JPH11160472A - Ｘｙステージ - Google Patents
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- JPH11160472A JPH11160472A JP10207548A JP20754898A JPH11160472A JP H11160472 A JPH11160472 A JP H11160472A JP 10207548 A JP10207548 A JP 10207548A JP 20754898 A JP20754898 A JP 20754898A JP H11160472 A JPH11160472 A JP H11160472A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
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- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T74/18848—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including flexible drive connector [e.g., belt, chain, strand, etc.] with pulley
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ベルト駆動方式を用いてパーティクルの発生
を防止し、部品の耐久性を向上させ、ベルト駆動を選択
的に解除でき、高速移動を容易に実行できるＸＹステー
ジを提供する。 【解決手段】 Ｘ軸方向に移動可能なＸ軸移動板４２を
有し、このＸ軸移動板４２の上部にウェーハを固定する
ウェーハホルダ４１を設け、Ｘ軸移動板４２をＹ軸方向
に移動させるＹ軸移動板４４を備えるとともに、このＹ
軸移動板４４を搭載して一端側を顕微鏡に固定した固定
板４６を備え、Ｘ軸移動板４６をＸ軸方向に移動させる
ためにＸ軸方向に設けたＸ軸ベルト６２を有するＸ軸駆
動装置を設け、Ｙ軸移動板４２をＹ軸方向に移動させる
ためにＹ軸方向に設けたＹ軸ベルト６５を有するＹ軸駆
動装置を設ける。また、Ｘ軸ベルト６２及びＹ軸ベルト
６５は、タイミングベルト方式に設けてパーティクル及
び振動の発生を防止する。
を防止し、部品の耐久性を向上させ、ベルト駆動を選択
的に解除でき、高速移動を容易に実行できるＸＹステー
ジを提供する。 【解決手段】 Ｘ軸方向に移動可能なＸ軸移動板４２を
有し、このＸ軸移動板４２の上部にウェーハを固定する
ウェーハホルダ４１を設け、Ｘ軸移動板４２をＹ軸方向
に移動させるＹ軸移動板４４を備えるとともに、このＹ
軸移動板４４を搭載して一端側を顕微鏡に固定した固定
板４６を備え、Ｘ軸移動板４６をＸ軸方向に移動させる
ためにＸ軸方向に設けたＸ軸ベルト６２を有するＸ軸駆
動装置を設け、Ｙ軸移動板４２をＹ軸方向に移動させる
ためにＹ軸方向に設けたＹ軸ベルト６５を有するＹ軸駆
動装置を設ける。また、Ｘ軸ベルト６２及びＹ軸ベルト
６５は、タイミングベルト方式に設けてパーティクル及
び振動の発生を防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＸＹステージに係
り、より詳細には被写体を載置して所定位置に移動させ
て容易に顕微鏡により検査可能にするＸＹステージに関
する。
り、より詳細には被写体を載置して所定位置に移動させ
て容易に顕微鏡により検査可能にするＸＹステージに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、被写体を拡大して観察する顕微鏡
は、各分野において広く使用されており、そのうち、半
導体工程においてはウェーハ表面に形成された微細なパ
ターンを観察するために種々の顕微鏡が使用されてい
る。特に、半導体工程は、高精度を求める工程であっ
て、一度問題が発生するとウェーハは完全に無駄になる
場合が多いため、問題が生じると同時にＳＰＥＣが外れ
たウェーハや低い収率のウェーハは早急に取り去るべき
である。従って、ウェーハは、工程ステップを通過する
際、種々のテスト及び評価をしなければならない。
は、各分野において広く使用されており、そのうち、半
導体工程においてはウェーハ表面に形成された微細なパ
ターンを観察するために種々の顕微鏡が使用されてい
る。特に、半導体工程は、高精度を求める工程であっ
て、一度問題が発生するとウェーハは完全に無駄になる
場合が多いため、問題が生じると同時にＳＰＥＣが外れ
たウェーハや低い収率のウェーハは早急に取り去るべき
である。従って、ウェーハは、工程ステップを通過する
際、種々のテスト及び評価をしなければならない。
【０００３】一般に、前述したテストのうちウェーハの
汚染物質や加工不良などの検査は、ウェーハの高い収率
及び汚染調節のために必須である。このようなウェーハ
の汚染度や加工不良状態の検査は、肉眼や顕微鏡を通し
て作業者が確認して、必要な処理を施すようになってい
る。一方、製造ラインにおいては、最も一般的に用いら
れる簡単な検査方法としてウェーハを目で検査するウェ
ーハ肉眼検査方法がある。このウェーハ肉眼検査は、平
行白色光または単色の短波長の光が特定の角度で明るく
光る性質を用いることにより、埃粒子などの極めて小片
の汚染物まで確認できる。この肉眼検査で確認できない
ウェーハの汚染は、金属顕微鏡や電子顕微鏡を通してさ
らに正確に確認する。
汚染物質や加工不良などの検査は、ウェーハの高い収率
及び汚染調節のために必須である。このようなウェーハ
の汚染度や加工不良状態の検査は、肉眼や顕微鏡を通し
て作業者が確認して、必要な処理を施すようになってい
る。一方、製造ラインにおいては、最も一般的に用いら
れる簡単な検査方法としてウェーハを目で検査するウェ
ーハ肉眼検査方法がある。このウェーハ肉眼検査は、平
行白色光または単色の短波長の光が特定の角度で明るく
光る性質を用いることにより、埃粒子などの極めて小片
の汚染物まで確認できる。この肉眼検査で確認できない
ウェーハの汚染は、金属顕微鏡や電子顕微鏡を通してさ
らに正確に確認する。
【０００４】このような従来の半導体ウェーハ検査は、
作業者がカセットに載置したウェーハを手動式真空ピン
セットにより真空吸着した後、カセットから取り出して
クリーンルームの天井に設けられた蛍光灯の光や一般の
スタンド照明に照らして目で確認する方法がある。ま
た、半導体ウェーハの検査は、顕微鏡に自動移送するＸ
Ｙステージを設けて肉眼検査を実行した後、疑わしいウ
ェーハを顕微鏡に自動移送して精密検査する方法があ
る。図７は、このような従来のＸＹステージを備えた顕
微鏡を示す正面図である。
作業者がカセットに載置したウェーハを手動式真空ピン
セットにより真空吸着した後、カセットから取り出して
クリーンルームの天井に設けられた蛍光灯の光や一般の
スタンド照明に照らして目で確認する方法がある。ま
た、半導体ウェーハの検査は、顕微鏡に自動移送するＸ
Ｙステージを設けて肉眼検査を実行した後、疑わしいウ
ェーハを顕微鏡に自動移送して精密検査する方法があ
る。図７は、このような従来のＸＹステージを備えた顕
微鏡を示す正面図である。
【０００５】図７に示すように、従来のＸＹステージを
備えた顕微鏡は、接眼レンズ４と対物レンズ３とを備
え、この下部にウェーハ１を載置するＸＹステージ１０
を備えている。また、ＸＹステージ１０の近傍には、ウ
ェーハ１を載置して反射角を調節する角度調節装置を備
えたオートローダ５が設けてある。この従来のＸＹステ
ージを備えた顕微鏡は、ウェーハ１を載置して、このウ
ェーハ１の反射角を角度調節装置により調節し、このオ
ートローダ５で肉眼検査を実行する。その後、不良が疑
わしいウェーハ１を発見すると、オートローダ５がウェ
ーハ１を自動移送し、顕微鏡２の下部に設置する。そし
てウェーハ１は、接眼レンズ４と対物レンズ３とを用い
て肉眼で調査できない情報まで観察可能な顕微鏡２によ
り精密検査する。
備えた顕微鏡は、接眼レンズ４と対物レンズ３とを備
え、この下部にウェーハ１を載置するＸＹステージ１０
を備えている。また、ＸＹステージ１０の近傍には、ウ
ェーハ１を載置して反射角を調節する角度調節装置を備
えたオートローダ５が設けてある。この従来のＸＹステ
ージを備えた顕微鏡は、ウェーハ１を載置して、このウ
ェーハ１の反射角を角度調節装置により調節し、このオ
ートローダ５で肉眼検査を実行する。その後、不良が疑
わしいウェーハ１を発見すると、オートローダ５がウェ
ーハ１を自動移送し、顕微鏡２の下部に設置する。そし
てウェーハ１は、接眼レンズ４と対物レンズ３とを用い
て肉眼で調査できない情報まで観察可能な顕微鏡２によ
り精密検査する。
【０００６】この際、ＸＹステージ１０は、顕微鏡２の
下部でオートローダ５からウェーハ１を受け取り真空吸
着し、顕微鏡２がウェーハ１の表面を全て検査できるよ
うウェーハ１を前後左右、すなわちＸ軸及びＹ軸に動く
ように設けてある。図８は、図７に示したＸＹステージ
１０の内部構造を示す平面図である。また、図９は、図
８に示したＸＹステージ１０の組み立て構造を示す分解
斜視図である。
下部でオートローダ５からウェーハ１を受け取り真空吸
着し、顕微鏡２がウェーハ１の表面を全て検査できるよ
うウェーハ１を前後左右、すなわちＸ軸及びＹ軸に動く
ように設けてある。図８は、図７に示したＸＹステージ
１０の内部構造を示す平面図である。また、図９は、図
８に示したＸＹステージ１０の組み立て構造を示す分解
斜視図である。
【０００７】図８及び図９に示すように、ＸＹステージ
１０は、オートローダ５からウェーハ１を受け取り表面
に真空吸着する回転自在に装着されたウェーハホルダ１
１と、Ｘ軸方向に移動可能なＸ軸移動板１２と、Ｘ軸移
動板１２の左右側面に軸受２１（図９参照）を挟んで設
けられてＸ軸移動板１２をＸ軸方向に移動できるように
案内してＸ軸移動板１２と共にＹ軸方向に移動可能に二
枚設けたＹ軸移動板１４と、このＹ軸移動板１４及びＸ
軸移動板１２をＹ軸方向に案内して保持するとともに顕
微鏡２の下部に固定される固定板１６とが設けてある。
１０は、オートローダ５からウェーハ１を受け取り表面
に真空吸着する回転自在に装着されたウェーハホルダ１
１と、Ｘ軸方向に移動可能なＸ軸移動板１２と、Ｘ軸移
動板１２の左右側面に軸受２１（図９参照）を挟んで設
けられてＸ軸移動板１２をＸ軸方向に移動できるように
案内してＸ軸移動板１２と共にＹ軸方向に移動可能に二
枚設けたＹ軸移動板１４と、このＹ軸移動板１４及びＸ
軸移動板１２をＹ軸方向に案内して保持するとともに顕
微鏡２の下部に固定される固定板１６とが設けてある。
【０００８】また、ＸＹステージ１０には、図９に示し
たように、ウェーハ１を高速移動する際、作業者がＸ軸
移動板１２を把持して前後左右に移動しやすいようにＸ
軸移動板１２の一端側にジョイスティック１３が取り付
けられている。またＸＹステージ１０には、ウェーハ１
の精密移動及び精密移動する際に移動距離を微調整する
ため、Ｘ軸及びＹ軸方向の移動距離をそれぞれ微調整す
る二重調節ノブ２４を二枚のＹ軸移動板１４を互いに連
結したＹ軸移動板連結棒１５に回転可能に支持して設け
てある。
たように、ウェーハ１を高速移動する際、作業者がＸ軸
移動板１２を把持して前後左右に移動しやすいようにＸ
軸移動板１２の一端側にジョイスティック１３が取り付
けられている。またＸＹステージ１０には、ウェーハ１
の精密移動及び精密移動する際に移動距離を微調整する
ため、Ｘ軸及びＹ軸方向の移動距離をそれぞれ微調整す
る二重調節ノブ２４を二枚のＹ軸移動板１４を互いに連
結したＹ軸移動板連結棒１５に回転可能に支持して設け
てある。
【０００９】また、二重調節ノブ２４には、Ｘ軸移動調
節ノブ２２及びＹ軸移動調節ノブ２３を備えている。こ
のＸ軸移動調節ノブ２２及びＹ軸移動調節ノブ２３は、
Ｘ軸ピニオン１８及びＹ軸ピニオン２０にそれぞれ連結
されている。またＸ軸ピニオン１８及びＹ軸ピニオン２
０は、Ｘ軸ラック１７及びＹ軸ラック１９に噛み合うよ
うに装着されている。このＸ軸ラック１７及びＹ軸ラッ
ク１９は、Ｘ軸移動板１２と二枚のＹ軸移動板１４とに
それぞれ固定されている。
節ノブ２２及びＹ軸移動調節ノブ２３を備えている。こ
のＸ軸移動調節ノブ２２及びＹ軸移動調節ノブ２３は、
Ｘ軸ピニオン１８及びＹ軸ピニオン２０にそれぞれ連結
されている。またＸ軸ピニオン１８及びＹ軸ピニオン２
０は、Ｘ軸ラック１７及びＹ軸ラック１９に噛み合うよ
うに装着されている。このＸ軸ラック１７及びＹ軸ラッ
ク１９は、Ｘ軸移動板１２と二枚のＹ軸移動板１４とに
それぞれ固定されている。
【００１０】従って、このような噛合式のＸＹステージ
１０によれば、顕微鏡によりウェーハ１を検査する際、
二重調節ノブ２４のＸ軸移動調節ノブ２２及びＹ軸移動
調節ノブ２３をそれぞれ回転させ、ウェーハ１をＸ軸及
びＹ軸方向に微調整して検査できる。また、ＸＹステー
ジ１０は、作業者がジョイスティック１３を把持した状
態でＸ軸移動板１２及びＹ軸移動板１４を高速で無理や
り移動することができる。
１０によれば、顕微鏡によりウェーハ１を検査する際、
二重調節ノブ２４のＸ軸移動調節ノブ２２及びＹ軸移動
調節ノブ２３をそれぞれ回転させ、ウェーハ１をＸ軸及
びＹ軸方向に微調整して検査できる。また、ＸＹステー
ジ１０は、作業者がジョイスティック１３を把持した状
態でＸ軸移動板１２及びＹ軸移動板１４を高速で無理や
り移動することができる。
【００１１】このように、従来のＸＹステージを備えた
顕微鏡は、ＸＹステージを設けることによりウェーハ１
をＸＹ方向に移動することで顕微鏡２による精密検査を
容易に実行していた。
顕微鏡は、ＸＹステージを設けることによりウェーハ１
をＸＹ方向に移動することで顕微鏡２による精密検査を
容易に実行していた。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＸＹステージでは、高速移動時や精密移動する際に常に
ラックとピニオンとが噛み合って駆動しているため、歯
車の摩耗により負荷が加えられてパーティクルが発生
し、このパーティクルがウェーハに付着して悪影響を与
えるという不具合があった。また、頻繁な移動により負
荷が多くかかるラックの中央部に歯車摩耗が悪化して歯
車の間隙により生ずるバックラッシ（ｂａｃｋｌａｓ
ｈ）現象が発生するため、このバックラッシ現象により
ウェーハ移動時に振動が発生して歯車部品の寿命を縮め
てしまう不具合があった。また、図８に示した固定板１
６が水平を保てない場合にＸ軸移動板１２及びＹ軸移動
板１４が傾いた方向に移動してしてしまい観察及び写真
撮影ポイントが外れる現象が頻繁に発生する不具合があ
った。また、ラックに加えられる振動などの圧力がピニ
オンの噛み合う部位に加えられるため、ラックの固定部
位により生ずる遊びにより噛み合い状態が変化してウェ
ーハの移動を不均一にする問題点があった。さらに、ウ
ェーハを高速に移動する際にラックとピニオンとの噛み
合いを無理やり移動するので自由な移動が困難であり、
移動速度に限界があるという不具合があった。
ＸＹステージでは、高速移動時や精密移動する際に常に
ラックとピニオンとが噛み合って駆動しているため、歯
車の摩耗により負荷が加えられてパーティクルが発生
し、このパーティクルがウェーハに付着して悪影響を与
えるという不具合があった。また、頻繁な移動により負
荷が多くかかるラックの中央部に歯車摩耗が悪化して歯
車の間隙により生ずるバックラッシ（ｂａｃｋｌａｓ
ｈ）現象が発生するため、このバックラッシ現象により
ウェーハ移動時に振動が発生して歯車部品の寿命を縮め
てしまう不具合があった。また、図８に示した固定板１
６が水平を保てない場合にＸ軸移動板１２及びＹ軸移動
板１４が傾いた方向に移動してしてしまい観察及び写真
撮影ポイントが外れる現象が頻繁に発生する不具合があ
った。また、ラックに加えられる振動などの圧力がピニ
オンの噛み合う部位に加えられるため、ラックの固定部
位により生ずる遊びにより噛み合い状態が変化してウェ
ーハの移動を不均一にする問題点があった。さらに、ウ
ェーハを高速に移動する際にラックとピニオンとの噛み
合いを無理やり移動するので自由な移動が困難であり、
移動速度に限界があるという不具合があった。
【００１３】本発明は前述した問題点を解決し、ベルト
駆動方式を用いて歯車摩擦を防止してパーティクル及び
振動の発生を防止するとともに、振動がなく移動が均一
であり、部品の耐久性を向上させるＸＹステージを提供
することを目的とする。また、本発明の他の目的は、ベ
ルトによる駆動力を選択的に解除可能にし、ウェーハを
高速移動する移動速度を自由に設定可能にするとこも
に、ウェーハを一層精密に移動可能にし、顕微鏡観察や
写真撮影の際にウェーハが移動してしまうことを防止す
るＸＹステージを提供することを目的とする。
駆動方式を用いて歯車摩擦を防止してパーティクル及び
振動の発生を防止するとともに、振動がなく移動が均一
であり、部品の耐久性を向上させるＸＹステージを提供
することを目的とする。また、本発明の他の目的は、ベ
ルトによる駆動力を選択的に解除可能にし、ウェーハを
高速移動する移動速度を自由に設定可能にするとこも
に、ウェーハを一層精密に移動可能にし、顕微鏡観察や
写真撮影の際にウェーハが移動してしまうことを防止す
るＸＹステージを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するために、被写体を移動するとともに被写体の特定
位置を観察できるようにＸ軸及びＹ軸に水平移動させる
ＸＹステージは、上面に被写体を固定する被写体固定手
段が設けられてＸ軸方向に移動可能なＸ軸移動板と、Ｘ
軸移動板を搭載してＸ軸移動板がＸ軸方向へ移動するよ
うに案内するととにＹ軸方向に移動可能なＹ軸移動板
と、Ｙ軸移動板を搭載してＹ軸移動板がＹ軸方向に移動
するように案内するとともに一端側が顕微鏡の下部に取
り付けられる固定板と、Ｘ軸移動板をＸ軸方向に移動さ
せるためにＸ軸方向に設けられたベルトを有するＸ軸駆
動装置と、Ｙ軸移動板をＹ軸方向に移動させるためにＹ
軸方向に設けられたベルトを有するＹ軸駆動装置とを設
ける。
決するために、被写体を移動するとともに被写体の特定
位置を観察できるようにＸ軸及びＹ軸に水平移動させる
ＸＹステージは、上面に被写体を固定する被写体固定手
段が設けられてＸ軸方向に移動可能なＸ軸移動板と、Ｘ
軸移動板を搭載してＸ軸移動板がＸ軸方向へ移動するよ
うに案内するととにＹ軸方向に移動可能なＹ軸移動板
と、Ｙ軸移動板を搭載してＹ軸移動板がＹ軸方向に移動
するように案内するとともに一端側が顕微鏡の下部に取
り付けられる固定板と、Ｘ軸移動板をＸ軸方向に移動さ
せるためにＸ軸方向に設けられたベルトを有するＸ軸駆
動装置と、Ｙ軸移動板をＹ軸方向に移動させるためにＹ
軸方向に設けられたベルトを有するＹ軸駆動装置とを設
ける。
【００１５】また、望ましくは、Ｙ軸移動板は、Ｘ軸移
動板の左右側面に接触してＸ軸移動板のＸ軸移動を案内
する二枚の接触板状に形成され、二枚の接触板の底面は
Ｘ軸移動板の底面を横切るＹ軸移動板連結棒で互いに接
続する。そして、固定板は、Ｙ軸移動板の底面を接続し
たＹ軸移動板連結棒と噛み合ってＹ軸移動板のＹ軸方向
への摺動を案内することが好ましい。また、Ｘ軸駆動装
置は、Ｙ軸移動板に回転可能に支持されるＸ軸従動プー
リと、Ｙ軸移動板にＸ軸従動プーリとＸ軸方向とに一定
の距離を有して回転可能に支持されてＸ軸従動プーリに
駆動力を伝達するＸ軸駆動プーリと、Ｘ軸従動プーリと
Ｘ軸駆動プーリとの間に連動可能にＸ軸方向に設けられ
てＸ軸移動板に固定されたベルト把持部により選択的に
把持されるＸ軸ベルトと、Ｙ軸移動板に回転可能に設け
られてＸ軸駆動プーリに連結して回転させることにより
Ｘ軸移動板をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動調節ノブと
を設けることが望ましい。
動板の左右側面に接触してＸ軸移動板のＸ軸移動を案内
する二枚の接触板状に形成され、二枚の接触板の底面は
Ｘ軸移動板の底面を横切るＹ軸移動板連結棒で互いに接
続する。そして、固定板は、Ｙ軸移動板の底面を接続し
たＹ軸移動板連結棒と噛み合ってＹ軸移動板のＹ軸方向
への摺動を案内することが好ましい。また、Ｘ軸駆動装
置は、Ｙ軸移動板に回転可能に支持されるＸ軸従動プー
リと、Ｙ軸移動板にＸ軸従動プーリとＸ軸方向とに一定
の距離を有して回転可能に支持されてＸ軸従動プーリに
駆動力を伝達するＸ軸駆動プーリと、Ｘ軸従動プーリと
Ｘ軸駆動プーリとの間に連動可能にＸ軸方向に設けられ
てＸ軸移動板に固定されたベルト把持部により選択的に
把持されるＸ軸ベルトと、Ｙ軸移動板に回転可能に設け
られてＸ軸駆動プーリに連結して回転させることにより
Ｘ軸移動板をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動調節ノブと
を設けることが望ましい。
【００１６】また、Ｙ軸駆動装置は、固定板のＹ軸方向
に互いに一定の距離を有して回転可能に支持される二つ
のＹ軸従動プーリと、二つのＹ軸従動プーリの間でＹ軸
方向に連動可能に装着されて固定板に固定されたベルト
把持部により選択的に把持されるＹ軸ベルトと、Ｙ軸移
動板に回転可能に設けられてＹ軸ベルトの一側面に沿っ
て内接または外接させるとともにＹ軸ベルトをベルト把
持部により固定することによりＹ軸ベルトの一側面に沿
って回転しつつＹ軸移動板と同時にＹ軸方向に位置が移
動するＹ軸駆動プーリと、Ｙ軸駆動プーリから延在して
Ｙ軸駆動プーリを回転させるＹ軸移動調節ノブとを設け
ることが望ましい。
に互いに一定の距離を有して回転可能に支持される二つ
のＹ軸従動プーリと、二つのＹ軸従動プーリの間でＹ軸
方向に連動可能に装着されて固定板に固定されたベルト
把持部により選択的に把持されるＹ軸ベルトと、Ｙ軸移
動板に回転可能に設けられてＹ軸ベルトの一側面に沿っ
て内接または外接させるとともにＹ軸ベルトをベルト把
持部により固定することによりＹ軸ベルトの一側面に沿
って回転しつつＹ軸移動板と同時にＹ軸方向に位置が移
動するＹ軸駆動プーリと、Ｙ軸駆動プーリから延在して
Ｙ軸駆動プーリを回転させるＹ軸移動調節ノブとを設け
ることが望ましい。
【００１７】また、Ｘ軸移動板に固定されたベルト把持
部及び固定板に固定されたベルト把持部は、Ｘ軸ベルト
及びＹ軸ベルトの一部と接触可能な状態に設けられて選
択的にべルトと接触してベルトの一部と接触して加圧す
ることによりベルトの連動を止めるように固定する加圧
手段と、この加圧手段に制御信号を印加して加圧手段を
制御する制御手段とを設けることが好ましい。また、制
御手段は、ストッパと連結されてストッパを選択的に後
退させるワイヤと、このワイヤの他の一端に連結されて
ワイヤの張力を調節するワイヤ張力調節装置とを設ける
ことが好ましい。
部及び固定板に固定されたベルト把持部は、Ｘ軸ベルト
及びＹ軸ベルトの一部と接触可能な状態に設けられて選
択的にべルトと接触してベルトの一部と接触して加圧す
ることによりベルトの連動を止めるように固定する加圧
手段と、この加圧手段に制御信号を印加して加圧手段を
制御する制御手段とを設けることが好ましい。また、制
御手段は、ストッパと連結されてストッパを選択的に後
退させるワイヤと、このワイヤの他の一端に連結されて
ワイヤの張力を調節するワイヤ張力調節装置とを設ける
ことが好ましい。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に添付図面を参照して本発明に
よるＸＹステージの実施の形態を詳細に説明する。図１
は、本発明によるＸＹステージを備えた顕微鏡の実施の
形態を示した正面図である。
よるＸＹステージの実施の形態を詳細に説明する。図１
は、本発明によるＸＹステージを備えた顕微鏡の実施の
形態を示した正面図である。
【００１９】図１に示すように、本発明によるＸＹステ
ージを備えた顕微鏡は、接眼レンズ４と対物レンズ３と
を備え、この下部にウェーハ１を載置するＸＹステージ
４０を備えている。また、ＸＹステージ４０の近傍に
は、ウェーハ１を載置して反射角を調節する角度調節装
置を備えたオートローダ５が設けてある。このような本
発明によるＸＹステージを備えた顕微鏡は、ウェーハ１
を載置して、ウェーハ１の反射角を角度調節装置により
調節し、オートローダ５で肉眼検査を実行する。その
後、不良が疑わしいウェーハ１を発見すると、オートロ
ーダ５がウェーハ１を自動移送し、顕微鏡２の下部に設
置する。そしてウェーハ１は、接眼レンズ４と対物レン
ズ３とを用いて肉眼で調査できない情報まで観察可能な
顕微鏡２により精密検査する。
ージを備えた顕微鏡は、接眼レンズ４と対物レンズ３と
を備え、この下部にウェーハ１を載置するＸＹステージ
４０を備えている。また、ＸＹステージ４０の近傍に
は、ウェーハ１を載置して反射角を調節する角度調節装
置を備えたオートローダ５が設けてある。このような本
発明によるＸＹステージを備えた顕微鏡は、ウェーハ１
を載置して、ウェーハ１の反射角を角度調節装置により
調節し、オートローダ５で肉眼検査を実行する。その
後、不良が疑わしいウェーハ１を発見すると、オートロ
ーダ５がウェーハ１を自動移送し、顕微鏡２の下部に設
置する。そしてウェーハ１は、接眼レンズ４と対物レン
ズ３とを用いて肉眼で調査できない情報まで観察可能な
顕微鏡２により精密検査する。
【００２０】この際、ＸＹステージ４０は、顕微鏡２の
下部でウェーハ１をオートローダ５から受け取り真空吸
着し、顕微鏡２がウェーハ１の表面を全て検査できるよ
うに前後左右、すなわちＸ軸及びＹ軸に移動する。ここ
で、ＸＹステージ４０は、作業者がＸＹステージ４０に
設けられたジョイスティック４３を把持するとともに、
押し台７２を把持して加圧すれば、Ｘ軸及びＹ軸に無負
荷状態で自由に移動することが可能になる。また、作業
者がジョイスティック４３に設けた押し台７２を元の状
態にすると、ＸＹステージの動きが二重調節ノブ５４に
拘束されて二重調節ノブ５４の回転でＸＹステージ４０
が精密移動する構造に設けてある。図２は、図１に示し
たＸＹステージ４０の内部構造を示す平面図である。ま
た、図３は、図２に示したＸＹステージ４０の組み立て
構造を示す分解斜視図である。
下部でウェーハ１をオートローダ５から受け取り真空吸
着し、顕微鏡２がウェーハ１の表面を全て検査できるよ
うに前後左右、すなわちＸ軸及びＹ軸に移動する。ここ
で、ＸＹステージ４０は、作業者がＸＹステージ４０に
設けられたジョイスティック４３を把持するとともに、
押し台７２を把持して加圧すれば、Ｘ軸及びＹ軸に無負
荷状態で自由に移動することが可能になる。また、作業
者がジョイスティック４３に設けた押し台７２を元の状
態にすると、ＸＹステージの動きが二重調節ノブ５４に
拘束されて二重調節ノブ５４の回転でＸＹステージ４０
が精密移動する構造に設けてある。図２は、図１に示し
たＸＹステージ４０の内部構造を示す平面図である。ま
た、図３は、図２に示したＸＹステージ４０の組み立て
構造を示す分解斜視図である。
【００２１】図２及び図３に示すように、本発明による
ＸＹステージ４０は、ウェーハ１を移動すると同時にウ
ェーハ１の特定位置を観察できるようにウェーハ１をＸ
軸及びＹ軸方向に水平移動させるＸＹステージ４０であ
って、上面にウェーハ１を設置するウェーハホルダ４１
を設け、Ｘ軸方向に移動するＸ軸移動板４２と、このＸ
軸移動板４２を搭載してＸ軸方向に移動するように案内
するとともにＹ軸方向にも移動することが可能なＹ軸移
動板４４と、このＹ軸移動板４４を搭載してＹ軸方向に
移動するように案内するとともに一端側を顕微鏡の下部
に固定する固定板４６と、Ｘ軸移動板４２をＸ軸方向に
移動するＸ軸ベルト６２をＸ軸方向に設けたＸ軸駆動装
置と、固定板４６に設けられてＹ軸移動板４４をＹ軸方
向に移動するＹ軸ベルト６５をＹ軸方向に設けたＹ軸駆
動装置とを設けている。
ＸＹステージ４０は、ウェーハ１を移動すると同時にウ
ェーハ１の特定位置を観察できるようにウェーハ１をＸ
軸及びＹ軸方向に水平移動させるＸＹステージ４０であ
って、上面にウェーハ１を設置するウェーハホルダ４１
を設け、Ｘ軸方向に移動するＸ軸移動板４２と、このＸ
軸移動板４２を搭載してＸ軸方向に移動するように案内
するとともにＹ軸方向にも移動することが可能なＹ軸移
動板４４と、このＹ軸移動板４４を搭載してＹ軸方向に
移動するように案内するとともに一端側を顕微鏡の下部
に固定する固定板４６と、Ｘ軸移動板４２をＸ軸方向に
移動するＸ軸ベルト６２をＸ軸方向に設けたＸ軸駆動装
置と、固定板４６に設けられてＹ軸移動板４４をＹ軸方
向に移動するＹ軸ベルト６５をＹ軸方向に設けたＹ軸駆
動装置とを設けている。
【００２２】ここで、Ｙ軸移動板４４は、Ｘ軸移動板４
２の左右側面に接触してＸ軸移動板４２のＸ軸移動を案
内するために二枚の接触板状に形成され、この二枚の接
触板の底面にＸ軸移動板４２の底面を横切るＹ軸移動板
連結棒４５を設けて接続することにより形成されてい
る。この際、Ｘ軸移動板４２とＹ軸移動板４４との接触
面には、図３に示すように平板型軸受５１が設けられ摩
擦による負荷を減らせるように設けてある。また、固定
板４６は、Ｙ軸移動板４４の底面を連結するＹ軸移動板
連結棒４５と噛み合ってＹ軸移動板４４のＹ軸方向への
摺動を案内する役割を果たしている。ここで好ましく
は、固定板４６とＹ軸移動板４４との間に、摩擦を減ら
すための軸受（図示せず）を設けることが望ましい。
２の左右側面に接触してＸ軸移動板４２のＸ軸移動を案
内するために二枚の接触板状に形成され、この二枚の接
触板の底面にＸ軸移動板４２の底面を横切るＹ軸移動板
連結棒４５を設けて接続することにより形成されてい
る。この際、Ｘ軸移動板４２とＹ軸移動板４４との接触
面には、図３に示すように平板型軸受５１が設けられ摩
擦による負荷を減らせるように設けてある。また、固定
板４６は、Ｙ軸移動板４４の底面を連結するＹ軸移動板
連結棒４５と噛み合ってＹ軸移動板４４のＹ軸方向への
摺動を案内する役割を果たしている。ここで好ましく
は、固定板４６とＹ軸移動板４４との間に、摩擦を減ら
すための軸受（図示せず）を設けることが望ましい。
【００２３】また、Ｘ軸駆動装置は、Ｙ軸移動板連結棒
４５に回転可能に支持されるＸ軸従動プーリ６０と、Ｙ
軸移動板連結棒４５にＸ軸従動プーリ６０からＸ軸方向
に一定の間隔を備えて離れた位置に回転可能に支持され
てＸ軸従動プーリ６０に駆動力を伝達するＸ軸駆動プー
リ６１と、このＸ軸従動プーリ６０とＸ軸駆動プーリ６
１との間を接続してＸ軸方向に設けられてＸ軸移動板４
２に固定したベルト把持部７０により選択的に把持され
るＸ軸ベルト６２と、Ｙ軸移動板連結棒４５に回転可能
に装着されてＸ軸駆動プーリ６１と連結することでＸ軸
駆動プーリ６１を回転させてＸ軸移動板４２をＸ軸方向
に移動させるＸ軸移動調節ノブ５３とを備えている。従
って、Ｘ軸移動板４２は、Ｘ軸移動調節ノブ５３を回転
してＸ軸駆動プーリ６１を回転することで、Ｘ軸ベルト
６２がＸ軸従動プーリ６０とＸ軸駆動プーリ６１との間
で連動し、このＸ軸ベルト６２を把持したベルト把持部
７０によりＸ軸方向に移動する。ここで、もし、ベルト
把持部７０がＸ軸ベルト６２を把持していない場合は、
作業者がＸ軸移動調節ノブ５３を回転させてもＸ軸移動
板４２は移動しない。
４５に回転可能に支持されるＸ軸従動プーリ６０と、Ｙ
軸移動板連結棒４５にＸ軸従動プーリ６０からＸ軸方向
に一定の間隔を備えて離れた位置に回転可能に支持され
てＸ軸従動プーリ６０に駆動力を伝達するＸ軸駆動プー
リ６１と、このＸ軸従動プーリ６０とＸ軸駆動プーリ６
１との間を接続してＸ軸方向に設けられてＸ軸移動板４
２に固定したベルト把持部７０により選択的に把持され
るＸ軸ベルト６２と、Ｙ軸移動板連結棒４５に回転可能
に装着されてＸ軸駆動プーリ６１と連結することでＸ軸
駆動プーリ６１を回転させてＸ軸移動板４２をＸ軸方向
に移動させるＸ軸移動調節ノブ５３とを備えている。従
って、Ｘ軸移動板４２は、Ｘ軸移動調節ノブ５３を回転
してＸ軸駆動プーリ６１を回転することで、Ｘ軸ベルト
６２がＸ軸従動プーリ６０とＸ軸駆動プーリ６１との間
で連動し、このＸ軸ベルト６２を把持したベルト把持部
７０によりＸ軸方向に移動する。ここで、もし、ベルト
把持部７０がＸ軸ベルト６２を把持していない場合は、
作業者がＸ軸移動調節ノブ５３を回転させてもＸ軸移動
板４２は移動しない。
【００２４】また、Ｙ軸駆動装置は、固定板４６にＹ軸
方向に互いに一定の距離を備えた位置に回転可能に支持
される二つのＹ軸従動プーリ６３と、この二つのＹ軸従
動プーリ６３の間を連結するようにＹ軸方向に設けて固
定板４６に固定されたベルト把持部７３により選択的に
把持されるＹ軸ベルト６５と、Ｙ軸移動板連結棒４５に
回転可能に装着されてＹ軸ベルト６５の内側に内接して
ベルト把持部７３をＹ軸ベルト６５に固定することでＹ
軸ベルト６５の内側面に沿って回転してＹ軸移動板４４
と同時にＹ軸方向に移動するＹ軸駆動プーリ６４と、こ
のＹ軸駆動プーリ６４に連結されてＹ軸駆動プーリ６４
を回転させるＹ軸移動調節ノブ５２とを備えている。従
って、Ｙ軸移動板４４は、Ｙ軸移動調節ノブ５２を回転
してＹ軸ベルト６５に内接するＹ軸駆動プーリ６４を回
転することでＸ方向に移動する。この際、Ｙ軸ベルト６
５は、前述したＸ軸ベルト６２とは異なり、ベルト把持
部７３により把持されて固定された構造のため、前述し
たＹ軸駆動プーリ６４がＹ軸ベルト６５の内側で内接運
動をすることで、Ｙ軸駆動プーリ６４を固定したＹ軸移
動板連結棒４５によりＹ軸移動板４４が共にＹ軸方向に
移動する。ここで、もしベルト把持部７３がＹ軸ベルト
６５を把持していない場合は、作業者がＹ軸移動調節ノ
ブ５２を回転させても、Ｙ軸移動板４４は移動しない。
このように固定板４６は、ベルト把持部７３を固定して
Ｙ軸ベルト６５を選択的に把持することでＹ軸方向の連
動状態を切換えていた。図４は、図３に示したベルト把
持部７３側面の断面を示す縦断面図である。
方向に互いに一定の距離を備えた位置に回転可能に支持
される二つのＹ軸従動プーリ６３と、この二つのＹ軸従
動プーリ６３の間を連結するようにＹ軸方向に設けて固
定板４６に固定されたベルト把持部７３により選択的に
把持されるＹ軸ベルト６５と、Ｙ軸移動板連結棒４５に
回転可能に装着されてＹ軸ベルト６５の内側に内接して
ベルト把持部７３をＹ軸ベルト６５に固定することでＹ
軸ベルト６５の内側面に沿って回転してＹ軸移動板４４
と同時にＹ軸方向に移動するＹ軸駆動プーリ６４と、こ
のＹ軸駆動プーリ６４に連結されてＹ軸駆動プーリ６４
を回転させるＹ軸移動調節ノブ５２とを備えている。従
って、Ｙ軸移動板４４は、Ｙ軸移動調節ノブ５２を回転
してＹ軸ベルト６５に内接するＹ軸駆動プーリ６４を回
転することでＸ方向に移動する。この際、Ｙ軸ベルト６
５は、前述したＸ軸ベルト６２とは異なり、ベルト把持
部７３により把持されて固定された構造のため、前述し
たＹ軸駆動プーリ６４がＹ軸ベルト６５の内側で内接運
動をすることで、Ｙ軸駆動プーリ６４を固定したＹ軸移
動板連結棒４５によりＹ軸移動板４４が共にＹ軸方向に
移動する。ここで、もしベルト把持部７３がＹ軸ベルト
６５を把持していない場合は、作業者がＹ軸移動調節ノ
ブ５２を回転させても、Ｙ軸移動板４４は移動しない。
このように固定板４６は、ベルト把持部７３を固定して
Ｙ軸ベルト６５を選択的に把持することでＹ軸方向の連
動状態を切換えていた。図４は、図３に示したベルト把
持部７３側面の断面を示す縦断面図である。
【００２５】図４に示すように、固定板４６に固定され
たベルト把持部７３は、Ｙ軸ベルト６５の一部と接触可
能な状態に設けられ、選択的にＹ軸ベルト６５と接触し
てＹ軸ベルト６５の一部に加圧するように設けてある。
また、ベルト把持部７３は、Ｙ軸ベルト６５の一部を加
圧して連動を止めるように固定する加圧手段と、この加
圧手段に制御信号を印加して制御する制御手段とを備え
ている。
たベルト把持部７３は、Ｙ軸ベルト６５の一部と接触可
能な状態に設けられ、選択的にＹ軸ベルト６５と接触し
てＹ軸ベルト６５の一部に加圧するように設けてある。
また、ベルト把持部７３は、Ｙ軸ベルト６５の一部を加
圧して連動を止めるように固定する加圧手段と、この加
圧手段に制御信号を印加して制御する制御手段とを備え
ている。
【００２６】この加圧手段は、Ｙ軸ベルト６５が側面か
ら貫通して内部で連動する通路を形成した固定胴体８１
と、この固定胴体８１の内部で通過するＹ軸ベルト６５
の一部と選択的に直交して接触可能に形成されたストッ
パ８２と、固定胴体８１の内部でＹ軸ベルト６５と直交
する方向に弾性力が作用してストッパ８２を前進させて
Ｙ軸ベルト６５を加圧するコイルバネ８３とを備えてい
る。ここで、ストッパ８２には、ストッパ８２の位置を
移動させうる紐状のワイヤ８０が接続されている。ま
た、Ｘ軸ベルト６２を把持するベルト把持部７０の構造
もこのように形成する。ここで、ワイヤ８０は、Ｘ軸移
動板４２内で延在してジョイスティック４３に接続して
いる（図３参照）。図５は、図３に示したジョイスティ
ック４３の側面の断面を示す縦断面図である。
ら貫通して内部で連動する通路を形成した固定胴体８１
と、この固定胴体８１の内部で通過するＹ軸ベルト６５
の一部と選択的に直交して接触可能に形成されたストッ
パ８２と、固定胴体８１の内部でＹ軸ベルト６５と直交
する方向に弾性力が作用してストッパ８２を前進させて
Ｙ軸ベルト６５を加圧するコイルバネ８３とを備えてい
る。ここで、ストッパ８２には、ストッパ８２の位置を
移動させうる紐状のワイヤ８０が接続されている。ま
た、Ｘ軸ベルト６２を把持するベルト把持部７０の構造
もこのように形成する。ここで、ワイヤ８０は、Ｘ軸移
動板４２内で延在してジョイスティック４３に接続して
いる（図３参照）。図５は、図３に示したジョイスティ
ック４３の側面の断面を示す縦断面図である。
【００２７】図５に示すように、ジョイスティック４３
は、前述した加圧手段を制御する制御手段であり、一端
側がストッパ８２と連結されてストッパ８２を選択的に
後退させるワイヤ８０と、このワイヤ８０の他の一端に
連結されてワイヤ８０の張力を調節するワイヤ張力調節
装置とを備える。ここで、ワイヤ張力調節装置は、ワイ
ヤ８０を包んで保護するとともにワイヤ８０の張力変化
がストッパ８２に伝達するように自由に柔軟性を備えた
材質からなるワイヤチューブ７１と、一端部にワイヤ８
０を連結するとともに支持点７４を中心にして回転可能
に支持されて支持点７４を中心とした他の一端部の動作
によりワイヤ８０を引っ張って張力を発生させる押し台
７２とを備えている。
は、前述した加圧手段を制御する制御手段であり、一端
側がストッパ８２と連結されてストッパ８２を選択的に
後退させるワイヤ８０と、このワイヤ８０の他の一端に
連結されてワイヤ８０の張力を調節するワイヤ張力調節
装置とを備える。ここで、ワイヤ張力調節装置は、ワイ
ヤ８０を包んで保護するとともにワイヤ８０の張力変化
がストッパ８２に伝達するように自由に柔軟性を備えた
材質からなるワイヤチューブ７１と、一端部にワイヤ８
０を連結するとともに支持点７４を中心にして回転可能
に支持されて支持点７４を中心とした他の一端部の動作
によりワイヤ８０を引っ張って張力を発生させる押し台
７２とを備えている。
【００２８】従って、通常時（ワイヤの緩和状態）のベ
ルト把持部７０、７３は、それぞれのコイルバネ８３の
加圧によりＸ軸ベルト６２及びＹ軸ベルト６５を把持す
る構造を備えている。一方、加圧時（ワイヤの緊張状
態）のベルト把持部７０、７３は、それぞれのワイヤ８
０の引っ張り作用によりストッパ８２がＸ軸ベルト６２
及びＹ軸ベルト６５の把持状態を解除する構成のため、
作業者が押し台７２を操作してワイヤの張力を調節する
ことにより把持状態を選択的に制御できる。
ルト把持部７０、７３は、それぞれのコイルバネ８３の
加圧によりＸ軸ベルト６２及びＹ軸ベルト６５を把持す
る構造を備えている。一方、加圧時（ワイヤの緊張状
態）のベルト把持部７０、７３は、それぞれのワイヤ８
０の引っ張り作用によりストッパ８２がＸ軸ベルト６２
及びＹ軸ベルト６５の把持状態を解除する構成のため、
作業者が押し台７２を操作してワイヤの張力を調節する
ことにより把持状態を選択的に制御できる。
【００２９】ここで、Ｘ軸ベルト６２及びＹ軸ベルト６
５を選択的に拘束する手段としてのベルト把持部７０、
７３の加圧手段及び制御手段は、好ましくは、これらを
各種の機械式または電子制御式のベルト把持部に置き換
えることが望ましい。
５を選択的に拘束する手段としてのベルト把持部７０、
７３の加圧手段及び制御手段は、好ましくは、これらを
各種の機械式または電子制御式のベルト把持部に置き換
えることが望ましい。
【００３０】再び、図３を参照して、Ｘ軸移動板４２に
は、作業者が手で把持してＸ軸移動板４２及びＹ軸移動
板４４を直接移動することを容易にするため、突出した
ジョイスティック４３を形成している。このジョイステ
ィック４３は、Ｘ軸移動板４２及びＹ軸移動板４４を直
接に高速移動する際、作業者が手で押し台７２を把持し
てＸ軸及びＹ軸ベルト６２、６５の連動を解除すること
で容易に移動することができる。この際、押し台７２
は、ベルトを固定したベルト把持部７０、７３のワイヤ
８０（図５参照）に張力を印加してＸ軸及びＹ軸ベルト
６２、６５の連動を解除することでＸ軸移動板４２、Ｙ
軸移動板４４及び固定板４６のベルトの拘束が解除され
る。
は、作業者が手で把持してＸ軸移動板４２及びＹ軸移動
板４４を直接移動することを容易にするため、突出した
ジョイスティック４３を形成している。このジョイステ
ィック４３は、Ｘ軸移動板４２及びＹ軸移動板４４を直
接に高速移動する際、作業者が手で押し台７２を把持し
てＸ軸及びＹ軸ベルト６２、６５の連動を解除すること
で容易に移動することができる。この際、押し台７２
は、ベルトを固定したベルト把持部７０、７３のワイヤ
８０（図５参照）に張力を印加してＸ軸及びＹ軸ベルト
６２、６５の連動を解除することでＸ軸移動板４２、Ｙ
軸移動板４４及び固定板４６のベルトの拘束が解除され
る。
【００３１】ここで、Ｘ軸ベルト６２、Ｙ軸ベルト６５
及び各プーリの組み合わせは、正確なベルト動作の制御
のためにタイミングベルト方式を使用することが好まし
い。従って、ストッパ８２は、図４に示したように、Ｘ
軸ベルト６２及びＹ軸ベルト６５に衝撃を加えることな
く正確に把持するように、ベルトの一部と接触する一部
の接触面にタイミングベルトの屈曲に噛み合う凹凸部６
６を形成している。このように形成されたベルトの回転
は、二重調節ノブ５４を回転することにより精密調整す
ることができる。図６は、図３に示した二重調節ノブ５
４側面の断面を示す縦断面図である。
及び各プーリの組み合わせは、正確なベルト動作の制御
のためにタイミングベルト方式を使用することが好まし
い。従って、ストッパ８２は、図４に示したように、Ｘ
軸ベルト６２及びＹ軸ベルト６５に衝撃を加えることな
く正確に把持するように、ベルトの一部と接触する一部
の接触面にタイミングベルトの屈曲に噛み合う凹凸部６
６を形成している。このように形成されたベルトの回転
は、二重調節ノブ５４を回転することにより精密調整す
ることができる。図６は、図３に示した二重調節ノブ５
４側面の断面を示す縦断面図である。
【００３２】図６に示すように、二重調節ノブ５４は、
作業者がウェーハ１をＸ軸及びＹ軸方向に精密移動させ
る際、移動操作を容易にするためにＸ軸移動調節ノブ５
３がＹ軸移動調節ノブ５２を貫通した形状に形成されて
いる。また、二重調節ノブ５４のＸ軸移動調節ノブ５３
及びＹ軸移動調節ノブ５２は、それぞれＸ軸駆動プーリ
６１とＹ軸駆動プーリ６４とに一体に形成されている。
また、二重調節ノブ５４は、Ｙ軸移動板連結棒４５に回
転可能に軸受８４で支持されている。
作業者がウェーハ１をＸ軸及びＹ軸方向に精密移動させ
る際、移動操作を容易にするためにＸ軸移動調節ノブ５
３がＹ軸移動調節ノブ５２を貫通した形状に形成されて
いる。また、二重調節ノブ５４のＸ軸移動調節ノブ５３
及びＹ軸移動調節ノブ５２は、それぞれＸ軸駆動プーリ
６１とＹ軸駆動プーリ６４とに一体に形成されている。
また、二重調節ノブ５４は、Ｙ軸移動板連結棒４５に回
転可能に軸受８４で支持されている。
【００３３】ここで、二重調節ノブ５４の表面には、粗
い表面処理、すなわちＸ字形の溝、一連の溝などを形成
することで滑り止め部を形成することが望ましい。
い表面処理、すなわちＸ字形の溝、一連の溝などを形成
することで滑り止め部を形成することが望ましい。
【００３４】また、図３に示したウェーハホルダ４１
は、ウェーハ１を真空吸着するとともに、回転装置を設
けてウエーハ１を回転させる構造を備え、作業者がウェ
ーハ１を水平移動させると同時に水平に吸着して回転す
るように形成することが望ましい。また、固定板４６に
は、設備からウェーハ１に伝達される振動を遮断する除
振台（図示せず）を設けるとともに、ウェーハ１の水平
状態を保たせる水平調節装置（図示せず）を設けてい
る。
は、ウェーハ１を真空吸着するとともに、回転装置を設
けてウエーハ１を回転させる構造を備え、作業者がウェ
ーハ１を水平移動させると同時に水平に吸着して回転す
るように形成することが望ましい。また、固定板４６に
は、設備からウェーハ１に伝達される振動を遮断する除
振台（図示せず）を設けるとともに、ウェーハ１の水平
状態を保たせる水平調節装置（図示せず）を設けてい
る。
【００３５】このように形成された本発明によるＸＹス
テージ４０を使用する場合、まず、ウェーハを整列させ
たりウェーハ表面の特定場所を捜してその場所に高速で
移動させる場合、作業者は、図３に示したジョイスティ
ック４３を把持する。これと同時に、ジョイスティック
４３に設けた押し台７２を把持して加圧することで、こ
の押し台７２が二つのベルト把持部７０、７３と接続し
た二本のワイヤ８０を同時に引っ張って緊張させる。こ
の緊張したワイヤ８０による張力は、コイルバネ８３の
弾性力を抑制することでベルト把持部７０、７３により
把持されて連動していたＸ軸ベルト６２及びＹ軸ベルト
６５の把持状態が解除される。Ｘ軸ベルト６２及びＹ軸
ベルト６５の把持状態が解除されると、Ｘ軸移動板４２
及びＹ軸移動板４４を連動させる二重調節ノブ５４の駆
動力伝達経路が解除される。これにより、Ｘ軸移動板４
２及びＹ軸移動板４４は、二重調節ノブ５４とは別に無
負荷で高速移動が可能になる。従って、従来のＸＹステ
ージにより高速移動する場合、把持状態によって発生す
るパーティクルや機械的な摩耗現象が防止される。
テージ４０を使用する場合、まず、ウェーハを整列させ
たりウェーハ表面の特定場所を捜してその場所に高速で
移動させる場合、作業者は、図３に示したジョイスティ
ック４３を把持する。これと同時に、ジョイスティック
４３に設けた押し台７２を把持して加圧することで、こ
の押し台７２が二つのベルト把持部７０、７３と接続し
た二本のワイヤ８０を同時に引っ張って緊張させる。こ
の緊張したワイヤ８０による張力は、コイルバネ８３の
弾性力を抑制することでベルト把持部７０、７３により
把持されて連動していたＸ軸ベルト６２及びＹ軸ベルト
６５の把持状態が解除される。Ｘ軸ベルト６２及びＹ軸
ベルト６５の把持状態が解除されると、Ｘ軸移動板４２
及びＹ軸移動板４４を連動させる二重調節ノブ５４の駆
動力伝達経路が解除される。これにより、Ｘ軸移動板４
２及びＹ軸移動板４４は、二重調節ノブ５４とは別に無
負荷で高速移動が可能になる。従って、従来のＸＹステ
ージにより高速移動する場合、把持状態によって発生す
るパーティクルや機械的な摩耗現象が防止される。
【００３６】また、ウェーハ表面の特定チップを捜して
顕微鏡の接眼レンズの下に設置させた場合、ウェーハを
微調整して動かしながら写真撮影したり微細に観察する
必要があるため、ウェーハの精密移動のために作業者は
把持した押し台７２を元の状態に復帰させる。これによ
り、図４に示したワイヤ８０が緩和され、コイルバネ８
３の弾性力がベルト把持部７３のストッパ８２を再び押
して移動させることでＸ軸ベルト６２及びＹ軸ベルト６
５がストッパ８２に把持される。また、ベルトがストッ
パ８２に把持されると、図３に示したＸ軸移動板４２及
びＹ軸移動板４４を移動させる二重調節ノブ５４の駆動
力伝達経路が再び連結するとともに、Ｘ軸移動板４２及
びＹ軸移動板４４を二重調節ノブ５４により調整可能に
なる。
顕微鏡の接眼レンズの下に設置させた場合、ウェーハを
微調整して動かしながら写真撮影したり微細に観察する
必要があるため、ウェーハの精密移動のために作業者は
把持した押し台７２を元の状態に復帰させる。これによ
り、図４に示したワイヤ８０が緩和され、コイルバネ８
３の弾性力がベルト把持部７３のストッパ８２を再び押
して移動させることでＸ軸ベルト６２及びＹ軸ベルト６
５がストッパ８２に把持される。また、ベルトがストッ
パ８２に把持されると、図３に示したＸ軸移動板４２及
びＹ軸移動板４４を移動させる二重調節ノブ５４の駆動
力伝達経路が再び連結するとともに、Ｘ軸移動板４２及
びＹ軸移動板４４を二重調節ノブ５４により調整可能に
なる。
【００３７】すなわち、作業者は、Ｘ軸駆動プーリ６１
とＹ軸駆動プーリ６４とに一体に形成されたＸ軸移動調
節ノブ５３及びＹ軸移動調節ノブ５２を調節すること
で、Ｘ軸移動板４２及びＹ軸移動板４４を、調節ノブの
回転角度のように精密に微調整することができる。従っ
て、前述したような二重調節ノブ５４は、精密移動時の
み回転するため、部品の寿命を延ばし、従来技術のよう
にバックラッシが発生しないので、ウェーハの顕微鏡観
察や写真撮影時にウェーハが流れて位置が変わる流動現
象を防止できる。また、本発明によるＸＹステージは、
Ｘ軸及びＹ軸駆動プーリの直径を変更して形成すること
により、調節ノブの精度を容易に得ることができ、Ｘ軸
及びＹ軸ベルトによりウェーハの精密移動時に負荷を調
節できるため、最適の装置を提供することができる。
とＹ軸駆動プーリ６４とに一体に形成されたＸ軸移動調
節ノブ５３及びＹ軸移動調節ノブ５２を調節すること
で、Ｘ軸移動板４２及びＹ軸移動板４４を、調節ノブの
回転角度のように精密に微調整することができる。従っ
て、前述したような二重調節ノブ５４は、精密移動時の
み回転するため、部品の寿命を延ばし、従来技術のよう
にバックラッシが発生しないので、ウェーハの顕微鏡観
察や写真撮影時にウェーハが流れて位置が変わる流動現
象を防止できる。また、本発明によるＸＹステージは、
Ｘ軸及びＹ軸駆動プーリの直径を変更して形成すること
により、調節ノブの精度を容易に得ることができ、Ｘ軸
及びＹ軸ベルトによりウェーハの精密移動時に負荷を調
節できるため、最適の装置を提供することができる。
【００３８】以上、本発明によってなされたＸＹステー
ジの実施の形態を詳細に説明したが、本発明は前述の実
施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で変更可能である。例えば、Ｘ軸ベルト６２及
びＹ軸ベルト６５をタイミングベルト方式により形成し
た実施の形態を説明したが、これに限定されるものでは
ない。また、ベルト把持部７０、７３を機械式または電
気制御式に設けた実施の形態を説明したが、これに限定
されるものではなく、例えば、手動式でもよい。また、
二重調節ノブ５４の表面に粗い表面処理を施し滑り止め
とした実施の形態を説明したが、これに限定されるもの
ではなく、例えば、ゴムなどの材質を二重調節ノブ５４
の表面に装着することにより滑り止めとしてもよい。
ジの実施の形態を詳細に説明したが、本発明は前述の実
施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で変更可能である。例えば、Ｘ軸ベルト６２及
びＹ軸ベルト６５をタイミングベルト方式により形成し
た実施の形態を説明したが、これに限定されるものでは
ない。また、ベルト把持部７０、７３を機械式または電
気制御式に設けた実施の形態を説明したが、これに限定
されるものではなく、例えば、手動式でもよい。また、
二重調節ノブ５４の表面に粗い表面処理を施し滑り止め
とした実施の形態を説明したが、これに限定されるもの
ではなく、例えば、ゴムなどの材質を二重調節ノブ５４
の表面に装着することにより滑り止めとしてもよい。
【００３９】
【発明の効果】このように本発明によるＸＹステージに
よれば、ベルト駆動方式を用いて歯車摩擦がないのでパ
ーティクル及び振動の発生を防止することができる。ま
た、本発明のＸＹステージによれば、ベルト駆動方式を
用いることで移動が均一であり部品の耐久性を向上させ
てベルト駆動を選択的に解除できるので、ウェーハ高速
移動時には移動速度が自由になる。さらに、本発明のＸ
Ｙステージによれば、除振台及び水平調節装置を設けて
振動を防止して水平に維持しているため、精密移動時に
さらに安定したウェーハの精密移動が可能であり、ウェ
ーハの顕微鏡観察や写真撮影時にウェーハが移動してし
まうことを防止できる。
よれば、ベルト駆動方式を用いて歯車摩擦がないのでパ
ーティクル及び振動の発生を防止することができる。ま
た、本発明のＸＹステージによれば、ベルト駆動方式を
用いることで移動が均一であり部品の耐久性を向上させ
てベルト駆動を選択的に解除できるので、ウェーハ高速
移動時には移動速度が自由になる。さらに、本発明のＸ
Ｙステージによれば、除振台及び水平調節装置を設けて
振動を防止して水平に維持しているため、精密移動時に
さらに安定したウェーハの精密移動が可能であり、ウェ
ーハの顕微鏡観察や写真撮影時にウェーハが移動してし
まうことを防止できる。
【図１】本発明によるＸＹステージを備えた顕微鏡の実
施の形態を示した正面図。
施の形態を示した正面図。
【図２】図１に示したＸＹステージ４０の内部構造を示
す平面図。
す平面図。
【図３】図２に示したＸＹステージ４０の組み立て構造
を示す分解斜視図。
を示す分解斜視図。
【図４】図３に示したベルト把持部７３側面の断面を示
す縦断面図。
す縦断面図。
【図５】図３に示したジョイスティック４３の側面の断
面を示す縦断面図。
面を示す縦断面図。
【図６】図３に示した二重調節ノブ５４側面の断面を示
す縦断面図。
す縦断面図。
【図７】従来のＸＹステージを備えた顕微鏡を示す正面
図。
図。
【図８】図７に示したＸＹステージ１０の内部構造を示
す平面図。
す平面図。
【図９】図８に示したＸＹステージ１０の組み立て構造
を示す分解斜視図。
を示す分解斜視図。
１ ウェーハ ２ 顕微鏡 ３ 対物レンズ ４ 接眼レンズ ５ オートローダ ４０ ＸＹステージ ４１ ウェーハホルダ ４２ Ｘ軸移動板 ４３ ジョイスティック ４４ Ｙ軸移動板 ４５ Ｙ軸移動板連結棒 ４６ 固定板 ５１ 軸受 ５２ Ｙ軸移動調節ノブ ５３ Ｘ軸移動調節ノブ ５４ 二重調節ノブ ６０ Ｘ軸従動プーリ ６１ Ｘ軸駆動プーリ ６２ Ｘ軸ベルト ６３ Ｙ軸従動プーリ ６４ Ｙ軸駆動プーリ ６５ Ｙ軸ベルト ７０、７３ ベルト把持部 ７１ ワイヤチューブ ７２ 押し台 ７４ 支持点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 禹 在 永 大韓民国京畿道水原市八達区遠川洞300− ３番地 新美住アパート101−904号
Claims (23)
- 【請求項１】 被写体を移動するとともに前記被写体の
特定位置を観察できるようにＸ軸及びＹ軸に水平移動さ
せるＸＹステージにおいて、 上面に前記被写体を固定する被写体固定手段が設けら
れ、Ｘ軸方向に移動可能なＸ軸移動板と、 前記Ｘ軸移動板を搭載し、前記Ｘ軸移動板がＸ軸方向へ
移動するように案内するとともに、Ｙ軸方向に移動可能
なＹ軸移動板と、 前記Ｙ軸移動板を搭載し、前記Ｙ軸移動板がＹ軸方向に
移動するように案内するとともに、一端側が顕微鏡の下
部に取り付けられる固定板と、 前記Ｘ軸移動板をＸ軸方向に移動させるためにＸ軸方向
に設けられたベルトを有するＸ軸駆動装置と、 前記Ｙ軸移動板をＹ軸方向に移動させるためにＹ軸方向
に設けられたベルトを有するＹ軸駆動装置とを設けてい
ることを特徴とするＸＹステージ。 - 【請求項２】 前記Ｙ軸移動板は、前記Ｘ軸移動板の左
右側面に接触してＸ軸移動板のＸ軸移動を案内するため
に二枚の接触板状に形成され、前記二枚の接触板の底面
は前記Ｘ軸移動板の底面を横切るＹ軸移動板連結棒によ
り互いに接続されていることを特徴とする請求項１に記
載のＸＹステージ。 - 【請求項３】 前記Ｘ軸移動板と前記Ｙ軸移動板との接
触面には、軸受が設けられていることを特徴とする請求
項２に記載のＸＹステージ。 - 【請求項４】 前記固定板は、前記Ｙ軸移動板の底面を
接続するＹ軸移動板連結棒と噛み合って前記Ｙ軸移動板
のＹ軸方向への摺動を案内することを特徴とする請求項
１に記載のＸＹステージ。 - 【請求項５】 前記Ｘ軸駆動装置は、 前記Ｙ軸移動板に回転可能に支持されるＸ軸従動プーリ
と、 前記Ｙ軸移動板に前記Ｘ軸従動プーリとＸ軸方向とに一
定の距離を有して回転可能に支持され、前記Ｘ軸従動プ
ーリに駆動力を伝達するＸ軸駆動プーリと、 前記Ｘ軸従動プーリと前記Ｘ軸駆動プーリとの間に連動
可能にＸ軸方向に設けられ、前記Ｘ軸移動板に固定され
たベルト把持部により選択的に把持されるＸ軸ベルト
と、 前記Ｙ軸移動板に回転可能に設けられ、前記Ｘ軸駆動プ
ーリに連結して回転させることにより前記Ｘ軸移動板を
Ｘ軸方向に移動させるＸ軸移動調節ノブとを設けてなる
ことを特徴とする請求項１に記載のＸＹステージ。 - 【請求項６】 前記Ｙ軸駆動装置は、前記固定板のＹ軸
方向に互いに一定の距離を有して回転可能に支持される
二つのＹ軸従動プーリと、 前記二つのＹ軸従動プーリの間でＹ軸方向に連動可能に
装着され、前記固定板に固定されたベルト把持部により
選択的に把持されるＹ軸ベルトと、 前記Ｙ軸移動板に回転可能に設けられ、前記Ｙ軸ベルト
の一側面に沿って内接または外接させるとともに前記Ｙ
軸ベルトを前記ベルト把持部により固定することによ
り、前記Ｙ軸ベルトの一側面に沿って回転しつつ前記Ｙ
軸移動板と同時にＹ軸方向に位置が移動するＹ軸駆動プ
ーリと、 前記Ｙ軸駆動プーリから延在して前記Ｙ軸駆動プーリを
回転させるＹ軸移動調節ノブとを設けてなることを特徴
とする請求項１に記載のＸＹステージ。 - 【請求項７】 前記Ｘ軸移動板に固定されたベルト把持
部及び前記固定板に固定されたベルト把持部は、 Ｘ軸ベルト及びＹ軸ベルトの一部と接触可能な状態に設
けられ、選択的にベルトと接触して前記ベルトの一部と
接触して加圧することにより前記ベルトの連動を止める
ように固定する加圧手段と、 前記加圧手段に制御信号を印加して前記加圧手段を制御
する制御手段とを設けてなることを特徴とする請求項５
または請求項６に記載のＸＹステージ。 - 【請求項８】 前記加圧手段は、 前記ベルトを貫通させて連動するように通路を形成した
固定胴体と、 前記固定胴体に設けられ、前記固定胴体を通過する前記
ベルトの一面に選択的に接触可能に形成されたストッパ
と、 前記固定胴体に設けられ、前記ベルト方向に復元力が作
用して前記ストッパを前記ベルト方向に前進させるよう
に加圧する弾性部材とを設けてなることを特徴とする請
求項７に記載のＸＹステージ。 - 【請求項９】 前記弾性部材は、コイルバネであること
を特徴とする請求項８に記載のＸＹステージ。 - 【請求項１０】 前記制御手段は、一端が前記ストッパ
と連結されて前記ストッパを選択的に後退させるワイヤ
と、前記ワイヤの他の一端に連結されて前記ワイヤの張
力を調節するワイヤ張力調節装置とを設けたことを特徴
とする請求項７に記載のＸＹステージ。 - 【請求項１１】 前記ワイヤ張力調節装置は、 前記ワイヤを包囲するように前記ワイヤを保護し、前記
ワイヤの張力変化を保持させて前記ストッパに伝達する
とともに、位置が変化する柔軟性な材質により形成され
たワイヤチューブと、 一端部に前記ワイヤが連結され、他端側が支持点を中心
にして回転可能に支持されて梃子の動作により前記ワイ
ヤを引っ張って張力を発生させる押し台とを設けてなる
ことを特徴とする請求項１０に記載のＸＹステージ。 - 【請求項１２】 前記Ｘ軸移動板には、移動者が手で把
持して前記Ｘ軸移動板及びＹ軸移動板を直接に移動させ
ることが容易になるように一端側に突出したジョイステ
ィックを設けたことを特徴とする請求項１に記載のＸＹ
ステージ。 - 【請求項１３】 前記ジョイスティックには、 作業者が手で把持して前記Ｘ軸及びＹ軸移動板を直接に
高速移動させる際に前記ベルトを固定していた前記ベル
ト把持部にワイヤの張力を印加することで前記Ｘ軸及び
Ｙ軸のベルトと連動していた前記Ｘ軸移動板、Ｙ軸移動
板、及び固定板のベルトの拘束を解除する前記ワイヤを
一端側に連結した前記押し台を設けていることを特徴と
する請求項１２に記載のＸＹステージ。 - 【請求項１４】 前記Ｘ軸ベルト及びＸ軸プーリ組み合
わせは、タイミングベルト方式であることを特徴とする
請求項５に記載のＸＹステージ。 - 【請求項１５】 前記Ｙ軸ベルト及びＹ軸プーリ組み合
わせは、タイミングベルト方式であることを特徴とする
請求項６に記載のＸＹステージ。 - 【請求項１６】 前記ストッパは、ベルトと接触する接
触面がタイミングベルトの屈曲に噛み合う凹凸部形状に
形成されていることを特徴とする請求項８に記載のＸＹ
ステージ。 - 【請求項１７】 前記Ｘ軸移動調節ノブは、作業者が前
記被写体をＸ軸及びＹ軸方向に精密移動させる際に移動
操作を一カ所で容易に行えるように回転軸が前記Ｙ軸移
動調節ノブを貫通して回転する二重調節ノブの形状に設
けていることを特徴とする請求項５に記載のＸＹステー
ジ。 - 【請求項１８】 前記Ｙ軸移動調節ノブは、作業者が前
記被写体をＸ軸及びＹ軸方向に精密移動させる際に移動
操作が一カ所で容易に行えるように回転軸の中心部が前
記Ｘ軸移動調節ノブに貫通して回転する二重調節ノブの
形状に設けていることを特徴とする請求項６に記載のＸ
Ｙステージ。 - 【請求項１９】 前記被写体固定手段は、ウェーハを真
空吸着し、前記ウェーハを水平に回転させるウェーハホ
ルダであることを特徴とする請求項１に記載のＸＹステ
ージ。 - 【請求項２０】 前記Ｘ軸移動板と前記Ｙ軸移動板との
間には、摺動可能に軸受が設けられることを特徴とする
請求項１に記載のＸＹステージ。 - 【請求項２１】 前記Ｙ軸移動板と前記固定板との間に
は、摺動可能に軸受が設けられることを特徴とする請求
項１に記載のＸＹステージ。 - 【請求項２２】 前記固定板には、前記被写体に伝達さ
れる振動を遮断する除振台をさらに設けていることを特
徴とする請求項１に記載のＸＹステージ。 - 【請求項２３】 前記固定板には、前記被写体の水平状
態を保持する水平調節装置をさらに設けてなることを特
徴とする請求項１に記載のＸＹステージ。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR19970054552 | 1997-10-23 | ||
| KR1019980021373A KR100288510B1 (ko) | 1997-10-23 | 1998-06-09 | 엑스와이스테이지 |
| KR1997P-54552 | 1998-06-09 | ||
| KR1998P-21373 | 1998-06-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11160472A true JPH11160472A (ja) | 1999-06-18 |
| JP3542716B2 JP3542716B2 (ja) | 2004-07-14 |
Family
ID=26633137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20754898A Expired - Fee Related JP3542716B2 (ja) | 1997-10-23 | 1998-07-23 | Ｘｙステージ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6018415A (ja) |
| JP (1) | JP3542716B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6432448B1 (en) * | 1999-02-08 | 2002-08-13 | Fmc Corporation | Edible coating composition |
| JP2011511300A (ja) * | 2008-02-07 | 2011-04-07 | イートン，ホーマー，エル | 電動式座標測定装置 |
| JP2017221094A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | 勝方光電科技股▲分▼有限公司 | 移動機充電システム |
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|---|---|---|---|---|
| JP2001166216A (ja) | 1998-11-16 | 2001-06-22 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡用ステージ |
| JP3389537B2 (ja) * | 1999-08-24 | 2003-03-24 | 株式会社ミツトヨ | 位置決めステージ |
| US6920803B2 (en) * | 2001-07-25 | 2005-07-26 | Olympus Optical Co., Ltd. | Electromotive stage for microscope |
| TWI223101B (en) * | 2003-05-30 | 2004-11-01 | Au Optronics Corp | Power-driven coaxial-rotation fast-orientation system and method |
| US7283295B2 (en) * | 2003-11-25 | 2007-10-16 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Releasable/interchangeable fine focus knob for a microscope |
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| CN100353174C (zh) * | 2004-08-09 | 2007-12-05 | 东捷科技股份有限公司 | 检测覆晶基板的定位方法 |
| DE112005002902T5 (de) * | 2004-12-01 | 2007-10-18 | Nidek Co., Ltd., Gamagori | Ophthalmologische Vorrichtung |
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| US20230064861A1 (en) * | 2020-02-19 | 2023-03-02 | Mao-Yen Sung | Correction device for wafers and rotational drive mechanism of the wafers and correction method thereof |
| CN114114661B (zh) * | 2021-12-06 | 2022-08-09 | 浙江大学 | 一种模块化激光共聚焦显微成像装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP3576291B2 (ja) * | 1995-10-23 | 2004-10-13 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡ステージ |
| US5731708A (en) * | 1995-10-31 | 1998-03-24 | Hughes Aircraft Company | Unpackaged semiconductor testing using an improved probe and precision X-Y table |
-
1998
- 1998-07-23 JP JP20754898A patent/JP3542716B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1998-08-31 US US09/144,543 patent/US6018415A/en not_active Expired - Lifetime
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| JP2017221094A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | 勝方光電科技股▲分▼有限公司 | 移動機充電システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3542716B2 (ja) | 2004-07-14 |
| US6018415A (en) | 2000-01-25 |
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