JPH0437021A - 縮小投影露光装置用高精度レテイクルオートチエンジヤ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ＶＬＳＩを製造する縮小投影露光装置に係り
、特に高速移動、高精度位置決め、高信頼性に好適な縮
小投影露光装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の装置は第２図のように目標収納段に移動するのに
モータを高速モードで回転し、フォトインタラプタの目
標スリット検出によりモータの回転をとめ、停止してい
た。たまに第３図のように検出バラツキやモータのイナ
ーシャによってオーバランし、停止位置エラーが発生し
、モータの低速逆回転により補正をかけていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、位置決め、信頼性、スルーブツトにつ
いて配慮がされておらず、（１）停止精度がスリット幅
又は、フォトインタラプタの検出幅に依存し、各々のバ
ラツキによって変動していた。

（２）高速、低速２種類の一定速度モータ制御で、高速
移動中目標スリットを検出し、ストップしてもオーバー
ランすることがあり、低速移動によって補正をかけると
いう無駄な時間をつかい、スループットが無くなる。（
３）移動瞬間、停止瞬間にレティクルに急激な加速度を
生じレティクルが損傷する可能性があるという問題があ
った。

本発明は、高精度位置検出、高精度位置決め。

高信頼性、スループット向上を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、ロータリーエンコーダによ
る位置検出、フォトインタラプタによるスリット検出、
スリット中心位置検出法、最適速度パターンによる速度
制御したものである。

〔作用〕

ロータリーエンコーダ７はモータ５回転軸上にあり、モ
ータ回転角度に応じＡ相、９０°位相遅れのＢ相の２種
類のパルス波形を発生する。逆回転した時はＡ相、９０
°位相の早いＢ相の２種類のパルス波形を発生する。エ
ンコーダ入力部８でその波形を入力し、ＣＰＵ９へ伝達
する。

スリット板のスリットはレティクルを収納する収納段ご
とに対応している。

フォトインタラプタ１４はスリット板１３のスリット１
５を検出し、波形をフォトインタラプタ入力部１６を通
してＣＰＵ９へ伝達する。

ＣＰＵをスリット位置のエンコーダ値サーチモードにし
、あるスリット位置をフォトインタラプタ１４が検出し
た位置のエンコーダ値（Ａとする）をＣＰＵに記憶し、
そのスリット位置をフォトインタラプタ１４が検出しな
くなる位置のエンコーダ値（Ｂとする）も記憶して（Ａ
＋Ｂ）／２でそのスリット位置の中心点のエンコーダ値
を求める。

全スリット位置の中心点のエンコーダ値を全て測定し、
パラメータとしてＣＰＵ９に記憶しておく。

これによりＣＰＵ９はロータリーエンコーダのカウント
数により現在位置を常時監視する。

オペレータから操作オペコン１２により何段口に移動と
いう移動目標位置が与えられると、ＣＰＵは目標位置（
その段のスリットの中心位Ｗ）−現在位置により移動量
をもとめ、かつ加速中カウント数いくつで速度いくつ、
また、カウント数いくつで減速に入り、カウント数いく
つで、速度いくつというように、速度パターンを決定す
る。この速度パターンはモータのイナーシャによる目標
停止位置に対するオーバーランの影響をうけない加速度
がとられる。

このスリット中心位置検出法と速度制御パターンによる
速度制御によって、高精度な位置決めができる。また、
モータ停止後フォトインタラプタの出力を見て、たしか
にスリット位置に移動したか見て、モーターのスリップ
などによっておこる誤動作を防止することができる。

〔実施例〕

以下２本発明の一実施例を第１図、第４図、第５図より
説明する。

レティクル１を上下左右に搬送するフォーク２゜フォー
クを左右に動かすモータ３．タイミングベルト４．フォ
ーク２を上下に動かすモータ５．タイミングベルト６、
モータ５と同軸上のロータリーエンコーダ７、エンコー
ダ入力部８．エンコーダ出力波形２０．各種処理を行う
ＣＰＵ９．モータ５制御用デジタル信号をアナログ信号
に変換するＤ／Ａ変換器１０．モータ５．駆動回路１１
゜オペレータ用操作パネル１２．各段の直接位置合せ用
スリット板１３．スリツト１５．スリツト検出用フオト
インタラプタ１４、そのフォトインタラプタ入力部１６
．スリット板１３のスリット１５を電気的に検出したフ
ォトインタラプタ出力波形１８．ＣＰＴＪ出力波形１９
、それによるモータ回転速度２１．これらをまとめて、
レティクルオートチェンジャ１７という。

次に動作を説明する。

ＣＰＵをスリット位置のエンコーダ値サーチモードにし
、あるスリット位置をフォトインタラプタ１４が検出し
た位置Ａのエンコーダ値５００をＣＰＵが記憶し、さら
にそのスリット位置をフォトインタラプタ１４が検出し
なくなる位置Ｂのエンコーダ値５２０を記憶する。（５
００＋５２０）／２＝５１０がそのスリット位置の中心
点のエンコーダ値となる。全スリットの中心点のエンコ
ーダ値を測定し、パラメータとしてＣＰＵ９に記憶して
おく。

これにより、ＣＰＵ９はロータリーエンコーダのカウン
ト数により現在位置をいつも知ることができる。

また、ある時の現在位置のカウント数が、３２０、移動
目標位置がスリットＣの場合、移動カウント数は、目標
位！５１０−現在位置３２０＝１９０で求まる。また現
在位置＋５０カウントでＭＡＸ速度となるように加速度
をする、ＭＡＹ速度で等速移動する、減速開始位置は、
目標位置−５０カウントで、４６０カウントとなる、減
速を行い、目標位置で速度０となる、という一連の速度
パターンをＣＰＵ９よりリアルタイムに出力し、制御す
る。第４図にその様子を示す。

オペレータは何段目のレティクルを搬出または、何段目
にレティクルを収納などの命令を操作パネル１２により
入力する。

入力をうけてＣＰＵ９はあらかじめメモリーしである各
段数のカウンタ数と現在のカウンタ数により、目標位置
に対する最適速度パターンを選択し出力する。その出力
はＤ／Ａ変換器１０によりアナログ値に変換され、モー
タ駆動回路１１を介してモータ５を駆動する。エンコー
ダ値によるカウント数を逐次見て、その値によって逐次
速度制御を行い、起動時はスローアップ、停止時はスロ
ーダウンを行い、レティクルを破損しない高信頼性の制
御を行っている。又、これによりモータのイナーシャに
よる目標停止位置に対するカーバーランもふせいている
。停止後、確認としてフォトインタラプタ１４の出力１
８を見て、本当に目標位置にたどりついたかどうかチエ
ツクする。その後、フォーク２を左右に動かし、レティ
クルを搬出または、収納する動作を行う。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ロータリーエンコーダの位！情報を取
込み、その情報によるモータ可変速度制御とスリット中
心位置検出方式により、高精度な位置決めができる効果
がある。

また、リトライによる時間のロスを防止したので、高ス
ループツト化がはかれる効果もある。

さらに、スローアップ、スローダウンにより、レティク
ルにショックがかからず、レティクル破損を防止する効
果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の機構と機能ブロック図、第
２図はスリット板、フォトインタラプタ出力波形、中央
処理装置ＣＰＵのモータ回転出力波形等を示す図、第３
図はオーバーランした時の、タイムチャート、第４図は
本発明を用いた時のタイムチャート、第５図はスリット
とロータリーエンコーダカウント数の相対の一例を示す
図である。 １・・レティクル、７・・・ロータリーエンコーダ、９
・・・ＣＰＵ、１３・・・スリット板、１４・・・フォ
トインタラプタ、１８・・・フォトインタラプタ出力波
形、１９・・ＣＰＵ出力波形、２０・・・エンコーダ出
力波第１図 第３図 第４図 第５図 スリット中速 口−タリーエンコータカウンｍ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、レテイクルを収納する収納段を有し、レテイクルを
   搬入、搬出する搬送機能より成る縮小投影露光装置のレ
   テイクル搬送において、ロータリーエンコーダによる位
   置検出、フォトインタラプタによる収納部の検出、収納
   段の位置決めのための中心位置検出法、中央処理装置か
   らのスローアツプ・スローダウンによりレテイクル破損
   を防止し、目標位置に高精度に停止する最適速度パター
   ンの出力による速度制御法を設けたことを特徴とする縮
   小投影露光装置用高精度レテイクルオートチエンジヤ。