JP2000056834A - 位置制御装置および位置制御方法 - Google Patents

位置制御装置および位置制御方法

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JP2000056834A
JP2000056834A JP10224507A JP22450798A JP2000056834A JP 2000056834 A JP2000056834 A JP 2000056834A JP 10224507 A JP10224507 A JP 10224507A JP 22450798 A JP22450798 A JP 22450798A JP 2000056834 A JP2000056834 A JP 2000056834A
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measuring
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JP10224507A
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English (en)
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Hironao Mega
浩尚 妻鹿
Masatoshi Teranishi
正俊 寺西
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 より少ないセンサを用いて、より高速な原点
出し動作、原点復帰動作を行なうことのできる位置制御
装置を提供する。 【解決手段】 位置決め装置100は、モータ108を
制御することによって機構部110内で移動体の回転軸
上の位置を制御する。原点出しの際、マイクロプロセッ
サ101は第1位置カウンタ104を用い移動体の移動
を開始し、原点センサ112によって移動体が原点を通
過したことが検出されると移動体は停止するよう制御さ
れる。移動体が原点を通過したときに、第2位置カウン
タ105によるカウントが0から開始され、移動体が停
止されたときに、マイクロプロセッサ101が移動体の
位置をカウントするためのカウンタが第1位置カウンタ
104から第2位置カウンタ105に切り替えられる。
以降、マイクロプロセッサ101は、第2位置カウンタ
105を用いて移動体の位置を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、移動体の位置を制
御する位置制御装置および位置制御方法に関し、特に移
動体の位置を制御して所定の座標の原点を設定すること
のできる位置制御装置および位置制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、電子部品実装装置では、プリ
ント基板が載置されたXYテーブルを水平面内で移動さ
せつつ、所定の作業ヘッドに、所定の収納部から電子部
品を取り出し電子部品の端子を予め接着剤が塗布された
プリント基板上に装着する動作を複数個の電子部品につ
いて繰り返させることにより、プリント基板への電子部
品の実装が行なわれている。
【0003】このような電子部品実装装置では、XYテ
ーブルをX軸、Y軸方向のそれぞれの、目標とする停止
位置に停止させる位置決め装置によって、作業ヘッドに
対するプリント基板の位置が制御される。このようなX
Yテーブルの位置を制御する位置決め装置について図9
〜図15を用いて説明する。図9はこのような従来の位
置決め装置200の構成を説明するための図であり、図
10は図9の機構部209の構成を説明するための図で
ある。図11は、機構部209を2台組み合わせること
により構成されるXYテーブルを説明するための図であ
る。
【0004】図10に示すように、機構部209は、移
動体2091と、移動体ナット部2092と、ネジ軸2
093と、支持台2094、2095と、固定台209
6と、カップリング2097とを含んでおり、モータ2
07はモータ軸2071を含んでいる。ここで、移動体
2091は、固定台2096に対して回転しないようネ
ジ軸2093に平行な面で固定台2096に接してお
り、オネジとなるネジ軸2093と移動体ナット部20
92とによりボールネジが構成されている。
【0005】モータ207によるモータ軸2071の回
転は、カップリング2097を介して支持台2094、
2095によって端部を回転自由に支持されたネジ軸2
093に伝達される。移動体ナット部2092では、無
限に循環する複数の剛球を介して、ネジ軸2093のa
方向への回転が、移動体2091の固定台2096上で
のb方向への直線運動に変換される。
【0006】このような機構部209を2台組み合わせ
ることにより図11に示すようなXYテーブルを構成す
ることができる。XYテーブルは、Y軸テーブル21
と、Y軸モータ22と、Y軸ネジ軸23と、X軸テーブ
ル31と、X軸モータ32と、X軸ネジ軸33と、可動
体41とを含んでいる。
【0007】このようなXYテーブルでは、Y軸テーブ
ル21、Y軸モータ22、Y軸ネジ軸23、X軸テーブ
ル31のそれぞれを、図10に示す機構部209の、固
定台2091、モータ207、ネジ軸2093、移動体
2091に対応させ、また、同様に、X軸テーブル3
1、X軸モータ32、X軸ネジ軸33、可動台41のそ
れぞれを、固定台2091、モータ207、ネジ軸20
93、移動体2091に対応させることによって、Y軸
テーブル21に対してX軸テーブル31をY方向に移動
させ、X軸テーブルに対して可動台41をX方向に移動
させることができる。
【0008】XYテーブルをこのようにその一例に含
み、モータの回転運動を回転軸上の移動体の直線運動に
変換する機構部209は、図9に示す位置決め装置20
0によって制御される。位置決め装置200は、マイク
ロプロセッサ201と、速度指令出力回路202と、原
点検出回路203と、位置カウンタ204と、センサ入
力回路205と、モータ駆動回路206と、モータ20
7と、ロータリエンコーダ208と、(前述の)機構部
209と、負方向リミットセンサ210と、原点センサ
211と、原点近傍センサ212と、正方向リミットセ
ンサ213とを含んでいる。
【0009】マイクロプロセッサ201は、位置カウン
タ204で生成される機構部209内での移動体209
1(図10参照)の(ネジ軸2093上に設定される座
標によって特定される)位置データと、所定の演算(後
述)により求められた目標位置のデータとの偏差を求
め、この偏差に比例したデータを速度指令として速度指
令出力回路202を介してモータ駆動回路206に出力
する。モータ駆動回路206は、モータ207の回転速
度がマイクロプロセッサ201からの速度指令に一致す
るようにモータ207を駆動する電流を制御する。
【0010】機構部209内のネジ軸2093には軸方
向に所定の座標が設定され、負方向リミットセンサ21
0は機構部209内の移動体2091が可動範囲の一端
に達していることを検出し、正方向リミットセンサ21
3は機構部209内の移動体2091が可動範囲の他端
に達していることを検出する。原点センサ211は移動
体2091が上記の座標の原点(基準位置)に対応する
位置にあることを検出し、原点近傍センサ212は移動
体2091が原点の近傍の領域にあることを検出する。
【0011】これらの負方向リミットセンサ210、正
方向リミットセンサ213、原点センサ211、原点近
傍センサ212による移動体2091の検出を示す信号
(後述)は、センサ入力回路205を介してマイクロプ
ロセッサ201に入力される。また、モータ207に
は、モータ軸2071(図10参照)の回転方向、回転
角度を検出するためのロータリエンコーダ208が設け
られている。
【0012】通常、ロータリエンコーダは、絶対的な回
転角度(固有の基準角度からの回転角度)を検出するア
ブソリュートロータリエンコーダと相対的な回転角度
(任意の基準角度からの回転角度)を検出するインクリ
メンタルロータリエンコーダとに分類される。アブソリ
ュートロータリエンコーダは、絶対的な回転角度を検出
するため、これを用いた位置決め装置200では、電源
が投入された直後に、上記の移動体2091に対する座
標の原点に対応させた固有の基準角度に復帰させること
ができる。ところが、インクリメンタルロータリエンコ
ーダは、絶対的な位置を検出することができないため、
これを用いた位置決め装置200では、電源が投入され
た直後には、移動体2091に対する座標の原点に対応
させた固有の基準角度に復帰させることができず、(原
点あるいは基準位置に対応する回転角度を、検出する特
定の回転角度に対応付ける)原点出しのための動作が必
要となる。
【0013】アブソリュートロータリエンコーダでは、
このように原点出しの動作が不要ではあるが、高価であ
るため、一般的にはインクリメンタルロータリエンコー
ダが用いられる。位置決め装置200で用いられるロー
タリエンコーダ208はインクリメンタル型であるもの
とし、このようなインクリメンタル型のロータリエンコ
ーダ208の例を図12、図13を用いて簡単に説明し
た後、ロータリエンコーダ208が位置決め装置200
で用いられる際の原点復帰動作(原点出し動作)につい
て図14、図15を用いて説明する。
【0014】図12は図9に示すロータリエンコーダ2
08の全体構成を説明するための図であり、図13はロ
ータリエンコーダ208によって出力される信号を説明
するための図である。図12に示すように、ロータリエ
ンコーダ208は、受光素子2051、2052、20
53と、固定板2060と、固定板2060上のスリッ
ト2061、2062、2063と、回転板2080
と、回転板2080との同心円上に所定の間隔をおいて
複数形成されるスリット2081と、回転板2080上
に1つ形成されるスリット2082と、回転中心208
3と、発光素子2090とを含んでいる。
【0015】回転板2080は、モータ軸2071(図
10参照)に接続される回転中心2083を中心に回転
する。発光素子2090からの光は、スリット208
1、スリット2061を通過して受光素子2051に受
光されA相信号を生成し、スリット2081、スリット
2062を通過して受光素子2052に受光されB相信
号を生成し、また、スリット2082、スリット206
3を通過して受光素子2053に受光されZ相信号を生
成する。
【0016】ここで、スリット2061、2062は、
回転板2083(モータ軸2071)の回転方向を検出
するため、生成されるA相信号とB相信号との位相が9
0度ずれるように形成されている。A相信号とB相信号
とは、モータ駆動回路206(図9参照)と位置カウン
タ204とに出力され、位置カウンタ204ではA相信
号、B相信号によって生成されるパルスの立ち上がりと
立ち下がりをカウントすることによって回転方向、回転
角度が検出され、所定の座標に対する位置データが生成
される。実際、図13に示すように、回転方向の一方を
正転として回転板2080を回転させるときA相信号の
立ち上がりに比べて90度位相が遅れたB相信号の立ち
上がりが検出され、この逆の方向に回転板2080を回
転させるときA相信号の立ち上がりに比べて90度位相
が進んだB相信号の立ち上がりが検出される。
【0017】また、原点をより高精度に検出するため
に、回転板2083が1回転するごとにZ相信号が1パ
ルス生成されるようスリット2082が形成されてお
り、生成されたZ相信号は原点検出回路203(図9参
照)に出力される。この原点検出回路203には、この
Z相信号以外に、原点センサ211、原点近傍センサ2
12からの信号が入力され、これらの3つの信号のすべ
てがオンとされたときに、移動体2091(図10参
照)が原点に位置することが原点検出回路203からマ
イクロプロセッサ201に伝えられる。
【0018】以上のような構成のロータリエンコーダ2
08を有する従来の位置決め装置200では、電源が投
入された直後、次に図14、図15に示すようにして、
原点出し動作、原点復帰動作が行なわれる。図14は、
従来の位置決め装置200での移動体2091(図10
参照)のネジ軸2093上の位置に応じた各センサから
の信号を示す図である。
【0019】ネジ軸2093上には、ネジ軸2093に
平行に移動する移動体2091の可動範囲に対応させ
て、可動範囲の一端(負方向への限界)である位置x=
x1に負方向リミットセンサ210が設置され、可動範
囲の他端(正方向への限界)である位置x=x6に正方
向リミットセンサ213が設置される。原点センサ21
1は移動体2091の制御に用いる所定の座標の原点を
含む区間x3〜x4に対応させて設置され、原点近傍セ
ンサ212はこの区間を含む区間x2〜x5に対応させ
て設置される。
【0020】負方向リミットセンサ210からの信号
は、移動体2091が位置x=x1よりも負方向に位置
するときにオンとされ、正方向リミットセンサ213か
らの信号は、移動体2091が位置x=x6よりも正方
向に位置するときにオンとされる。原点近傍センサ21
2からの信号は、移動体2091が区間x2〜x5に位
置するときにオンとされ、原点センサ211からの信号
は、移動体2091が区間x3〜x4に位置するときに
オンとされる。
【0021】また、ロータリエンコーダ208からは、
上述のようなZ相信号が移動体がX1移動するごとに幅
X2をもって出力され、原点検出回路203(図9参
照)は、上述のように、移動体2091が区間x2〜x
5に位置することが原点近傍センサ212によって検出
され、区間x3〜x4に位置することが原点センサ21
1によって検出され、かつ、ロータリエンコーダ208
からのZ相信号が検出された際に、原点を検出したこと
をマイクロプロセッサ201に伝える。
【0022】これらのような各センサにより、移動体が
所定の位置にあることを検出することのできる位置決め
装置200では、次に示すようにして、原点復帰動作が
行われる。(ここでは、原点出し動作も同時に行われ
る。)マイクロプロセッサ201(図9参照)でのモー
タ207を制御するための目標位置の設定は、次のよう
な計算に基づいて行なわれるものとする。目標位置の計
算にあたって、ここでは、停止状態の移動体を(基準と
する時刻からの)時間t=0から加速し、時間t=t1
から定速で移動させ、時間t=t2から減速させ、時間
t=t3で停止させるものとする。 (1)移動体を停止状態から加速させるとき(0≦t≦
t1) 予め設定された一定の加速度α1(α1>0とする)に
対して、速度v=α1・t、目標とする移動量s=1/
2・α1・t2とされる。 (2)移動体を(1)の後定速で移動させるとき(t1
<t≦t2) 予め設定された一定の速度v1(v1>0とする)に達
すると、目標とする移動量sはs=1/2・α1・t1
2+v1・(t−t1)とされる。 (3)移動体を(2)の後減速させるとき(t2<t≦
t3) 所定の条件が満たされると、予め設定された一定の加速
度−α2(α2>0とする)に対して、速度v=v1−
α2・(t−t2)、目標とする移動量s=1/2・α
1・t12+v1・(t2−t1)+1/2・α2・t
2−(α2・t2+v1)・t2+(α2・t2+v
1)・t−1/2・α2・t2とされる。
【0023】これらのようにして、(1)〜(3)の各
状態で(たとえば1msごとに)計算され設定される目
標移動量sと位置カウンタ204によってカウントされ
る移動体の移動量との偏差から、マイクロプロセッサ2
01は、モータ207の回転速度を計算し、この回転速
度をモータ駆動回路206に指令する。図15は、従来
の位置決め装置200での原点復帰動作を説明するため
の図である。ここでは、上述のようにして、マイクロプ
ロセッサ201は、移動体2091が、0≦t≦t3で
加速移動、定速移動、減速移動するよう目標位置を設定
しつつ、モータ207の回転速度を制御する。t3<t
≦t4では、再び移動体2091が定速移動をするよう
制御されるが、この際の回転速度の制御は上記の(2)
と同様にして目標移動量を設定して行なうことができ
る。
【0024】移動体2091は、予め設定された停止位
置から予め設定された方向に最高速度v1となるまで加
速度α1で加速される(0≦t≦t1)。(たとえば、
図14では、この移動を開始する停止位置を区間x1〜
x2に含まれる位置とし、正方向へ移動するよう加速さ
れるものとする。)最高速度v1に達すると、この速度
v1を保つように制御される(t1<t≦t2)。
【0025】移動体2091が最高速度v1に達した後
(加速中とすることもできる)、原点近傍センサ212
が移動体2091を検出すると、予め設定された速度v
sに達するまで減速度α2(加速度−α2)で減速する
よう制御される(t2<t≦t3)。この後、移動体2
091が速度vsで移動中に、原点検出センサ211が
移動体2091を検出し、さらに前述のZ相信号がオン
されると、原点検出回路203は、0≦t≦t4まで位
置決め装置200の電源が投入された後停止位置からの
相対的な位置をカウントしてきた位置カウンタ204を
クリアすると同時にマイクロプロセッサ201に原点の
検出を通知する。このようにして原点検出回路203か
ら原点検出の通知を受けたマイクロプロセッサ201
は、直ちに、移動体2091の目標位置を0に切り替え
る。
【0026】これらによって、移動体2091を原点に
停止させ(モータ207を原点に対応する回転角度で停
止させ)、移動体2091を原点に復帰させる原点復帰
動作が完了する。(ここでは、移動体2091の初期の
停止位置を図14の区間x1〜x2に含まれる位置とし
正方向へ移動していくものとしたが、初期の停止位置を
図14の区間x5〜x6に含まれる位置として正方向へ
移動を開始させた場合でも、正方向リミットセンサ21
3が移動体2091を検出する位置x=x6で移動体2
091の移動を負方向に反転させて、上述と同様に原点
復帰動作を行なうことができる。)
【0027】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような従来の位置決め装置では、原点復帰動作を行なう
ために、原点センサ、原点近傍センサの2つのセンサが
必要となる。また、原点近傍センサを用いずに、従来と
同様の原点復帰動作を行なわせるためには、移動体を高
速に動作させることができない。たとえば、図15に示
すグラフで、速度v1の一定速度のまま時間t4で原点
を検出させると同時に急激に移動体2091(図10参
照)を停止させると、機構部209内で大きな振動や衝
撃が生じ機構部209の寿命を短縮させることとなり、
また、移動体2091の位置の制御は不正確なものとな
る。
【0028】本発明は、これらの問題点を考慮してなさ
れたものであり、その目的は、より少ないセンサを用い
て、より高速な原点出し動作、原点復帰動作を行なうこ
とのできる位置制御装置を提供することである。
【0029】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る位置制御装置は、目標位置と現在位
置との差に応じて移動体を所定の走行路上で移動させる
サーボ機構と、前記移動体が前記走行路上の基準位置を
通過したことを検出する検出手段と、前記移動体の移動
量を逐次計測し計測値として保持する、第1の計測手段
および第2の計測手段と、前記第1の計測手段または第
2の計測手段を選択し、前記計測値を現在位置として前
記サーボ機構に供給する現在位置供給手段と、電源投入
直後に、前記移動体が前記基準位置を通過して移動し停
止するよう目標位置を逐次算出し前記サーボ機構に供給
する目標位置供給手段と、電源を投入した際に前記第1
の計測手段の計測値を零に設定し、前記移動体が前記基
準位置を通過した際に前記第2の計測手段の計測値を所
定の値に設定する設定手段と、電源投入直後に、前記現
在位置供給手段に前記第1の計測手段を選択させ、前記
移動体が前記基準位置を通過し停止した際に、前記現在
位置供給手段に前記第2の計測手段を選択させるととも
に、目標位置を第2の計測手段の計測値と同一の値に変
更するよう制御する制御手段とを備えることを特徴とし
ている。
【0030】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
の実施の形態の位置決め装置について説明する。まず、
図1〜図4を用いて、本発明の第1の実施の形態である
位置決め装置100について説明する。
【0031】図1は、本発明の第1の実施の形態である
位置決め装置100の構成を説明するための図である。
位置決め装置100は、マイクロプロセッサ101と、
速度指令出力回路102と、原点検出回路103と、第
1位置カウンタ104と、第2位置カウンタ105と、
センサ入力回路106と、モータ駆動回路107と、モ
ータ108と、インクリメンタルロータリエンコーダ1
09と、機構部110と、負方向リミットセンサ111
と、原点センサ112と、正方向リミットセンサ113
とを含んでいる。
【0032】各部の働きは、上述の位置決め装置200
と同様であるが、位置決め装置100では、原点近傍セ
ンサを設けないことと、位置カウンタを2台設けている
ことと、これらによる原点出しの制御とが異なってい
る。マイクロプロセッサ101は、第1位置カウンタ1
04または第2位置カウンタ105で生成される機構部
110(その構成は図10に示す機構部209と同様で
ある)内での移動体2091の位置データと、先述のよ
うな演算により求められた目標位置のデータとの偏差を
求め、この偏差に比例したデータを速度指令として速度
指令出力回路102を介してモータ駆動回路107に出
力する。モータ駆動回路107は、モータ108の回転
速度がマイクロプロセッサ101からの速度指令に一致
するようにモータ108を駆動する電流を制御する。
【0033】機構部110内のネジ軸2093には軸方
向に所定の座標が設定され、負方向リミットセンサ11
1は機構部110内の移動体2091が可動範囲の一端
に達していることを検出し、正方向リミットセンサ11
3は機構部110内の移動体2091が可動範囲の他端
に達していることを検出する。原点センサ112は移動
体2091が上記の座標の原点に対応する位置にあるこ
とを検出する。
【0034】これらの負方向リミットセンサ111、正
方向リミットセンサ113、原点センサ112による移
動体2091の検出を示す信号は、センサ入力回路10
6を介してマイクロプロセッサ101に入力される。ま
た、モータ軸2071上には、モータ軸2071の回転
角度を検出するために、図12のロータリエンコーダ2
08と同様のインクリメンタルロータリエンコーダ10
9が設けられている。インクリメンタルロータリエンコ
ーダ109からのA相信号とB相信号とは、モータ駆動
回路107と第1位置カウンタ104と第2位置カウン
タ105とに出力され、第1位置カウンタ104および
第2位置カウンタ105ではA相信号、B相信号によっ
て生成されるパルスの立ち上がりと立ち下がりをカウン
トすることによって回転方向、回転角度が検出され、所
定の座標に対する位置データが生成される。インクリメ
ンタルロータリエンコーダ109からのZ相信号は原点
検出回路103に出力され、原点をより高精度に検出す
るために用いられる。
【0035】このインクリメンタルロータリエンコーダ
109が位置決め装置100で用いられる際の原点出し
動作、原点復帰動作について図2〜図4を用いて説明す
る。図2は、原点出し動作、原点復帰動作を行なうため
のマイクロプロセッサ101による制御の手順を示すフ
ローチャートである。マイクロプロセッサ101による
制御においては、[従来の技術]に示すような目標位置
の設定が逐次適切に行なわれるものとする。
【0036】位置決め装置100では、原点出し動作、
原点復帰動作に際して、まず、第1位置カウンタ104
が用いられて移動体2091(図10参照)の正方向へ
の移動が開始される(ステップ1、以下ステップをSと
略す)。この移動体2091の移動中に(原点センサ1
12がオンにされ、かつ、インクリメンタルロータリエ
ンコーダ109からのZ相信号がオンにされて)原点検
出回路103(図1参照)から原点の検出が通知される
と(S2にて、YES)、第2位置カウンタ105がク
リアされ(原点に対応するカウント値0が代入されて)
(S3)、移動体2091は減速して停止するよう制御
される(S4)。
【0037】続いて、マイクロプロセッサ101が移動
体2091の位置を知るためのカウンタが第1位置カウ
ンタ104から第2位置カウンタ105に変更されて原
点出しが行なわれ、この変更とともに、目標位置が第2
位置カウンタ105の保持している値に設定される(S
5)。(以降は、第1位置カウンタ104は用いられる
ことなく第2位置カウンタ105によって移動体209
1の位置がカウントされる) この後、移動体2091の目標とする停止位置が0とさ
れて(これに合わせて目標位置が逐次設定されて)移動
体2091の移動が再び開始され、目標とする停止位置
0に達したときに移動体2091の原点復帰動作が完了
する(S6)。
【0038】移動体2091の正方向への移動中に原点
が検出されることなく(S2にて、NO)移動体209
1が正方向リミットに達すると(S7にて、YES)、
移動体2091は減速して停止するよう制御され(S
8)、第1位置カウンタ104が用いられて移動体20
91の負方向への移動が開始される(S9)。その後、
移動体2091の負方向への移動中に原点検出回路10
3から原点の検出が通知されると(S10にて、YE
S)、S3へと処理は移され、上述と同様に、S3から
S6までの処理によって原点出し動作、原点復帰動作が
行なわれる。
【0039】移動体2091の負方向への移動中に原点
が検出されることなく(S10にて、NO)移動体20
91が負方向リミットに達すると(S11にて、YE
S)、原点検出エラーと判断され(S12)、本処理は
終了される。(この原点検出エラーは、原点センサ11
2、インクリメンタルロータリエンコーダ109の不具
合等によって生じる。)移動体2091が負方向リミッ
トに達しなければ(S11にて、NO)、S10へと処
理へと戻される。
【0040】このようなマイクロプロセッサ101によ
る制御のもと、実際に、移動体2091は次に示すよう
にしてネジ軸2093上を移動しつつ、原点出し動作、
原点復帰動作が行なわれる。図3は、原点出し動作、原
点復帰動作の際の移動体2091の移動を説明するため
の図である。ここでの移動体2091の移動は図2のS
1〜S6での処理に対応する。(図2のS7〜S10で
の処理が行なわれる場合にもリミットを検出した際に移
動体2091の移動を反転させて、原点を通過させるこ
とにより同様に説明することができる。) マイクロプロセッサ101(図1参照)は第1位置カウ
ンタ104を用いつつ、移動体2091は予め設定され
た停止位置から予め設定された方向に最高速度v1とな
るまで所定の加速度で加速される(0≦t≦t1)(図
2のS1での処理に対応)。最高速度v1に達すると、
この速度v1を保つように制御される(t1<t≦t
2)。
【0041】移動体2091が最高速度v1に達した後
(加速中とすることもできる)、原点検出回路103か
ら原点の検出がマイクロプロセッサ101に通知される
(図2のS2にてYESに対応)と、第2位置カウンタ
105がクリアされてカウントが開始され(図2のS3
での処理に対応)、移動体2091は予め指定された減
速度で減速し停止するよう制御される(t2<t≦t
3)(図2のS4での処理に対応)。
【0042】速度が0となり移動体2091が停止する
と(t=t3)、移動体2091の位置を検知するため
のカウンタが第1位置カウンタ104から第2位置カウ
ンタ105に切り替えられ(図2のS5での処理に対
応)、移動体2091は目標とする停止位置が0と設定
されて予め指定された(最高速度を−v2とする)速度
曲線で原点に復帰するよう移動されて位置決め動作が行
なわれ(t3<t≦t4)(図2のS6での処理に対
応)、原点復帰動作が完了する。(この原点復帰動作の
際の最高速度−v2は、面積S1に対応する、原点検出
後移動体2091が停止するまでの距離が、面積S2に
対応する、停止後移動体2091が原点復帰するまでに
移動する距離と等しくなるよう設定される。) これらのような移動体2091の移動においては、次に
示すようなカウント値が、第1位置カウンタ104、第
2位置カウンタ105によってカウントされている。
【0043】図4は、原点出し動作、原点復帰動作の際
のカウント値を説明するための図である。移動体209
1(図10参照)の位置は、ネジ軸2093に平行な座
標によって特定され、移動に際して、第1位置カウンタ
104、第2位置カウンタ105により、移動体209
1の移動量のカウントが行なわれる。ここでは、移動体
2091の位置x=x0を移動体2091が移動を開始
する位置(図3での時間t=0での位置)、移動体20
91の位置x=x1を原点が検出される位置(図3での
時間t=t2での位置)、移動体2091の位置x=x
2を移動体2091が停止する位置(図3での時間t=
t3での位置)とする。
【0044】原点出し動作の際、マイクロプロセッサ1
01は、第1位置カウンタ104を用い、位置x=x0
にある移動体2091の移動を開始する。移動体209
1が原点に対応する位置x=x1を超えると位置x=x
2で停止するよう制御される。この区間x0〜x2での
移動中に移動体2091が位置x=x1を通過したこと
が検出されると、第2位置カウンタ105のカウント値
が0にクリアされてカウントが開始される。
【0045】その後、位置x=x2にて停止の際にマイ
クロプロセッサ101が用いるカウンタが第1位置カウ
ンタ104から第2位置カウンタ105に切り替えられ
て原点出しが行なわれ、目標とする停止位置が0(図4
では位置x=x1)と設定されて移動体2091は負方
向に移動され、移動体2091の原点復帰動作は完了す
る。
【0046】以上のように位置決め装置100では、従
来用いられていた原点近傍センサは不要となり、より少
ないセンサを用いて、より高速な原点出し動作、原点復
帰動作を行なうことができる。次に、図5〜図8を用い
て、本発明の第2の実施の形態である位置決め装置15
0について説明する。
【0047】図5は、本発明の第2の実施の形態である
位置決め装置150の構成を説明するための図である。
位置決め装置150は、マイクロプロセッサ151と、
速度指令出力回路152と、第1位置カウンタ153
と、第2位置カウンタ154と、センサ入力回路155
と、モータ駆動回路156と、モータ157と、インク
リメンタルロータリエンコーダ158と、機構部159
と、負方向リミットセンサ160と、正方向リミットセ
ンサ161とを含んでいる。
【0048】各部の働きは、第1の実施の形態である位
置決め装置100と同様であるが、位置決め装置150
では、原点センサ、原点検出回路を設けないことと、こ
れによる原点出しの制御とが異なっている。位置決め装
置100の各部と同様の、位置決め装置150の各部の
動作についてはここでは説明を省略する。このインクリ
メンタルロータリエンコーダ158が位置決め装置15
0で用いられる際の原点出し動作、原点復帰動作につい
て図6〜図8を用いて説明する。
【0049】図6は、原点出し動作、原点復帰動作を行
なうためのマイクロプロセッサ151による制御の手順
を示すフローチャートである。マイクロプロセッサ15
1による制御においては、マイクロプロセッサ101と
同様、[従来の技術]に示したような目標位置の設定が
逐次適切に行なわれるものとする。位置決め装置150
では、原点出し動作、原点復帰動作に際して、まず、第
1位置カウンタ153が用いられて移動体2091(図
10参照)の正方向への移動が開始される(S10
1)。
【0050】移動体2091の移動中にZ相信号がオン
されると(S102にて、YES)、第2位置カウンタ
154がクリアされ(S103)、移動体2091の移
動中に正方向リミットセンサからの信号がオンされなけ
れば(S104にて、NO)移動体2091の移動に伴
うこれらの処理が繰り返される。正方向リミットセンサ
161からの信号がオンされると(S104にて、YE
S)、移動体2091は減速して停止するよう制御され
る(S105)。移動体2091が停止した際、第2位
置カウンタ154では、S103での処理によって最後
にクリアされた後カウントされている値に正方向リミッ
トデータ(予め記憶されている、正方向リミットセンサ
161からの信号がオンされる直前にZ相信号がオンさ
れた移動体2091の位置から、原点の位置までに対応
するカウント値)が加算される(S106)。
【0051】続いて、マイクロプロセッサ151が移動
体2091の位置を知るためのカウンタが第1位置カウ
ンタ153から第2位置カウンタ154に変更されて原
点出しが行なわれ、この変更とともに、目標位置が第2
位置カウンタ154の保持している値に設定される(S
107)。(これ以降は、第1位置カウンタ153は用
いられることなく第2位置カウンタ154によって移動
体2091の位置がカウントされる) この後、移動体2091の目標とする停止位置が0とさ
れて移動体2091の移動が再び開始され、目標とする
停止位置0に達したときに移動体2091の原点復帰動
作が完了する(S108)。
【0052】このようなマイクロプロセッサ151によ
る制御のもと、実際に、移動体2091は次のようにし
てネジ軸2093上を移動しつつ、原点出し動作、原点
復帰動作が行なわれる。図7は、原点出し動作、原点復
帰動作の際の移動体2091の移動を説明するための図
である。
【0053】マイクロプロセッサ151(図5参照)は
第1位置カウンタ153を用いつつ、移動体2091は
予め設定された停止位置から予め設定された方向に最高
速度v1となるまで所定の加速度で加速される(0≦t
≦t1)(図6のS101での処理に対応)。最高速度
v1に達すると、この速度v1を保つように制御される
(t1<t≦t3)。
【0054】移動体2091が最高速度v1に通過した
後原点を通過し、さらに、正方向リミットに達すると、
移動体2091は予め指定された減速度で減速し停止す
るよう制御される(t3<t≦t4)(図6のS105
での処理に対応)。速度が0となり移動体2091が停
止すると(t=t4)、Z相信号のオンを検出するたび
にカウント値が0にクリアされている第2位置カウンタ
154には前述の正方向リミットデータが加算される
(図6のS106での処理に対応)。
【0055】続いて、移動体2091の位置を検知する
ためのカウンタが第1位置カウンタ153から第2位置
カウンタ154に切り替えられ(図6のS107での処
理に対応)、移動体2091は目標とする停止位置が0
と設定されて予め指定された速度曲線で原点に復帰する
よう移動されて位置決め動作が行われ(t4<t≦t
5)、原点復帰動作が完了する(図6のS108での処
理に対応)。(この原点復帰動作の際には、面積S1に
対応する、原点検出後移動体2091が停止するまでの
距離が、面積S2に対応する、停止後移動体2091が
原点復帰するまでに移動する距離とが等しくなるよう、
速度曲線が設定される。) これらのような移動体2091の移動においては、次に
示すようなカウント値が、第1位置カウンタ153、第
2位置カウンタ154によってカウントされている。
【0056】図8は、原点出し動作、原点復帰動作の際
のカウント値を説明するための図である。(位置決め装
置150では、移動体2091は、正方向リミットを越
えても停止するまでの間しばらく(区間x2〜x3の距
離)移動を続けることができるものとしている。) 移動体2091(図10参照)の位置は、ネジ軸209
3に平行な座標によって特定され、移動に際して、第1
位置カウンタ153、第2位置カウンタ154により、
移動体2091の移動量のカウントが行なわれる。ここ
では、移動体2091の位置x=x0を移動体2091
が移動を開始する位置(図7での時間t=0での位
置)、移動体2091の位置x=x1を正方向リミット
センサ161からの信号がオンされる直前にZ相信号が
オンされる移動体2091の位置、移動体2091の位
置x=x2を正方向リミットセンサ161からの信号が
オンされる位置、移動体2091の位置x=x3を移動
体2091が停止する位置(図7での時間t=t4での
位置)、移動体2091の位置x=x4を原点とする。
また、区間XをZ相信号がオンされる周期に対応する移
動体2091の移動区間とする。
【0057】原点出し動作の際、マイクロプロセッサ1
51は、第1位置カウンタ153を用い、位置x=x0
にある移動体2091の移動を開始する。移動体209
1が位置x=x2を通過したことが検出されると、移動
体2091は位置x=x3で停止するよう制御される。
この区間x0〜x2での移動中には、Z相信号がオンさ
れるたびに、第2位置カウンタ154のカウント値が0
にクリアされつつカウントが続けられる。
【0058】移動体2091が位置x=x2を超えて正
方向に移動を続ける際には、Z相信号がオンされても第
2位置カウンタ154のカウント値は0にクリアされる
ことなく、位置x=x3で停止するまで第2位置カウン
タ154のカウントが続けられる。移動体2091が位
置x=x3で停止すると、第2位置カウンタ154に
は、前述の正方向リミットデータ(区間x1〜x2の距
離に対応するカウント値)が加算され、第1位置カウン
タ153と第2位置カウンタ154とが切り替えられて
原点出しが行なわれ、目標とする停止位置が0と設定さ
れて移動体2091は負方向に移動され、移動体209
1の原点復帰動作は完了する。
【0059】以上のように位置決め装置150では、従
来用いられていた原点センサ、原点近傍センサは不要と
なり、より少ないセンサを用いて、より高速な原点出し
動作、原点復帰動作を行なうことができる。
【0060】
【発明の効果】本発明に係る位置制御装置は、目標位置
と現在位置との差に応じて移動体を所定の走行路上で移
動させるサーボ機構と、前記移動体が前記走行路上の基
準位置を通過したことを検出する検出手段と、前記移動
体の移動量を逐次計測し計測値として保持する、第1の
計測手段および第2の計測手段と、前記第1の計測手段
または第2の計測手段を選択し、前記計測値を現在位置
として前記サーボ機構に供給する現在位置供給手段と、
電源投入直後に、前記移動体が前記基準位置を通過して
移動し停止するよう目標位置を逐次算出し前記サーボ機
構に供給する目標位置供給手段と、電源を投入した際に
前記第1の計測手段の計測値を零に設定し、前記移動体
が前記基準位置を通過した際に前記第2の計測手段の計
測値を所定の値に設定する設定手段と、電源投入直後
に、前記現在位置供給手段に前記第1の計測手段を選択
させ、前記移動体が前記基準位置を通過し停止した際
に、前記現在位置供給手段に前記第2の計測手段を選択
させるとともに、目標位置を第2の計測手段の計測値と
同一の値に変更するよう制御する制御手段とを備えるこ
とを特徴としている。
【0061】本位置制御装置によると、第1の計測手段
の計測値である現在位置と、移動体が所定の走行路上を
基準位置を通過して移動し停止するように算出された目
標位置とが電源投入直後から逐次サーボ機構に供給さ
れ、これらの現在位置と目標位置との差に応じて移動体
が移動される。移動体が基準位置を通過した際には、第
2の計測手段の計測値に所定の値が設定され、(この所
定の値から第2の計測手段は計測を続け、)移動体が基
準位置を通過して停止した際に、現在位置として第2の
計測手段の計測値が選択されて目標位置に第2の計測手
段の計測値と同一の値が設定される。
【0062】これにより、移動体の位置と所定の値とが
対応付けられ、従来のように原点近傍センサを用いて移
動体を減速させて原点の検出とともに移動体を停止させ
る必要がなくなり、より少ないセンサを用いて、より高
速な原点出し動作を行なうことができる。上記の位置制
御装置では、前記サーボ機構は、サーボモータとモータ
軸の回転を移動体の直線運動に変換する変換機構とを含
み、前記計測手段の各々は、前記モータ軸の回転に応じ
てパルスを発生するパルスエンコーダと前記パルスをカ
ウントするカウンタとを含むものとすることができる。
【0063】本位置制御装置によると、パルスエンコー
ダとカウンタとを含む第1の計測手段の計測値である現
在位置と、移動体が所定の走行路上を基準位置を通過し
て移動し停止するように算出された目標位置とが、電源
投入直後から逐次、サーボモータとモータ軸の回転を移
動体の直線運動に変換する変換機構とを含むサーボ機構
に供給され、これらの現在位置と目標位置との差に応じ
て移動体が移動される。移動体が基準位置を通過した際
には、パルスエンコーダとカウンタとを含む第2の計測
手段の計測値に所定の値が設定され、移動体が基準位置
を通過して停止した際に、現在位置として第2の計測手
段の計測値が選択されて目標位置に第2の計測手段の計
測値と同一の値が設定される。
【0064】これにより、移動体の位置と所定の値とが
対応付けられ、従来のように原点近傍センサを用いて移
動体を減速させて原点の検出とともに移動体を停止させ
る必要がなくなり、より少ないセンサを用いて、より高
速な原点出し動作を行なうことができる。また、上記の
位置制御装置では、前記基準位置は、前記移動体の走行
路上に設定されている所定の座標の原点であり、前記設
定手段は、前記移動体が前記基準位置を通過した際に前
記第2の計測手段の計測値を零に設定するものとするこ
とができる。
【0065】本位置制御装置によると、第1の計測手段
の計測値である現在位置と、移動体が所定の走行路上を
所定の座標の原点に対応する基準位置を通過して移動し
停止するように算出された目標位置とが電源投入直後か
ら逐次サーボ機構に供給され、これらの現在位置と目標
位置との差に応じて移動体が移動される。移動体が上記
の原点を通過した際には、第2の計測手段の計測値に零
が設定され、(零から第2の計測手段は計測を続け、)
移動体が基準位置を通過して停止した際に、現在位置と
して第2の計測手段の計測値が選択されて目標位置に第
2の計測手段の計測値と同一の値が設定される。
【0066】これにより、移動体の位置と所定の値とが
対応付けられ、従来のように原点近傍センサを用いて移
動体を減速させて原点の検出とともに移動体を停止させ
る必要がなくなり、より少ないセンサを用いて、より高
速な原点出し動作を行なうことができる。上記の位置制
御装置では、前記基準位置は、前記移動体の走行路の一
端に設定されており、前記モータ軸の複数回の回転に対
して前記軸が基準から所定の回転角をなしていることを
検出する第2の検出手段を含み、前記設定手段は、前記
移動体が前記基準位置を通過して停止する前、前記モー
タ軸が基準から前記所定の回転角をなしていることが検
出された際に、前記第2の計測手段の計測値を零に設定
し、前記移動体が前記基準位置を通過して停止した際
に、所定の座標の原点と直前に前記第2の計測手段の計
測値が零に設定された位置との間の距離に対応する予め
指定された値を、前記第2の計測手段の計測値に加算す
るものとすることができる。
【0067】本位置制御装置によると、第1の計測手段
の計測値である現在位置と、移動体が所定の走行路の一
端(近傍)に設定される基準位置を通過して移動し停止
するように算出された目標位置とが電源投入直後から逐
次サーボ機構に供給され、これらの現在位置と目標位置
との差に応じて移動体が移動される。移動体が基準位置
を通過して停止する前、モータ軸が基準から所定の回転
角をなしていることを検出された際に、第2の計測手段
の計測値は零に設定され、(零から第2の計測手段は計
測を続け、)移動体が基準位置を通過して停止した際
に、所定の座標の原点と直前に第2の計測手段の計測値
が零に設定された位置との間の距離に対応する予め指定
された値が、第2の計測手段の計測値に加算され、現在
位置として第2の計測手段の計測値が選択されて目標位
置に第2の計測手段の計測値と同一の値が設定される。
【0068】これにより、移動体の位置と所定の値とが
対応付けられ、従来のように原点センサ、原点近傍セン
サを用いて移動体を減速させて原点の検出とともに移動
体を停止させる必要がなくなり、より少ないセンサを用
いて、より高速な原点出し動作を行なうことができる。
さらに、上記の位置制御装置では、前記目標位置供給手
段は、前記移動体が前記基準位置を通過し停止した後
に、前記移動体を前記原点に移動させるよう目標位置を
逐次算出し前記サーボ機構に供給するものとすることが
できる。
【0069】本位置制御装置によると、移動体が基準位
置を通過して停止し原点出し動作を終えた後に、移動体
を上記の原点に移動させるよう目標位置が逐次算出され
サーボ機構に供給される。これにより、移動体の位置と
所定の値とが対応付けられ、従来のように原点近傍セン
サを用いて移動体を減速させて原点の検出とともに移動
体を停止させる必要がなくなり、より少ないセンサを用
いて、より高速な原点復帰動作を行なうことができる。
【0070】また、本発明に係る位置制御装置は、回転
駆動源による軸の回転を移動体の直線上の移動に変換す
る機構を対象とし、前記軸の回転を制御することによっ
て前記移動体の直線上の位置を制御する位置制御装置で
あり、前記軸の回転から前記移動体の直線上の移動量を
計測する第1の計測手段および第2の計測手段と、前記
移動体が直線上の所定の基準位置にあることを検出する
検出手段と、前記第1の計測手段を用いつつ、前記移動
体を直線上の基準位置を超えて移動させて停止させるよ
う前記移動体の位置を制御する第1の位置制御手段と、
前記移動体の移動中に、前記移動体が前記基準位置を通
過したことが検出された際に、前記第2の計測手段によ
る移動量の計測を、前記基準位置に対応する予め指定さ
れた値から開始させるよう制御する制御手段と、前記移
動体が停止されて以降、前記第2の計測手段を用いつ
つ、前記移動体の位置を制御する第2の位置制御手段と
を備えている。
【0071】本位置制御装置によると、第1の計測手段
が用いられつつ、移動体を直線上の基準位置を超えて移
動させて停止させるよう移動体の位置が制御され、移動
体の移動中に、移動体が基準位置を通過したことが検出
された際に、第2の計測手段による移動量の計測が、基
準位置に対応する予め指定された値から開始され、移動
体が停止されて以降、第2の計測手段が用いられつつ、
移動体の位置が制御される。
【0072】これにより、移動体の位置と所定の値とが
対応付けられ、従来のように原点近傍センサを用いて移
動体を減速させて原点の検出とともに移動体を停止させ
る必要がなくなり、より少ないセンサを用いて、より高
速な原点出し動作を行なうことができる。上記の位置制
御装置では、前記検出手段は、前記移動体が所定の範囲
を有する位置にあることを検出する第2の検出手段と、
前記軸の複数回の回転に対して前記軸が基準から所定の
回転角をなしていることを検出する第3の検出手段とを
含み、前記移動体が所定の範囲を有する位置にあること
が検出され、かつ、前記軸が所定の回転角をなしている
ことが検出された際に、前記移動体が直線上の所定の基
準位置にあることを検出するものとすることができる。
【0073】本位置制御装置によると、第1の計測手段
が用いられつつ、移動体を直線上の基準位置を超えて移
動させて停止させるよう移動体の位置が制御される。移
動体の移動中に、移動体が所定の範囲を有する位置にあ
ることが検出され、かつ、軸が所定の回転角をなしてい
ることが検出された際に、移動体が基準位置を通過した
ことが検出され、第2の計測手段による移動量の計測
が、基準位置に対応する予め指定された値から開始さ
れ、移動体が停止されて以降、第2の計測手段が用いら
れつつ、移動体の位置が制御される。
【0074】これにより、移動体の位置と所定の値とが
対応付けられ、従来のように原点近傍センサを用いて移
動体を減速させて原点の検出とともに移動体を停止させ
る必要がなくなり、より少ないセンサを用いて、より高
速な原点出し動作を行なうことができる。ここで、上記
の位置制御装置では、前記基準位置は、所定の座標の原
点であるものとすることができる。
【0075】本位置制御装置によると、第1の計測手段
が用いられつつ、移動体を直線上の所定の座標の原点を
超えて移動させて停止させるよう移動体の位置が制御さ
れ、移動体の移動中に、移動体が原点を通過したことが
検出された際に、第2の計測手段による移動量の計測
が、原点に対応する予め指定された値から開始され、移
動体が停止されて以降、第2の計測手段が用いられつ
つ、移動体の位置が制御される。
【0076】これにより、移動体の位置と所定の値とが
対応付けられ、従来のように原点近傍センサを用いて移
動体を減速させて原点の検出とともに移動体を停止させ
る必要がなくなり、より少ないセンサを用いて、より高
速な原点出し動作を行なうことができる。上記の位置制
御装置では、前記基準位置は、前記移動体の直線上の可
動範囲の一端を示す基準となる位置であるものとするこ
とができる。
【0077】本位置制御装置によると、第1の計測手段
が用いられつつ、移動体を直線上の可動範囲の一端を示
す基準となる位置を超えて移動させて停止させるよう移
動体の位置が制御される。移動体の移動中に、移動体が
可動範囲の一端を示す基準となる位置を通過したことが
検出された際に、第2の計測手段による移動量の計測
が、この位置に対応する予め指定された値から開始さ
れ、移動体が停止されて以降、第2の計測手段が用いら
れつつ、移動体の位置が制御される。
【0078】これにより、移動体の位置と所定の値とが
対応付けられ、従来のように原点近傍センサ、原点セン
サを用いて移動体を減速させて原点の検出とともに移動
体を停止させる必要がなくなり、より少ないセンサを用
いて、より高速な原点出し動作を行なうことができる。
さらに、上記の位置制御装置では、前記軸の複数回の回
転に対して前記軸が基準から所定の回転角をなしている
ことを検出する第4の検出手段を含み、前記制御手段
は、前記移動体の移動中前記基準位置が検出される前、
前記軸が前記所定の回転角をなしていることが検出され
た際に、前記第2の計測手段による計測値を零にクリア
するよう制御し、前記移動体の停止した際に、所定の座
標の原点と直前に計測値が零にクリアされた位置との間
の距離に対応する予め指定された値を加算するよう制御
するものとすることができる。
【0079】本位置制御装置によると、第1の計測手段
が用いられつつ、移動体を直線上の可動範囲の一端を示
す基準となる位置を超えて移動させて停止させるよう移
動体の位置が制御される。移動体の移動中にこの位置が
検出される前、軸が所定の回転角をなしていることが検
出された際に、第2の計測手段による計測値を零にクリ
アするよう制御され、移動体の停止した際に、所定の座
標の原点と直前に計測値が零にクリアされた位置との間
の距離に対応する予め指定された値が加算され、移動体
が停止されて以降、第2の計測手段が用いられつつ、移
動体の位置が制御される。
【0080】これにより、移動体の位置と所定の値とが
対応付けられ、従来のように原点近傍センサ、原点セン
サを用いて移動体を減速させて原点の検出とともに移動
体を停止させる必要がなくなり、より少ないセンサを用
いて、より高速な原点出し動作を行なうことができる。
上記の位置制御装置では、前記第2の位置制御手段は、
前記移動体が停止した後、前記第2の計測手段を用いつ
つ、前記移動体を前記原点に移動させるよう制御するも
のとすることができる。
【0081】本位置制御装置によると、移動体が基準位
置を通過して停止し原点動作を終えた後に、第2の計測
手段が用いられつつ、移動体が原点に移動される。これ
により、移動体の位置と所定の値とが対応付けられ、従
来のように原点近傍センサを用いて移動体を減速させて
原点の検出とともに移動体を停止させる必要がなくな
り、より少ないセンサを用いて、より高速な原点復帰動
作を行なうことができる。 (請求項12)本発明に係る位置制御方法は、目標位置
と現在位置との差に応じて移動体を所定の走行路上で移
動させるサーボ機構を用いて、前記移動体の前記走行路
上の位置を制御する位置制御方法であり、前記移動体を
前記走行路上の所定の基準位置を越えて移動させて停止
させるよう目標位置を逐次算出し前記サーボ機構に供給
する目標位置供給ステップと、前記移動体の移動量を逐
次計測する第1の計測器の計測値を現在位置として前記
サーボ機構に供給する現在位置供給ステップと、前記移
動体が前記基準位置を通過したことが検出された際に、
前記移動体の移動量を逐次計測する、前記第1の計測器
とは異なる、第2の計測器の計測値を所定の値に設定す
る設定ステップと、前記移動体が前記基準位置を超えて
移動し停止した際に、前記第2の計測器の計測値を現在
位置として前記サーボ機構に供給し、目標位置を第2の
計測器の計測値と同一の値に変更するよう制御する制御
ステップとを備えている。
【0082】本位置制御方法によると、移動体を基準位
置を超えて移動させて停止させるよう目標位置が逐次算
出されサーボ機構に供給され、第1の計測器の計測値が
現在位置としてサーボ機構に供給される。移動体が基準
位置を通過したことが検出された際には、第2の計測器
の計測値は所定の値に設定され、移動体が上記の基準位
置を超えて移動し停止した際に、第2の計測器の計測値
が現在位置としてサーボ機構に供給され、目標位置が第
2の計測器の計測値と同一の値に変更される。
【0083】これにより、移動体の位置と所定の値とが
対応付けられ、より少ないセンサを用いて、より高速な
原点出し動作を行なうことができる。 (請求項13)また、本発明に係る位置制御方法は、回
転駆動源による軸の回転を移動体の直線上の移動に変換
する機構を対象とし、前記軸の回転を制御することによ
って前記移動体の直線上の位置を制御する位置制御方法
であり、前記軸の回転から前記移動体の直線上の移動量
を計測する第1の計測器を用いつつ、前記移動体を直線
上の所定の基準位置を超えて移動させて停止させるよう
前記移動体の位置を制御する第1の位置制御ステップ
と、前記移動体の移動中に、前記移動体が前記基準位置
を通過したことが検出された際に、前記軸の回転から前
記移動体の直線上の移動量を計測する、第1の計測器と
は異なる、第2の計測器による移動量の計測を、前記基
準位置に対応する予め指定された値から開始させるよう
制御する制御ステップと、前記移動体が停止されて以
降、前記第2の計測器を用いつつ、前記移動体の位置を
制御する第2の位置制御ステップとを備えている。
【0084】本位置制御方法によると、第1の計測器が
用いられつつ、移動体を基準位置を超えて移動させて停
止させるよう移動体の位置が制御される。移動体の移動
中に、移動体が基準位置を通過したことが検出された際
には、第2の計測器による移動量の計測が、基準位置に
対応する予め指定された値から開始され、移動体が停止
されて以降、第2の計測器が用いられつつ、移動体の位
置が制御される。
【0085】これにより、移動体の位置と所定の値とが
対応付けられ、より少ないセンサを用いて、より高速な
原点出し動作を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態である位置決め装置
100の構成を説明するための図である。
【図2】原点出し動作、原点復帰動作を行なうためのマ
イクロプロセッサ101による制御の手順を示すフロー
チャートである。
【図3】原点出し動作、原点復帰動作の際の移動体20
91の移動を説明するための図である。
【図4】原点出し動作、原点復帰動作の際のカウント値
を説明するための図である。
【図5】本発明の第2の実施の形態である位置決め装置
150の構成を説明するための図である。
【図6】原点出し動作、原点復帰動作を行なうためのマ
イクロプロセッサ151による制御の手順を示すフロー
チャートである。
【図7】原点出し動作、原点復帰動作の際の移動体20
91の移動を説明するための図である。
【図8】原点出し動作、原点復帰動作の際のカウント値
を説明するための図である。
【図9】従来の位置決め装置200の構成を説明するた
めの図である。
【図10】図9の機構部209の構成を説明するための
図である。
【図11】機構部209を2台組み合わせることにより
構成されるXYテーブルを説明するための図である。
【図12】図9に示すロータリエンコーダ208の全体
構成を説明するための図である。
【図13】ロータリエンコーダ208によって出力され
る信号を説明するための図である。
【図14】従来の位置決め装置200での移動体209
1(図10参照)のネジ軸2093上の位置に応じた各
センサからの信号を示す図である。
【図15】従来の位置決め装置200での原点復帰動作
を説明するための図である。
【符号の説明】
100 位置決め装置 101 マイクロプロセッサ 102 速度指令出力回路 103 原点検出回路 104 第1位置カウンタ 105 第2位置カウンタ 106 センサ入力回路 107 モータ駆動回路 108 モータ 109 インクリメンタルロータリエンコーダ 110 機構部 111 負方向リミットセンサ 112 原点センサ 113 正方向リミットセンサ 2091 移動体 2092 可動台ネジ部 2093 ネジ軸 2094、2095 支持台 2096 固定台 2097 カップリング

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 目標位置と現在位置との差に応じて移動
    体を所定の走行路上で移動させるサーボ機構と、 前記移動体が前記走行路上の基準位置を通過したことを
    検出する検出手段と、 前記移動体の移動量を逐次計測し計測値として保持す
    る、第1の計測手段および第2の計測手段と、 前記第1の計測手段または第2の計測手段を選択し、前
    記計測値を現在位置として前記サーボ機構に供給する現
    在位置供給手段と、 電源投入直後に、前記移動体が前記基準位置を通過して
    移動し停止するよう目標位置を逐次算出し前記サーボ機
    構に供給する目標位置供給手段と、 電源を投入した際に前記第1の計測手段の計測値を零に
    設定し、前記移動体が前記基準位置を通過した際に前記
    第2の計測手段の計測値を所定の値に設定する設定手段
    と、 電源投入直後に、前記現在位置供給手段に前記第1の計
    測手段を選択させ、前記移動体が前記基準位置を通過し
    停止した際に、前記現在位置供給手段に前記第2の計測
    手段を選択させるとともに、目標位置を第2の計測手段
    の計測値と同一の値に変更するよう制御する制御手段
    と、 を備えることを特徴とする位置制御装置。
  2. 【請求項2】 前記サーボ機構は、サーボモータと、モ
    ータ軸の回転を移動体の直線運動に変換する変換機構と
    を含み、 前記計測手段の各々は、前記モータ軸の回転に応じてパ
    ルスを発生するパルスエンコーダと、前記パルスをカウ
    ントするカウンタとを含むことを特徴とする請求項1に
    記載の位置制御装置。
  3. 【請求項3】 前記基準位置は、前記移動体の走行路上
    に設定されている所定の座標の原点であり、 前記設定手段は、前記移動体が前記基準位置を通過した
    際に前記第2の計測手段の計測値を零に設定することを
    特徴とする請求項1または請求項2に記載の位置制御装
    置。
  4. 【請求項4】 前記基準位置は、前記移動体の走行路の
    一端に設定されており、 前記モータ軸の複数回の回転に対して前記軸が基準から
    所定の回転角をなしていることを検出する第2の検出手
    段を含み、 前記設定手段は、 前記移動体が前記基準位置を通過して停止する前、前記
    モータ軸が基準から前記所定の回転角をなしていること
    が検出された際に、前記第2の計測手段の計測値を零に
    設定し、 前記移動体が前記基準位置を通過して停止した際に、予
    め指定された所定の座標の原点と直前に前記第2の計測
    手段の計測値が零に設定された位置との間の距離に対応
    する値を、前記第2の計測手段の計測値に加算すること
    を特徴とする請求項2に記載の位置制御装置。
  5. 【請求項5】 前記目標位置供給手段は、前記移動体が
    前記基準位置を通過し停止した後に、前記移動体を前記
    原点に移動させるよう目標位置を逐次算出し前記サーボ
    機構に供給することを特徴とする請求項3または請求項
    4に記載の位置制御装置。
  6. 【請求項6】 回転駆動源による軸の回転を移動体の直
    線上の移動に変換する機構を対象とし、前記軸の回転を
    制御することによって前記移動体の直線上の位置を制御
    する位置制御装置であって、 前記軸の回転から前記移動体の直線上の移動量を計測す
    る第1の計測手段および第2の計測手段と、 前記移動体が直線上の所定の基準位置にあることを検出
    する検出手段と、 前記第1の計測手段を用いつつ、前記移動体を直線上の
    基準位置を超えて移動させて停止させるよう前記移動体
    の位置を制御する第1の位置制御手段と、 前記移動体の移動中に、前記移動体が前記基準位置を通
    過したことが検出された際に、前記第2の計測手段によ
    る移動量の計測を、前記基準位置に対応する予め指定さ
    れた値から開始させるよう制御する制御手段と、 前記移動体が停止されて以降、前記第2の計測手段を用
    いつつ、前記移動体の位置を制御する第2の位置制御手
    段とを備える位置制御装置。
  7. 【請求項7】 前記検出手段は、 前記移動体が所定の範囲を有する位置にあることを検出
    する第2の検出手段と、 前記軸の複数回の回転に対して前記軸が基準から所定の
    回転角をなしていることを検出する第3の検出手段とを
    含み、 前記移動体が所定の範囲を有する位置にあることが検出
    され、かつ、前記軸が所定の回転角をなしていることが
    検出された際に、前記移動体が直線上の所定の基準位置
    にあることを検出する請求項6に記載の位置制御装置。
  8. 【請求項8】 前記基準位置は、所定の座標の原点であ
    る請求項6または請求項7に記載の位置制御装置。
  9. 【請求項9】 前記基準位置は、前記移動体の直線上の
    可動範囲の一端を示す基準となる位置である請求項6に
    記載の位置制御装置。
  10. 【請求項10】 前記軸の複数回の回転に対して前記軸
    が基準から所定の回転角をなしていることを検出する第
    4の検出手段を含み、 前記制御手段は、 前記移動体の移動中前記基準位置が検出される前、前記
    軸が前記所定の回転角をなしていることが検出された際
    に、前記第2の計測手段による計測値を零にクリアする
    よう制御し、 前記移動体の停止した際に、所定の座標の原点と直前に
    計測値が零にクリアされた位置との間の距離に対応する
    予め指定された値を加算するよう制御する、請求項9に
    記載の位置制御装置。
  11. 【請求項11】 前記第2の位置制御手段は、前記移動
    体が停止した後、前記第2の計測手段を用いつつ、前記
    移動体を前記原点に移動させるよう制御する請求項8ま
    たは請求項10に記載の位置制御装置。
  12. 【請求項12】 目標位置と現在位置との差に応じて移
    動体を所定の走行路上で移動させるサーボ機構を用い
    て、前記移動体の前記走行路上の位置を制御する位置制
    御方法であって、 前記移動体を前記走行路上の所定の基準位置を越えて移
    動させて停止させるよう目標位置を逐次算出し前記サー
    ボ機構に供給する目標位置供給ステップと、 前記移動体の移動量を逐次計測する第1の計測器の計測
    値を現在位置として前記サーボ機構に供給する現在位置
    供給ステップと、 前記移動体が前記基準位置を通過したことが検出された
    際に、前記移動体の移動量を逐次計測する、前記第1の
    計測器とは異なる、第2の計測器の計測値を所定の値に
    設定する設定ステップと、 前記移動体が前記基準位置を超えて移動し停止した際
    に、前記第2の計測器の計測値を現在位置として前記サ
    ーボ機構に供給し、目標位置を第2の計測器の計測値と
    同一の値に変更するよう制御する制御ステップとを備え
    る位置制御方法。
  13. 【請求項13】 回転駆動源による軸の回転を移動体の
    直線上の移動に変換する機構を対象とし、前記軸の回転
    を制御することによって前記移動体の直線上の位置を制
    御する位置制御方法であって、 前記軸の回転から前記移動体の直線上の移動量を計測す
    る第1の計測器を用いつつ、前記移動体を直線上の所定
    の基準位置を超えて移動させて停止させるよう前記移動
    体の位置を制御する第1の位置制御ステップと、 前記移動体の移動中に、前記移動体が前記基準位置を通
    過したことが検出された際に、前記軸の回転から前記移
    動体の直線上の移動量を計測する、第1の計測器とは異
    なる、第2の計測器による移動量の計測を、前記基準位
    置に対応する予め指定された値から開始させるよう制御
    する制御ステップと、 前記移動体が停止されて以降、前記第2の計測器を用い
    つつ、前記移動体の位置を制御する第2の位置制御ステ
    ップとを備える位置制御方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012247234A (ja) * 2011-05-26 2012-12-13 Tamagawa Seiki Co Ltd 原点位置検出機構
WO2016178306A1 (en) 2015-05-01 2016-11-10 Canon Kabushiki Kaisha Stage apparatus, method of controlling stage apparatus, and microscope system

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2016178306A1 (en) 2015-05-01 2016-11-10 Canon Kabushiki Kaisha Stage apparatus, method of controlling stage apparatus, and microscope system
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