JPH1114894A - 電動レボルバ制御装置 - Google Patents
電動レボルバ制御装置Info
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- JPH1114894A JPH1114894A JP16589297A JP16589297A JPH1114894A JP H1114894 A JPH1114894 A JP H1114894A JP 16589297 A JP16589297 A JP 16589297A JP 16589297 A JP16589297 A JP 16589297A JP H1114894 A JPH1114894 A JP H1114894A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、２つのレボルバスイッチを用いて時
間ロスを無くして素早く目標の対物レンズに切り替え
る。 【解決手段】２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ
−Ｌの押し操作時から隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅ
への切り替え終了までの切替動作中に、再度レボルバス
イッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを押し操作すると、これら
レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの再度押し操作
されたことをスイッチ検知手段１１により検知し、切替
制御手段１２によりこれらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又
はＳＷ−Ｌの再押し操作によるレボルバ２の回転方向が
切替動作中のレボルバ２の回転方向と同一方向であれ
ば、レボルバ２を連続して回転動作させて、現在位置決
めされている対物レンズから目標の対物レンズ、例えば
対物レンズＡから対物レンズＤに切り替える。
間ロスを無くして素早く目標の対物レンズに切り替え
る。 【解決手段】２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ
−Ｌの押し操作時から隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅ
への切り替え終了までの切替動作中に、再度レボルバス
イッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを押し操作すると、これら
レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの再度押し操作
されたことをスイッチ検知手段１１により検知し、切替
制御手段１２によりこれらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又
はＳＷ−Ｌの再押し操作によるレボルバ２の回転方向が
切替動作中のレボルバ２の回転方向と同一方向であれ
ば、レボルバ２を連続して回転動作させて、現在位置決
めされている対物レンズから目標の対物レンズ、例えば
対物レンズＡから対物レンズＤに切り替える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば光学式顕微
鏡に用いられ複数の対物レンズを光路上に切り替える電
動レボルバ制御装置に関する。
鏡に用いられ複数の対物レンズを光路上に切り替える電
動レボルバ制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光学式顕微鏡には、複数の対物レンズを
取り付け、このうちの所望倍率の対物レンズを光路上に
切り替えるレボルバが備えられており、このレボルバの
回転は、作業のスピードアップ、操作による試料（標
本）近傍のごみの落下防止等の観点から、電動機等によ
り電気的に回転制御することが多くなっている。
取り付け、このうちの所望倍率の対物レンズを光路上に
切り替えるレボルバが備えられており、このレボルバの
回転は、作業のスピードアップ、操作による試料（標
本）近傍のごみの落下防止等の観点から、電動機等によ
り電気的に回転制御することが多くなっている。
【０００３】このような電動レボルバとして、例えば特
開平３−２１３８１１号公報には、レボルバの位置制
御、対物レンズの指定のためのスイッチ等を備えたこと
が記載されている。
開平３−２１３８１１号公報には、レボルバの位置制
御、対物レンズの指定のためのスイッチ等を備えたこと
が記載されている。
【０００４】又、特許第２５３９９０３号公報には、レ
ボルバが決められた停止位置にたどり着いたかどうかを
センサで読取りながらレボルバの駆動モータを加減速さ
せる制御方法が記載されており、これは目標の対物レン
ズを顕微鏡の光路上に位置決めするときのオーバーラン
（行き過ぎ）や行き足らずを防止するための一般的な制
御である。
ボルバが決められた停止位置にたどり着いたかどうかを
センサで読取りながらレボルバの駆動モータを加減速さ
せる制御方法が記載されており、これは目標の対物レン
ズを顕微鏡の光路上に位置決めするときのオーバーラン
（行き過ぎ）や行き足らずを防止するための一般的な制
御である。
【０００５】以上のような各電動レボルバには、対物レ
ンズの切り替えのために、レボルバに設けられた各対物
レンズの各取り付け穴に対応して複数のレボルバスイッ
チ（直接指定スイッチ）を設けることが多く、この直接
指定スイッチで指定された目標の対物レンズに切り替え
るものとなっている。
ンズの切り替えのために、レボルバに設けられた各対物
レンズの各取り付け穴に対応して複数のレボルバスイッ
チ（直接指定スイッチ）を設けることが多く、この直接
指定スイッチで指定された目標の対物レンズに切り替え
るものとなっている。
【０００６】ところが、一般的な半導体検査作業などで
は、光学式顕微鏡で観察を続けながらブラインド操作で
レボルバスイッチを操作して目標の対物レンズに切り替
えるとが行われており、レボルバスイッチが複数個、例
えば５個、６個付いていると、これらレボルバスイッチ
の触感で目標の対物レンズに切り替えるためのレボルバ
スイッチを認識することが困難である。
は、光学式顕微鏡で観察を続けながらブラインド操作で
レボルバスイッチを操作して目標の対物レンズに切り替
えるとが行われており、レボルバスイッチが複数個、例
えば５個、６個付いていると、これらレボルバスイッチ
の触感で目標の対物レンズに切り替えるためのレボルバ
スイッチを認識することが困難である。
【０００７】このようなことからブラインド操作による
目標の対物レンズへの切り替えには、触感で分かりやす
い正転、逆転の２つのレボルバスイッチ（方向指定スイ
ッチ）が好まれている。
目標の対物レンズへの切り替えには、触感で分かりやす
い正転、逆転の２つのレボルバスイッチ（方向指定スイ
ッチ）が好まれている。
【０００８】このような正転、逆転の２つのレボルバス
イッチを設けた電動レボルバ制御装置は、例えば特開平
８−３３８９３９号公報中に記載がある。図５はかかる
電動レボルバ制御装置の構成図である。
イッチを設けた電動レボルバ制御装置は、例えば特開平
８−３３８９３９号公報中に記載がある。図５はかかる
電動レボルバ制御装置の構成図である。
【０００９】電動レボルバ１には、回転自在に支持され
た円板状の取付け体（以下、レボルバと称する）２が設
けられている。このレボルバ２には、円環状に所定の順
序で複数の対物レンズＡ、Ｂ…Ｅ、例えば倍率が５倍、
１０倍、２０倍、５０倍、１００倍と異なる各対物レン
ズＡ、Ｂ、…Ｅが取付けられている。
た円板状の取付け体（以下、レボルバと称する）２が設
けられている。このレボルバ２には、円環状に所定の順
序で複数の対物レンズＡ、Ｂ…Ｅ、例えば倍率が５倍、
１０倍、２０倍、５０倍、１００倍と異なる各対物レン
ズＡ、Ｂ、…Ｅが取付けられている。
【００１０】又、レボルバ２を回転させるための回転用
電動機（回転用モータ）３が設けられ、かつレボルバ２
に設けられた各対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの各取り付け穴
の位置を認識するための磁気センサ４が設けられてい
る。
電動機（回転用モータ）３が設けられ、かつレボルバ２
に設けられた各対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの各取り付け穴
の位置を認識するための磁気センサ４が設けられてい
る。
【００１１】この磁気センサ４は、例えばレボルバ２の
外周面に配置されている例えば３種類の磁性材パターン
を読み取って、光学式顕微鏡の光軸５に位置決めされて
いる対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの各取付け穴の位置、例え
ば図５では対物レンズＡの取付け穴の位置に対応する認
識番号を認識するための信号を出力するものとなってい
る。
外周面に配置されている例えば３種類の磁性材パターン
を読み取って、光学式顕微鏡の光軸５に位置決めされて
いる対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの各取付け穴の位置、例え
ば図５では対物レンズＡの取付け穴の位置に対応する認
識番号を認識するための信号を出力するものとなってい
る。
【００１２】一方、レボルバ２を正転又は逆転させるた
めの２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌが備え
られ、これらスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌが処理回路６
に接続されている。
めの２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌが備え
られ、これらスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌが処理回路６
に接続されている。
【００１３】この処理回路６は、図６に示す対物レンズ
切り替え制御フローチャートに従って、２つのレボルバ
スイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのいずれかの押し操作を検
知し、レボルバスイッチＳＷ−Ｈが押し操作されたとき
に対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの倍率が順に高くなる方向、
例えば対物レンズＡから対物レンズＥの方向にレボルバ
２を回転させる回転指令をドライバ７に発し、かつレボ
ルバスイッチＳＷ−Ｌが押し操作されたときに対物レン
ズＡ、Ｂ、…Ｅの倍率が順に低くなる方向、例えば対物
レンズＡから対物レンズＢへの方向にレボルバ２を回転
させる回転指令をドライバ７に発するものとなってい
る。
切り替え制御フローチャートに従って、２つのレボルバ
スイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのいずれかの押し操作を検
知し、レボルバスイッチＳＷ−Ｈが押し操作されたとき
に対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの倍率が順に高くなる方向、
例えば対物レンズＡから対物レンズＥの方向にレボルバ
２を回転させる回転指令をドライバ７に発し、かつレボ
ルバスイッチＳＷ−Ｌが押し操作されたときに対物レン
ズＡ、Ｂ、…Ｅの倍率が順に低くなる方向、例えば対物
レンズＡから対物レンズＢへの方向にレボルバ２を回転
させる回転指令をドライバ７に発するものとなってい
る。
【００１４】この場合、処理回路６は、１回のレボルバ
スイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作で１つだけ隣
接する対物レンズへの切り替え、例えば対物レンズＡか
ら左側又は右側に１つ隣接する対物レンズＥ又はＢへの
切り替えを行うものとなっている。
スイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作で１つだけ隣
接する対物レンズへの切り替え、例えば対物レンズＡか
ら左側又は右側に１つ隣接する対物レンズＥ又はＢへの
切り替えを行うものとなっている。
【００１５】このような構成であれば、作業者により２
つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのうちいずれ
か一方のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し
操作されると、処理回路６は、ステップ＃１において、
レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検
出し、次のステップ＃２において、レボルバスイッチＳ
Ｗ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆
転の入力であることを検知する。
つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのうちいずれ
か一方のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し
操作されると、処理回路６は、ステップ＃１において、
レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検
出し、次のステップ＃２において、レボルバスイッチＳ
Ｗ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆
転の入力であることを検知する。
【００１６】次に、処理回路６は、回転用モータ３の正
転又は逆転のレボルバスイッチ入力であることを検知す
ると、ステップ＃３に移ってレボルバスイッチＳＷ−Ｈ
又はＳＷ−Ｌのよる回転用モータ３の正転又は逆転の方
向を決定し、続くステップ＃４において回転用モータ３
の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、回転用
モータ３を回転駆動する。
転又は逆転のレボルバスイッチ入力であることを検知す
ると、ステップ＃３に移ってレボルバスイッチＳＷ−Ｈ
又はＳＷ−Ｌのよる回転用モータ３の正転又は逆転の方
向を決定し、続くステップ＃４において回転用モータ３
の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、回転用
モータ３を回転駆動する。
【００１７】例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操
作の検知であれば、回転用モータ３を回転駆動により、
レボルバ２は、対物レンズＡから対物レンズＥに切り替
わる方向に回転する。
作の検知であれば、回転用モータ３を回転駆動により、
レボルバ２は、対物レンズＡから対物レンズＥに切り替
わる方向に回転する。
【００１８】次に、処理回路６は、ステップ＃５におい
て対物レンズＡから対物レンズＥへの切り替わり動作中
に、磁気センサ４により読み取られる識別番号を受け取
り、この識別番号が対物レンズＥの取付け穴の位置に対
応する番号であれば、ステップ＃６において目標とする
対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断
し、ステップ＃７において回転用モータ３を停止する。
て対物レンズＡから対物レンズＥへの切り替わり動作中
に、磁気センサ４により読み取られる識別番号を受け取
り、この識別番号が対物レンズＥの取付け穴の位置に対
応する番号であれば、ステップ＃６において目標とする
対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断
し、ステップ＃７において回転用モータ３を停止する。
【００１９】従って、対物レンズＡから対物レンズＤに
切り替える場合、レボルバスイッチＳＷ−Ｈを１度押し
操作して対物レンズＥに切り替え、この切替え動作の終
了の後に、再びレボルバスイッチＳＷ−Ｈを１度押し操
作することにより目標とする対物レンズＤに切り替わ
る。
切り替える場合、レボルバスイッチＳＷ−Ｈを１度押し
操作して対物レンズＥに切り替え、この切替え動作の終
了の後に、再びレボルバスイッチＳＷ−Ｈを１度押し操
作することにより目標とする対物レンズＤに切り替わ
る。
【００２０】このような対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの切り
替え制御であるので、実際には、作業者はレボルバスイ
ッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを短い間隔で押し続け、一刻
も早く目標の倍率の対物レンズに切り替わるようにレボ
ルバを回転させる。
替え制御であるので、実際には、作業者はレボルバスイ
ッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを短い間隔で押し続け、一刻
も早く目標の倍率の対物レンズに切り替わるようにレボ
ルバを回転させる。
【００２１】そして、作業者は、目標の倍率の対物レン
ズに切り替わるまでの途中の倍率での観察はほとんど行
わない。なお、一瞬でも途中の倍率での観察を行うこと
により、標本と対物レンズとの衝突の回避や、僅かな同
焦差の補正を行う。
ズに切り替わるまでの途中の倍率での観察はほとんど行
わない。なお、一瞬でも途中の倍率での観察を行うこと
により、標本と対物レンズとの衝突の回避や、僅かな同
焦差の補正を行う。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、処理回
路６においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの
押し操作を検出するのは、レボルバが停止していると
き、すなわち回転用モータ３が停止している期間のみで
あり、回転用モータ３の回転中（例えば０．５〜１sec
の期間）には、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌ
の押し操作を受け付けないものとなっている。
路６においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの
押し操作を検出するのは、レボルバが停止していると
き、すなわち回転用モータ３が停止している期間のみで
あり、回転用モータ３の回転中（例えば０．５〜１sec
の期間）には、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌ
の押し操作を受け付けないものとなっている。
【００２３】さらに、対物レンズの切り替え時の正確な
位置再現を行うために磁気センサ４を設け、確実にレボ
ルバが決められた位置に停止したことを確認する処理
（ステップ＃６）を行っているために、レボルバ停止後
の僅かな時間（例えば０．１秒以下）だけレボルバスイ
ッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作の検出を行ってい
ない。
位置再現を行うために磁気センサ４を設け、確実にレボ
ルバが決められた位置に停止したことを確認する処理
（ステップ＃６）を行っているために、レボルバ停止後
の僅かな時間（例えば０．１秒以下）だけレボルバスイ
ッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作の検出を行ってい
ない。
【００２４】このため、作業者が素早く連続して２回レ
ボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを押し操作して
も、実際には、１回分の押し操作のレボルバの回転しか
行われず、作業効率を低下させている。
ボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを押し操作して
も、実際には、１回分の押し操作のレボルバの回転しか
行われず、作業効率を低下させている。
【００２５】一方、対物レンズの標本に対する緊急退避
について説明すると、作業者が目標の対物レンズＡ、
Ｂ、…Ｅのいずれかに切り替えるためにレボルバスイッ
チを押し操作するとき、直接指定スイッチを用いた場合
には、間違ったレボルバスイッチを押してしまうことが
ある。
について説明すると、作業者が目標の対物レンズＡ、
Ｂ、…Ｅのいずれかに切り替えるためにレボルバスイッ
チを押し操作するとき、直接指定スイッチを用いた場合
には、間違ったレボルバスイッチを押してしまうことが
ある。
【００２６】又、上記レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳ
Ｗ−Ｌのような指定スイッチを用いた場合には、例えば
２回押し操作したつもりが実際には３回押し操作してし
まったりすることがある。
Ｗ−Ｌのような指定スイッチを用いた場合には、例えば
２回押し操作したつもりが実際には３回押し操作してし
まったりすることがある。
【００２７】このように間違ってレボルバスイッチを押
し操作した場合、対物レンズの作動距離が極端に短い場
合には、対物レンズと標本との衝突の危険性があったり
するので、これを回避する方法が例えば特開平４−２０
９１１号公報に記載されている。
し操作した場合、対物レンズの作動距離が極端に短い場
合には、対物レンズと標本との衝突の危険性があったり
するので、これを回避する方法が例えば特開平４−２０
９１１号公報に記載されている。
【００２８】これは、対物レンズの切り替え前のレボル
バ位置を記憶する手段を持ち、１つのスイッチで２本の
対物レンズを交互に切り替える機能を備えたもので、ス
イッチでの誤操作を取り消すために、切り替え途中でレ
ボルバの動作を止めるものとなっている。
バ位置を記憶する手段を持ち、１つのスイッチで２本の
対物レンズを交互に切り替える機能を備えたもので、ス
イッチでの誤操作を取り消すために、切り替え途中でレ
ボルバの動作を止めるものとなっている。
【００２９】しかしながら、レボルバスイッチでの誤操
作を取り消すために専用のスイッチを設けなければなら
ず、ブラインド操作に不利であり、製造コストも高くな
る。他の技術としてレボルバスイッチを連続で押し操作
することによって、レボルバが連続して回転するタイプ
もあるが、目標の対物レンズで確実に位置決めする制御
が困難であり、緊急時の退避も不可能である。
作を取り消すために専用のスイッチを設けなければなら
ず、ブラインド操作に不利であり、製造コストも高くな
る。他の技術としてレボルバスイッチを連続で押し操作
することによって、レボルバが連続して回転するタイプ
もあるが、目標の対物レンズで確実に位置決めする制御
が困難であり、緊急時の退避も不可能である。
【００３０】そこで本発明は、２つのレボルバスイッチ
を用いて時間ロスを無くして素早く確実に目標の対物レ
ンズに切り替えることができる電動レボルバ制御装置を
提供することを目的とする。
を用いて時間ロスを無くして素早く確実に目標の対物レ
ンズに切り替えることができる電動レボルバ制御装置を
提供することを目的とする。
【００３１】又、本発明は、２つのレボルバスイッチを
用いて時間ロスを無くして素早く目標の対物レンズに切
り替えることができ、かつレボルバスイッチの誤操作に
よる目標の対物レンズ以外への切り替えを極力防止でき
る電動レボルバ制御装置を提供することを目的とする。
用いて時間ロスを無くして素早く目標の対物レンズに切
り替えることができ、かつレボルバスイッチの誤操作に
よる目標の対物レンズ以外への切り替えを極力防止でき
る電動レボルバ制御装置を提供することを目的とする。
【００３２】
【課題を解決するための手段】請求項１によれば、複数
の対物レンズを取り付けたレボルバを方向指定スイッチ
の操作に従って正転又は逆転させ、現在位置決めされて
いる対物レンズから左側又は右側に隣接する対物レンズ
に切り替える電動レボルバ制御装置において、方向指定
スイッチの操作時から隣接する対物レンズへの切り替え
終了までの切替動作中に、方向指定スイッチの操作を検
知するスイッチ検知手段と、このスイッチ検知手段によ
り方向指定スイッチの操作を検知すると、この方向指定
スイッチの操作回数に基づいてレボルバを回転させ、現
在位置決めされている対物レンズから目標の対物レンズ
に切り替える切替制御手段と、を備えた電動レボルバ制
御装置である。
の対物レンズを取り付けたレボルバを方向指定スイッチ
の操作に従って正転又は逆転させ、現在位置決めされて
いる対物レンズから左側又は右側に隣接する対物レンズ
に切り替える電動レボルバ制御装置において、方向指定
スイッチの操作時から隣接する対物レンズへの切り替え
終了までの切替動作中に、方向指定スイッチの操作を検
知するスイッチ検知手段と、このスイッチ検知手段によ
り方向指定スイッチの操作を検知すると、この方向指定
スイッチの操作回数に基づいてレボルバを回転させ、現
在位置決めされている対物レンズから目標の対物レンズ
に切り替える切替制御手段と、を備えた電動レボルバ制
御装置である。
【００３３】請求項２によれば、請求項１記載の電動レ
ボルバ制御装置において、切替制御手段は、切替動作中
に操作された方向指定スイッチに応じたレボルバの回転
方向が切替動作中のレボルバの回転方向と同一方向の場
合だけレボルバを連続して回転動作させる機能を有す
る。
ボルバ制御装置において、切替制御手段は、切替動作中
に操作された方向指定スイッチに応じたレボルバの回転
方向が切替動作中のレボルバの回転方向と同一方向の場
合だけレボルバを連続して回転動作させる機能を有す
る。
【００３４】請求項３によれば、請求項１記載の電動レ
ボルバ制御装置において、切替制御手段は、方向指定ス
イッチが複数回操作された場合、これら操作された回数
及びこれらの回転方向に基づいてレボルバの最終的な回
転方向及びその回転量を演算処理し、これら回転方向及
びその回転量に従ってレボルバを正転又は逆転させる機
能を有する。
ボルバ制御装置において、切替制御手段は、方向指定ス
イッチが複数回操作された場合、これら操作された回数
及びこれらの回転方向に基づいてレボルバの最終的な回
転方向及びその回転量を演算処理し、これら回転方向及
びその回転量に従ってレボルバを正転又は逆転させる機
能を有する。
【００３５】
(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図５と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。図１は電動レボルバ
制御装置の構成図である。
照して説明する。なお、図５と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。図１は電動レボルバ
制御装置の構成図である。
【００３６】処理回路１０は、図２に示す対物レンズ切
り替え制御フローチャートに従って作動し、２つのレボ
ルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検知
し、これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押
し操作に応じた正転又は逆転の回転指令をドライバ７に
送出し、回転用モータ３を正転又は逆転させて隣接する
対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅに切り替え制御する機能を有す
るとともに、後述するスイッチ検知手段１１及び切替制
御手段１２の各機能を有している。
り替え制御フローチャートに従って作動し、２つのレボ
ルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検知
し、これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押
し操作に応じた正転又は逆転の回転指令をドライバ７に
送出し、回転用モータ３を正転又は逆転させて隣接する
対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅに切り替え制御する機能を有す
るとともに、後述するスイッチ検知手段１１及び切替制
御手段１２の各機能を有している。
【００３７】このうちスイッチ検知手段１１は、２つの
レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作時か
ら隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切り替え終了ま
での切替動作中に、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又は
ＳＷ−Ｌが押し操作されたことを検知する機能を有して
いる。
レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作時か
ら隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切り替え終了ま
での切替動作中に、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又は
ＳＷ−Ｌが押し操作されたことを検知する機能を有して
いる。
【００３８】切替制御手段１２は、スイッチ検知手段１
１によりレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが再度
押し操作されたことを検知すると、これらレボルバスイ
ッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作回数に基づいて回
転用モータ３を回転駆動し、現在位置決めされている対
物レンズから目標の対物レンズに切り替える機能を有し
ている。
１によりレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが再度
押し操作されたことを検知すると、これらレボルバスイ
ッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作回数に基づいて回
転用モータ３を回転駆動し、現在位置決めされている対
物レンズから目標の対物レンズに切り替える機能を有し
ている。
【００３９】この場合、切替制御手段１２は、目標の対
物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切替動作中に、再度押し操作
されたレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによるレ
ボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方
向と同一方向の場合だけレボルバ２を連続して回転動作
させる機能を有している。
物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切替動作中に、再度押し操作
されたレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによるレ
ボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方
向と同一方向の場合だけレボルバ２を連続して回転動作
させる機能を有している。
【００４０】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて図２に示す対物レンズ切り替え制御フローチャート
に従って説明する。作業者により２つのレボルバスイッ
チＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのうちいずれか一方のレボルバス
イッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、処理
回路１０は、ステップ＃１０においてレボルバスイッチ
ＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検出し、次のステッ
プ＃１１においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−
Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であるこ
とを検知する。
いて図２に示す対物レンズ切り替え制御フローチャート
に従って説明する。作業者により２つのレボルバスイッ
チＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのうちいずれか一方のレボルバス
イッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、処理
回路１０は、ステップ＃１０においてレボルバスイッチ
ＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検出し、次のステッ
プ＃１１においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−
Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であるこ
とを検知する。
【００４１】次に、処理回路１０は、回転用モータ３の
正転又は逆転のレボルバスイッチ入力であることを検知
すると、ステップ＃１２に移ってレボルバスイッチＳＷ
−Ｈ又はＳＷ−Ｌのよる回転用モータ３の正転又は逆転
の方向を決定し、続くステップ＃１３において回転用モ
ータ３の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、
回転用モータ３を回転駆動する。
正転又は逆転のレボルバスイッチ入力であることを検知
すると、ステップ＃１２に移ってレボルバスイッチＳＷ
−Ｈ又はＳＷ−Ｌのよる回転用モータ３の正転又は逆転
の方向を決定し、続くステップ＃１３において回転用モ
ータ３の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、
回転用モータ３を回転駆動する。
【００４２】例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操
作の検知であれば、回転用モータ３を回転駆動により、
レボルバ２は、対物レンズＡから対物レンズＥに切り替
わる方向に回転する。
作の検知であれば、回転用モータ３を回転駆動により、
レボルバ２は、対物レンズＡから対物レンズＥに切り替
わる方向に回転する。
【００４３】次に、処理回路１０は、ステップ＃１４に
おいて、対物レンズＡから対物レンズＥへの切り替え動
作中に、磁気センサ４が識別番号を読み取れるかを検出
し、このとき対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する
番号が読み取れるのであれば、ステップ＃１５において
１つ隣接する対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決め
されたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モ
ータ３を停止する。
おいて、対物レンズＡから対物レンズＥへの切り替え動
作中に、磁気センサ４が識別番号を読み取れるかを検出
し、このとき対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する
番号が読み取れるのであれば、ステップ＃１５において
１つ隣接する対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決め
されたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モ
ータ３を停止する。
【００４４】このようにレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又は
ＳＷ−Ｌの押し操作時から隣接する対物レンズＥへの切
り替え終了までの切替動作中、スイッチ検知手段１１
は、ステップ＃１５からステップ＃１７及び＃１８に移
り、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し
操作されるか否かを検知する。
ＳＷ−Ｌの押し操作時から隣接する対物レンズＥへの切
り替え終了までの切替動作中、スイッチ検知手段１１
は、ステップ＃１５からステップ＃１７及び＃１８に移
り、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し
操作されるか否かを検知する。
【００４５】ここで、例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈ
又はＳＷ−Ｌが再度押し操作されると、スイッチ検知手
段１１は、ステップ＃１７において再度押し操作された
レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを検出し、次の
ステップ＃１８においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又は
ＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力で
あることを検知する。
又はＳＷ−Ｌが再度押し操作されると、スイッチ検知手
段１１は、ステップ＃１７において再度押し操作された
レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを検出し、次の
ステップ＃１８においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又は
ＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力で
あることを検知する。
【００４６】次に、切替制御手段１２は、ステップ＃１
９において、スイッチ検知手段１１により検知された再
度押し操作のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌに
よるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の
回転方向と同一方向であるかを判断する。
９において、スイッチ検知手段１１により検知された再
度押し操作のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌに
よるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の
回転方向と同一方向であるかを判断する。
【００４７】例えば、切替動作中にレボルバスイッチＳ
Ｗ−Ｈが押し操作されたとすると、切替制御手段１２
は、このレボルバスイッチＳＷ−Ｈの回転方向と切替動
作中のレボルバ２の回転方向（レボルバスイッチＳＷ−
Ｈの回転方向）とを比較し、これら回転方向が同一であ
ると判断すると、次にステップ＃２０に移ってレボルバ
２の回転量を加算し、目標の対物レンズを対物レンズＥ
から対物レンズＤに再設定し、再びステップ＃１４に戻
る。
Ｗ−Ｈが押し操作されたとすると、切替制御手段１２
は、このレボルバスイッチＳＷ−Ｈの回転方向と切替動
作中のレボルバ２の回転方向（レボルバスイッチＳＷ−
Ｈの回転方向）とを比較し、これら回転方向が同一であ
ると判断すると、次にステップ＃２０に移ってレボルバ
２の回転量を加算し、目標の対物レンズを対物レンズＥ
から対物レンズＤに再設定し、再びステップ＃１４に戻
る。
【００４８】これにより、処理回路１０は、回転用モー
タ３に同じ回転指令を送出し続け、レボルバ２を連続し
て回転動作させ、ステップ＃１５において磁気センサ４
により読み取られる識別番号が対物レンズＤの取付け穴
の位置に対応する番号であれば、再設定された目標の対
物レンズＤが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断
し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止
する。
タ３に同じ回転指令を送出し続け、レボルバ２を連続し
て回転動作させ、ステップ＃１５において磁気センサ４
により読み取られる識別番号が対物レンズＤの取付け穴
の位置に対応する番号であれば、再設定された目標の対
物レンズＤが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断
し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止
する。
【００４９】従って、例えば対物レンズＡから対物レン
ズＤに切り替える場合、１回目のレボルバスイッチＳＷ
−Ｈの押し操作による対物レンズの切替動作中に、作業
者が素早く２回目のレボルバスイッチＳＷ−Ｈを押し操
作することにより、レボルバ２が連続して回転し、対物
レンズＡから対物レンズＤに切り替わる。
ズＤに切り替える場合、１回目のレボルバスイッチＳＷ
−Ｈの押し操作による対物レンズの切替動作中に、作業
者が素早く２回目のレボルバスイッチＳＷ−Ｈを押し操
作することにより、レボルバ２が連続して回転し、対物
レンズＡから対物レンズＤに切り替わる。
【００５０】なお、切替制御手段１２は、ステップ＃１
９の判断の結果、再度押し操作されたレボルバスイッチ
ＳＷ−Ｈの回転方向と切替動作中のレボルバ２の回転方
向とが相違していれば、目標の対物レンズを対物レンズ
Ｅのまま変更せず、再びステップ＃１４に戻り、上記同
様に、ステップ＃１５において磁気センサ４により読み
取った識別番号が対物レンズＥの取付け穴の位置に対応
する番号であれば、目標の対物レンズＥが顕微鏡の光軸
５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６にお
いて回転用モータ３を停止する。
９の判断の結果、再度押し操作されたレボルバスイッチ
ＳＷ−Ｈの回転方向と切替動作中のレボルバ２の回転方
向とが相違していれば、目標の対物レンズを対物レンズ
Ｅのまま変更せず、再びステップ＃１４に戻り、上記同
様に、ステップ＃１５において磁気センサ４により読み
取った識別番号が対物レンズＥの取付け穴の位置に対応
する番号であれば、目標の対物レンズＥが顕微鏡の光軸
５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６にお
いて回転用モータ３を停止する。
【００５１】このように上記第１の実施の形態において
は、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押
し操作時から隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切り
替え終了までの切替動作中に、再度レボルバスイッチＳ
Ｗ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、これらレボル
バスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの再押し操作によるレ
ボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方
向と同一方向であれば、レボルバ２を連続して回転動作
させるので、例えば対物レンズＡから対物レンズＤに切
り替える場合、作業者がレボルバスイッチＳＷ−Ｈを素
早く連続して２回押し操作するだけで、目的の対物レン
ズＤに切り替えることができる。
は、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押
し操作時から隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切り
替え終了までの切替動作中に、再度レボルバスイッチＳ
Ｗ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、これらレボル
バスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの再押し操作によるレ
ボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方
向と同一方向であれば、レボルバ２を連続して回転動作
させるので、例えば対物レンズＡから対物レンズＤに切
り替える場合、作業者がレボルバスイッチＳＷ−Ｈを素
早く連続して２回押し操作するだけで、目的の対物レン
ズＤに切り替えることができる。
【００５２】従って、一般的な半導体検査作業において
顕微鏡で観察を続けながらブラインド操作でレボルバス
イッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを押し操作して目標の対物
レンズＡ、Ｂ…Ｅに切り替えるときにその作業効率を向
上できる。 (2) 以下、本発明の第２の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。
顕微鏡で観察を続けながらブラインド操作でレボルバス
イッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを押し操作して目標の対物
レンズＡ、Ｂ…Ｅに切り替えるときにその作業効率を向
上できる。 (2) 以下、本発明の第２の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。
【００５３】図３は電動レボルバ制御装置の構成図であ
る。処理回路２０は、図４に示す対物レンズ切り替え制
御フローチャートに従って作動し、２つのレボルバスイ
ッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検知し、これら
レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作に応
じた正転又は逆転の回転指令をドライバ７に送出し、回
転用モータ３を正転又は逆転させて隣接する対物レンズ
Ａ、Ｂ、…Ｅに切り替え制御する機能を有するととも
に、後述するスイッチ検知手段１１及び切替制御手段２
１の各機能を有している。
る。処理回路２０は、図４に示す対物レンズ切り替え制
御フローチャートに従って作動し、２つのレボルバスイ
ッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検知し、これら
レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作に応
じた正転又は逆転の回転指令をドライバ７に送出し、回
転用モータ３を正転又は逆転させて隣接する対物レンズ
Ａ、Ｂ、…Ｅに切り替え制御する機能を有するととも
に、後述するスイッチ検知手段１１及び切替制御手段２
１の各機能を有している。
【００５４】このうちスイッチ検知手段１１は、上記同
様に、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの
押し操作時から隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切
り替え終了までの切替動作中に、再度レボルバスイッチ
ＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されたことを検知する
機能を有している。
様に、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの
押し操作時から隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切
り替え終了までの切替動作中に、再度レボルバスイッチ
ＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されたことを検知する
機能を有している。
【００５５】切替制御手段２１は、レボルバスイッチＳ
Ｗ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのいずれか一方又は両方が連続して
複数回押し操作された場合、これら押し操作された回数
及びこれらの回転方向に基づいてレボルバ２の最終的な
回転方向及びその回転量を判断し、これら回転方向及び
その回転量に従ってドライバ７に回転指令を発してレボ
ルバ２を正転又は逆転させる機能を有している。
Ｗ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのいずれか一方又は両方が連続して
複数回押し操作された場合、これら押し操作された回数
及びこれらの回転方向に基づいてレボルバ２の最終的な
回転方向及びその回転量を判断し、これら回転方向及び
その回転量に従ってドライバ７に回転指令を発してレボ
ルバ２を正転又は逆転させる機能を有している。
【００５６】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて図４に示す対物レンズ切り替え制御フローチャート
に従って説明する。作業者により２つのレボルバスイッ
チＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのうちいずれか一方のレボルバス
イッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、処理
回路２０は、ステップ＃１０においてレボルバスイッチ
ＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検出し、次のステッ
プ＃１１においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−
Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であるこ
とを検知する。
いて図４に示す対物レンズ切り替え制御フローチャート
に従って説明する。作業者により２つのレボルバスイッ
チＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのうちいずれか一方のレボルバス
イッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、処理
回路２０は、ステップ＃１０においてレボルバスイッチ
ＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検出し、次のステッ
プ＃１１においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−
Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であるこ
とを検知する。
【００５７】次に、処理回路２０は、ステップ＃１２に
移って、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのよる
回転用モータ３の正転又は逆転の方向を決定し、続くス
テップ＃１３において回転用モータ３の正転又は逆転の
回転指令をドライバ７に発し、回転用モータ３を回転駆
動する。
移って、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのよる
回転用モータ３の正転又は逆転の方向を決定し、続くス
テップ＃１３において回転用モータ３の正転又は逆転の
回転指令をドライバ７に発し、回転用モータ３を回転駆
動する。
【００５８】この回転用モータ３を回転駆動により、例
えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操作の検知であれ
ば、レボルバ２は、対物レンズＡから対物レンズＥに切
り替わる方向に回転する。
えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操作の検知であれ
ば、レボルバ２は、対物レンズＡから対物レンズＥに切
り替わる方向に回転する。
【００５９】次に、処理回路２０は、ステップ＃１４に
おいて、対物レンズＡから対物レンズＥへの切り替え動
作中に、磁気センサ４が識別番号を読み取れるかを検出
し、このとき対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する
番号が読み取れるのであれば、ステップ＃１５において
隣接する対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決めされ
たと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ
３を停止する。
おいて、対物レンズＡから対物レンズＥへの切り替え動
作中に、磁気センサ４が識別番号を読み取れるかを検出
し、このとき対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する
番号が読み取れるのであれば、ステップ＃１５において
隣接する対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決めされ
たと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ
３を停止する。
【００６０】次に、処理回路２０は、ステップ＃３０に
おいて、後述するステップ＃３３で目標の対物レンズが
保存されてたかを判断するが、ここでは目標の対物レン
ズが保存されていないとしてステップ＃１０に戻る。
おいて、後述するステップ＃３３で目標の対物レンズが
保存されてたかを判断するが、ここでは目標の対物レン
ズが保存されていないとしてステップ＃１０に戻る。
【００６１】一方、先の対物レンズの切替動作中、例え
ば対物レンズＡから隣接する対物レンズＥに切り替えら
れるまでの間、スイッチ検知手段１１は、ステップ＃１
５からステップ＃１７及び＃１８に移り、再度レボルバ
スイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されたか否か
を検知する。
ば対物レンズＡから隣接する対物レンズＥに切り替えら
れるまでの間、スイッチ検知手段１１は、ステップ＃１
５からステップ＃１７及び＃１８に移り、再度レボルバ
スイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されたか否か
を検知する。
【００６２】すなわち、スイッチ検知手段１１は、ステ
ップ＃１７において再度操作されるレボルバスイッチＳ
Ｗ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを検出し、次のステップ＃１８にお
いてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転
用モータ３の正転又は逆転の入力であることを検知す
る。
ップ＃１７において再度操作されるレボルバスイッチＳ
Ｗ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを検出し、次のステップ＃１８にお
いてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転
用モータ３の正転又は逆転の入力であることを検知す
る。
【００６３】次に、切替制御手段２１は、ステップ＃１
９において、スイッチ検知手段１１により検知された再
度押し操作のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌに
よるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の
回転方向と同一方向であるかを判断し、これら回転方向
が同一方向であれば、ステップ＃２０に移ってレボルバ
２の回転量を加算し、目標の対物レンズを対物レンズＥ
から対物レンズＤに再設定し、再びステップ＃１４に戻
る。
９において、スイッチ検知手段１１により検知された再
度押し操作のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌに
よるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の
回転方向と同一方向であるかを判断し、これら回転方向
が同一方向であれば、ステップ＃２０に移ってレボルバ
２の回転量を加算し、目標の対物レンズを対物レンズＥ
から対物レンズＤに再設定し、再びステップ＃１４に戻
る。
【００６４】これにより、処理回路１０は、上記第１の
実施の形態と同様に、回転用モータ３に回転指令を送出
し続け、レボルバ２を連続して回転動作させ、ステップ
＃１５において磁気センサ４により読み取られた識別番
号が対物レンズＤの取付け穴の位置に対応する番号であ
れば、再設定された目標の対物レンズＤが顕微鏡の光軸
５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６にお
いて回転用モータ３を停止する。
実施の形態と同様に、回転用モータ３に回転指令を送出
し続け、レボルバ２を連続して回転動作させ、ステップ
＃１５において磁気センサ４により読み取られた識別番
号が対物レンズＤの取付け穴の位置に対応する番号であ
れば、再設定された目標の対物レンズＤが顕微鏡の光軸
５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６にお
いて回転用モータ３を停止する。
【００６５】従って、例えば対物レンズＡから対物レン
ズＤに切り替える場合、１回目のレボルバスイッチＳＷ
−Ｈの押し操作により対物レンズＡから対物レンズＥへ
の切替動作中に、作業者が素早く２回目のレボルバスイ
ッチＳＷ−Ｈを押し操作することにより、レボルバ２が
連続して回転し、対物レンズＡから対物レンズＤに切り
替えられる。
ズＤに切り替える場合、１回目のレボルバスイッチＳＷ
−Ｈの押し操作により対物レンズＡから対物レンズＥへ
の切替動作中に、作業者が素早く２回目のレボルバスイ
ッチＳＷ−Ｈを押し操作することにより、レボルバ２が
連続して回転し、対物レンズＡから対物レンズＤに切り
替えられる。
【００６６】これに対して、切替制御手段２１によるス
テップ＃１９での判断の結果、再度押し操作のレボルバ
スイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転
方向が切替動作中のレボルバ２の回転方向と反対方向で
あれば、切替制御手段２１は、ステップ＃３１に移って
レボルバ２の回転量（以下、移動量と称する）を減算
し、次にステップ＃３２においてレボルバ２の移動量が
「０」以下であるかを判断する。
テップ＃１９での判断の結果、再度押し操作のレボルバ
スイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転
方向が切替動作中のレボルバ２の回転方向と反対方向で
あれば、切替制御手段２１は、ステップ＃３１に移って
レボルバ２の回転量（以下、移動量と称する）を減算
し、次にステップ＃３２においてレボルバ２の移動量が
「０」以下であるかを判断する。
【００６７】例えば、レボルバスイッチＳＷ−Ｈによる
レボルバ２の回転方向を正の値「１」とし、レボルバス
イッチＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転方向を負の値
「−１」とした場合、例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈ
が２回、次にレボルバスイッチＳＷ−Ｌが１回再押し操
作されると、レボルバ２の移動量の演算処理結果は［１
＋２−１＝２］となり、レボルバ２の移動量は「０」以
上になり、最終的なレボルバ２の回転方向は、レボルバ
スイッチＳＷ−Ｈによる回転方向で変わらず、かつ対物
レンズは、対物レンズＡから２個隣りの対物レンズＤに
切り替わるものとなる。
レボルバ２の回転方向を正の値「１」とし、レボルバス
イッチＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転方向を負の値
「−１」とした場合、例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈ
が２回、次にレボルバスイッチＳＷ−Ｌが１回再押し操
作されると、レボルバ２の移動量の演算処理結果は［１
＋２−１＝２］となり、レボルバ２の移動量は「０」以
上になり、最終的なレボルバ２の回転方向は、レボルバ
スイッチＳＷ−Ｈによる回転方向で変わらず、かつ対物
レンズは、対物レンズＡから２個隣りの対物レンズＤに
切り替わるものとなる。
【００６８】従って、処理回路２０は、回転用モータ３
に回転指令を送出し続け、レボルバ２を連続して回転動
作させ、ステップ＃１５において磁気センサ４により読
み取られた識別番号が対物レンズＤの取付け穴の位置に
対応する番号であれば、再設定された目標の対物レンズ
Ｄが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のス
テップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
に回転指令を送出し続け、レボルバ２を連続して回転動
作させ、ステップ＃１５において磁気センサ４により読
み取られた識別番号が対物レンズＤの取付け穴の位置に
対応する番号であれば、再設定された目標の対物レンズ
Ｄが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のス
テップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００６９】一方、例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈが
１回、次にレボルバスイッチＳＷ−Ｌが３回再度押し操
作されると、レボルバ２の移動量の演算処理結果は［１
＋１−３＝−１］となり、レボルバ２の移動量は「０」
以下になり、最終的なレボルバ２の回転方向は、レボル
バスイッチＳＷ−Ｌによる回転方向に変化し、かつ対物
レンズは、対物レンズＡから方向が反対の１個隣りの対
物レンズＢに切り替わるものとなる。
１回、次にレボルバスイッチＳＷ−Ｌが３回再度押し操
作されると、レボルバ２の移動量の演算処理結果は［１
＋１−３＝−１］となり、レボルバ２の移動量は「０」
以下になり、最終的なレボルバ２の回転方向は、レボル
バスイッチＳＷ−Ｌによる回転方向に変化し、かつ対物
レンズは、対物レンズＡから方向が反対の１個隣りの対
物レンズＢに切り替わるものとなる。
【００７０】従って、切替制御手段２１は、ステップ＃
３２においてレボルバ２の移動量が「０」以下であるこ
とを判断し、ステップ＃３３に移って目標の対物レンズ
を対物レンズＡから対物レンズＢに変更して保存する。
３２においてレボルバ２の移動量が「０」以下であるこ
とを判断し、ステップ＃３３に移って目標の対物レンズ
を対物レンズＡから対物レンズＢに変更して保存する。
【００７１】次に、処理回路２０は、ステップ＃１４に
戻り、先ずは回転用モータ３に回転指令を送出し続けて
レボルバ２を回転動作させ、ステップ＃１５において磁
気センサ４により読み取られた識別番号が対物レンズＥ
の取付け穴の位置に対応する番号になったときステップ
＃１６において回転用モータ３を停止する。
戻り、先ずは回転用モータ３に回転指令を送出し続けて
レボルバ２を回転動作させ、ステップ＃１５において磁
気センサ４により読み取られた識別番号が対物レンズＥ
の取付け穴の位置に対応する番号になったときステップ
＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００７２】続けて、処理回路２０は、ステップ＃３０
において、目標の対物レンズが保存されているかを判断
し、この場合、先のステップ＃３３で目標の対物レンズ
Ｂが保存されていることから、この目標の対物レンズＢ
を読み出し、再びステップ＃１２に戻る。
において、目標の対物レンズが保存されているかを判断
し、この場合、先のステップ＃３３で目標の対物レンズ
Ｂが保存されていることから、この目標の対物レンズＢ
を読み出し、再びステップ＃１２に戻る。
【００７３】次に、処理回路２０は、ステップ＃１２に
おいて、目標の対物レンズＢに切り替わるように回転方
向を決定し、次のステップ＃１３において回転用モータ
３の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、回転
用モータ３を回転駆動する。
おいて、目標の対物レンズＢに切り替わるように回転方
向を決定し、次のステップ＃１３において回転用モータ
３の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、回転
用モータ３を回転駆動する。
【００７４】この回転用モータ３を回転駆動によりレボ
ルバ２は、対物レンズＥから対物レンズＡ、対物レンズ
Ｂに切り替わる方向に回転する。次に、処理回路２０
は、ステップ＃１４において、対物レンズＥから対物レ
ンズＢへの切り替え動作中に、磁気センサ４により読み
取られた識別番号を受け取り、この識別番号が対物レン
ズＢの取付け穴の位置に対応する番号であれば、ステッ
プ＃１５において隣接する対物レンズＢが顕微鏡の光軸
５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６にお
いて回転用モータ３を停止する。
ルバ２は、対物レンズＥから対物レンズＡ、対物レンズ
Ｂに切り替わる方向に回転する。次に、処理回路２０
は、ステップ＃１４において、対物レンズＥから対物レ
ンズＢへの切り替え動作中に、磁気センサ４により読み
取られた識別番号を受け取り、この識別番号が対物レン
ズＢの取付け穴の位置に対応する番号であれば、ステッ
プ＃１５において隣接する対物レンズＢが顕微鏡の光軸
５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６にお
いて回転用モータ３を停止する。
【００７５】このように上記第２の実施の形態において
は、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのいずれか
一方又は両方が連続して複数回押し操作された場合、こ
れら押し操作された回数及びこれらの回転方向に基づい
てレボルバ２の最終的な回転方向及びその回転量を判断
し、これら回転方向及びその回転量に従ってドライバ７
に回転指令を発してレボルバ２を正転又は逆転させるの
で、上記第１の実施の形態と同様に、例えば対物レンズ
Ａから対物レンズＤに切り替える場合、作業者がレボル
バスイッチＳＷ−Ｈを素早く連続して２回押し操作する
だけで、目的の対物レンズＤに切り替えることができ、
一般的な半導体検査作業において顕微鏡で観察を続けな
がらブラインド操作でレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳ
Ｗ−Ｌを押し操作して目標の対物レンズＡ、Ｂ…Ｅに切
り替えるときにその作業効率を向上できる。
は、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのいずれか
一方又は両方が連続して複数回押し操作された場合、こ
れら押し操作された回数及びこれらの回転方向に基づい
てレボルバ２の最終的な回転方向及びその回転量を判断
し、これら回転方向及びその回転量に従ってドライバ７
に回転指令を発してレボルバ２を正転又は逆転させるの
で、上記第１の実施の形態と同様に、例えば対物レンズ
Ａから対物レンズＤに切り替える場合、作業者がレボル
バスイッチＳＷ−Ｈを素早く連続して２回押し操作する
だけで、目的の対物レンズＤに切り替えることができ、
一般的な半導体検査作業において顕微鏡で観察を続けな
がらブラインド操作でレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳ
Ｗ−Ｌを押し操作して目標の対物レンズＡ、Ｂ…Ｅに切
り替えるときにその作業効率を向上できる。
【００７６】又、連続した２回以上の対物レンズの切り
替えで、２回目以降の押し操作ミスを全てキャンセルで
き、誤操作による対物レンズの切り替えを素早くでき、
対物レンズの標本に対する緊急退避ができる。
替えで、２回目以降の押し操作ミスを全てキャンセルで
き、誤操作による対物レンズの切り替えを素早くでき、
対物レンズの標本に対する緊急退避ができる。
【００７７】例えば、対物レンズＡから対物レンズＢに
切り替える場合、レボルバスイッチＳＷ−Ｌを押し操作
するところを間違ってレボルバスイッチＳＷ−Ｈを押し
操作したとしても、対物レンズＥに向かっての切替動作
中に素早くレボルバスイッチＳＷ−Ｌを２回押し操作す
れば、目標の対物レンズＢに切り替えることができ、対
物レンズの標本に対する緊急退避の可能である。
切り替える場合、レボルバスイッチＳＷ−Ｌを押し操作
するところを間違ってレボルバスイッチＳＷ−Ｈを押し
操作したとしても、対物レンズＥに向かっての切替動作
中に素早くレボルバスイッチＳＷ−Ｌを２回押し操作す
れば、目標の対物レンズＢに切り替えることができ、対
物レンズの標本に対する緊急退避の可能である。
【００７８】なお、本発明は、上記第１及び第２の実施
の形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよ
い。例えば、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの
入力処理をソフトウエア上で割り込み処理を行ってもよ
く、又これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌか
らの信号入力の検出のためにメモリ及び遅延回路を搭載
し、一定時間内のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−
Ｌからの信号入力を順次制御し、ドライバ７に送出する
ようにしてもよい。
の形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよ
い。例えば、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの
入力処理をソフトウエア上で割り込み処理を行ってもよ
く、又これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌか
らの信号入力の検出のためにメモリ及び遅延回路を搭載
し、一定時間内のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−
Ｌからの信号入力を順次制御し、ドライバ７に送出する
ようにしてもよい。
【００７９】又、上記第１及び第２の実施の形態では、
方向指定スイッチとしてのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又
はＳＷ−Ｌを用いた場合について説明したが、各対物レ
ンズに対応して複数のレボルバスイッチを設ける直接指
定スイッチの場合にも適用できる。この場合、各対物レ
ンズＡ、Ｂ、…Ｅに対応して複数のレボルバスイッチａ
〜ｅが設けられていれば、対物レンズＡが位置決めされ
ている状態に、対物レンズＢに対応するレボルバスイッ
チｂを押し操作し、この対物レンズＡから対物レンズＢ
に切り替わり切替動作中に、再度対物レンズＤに対応す
るレボルバスイッチｄが押し操作されると、レボルバは
続けて回転し、目標の対物レンズが対物レンズＡから対
物レンズＤに切り替わる。
方向指定スイッチとしてのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又
はＳＷ−Ｌを用いた場合について説明したが、各対物レ
ンズに対応して複数のレボルバスイッチを設ける直接指
定スイッチの場合にも適用できる。この場合、各対物レ
ンズＡ、Ｂ、…Ｅに対応して複数のレボルバスイッチａ
〜ｅが設けられていれば、対物レンズＡが位置決めされ
ている状態に、対物レンズＢに対応するレボルバスイッ
チｂを押し操作し、この対物レンズＡから対物レンズＢ
に切り替わり切替動作中に、再度対物レンズＤに対応す
るレボルバスイッチｄが押し操作されると、レボルバは
続けて回転し、目標の対物レンズが対物レンズＡから対
物レンズＤに切り替わる。
【００８０】
【発明の効果】以上詳記したように本発明の請求項１〜
３によれば、２つのレボルバスイッチを用いて時間ロス
を無くして素早く目標の対物レンズに切り替えることが
できる電動レボルバ制御装置を提供できる。又、本発明
の請求項３によれば、レボルバスイッチの誤操作による
目標の対物レンズ以外への切り替えを極力防止できる電
動レボルバ制御装置を提供できる。
３によれば、２つのレボルバスイッチを用いて時間ロス
を無くして素早く目標の対物レンズに切り替えることが
できる電動レボルバ制御装置を提供できる。又、本発明
の請求項３によれば、レボルバスイッチの誤操作による
目標の対物レンズ以外への切り替えを極力防止できる電
動レボルバ制御装置を提供できる。
【図１】本発明に係わる電動レボルバ制御装置の第１の
実施の形態を示す構成図。
実施の形態を示す構成図。
【図２】同装置の対物レンズ切り替え制御フローチャー
ト。
ト。
【図３】本発明に係わる電動レボルバ制御装置の第２の
実施の形態を示す構成図。
実施の形態を示す構成図。
【図４】同装置の対物レンズ切り替え制御フローチャー
ト。
ト。
【図５】従来の電動レボルバ制御装置の構成図。
【図６】同装置の対物レンズ切り替え制御フローチャー
ト。
ト。
１…電動レボルバ、 ２…取付け体（レボルバ）、 ３…回転用電動機（回転用モータ）、 ４…磁気センサ、 ７…ドライバ、 １０，２０…処理回路、 １１…スイッチ検知手段、 １２…切替制御手段。
Claims (3)
- 【請求項１】 複数の対物レンズを取り付けたレボルバ
を方向指定スイッチの操作に従って正転又は逆転させ、
現在位置決めされている前記対物レンズから左側又は右
側に隣接する前記対物レンズに切り替える電動レボルバ
制御装置において、 前記方向指定スイッチの操作時から前記隣接する前記対
物レンズへの切り替え終了までの切替動作中に、前記方
向指定スイッチの操作を検知するスイッチ検知手段と、 このスイッチ検知手段により前記方向指定スイッチの操
作を検知すると、この方向指定スイッチの操作回数に基
づいて前記レボルバを回転させ、現在位置決めされてい
る前記対物レンズから目標の前記対物レンズに切り替え
る切替制御手段と、を具備したことを特徴とする電動レ
ボルバ制御装置。 - 【請求項２】 前記切替制御手段は、前記切替動作中に
操作された前記方向指定スイッチに応じた前記レボルバ
の回転方向が前記切替動作中の前記レボルバの回転方向
と同一方向の場合だけ前記レボルバを連続して回転動作
させる機能を有することを特徴とする請求項１記載の電
動レボルバ制御装置。 - 【請求項３】 前記切替制御手段は、前記方向指定スイ
ッチが複数回操作された場合、これら操作された回数及
びこれらの回転方向に基づいて前記レボルバの最終的な
回転方向及びその回転量を演算処理し、これら回転方向
及びその回転量に従って前記レボルバを正転又は逆転さ
せる機能を有することを特徴とする請求項１記載の電動
レボルバ制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16589297A JP4187288B2 (ja) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | 電動レボルバ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16589297A JP4187288B2 (ja) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | 電動レボルバ制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1114894A true JPH1114894A (ja) | 1999-01-22 |
| JP4187288B2 JP4187288B2 (ja) | 2008-11-26 |
Family
ID=15820968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16589297A Expired - Fee Related JP4187288B2 (ja) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | 電動レボルバ制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4187288B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012150142A (ja) * | 2011-01-17 | 2012-08-09 | Olympus Corp | 顕微鏡制御装置、顕微鏡システム及び該制御方法 |
-
1997
- 1997-06-23 JP JP16589297A patent/JP4187288B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012150142A (ja) * | 2011-01-17 | 2012-08-09 | Olympus Corp | 顕微鏡制御装置、顕微鏡システム及び該制御方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4187288B2 (ja) | 2008-11-26 |
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