JPH11151661A - 接着テープ付き研磨パッド及び研磨パッド接着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 研磨パッドの定盤への接着の際に接着テープ
と定盤との間に侵入した空気を自動的に抜くことがで
き、しかも、研磨パッド接着作業を容易に行うことがで
きる接着テープ付き研磨パッド及び研磨パッド接着方法
を提供する。 【解決手段】 通気性を有する研磨パッド本体２と研磨
パッド本体２の一面全体に接着された接着テープ３とを
備えている。そして、接着テープ３には、空気を通気さ
せる多数の通気部４が均一に穿設されている。これによ
り、接着テープ３と定盤との間に侵入した空気を通気部
４と研磨パッド本体２とを介して外部に逃がす。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ウエハなどのワ
ークの表面を研磨する片面及び両面研磨装置の定盤に接
着される接着テープ付き研磨パッド及び研磨パッド接着
方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ウエハ等のワーク表面をポリッシングす
るための片面及び両面研磨装置では、ワーク表面を高精
度に研磨するため、研磨パッドが定盤表面に接着されて
いる。図７は、従来の研磨パッドを示す斜視図である。
この研磨パッド１００の裏面には、無通気性の接着テー
プ１１０が接着されており、研磨パッド１００がこの接
着テープ１１０を介して研磨装置の定盤に接着されてい
る。

【０００３】図８は研磨パッド１００の定盤への接着状
態を示す断面図である。図８に示すように、研磨装置
は、研磨パッド１００が接着テープ１１０を介して下定
盤２００の表面に接着されて固定されており、この研磨
パッド１００上にワークＷが載せられると、このワーク
Ｗを図示しない回転する上定盤やヘッドで加圧すること
で、ワークＷを研磨する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の研磨パッド１００では、次のような問題があ
る。研磨パッド１００に接着されている接着テープ１１
０が無通気性であるので、研磨パッド１００を、図８に
示すように、下定盤２００上に接着する際、下定盤２０
０と接着テープ１１０との間に空気が侵入して溜まるこ
とが多い。図１２は、空気侵入状態を示す断面図であ
る。すなわち、図１２に示すように、空気Ａが下定盤２
００と接着テープ１１０との間に侵入すると、接着テー
プ１１０が無通気性であるため、空気Ａが外部に逃げる
ことができない。このため、接着テープ１１０の下に溜
まった空気Ａによって、研磨パッド１００に凸部１００
ａが生じてしまう。このような状態で、ワークＷを研磨
すると、ワークＷの表面が平坦に研磨されず、研磨精度
が著しく低下する。また、研磨パッド１００が凸部１０
０ａの箇所で破損することがある。

【０００５】そこで、従来は、研磨パッド１００の接着
作業の際に、下定盤２００と接着テープ１１０との間に
侵入した空気Ａを逃がすような措置を採っている。図１
０は、従来の研磨パッド接着作業を示す斜視図である。
図１０に示すように、作業者が接着テープ１１０を下向
きにした研磨パッド１００を持って下定盤２００上に載
せ、研磨パッド１００を押圧しながらローラ３００を回
転させて、研磨パッド１００を下定盤２００に接着させ
る。さらに、ローラ３００の回転作業の際、ローラ３０
０を研磨パッド１００の半径方向に移動させて、接着テ
ープ１１０の下に侵入した空気Ａを研磨パッド１００の
周縁から押し出すようにしている。しかしながら、人が
ローラ３００を回転させるだけでは、侵入した空気Ａを
すべて外部に押し出すことは困難である。特に、大型の
研磨装置では、下定盤２００の直径が２ｍ以上もあり、
接着テープ１１０下に侵入した空気Ａを全て押し出すこ
とは不可能である。また、念入りに空気Ａを押し出す作
業を行って、全ての空気Ａを無くにしても、上記のよう
な大型の研磨装置では、作業者が３人掛かりで４時間以
上も作業を行わなければならず、研磨パッド１００の接
着作業に人手と時間を要する。しかも、両面研磨装置で
は、下定盤の他に上定盤に対しても同様の接着作業を行
わなければならず、その手間は膨大なものであった。

【０００６】この発明は上述した課題を解決するために
なされたもので、研磨パッドの定盤への接着の際に接着
テープと定盤との間に侵入した空気を自動的に抜くこと
ができ、しかも、研磨パッド接着作業を容易に行うこと
ができる接着テープ付き研磨パッド及び研磨パッド接着
方法を提供することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、通気性を有する研磨パッド本体
と、研磨パッド本体の一面全体に接着された接着テープ
とを有する接着テープ付き研磨パッドにおいて、空気が
接着テープの一面側から他面側に通気可能な複数の通気
部を、接着テープ全体に均一に設けた構成としてある。
かかる構成により、接着テープを研磨装置の定盤表面全
体に接触させた状態で、研磨パッド本体側から定盤側に
接着テープ付き研磨パッド全体を押圧すれば、定盤と接
着テープとの間に侵入している空気が押圧力によって通
気部側に移動し、通気部から通気性有する研磨パッド本
体を介して外部に押し出される。

【０００８】ここで、通気部は接着テープの一面側から
他面側に空気を通すものであればよく、その形状に限定
はない。その一例として、請求項２の発明は、請求項１
に記載の接着テープ付き研磨パッドにおいて、各通気部
は、接着テープに穿設された円形孔，楕円孔又は多角形
孔のいずれかである構成とした。さらに、請求項３の発
明は、請求項１に記載の接着テープ付き研磨パッドにお
いて、各通気部は、接着テープを直線状又は曲線状に切
り込んで形成した切込みである構成とした。また、直線
状又は曲線状の切込みとしては、−状等、１つの切り線
でなる切込みが挙げられるが、複数の切り線で構成され
た切込みをも含む概念である。そこで、請求項４の発明
は、請求項３に記載の接着テープ付き研磨パッドにおい
て、各通気部は、直線状の切込みを複数交差させて形成
したものである構成とした。

【０００９】接着テープ付き研磨パッドの発明は実体を
有するが、この接着テープ付き研磨パッドを利用した接
着方法も思想としての発明となり得る。そこで、請求項
５の発明に係る研磨パッド接着方法は、通気性を有する
研磨パッド本体の一面全体に接着され且つ複数の通気部
が均一に設けられた接着テープを各々有する２枚の接着
テープ付き研磨パッドを、研磨パッド本体同士が背中合
わせになるように重ね、下向きの接着テープ付き研磨パ
ッドの接着テープが両面研磨装置の下定盤の表面全体に
接触するように、２枚の接着テープ付き研磨パッドを下
定盤上に載置する載置過程と、上定盤を、上向きの接着
テープ付き研磨パッドの接着テープ全体に接触するよう
に下降させた後、２枚の接着テープ付き研磨パッド全体
を下定盤方向に押圧する押圧過程とを具備する構成とし
た。かかる構成により、載置過程において、研磨パッド
本体を背中合わせにした２枚の接着テープ付き研磨パッ
ドが両面研磨装置の下定盤上に載置されると、押圧過程
により、２枚の接着テープ付き研磨パッド全体が上定盤
で押圧される。すると、下側の接着テープ付き研磨パッ
ドの接着テープと下定盤との間に侵入した空気が、上定
盤の押圧力によって、通気部から通気性有する研磨パッ
ド本体内に移動し、研磨パッド本体の周面から外部に押
し出される。また、接着テープ付き研磨パッドは両面研
磨装置だけでなく、片面研磨装置にも適用することがで
きる。そこで、請求項６の発明に係る研磨パッド接着方
法は、通気性を有する研磨パッド本体の一面全体に接着
され且つ複数の通気部が均一に設けられた接着テープを
有する接着テープ付き研磨パッドを、下向きにして、そ
の接着テープが片面研磨装置の下定盤の表面全体に接触
するようにこの下定盤上に載置する載置過程と、接着テ
ープ付き研磨パッド全体を所定の押圧部材により下定盤
方向に押圧する押圧過程とを具備する構成とした。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。 （第１の実施形態）図１は、この発明の第１の実施形態
に係る接着テープ付き研磨パッドを示す斜視図であり、
図２はその側断面図である。図１に示すように、この接
着テープ付き研磨パッド１は研磨パッド本体２と接着テ
ープ３とでなる。

【００１１】研磨パッド本体２は、使用される定盤の平
面形状に対応した形状に裁断されており、ここではドー
ナッツ状に形成されている。このような研磨パッド本体
２は、不織布等の通気性を有する素材で形成されてい
る。 例えば、ローデルニッタ社のＳＵＢＡ８００など
である。

【００１２】一方、接着テープ３は、研磨パッド本体２
と同形状に形成され、研磨パッド本体２の裏面全体に接
着されている。このような接着テープ３には、多数の通
気部４が穿設されている。各通気部４は、円形孔でな
り、接着テープ３全体に均一に配設されている。そし
て、各円形孔の大きさ及び間隔は、例えば、５ｍｍ及び
２０ｍｍである。これにより、図２に示すように、通気
部４内の空気Ａが接着テープ３内に入り込むことができ
るようになっている。

【００１３】ここで、接着テープ付き研磨パッド１の製
造方法について述べておく。図３は、接着テープ付き研
磨パッド１の製造方法を示す順工程図である。先ず、図
３の（ａ）に示すように、両面に剥離自在な紙Ｐ１，Ｐ
２が張り付けられた両面接着テープ３′を用意し、その
上から多数の通気部４を均一に穿設する。そして、図３
の（ｂ）に示すように、定盤に対応した形状に裁断した
研磨パッド本体２と同形に両面接着テープ３′を裁断
し、一方の紙Ｐ２を剥がして、両面接着テープ３′を研
磨パッド本体２上に接着させる。しかる後、図３の
（ｃ）に示すように、紙Ｐ１を両面接着テープ３′から
剥がすことにより、研磨パッド本体２上にドーナッツ状
の接着テープ３が接着された接着テープ付き研磨パッド
１が製造される。

【００１４】次に、上記接着テープ付き研磨パッド１を
両面研磨装置の定盤に接着させるための研磨パッド接着
方法について説明する。この研磨パッド接着方法は、載
置過程と押圧過程とを有している。図４は、研磨パッド
接着方法を示す順工程図である。まず、２枚の接着テー
プ付き研磨パッド１−１，１−２を用意し、図４の
（ａ）に示すように、接着テープ付き研磨パッド１−
１，１−２の研磨パッド本体２，２同士が背中合わせに
なるように重ねる。そして、図４の（ｂ）に示すよう
に、下側の接着テープ付き研磨パッド１−１の接着テー
プ３が両面研磨装置の下定盤２００に一致するように、
接着テープ付き研磨パッド１−１，１−２を下定盤２０
０上に載置して、載置過程を完了する。すなわち、この
載置過程では、重ねた２枚の接着テープ付き研磨パッド
１−１，１−２を下定盤２００上に載置するだけであ
り、その作業は非常に簡単であり、短時間で済む。

【００１５】次に、上記状態で、上定盤２０１を下定盤
２００側に下降させ、接着テープ付き研磨パッド１−２
の接着テープ３に上定盤２０１の表面全体を接触させ
て、上定盤２０１で接着テープ付き研磨パッド１−１，
１−２全体を押圧し、押圧過程を達成する。しかる後、
図４の（ｄ）に示すように、上定盤２０１を上昇させる
ことで、下側の接着テープ付き研磨パッド１−１が下定
盤２００に接着され、上側の接着テープ付き研磨パッド
１−２が上定盤２０１に接着された状態となる。

【００１６】ところで、上記研磨パッド接着方法を実行
する際、接着テープ付き研磨パッド１−１，１−２を単
に下定盤２００上に載置し、接着テープ付き研磨パッド
１−２に上定盤２０１を接触させるだけでは、下定盤２
００と接着テープ付き研磨パッド１−１の接着テープ３
の間や上定盤２０１と接着テープ付き研磨パッド１−２
の接着テープ３の間に空気が溜まることとなる。しかし
ながら、この実施形態では、接着テープ付き研磨パッド
１の作用により、溜まった空気は外部に押し出されるよ
うになっている。以下、かかる空気押出動作について詳
細に説明する。図５は、空気押出動作を説明するための
断面図である。２枚の接着テープ付き研磨パッド１−
１，１−２を下定盤２００に載置させ、上定盤２０１を
上の接着テープ付き研磨パッド１−２に接触させた状態
では、図５の（ａ）に示すように、接着テープ付き研磨
パッド１−１の接着テープ３−１と下定盤２００との間
や接着テープ付き研磨パッド１−２の接着テープ３−２
と上定盤２０１との間に空気Ａが侵入した状態になる。
しかし、この状態から、図４の（ｃ）に示すように、上
定盤２０１で接着テープ付き研磨パッド１−１，１−２
全体を押圧すると、図５の（ｂ）の矢印で示すように、
空気Ａが横方向に移動し、近傍の通気部４内に入り込む
こととなる。通気部４内に入り込んだ空気Ａは、研磨パ
ッド本体２−１，２−２が不織布等の通気性を有する素
材で形成されていることから、図５の（ｃ）の矢印で示
すように、研磨パッド本体２−１，２−２内部に入り、
上定盤２０１の押圧力によって、研磨パッド本体２−
１，２−２内を横方向に移動する。そして、図５の
（ｄ）に示すように、研磨パッド本体２−１，２−２の
周面から外部に逃げていく。このようにして、接着テー
プ３−１と下定盤２００の間に溜まった全ての空気と接
着テープ３−２と上定盤２０１とに溜まった全ての空気
が外部に押し出され、接着テープ３−１，３−２が下定
盤２００，上定盤２０１全体に接着した状態となる。こ
のため、図９に示したように、侵入した空気Ａによっ
て、研磨パッド本体２の表面に凸部が発生するという事
態は生じない。

【００１７】このように、この実施形態の接着テープ付
き研磨パッド１によれば、下定盤２００，上定盤２０１
への接着時に空気Ａが接着テープ３と下定盤２００，上
定盤２０１との間に溜まることがないので、研磨パッド
本体２の表面が略平坦になり、この接着テープ付き研磨
パッド１を使用することで、ワークの研磨精度を向上さ
せることができる。しかも、図４に示したように、各接
着テープ付き研磨パッド１を両面研磨装置の下定盤２０
０，上定盤２０１に接着させる作業が、２枚の接着テー
プ付き研磨パッド１を下定盤２００に載置させた後、上
定盤２０１で押圧するだけで済み、接着作業の手間と時
間とを大幅に削減することができる。

【００１８】（第２の実施形態）図６は、この発明の第
２の実施形態に係る接着テープ付き研磨パッドを示す斜
視図である。この実施形態の接着テープ付き研磨パッド
１′は、接着テープ３の通気部４′を円形孔でなく、切
り込みで形成した点が上記第１の実施形態と異なる。具
体的には、接着テープ３を＋状に切り込んで各通気部
４′を形成し、定盤への接着面積を確保した。すなわ
ち、上記第１の実施形態の通気部４のように、円形孔の
場合には、円形孔の大きさ分だけ、接着テープ３の接着
面積が失われるが、この実施形態のように通気部４′を
切り込みにしておくことで、接着テープ３の接着面積が
失われることはない。したがって、接着テープ付き研磨
パッド１′が定盤に強力に接着することとなる。その他
の構成，作用効果は上記第１の実施形態と同様であるの
で、その記載は省略する。

【００１９】なお、この発明は、上記実施形態に限定さ
れるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の
変形や変更が可能である。例えば、上記第１の実施形態
では、通気部４を円形孔としたが、楕円孔や多角形孔で
も良い。また、上記第２の実施形態では、通気部４′を
＋状の切り込みにしたが、−状の切り込みや直線上の切
り込みを３本以上交差させて形成したもの、及びＳ状等
の曲線状の切り込みでも良い。さらに、上記第１の実施
形態では、接着テープ付き研磨パッド１を両面研磨装置
の下定盤２００，上定盤２０１に接着する例について説
明したが、片面研磨装置の定盤に接着することもできる
ことは勿論である。この場合には、接着テープ付き研磨
パッド１を定盤上に載置した後、ローラ等の押圧部材で
接着テープ付き研磨パッド１を定盤側に押圧すること
で、侵入した空気を追い出すことができる。また、上記
実施形態では、 研磨パッド本体２を例えばローデルニ
ッタ社のＳＵＢＡ８００としたが、通気性を有する素材
で形成された全ての研磨パッド本体を含む。さらに、接
着テープ３の通気部４の大きさ及び間隔を５ｍｍ及び２
０ｍｍに設定したが、定盤の径の大きさに対応させて、
自由に設定することができる。

【００２０】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、請求項１及
び請求項２の発明によれば、接着テープを定盤に接触さ
せた状態で接着テープ付き研磨パッド全体を押圧すれ
ば、侵入している空気が外部に押し出されるので、接着
テープ付き研磨パッドの平坦性を確保することができ、
この結果、研磨精度の向上を図ることができるという優
れた効果がある。また、請求項３及び請求項４の発明に
よれば、通気部を切り込みで形成したので、定盤に対す
る接着テープの接着面積を充分に確保することができ
る。また、請求項５の発明によれば、２枚の接着テープ
付き研磨パッドを両面研磨装置の下定盤に載置し、上定
盤で接着テープ付き研磨パッドを押圧するだけで、空気
を侵入させることなく、各接着テープ付き研磨パッドを
下定盤と上定盤とに各々接着させることができるので、
両面研磨装置に対する接着作業の手間と時間とを大幅に
削減することができるという効果がある。また、請求項
６の発明によれば、接着テープ付き研磨パッドを片面研
磨装置の下定盤に載置し、所定の押圧部材で押圧するだ
けで、接着テープ付き研磨パッドを下定盤に空気を侵入
させることなく接着させることができるので、片面研磨
装置に対する接着作業の手間と時間とを大幅に削減する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施形態に係る接着テープ付
き研磨パッドを示す斜視図である。

【図２】図１の接着テープ付き研磨パッドの側断面図で
ある。

【図３】接着テープ付き研磨パッドの製造方法を示す順
工程図である。

【図４】研磨パッド接着方法を示す順工程図である。

【図５】空気押出動作を説明するための断面図である。

【図６】この発明の第２の実施形態に係る接着テープ付
き研磨パッドを示す斜視図である。

【図７】従来の研磨パッドを示す斜視図である。

【図８】従来の研磨パッドの定盤への接着状態を示す断
面図である。

【図９】空気侵入状態を示す断面図である。

【図１０】従来の研磨パッド接着作業を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１…接着テープ付き研磨パッド、 ２…研磨パッド本
体、 ３…接着テープ、４…通気部、 ２００…下定
盤、 ２０１…上定盤、 Ａ…空気。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 通気性を有する研磨パッド本体と、上記
   研磨パッド本体の一面全体に接着された接着テープとを
   有する接着テープ付き研磨パッドにおいて、 空気が接着テープの一面側から他面側に通気可能な複数
   の通気部を、接着テープ全体に均一に設けた、 ことを特徴とする接着テープ付き研磨パッド。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の接着テープ付き研磨パ
   ッドにおいて、 上記各通気部は、上記接着テープに穿設された円形孔，
   楕円孔又は多角形孔のいずれかである、 ことを特徴とする接着テープ付き研磨パッド。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の接着テープ付き研磨パ
   ッドにおいて、 上記各通気部は、上記接着テープを直線状又は曲線状に
   切り込んで形成した切込みである、 ことを特徴とする接着テープ付き研磨パッド。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の接着テープ付き研磨パ
   ッドにおいて、 上記各通気部は、上記直線状の切込みを複数交差させて
   形成したものである、 ことを特徴とする接着テープ付き研磨パッド。
5. 【請求項５】 通気性を有する研磨パッド本体の一面全
   体に接着され且つ複数の通気部が均一に設けられた接着
   テープを各々有する２枚の接着テープ付き研磨パッド
   を、上記研磨パッド本体同士が背中合わせになるように
   重ね、下向きの接着テープ付き研磨パッドの接着テープ
   が両面研磨装置の下定盤の表面全体に接触するように、
   上記２枚の接着テープ付き研磨パッドを上記下定盤上に
   載置する載置過程と、 上記上定盤を、上向きの接着テープ付き研磨パッドの接
   着テープ全体に接触するように下降させた後、上記２枚
   の接着テープ付き研磨パッド全体を下定盤方向に押圧す
   る押圧過程とを具備することを特徴とする研磨パッド接
   着方法。
6. 【請求項６】 通気性を有する研磨パッド本体の一面全
   体に接着され且つ複数の通気部が均一に設けられた接着
   テープを有する接着テープ付き研磨パッドを、下向きに
   して、その接着テープが片面研磨装置の下定盤の表面全
   体に接触するようにこの上記下定盤上に載置する載置過
   程と、 上記接着テープ付き研磨パッド全体を所定の押圧部材に
   より下定盤方向に押圧する押圧過程とを具備することを
   特徴とする研磨パッド接着方法。