JP3890131B2

JP3890131B2 - 露光装置およびデバイス製造方法

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Publication number: JP3890131B2
Application number: JP36371597A
Authority: JP
Inventors: 康義山津
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Priority date: 1997-12-17
Filing date: 1997-12-17
Publication date: 2007-03-07
Anticipated expiration: 2017-12-17
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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子や液晶表示素子等を、フォトリソグラフィ工程で製造する際に使用される露光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスまたは液晶表示素子等をフォトリソグラフィ技術を用いて製造する際に、レチクルのパターンをウエハに塗布された感光材に露光する露光装置が使用されている。一般にウエハに塗布された感光材には適正露光量が定められているので、従来の露光装置では、照明光の照明光学系中にビームスプリッタを配置して、このビームスプリッタにより分岐した照明光の一部の光量を光電センサに照射することにより、そのウエハ上での露光量をモニタしている。そして、ウエハ上での露光量がその適正露光量に達した時にそのウエハの現在のショッ卜領域への露光量を停止することにより、露光量制御が行なわれる。
【０００３】
ところが露光量が多い場合、光電センサに照射されるモニタ光量が増えて光電センサの温度が上昇し、これにより光電センサの感度が変化し、正確な露光量制御を行なうための正確な露光量が得られない場合が生じてきた。
【０００４】
この対策として、特開平９−２２１２０号公報においては、照明光の一部の光束の光量を計測する光電センサと、光電センサの受光面の温度を検出する温度検出手段とを備え、温度検出手段により検出された温度に基づいて光電センサの温度変化に伴う感度変化を補正するように構成している。
【０００５】
また、照明光の一部の光束の光量を計測する光電センサと、光電センサの受光面の温度を検出する温度検出手段と、光電センサの受光面の温度を制御する温度制御手段とを備え、温度検出手段の検出値に基づいて温度制御手段を制御し、光電センサの受光面の温度を安定化し、光電センサの感度を一定に保つように構成している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来例の構成では、光電センサの受光面の近傍に温度検出手段とを備えても、光電センサと温度検出手段が別物であるがゆえに若干の温度差が生じ、正確な光電センサの受光面の温度を検出することができず、光電センサの感度を正確に補正することや、光電センサの受光面の温度を正確に安定化することができなかった。この結果、正確な露光量等を得ることが不可能であった。
【０００７】
また、エキシマレーザ等の強力なパルスレーザを照明光として用いる場合、パルス発光による電気ノイズが発生し、これが温度検出回路に影響を与え、正確な光電センサの受光面の温度を検出することができず、光電センサの感度を正確に補正することや、光電センサの受光面の温度を正確に安定化することができなかった。この結果、正確な露光量等を得ることが不可能であった。
【０００８】
本発明は、露光装置において、露光量をより正確に計測することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明に係る第１の露光装置は、パターンが形成されたマスクに対しパルス状照明光で複数回の照明を行い、照明された前記パターンを基板に投影して転写する露光装置において、
前記パルス状照明光の一部の光量を検出する光電センサと、
前記光電センサの暗電流を検出する検出手段と、
前記光電センサの出力電流を電圧に変換する電流電圧変換手段と、
前記複数回の照明における各照明に関して、前記検出手段に照明の合間に前記光電センサの暗電流を検出させ、前記光電センサに光量を検出させ、かつ前記検出手段により検出された暗電流に基づき、前記光電センサの暗電流および感度に関し前記光電センサの出力を補正するように、前記電流電圧変換手段のゲインを制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。
また、本発明に係る第２の露光装置は、パターンが形成されたマスクに対しパルス状照明光で複数回の照明を行い、照明された前記パターンを基板に投影して転写する露光装置において、
前記パルス状照明光の一部の光量を検出する光電センサと、
前記光電センサの順方向電圧を検出する検出手段と、
前記光電センサの出力電流を電圧に変換する電流電圧変換手段と、
前記複数回の照明における各照明に関して、前記検出手段に照明の合間に前記光電センサの順方向電圧を検出させ、前記光電センサに光量を検出させ、かつ前記検出手段により検出された順方向電圧に基づき、前記光電センサの順方向電圧および感度に関し前記光電センサの出力を補正するように、前記電流電圧変換手段のゲインを制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
【作用】
本発明によれば、光電センサの温度特性を逆に利用し、光電センサ自身を温度検出手段として用いることにより、温度センサが不要になり、かつ光電センサの温度変動に起因する感度または露光量計測値の変動をより正確に補正または補償することができる。また、パルス状の照明の合間に、光電センサの暗電流または順方向電圧を検出することにより、光電センサによる露光量計測値の変動要因をノイズに左右されずにより正確に測定することができる。
さらに、光電センサの暗電流および順方向電圧は経時的にも変化し、光電センサによる検出値はこの経時変化によっても変化する。本発明によれば、暗電流または順方向電圧の経時変化による露光量計測値の変動の補正または補償を行うことも可能である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態に係る露光装置は、照明光の一部の光束の光量を計測する光電センサと、本光電センサの暗電流または順方向電圧を検出する手段とを備え、本検出手段により検出された暗電流の変化分または順方向電圧に基づいて光電センサの温度変化に伴う感度変化を補正するように動作するものである。
【００１２】
また本発明の第２の実施の形態に係る露光装置は、照明光の一部の光束の光量を計測する光電センサと、本光電センサの暗電流または順方向電圧を検出する手段と、本光電センサの受光面の温度を制御する温度制御手段とを備え、本検出手段の検出値に基づいて温度制御手段を制御して光電センサの受光面の温度を安定化し、光電センサの温度変化に伴う感度変化を除去するように動作するものである。
【００１３】
また本発明の第３の実施の形態に係る露光装置は、パルス状の照明光の一部の光束の光量を計測する光電センサと、パルス状の照明の合間に光電センサの暗電流または順方向電圧を検出する手段とを備え、本検出手段により検出された暗電流の変化分または順方向電圧に基づいて、光電センサの温度変化に伴う感度変化を補正するように動作するものである。
【００１４】
また本発明の第４の実施の形態に係る露光装置は、パルス状の照明光の一部の光束の光量を計測する光電センサと、パルス状の照明の合間に光電センサの暗電流または順方向電圧を検出する手段と、光電センサの受光面の温度を制御する温度制御手段とを備え、本検出手段の検出値に基づいて温度制御手段を制御し、光電センサの受光面の温度を安定化して光電センサの温度変化に伴う感度変化を除去するように動作するものである。
【００１５】
【実施例】
(第１の実施例)
図１は本発明の一実施例に係る露光装置要部の概略構成を示す図面である。同図において、１は光源であるところのエキシマレーザであり、後述する主制御系２５の発振指令により、パルス状の照明光を発生する。２はビーム整形光学系であり、エキシマレーザ１から出射された照明光が、所望の断面形状の平行光束に整形される。３は１／４波長板であり、ビーム整形光学系２を通った直線偏光の照明光を、円偏光に変換する。４は反射鏡、５はフライアイレンズであり、フライアイレンズ５の射出面には多数の光源像が形成され、これにより照明光の照度分布の平坦化が行なわれる。６はビームスプリッタであり、フライアイレンズ５を通った照明光がここで分割される。７は後述のレチクルを均一な照度分布で照明するためのレンズ群、８は反射鏡である。９はレチクル、１０は投影光学系、１１はウエハであり、レチクル９上のパターンが、投影光学系１０を介してウエハ１１に投影露光される。１２はビームスプリッタ６で反射された光を集める集光レンズ、１３は集光された光束、１４は光束１３を入射し、電圧に変換することを主目的とする積算露光部である。
【００１６】
図２は、図１における積算露光部１４の詳細を示す。１５はフォトダイオードであり、その受光面はウエハ１１（図１）の露光面と共役の位置にある。１６はフォトダイオード１５の出力電流を電圧に変換する電流電圧変換器、１７はフォトダイオードの暗電流を測定する暗電流測定器、１８は切換器であり、フォトダイオード１５を電流電圧変換器１６に接続するか、暗電流測定器１７に接続するか選択する。１９は電流電圧変換器１６の電圧出力を積算する露光量積算器、２０は切換器１８への切換え指令信号、２１は露光量積算器１９からの積算露光量データ、２２は暗電流測定器１７からの暗電流データである。２３は電流電圧変換器１６に対する補正指令信号である。
【００１７】
図１に戻り、２５は主制御系であり、切換器１８を駆動し、フォトダイオード１５を電流電圧変換器１６（図２）に接続し、エキシマレーザ１に発振指令２４を与え、露光量積算器１９を経た積算露光データ２１を得ることができる。また主制御系２５は、積算露光部１４の切換器１８を駆動し、フォトダイオード１５を暗電流測定器１７に接続することができる。ここでフォトダイオードの暗電流は、一般的に図３に示すような温度依存性をもつ。したがって、暗電流測定器１７の暗電流出力は、フォトダイオード１５の温度を忠実に表わす。
また主制御装置２５は電流電圧変換器１６に対し、暗電流データ２２、すなわちフォトダイオード１５の温度に従った補正指令信号２３を与えることができる。
【００１８】
以上が本実施例の構成であり、上記構成において順を追って動作を説明する。主制御装置２５はエキシマレーザ１を発振させる前に、光束１３がフォトダイオード１５に照射されていない状態で切換器１８を駆動し、フォトダイオード１５を暗電流測定器１７側に接続し、フォトダイオード１５の暗電流データ２２を受け取り、この暗電流に対応する温度でフォトダイオード１５に光束１３を照射した場合の感度の補正値を計算し、電流電圧変換器１６に対し、補正指令信号２３を与えておく。
【００１９】
つぎに主制御装置２５は切換器１８を駆動し、フォトダイオード１５を電流電圧変換器１６側に接続した状態で、エキシマレーザ１に発振指令２４を出す。エキシマレーザから出射された照明光は、ビーム整形光学系２により所望の断面形状の平行光束に整形され、１／４波長板３により直線偏光から円偏光に変換されて反射鏡４で反射された後にフライアイレンズ５に入射する。フライアイレンズ５の射出面には面状の２次光源が形成され、この面状の２次光源からのレーザ光が重畳的にビームスプリッタ６に入射し、ビームスプリッタ６を透過した光はレンズ群７、反射鏡８を経て均一な照度分布でレチクル９を照明する。これにより、レチクル９のパターンが投影光学系１０によってウエハ１１上に結像される。
【００２０】
一方、フライアイレンズ５の直後のビームスプリッタ６で反射された照明光は、集光レンズ１２を介して光束１３となる。ここで光束１３はウエハに結像される光量に比例することになる。フォトダイオード１５は、入射光量に比例した電流を発生し、これが電流電圧変換器１６に入り、補正指令信号２３により感度が補正され、電圧に変換される。その後、電流電圧変換器１６の出力は、露光量積算器１９に入り積算される。
【００２１】
主制御系２５は、エキシマレーザ１に次の発振指令２４を与える前に、再度切換器１８を駆動し、フォトダイオード１５を暗電流測定器１７側に接続し、先のエキシマレーザ１の発振により上昇したフォトダイオード１５の暗電流を測定し、感度の補正値を計算し直し、電流電圧変換器１６に新しい補正指令信号２３を送る。
【００２２】
その後、切換器１８を駆動しフォトダイオード１５を電流電圧変換器１６側に接続し、エキシマレーザ１に発振指令２４を与えることにより、前回と同様に電流電圧変換器１６の出力が、露光量積算器１９に入り積算される。
【００２３】
このように露光量積算器１９からの積算露光データ２１が所望の値になるまで、前述のフォトダイオード１５の暗電流測定、補正値の計算、エキシマレーザ発振と露光量の積算を繰り返すことにより、フォトダイオード１５の暗電流（すなわち温度）にかかわらない正確な露光量でウエハ１１を露光することが可能となる。
【００２４】
なお、本実施例によれば、フォトダイオード１５の暗電流に基づいて、電流電圧変換器１６のゲインを制御するようにしたため、温度変化によるフォトダイオード１５の感度の変化のみならず、フォトダイオード１５の暗電流の経時変化による露光量の積算誤差をも補正可能である。
【００２５】
(第２の実施例)
図４は本発明の第２の実施例を表す図面である。同図において、積算露光部１４と、加温指令信号２７以外は第１の実施例と構成が同じである。
【００２６】
図５を用いて、積算露光部１４の詳細を示す。２６はヒータであり、加温指令信号２７の指令により、フォトダイオード１５を加熱することができる。
【００２７】
上記構成において順を追って動作を説明する。
主制御装置２５はエキシマレーザ１を発振させる前に、光束１３がフォトダイオード１５に照射されていない状態で、切換器１８を駆動し、フォトダイオード１５を暗電流測定器１７側に接続し、フォトダイオード１５の暗電流データ２２を受け取る。
【００２８】
次に主制御装置２５はフォトダイオード１５が所望の温度になるように加温指令信号２７を出し、ヒータ２６により温度制御をかける。暗電流測定器１７で計測される暗電流が所望の値（すなわちフォトダイオード１５の受光面が所望の温度）になったら、第１の実施例と同様に、主制御装置２５は切換器１８を駆動し、フォトダイオード１５を電流電圧変換器１６側に接続した状態で、エキシマレーザ１に発振指令２４を出す。エキシマレーザから出射された照明光は、ビーム整形光学系２により所望の断面形状の平行光束に整形され、１／４波長板３により直線偏光から円偏光に変換されて反射鏡４で反射された後にフライアイレンズ５に入射する。フライアイレンズ５の射出面には面状の２次光源が形成され、この面状の２次光源からのレーザ光が重畳的にビームスプリッタ６に入射し、ビームスプリッタ６を透過した光はレンズ群７、反射鏡８を経て均一な照度分布でレチクル９を照明する。これにより、レチクル９のパターンが投影光学系１０によってウエハ１１上に結像される。
【００２９】
一方、フライアイレンズ５の直後のビームスプリッタ６で反射された照明光は、集光レンズ１２を介して光束１３となる。ここで光束１３はウエハに結像される光量に比例することになる。フォトダイオード１５は、入射光量に比例した電流を発生し、これが電流電圧変換器１６に入り、電圧に変換される。その後、電流電圧変換器１６の出力は、露光量積算器１９に入り積算される。
【００３０】
主制御系２５は、エキシマレーザ１に次の発振指令２４を与える前に、再度切換器１８を駆動し、フォトダイオード１５を暗電流測定器１７側に接続し、フォトダイオード１５の暗電流データ２２を受け取り、ヒータ２６に加温指令信号２７を与えることにより温度制御をかけ、フォトダイオード１５を所望の温度に保つ。
【００３１】
その後、切換器１８を駆動しフォトダイオード１５を電流電圧変換器１６側に接続し、エキシマレーザ１に発振指令２４を与えることにより、前回と同様に電流電圧変換器１６の出力が、露光量積算器１９に入り積算される。
【００３２】
このように露光量積算器１９からの積算露光データ２１が所望の値になるまで、前述のフォトダイオード１５の暗電流測定、ヒータ２６によるフォトダイオード１５の温度制御、エキシマレーザ発振と露光量の積算を繰り返すことにより、正確な露光量でウエハ１１を露光することが可能となる。
【００３３】
(第３の実施例)
図６は、積算露光部１４の他の実施例を表す図面である。同図において、図２の構成との相違を述べると、２８はフォトダイオード１５の順方向電圧を測定する順方向電圧測定器で、順方向電圧データ３０を出力する。２９は切換器であり、フォトダイオード１５を電流電圧変換器１６に接続するか、順方向電圧測定器２８に接続するか選択する。ここでフォトダイオードの順方向電圧は、一般的に図７に示すような温度依存性をもつ。すなわち、Ｔ０度の状態で電流Ｉ１を流したときは順電圧Ｖ０が発生するが、Ｔ１度の状態で電流Ｉ１を流したときの順電圧はＶ１になるので、順方向電圧測定器２８の順方向電圧出力３０は、フォトダイオード１５の温度を忠実に表わす。
【００３４】
上記構成において順を追って動作を説明する。
主制御装置２５はエキシマレーザ１を発振させる前に、光束１３がフォトダイオード１５に照射されていない状態で切換器２９を駆動し、フォトダイオード１５を順方向電圧測定器２８側に接続し、フォトダイオード１５の順方向電圧データ３０を受け取り、この順方向電圧に対応する温度でフォトダイオード１５に光束１３を照射した場合の感度の補正値を計算し、電流電圧変換器１６に対し、補正指令信号２３を与えておく。
【００３５】
つぎに主制御装置２５は実施例１と同様に切換器１８を駆動し、フォトダイオード１５を電流電圧変換器１６側に接続した状態で、エキシマレーザ１に発振指令２４を出す。エキシマレーザから出射された照明光は、ビーム整形光学系２により所望の断面形状の平行光束に整形され、１／４波長板３により直線偏光から円偏光に変換されて反射鏡４で反射された後にフライアイレンズ５に入射する。フライアイレンズ５の射出面には面状の２次光源が形成され、この面状の２次光源からのレーザ光が重畳的にビームスプリッタ６に入射し、ビームスプリッタ６を透過した光はレンズ群７、反射鏡８を経て均一な照度分布でレチクル９を照明する。これにより、レチクル９のパターンが投影光学系１０によってウエハ１１上に結像される。
【００３６】
一方、フライアイレンズ５の直後のビームスプリッタ６で反射された照明光は、集光レンズ１２を介して光束１３となる。ここで光束１３はウエハに結像される光量に比例することになる。フォトダイオード１５は、入射光量に比例した電流を発生し、これが電流電圧変換器１６に入り、補正指令信号２３により感度が補正され、電圧に変換される。その後、電流電圧変換器１６の出力は、露光量積算器１９に入り積算される。
【００３７】
主制御系２５は、エキシマレーザ１に次の発振指令２４を与える前に、再度切換器２９を駆動し、フォトダイオード１５を順方向電圧測定器２８側に接続し、先のエキシマレーザ１の発振により上昇したフォトダイオード１５の順方向電圧を測定し、感度の補正値を計算し直し、電流電圧変換器１６に新しい補正指令信号２３を送る。
【００３８】
その後、切換器１８を駆動しフォトダイオード１５を電流電圧変換器１６側に接続し、エキシマレーザ１に発振指令２４を与えることにより、前回と同様に電流電圧変換器１６の出力が、露光量積算器１９に入り積算される。
【００３９】
このように露光量積算器１９からの積算露光データ２１が所望の値になるまで、前述のフォトダイオード１５の順方向電圧測定、補正値の計算、エキシマレーザ発振と露光量の積算を繰り返すことにより、フォトダイオード１５の順方向電圧、したがって温度にかかわらない正確な露光量でウエハ１１を露光することが可能となる。
【００４０】
なお、本実施例によれば、フォトダイオード１５の順方向電圧に基づいて、電流電圧変換器１６のゲインを制御するようにしたため、温度変化によるフォトダイオード１５の感度の変化のみならず、フォトダイオード１５の順方向電圧の経時変化による露光量積算の誤差をも補正可能である。
【００４１】
【デバイス生産方法の実施例】
次に上記説明した露光装置または露光方法を利用したデバイスの生産方法の実施例を説明する。
図８は微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の製造のフローを示す。ステップ１（回路設計）ではデバイスのパターン設計を行なう。ステップ２（マスク製作）では設計したパターンを形成したマスクを製作する。一方、ステップ３（ウエハ製造）ではシリコンやガラス等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷（ステップ７）される。
【００４２】
図９は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステップ１６（露光）では上記説明した積算露光量計測装置を有する露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ１７（現像）では露光したウエハを現像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジスト剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
【００４３】
本実施例の生産方法を用いれば、従来は製造が難しかった高集積度のデバイスを低コストに製造することができる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、露光量をより正確に測定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る露光装置の要部概略図である。
【図２】図１における積算露光部１４の一例を示す図である。
【図３】フォトダイオードの暗電流の温度特性を示す概略図である。
【図４】本発明の他の実施例に係る露光装置の要部概略図である。。
【図５】図４における積算露光部１４の一例を示す図である。
【図６】図１における積算露光部１４の他の例を示す図である。
【図７】フォトダイオードの順電圧の温度特性を示す概略図である。
【図８】微小デバイスの製造の流れを示す図である。
【図９】図８におけるウエハプロセスの詳細な流れを示す図である。
【符号の説明】
１：エキシマレーザ、２：ビーム整形光学系、３：１／４波長板、４：反射鏡、５：フライアイレンズ、６：ビームスプリッタ、７：レンズ群、８：反射鏡、９：レチクル、１０：投影光学系、１１：ウエハ、１２：集光レンズ、１３：集光された光束、１４：積算露光部、１５：フォトダイオード、１６：電流電圧変換器、１７：暗電流測定器、１８：切換器、１９：露光量積算器、２０：切換え指令信号、２１：積算露光量データ、２２：暗電流データ、２３：補正指令信号、２４：発振指令、２５：主制御系、２６：ヒータ、２７：加温指令信号、２８：順方向電圧測定器、２９：切換器、３０：順方向電圧データ。

Claims

パターンが形成されたマスクに対しパルス状照明光で複数回の照明を行い、照明された前記パターンを基板に投影して転写する露光装置において、
前記パルス状照明光の一部の光量を検出する光電センサと、
前記光電センサの暗電流を検出する検出手段と、
前記光電センサの出力電流を電圧に変換する電流電圧変換手段と、
前記複数回の照明における各照明に関して、前記検出手段に照明の合間に前記光電センサの暗電流を検出させ、前記光電センサに光量を検出させ、かつ前記検出手段により検出された暗電流に基づき、前記光電センサの暗電流および感度に関し前記光電センサの出力を補正するように、前記電流電圧変換手段のゲインを制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする露光装置。
前記制御手段は、前記各照明の前に、前記検出手段に前記光電センサの暗電流を検出させることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
パターンが形成されたマスクに対しパルス状照明光で複数回の照明を行い、照明された前記パターンを基板に投影して転写する露光装置において、
前記パルス状照明光の一部の光量を検出する光電センサと、
前記光電センサの順方向電圧を検出する検出手段と、
前記光電センサの出力電流を電圧に変換する電流電圧変換手段と、
前記複数回の照明における各照明に関して、前記検出手段に照明の合間に前記光電センサの順方向電圧を検出させ、前記光電センサに光量を検出させ、かつ前記検出手段により検出された順方向電圧に基づき、前記光電センサの順方向電圧および感度に関し前記光電センサの出力を補正するように、前記電流電圧変換手段のゲインを制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする露光装置。
前記制御手段は、前記各照明の前に、前記検出手段に前記光電センサの順方向電圧を検出させることを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
前記光電センサがフォトダイオードであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の露光装置。
請求項１〜５のいずれかに記載の露光装置を用いてマスクに形成されたパターンを基板に投影するステップを有することを特徴とするデバイス製造方法。