JPH1115523A - 基板処理装置における操作入力装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 タッチパネルの特定の領域や、特定の操作ス
イッチに偏って操作入力が行われることにより生じるタ
ッチパネルや操作スイッチの故障を防止することができ
る基板処理装置における操作入力装置を提供する。 【解決手段】 この操作入力装置のタッチパネル２１の
表示入力面３１には、警報停止などの指令を入力するた
めの操作領域３５，３７，３９，４１が設けられてお
り、この操作領域３５，３７，３９，４１の設定位置お
よび大きさのうちの少なくともいずれか一方が所定の変
更規則に従って変更され、押圧操作が表示入力面３１の
特定の領域に集中しないようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や
液晶用ガラス基板処理装置等の基板処理装置における操
作入力装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の基板処理装置における操作入力装
置には、タッチパネルを用いて操作入力を行うようにし
たものがある。そのタッチパネルには、操作に必要な操
作情報が表示されるとともに、所定の指令内容に対応し
た操作入力を入力するための複数の操作領域が設けられ
ており、その操作領域を押圧操作することにより、操作
入力が行えるようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
操作入力装置では、基板を処理することに関しての各指
令内容に対応した操作領域がタッチパネル上において予
め定められた一定の位置に常に設定されるようになって
いる。このため、頻繁に入力される指令内容に対応した
操作領域が設けられているタッチパネルの操作入力面の
部分は、他の部分に比べて頻繁に押圧操作されることと
なり、他の部分よりも速く感度不良になり、操作入力を
行えなくなるという問題がある。

【０００４】頻繁に操作入力が行われる指令内容の例と
しては、例えば所定の基板群に対する処理の完了や、レ
ジスト液等の処理溶液の残量不足を知らせるためなどに
発生される警報を停止させるための指令があり、この警
報停止のための指令は、頻繁に入力されるため、警報停
止指令の操作入力が行われる操作領域が設けられるタッ
チパネルの部分は、劣化しやすくなっている。

【０００５】また、押しボタン等の通常の操作スイッチ
を通じて操作入力を行う場合にも、従来では、各操作ス
イッチには予め決められた一定の指令内容が対応付けら
れており、頻繁に入力される指令内容が対応付けられた
操作スイッチは、他の操作スイッチに比べて速く故障し
てしまうという同様な問題がある。

【０００６】そこで、本発明は前記問題点に鑑み、タッ
チパネルの特定の領域や、特定の操作スイッチに偏って
操作入力が行われることにより生じるタッチパネルや操
作スイッチの故障を防止することができる基板処理装置
における操作入力装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の技術的手段は、操作に必要な所定の操作情報の表示お
よび所定の操作入力の受入れを行うための基板処理装置
における操作入力装置であって、タッチパネルと、前記
タッチパネルを通じて前記操作情報の表示を行うととも
に、前記タッチパネル上に前記操作入力を受入れるため
の操作領域を少なくとも１つ設定し、その操作領域が押
圧操作されるとこれを検知し、その操作領域に対応付け
られた前記操作入力の受入れを行う一方、所定の変更規
則に従い前記タッチパネル上における前記操作領域の設
定位置および大きさのうちの少なくともいずれか一方を
変更する制御手段と、を備えることを特徴とする。

【０００８】好ましくは、前記制御手段による前記操作
領域の変更は、互いに異なる前記操作入力を受入れる複
数の前記操作領域の前記タッチパネル上における設定位
置を、その各操作領域に重ねて表示され、その各操作領
域に対応付けられた前記操作入力の指令内容を示す表示
内容とともに互いに入れ替えることにより行われるのが
よい。

【０００９】また、好ましくは、前記制御手段による前
記操作領域の変更は、前記タッチパネル上で前記操作領
域を、その操作領域に重ねて表示され、その操作領域に
対応付けられた前記操作入力の指令内容を示す表示内容
とともに移動させることにより行われるのがよい。

【００１０】さらに、好ましくは、前記制御手段による
前記操作領域の変更は、前記タッチパネル上で前記操作
領域を、その操作領域に重ねて表示され、その操作領域
に対応付けられた前記操作入力の指令内容を示す表示内
容とともに拡大させることにより行われるのがよい。

【００１１】また、好ましくは、前記操作領域には、所
定の警報を停止させるための操作入力を受入れるための
操作領域が含まれるのがよい。

【００１２】さらに、好ましくは、前記制御手段による
前記操作領域の変更は、前記操作領域を前記タッチパネ
ルの実質的に全面に拡大させることにより行われるのが
よい。

【００１３】また、好ましくは、前記タッチパネルの実
質的に全面に拡大される前記操作領域は、所定の警報を
停止させるための操作入力を受入れるための操作領域で
あり、前記所定の警報の発生に応答して、前記制御手段
が前記警報停止を指令するための前記操作領域を前記タ
ッチパネルの実質的に全面に拡大させるとともに、前記
タッチパネルにその警告の内容を表示させるのがよい。

【００１４】前記目的を達成するための技術的手段は、
操作に必要な所定の操作情報の表示および所定の操作入
力の受入れを行うための基板処理装置における操作入力
装置であって、互いに異なる指令内容に対応した前記操
作入力が個別に割り当てられた複数の操作スイッチと、
前記操作情報を表示するための表示手段と、前記表示手
段に、前記操作情報とともに、前記各操作スイッチに割
り当てられている前記操作入力の指令内容を前記操作ス
イッチの配列に対応させて表示するとともに、前記操作
スイッチが操作されるとこれを検知し、その操作スイッ
チに割り当てられている前記操作入力の受入れを行う一
方、所定の変更規則に従い前記各操作スイッチに割り当
てている前記操作入力の指令内容を各操作スイッチ同士
の間で入れ替える制御手段と、を備えることを特徴とす
る。

【００１５】好ましくは、前記操作スイッチへの割り当
てが入れ替えられる前記操作入力には、所定の警報を停
止させるための操作入力が含まれるのがよい。

【００１６】前記目的を達成するための技術的手段は、
操作に必要な所定の操作入力の受入れを行うための基板
処理装置における操作入力装置であって、通常モードに
おいて、互いに異なる指令内容に対応した操作入力を受
入れる複数の操作スイッチと、所定の警報の発生に応答
して、複数の前記操作スイッチのモードを、前記警報を
停止させるための操作入力を受入れる警報停止モードに
切り換えるモード切替手段と、を備えることを特徴とす
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第１実施形態に係
る操作入力装置が適用される基板処理装置の斜視図であ
り、図２はそのブロック図である。この基板処理装置１
は、半導体基板や液晶用ガラス基板等の基板３のカセッ
ト５に対する取出し、および収納を行うインデクサ７
と、レジスト液の塗布を行うスピンコータ９ａと、現像
処理を行うスピンディベロッパ９ｂ，９ｃと、加熱処理
を行う複数のホットプレート１１ａないし１１ｅと、冷
却処理を行う複数のクールプレート１３ａないし１３ｅ
と、搬送路１４内を移動しつつ、基板３の搬送を行う搬
送ユニット１５とを備えており、これらはそれぞれに個
別に設けられたユニットコントローラ１７を通じてメイ
ンコントローラ１９のユニット制御部１９ａによって制
御されるようになっている。

【００１８】また、この基板処理装置１には、操作に必
要な操作情報の表示や操作入力を行うためにタッチパネ
ル２１が備えられており、このタッチパネル２１と、タ
ッチパネル２１の制御を行うメインコントローラ１９の
タッチパネル制御部（制御手段）１９ｂとによって本実
施形態に係る操作入力装置２５が構成されている。

【００１９】さらに、この基板処理装置１には、警報発
生部２３が備えられており、各処理ユニット９に用いら
れるレジスト液等の処理溶液の残量が不足したり、所定
の基板群に対するこの基板処理装置１での処理が終了す
ると、メインコントローラ１９のユニット制御部２３が
これを検知し、警報発生部２３を通じて処理溶液の残量
不足や処理の終了を操作者に知らせる、つまり、ブザー
や警報ランプを使用して音や光で、あるいはタッチパネ
ル２１において警報を意味する絵や文字を表示する等に
よって警報を発生するようになっている。

【００２０】メインコントローラ１９は、ＣＰＵと、Ｒ
ＡＭおよびびＲＯＭ等のメモリとを備えて構成されてお
り、このメインコントローラ１９に含まれるタッチパネ
ル制御部１９ｂが、タッチパネル２１を通じて操作に必
要な操作情報の表示を行うとともに、所定の操作入力の
受入れを行っている。

【００２１】図３は、タッチパネル２１の表示入力面３
１の構成内容を示す図である。この図３に示される例で
は、表示入力面３１の中央部に、この基板処理装置１で
行われる処理の内容と、その処理手順とを示す表示内容
３３が表示されており、表示入力面３１の下方領域に
は、複数、ここでは４つの操作領域３５，３７，３９，
４１が横方向に配列された状態で設けられている。

【００２２】操作領域３５は、前述の警報発生部２３か
ら発せられている警報の停止を指令するためのものであ
る。操作領域３７は、この基板処理装置１の装置状態の
タッチパネル２１への表示を指令するためのものであ
り、この操作領域３７が押圧操作されると、タッチパネ
ル２１の表示内容３３が切り替わり、各ホットプレート
１１ａないし１１ｅの温度や、この処理途中の基板３の
位置等が表示される。操作領域３９は、タッチパネル３
９の表示内容、例えば前述の表示内容３３等を付属のプ
リンタ（図示せず）でプリントアウトさせるための指令
を入力するためのものである。操作領域４１は、入力内
容の確定等を指令するためのものである。

【００２３】表示入力面３１の各操作領域３５，３７，
３９，４１が設けられた部分には、各操作領域３５，３
７，３９，４１に対応付けられている指令内容、および
その各操作領域３５，３７，３９，４１の範囲を操作者
に視認させるための表示内容３５ａ，３７ａ，３９ａ，
４１ａがそれぞれ重ねて表示されている。

【００２４】各操作領域３５，３７，３９，４１が押圧
操作されると、タッチパネル制御部１９ｂが、これを検
知し、その押圧操作された操作領域３５，３７，３９，
４１に対応付けられた指令内容の受入れを行い、ユニッ
ト制御部１９ａと協働してその指令内容に対応した処理
動作を行うようになっている。

【００２５】このような操作領域３５，３７，３９，４
１は、所定の変更規則に従って、ここでは、この基板処
理装置１の立ち上げの度に、表示入力面４１上でのその
設定位置が、図３ないし図５に示されるように、互いに
入れ替えられるようになっている。ここでの設定位置の
入れ替えは、各操作領域３５，３７，３９，４１の設定
位置が、右から左に循環するようにして行われ、各操作
領域３５，３７，３９，４１に重ねて表示される表示内
容３５ａ，３７ａ，３９ａ，４１ａもそれに伴って循環
的に入れ替えられるようになっている。なお、図４は図
３の状態から１回の入れ替えが行われた状態を示し、図
５は図３の状態から２回の入れ替えが行われた状態を示
している。

【００２６】以上のように、本実施形態によれば、警報
停止のために特に頻繁に押圧操作される操作領域３５の
設定位置が、基板処理装置１の立ち上げの度に、他の操
作領域３７，３９，４１の設定位置と入れ替えられるの
で、タッチパネル２１の特定の部分が偏って押圧操作さ
れ、その部分が他の部分よりも速く感度不良になるのを
防止することができ、その結果、タッチパネル２１の耐
用年数の向上が図れる。

【００２７】なお、本実施形態では、各操作領域３５，
３７，３９，４１の設定位置を循環的に入れ替えるよう
にしたが、これに限らず、特に操作頻度が高い警報停止
のための操作領域３５の設置位置が、他の操作領域３
７，３９，４１の設定位置と入れ替えられればどのよう
な入れ替え方法を採用してもよい。

【００２８】図６は、本発明の第２実施形態に係る操作
入力装置に備えられるタッチパネル２１の表示入力面３
１の構成内容を示す図である。本実施形態の操作入力装
置は、前述の第１実施形態の操作入力装置２５と同様な
構成であり、対応する部分には同一の参照符号を付して
図示および説明を省略する。

【００２９】この操作入力装置では、表示入力面３１上
における各操作領域３５，３７，３９，４１の設置位置
が、図６に示されるように、この基板処理装置３１の立
ち上げの度に、対応する表示内容３５ａ，３７ａ，３９
ａ，４１ａと共に上下に移動されるようになっている。
なお、図６は各設定位置が２点鎖線で示される位置から
上方に移動された状態を示しており、各設定位置が図６
の状態から下方に移動されると、前記図３の状態とな
る。

【００３０】本実施形態においても、頻繁に押圧操作さ
れる操作領域３５，３７，３９，４１の設定位置が、基
板処理装置１の立ち上げの度に移動されるので、タッチ
パネル２１の特定の部分が偏って押圧操作され、その部
分が他の部分よりも速く感度不良になるのを防止するこ
とができ、その結果、タッチパネル２１の耐用年数の向
上が図れるという第１実施形態と同様な効果が得られ
る。

【００３１】なお、本実施形態では、主に表示入力面３
１の下方領域で各操作領域３５，３７，３９，４１の設
定位置を上下移動させるようにしたが、これに限らず、
例えば、図３および図７に示されるように、表示入力面
３１の上方領域と下方領域との間で、各設定位置を交互
に上下移動させるようにしてもよい。

【００３２】図８は、本発明の第３実施形態に係る操作
入力装置に備えられるタッチパネル２１の表示入力面３
１の構成内容を示す図である。本実施形態の操作入力装
置は、前述の第１実施形態の操作入力装置２５と同様な
構成であり、対応する部分には同一の参照符号を付して
図示および説明を省略する。

【００３３】この操作入力装置では、レジスト液等の処
理溶液が残量不足となった際、或いは所定の基板群に対
する処理が終了した際等に、警報発生部２３からの警報
の発生に応答して、タッチパネル制御部１９ｂによりタ
ッチパネル２１の表示入力モードが通常モードから警報
停止モードに切り替えられるようになっている。タッチ
パネル２１の表示入力モードが警報停止モードに切り替
えられると、表示入力面３１の構成内容が、例えば前記
図３に示される通常モードの構成内容から図８に示され
るような警報停止モードの構成内容に切り替えられるよ
うになっている。この場合、図３に示される表示入力面
３１における警報停止のための操作領域３５が設けられ
ている部分には、他の指令内容が対応付けられた操作領
域、例えばこの装置１の操作案内を表示させるための操
作領域が設けられている。

【００３４】この警報停止モードでは、表示入力面３１
に警報の内容を示す表示内容４３が表示されるととも
に、表示入力面３１の全面が警報停止を指令するための
操作領域４５となるようになっており、操作入力面３１
のいずれの部分を押圧操作しても警報停止の指令の入力
が行われるようになっている。図８に示される例では、
レジスト液が残量不足となった際の表示入力面３１の構
成内容が示されており、その表示入力面３１には、レジ
ストボトルを交換すべきことを操作者に知らせるための
表示内容４３が表示されている。

【００３５】また、タッチパネル２１の表示入力モード
が警報停止モードになっていることを操作者に容易に認
識させるために、表示入力面３１の背景の表示色を通常
モードのときと異ならせるようにしてもよく、或いは表
示内容４３を点滅表示させるようにしてもよい。

【００３６】以上のように、本実施形態によれば、警報
の発生に伴って表示入力面３１の全面が警報停止の指令
を受入れるための操作領域４５となるようになっている
ので、警報停止の指令が入力される際の押圧操作箇所
を、表示入力面３１の実質的に全面に分散させることが
でき、表示入力面３１の一部分が他の部分よりも速く感
度不良になるのを防止することができる。その結果、タ
ッチパネル２１の耐用年数の向上が図れるという第１実
施形態と同様な効果が得られる。

【００３７】また、警報停止モードにおいてタッチパネ
ル２１の表示入力面３１のいずれの部分を押圧操作して
も警報停止を行うことができるので、警報を停止させる
際の操作性を向上させることができる。

【００３８】なお、本実施形態では、警報停止のための
操作領域４５を表示入力面３１の全面に拡大させるよう
にしたが、警報停止の際に押圧される押圧操作箇所を十
分に分散できれば、表示入力面３１の全面に拡大させる
必要はなく、図９に示されるように、例えば表示入力面
３１の下半分程度に拡大させるようにしてもよい。この
場合には、前記表示内容４３は、操作領域４５の上方領
域に表示され、その操作領域４５には、警報停止の指令
内容を示す表示内容４５ａがその操作領域４５に重ねて
表示される。

【００３９】図１０は、本発明に係る第４実施形態の操
作入力装置が適用される基板処理装置のブロック図であ
り、図２と対応する部分には同一の参照符号を付してい
る。本実施形態の操作入力装置５１は、表示入力部５３
と、その表示入力部５３の制御を行う表示入力制御部１
９ｃとを備えて構成されており、メインコントローラ１
９には、前述のタッチパネル制御部１９ｂの代わりに表
示入力制御部（制御手段）１９ｃが設けられている。

【００４０】図１１は表示入力部５３の構成を示す図で
あり、この表示入力部５３は、液晶表示パネル等からな
る表示部（表示手段）５５と、押しボタン等からなる複
数、ここでは４つの操作スイッチ５７，５９，６１，６
３を有する入力部６５とを備えて構成されている。この
ような表示入力部５３は、図１に示される基板処理装置
１のタッチパネル２１が設定されている部分と同一の部
分に設置される。

【００４１】各操作スイッチ５７，５９，６１，６３に
は、それぞれ互いに異なる指令内容が割り当てられてお
り、ここでは、上述の第１実施形態の各操作領域３５，
３７，３９，４１に割り当てられたものと同様な警報停
止に関する指令、この基板処理装置１の状態確認に関す
る指令、表示部５５に表示された表示内容のプリントア
ウトに関する指令、および入力内容等の確定処理に関す
る指令がそれぞれ割り当てられている。操作スイッチ５
７，５９，６１，６３が押圧操作されると、表示入力制
御部１９ｃがこれを検知し、ユニット制御部１９ａと協
働してその押圧された操作スイッチ５７，５９，６１，
６３に割り当てられている指令内容に対応する処理を行
うようになっている。

【００４２】表示部５５には、表示入力制御部１９ｃに
よりこの基板処理装置１の操作に必要な操作情報が表示
されるようになっており、その表示面６６の下方領域に
は、操作スイッチ５７，５９，６１，６３と同数の表示
領域６７，６９，７１，７３が、操作スイッチ５７，５
９，６１，６３と同様な配列で設けられている。各表示
領域６７，６９，７１，７３には、対応する操作スイッ
チ５７，５９，６１，６３に割り当てられている指令内
容を示す表示内容７５，７７，７９，８１がそれぞて表
示されている。表示面６６の他の領域には、前述の表示
内容３３等の操作に必要な操作情報を示す他の表示が行
われる。

【００４３】そして、この操作入力装置５１では、基板
処理装置１の立ち上げの度に、各操作スイッチ５７，５
９，６１，６３に割り当てられている指令内容が、各操
作スイッチ５７，５９，６１，６３間で互いに入れ替え
られるようになっている。ここでは、各指令内容が、図
１１ないし図１３に示されるように、立ち上げの度に操
作スイッチ５７，５９，６１，６３間で右から左に循環
するように入れ替わるようになっており、これに対応し
て、各表示領域６７，６９，７１，７３に表示されてい
る表示内容７５，７７，７９，８１も入れ替えられるよ
うになっている。

【００４４】例えば、警報停止を行うための操作スイッ
チは、図１１の状態では操作スイッチ５７であり、図１
２の状態では操作スイッチ６３であり、図１３の状態で
は操作スイッチ６１となっている。

【００４５】以上のように、本実施形態によれば、警報
停止を行うための操作スイッチは他の指令内容が割り当
てられた操作スイッチに比べて頻繁に押圧操作されるの
であるが、各操作スイッチ５７，５９，６１，６３に割
り当てられている指令内容が各操作スイッチ５７，５
９，６１，６３間で互いに入れ替えられるようになって
いるので、特定の操作スイッチ５７，５９，６１，６３
に操作が集中し、その操作スイッチ５７，５９，６１，
６３が故障するのを防止することができ、その結果、操
作スイッチ５７，５９，６１，６３の耐用年数の向上が
図れる。

【００４６】図１４は、本発明の第５実施形態に係る操
作入力装置に備えられる表示入力部９１の構成を示す図
である。本実施形態の操作入力装置は、前述の第４実施
形態の操作入力装置５１と同様な構成であり、対応する
部分には同一の参照符号を付して図示および説明を省略
する。

【００４７】この操作入力装置では、メインコントロー
ラ１９の表示入力制御部１９ｃが、操作スイッチ５７，
５９，６１，６３の入力モードを通常モードと警報停止
モードとの間で切り替えるモード切替手段としの機能を
有しており、レジスト液等の処理溶液が残量不足となっ
た際、或いは所定の基板群に対する処理が終了した際等
に、警報発生部２３からの警報の発生に応答して、操作
スイッチ５７，５９，６１，６３の入力モードを通常モ
ードから警報停止モードに切り替えよるようになってい
る。

【００４８】通常モードでは、図１４に示されるよう
に、各操作スイッチ５７，５９，６１，６３には互いに
異なる指令内容が割り当てられており、例えば、操作ス
イッチ５７には、この装置１の操作案内の表示を指示す
るための指令内容が割り当てられており、操作スイッチ
５９には、この装置１の状態確認を行うための指令内容
が割り当てられており、操作スイッチ６１には表示内容
のプリントアウトを指示するための指令内容が割り当て
られており、操作スイッチ８１には入力内容の確定処理
を指示するための指令内容が割り当てられている。ま
た、表示部５５の表示面６６の下方領域の各表示領域６
７，６９，７１，７３には、各操作スイッチ５７，５
９，６１，６３に割り当てられている指令内容を示す表
示内容７５，７７，７９，８１がそれぞれ表示されてい
る。表示面６６の他の領域には、前述の表示内容３３等
の表示が行われる。

【００４９】警報の発生に伴って、操作スイッチ５７，
５９，６１，６３の入力モードが警報停止モードに切り
替えられると、表示部５５の表示内容が、表示内容３３
等の通常の表示内容から図１４に示されるような警報の
内容を示す表示内容４３に切り替えられるとともに、全
ての操作スイッチ５７，５９，６１，６３の入力モード
が、警報停止のための操作入力を受け付けるための警報
停止モードに切り替えられ、いずれの操作スイッチ５
７，５９，６１，６３を押圧操作しても、警報停止が行
われるようになっている。このとき、表示面６６の各表
示領域６７，６９，７１，７３には、各操作スイッチ５
７，５９，６１，６３が警報停止モードになっているこ
とを示す表示内容９３がそらぞれ表示される。

【００５０】また、警報停止モードになっていることを
操作者に容易に認識させるために、表示面６６の背景の
表示色を通常モードのときと異ならせるようにしてもよ
く、或いは表示内容４３を点滅表示させるようにしても
よい。

【００５１】以上のように、本実施形態によれば、警報
の発生に伴って、操作スイッチ５７，５９，６１，６３
の入力モードが、互いに異なる指令内容を受入れる通常
モードから警報停止のための指令内容を受入れる警報停
止モードに切り替えられるので、頻繁に行われる警報停
止のための操作入力を複数の操作スイッチ５７，５９，
６１，６３に分散させることができ、特定の操作スイッ
チ５７，５９，６１，６３に操作が集中し、その操作ス
イッチ５７，５９，６１，６３が故障するのを防止する
ことができ、その結果、操作スイッチ５７，５９，６
１，６３の耐用年数の向上が図れる。

【００５２】また、警報停止モードにおいていずれの操
作スイッチ５７，５９，６１，６３を押圧操作しても警
報停止を行うことができるので、警報を停止させる際の
操作性を向上させることができる。

【００５３】なお、上述の第１、第２および第４実施形
態では、基板処理装置１の立ち上げの度に、操作領域３
５，３７，３９，４１の設定位置の入れ替えおよび移
動、或いは操作スイッチ５７，５９，６１，６３に割り
当てた指令内容の入れ替えを行うようにしたが、所定時
間が経過するごとに、或いはタッチパネル２１または表
示部５５の表示内容が切り替わるごとに行うようにして
もよい。

【００５４】また、上述の第１および第２実施形態にお
ける操作領域３５，３７，３９，４１の設定位置の入れ
替えおよび移動を組み合わせて行うようにしてもよい。

【００５５】

【発明の効果】以上のように、請求項１ないし７記載の
発明によれば、操作入力を受入れるための操作領域の設
定位置および大きさのうちの少なくともいずれか一方が
タッチパネル上で所定の変更規則に従って変更されるの
で、操作入力のための押圧操作箇所が特定の領域に集中
するのを防止することができ、タッチパネルの特定の領
域に偏って操作入力が行われることにより生じるタッチ
パネルの故障を防止することができ、その結果、操作入
力装置の耐用年数の向上が図れる。

【００５６】請求項５および７記載の発明によれば、警
報を停止するための操作入力は特に頻繁に行われるので
あるが、警報停止のための押圧操作箇所を分散させるこ
とにより、タッチパネルの耐用年数の大幅な向上が図れ
る。

【００５７】請求項７記載の発明によれば、前記効果に
加えて、タッチパネルのいずれの部分を押圧操作しても
警報停止を行うことができるので、警報を停止させる際
の操作性を向上させることができる。

【００５８】請求項８記載の発明によれば、各操作スイ
ッチに割り当てられている操作入力の指令内容が所定の
変更規則に従って各操作スイッチ同士の間で入れ替えら
れるので、各操作スイッチに割り当てられている指令内
容間で入力頻度の偏りがある場合でも特定の操作スイッ
チに操作が偏るのを防止することができ、特定の操作ス
イッチに偏って操作入力が行われることにより生じる操
作スイッチの故障を防止することができ、その結果、操
作入力装置の耐用年数の向上が図れる。

【００５９】請求項９記載の発明によれば、警報を停止
するための操作入力は特に頻繁に行われるのであるが、
警報停止のための入力操作を複数の操作スイッチに分散
させることにより、操作スイッチの耐用年数の大幅な向
上が図れる。

【００６０】請求項１０記載の発明によれば、警報の発
生に伴って、操作スイッチのモードが、互いに異なる指
令内容を受入れる通常モードから警報停止のための指令
内容を受入れる警報停止モードに切り替えられるので、
頻繁に行われる警報停止のための操作入力を複数の操作
スイッチに分散させることができ、特定の操作スイッチ
に偏って操作入力が行われることにより生じる操作スイ
ッチの故障を防止することができ、その結果、操作入力
装置の耐用年数の向上が図れる。

【００６１】また、警報停止モードにおいていずれの操
作スイッチを押圧操作しても警報停止を行うことができ
るので、警報を停止させる際の操作性を向上させること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る操作入力装置が適
用される基板処理装置の斜視図である。

【図２】図１の基板処理装置のブロック図である。

【図３】第１実施形態の操作入力装置に備えられるタッ
チパネルの表示入力面の構成内容を示す図である。

【図４】第１実施形態の操作入力装置に備えられるタッ
チパネルの表示入力面の構成内容を示す図である。

【図５】第１実施形態の操作入力装置に備えられるタッ
チパネルの表示入力面の構成内容を示す図である。

【図６】本発明の第２実施形態に係る操作入力装置に備
えられるタッチパネルの表示入力面の構成内容を示す図
である。

【図７】図６に示される構成内容の変形例を示す図であ
る。

【図８】本発明の第３実施形態に係る操作入力装置に備
えられるタッチパネルの表示入力面の警報停止モード時
の構成内容を示す図である。

【図９】図８に示される構成内容の変形例を示す図であ
る。

【図１０】本発明の第４実施形態に係る操作入力装置が
適用される基板処理装置のブロック図である。

【図１１】第４実施形態の操作入力装置に備えられる表
示入力部の構成を示す図である。

【図１２】第４実施形態の操作入力装置に備えられる表
示入力部の構成を示す図である。

【図１３】第４実施形態の操作入力装置に備えられる表
示入力部の構成を示す図である。

【図１４】本発明の第５実施形態に係る操作入力装置に
備えられる表示入力部の構成を示す図である。

【図１５】第５実施形態の操作入力装置に備えられる表
示入力部の構成を示す図である。

【符号の説明】

１ 基板処理装置 １９ｂ タッチパネル制御部 １９ｃ 表示入力制御部 ２１ タッチパネル ２５ 操作入力装置 ３５，３７，３９，４１，４５ 操作領域 ３５ａ，３７ａ，３９ａ，４１ａ，４３，４５ａ 表示
内容 ５１ 操作入力装置 ５５ 表示部 ５７，５９，６１，６３ 操作スイッチ ７５，７７，７９，８１ 表示内容

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 操作に必要な所定の操作情報の表示およ
   び所定の操作入力の受入れを行うための基板処理装置に
   おける操作入力装置であって、 タッチパネルと、 前記タッチパネルを通じて前記操作情報の表示を行うと
   ともに、前記タッチパネル上に前記操作入力を受入れる
   ための操作領域を少なくとも１つ設定し、その操作領域
   が押圧操作されるとこれを検知し、その操作領域に対応
   付けられた前記操作入力の受入れを行う一方、所定の変
   更規則に従い前記タッチパネル上における前記操作領域
   の設定位置および大きさのうちの少なくともいずれか一
   方を変更する制御手段と、を備えることを特徴とする基
   板処理装置における操作入力装置。
2. 【請求項２】 前記制御手段による前記操作領域の変更
   は、互いに異なる前記操作入力を受入れる複数の前記操
   作領域の前記タッチパネル上における設定位置を、その
   各操作領域に重ねて表示され、その各操作領域に対応付
   けられた前記操作入力の指令内容を示す表示内容ととも
   に互いに入れ替えることにより行われることを特徴とす
   る請求項１に記載の基板処理装置における操作入力装
   置。
3. 【請求項３】 前記制御手段による前記操作領域の変更
   は、前記タッチパネル上で前記操作領域を、その操作領
   域に重ねて表示され、その操作領域に対応付けられた前
   記操作入力の指令内容を示す表示内容とともに移動させ
   ることにより行われることを特徴とする請求項１に記載
   の基板処理装置における操作入力装置。
4. 【請求項４】 前記制御手段による前記操作領域の変更
   は、前記タッチパネル上で前記操作領域を、その操作領
   域に重ねて表示され、その操作領域に対応付けられた前
   記操作入力の指令内容を示す表示内容とともに拡大させ
   ることにより行われることを特徴とする請求項１に記載
   の基板処理装置における操作入力装置。
5. 【請求項５】 前記操作領域には、所定の警報を停止さ
   せるための操作入力を受入れるための操作領域が含まれ
   ることを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載
   の基板処理装置における操作入力装置。
6. 【請求項６】 前記制御手段による前記操作領域の変更
   は、前記操作領域を前記タッチパネルの実質的に全面に
   拡大させることにより行われることを特徴とする請求項
   １に記載の基板処理装置における操作入力装置。
7. 【請求項７】 前記タッチパネルの実質的に全面に拡大
   される前記操作領域は、所定の警報を停止させるための
   操作入力を受入れるための操作領域であり、前記所定の
   警報の発生に応答して、前記制御手段が前記警報停止を
   指令するための前記操作領域を前記タッチパネルの実質
   的に全面に拡大させるとともに、前記タッチパネルにそ
   の警告の内容を表示させることを特徴とする請求項６に
   記載の基板処理装置における操作入力装置。
8. 【請求項８】 操作に必要な所定の操作情報の表示およ
   び所定の操作入力の受入れを行うための基板処理装置に
   おける操作入力装置であって、 互いに異なる指令内容に対応した前記操作入力が個別に
   割り当てられた複数の操作スイッチと、 前記操作情報を表示するための表示手段と、 前記表示手段に、前記操作情報とともに、前記各操作ス
   イッチに割り当てられている前記操作入力の指令内容を
   前記操作スイッチの配列に対応させて表示するととも
   に、前記操作スイッチが操作されるとこれを検知し、そ
   の操作スイッチに割り当てられている前記操作入力の受
   入れを行う一方、所定の変更規則に従い前記各操作スイ
   ッチに割り当てている前記操作入力の指令内容を各操作
   スイッチ同士の間で入れ替える制御手段と、を備えるこ
   とを特徴とする基板処理装置における操作入力装置。
9. 【請求項９】 前記操作スイッチへの割り当てが入れ替
   えられる前記操作入力には、所定の警報を停止させるた
   めの操作入力が含まれることを特徴とする請求項８に記
   載の基板処理装置における操作入力装置。
10. 【請求項１０】 操作に必要な所定の操作入力の受入れ
    を行うための基板処理装置における操作入力装置であっ
    て、 通常モードにおいて、互いに異なる指令内容に対応した
    操作入力を受入れる複数の操作スイッチと、 所定の警報の発生に応答して、複数の前記操作スイッチ
    のモードを、前記警報を停止させるための操作入力を受
    入れる警報停止モードに切り換えるモード切替手段と、
    を備えることを特徴とする基板処理装置における操作入
    力装置。