JPH11186148A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 露光量を常に正確に計測する。 【解決手段】 光電センサの暗電流または順方向電圧を
検出し、その検出値に基づいて、光電センサの出力に対
するゲインを制御するか、または光電センサの受光面の
温度を制御する。照明光がパルス状の照明光である場
合、前記暗電流または順方向電圧は、パルス状の照明の
合間に検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子や液晶
表示素子等を、フォトリソグラフィ工程で製造する際に
使用される露光装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスまたは液晶表示素子等を
フォトリソグラフィ技術を用いて製造する際に、レチク
ルのパターンをウエハに塗布された感光材に露光する露
光装置が使用されている。一般にウエハに塗布された感
光材には適正露光量が定められているので、従来の露光
装置では、照明光の照明光学系中にビームスプリッタを
配置して、このビームスプリッタにより分岐した照明光
の一部の光量を光電センサに照射することにより、その
ウエハ上での露光量をモニタしている。そして、ウエハ
上での露光量がその適正露光量に達した時にそのウエハ
の現在のショッ卜領域への露光量を停止することによ
り、露光量制御が行なわれる。

【０００３】ところが露光量が多い場合、光電センサに
照射されるモニタ光量が増えて光電センサの温度が上昇
し、これにより光電センサの感度が変化し、正確な露光
量制御を行なうための正確な露光量が得られない場合が
生じてきた。

【０００４】この対策として、特開平９−２２１２０号
公報においては、照明光の一部の光束の光量を計測する
光電センサと、光電センサの受光面の温度を検出する温
度検出手段とを備え、温度検出手段により検出された温
度に基づいて光電センサの温度変化に伴う感度変化を補
正するように構成している。

【０００５】また、照明光の一部の光束の光量を計測す
る光電センサと、光電センサの受光面の温度を検出する
温度検出手段と、光電センサの受光面の温度を制御する
温度制御手段とを備え、温度検出手段の検出値に基づい
て温度制御手段を制御し、光電センサの受光面の温度を
安定化し、光電センサの感度を一定に保つように構成し
ている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例の構成では、光電センサの受光面の近傍に温度検出手
段とを備えても、光電センサと温度検出手段が別物であ
るがゆえに若干の温度差が生じ、正確な光電センサの受
光面の温度を検出することができず、光電センサの感度
を正確に補正することや、光電センサの受光面の温度を
正確に安定化することができなかった。この結果、正確
な露光量等を得ることが不可能であった。

【０００７】また、エキシマレーザ等の強力なパルスレ
ーザを照明光として用いる場合、パルス発光による電気
ノイズが発生し、これが温度検出回路に影響を与え、正
確な光電センサの受光面の温度を検出することができ
ず、光電センサの感度を正確に補正することや、光電セ
ンサの受光面の温度を正確に安定化することができなか
った。この結果、正確な露光量等を得ることが不可能で
あった。

【０００８】本発明は、前述の問題点を解決するために
なされたもので、露光装置において、露光量を常に正確
に計測することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明による露光装置
は、光電センサの温度を検出する代わりに、光電センサ
自身の暗電流または順方向電圧を検出し、その検出値ま
たはその変化分に基づいて、光電センサの出力に対する
ゲインを制御するか、または光電センサの受光面の温度
を制御するようにしている。また、照明光がパルス状の
照明光である場合は、パルス状の照明の合間に、前記暗
電流または順方向電圧を検出する。

【００１０】

【作用】本発明によれば、光電センサの温度特性を逆に
利用し、光電センサ自身を温度検出手段として用いるこ
とにより、温度センサが不要になり、かつ光電センサの
温度変動に起因する感度または露光量計測値の変動を正
確に補正または補償することができる。また、パルス状
の照明の合間に、光電センサの暗電流または順方向電圧
を検出することにより、光電センサによる露光量計測値
の変動要因をノイズに左右されずに正確に測定すること
ができる。さらに、光電センサの暗電流および順方向電
圧は経時的にも変化し、光電センサによる検出値はこの
経時変化によっても変化する。本発明によれば、暗電流
または順方向電圧の基準値を記憶しておくことにより、
または適宜、較正することにより、暗電流または順方向
電圧の経時変化に対する露光量計測誤差の補正または補
償を行なうことも可能である。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態に係る
露光装置は、照明光の一部の光束の光量を計測する光電
センサと、本光電センサの暗電流または順方向電圧を検
出する手段とを備え、本検出手段により検出された暗電
流の変化分または順方向電圧に基づいて光電センサの温
度変化に伴う感度変化を補正するように動作するもので
ある。

【００１２】また本発明の第２の実施の形態に係る露光
装置は、照明光の一部の光束の光量を計測する光電セン
サと、本光電センサの暗電流または順方向電圧を検出す
る手段と、本光電センサの受光面の温度を制御する温度
制御手段とを備え、本検出手段の検出値に基づいて温度
制御手段を制御して光電センサの受光面の温度を安定化
し、光電センサの温度変化に伴う感度変化を除去するよ
うに動作するものである。

【００１３】また本発明の第３の実施の形態に係る露光
装置は、パルス状の照明光の一部の光束の光量を計測す
る光電センサと、パルス状の照明の合間に光電センサの
暗電流または順方向電圧を検出する手段とを備え、本検
出手段により検出された暗電流の変化分または順方向電
圧に基づいて、光電センサの温度変化に伴う感度変化を
補正するように動作するものである。

【００１４】また本発明の第４の実施の形態に係る露光
装置は、パルス状の照明光の一部の光束の光量を計測す
る光電センサと、パルス状の照明の合間に光電センサの
暗電流または順方向電圧を検出する手段と、光電センサ
の受光面の温度を制御する温度制御手段とを備え、本検
出手段の検出値に基づいて温度制御手段を制御し、光電
センサの受光面の温度を安定化して光電センサの温度変
化に伴う感度変化を除去するように動作するものであ
る。

【００１５】

【実施例】(第１の実施例)図１は本発明の一実施例に係
る露光装置要部の概略構成を示す図面である。同図にお
いて、１は光源であるところのエキシマレーザであり、
後述する主制御系２５の発振指令により、パルス状の照
明光を発生する。２はビーム整形光学系であり、エキシ
マレーザ１から出射された照明光が、所望の断面形状の
平行光束に整形される。３は１／４波長板であり、ビー
ム整形光学系２を通った直線偏光の照明光を、円偏光に
変換する。４は反射鏡、５はフライアイレンズであり、
フライアイレンズ５の射出面には多数の光源像が形成さ
れ、これにより照明光の照度分布の平坦化が行なわれ
る。６はビームスプリッタであり、フライアイレンズ５
を通った照明光がここで分割される。７は後述のレチク
ルを均一な照度分布で照明するためのレンズ群、８は反
射鏡である。 ９はレチクル、１０は投影光学系、１１は
ウエハであり、レチクル９上のパターンが、投影光学系
１０を介してウエハ１１に投影露光される。１２はビー
ムスプリッタ６で反射された光を集める集光レンズ、１
３は集光された光束、１４は光束１３を入射し、電圧に
変換することを主目的とする積算露光部である。

【００１６】図２は、図１における積算露光部１４の詳
細を示す。１５はフォトダイオードであり、その受光面
はウエハ１１（図１）の露光面と共役の位置にある。１
６はフォトダイオード１５の出力電流を電圧に変換する
電流電圧変換器、１７はフォトダイオードの暗電流を測
定する暗電流測定器、１８は切換器であり、フォトダイ
オード１５を電流電圧変換器１６に接続するか、暗電流
測定器１７に接続するか選択する。１９は電流電圧変換
器１６の電圧出力を積算する露光量積算器、２０は切換
器１８への切換え指令信号、２１は露光量積算器１９か
らの積算露光量データ、２２は暗電流測定器１７からの
暗電流データである。２３は電流電圧変換器１６に対す
る補正指令信号である。

【００１７】図１に戻り、２５は主制御系であり、切換
器１８を駆動し、フォトダイオード１５を電流電圧変換
器１６（図２）に接続し、エキシマレーザ１に発振指令
２４を与え、露光量積算器１９を経た積算露光データ２
１を得ることができる。また主制御系２５は、積算露光
部１４の切換器１８を駆動し、フォトダイオード１５を
暗電流測定器１７に接続することができる。 ここでフォ
トダイオードの暗電流は、一般的に図３に示すような温
度依存性をもつ。したがって、暗電流測定器１７の暗電
流出力は、フォトダイオード１５の温度を忠実に表わ
す。また主制御装置２５は電流電圧変換器１６に対し、
暗電流データ２２、すなわちフォトダイオード１５の温
度に従った補正指令信号２３を与えることができる。

【００１８】以上が本実施例の構成であり、上記構成に
おいて順を追って動作を説明する。主制御装置２５はエ
キシマレーザ１を発振させる前に、光束１３がフォトダ
イオード１５に照射されていない状態で切換器１８を駆
動し、フォトダイオード１５を暗電流測定器１７側に接
続し、フォトダイオード１５の暗電流データ２２を受け
取り、この暗電流に対応する温度でフォトダイオード１
５に光束１３を照射した場合の感度の補正値を計算し、
電流電圧変換器１６に対し、補正指令信号２３を与えて
おく。

【００１９】つぎに主制御装置２５は切換器１８を駆動
し、フォトダイオード１５を電流電圧変換器１６側に接
続した状態で、エキシマレーザ１に発振指令２４を出
す。エキシマレーザから出射された照明光は、ビーム整
形光学系２により所望の断面形状の平行光束に整形さ
れ、１／４波長板３により直線偏光から円偏光に変換さ
れて反射鏡４で反射された後にフライアイレンズ５に入
射する。フライアイレンズ５の射出面には面状の２次光
源が形成され、この面状の２次光源からのレーザ光が重
畳的にビームスプリッタ６に入射し、ビームスプリッタ
６を透過した光はレンズ群７、反射鏡８を経て均一な照
度分布でレチクル９を照明する。 これにより、レチクル
９のパターンが投影光学系１０によってウエハ１１上に
結像される。

【００２０】一方、フライアイレンズ５の直後のビーム
スプリッタ６で反射された照明光は、集光レンズ１２を
介して光束１３となる。ここで光束１３はウエハに結像
される光量に比例することになる。フォトダイオード１
５は、入射光量に比例した電流を発生し、これが電流電
圧変換器１６に入り、補正指令信号２３により感度が補
正され、電圧に変換される。その後、電流電圧変換器１
６の出力は、露光量積算器１９に入り積算される。

【００２１】主制御系２５は、エキシマレーザ１に次の
発振指令２４を与える前に、再度切換器１８を駆動し、
フォトダイオード１５を暗電流測定器１７側に接続し、
先のエキシマレーザ１の発振により上昇したフォトダイ
オード１５の暗電流を測定し、感度の補正値を計算し直
し、電流電圧変換器１６に新しい補正指令信号２３を送
る。

【００２２】その後、切換器１８を駆動しフォトダイオ
ード１５を電流電圧変換器１６側に接続し、エキシマレ
ーザ１に発振指令２４を与えることにより、前回と同様
に電流電圧変換器１６の出力が、露光量積算器１９に入
り積算される。

【００２３】このように露光量積算器１９からの積算露
光データ２１が所望の値になるまで、前述のフォトダイ
オード１５の暗電流測定、補正値の計算、エキシマレー
ザ発振と露光量の積算を繰り返すことにより、フォトダ
イオード１５の暗電流（すなわち温度）にかかわらない
正確な露光量でウエハ１１を露光することが可能とな
る。

【００２４】なお、本実施例によれば、フォトダイオー
ド１５の暗電流に基づいて、電流電圧変換器１６のゲイ
ンを制御するようにしたため、温度変化によるフォトダ
イオード１５の感度の変化のみならず、フォトダイオー
ド１５の暗電流の経時変化による露光量の積算誤差をも
補正可能である。

【００２５】(第２の実施例)図４は本発明の第２の実施
例を表す図面である。同図において、積算露光部１４
と、加温指令信号２７以外は第１の実施例と構成が同じ
である。

【００２６】図５を用いて、積算露光部１４の詳細を示
す。２６はヒータであり、加温指令信号２７の指令によ
り、フォトダイオード１５を加熱することができる。

【００２７】上記構成において順を追って動作を説明す
る。主制御装置２５はエキシマレーザ１を発振させる前
に、光束１３がフォトダイオード１５に照射されていな
い状態で、切換器１８を駆動し、フォトダイオード１５
を暗電流測定器１７側に接続し、フォトダイオード１５
の暗電流データ２２を受け取る。

【００２８】次に主制御装置２５はフォトダイオード１
５が所望の温度になるように加温指令信号２７を出し、
ヒータ２６により温度制御をかける。暗電流測定器１７
で計測される暗電流が所望の値（すなわちフォトダイオ
ード１５の受光面が所望の温度）になったら、第１の実
施例と同様に、主制御装置２５は切換器１８を駆動し、
フォトダイオード１５を電流電圧変換器１６側に接続し
た状態で、エキシマレーザ１に発振指令２４を出す。エ
キシマレーザから出射された照明光は、ビーム整形光学
系２により所望の断面形状の平行光束に整形され、１／
４波長板３により直線偏光から円偏光に変換されて反射
鏡４で反射された後にフライアイレンズ５に入射する。
フライアイレンズ５の射出面には面状の２次光源が形成
され、この面状の２次光源からのレーザ光が重畳的にビ
ームスプリッタ６に入射し、ビームスプリッタ６を透過
した光はレンズ群７、反射鏡８を経て均一な照度分布で
レチクル９を照明する。これにより、レチクル９のパタ
ーンが投影光学系１０によってウエハ１１上に結像され
る。

【００２９】一方、フライアイレンズ５の直後のビーム
スプリッタ６で反射された照明光は、集光レンズ１２を
介して光束１３となる。ここで光束１３はウエハに結像
される光量に比例することになる。フォトダイオード１
５は、入射光量に比例した電流を発生し、これが電流電
圧変換器１６に入り、電圧に変換される。その後、電流
電圧変換器１６の出力は、露光量積算器１９に入り積算
される。

【００３０】主制御系２５は、エキシマレーザ１に次の
発振指令２４を与える前に、再度切換器１８を駆動し、
フォトダイオード１５を暗電流測定器１７側に接続し、
フォトダイオード１５の暗電流データ２２を受け取り、
ヒータ２６に加温指令信号２７を与えることにより温度
制御をかけ、フォトダイオード１５を所望の温度に保
つ。

【００３１】その後、切換器１８を駆動しフォトダイオ
ード１５を電流電圧変換器１６側に接続し、エキシマレ
ーザ１に発振指令２４を与えることにより、前回と同様
に電流電圧変換器１６の出力が、露光量積算器１９に入
り積算される。

【００３２】このように露光量積算器１９からの積算露
光データ２１が所望の値になるまで、前述のフォトダイ
オード１５の暗電流測定、ヒータ２６によるフォトダイ
オード１５の温度制御、エキシマレーザ発振と露光量の
積算を繰り返すことにより、正確な露光量でウエハ１１
を露光することが可能となる。

【００３３】(第３の実施例)図６は、積算露光部１４の
他の実施例を表す図面である。同図において、図２の構
成との相違を述べると、２８はフォトダイオード１５の
順方向電圧を測定する順方向電圧測定器で、順方向電圧
データ３０を出力する。２９は切換器であり、フォトダ
イオード１５を電流電圧変換器１６に接続するか、順方
向電圧測定器２８に接続するか選択する。ここでフォト
ダイオードの順方向電圧は、一般的に図７に示すような
温度依存性をもつ。すなわち、Ｔ０度の状態で電流Ｉ１
を流したときは順電圧Ｖ０が発生するが、Ｔ１度の状態
で電流Ｉ１を流したときの順電圧はＶ１になるので、順
方向電圧測定器２８の順方向電圧出力３０は、フォトダ
イオード１５の温度を忠実に表わす。

【００３４】上記構成において順を追って動作を説明す
る。主制御装置２５はエキシマレーザ１を発振させる前
に、光束１３がフォトダイオード１５に照射されていな
い状態で切換器２９を駆動し、フォトダイオード１５を
順方向電圧測定器２８側に接続し、フォトダイオード１
５の順方向電圧データ３０を受け取り、この順方向電圧
に対応する温度でフォトダイオード１５に光束１３を照
射した場合の感度の補正値を計算し、電流電圧変換器１
６に対し、補正指令信号２３を与えておく。

【００３５】つぎに主制御装置２５は実施例１と同様に
切換器１８を駆動し、フォトダイオード１５を電流電圧
変換器１６側に接続した状態で、エキシマレーザ１に発
振指令２４を出す。エキシマレーザから出射された照明
光は、ビーム整形光学系２により所望の断面形状の平行
光束に整形され、１／４波長板３により直線偏光から円
偏光に変換されて反射鏡４で反射された後にフライアイ
レンズ５に入射する。フライアイレンズ５の射出面には
面状の２次光源が形成され、この面状の２次光源からの
レーザ光が重畳的にビームスプリッタ６に入射し、ビー
ムスプリッタ６を透過した光はレンズ群７、反射鏡８を
経て均一な照度分布でレチクル９を照明する。 これによ
り、レチクル９のパターンが投影光学系１０によってウ
エハ１１上に結像される。

【００３６】一方、フライアイレンズ５の直後のビーム
スプリッタ６で反射された照明光は、集光レンズ１２を
介して光束１３となる。ここで光束１３はウエハに結像
される光量に比例することになる。フォトダイオード１
５は、入射光量に比例した電流を発生し、これが電流電
圧変換器１６に入り、補正指令信号２３により感度が補
正され、電圧に変換される。その後、電流電圧変換器１
６の出力は、露光量積算器１９に入り積算される。

【００３７】主制御系２５は、エキシマレーザ１に次の
発振指令２４を与える前に、再度切換器２９を駆動し、
フォトダイオード１５を順方向電圧測定器２８側に接続
し、先のエキシマレーザ１の発振により上昇したフォト
ダイオード１５の順方向電圧を測定し、感度の補正値を
計算し直し、電流電圧変換器１６に新しい補正指令信号
２３を送る。

【００３８】その後、切換器１８を駆動しフォトダイオ
ード１５を電流電圧変換器１６側に接続し、エキシマレ
ーザ１に発振指令２４を与えることにより、前回と同様
に電流電圧変換器１６の出力が、露光量積算器１９に入
り積算される。

【００３９】このように露光量積算器１９からの積算露
光データ２１が所望の値になるまで、前述のフォトダイ
オード１５の順方向電圧測定、補正値の計算、エキシマ
レーザ発振と露光量の積算を繰り返すことにより、フォ
トダイオード１５の順方向電圧、したがって温度にかか
わらない正確な露光量でウエハ１１を露光することが可
能となる。

【００４０】なお、本実施例によれば、フォトダイオー
ド１５の順方向電圧に基づいて、電流電圧変換器１６の
ゲインを制御するようにしたため、温度変化によるフォ
トダイオード１５の感度の変化のみならず、フォトダイ
オード１５の順方向電圧の経時変化による露光量積算の
誤差をも補正可能である。

【００４１】

【デバイス生産方法の実施例】次に上記説明した露光装
置または露光方法を利用したデバイスの生産方法の実施
例を説明する。図８は微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の
半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、
マイクロマシン等）の製造のフローを示す。ステップ１
（回路設計）ではデバイスのパターン設計を行なう。ス
テップ２（マスク製作）では設計したパターンを形成し
たマスクを製作する。一方、ステップ３（ウエハ製造）
ではシリコンやガラス等の材料を用いてウエハを製造す
る。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、
上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技
術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステ
ップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によ
って作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程
であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディン
グ）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含
む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半
導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査
を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成
し、これが出荷（ステップ７）される。

【００４２】図９は上記ウエハプロセスの詳細なフロー
を示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化
させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁
膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ上
に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン
打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５
（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステ
ップ１６（露光）では上記説明した積算露光量計測装置
を有する露光装置によってマスクの回路パターンをウエ
ハに焼付露光する。ステップ１７（現像）では露光した
ウエハを現像する。ステップ１８（エッチング）では現
像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９
（レジスト剥離）ではエッチングが済んで不要となった
レジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行な
うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成
される。

【００４３】本実施例の生産方法を用いれば、従来は製
造が難しかった高集積度のデバイスを低コストに製造す
ることができる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
照明光の一部の光束の光量を計測する光電センサと、光
電センサの温度特性を利用し光電センサの温度の代わり
として暗電流または順方向電圧を検出する手段とを備
え、本検出手段により検出された暗電流または順方向電
圧の変化に基づいて光電センサの感度を補正するように
動作することにより、温度センサを必要とせず、かつ温
度変化に影響されない正確な光量を測定することが可能
となる。

【００４５】また、照明光の一部の光束の光量を計測す
る光電センサと、光電センサの温度特性を利用し光電セ
ンサの温度の代わりとして暗電流または順方向電圧を検
出する手段とを備え、本検出手段の検出値に基づいて温
度制御手段を制御し、光電センサの受光面の温度を安定
化し、光電センサの感度が一定に保たれるように動作す
ることにより、温度センサを必要とせず、かつ正確な光
量を測定することが可能となる。

【００４６】また、パルス状の照明光の一部の光束の光
量を計測する光電センサと、パルス状の照明の合間に、
光電センサの温度の代わりとして暗電流または順方向電
圧を検出する手段とを備え、本検出手段により検出され
た暗電流または順方向電圧に基づいて光電センサの感度
を補正するように動作することにより、パルス状の照明
によるノイズに左右されずに正確な光量を測定すること
が可能となる。

【００４７】また、パルス状の照明光の一部の光束の光
量を計測する光電センサと、パルス状の照明の合間に、
光電センサの温度の代わりとして暗電流または順方向電
圧を検出する手段とを備え、本検出手段の検出値に基づ
いて温度制御手段を制御し、光電センサの受光面の温度
を安定化し、光電センサの感度が一定に保たれるように
動作することにより、パルス状の照明によるノイズに左
右されずに正確な光量を測定することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例に係る露光装置の要部概略
図である。

【図２】 図１における積算露光部１４の一例を示す図
である。

【図３】 フォトダイオードの暗電流の温度特性を示す
概略図である。

【図４】 本発明の他の実施例に係る露光装置の要部概
略図である。。

【図５】 図４における積算露光部１４の一例を示す図
である。

【図６】 図１における積算露光部１４の他の例を示す
図である。

【図７】 フォトダイオードの順電圧の温度特性を示す
概略図である。

【図８】 微小デバイスの製造の流れを示す図である。

【図９】 図８におけるウエハプロセスの詳細な流れを
示す図である。

【符号の説明】

１：エキシマレーザ、２：ビーム整形光学系、３：１／
４波長板、４：反射鏡、５：フライアイレンズ、６：ビ
ームスプリッタ、７：レンズ群、８：反射鏡、９：レチ
クル、１０：投影光学系、１１：ウエハ、１２：集光レ
ンズ、１３：集光された光束、１４：積算露光部、１
５：フォトダイオード、１６：電流電圧変換器、１７：
暗電流測定器、１８：切換器、１９：露光量積算器、２
０：切換え指令信号、２１：積算露光量データ、２２：
暗電流データ、２３：補正指令信号、２４：発振指令、
２５：主制御系、２６：ヒータ、２７：加温指令信号、
２８：順方向電圧測定器、２９：切換器、３０：順方向
電圧データ。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 転写用のパターンが形成されたマスクを
   露光用の照明光で照明する照明光学系を有し、前記照明
   光のもとで感光基板上に前記マスクのパターンを転写す
   る露光装置において、 前記照明光の少なくとも一部の光束の光量を計測する光
   電センサと、 前記光電センサの暗電流を検出する手段と、 前記検出手段により検出された暗電流の変化分に基づい
   て前記光電センサの出力に対するゲインを制御する利得
   制御手段とを備えたことを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 転写用のパターンが形成されたマスクを
   露光用の照明光で照明する照明光学系を有し、前記照明
   光のもとで感光基板上に前記マスクのパターンを転写す
   る露光装置において、 前記照明光の少なくとも一部の光束の光量を計測する光
   電センサと、 前記光電センサの暗電流を検出する手段と、 前記検出手段の検出値に基づいて前記光電センサの受光
   面の温度を制御する温度制御手段とを備えたことを特徴
   とする露光装置。
3. 【請求項３】 前記露光用の照明光がパルス状の照明光
   であり、前記検出手段は前記光電センサの暗電流を前記
   パルス状の照明の合間に検出することを特徴とする請求
   項１または２に記載の露光装置。
4. 【請求項４】 転写用のパターンが形成されたマスクを
   露光用の照明光で照明する照明光学系を有し、前記照明
   光のもとで感光基板上に前記マスクのパターンを転写す
   る露光装置において、 前記照明光の少なくとも一部の光束の光量を計測する光
   電センサと、 前記光電センサの順方向電圧を検出する手段と、 前記検出手段により検出された順方向電圧に基づいて前
   記光電センサの出力に対するゲインを制御する利得制御
   手段とを備えたことを特徴とする露光装置。
5. 【請求項５】 転写用のパターンが形成されたマスクを
   露光用の照明光で照明する照明光学系を有し、前記照明
   光のもとで感光基板上に前記マスクのパターンを転写す
   る露光装置において、 前記照明光の少なくとも一部の光束の光量を計測する光
   電センサと、 前記光電センサの順方向電圧を検出する手段と、 前記検出手段により検出値に基づいて前記光電センサの
   受光面の温度を制御する温度制御手段とを備えたことを
   特徴とする露光装置。
6. 【請求項６】 前記露光用の照明光がパルス状の照明光
   であり、前記検出手段は前記光電センサの順方向電圧を
   前記パルス状の照明の合間に検出することを特徴とする
   請求項４または５に記載の露光装置。
7. 【請求項７】 前記光電センサがフォトダイオードであ
   る請求項１〜６のいずれか１つに記載の露光装置。
8. 【請求項８】 請求項１〜６のいずれか１つに記載の露
   光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデ
   バイス製造方法。