JPH11191973A - フレキシブル基板及び超音波モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】検出電圧がノイズの影響を受けにくいフレキシ
ブル基板及び超音波モータを提供する。 【解決手段】フレキシブル基板２１は、可撓性を有する
フレキシブル板２２と、フレキシブル板２２上に設けら
れ、圧電素子のフィードバック用分極領域から検出電圧
を検出するためのフィードバック用導体２７と、フレキ
シブル板２２上に設けられ、圧電素子の所定の領域と電
気的に接続されるグランド用導体２８とを備える。グラ
ンド用導体２８は、フィードバック用導体２７の両側を
挟むように配置される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は超音波モータに係
り、詳しくは、超音波モータの圧電素子に対して電気的
に接続されるフレキシブル基板に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の超音波モータには、例えば、特公
平７−１０１８８号（特開昭６３−６４５８１号）公報
に開示されたものがある。該超音波モータのステータに
取着される円環状の圧電素子（電気−機械エネルギー変
換素子）には、例えば該圧電素子に高周波駆動電圧を供
給するために、フレキシブル基板（フレキシブルプリン
ト回路板）が接着されている。

【０００３】前記フレキシブル基板の表面上には導体
（導体パターン）が設けられている。この導体には、圧
電素子に高周波電圧を供給するための２つの電極に対し
てそれぞれ対応した駆動用の導体と、圧電素子の振動状
態を示す検出電圧を検出するためのフィードバック用電
極（センサー用電極）に対応したフィードバック用の導
体と、グランド用電極（共通電極）に対応したグランド
用の導体がある。

【０００４】このような超音波モータでは、駆動用の導
体を介して圧電素子に高周波電圧が供給される。する
と、該圧電素子が振動し、その振動に基づいてステータ
のロータとの接触面に進行波振動が生じる。そして、そ
の進行波振動に基づいてロータが回転するようになって
いる。又、このとき、フィードバック用の導体からは検
出電圧が検出され、該検出電圧に基づいてフィードバッ
ク制御が行われる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、駆動用の導
体では、高周波電圧に基づいてノイズが発生される。し
かし、この特公平７−１０１８８号公報の超音波モータ
では、フィードバック用の導体が一方の駆動用の導体に
隣接して設けられている。従って、フィードバック用の
導体から検出される検出電圧が、駆動用の導体から発生
されるノイズの影響を受け易いという問題がある。この
ことは、超音波モータにおいて正確なフィードバック制
御が行なえない原因となる。

【０００６】本発明の目的は、検出電圧がノイズの影響
を受けにくいフレキシブル基板及び超音波モータを提供
することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、可撓性を有するフレキシブル板と、前記フレキシブ
ル板上に設けられ、圧電素子のフィードバック用分極領
域から検出電圧を検出するためのフィードバック用導体
と、前記フレキシブル板上に設けられ、同圧電素子の所
定の領域と電気的に接続されるグランド用導体とを備え
たフレキシブル基板において、前記グランド用導体を、
前記フィードバック用導体の両側を挟むように配置した
ことを要旨としている。

【０００８】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のフレキシブル基板において、前記圧電素子の駆動用分
極領域に駆動用高周波電圧を印加するための駆動用導体
を、前記フレキシブル板上の前記グランド用導体の外側
に設けたことを要旨としている。

【０００９】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
に記載のフレキシブル基板において、前記グランド用導
体は、前記フィードバック用導体の左右両側でそれぞれ
の線幅が同じであることを要旨としている。

【００１０】請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３
のいずれか１項に記載のフレキシブル基板において、前
記グランド用導体は、前記フィードバック用導体からの
距離が左右両側で同じであることを要旨としている。

【００１１】請求項５に記載の発明は、請求項２乃至４
のいずれか１項に記載のフレキシブル基板において、前
記駆動用導体は、前記グランド用導体の外側の左右両側
に設けられ、同グランド用導体からの距離が左右両側で
同じであることを要旨としている。

【００１２】請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５
のいずれか１項に記載のフレキシブル基板において、前
記グランド用導体は、前記フィードバック用導体の両側
を挟むように配置した先端で、該フィードバック用導体
の先端を囲うように形成したことを要旨としている。

【００１３】請求項７に記載の発明は、請求項１乃至６
のいずれか１項に記載のフレキシブル基板において、前
記圧電素子は、円環状に形成されたものであるとこを要
旨としている。

【００１４】請求項８に記載の発明は、請求項１乃至７
のいずれか１項に記載のフレキシブル基板を備えた超音
波モータを要旨としている。請求項１に記載の発明によ
れば、フィードバック用導体を介して圧電素子のフィー
ドバック用分極領域から検出電圧が検出される。そし
て、グランド用導体がフィードバック用導体の両側を挟
むように配置されるため、該検出電圧が周囲両側からの
ノイズに影響されることは低減される。従って、正確な
フィードバック制御を行なうことができる。

【００１５】請求項２に記載の発明によれば、圧電素子
の駆動用分極領域に駆動用高周波電圧を印加するための
駆動用導体を、前記グランド用導体の外側に設けたた
め、前記検出電圧が駆動用高周波電圧に基づくノイズに
影響されることは低減される。

【００１６】請求項３に記載の発明によれば、前記グラ
ンド用導体は、前記フィードバック用導体の左右両側で
それぞれの線幅が同じであるため、前記検出電圧が周囲
両側からのノイズに影響されることが左右均等に低減さ
れる。

【００１７】請求項４に記載の発明によれば、前記グラ
ンド用導体は、前記フィードバック用導体からの距離が
左右両側で同じであるため、前記検出電圧が周囲両側の
ノイズに影響されることが左右均等に低減される。

【００１８】請求項５に記載の発明によれば、前記駆動
用導体は、前記グランド用導体の外側の左右両側に設け
られ、同グランド用導体からの距離が左右両側で同じで
あるため、前記検出電圧が駆動用高周波電圧に基づくノ
イズに影響されることが左右均等に低減される。

【００１９】請求項６に記載の発明によれば、前記グラ
ンド用導体は、前記フィードバック用導体の両側を挟む
ように配置した先端で、該フィードバック用導体の先端
を囲うように形成したため、前記検出電圧が周囲全体か
らのノイズに影響されることが低減される。

【００２０】請求項７に記載の発明によれば、前記圧電
素子は、円環状に形成されたものであるため、該圧電素
子の振動に基づいて回転する回転体の正確なフィードバ
ック制御を行なうことができる。

【００２１】請求項８に記載の発明によれば、正確なフ
ィードバック制御を行なうことができる超音波モータを
得ることができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明を進行波型の超音波
モータに具体化した一実施の形態を図１〜図５に従って
説明する。

【００２３】図１は、超音波モータの断面図を示す。超
音波モータ１のハウジング２は基台３とカバー４とから
構成されている。前記基台３は、ボールベアリング５を
保持するための軸受保持部３ａと、その軸受保持部３ａ
の内側開口端から内側に延出形成された膨出部３ｂと、
回転軸６を挿通するための貫通孔３ｃとを備えている。
前記膨出部３ｂには、後記するステータ１０を固定する
ためにネジ孔３ｄが設けられている。

【００２４】前記カバー４の上部には、すべり軸受７を
保持するための軸受保持部４ａが形成され、更にその中
央部分には前記回転軸６を挿通する貫通孔４ｂが形成さ
れている。そして、回転軸６は、前記軸受保持部３ａ，
４ａによりそれぞれ保持されたラジアルボールベアリン
グ５とすべり軸受７を介してハウジング２に対して回転
可能に支持されている。

【００２５】又、前記基台３の膨出部３ｂの上面には回
転軸６を挿通する円環状の絶縁プレート８が載置され、
更にその上面には円環状の金属基板９をロウ付けしたス
テータ１０が載置されている。

【００２６】前記ステータ１０は、圧延鋼板例えば冷間
圧延鋼板（ＳＰＣＣ）よりなり、その中央には前記回転
軸６を挿通するための貫通孔１０ａが形成されている。
ステータ１０において、前記基台３の膨出部３ｂと対応
する部分を固定部１０ｂとし、その固定部１０ｂにおけ
る前記膨出部３ｂのネジ孔３ｄと対応する位置にはネジ
貫通孔１０ｃが設けられている。又、ステータ１０の外
周部の断面はクランク状に屈曲形成され、上方に屈曲し
た部分を延出部１０ｄとし、該延出部１０ｄの先端から
外側に水平に延びた部分を振動板部１０ｅとしている。
さらに、ステータ１０において、前記延出部１０ｄを介
してその振動板部１０ｅと前記固定部１０ｂとを連結す
る水平部分を振動減衰部１０ｆとしている。前記延出部
１０ｄにおけるステータ１０の外周部下面には円環状の
ベースリング１１がロウ付けにて接合されている。そし
て、ベースリング１１の下面には後述する圧電素子１２
等が接着剤にて接着されている。

【００２７】前記ステータ１０は、前記ネジ貫通孔１０
ｃにネジ１３が嵌挿され、該ネジ１３の先端が前記基台
３の膨出部３ｂに設けられたネジ孔３ｄに螺合されるこ
とにより基台３に固定される。尚、前記ネジ貫通孔１０
ｃと前記ネジ１３は絶縁ワッシャ１４を介して連結さ
れ、前記ステータ１０と前記基台３の膨出部３ｂとは、
絶縁プレート８及び絶縁ワッシャ１４によって電気的に
絶縁状態となっている。

【００２８】前記ステータ１０の上面には、ライニング
材１５を設けたステンレス又はアルミニウム合金よりな
るロータ１６が配置され、前記振動板部１０ｅの上面に
当接するようになっている。

【００２９】前記ロータ１６は、その中央に嵌合孔１６
ａが形成されている。該嵌合孔１６ａには、絶縁カラー
１７が嵌着されている。そして、絶縁カラー１７とロー
タ１６とは、相対回転不能に組付けられている。又、絶
縁カラー１７は、その中央に嵌合孔１７ａが形成されて
いる。該嵌合孔１７ａには前記回転軸６が相対回転不能
に嵌合連結されている。即ち、ロータ１６は、絶縁カラ
ー１７を介して前記回転軸６に対して回転不能に組付け
られている。

【００３０】又、前記絶縁カラー１７の上面は、皿バネ
１８ａとプレート１８ｂとからなる加圧弾性部材１８に
より圧接されている。加圧弾性部材１８は、前記回転軸
６に対して回転不能に、かつサークリップ１９によりそ
れ以上上動不能に連結されている。そして、加圧弾性部
材１８の弾性力によって、前記ロータ１６はステータ１
０に対して圧接される。

【００３１】図２に示すように、前記圧電素子１２は周
方向に隣り合う極性が逆となるように２０個に分割して
分極処理が施されている。詳述すると、圧電素子１２に
は等間隔で８個に分極処理された第１分極領域群Ａ１〜
Ａ８と、等間隔で８個に分極処理された第２分極領域群
Ｂ１〜Ｂ８とが形成され、第１分極領域群Ａ１〜Ａ８と
第２分極領域群Ｂ１〜Ｂ８は、それぞれの群に９０°位
相のずれた電圧が印加されたときに進行波振動を発生す
るように所定の間隔を有して配置されている。尚、本実
施の形態では、第１分極領域群Ａ１〜Ａ８及び第２分極
領域群Ｂ１〜Ｂ８が駆動用分極領域を構成している。

【００３２】そして、第１分極領域群Ａ１〜Ａ８の一端
である第１分極領域Ａ１と第２分極領域群Ｂ１〜Ｂ８の
一端である第２分極領域Ｂ１の間にはフィードバック用
分極領域Ｆが２つの連結分極領域Ｒ１，Ｒ２に挟まれて
形成されている。また、前記第１分極領域群Ａ１〜Ａ８
の他端である第１分極領域Ａ８と第２分極領域群Ｂ１〜
Ｂ８の他端である第２分極領域Ｂ８の間には連結分極領
域Ｒ３が形成されている。尚、フィードバック用分極領
域Ｆは、前記第１及び第２分極領域群Ａ１〜Ａ８，Ｂ１
〜Ｂ８にて発生される振動に基づいた検出電圧を生成す
る。

【００３３】前記圧電素子１２の下面には電極板２０が
設けられる。電極板２０は、前記第１分極領域群Ａ１〜
Ａ８の位置に対応した駆動用電極板としての第１電極板
２０ａと、第２分極領域群Ｂ１〜Ｂ８の位置に対応した
同駆動用電極板としての第２電極板２０ｂと、各連結分
極領域Ｒ１〜Ｒ３の位置にそれぞれ対応した連結電極板
２０r1〜２０r3と、フィードバック用分極領域Ｆの位置
に対応したフィードバック用電極板２０ｆとがある。

【００３４】前記電極板２０の下面にはフレキシブル基
板２１が固着される。フレキシブル基板２１は、ポリイ
ミド樹脂から成るフレキシブル板２２と、フレキシブル
板２２の上面に固着される導体２３と、前記導体２３が
固着されたフレキシブル板２２の上面に接着されるポリ
イミド樹脂から成るカバーレイ２４とから構成されてい
る。尚、本実施の形態では、フレキシブル板２２及びカ
バーレイ２４はポリイミド樹脂にて構成したが、その他
の可撓性を有する樹脂にて構成してもよい。

【００３５】前記フレキシブル板２２は、図３に示すよ
うに、前記電極板２０の下面に対応した円環状のリング
部２２ａと、リング部２２ａの内周側から前記金属基板
９の下方に対応した位置まで延出した内延出部２２ｂ
と、前記内延出部２２ｂが形成されたリング部２２ａの
外周側から径方向の外側に延出した外延出部２２ｃとか
ら構成されている。

【００３６】前記導体２３は、図４に示すように、第１
電極用導体２５と、第２電極用導体２６と、フィードバ
ック用導体２７と、グランド用導体２８とから構成され
ている。

【００３７】前記フィードバック用導体２７は、その先
端部２７ａが前記フィードバック用電極板２０ｆと対応
したリング部２２ａ上に形成されている。そして、フィ
ードバック用導体２７には、その先端部２７ａから前記
外延出部２２ｃ上の中央を通って該外延出部２２ｃの端
部まで延びる連絡部２７ｂが形成されている。尚、前記
フィードバック用導体２７の先端部２７ａには該リング
部２２ａの周方向に分割された櫛歯状の接触部２７ｃが
形成されている。

【００３８】前記グランド用導体２８は、前記フィード
バック用導体２７の両側を挟むように形成されている。
詳述すると、グランド用導体２８は、その先端部２８ａ
が前記金属基板９の下方に対応した内延出部２２ｂ上に
形成されている。そして、グランド用導体２８には、前
記先端部２８ａから前記フィードバック用導体２７の方
向に向かって括れ部２８ｂが形成されている。また、グ
ランド用導体２８には、前記括れ部２８ｂから前記フィ
ードバック用導体２７の先端部２７ａを囲むように、且
つ同導体２７の両側を挟むように枝分かれしてそれぞれ
が前記外延出部２２ｃの端部まで延びる遮断連結部２８
ｃ，２８ｄが形成されている。尚、本実施の形態では、
遮断連結部２８ｃと遮断連結部２８ｄは、フィードバッ
ク用導体２７に対して左右対称に形成されている。即
ち、フィードバック用導体２７の左右両側において、遮
断連結部２８ｃと遮断連結部２８ｄとは、線幅ｘ１，ｘ
２が同じであり、フィードバック用導体２７からの距離
ｄ１，ｄ２が同じである。また、前記グランド用導体２
８の先端部２８ａには周方向に分割された櫛歯状の接触
部２８ｅが形成され、該櫛歯状の接触部２８ｅを周方向
に連結する櫛歯連結部２８ｆから前記括れ部２８ｂが形
成されている。

【００３９】前記第１及び第２電極用導体２５，２６
は、前記グランド用導体２８の両側に形成されている。
詳述すると、第１電極用導体２５は、その先端部２５ａ
が前記第１電極板２０ａの一端部と対応したリング部２
２ａ上に形成されている。そして、第１電極用導体２５
には、その先端部２５ａから前記グランド用導体２８の
遮断連結部２８ｃの一側（図４中、右側）に沿って前記
外延出部２２ｃの端部まで延びる連結部２５ｂが形成さ
れている。又、第２電極用導体２６は、その先端部２６
ａが前記第２電極板２０ｂの一端部と対応したリング部
２２ａ上に形成されている。そして、第２電極用導体２
６には、その先端部２６ａから前記グランド用導体２８
の遮断連結部２８ｄの他側（図４中、左側）に沿って前
記外延出部２２ｃの端部まで延びる連結部２６ｂが形成
されている。尚、本実施の形態では、グランド用導体２
８の左右両側において、第１電極用導体２５と第２電極
用導体２６とは、グランド用導体２８からの距離ｄ３，
ｄ４が同じとなるように配置されている。

【００４０】前記第１及び第２電極用導体２５，２６の
各先端部２５ａ，２６ａには、前記リング部２２ａの周
方向に分割された櫛歯状の接触部２５ｃ，２６ｃが形成
されている。詳述すると、各先端部２５ａ，２６ａに
は、前記リング部２２ａの内周側に沿って所定の位置ま
で延びる櫛歯連結部２５ｄ，２６ｄが形成されている。
そして、該櫛歯連結部２５ｄ，２６ｄから前記リング部
２２ａの径方向の外側に向かって延びる周方向に分割さ
れた櫛歯状の接触部２５ｃ，２６ｃが形成されている。
尚、本実施の形態では、櫛歯連結部２５ｄ，２６ｄは、
前記リング部２２ａの内周と外周との中間円より内側に
形成されている。

【００４１】前記カバーレイ２４は、図３及び図５に示
すように、円環状を一部切り欠いた形状で前記導体２３
と重ならないように形成される補強部２４ａと、その一
部切り欠いた箇所で前記導体２３を略覆うように形成さ
れるカバー部２４ｂとから構成されている。

【００４２】前記カバー部２４ｂは、図４に一点鎖線で
示すように、前記第１及び第２電極用導体２５，２６、
前記フィードバック用導体２７及び前記グランド用導体
２８の各先端部２５ａ〜２８ａ以外の部分を保護するよ
うに形成されている。即ち、カバー部２４ｂは各先端部
２５ａ〜２８ａが該フレキシブル基板２１の上面に露出
するように形成されている。尚、前記フィードバック用
導体２７の先端部２７ａは、カバー部２４ｂに貫通形成
された窓部２４ｃより、フレキシブル基板２１の上面に
露出される。又、窓部２４ｃは、前記連結電極板２０r
1，２０r2と対応した位置のグランド用導体２８の一部
がフレキシブル基板２１の上面に露出するように形成さ
れている。さらに、カバー部２４ｂは、前記外延出部２
２ｃの端部における導体２３（２５〜２８）の端部がフ
レキシブル基板２１の上面に露出するように形成されて
いる。

【００４３】前記補強部２４ａには、前記リング部２２
ａの内周から外周までの幅を有する複数のバランス維持
部２４ｄと、該複数のバランス維持部２４ｄを前記リン
グ部２２ａ上でそれぞれ周方向に連結する連結細部２４
ｅとが形成されている。

【００４４】前記複数のバランス維持部２４ｄは、図５
に示すように、前記圧電素子１２の第１及び第２分極領
域群Ａ１〜Ａ８，Ｂ１〜Ｂ８の領域にてそれぞれ発生さ
れる振動の１波長間隔、即ち前記第１及び第２分極領域
群Ａ１〜Ａ８，Ｂ１〜Ｂ８における分極処理された領域
の２個分間隔でそれぞれ形成されている。そして、各バ
ランス維持部２４ｄは、前記第１及び第２分極領域群Ａ
１〜Ａ８，Ｂ１〜Ｂ８にて発生される進行波振動を比較
的に妨げにくい位置に配置されている。尚、本実施の形
態では、バランス維持部２４ｄは７個形成され、それぞ
れが前記連結分極領域Ｒ３の周方向の幅と略同様の幅に
形成されている。そして、その一つが同連結分極領域Ｒ
３と対応した位置に配置され、他のバランス維持部２４
ｄは該連結分極領域Ｒ３を中心として３個ずつ対称に配
置されている。

【００４５】尚、このように構成されたフレキシブル基
板２１は、前記各導体２５〜２７の先端部２５ａ〜２７
ａがそれぞれ対応した電極板２０ａ，２０ｂ，２０ｆと
固着されるように、前記電極板２０の下面に固着され
る。又、このとき、前記内延出部２２ｂが、図１に示す
ように、斜め上方向に撓められ、前記内延出部２２ｂ上
におけるグランド用導体２８の接触部２８ｅが前記金属
基板９の下面に固着される。即ち、前記内延出部２２ｂ
の先端部は、組み付けられた状態で前記金属基板９と前
記絶縁プレート８との間に介在される。

【００４６】そして、前記フレキシブル基板２１の外延
出部２２ｃの端部における露出した導体２３（２５〜２
８）の端部は、前記カバー４に取着されたコネクタ２９
にリード線３０を介してそれぞれ接続されている。そし
て、前記コネクタ２９は超音波モータ１を駆動制御する
高周波駆動電圧を供給するための図示しないコントロー
ラに接続されている。

【００４７】このように構成された超音波モータ１で
は、コントローラから所定の高周波駆動電圧が印加され
ると、第１及び第２電極用導体２５，２６、さらに第１
及び第２電極板２０ａ，２０ｂを介して圧電素子１２の
それぞれの分極領域群Ａ１〜Ａ８，Ｂ１〜Ｂ８に９０°
位相のずれた電圧が供給される。すると、該圧電素子１
２は振動して、ベースリング１１及びステータ１０の延
出部１０ｄを介してロータ１６との接触面である振動板
部１０ｅに進行波振動を発生させる。そして、振動板部
１０ｅに圧接されたロータ１６はその進行波振動に基づ
いて回転し、回転軸６を回転させる。尚、このとき、フ
ィードバック用分極領域Ｆはその時々の振動に基づく検
出電圧を生成する。そして、その検出電圧はフィードバ
ック用導体２７を介して検出され、超音波モータ１では
その検出電圧に基づいたフィードバック制御が行われ
る。

【００４８】次に、上記のように構成した超音波モータ
の特徴的な効果を以下に記載する。 （１）本実施の形態では、グランド用導体２８の遮断連
結部２８ｃ，２８ｄがフィードバック用導体２７の両側
を挟むように形成されている。従って、フィードバック
用分極領域Ｆにて生成される検出電圧が、周囲両側から
のノイズに影響されることは低減される。そして、第１
及び第２電極用導体２５，２６はグランド用導体２８の
外側に形成されているため、前記検出電圧が第１及び第
２電極用導体２５，２６からの高周波駆動電圧に基づく
ノイズに影響さることは低減される。その結果、この超
音波モータ１では、前記検出電圧にて正確なフィードバ
ック制御を行なうことができる。

【００４９】（２）又、グランド用導体２８の遮断連結
部２８ｃ及び遮断連結部２８ｄは、フィードバック用導
体２７の左右両側において、線幅ｘ１，ｘ２が同じであ
り、フィードバック用導体２７からの距離ｄ１，ｄ２が
同じである。従って、前記検出電圧が周囲両側からのノ
イズに影響されることは左右均等に低減される。しか
も、第１及び第２電極用導体２５，２６は、グランド用
導体２８の左右両側において、グランド用導体２８から
の距離ｄ３，ｄ４が同じである。従って、前記検出電圧
が第１及び第２電極用導体２５，２６からの高周波駆動
電圧に基づくノイズに影響されることは左右均等に低減
される。

【００５０】（３）さらに、本実施の形態では、グラン
ド用導体２８がフィードバック用導体２７の先端部２７
ａを囲むように形成されている。従って、前記検出電圧
が周囲全体からのノイズに影響されることは低減され
る。

【００５１】（４）本実施の形態では、連結電極板２０
r1，２０r2と対応した位置のグランド用導体２８の一部
が、カバー部２４ｂの窓部２４ｃより露出され、同連結
電極板２０r1，２０r2に固着される。即ち、フィードバ
ック用分極領域Ｆを挟む連結分極領域Ｒ１，Ｒ２は、連
結電極板２０r1，２０r2を介してグランド用導体２８に
接続される。従って、フィードバック用分極領域Ｆにて
発生される検出電圧が、隣の連結分極領域Ｒ１，Ｒ２に
て発生される起電圧の影響を受けることは防止される。

【００５２】（５）本実施の形態では、櫛歯状の接触部
２５ｃ，２６ｃは、周方向に複数に分割された櫛歯状で
あるため、該接触部２５ｃ，２６ｃが圧電素子１２の振
動を抑制してしまうことは低減される。さらに、圧電素
子１２の周方向に延びる櫛歯連結部２５ｄ，２６ｄは櫛
歯状の接触部２５ｃ，２６ｃより径方向の内側に形成さ
れている。つまり、各櫛歯状の接触部２５ｃ，２６ｃの
外側端部は自由端となっている。従って、該櫛歯連結部
２５ｄ，２６ｄ及び櫛歯状の接触部２５ｃ，２６ｃが圧
電素子１２の径方向の外側に発生される振動である強い
振動を抑制してしまうことは低減される。その結果、こ
の超音波モータの最大出力を向上させることができる。

【００５３】（６）本実施の形態では、フレキシブル基
板２１の導体２３が形成されていない部分には補強部２
４ａが形成されている。補強部２４ａには、導体２３が
周方向の振動の一部を僅かに抑制してしまうのに対し
て、周方向の振動のバランスを保つように他の部分の振
動を僅かに抑制する複数のバランス維持部２４ｄが形成
されている。又、補強部２４ａには、前記複数のバラン
ス維持部２４ｄを周方向に連結する連結細部２４ｅが、
振動を抑制しないように細く形成されている。従って、
導体２３が周方向の振動の一部を僅かに抑制してしまう
が、バランス維持部２４ｄが周方向の振動のバランスを
良好とし、連結細部２４ｅがフレキシブル基板２１の取
り扱いを容易とするようにその剛性を確保する。その結
果、この超音波モータの最大出力をむらなく向上させな
がら、フレキシブル基板２１の剛性を確保しその取り扱
いを容易とすることができる。

【００５４】上記実施の形態は、以下のように変更して
実施してもよい。 ○上記実施の形態のフレキシブル基板２１には、金属基
板９を介して圧電素子１２の上面をグランドに接続する
ためのグランド用導体２８が形成され、そのグランド用
導体２８を利用してフィードバック用導体２７の両側を
挟んだが、例えば、連結電極板２０r1，２０r2をグラン
ドに接続するためだけのグランド用導体を利用して挟ん
でもよい。即ち、前記先端部２８ａ及び括れ部２８ｂの
ないグランド用導体であってもよい。尚、この場合、圧
電素子１２の上面をグランドに接続するための他の部材
が必要となる。又、高周波駆動電圧に基づくノイズを除
去するためだけにフィードバック用導体２７を挟むグラ
ンド用導体を設けてもよい。

【００５５】○フレキシブル基板２１の外延出部２２ｃ
の端部における露出した導体２３（２５〜２８）の端部
をそれぞれが等間隔となるように配置してもよい。この
ようにすると、上記実施の形態の効果に加えて、導体２
３（２５〜２８）の端部をリード線３０にそれぞれ接続
する加工が容易となる。

【００５６】○上記実施の形態では、進行波型の超音波
モータに具体化したが、定在波型の超音波モータに具体
化してもよい。

【００５７】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
検出電圧がノイズの影響を受けにくいフレキシブル基板
及び超音波モータを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態の超音波モータを説明するための
説明図。

【図２】本実施の形態のフレキシブル基板を説明するた
めの分解斜視図。

【図３】本実施の形態のフレキシブル基板を説明するた
めの上面図。

【図４】本実施の形態の導体を説明するための説明図。

【図５】本実施の形態のカバーレイを説明するための説
明図。

【符号の説明】

１２…圧電素子、２２…フレキシブル板、２５…第１電
極用導体、２６…第２電極用導体、２７…フィードバッ
ク用導体、２８…グランド用導体、Ｆ…フィードバック
用分極領域、Ａ１〜Ａ８…第１分極領域群、，Ｂ１〜Ｂ
８…第２分極領域群、２７ａ…フィードバック用導体の
先端部、ｘ１，ｘ２…線幅、ｄ１〜ｄ４…距離。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 可撓性を有するフレキシブル板（２２）
   と、 前記フレキシブル板（２２）上に設けられ、圧電素子
   （１２）のフィードバック用分極領域（Ｆ）から検出電
   圧を検出するためのフィードバック用導体（２７）と、 前記フレキシブル板（２２）上に設けられ、同圧電素子
   （１２）の所定の領域と電気的に接続されるグランド用
   導体（２８）とを備えたフレキシブル基板において、 前記グランド用導体（２８）を、前記フィードバック用
   導体（２７）の両側を挟むように配置したことを特徴と
   するフレキシブル基板。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のフレキシブル基板にお
   いて、 前記圧電素子（１２）の駆動用分極領域（Ａ１〜Ａ８，
   Ｂ１〜Ｂ８）に駆動用高周波電圧を印加するための駆動
   用導体（２５，２６）を、前記フレキシブル板（２２）
   上の前記グランド用導体（２８）の外側に設けたことを
   特徴とするフレキシブル基板。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載のフレキシブル基
   板において、 前記グランド用導体（２８）は、前記フィードバック用
   導体（２７）の左右両側でそれぞれの線幅（ｘ１，ｘ
   ２）が同じであることを特徴とするフレキシブル基板。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の
   フレキシブル基板において、 前記グランド用導体（２８）は、前記フィードバック用
   導体（２７）からの距離（ｄ１，ｄ２）が左右両側で同
   じであることを特徴とするフレキシブル基板。
5. 【請求項５】 請求項２乃至４のいずれか１項に記載の
   フレキシブル基板において、 前記駆動用導体（２５，２６）は、前記グランド用導体
   （２８）の外側の左右両側に設けられ、同グランド用導
   体（２８）からの距離（ｄ３，ｄ４）が左右両側で同じ
   であることを特徴とするフレキシブル基板。
6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の
   フレキシブル基板において、 前記グランド用導体（２８）は、前記フィードバック用
   導体（２７）の両側を挟むように配置した先端で、該フ
   ィードバック用導体（２７）の先端（２７ａ）を囲うよ
   うに形成したことを特徴とするフレキシブル基板。
7. 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の
   フレキシブル基板において、 前記圧電素子（１２）は、円環状に形成されたものであ
   るとこを特徴とするフレキシブル基板。
8. 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の
   フレキシブル基板を備えた超音波モータ。