인터락 장치가 설치되는 것이 바람직하다. 또한, 특정인만이 매뉴얼 도어를 열 수 있는 권한을 갖도록 하는 것이 바람직하다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하고 있으나, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 작업자는 포토 레지스트 코팅 장치 내의 밸브를 조작하거나 및 포토 레지스트 코팅장치의 유지 보수를 위해 하우징에 설치된 매뉴얼 도어를 연 상태에서 작업을 할 수 있으며, 이 때, 매뉴얼 도어를 열더라도 하우징 내부에 수용된 스핀 코터 모듈의 동작이 중단되지 않으므로, 제조공정상 불필요하게 시간이 소요되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.

Claims (4)

1. 포토리소그래피 공정 수행을 위한 장비를 수용하는 하우징(housing);

   상기 장비를 조작하기 위해 상기 하우징 외부에 개폐가능하도록 설치된 도어; 및

   상기 도어의 소정 영역에 개폐가능하도록 설치된 매뉴얼 도어;를 포함하는 매뉴얼 도어가 설치된 하우징.
2. 제1항에 있어서, 상기 장비는,

   포토 레지스트 코팅장치인 것을 특징으로 하는 매뉴얼 도어가 설치된 하우징.
3. 제1항에 있어서, 상기 매뉴얼 도어의 재질은,

   투명한 셀룰러 물질인 것을 특징으로 하는 매뉴얼 도어가 설치된 하우징.
4. 제1항에 있어서,

   상기 매뉴얼 도어가 열린 경우에도, 상기 장비의 구동이 중단되지 않는 것을 특징으로 하는 매뉴얼 도어가 설치된 하우징.

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