JP4187288B2 - 電動レボルバ制御装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば光学式顕微鏡に用いられ複数の対物レンズを光路上に切り替える電動レボルバ制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光学式顕微鏡には、複数の対物レンズを取り付け、このうちの所望倍率の対物レンズを光路上に切り替えるレボルバが備えられており、このレボルバの回転は、作業のスピードアップ、操作による試料（標本）近傍のごみの落下防止等の観点から、電動機等により電気的に回転制御することが多くなっている。
【０００３】
このような電動レボルバとして、例えば特開平３−２１３８１１号公報には、レボルバの位置制御、対物レンズの指定のためのスイッチ等を備えたことが記載されている。
【０００４】
又、特許第２５３９９０３号公報には、レボルバが決められた停止位置にたどり着いたかどうかをセンサで読取りながらレボルバの駆動モータを加減速させる制御方法が記載されており、これは目標の対物レンズを顕微鏡の光路上に位置決めするときのオーバーラン（行き過ぎ）や行き足らずを防止するための一般的な制御である。
【０００５】
以上のような各電動レボルバには、対物レンズの切り替えのために、レボルバに設けられた各対物レンズの各取り付け穴に対応して複数のレボルバスイッチ （直接指定スイッチ）を設けることが多く、この直接指定スイッチで指定された目標の対物レンズに切り替えるものとなっている。
【０００６】
ところが、一般的な半導体検査作業などでは、光学式顕微鏡で観察を続けながらブラインド操作でレボルバスイッチを操作して目標の対物レンズに切り替えるとが行われており、レボルバスイッチが複数個、例えば５個、６個付いていると、これらレボルバスイッチの触感で目標の対物レンズに切り替えるためのレボルバスイッチを認識することが困難である。
【０００７】
このようなことからブラインド操作による目標の対物レンズへの切り替えには、触感で分かりやすい正転、逆転の２つのレボルバスイッチ（方向指定スイッチ）が好まれている。
【０００８】
このような正転、逆転の２つのレボルバスイッチを設けた電動レボルバ制御装置は、例えば特開平８−３３８９３９号公報中に記載がある。
図５はかかる電動レボルバ制御装置の構成図である。
【０００９】
電動レボルバ１には、回転自在に支持された円板状の取付け体（以下、レボルバと称する）２が設けられている。このレボルバ２には、円環状に所定の順序で複数の対物レンズＡ、Ｂ…Ｅ、例えば倍率が５倍、１０倍、２０倍、５０倍、１００倍と異なる各対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅが取付けられている。
【００１０】
又、レボルバ２を回転させるための回転用電動機（回転用モータ）３が設けられ、かつレボルバ２に設けられた各対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの各取り付け穴の位置を認識するための磁気センサ４が設けられている。
【００１１】
この磁気センサ４は、例えばレボルバ２の外周面に配置されている例えば３種類の磁性材パターンを読み取って、光学式顕微鏡の光軸５に位置決めされている対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの各取付け穴の位置、例えば図５では対物レンズＡの取付け穴の位置に対応する認識番号を認識するための信号を出力するものとなっている。
【００１２】
一方、レボルバ２を正転又は逆転させるための２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌが備えられ、これらスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌが処理回路６に接続されている。
【００１３】
この処理回路６は、図６に示す対物レンズ切り替え制御フローチャートに従って、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのいずれかの押し操作を検知し、レボルバスイッチＳＷ−Ｈが押し操作されたときに対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの倍率が順に高くなる方向、例えば対物レンズＡから対物レンズＥの方向にレボルバ２を回転させる回転指令をドライバ７に発し、かつレボルバスイッチＳＷ−Ｌが押し操作されたときに対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの倍率が順に低くなる方向、例えば対物レンズＡから対物レンズＢへの方向にレボルバ２を回転させる回転指令をドライバ７に発するものとなっている。
【００１４】
この場合、処理回路６は、１回のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作で１つだけ隣接する対物レンズへの切り替え、例えば対物レンズＡから左側又は右側に１つ隣接する対物レンズＥ又はＢへの切り替えを行うものとなっている。
【００１５】
このような構成であれば、作業者により２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのうちいずれか一方のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、処理回路６は、ステップ＃１において、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検出し、次のステップ＃２において、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であることを検知する。
【００１６】
次に、処理回路６は、回転用モータ３の正転又は逆転のレボルバスイッチ入力であることを検知すると、ステップ＃３に移ってレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのよる回転用モータ３の正転又は逆転の方向を決定し、続くステップ＃４において回転用モータ３の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、回転用モータ３を回転駆動する。
【００１７】
例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操作の検知であれば、回転用モータ３を回転駆動により、レボルバ２は、対物レンズＡから対物レンズＥに切り替わる方向に回転する。
【００１８】
次に、処理回路６は、ステップ＃５において対物レンズＡから対物レンズＥへの切り替わり動作中に、磁気センサ４により読み取られる識別番号を受け取り、この識別番号が対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する番号であれば、ステップ＃６において目標とする対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、ステップ＃７において回転用モータ３を停止する。
【００１９】
従って、対物レンズＡから対物レンズＤに切り替える場合、レボルバスイッチＳＷ−Ｈを１度押し操作して対物レンズＥに切り替え、この切替え動作の終了の後に、再びレボルバスイッチＳＷ−Ｈを１度押し操作することにより目標とする対物レンズＤに切り替わる。
【００２０】
このような対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの切り替え制御であるので、実際には、作業者はレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを短い間隔で押し続け、一刻も早く目標の倍率の対物レンズに切り替わるようにレボルバを回転させる。
【００２１】
そして、作業者は、目標の倍率の対物レンズに切り替わるまでの途中の倍率での観察はほとんど行わない。なお、一瞬でも途中の倍率での観察を行うことにより、標本と対物レンズとの衝突の回避や、僅かな同焦差の補正を行う。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、処理回路６においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検出するのは、レボルバが停止しているとき、すなわち回転用モータ３が停止している期間のみであり、回転用モータ３の回転中（例えば０．５〜１sec の期間）には、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を受け付けないものとなっている。
【００２３】
さらに、対物レンズの切り替え時の正確な位置再現を行うために磁気センサ４を設け、確実にレボルバが決められた位置に停止したことを確認する処理（ステップ＃６）を行っているために、レボルバ停止後の僅かな時間（例えば０．１秒以下）だけレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作の検出を行っていない。
【００２４】
このため、作業者が素早く連続して２回レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを押し操作しても、実際には、１回分の押し操作のレボルバの回転しか行われず、作業効率を低下させている。
【００２５】
一方、対物レンズの標本に対する緊急退避について説明すると、作業者が目標の対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅのいずれかに切り替えるためにレボルバスイッチを押し操作するとき、直接指定スイッチを用いた場合には、間違ったレボルバスイッチを押してしまうことがある。
【００２６】
又、上記レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのような指定スイッチを用いた場合には、例えば２回押し操作したつもりが実際には３回押し操作してしまったりすることがある。
【００２７】
このように間違ってレボルバスイッチを押し操作した場合、対物レンズの作動距離が極端に短い場合には、対物レンズと標本との衝突の危険性があったりするので、これを回避する方法が例えば特開平４−２０９１１号公報に記載されている。
【００２８】
これは、対物レンズの切り替え前のレボルバ位置を記憶する手段を持ち、１つのスイッチで２本の対物レンズを交互に切り替える機能を備えたもので、スイッチでの誤操作を取り消すために、切り替え途中でレボルバの動作を止めるものとなっている。
【００２９】
しかしながら、レボルバスイッチでの誤操作を取り消すために専用のスイッチを設けなければならず、ブラインド操作に不利であり、製造コストも高くなる。他の技術としてレボルバスイッチを連続で押し操作することによって、レボルバが連続して回転するタイプもあるが、目標の対物レンズで確実に位置決めする制御が困難であり、緊急時の退避も不可能である。
【００３０】
そこで本発明は、２つのレボルバスイッチを用いて時間ロスを無くして素早く確実に目標の対物レンズに切り替えることができる電動レボルバ制御装置を提供することを目的とする。
【００３１】
又、本発明は、２つのレボルバスイッチを用いて時間ロスを無くして素早く目標の対物レンズに切り替えることができ、かつレボルバスイッチの誤操作による目標の対物レンズ以外への切り替えを極力防止できる電動レボルバ制御装置を提供することを目的とする。
【００３２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数の対物レンズを取り付けたレボルバを方向指定スイッチの操作に従って正転又は逆転させ、現在位置決めされている対物レンズから左側又は右側に隣接する他の対物レンズに切り替える電動レボルバ制御装置において、方向指定スイッチの操作時から他の対物レンズへの切り替え終了までの切替動作中に、方向指定スイッチが再度操作されたことを検知すると、この方向指定スイッチの操作回数に基づいて目標の対物レンズを再設定し、レボルバを回転させ、現在位置決めされている対物レンズから再設定された目標の対物レンズに切り替える切替制御手段とを備えた電動レボルバ制御装置である。
【００３５】
【発明の実施の形態】
(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図５と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
図１は電動レボルバ制御装置の構成図である。
【００３６】
処理回路１０は、図２に示す対物レンズ切り替え制御フローチャートに従って作動し、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検知し、これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作に応じた正転又は逆転の回転指令をドライバ７に送出し、回転用モータ３を正転又は逆転させて隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅに切り替え制御する機能を有するとともに、後述するスイッチ検知手段１１及び切替制御手段１２の各機能を有している。
【００３７】
このうちスイッチ検知手段１１は、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作時から隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切り替え終了までの切替動作中に、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されたことを検知する機能を有している。
【００３８】
切替制御手段１２は、スイッチ検知手段１１によりレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが再度押し操作されたことを検知すると、これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作回数に基づいて回転用モータ３を回転駆動し、現在位置決めされている対物レンズから目標の対物レンズに切り替える機能を有している。
【００３９】
この場合、切替制御手段１２は、目標の対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切替動作中に、再度押し操作されたレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方向と同一方向の場合だけレボルバ２を連続して回転動作させる機能を有している。
【００４０】
次に上記の如く構成された装置の作用について図２に示す対物レンズ切り替え制御フローチャートに従って説明する。
作業者により２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのうちいずれか一方のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、処理回路１０は、ステップ＃１０においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検出し、次のステップ＃１１においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であることを検知する。
【００４１】
次に、処理回路１０は、回転用モータ３の正転又は逆転のレボルバスイッチ入力であることを検知すると、ステップ＃１２に移ってレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのよる回転用モータ３の正転又は逆転の方向を決定し、続くステップ＃１３において回転用モータ３の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、回転用モータ３を回転駆動する。
【００４２】
例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操作の検知であれば、回転用モータ３を回転駆動により、レボルバ２は、対物レンズＡから対物レンズＥに切り替わる方向に回転する。
【００４３】
次に、処理回路１０は、ステップ＃１４において、対物レンズＡから対物レンズＥへの切り替え動作中に、磁気センサ４が識別番号を読み取れるかを検出し、このとき対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する番号が読み取れるのであれば、ステップ＃１５において１つ隣接する対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００４４】
このようにレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作時から隣接する対物レンズＥへの切り替え終了までの切替動作中、スイッチ検知手段１１は、ステップ＃１５からステップ＃１７及び＃１８に移り、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されるか否かを検知する。
【００４５】
ここで、例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが再度押し操作されると、スイッチ検知手段１１は、ステップ＃１７において再度押し操作されたレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを検出し、次のステップ＃１８においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であることを検知する。
【００４６】
次に、切替制御手段１２は、ステップ＃１９において、スイッチ検知手段１１により検知された再度押し操作のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方向と同一方向であるかを判断する。
【００４７】
例えば、切替動作中にレボルバスイッチＳＷ−Ｈが押し操作されたとすると、切替制御手段１２は、このレボルバスイッチＳＷ−Ｈの回転方向と切替動作中のレボルバ２の回転方向（レボルバスイッチＳＷ−Ｈの回転方向）とを比較し、これら回転方向が同一であると判断すると、次にステップ＃２０に移ってレボルバ２の回転量を加算し、目標の対物レンズを対物レンズＥから対物レンズＤに再設定し、再びステップ＃１４に戻る。
【００４８】
これにより、処理回路１０は、回転用モータ３に同じ回転指令を送出し続け、レボルバ２を連続して回転動作させ、ステップ＃１５において磁気センサ４により読み取られる識別番号が対物レンズＤの取付け穴の位置に対応する番号であれば、再設定された目標の対物レンズＤが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００４９】
従って、例えば対物レンズＡから対物レンズＤに切り替える場合、１回目のレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操作による対物レンズの切替動作中に、作業者が素早く２回目のレボルバスイッチＳＷ−Ｈを押し操作することにより、レボルバ２が連続して回転し、対物レンズＡから対物レンズＤに切り替わる。
【００５０】
なお、切替制御手段１２は、ステップ＃１９の判断の結果、再度押し操作されたレボルバスイッチＳＷ−Ｈの回転方向と切替動作中のレボルバ２の回転方向とが相違していれば、目標の対物レンズを対物レンズＥのまま変更せず、再びステップ＃１４に戻り、上記同様に、ステップ＃１５において磁気センサ４により読み取った識別番号が対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する番号であれば、目標の対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００５１】
このように上記第１の実施の形態においては、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作時から隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切り替え終了までの切替動作中に、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの再押し操作によるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方向と同一方向であれば、レボルバ２を連続して回転動作させるので、例えば対物レンズＡから対物レンズＤに切り替える場合、作業者がレボルバスイッチＳＷ−Ｈを素早く連続して２回押し操作するだけで、目的の対物レンズＤに切り替えることができる。
【００５２】
従って、一般的な半導体検査作業において顕微鏡で観察を続けながらブラインド操作でレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを押し操作して目標の対物レンズＡ、Ｂ…Ｅに切り替えるときにその作業効率を向上できる。
(2) 以下、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００５３】
図３は電動レボルバ制御装置の構成図である。
処理回路２０は、図４に示す対物レンズ切り替え制御フローチャートに従って作動し、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検知し、これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作に応じた正転又は逆転の回転指令をドライバ７に送出し、回転用モータ３を正転又は逆転させて隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅに切り替え制御する機能を有するとともに、後述するスイッチ検知手段１１及び切替制御手段２１の各機能を有している。
【００５４】
このうちスイッチ検知手段１１は、上記同様に、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作時から隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切り替え終了までの切替動作中に、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されたことを検知する機能を有している。
【００５５】
切替制御手段２１は、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのいずれか一方又は両方が連続して複数回押し操作された場合、これら押し操作された回数及びこれらの回転方向に基づいてレボルバ２の最終的な回転方向及びその回転量を判断し、これら回転方向及びその回転量に従ってドライバ７に回転指令を発してレボルバ２を正転又は逆転させる機能を有している。
【００５６】
次に上記の如く構成された装置の作用について図４に示す対物レンズ切り替え制御フローチャートに従って説明する。
作業者により２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのうちいずれか一方のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、処理回路２０は、ステップ＃１０においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検出し、次のステップ＃１１においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であることを検知する。
【００５７】
次に、処理回路２０は、ステップ＃１２に移って、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのよる回転用モータ３の正転又は逆転の方向を決定し、続くステップ＃１３において回転用モータ３の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、回転用モータ３を回転駆動する。
【００５８】
この回転用モータ３を回転駆動により、例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操作の検知であれば、レボルバ２は、対物レンズＡから対物レンズＥに切り替わる方向に回転する。
【００５９】
次に、処理回路２０は、ステップ＃１４において、対物レンズＡから対物レンズＥへの切り替え動作中に、磁気センサ４が識別番号を読み取れるかを検出し、このとき対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する番号が読み取れるのであれば、ステップ＃１５において隣接する対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００６０】
次に、処理回路２０は、ステップ＃３０において、後述するステップ＃３３で目標の対物レンズが保存されてたかを判断するが、ここでは目標の対物レンズが保存されていないとしてステップ＃１０に戻る。
【００６１】
一方、先の対物レンズの切替動作中、例えば対物レンズＡから隣接する対物レンズＥに切り替えられるまでの間、スイッチ検知手段１１は、ステップ＃１５からステップ＃１７及び＃１８に移り、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されたか否かを検知する。
【００６２】
すなわち、スイッチ検知手段１１は、ステップ＃１７において再度操作されるレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを検出し、次のステップ＃１８においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であることを検知する。
【００６３】
次に、切替制御手段２１は、ステップ＃１９において、スイッチ検知手段１１により検知された再度押し操作のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方向と同一方向であるかを判断し、これら回転方向が同一方向であれば、ステップ＃２０に移ってレボルバ２の回転量を加算し、目標の対物レンズを対物レンズＥから対物レンズＤに再設定し、再びステップ＃１４に戻る。
【００６４】
これにより、処理回路１０は、上記第１の実施の形態と同様に、回転用モータ３に回転指令を送出し続け、レボルバ２を連続して回転動作させ、ステップ＃１５において磁気センサ４により読み取られた識別番号が対物レンズＤの取付け穴の位置に対応する番号であれば、再設定された目標の対物レンズＤが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００６５】
従って、例えば対物レンズＡから対物レンズＤに切り替える場合、１回目のレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操作により対物レンズＡから対物レンズＥへの切替動作中に、作業者が素早く２回目のレボルバスイッチＳＷ−Ｈを押し操作することにより、レボルバ２が連続して回転し、対物レンズＡから対物レンズＤに切り替えられる。
【００６６】
これに対して、切替制御手段２１によるステップ＃１９での判断の結果、再度押し操作のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方向と反対方向であれば、切替制御手段２１は、ステップ＃３１に移ってレボルバ２の回転量（以下、移動量と称する）を減算し、次にステップ＃３２においてレボルバ２の移動量が「０」以下であるかを判断する。
【００６７】
例えば、レボルバスイッチＳＷ−Ｈによるレボルバ２の回転方向を正の値「１」とし、レボルバスイッチＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転方向を負の値「−１」とした場合、例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈが２回、次にレボルバスイッチＳＷ−Ｌが１回再押し操作されると、レボルバ２の移動量の演算処理結果は［１＋２−１＝２］となり、レボルバ２の移動量は「０」以上になり、最終的なレボルバ２の回転方向は、レボルバスイッチＳＷ−Ｈによる回転方向で変わらず、かつ対物レンズは、対物レンズＡから２個隣りの対物レンズＤに切り替わるものとなる。
【００６８】
従って、処理回路２０は、回転用モータ３に回転指令を送出し続け、レボルバ２を連続して回転動作させ、ステップ＃１５において磁気センサ４により読み取られた識別番号が対物レンズＤの取付け穴の位置に対応する番号であれば、再設定された目標の対物レンズＤが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００６９】
一方、例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈが１回、次にレボルバスイッチＳＷ−Ｌが３回再度押し操作されると、レボルバ２の移動量の演算処理結果は［１＋１−３＝−１］となり、レボルバ２の移動量は「０」以下になり、最終的なレボルバ２の回転方向は、レボルバスイッチＳＷ−Ｌによる回転方向に変化し、かつ対物レンズは、対物レンズＡから方向が反対の１個隣りの対物レンズＢに切り替わるものとなる。
【００７０】
従って、切替制御手段２１は、ステップ＃３２においてレボルバ２の移動量が「０」以下であることを判断し、ステップ＃３３に移って目標の対物レンズを対物レンズＡから対物レンズＢに変更して保存する。
【００７１】
次に、処理回路２０は、ステップ＃１４に戻り、先ずは回転用モータ３に回転指令を送出し続けてレボルバ２を回転動作させ、ステップ＃１５において磁気センサ４により読み取られた識別番号が対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する番号になったときステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００７２】
続けて、処理回路２０は、ステップ＃３０において、目標の対物レンズが保存されているかを判断し、この場合、先のステップ＃３３で目標の対物レンズＢが保存されていることから、この目標の対物レンズＢを読み出し、再びステップ＃１２に戻る。
【００７３】
次に、処理回路２０は、ステップ＃１２において、目標の対物レンズＢに切り替わるように回転方向を決定し、次のステップ＃１３において回転用モータ３の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、回転用モータ３を回転駆動する。
【００７４】
この回転用モータ３を回転駆動によりレボルバ２は、対物レンズＥから対物レンズＡ、対物レンズＢに切り替わる方向に回転する。
次に、処理回路２０は、ステップ＃１４において、対物レンズＥから対物レンズＢへの切り替え動作中に、磁気センサ４により読み取られた識別番号を受け取り、この識別番号が対物レンズＢの取付け穴の位置に対応する番号であれば、ステップ＃１５において隣接する対物レンズＢが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００７５】
このように上記第２の実施の形態においては、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのいずれか一方又は両方が連続して複数回押し操作された場合、これら押し操作された回数及びこれらの回転方向に基づいてレボルバ２の最終的な回転方向及びその回転量を判断し、これら回転方向及びその回転量に従ってドライバ７に回転指令を発してレボルバ２を正転又は逆転させるので、上記第１の実施の形態と同様に、例えば対物レンズＡから対物レンズＤに切り替える場合、作業者がレボルバスイッチＳＷ−Ｈを素早く連続して２回押し操作するだけで、目的の対物レンズＤに切り替えることができ、一般的な半導体検査作業において顕微鏡で観察を続けながらブラインド操作でレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを押し操作して目標の対物レンズＡ、Ｂ…Ｅに切り替えるときにその作業効率を向上できる。
【００７６】
又、連続した２回以上の対物レンズの切り替えで、２回目以降の押し操作ミスを全てキャンセルでき、誤操作による対物レンズの切り替えを素早くでき、対物レンズの標本に対する緊急退避ができる。
【００７７】
例えば、対物レンズＡから対物レンズＢに切り替える場合、レボルバスイッチＳＷ−Ｌを押し操作するところを間違ってレボルバスイッチＳＷ−Ｈを押し操作したとしても、対物レンズＥに向かっての切替動作中に素早くレボルバスイッチＳＷ−Ｌを２回押し操作すれば、目標の対物レンズＢに切り替えることができ、対物レンズの標本に対する緊急退避の可能である。
【００７８】
なお、本発明は、上記第１及び第２の実施の形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよい。
例えば、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの入力処理をソフトウエア上で割り込み処理を行ってもよく、又これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌからの信号入力の検出のためにメモリ及び遅延回路を搭載し、一定時間内のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌからの信号入力を順次制御し、ドライバ７に送出するようにしてもよい。
【００７９】
又、上記第１及び第２の実施の形態では、方向指定スイッチとしてのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを用いた場合について説明したが、各対物レンズに対応して複数のレボルバスイッチを設ける直接指定スイッチの場合にも適用できる。この場合、各対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅに対応して複数のレボルバスイッチａ〜ｅが設けられていれば、対物レンズＡが位置決めされている状態に、対物レンズＢに対応するレボルバスイッチｂを押し操作し、この対物レンズＡから対物レンズＢに切り替わり切替動作中に、再度対物レンズＤに対応するレボルバスイッチｄが押し操作されると、レボルバは続けて回転し、目標の対物レンズが対物レンズＡから対物レンズＤに切り替わる。
【００８０】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、レボルバスイッチの操作時から他の対物レンズへの切り替え終了までの切替動作中に、レボルバスイッチが再度操作されても、時間ロスを無くして素早く目標の対物レンズに切り替えることができ、かつ連続した２回以上の対物レンズの切り替えで、２回目以降の押し操作ミスを全てキャンセルでき、誤操作による対物レンズの切り替えを素早くでき、対物レンズの標本に対する緊急退避ができる電動レボルバ制御装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる電動レボルバ制御装置の第１の実施の形態を示す構成図。
【図２】同装置の対物レンズ切り替え制御フローチャート。
【図３】本発明に係わる電動レボルバ制御装置の第２の実施の形態を示す構成図。
【図４】同装置の対物レンズ切り替え制御フローチャート。
【図５】従来の電動レボルバ制御装置の構成図。
【図６】同装置の対物レンズ切り替え制御フローチャート。
【符号の説明】
１…電動レボルバ、
２…取付け体（レボルバ）、
３…回転用電動機（回転用モータ）、
４…磁気センサ、
７…ドライバ、
１０，２０…処理回路、
１１…スイッチ検知手段、
１２…切替制御手段。
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば光学式顕微鏡に用いられ複数の対物レンズを光路上に切り替える電動レボルバ制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光学式顕微鏡には、複数の対物レンズを取り付け、このうちの所望倍率の対物レンズを光路上に切り替えるレボルバが備えられており、このレボルバの回転は、作業のスピードアップ、操作による試料（標本）近傍のごみの落下防止等の観点から、電動機等により電気的に回転制御することが多くなっている。
【０００３】
このような電動レボルバとして、例えば特開平３−２１３８１１号公報には、レボルバの位置制御、対物レンズの指定のためのスイッチ等を備えたことが記載されている。
【０００４】
又、特許第２５３９９０３号公報には、レボルバが決められた停止位置にたどり着いたかどうかをセンサで読取りながらレボルバの駆動モータを加減速させる制御方法が記載されており、これは目標の対物レンズを顕微鏡の光路上に位置決めするときのオーバーラン（行き過ぎ）や行き足らずを防止するための一般的な制御である。
【０００５】
以上のような各電動レボルバには、対物レンズの切り替えのために、レボルバに設けられた各対物レンズの各取り付け穴に対応して複数のレボルバスイッチ （直接指定スイッチ）を設けることが多く、この直接指定スイッチで指定された目標の対物レンズに切り替えるものとなっている。
【０００６】
ところが、一般的な半導体検査作業などでは、光学式顕微鏡で観察を続けながらブラインド操作でレボルバスイッチを操作して目標の対物レンズに切り替えるとが行われており、レボルバスイッチが複数個、例えば５個、６個付いていると、これらレボルバスイッチの触感で目標の対物レンズに切り替えるためのレボルバスイッチを認識することが困難である。
【０００７】
このようなことからブラインド操作による目標の対物レンズへの切り替えには、触感で分かりやすい正転、逆転の２つのレボルバスイッチ（方向指定スイッチ）が好まれている。
【０００８】
このような正転、逆転の２つのレボルバスイッチを設けた電動レボルバ制御装置は、例えば特開平８−３３８９３９号公報中に記載がある。
図５はかかる電動レボルバ制御装置の構成図である。
【０００９】
電動レボルバ１には、回転自在に支持された円板状の取付け体（以下、レボルバと称する）２が設けられている。このレボルバ２には、円環状に所定の順序で複数の対物レンズＡ、Ｂ…Ｅ、例えば倍率が５倍、１０倍、２０倍、５０倍、１００倍と異なる各対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅが取付けられている。
【００１０】
又、レボルバ２を回転させるための回転用電動機（回転用モータ）３が設けられ、かつレボルバ２に設けられた各対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの各取り付け穴の位置を認識するための磁気センサ４が設けられている。
【００１１】
この磁気センサ４は、例えばレボルバ２の外周面に配置されている例えば３種類の磁性材パターンを読み取って、光学式顕微鏡の光軸５に位置決めされている対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの各取付け穴の位置、例えば図５では対物レンズＡの取付け穴の位置に対応する認識番号を認識するための信号を出力するものとなっている。
【００１２】
一方、レボルバ２を正転又は逆転させるための２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌが備えられ、これらスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌが処理回路６に接続されている。
【００１３】
この処理回路６は、図６に示す対物レンズ切り替え制御フローチャートに従って、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのいずれかの押し操作を検知し、レボルバスイッチＳＷ−Ｈが押し操作されたときに対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの倍率が順に高くなる方向、例えば対物レンズＡから対物レンズＥの方向にレボルバ２を回転させる回転指令をドライバ７に発し、かつレボルバスイッチＳＷ−Ｌが押し操作されたときに対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの倍率が順に低くなる方向、例えば対物レンズＡから対物レンズＢへの方向にレボルバ２を回転させる回転指令をドライバ７に発するものとなっている。
【００１４】
この場合、処理回路６は、１回のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作で１つだけ隣接する対物レンズへの切り替え、例えば対物レンズＡから左側又は右側に１つ隣接する対物レンズＥ又はＢへの切り替えを行うものとなっている。
【００１５】
このような構成であれば、作業者により２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのうちいずれか一方のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、処理回路６は、ステップ＃１において、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検出し、次のステップ＃２において、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であることを検知する。
【００１６】
次に、処理回路６は、回転用モータ３の正転又は逆転のレボルバスイッチ入力であることを検知すると、ステップ＃３に移ってレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのよる回転用モータ３の正転又は逆転の方向を決定し、続くステップ＃４において回転用モータ３の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、回転用モータ３を回転駆動する。
【００１７】
例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操作の検知であれば、回転用モータ３を回転駆動により、レボルバ２は、対物レンズＡから対物レンズＥに切り替わる方向に回転する。
【００１８】
次に、処理回路６は、ステップ＃５において対物レンズＡから対物レンズＥへの切り替わり動作中に、磁気センサ４により読み取られる識別番号を受け取り、この識別番号が対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する番号であれば、ステップ＃６において目標とする対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、ステップ＃７において回転用モータ３を停止する。
【００１９】
従って、対物レンズＡから対物レンズＤに切り替える場合、レボルバスイッチＳＷ−Ｈを１度押し操作して対物レンズＥに切り替え、この切替え動作の終了の後に、再びレボルバスイッチＳＷ−Ｈを１度押し操作することにより目標とする対物レンズＤに切り替わる。
【００２０】
このような対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅの切り替え制御であるので、実際には、作業者はレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを短い間隔で押し続け、一刻も早く目標の倍率の対物レンズに切り替わるようにレボルバを回転させる。
【００２１】
そして、作業者は、目標の倍率の対物レンズに切り替わるまでの途中の倍率での観察はほとんど行わない。なお、一瞬でも途中の倍率での観察を行うことにより、標本と対物レンズとの衝突の回避や、僅かな同焦差の補正を行う。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、処理回路６においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検出するのは、レボルバが停止しているとき、すなわち回転用モータ３が停止している期間のみであり、回転用モータ３の回転中（例えば０．５〜１sec の期間）には、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を受け付けないものとなっている。
【００２３】
さらに、対物レンズの切り替え時の正確な位置再現を行うために磁気センサ４を設け、確実にレボルバが決められた位置に停止したことを確認する処理（ステップ＃６）を行っているために、レボルバ停止後の僅かな時間（例えば０．１秒以下）だけレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作の検出を行っていない。
【００２４】
このため、作業者が素早く連続して２回レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを押し操作しても、実際には、１回分の押し操作のレボルバの回転しか行われず、作業効率を低下させている。
【００２５】
一方、対物レンズの標本に対する緊急退避について説明すると、作業者が目標の対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅのいずれかに切り替えるためにレボルバスイッチを押し操作するとき、直接指定スイッチを用いた場合には、間違ったレボルバスイッチを押してしまうことがある。
【００２６】
又、上記レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのような指定スイッチを用いた場合には、例えば２回押し操作したつもりが実際には３回押し操作してしまったりすることがある。
【００２７】
このように間違ってレボルバスイッチを押し操作した場合、対物レンズの作動距離が極端に短い場合には、対物レンズと標本との衝突の危険性があったりするので、これを回避する方法が例えば特開平４−２０９１１号公報に記載されている。
【００２８】
これは、対物レンズの切り替え前のレボルバ位置を記憶する手段を持ち、１つのスイッチで２本の対物レンズを交互に切り替える機能を備えたもので、スイッチでの誤操作を取り消すために、切り替え途中でレボルバの動作を止めるものとなっている。
【００２９】
しかしながら、レボルバスイッチでの誤操作を取り消すために専用のスイッチを設けなければならず、ブラインド操作に不利であり、製造コストも高くなる。他の技術としてレボルバスイッチを連続で押し操作することによって、レボルバが連続して回転するタイプもあるが、目標の対物レンズで確実に位置決めする制御が困難であり、緊急時の退避も不可能である。
【００３０】
そこで本発明は、２つのレボルバスイッチを用いて時間ロスを無くして素早く確実に目標の対物レンズに切り替えることができる電動レボルバ制御装置を提供することを目的とする。
【００３１】
又、本発明は、２つのレボルバスイッチを用いて時間ロスを無くして素早く目標の対物レンズに切り替えることができ、かつレボルバスイッチの誤操作による目標の対物レンズ以外への切り替えを極力防止できる電動レボルバ制御装置を提供することを目的とする。
【００３２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数の対物レンズを取り付けたレボルバを方向指定スイッチの操作に従って正転又は逆転させ、現在位置決めされている対物レンズから左側又は右側に隣接する他の対物レンズに切り替える電動レボルバ制御装置において、方向指定スイッチの操作時から他の対物レンズへの切り替え終了までの切替動作中に、方向指定スイッチが再度操作されたことを検知すると、この方向指定スイッチの操作回数に基づいて目標の対物レンズを再設定し、レボルバを回転させ、現在位置決めされている対物レンズから再設定された目標の対物レンズに切り替える切替制御手段とを備えた電動レボルバ制御装置である。
【００３５】
【発明の実施の形態】
(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図５と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
図１は電動レボルバ制御装置の構成図である。
【００３６】
処理回路１０は、図２に示す対物レンズ切り替え制御フローチャートに従って作動し、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検知し、これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作に応じた正転又は逆転の回転指令をドライバ７に送出し、回転用モータ３を正転又は逆転させて隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅに切り替え制御する機能を有するとともに、後述するスイッチ検知手段１１及び切替制御手段１２の各機能を有している。
【００３７】
このうちスイッチ検知手段１１は、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作時から隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切り替え終了までの切替動作中に、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されたことを検知する機能を有している。
【００３８】
切替制御手段１２は、スイッチ検知手段１１によりレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが再度押し操作されたことを検知すると、これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作回数に基づいて回転用モータ３を回転駆動し、現在位置決めされている対物レンズから目標の対物レンズに切り替える機能を有している。
【００３９】
この場合、切替制御手段１２は、目標の対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切替動作中に、再度押し操作されたレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方向と同一方向の場合だけレボルバ２を連続して回転動作させる機能を有している。
【００４０】
次に上記の如く構成された装置の作用について図２に示す対物レンズ切り替え制御フローチャートに従って説明する。
作業者により２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのうちいずれか一方のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、処理回路１０は、ステップ＃１０においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検出し、次のステップ＃１１においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であることを検知する。
【００４１】
次に、処理回路１０は、回転用モータ３の正転又は逆転のレボルバスイッチ入力であることを検知すると、ステップ＃１２に移ってレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのよる回転用モータ３の正転又は逆転の方向を決定し、続くステップ＃１３において回転用モータ３の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、回転用モータ３を回転駆動する。
【００４２】
例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操作の検知であれば、回転用モータ３を回転駆動により、レボルバ２は、対物レンズＡから対物レンズＥに切り替わる方向に回転する。
【００４３】
次に、処理回路１０は、ステップ＃１４において、対物レンズＡから対物レンズＥへの切り替え動作中に、磁気センサ４が識別番号を読み取れるかを検出し、このとき対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する番号が読み取れるのであれば、ステップ＃１５において１つ隣接する対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００４４】
このようにレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作時から隣接する対物レンズＥへの切り替え終了までの切替動作中、スイッチ検知手段１１は、ステップ＃１５からステップ＃１７及び＃１８に移り、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されるか否かを検知する。
【００４５】
ここで、例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが再度押し操作されると、スイッチ検知手段１１は、ステップ＃１７において再度押し操作されたレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを検出し、次のステップ＃１８においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であることを検知する。
【００４６】
次に、切替制御手段１２は、ステップ＃１９において、スイッチ検知手段１１により検知された再度押し操作のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方向と同一方向であるかを判断する。
【００４７】
例えば、切替動作中にレボルバスイッチＳＷ−Ｈが押し操作されたとすると、切替制御手段１２は、このレボルバスイッチＳＷ−Ｈの回転方向と切替動作中のレボルバ２の回転方向（レボルバスイッチＳＷ−Ｈの回転方向）とを比較し、これら回転方向が同一であると判断すると、次にステップ＃２０に移ってレボルバ２の回転量を加算し、目標の対物レンズを対物レンズＥから対物レンズＤに再設定し、再びステップ＃１４に戻る。
【００４８】
これにより、処理回路１０は、回転用モータ３に同じ回転指令を送出し続け、レボルバ２を連続して回転動作させ、ステップ＃１５において磁気センサ４により読み取られる識別番号が対物レンズＤの取付け穴の位置に対応する番号であれば、再設定された目標の対物レンズＤが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００４９】
従って、例えば対物レンズＡから対物レンズＤに切り替える場合、１回目のレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操作による対物レンズの切替動作中に、作業者が素早く２回目のレボルバスイッチＳＷ−Ｈを押し操作することにより、レボルバ２が連続して回転し、対物レンズＡから対物レンズＤに切り替わる。
【００５０】
なお、切替制御手段１２は、ステップ＃１９の判断の結果、再度押し操作されたレボルバスイッチＳＷ−Ｈの回転方向と切替動作中のレボルバ２の回転方向とが相違していれば、目標の対物レンズを対物レンズＥのまま変更せず、再びステップ＃１４に戻り、上記同様に、ステップ＃１５において磁気センサ４により読み取った識別番号が対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する番号であれば、目標の対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００５１】
このように上記第１の実施の形態においては、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作時から隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切り替え終了までの切替動作中に、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの再押し操作によるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方向と同一方向であれば、レボルバ２を連続して回転動作させるので、例えば対物レンズＡから対物レンズＤに切り替える場合、作業者がレボルバスイッチＳＷ−Ｈを素早く連続して２回押し操作するだけで、目的の対物レンズＤに切り替えることができる。
【００５２】
従って、一般的な半導体検査作業において顕微鏡で観察を続けながらブラインド操作でレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを押し操作して目標の対物レンズＡ、Ｂ…Ｅに切り替えるときにその作業効率を向上できる。
(2) 以下、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００５３】
図３は電動レボルバ制御装置の構成図である。
処理回路２０は、図４に示す対物レンズ切り替え制御フローチャートに従って作動し、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検知し、これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作に応じた正転又は逆転の回転指令をドライバ７に送出し、回転用モータ３を正転又は逆転させて隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅに切り替え制御する機能を有するとともに、後述するスイッチ検知手段１１及び切替制御手段２１の各機能を有している。
【００５４】
このうちスイッチ検知手段１１は、上記同様に、２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作時から隣接する対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅへの切り替え終了までの切替動作中に、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されたことを検知する機能を有している。
【００５５】
切替制御手段２１は、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのいずれか一方又は両方が連続して複数回押し操作された場合、これら押し操作された回数及びこれらの回転方向に基づいてレボルバ２の最終的な回転方向及びその回転量を判断し、これら回転方向及びその回転量に従ってドライバ７に回転指令を発してレボルバ２を正転又は逆転させる機能を有している。
【００５６】
次に上記の如く構成された装置の作用について図４に示す対物レンズ切り替え制御フローチャートに従って説明する。
作業者により２つのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ、ＳＷ−Ｌのうちいずれか一方のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されると、処理回路２０は、ステップ＃１０においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの押し操作を検出し、次のステップ＃１１においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であることを検知する。
【００５７】
次に、処理回路２０は、ステップ＃１２に移って、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのよる回転用モータ３の正転又は逆転の方向を決定し、続くステップ＃１３において回転用モータ３の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、回転用モータ３を回転駆動する。
【００５８】
この回転用モータ３を回転駆動により、例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操作の検知であれば、レボルバ２は、対物レンズＡから対物レンズＥに切り替わる方向に回転する。
【００５９】
次に、処理回路２０は、ステップ＃１４において、対物レンズＡから対物レンズＥへの切り替え動作中に、磁気センサ４が識別番号を読み取れるかを検出し、このとき対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する番号が読み取れるのであれば、ステップ＃１５において隣接する対物レンズＥが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００６０】
次に、処理回路２０は、ステップ＃３０において、後述するステップ＃３３で目標の対物レンズが保存されてたかを判断するが、ここでは目標の対物レンズが保存されていないとしてステップ＃１０に戻る。
【００６１】
一方、先の対物レンズの切替動作中、例えば対物レンズＡから隣接する対物レンズＥに切り替えられるまでの間、スイッチ検知手段１１は、ステップ＃１５からステップ＃１７及び＃１８に移り、再度レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌが押し操作されたか否かを検知する。
【００６２】
すなわち、スイッチ検知手段１１は、ステップ＃１７において再度操作されるレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを検出し、次のステップ＃１８においてレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによる回転用モータ３の正転又は逆転の入力であることを検知する。
【００６３】
次に、切替制御手段２１は、ステップ＃１９において、スイッチ検知手段１１により検知された再度押し操作のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方向と同一方向であるかを判断し、これら回転方向が同一方向であれば、ステップ＃２０に移ってレボルバ２の回転量を加算し、目標の対物レンズを対物レンズＥから対物レンズＤに再設定し、再びステップ＃１４に戻る。
【００６４】
これにより、処理回路１０は、上記第１の実施の形態と同様に、回転用モータ３に回転指令を送出し続け、レボルバ２を連続して回転動作させ、ステップ＃１５において磁気センサ４により読み取られた識別番号が対物レンズＤの取付け穴の位置に対応する番号であれば、再設定された目標の対物レンズＤが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００６５】
従って、例えば対物レンズＡから対物レンズＤに切り替える場合、１回目のレボルバスイッチＳＷ−Ｈの押し操作により対物レンズＡから対物レンズＥへの切替動作中に、作業者が素早く２回目のレボルバスイッチＳＷ−Ｈを押し操作することにより、レボルバ２が連続して回転し、対物レンズＡから対物レンズＤに切り替えられる。
【００６６】
これに対して、切替制御手段２１によるステップ＃１９での判断の結果、再度押し操作のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転方向が切替動作中のレボルバ２の回転方向と反対方向であれば、切替制御手段２１は、ステップ＃３１に移ってレボルバ２の回転量（以下、移動量と称する）を減算し、次にステップ＃３２においてレボルバ２の移動量が「０」以下であるかを判断する。
【００６７】
例えば、レボルバスイッチＳＷ−Ｈによるレボルバ２の回転方向を正の値「１」とし、レボルバスイッチＳＷ−Ｌによるレボルバ２の回転方向を負の値「−１」とした場合、例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈが２回、次にレボルバスイッチＳＷ−Ｌが１回再押し操作されると、レボルバ２の移動量の演算処理結果は［１＋２−１＝２］となり、レボルバ２の移動量は「０」以上になり、最終的なレボルバ２の回転方向は、レボルバスイッチＳＷ−Ｈによる回転方向で変わらず、かつ対物レンズは、対物レンズＡから２個隣りの対物レンズＤに切り替わるものとなる。
【００６８】
従って、処理回路２０は、回転用モータ３に回転指令を送出し続け、レボルバ２を連続して回転動作させ、ステップ＃１５において磁気センサ４により読み取られた識別番号が対物レンズＤの取付け穴の位置に対応する番号であれば、再設定された目標の対物レンズＤが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００６９】
一方、例えばレボルバスイッチＳＷ−Ｈが１回、次にレボルバスイッチＳＷ−Ｌが３回再度押し操作されると、レボルバ２の移動量の演算処理結果は［１＋１−３＝−１］となり、レボルバ２の移動量は「０」以下になり、最終的なレボルバ２の回転方向は、レボルバスイッチＳＷ−Ｌによる回転方向に変化し、かつ対物レンズは、対物レンズＡから方向が反対の１個隣りの対物レンズＢに切り替わるものとなる。
【００７０】
従って、切替制御手段２１は、ステップ＃３２においてレボルバ２の移動量が「０」以下であることを判断し、ステップ＃３３に移って目標の対物レンズを対物レンズＡから対物レンズＢに変更して保存する。
【００７１】
次に、処理回路２０は、ステップ＃１４に戻り、先ずは回転用モータ３に回転指令を送出し続けてレボルバ２を回転動作させ、ステップ＃１５において磁気センサ４により読み取られた識別番号が対物レンズＥの取付け穴の位置に対応する番号になったときステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００７２】
続けて、処理回路２０は、ステップ＃３０において、目標の対物レンズが保存されているかを判断し、この場合、先のステップ＃３３で目標の対物レンズＢが保存されていることから、この目標の対物レンズＢを読み出し、再びステップ＃１２に戻る。
【００７３】
次に、処理回路２０は、ステップ＃１２において、目標の対物レンズＢに切り替わるように回転方向を決定し、次のステップ＃１３において回転用モータ３の正転又は逆転の回転指令をドライバ７に発し、回転用モータ３を回転駆動する。
【００７４】
この回転用モータ３を回転駆動によりレボルバ２は、対物レンズＥから対物レンズＡ、対物レンズＢに切り替わる方向に回転する。
次に、処理回路２０は、ステップ＃１４において、対物レンズＥから対物レンズＢへの切り替え動作中に、磁気センサ４により読み取られた識別番号を受け取り、この識別番号が対物レンズＢの取付け穴の位置に対応する番号であれば、ステップ＃１５において隣接する対物レンズＢが顕微鏡の光軸５に位置決めされたと判断し、次のステップ＃１６において回転用モータ３を停止する。
【００７５】
このように上記第２の実施の形態においては、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌのいずれか一方又は両方が連続して複数回押し操作された場合、これら押し操作された回数及びこれらの回転方向に基づいてレボルバ２の最終的な回転方向及びその回転量を判断し、これら回転方向及びその回転量に従ってドライバ７に回転指令を発してレボルバ２を正転又は逆転させるので、上記第１の実施の形態と同様に、例えば対物レンズＡから対物レンズＤに切り替える場合、作業者がレボルバスイッチＳＷ−Ｈを素早く連続して２回押し操作するだけで、目的の対物レンズＤに切り替えることができ、一般的な半導体検査作業において顕微鏡で観察を続けながらブラインド操作でレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを押し操作して目標の対物レンズＡ、Ｂ…Ｅに切り替えるときにその作業効率を向上できる。
【００７６】
又、連続した２回以上の対物レンズの切り替えで、２回目以降の押し操作ミスを全てキャンセルでき、誤操作による対物レンズの切り替えを素早くでき、対物レンズの標本に対する緊急退避ができる。
【００７７】
例えば、対物レンズＡから対物レンズＢに切り替える場合、レボルバスイッチＳＷ−Ｌを押し操作するところを間違ってレボルバスイッチＳＷ−Ｈを押し操作したとしても、対物レンズＥに向かっての切替動作中に素早くレボルバスイッチＳＷ−Ｌを２回押し操作すれば、目標の対物レンズＢに切り替えることができ、対物レンズの標本に対する緊急退避の可能である。
【００７８】
なお、本発明は、上記第１及び第２の実施の形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよい。
例えば、レボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌの入力処理をソフトウエア上で割り込み処理を行ってもよく、又これらレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌからの信号入力の検出のためにメモリ及び遅延回路を搭載し、一定時間内のレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌからの信号入力を順次制御し、ドライバ７に送出するようにしてもよい。
【００７９】
又、上記第１及び第２の実施の形態では、方向指定スイッチとしてのレボルバスイッチＳＷ−Ｈ又はＳＷ−Ｌを用いた場合について説明したが、各対物レンズに対応して複数のレボルバスイッチを設ける直接指定スイッチの場合にも適用できる。この場合、各対物レンズＡ、Ｂ、…Ｅに対応して複数のレボルバスイッチａ〜ｅが設けられていれば、対物レンズＡが位置決めされている状態に、対物レンズＢに対応するレボルバスイッチｂを押し操作し、この対物レンズＡから対物レンズＢに切り替わり切替動作中に、再度対物レンズＤに対応するレボルバスイッチｄが押し操作されると、レボルバは続けて回転し、目標の対物レンズが対物レンズＡから対物レンズＤに切り替わる。
【００８０】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、レボルバスイッチの操作時から他の対物レンズへの切り替え終了までの切替動作中に、レボルバスイッチが再度操作されても、時間ロスを無くして素早く目標の対物レンズに切り替えることができ、かつ連続した２回以上の対物レンズの切り替えで、２回目以降の押し操作ミスを全てキャンセルでき、誤操作による対物レンズの切り替えを素早くでき、対物レンズの標本に対する緊急退避ができる電動レボルバ制御装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる電動レボルバ制御装置の第１の実施の形態を示す構成図。
【図２】同装置の対物レンズ切り替え制御フローチャート。
【図３】本発明に係わる電動レボルバ制御装置の第２の実施の形態を示す構成図。
【図４】同装置の対物レンズ切り替え制御フローチャート。
【図５】従来の電動レボルバ制御装置の構成図。
【図６】同装置の対物レンズ切り替え制御フローチャート。
【符号の説明】
１…電動レボルバ、
２…取付け体（レボルバ）、
３…回転用電動機（回転用モータ）、
４…磁気センサ、
７…ドライバ、
１０，２０…処理回路、
１１…スイッチ検知手段、
１２…切替制御手段。
Claims (3)
- 複数の対物レンズを取り付けたレボルバを方向指定スイッチの操作に従って正転又は逆転させ、現在位置決めされている前記対物レンズから左側又は右側に隣接する他の前記対物レンズに切り替える電動レボルバ制御装置において、
前記方向指定スイッチの操作時から前記他の対物レンズへの切り替え終了までの切替動作中に、前記方向指定スイッチが再度操作されたことを検知すると、この方向指定スイッチの操作回数に基づいて目標の前記対物レンズを再設定し、前記レボルバを回転させ、現在位置決めされている前記対物レンズから前記再設定された前記目標の対物レンズに切り替える切替制御手段、
を具備したことを特徴とする電動レボルバ制御装置。 - 前記切替制御手段は、前記切替動作中に操作された前記方向指定スイッチで指定された前記レボルバの回転方向が前記切替動作中の前記レボルバの回転方向と同一方向の場合に、前記レボルバを連続して回転動作させることを特徴とする請求項１記載の電動レボルバ制御装置。
- 前記切替制御手段は、前記方向指定スイッチが複数回操作された場合、これら操作された回数及びこれらの回転方向に基づいて前記レボルバの最終的な回転方向及びその回転量を演算処理し、これら回転方向及びその回転量に従って前記レボルバを正転又は逆転させることを特徴とする請求項１記載の電動レボルバ制御装置。
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| JP16589297A JP4187288B2 (ja) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | 電動レボルバ制御装置 |
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- 1997-06-23 JP JP16589297A patent/JP4187288B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH1114894A (ja) | 1999-01-22 |
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