JP3961280B2 - 位置決め制御装置及び位置決め制御方法、並びに部品実装装置 - Google Patents
位置決め制御装置及び位置決め制御方法、並びに部品実装装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3961280B2 JP3961280B2 JP2001391993A JP2001391993A JP3961280B2 JP 3961280 B2 JP3961280 B2 JP 3961280B2 JP 2001391993 A JP2001391993 A JP 2001391993A JP 2001391993 A JP2001391993 A JP 2001391993A JP 3961280 B2 JP3961280 B2 JP 3961280B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- origin
- rotary encoder
- detected
- linear encoder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、移動対象物を予め定められた位置に移動して位置決めをする位置決め制御装置及び位置決め制御方法、並びに、当該位置決め制御装置もしくは位置決め制御方法を使用する部品実装装置、及び部品実装方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品などの部品を、電子回路基板などの回路形成体の実装位置に連続して実装する部品実装装置においては、回路形成体を装置内に搬入して規正保持し、前記規正保持された回路形成体の実装位置に実装すべき部品を搬送移動して位置決めし、実装を行う。あるいは、部品を実装する位置が特定されており、前記特定された位置にて回路形成体の実装位置に部品が実装されるよう、回路形成体の方を搬送移動して位置決めし、実装を行う。図７は、この内、前者の形式である部品を搬送移動して位置決めする手段を備えた部品実装装置の主要部分を示している。
【０００３】
図において、部品実装装置１００は、部品実装装置１００へ部品を供給する部品供給部５０と、移動対象物を図のＸ、Ｙ方向に平面状に搬送するロボット６０と、ロボット６０により搬送される実装ヘッド７５と、回路形成体を搬入して保持する回路形成体保持装置８０と、部品実装装置１００の全体動作を制御するコントローラ９０とから主に構成されている。
【０００４】
ロボット６０は更に、装置本体に固定されたモータ６２、６４によりボールねじ６３、６５をそれぞれ介して梁７０を図のＹ方向に移動させるＹ方向駆動部と、前記Ｙ方向駆動部により駆動される梁７０に固定されたモータ７２によりボールねじ７３を介して実装ヘッド７５を図のＸ方向に移動させるＸ方向駆動部とから構成されている。この内、前記Ｙ方向駆動部は、単一のモータと単一のボールねじとによる駆動方式とすることも可能であるが、昨今の高速、高負荷実装要求に対応し、合わせて高剛性、高精度が実現できる複数軸（図示の例ではボールねじ６３、６５によるツイン軸）駆動方式とすることが普及している。
【０００５】
実装ヘッド７５には、実装ノズル７６が図示の例では４個装着されている。実装ノズル７６は、図のＺ方向の上下移動とＺ軸を中心とした回転が可能であり、この動作によって部品の取り出しと実装とを行う。回路形成体保持装置８０は、図の電子回路基板８２などの回路形成体を部品実装装置内に搬入し、部品実装の間、これを所定の位置で規正して保持する。
【０００６】
以上のように構成された部品実装装置１００の動作時には、各実装ノズル７６により部品供給部５０から部品を吸着保持した実装ヘッド７５が、ロボット６０に搬送されて実装位置へ向けて移動する。その間に回路形成体保持装置８０は、電子回路基板８２を搬入して所定位置で保持する。ロボット６０による移動量は、別途認識される実装ノズル７６に吸着された部品の保持状態と電子回路基板８２の保持状態との情報を元に、コントローラ９０が演算して制御する。実装位置で移動して停止した実装ヘッド７５は、実装ノズル７６を下降させ、先端に吸着保持した部品を電子回路基板８２の実装位置に実装する。
【０００７】
一般に、部品実装装置は、サーボモータにより回転駆動されるボールねじに沿って、移動対象物（図７に示すＸ方向駆動部の例では実装ヘッド７５）を所定の方向に移動させるとともに、所定位置に位置決め停止させる位置決め制御装置を備えている。この位置決め制御装置における移動対象物の位置検出方式としては、サーボモータ軸と同軸に回転するロータリーエンコーダの回転数を基に検出するロータリーエンコーダ方式と、移動対象物が移動する方向に平行に取り付けられたリニアスケールの位置を移動対象物に取り付けられたリニア位置検出装置で検出するリニアエンコーダ方式とがある。
【０００８】
近年、実装される部品の微小化が進み、電子回路基板には高密度実装が行われるため、部品実装装置には正確な位置決めと実装とを行うことが求められている。このような背景から、部品実装装置における位置決め制御装置は、前記２つの検出方式の内、移動対象物の位置をより正確に検出できるリニアエンコーダ方式が主流になりつつある。リニアエンコーダには更に、絶対位置をカウントにより検出するアブソリュート型エンコーダと、相対位置をカウントにより検出するインクリメンタル型エンコーダとが存在する。この内、現在では、信頼性や過去の実績面から、インクリメンタル型エンコーダが主に採用されている。このインクリメンタル型のリニアエンコーダを用いた従来技術による位置決め制御装置につき、図面を参照して説明する。
【０００９】
図８は、前記インクリメンタル型リニアエンコーダ（以下、単に「リニアエンコーダ」という。）を用いた従来技術による位置決め制御装置の概略構成を示している。図８は、例えば、図７に示す部品実装装置１００のＸ方向駆動部の主要部を取り出して示したものと想定することができる。図８において、サーボモータ１には、移動対象物４を移動させるためのボールねじ３と、ボールねじ３に螺合した移動体７とからなる移動機構が取り付けられている。移動体７には、移動対象物４（図７におけるＸ方向駆動部の例では実装ヘッド７５）が固定されており、サーボモータ１の正逆回転により、ボールねじ３の回転を介して、移動対象物４が図の矢印Ｒ、Ｌ方向に往復移動する。移動対象物４にはリニアエンコーダ５が取り付けられ、リニアエンコーダ５は、ボールねじ３に平行に固定されたリニアスケール６を検知して位置検出を行う。サーボモータ１には、同モータ１と共に回転して回転量を検出するロータリエンコーダ２が同軸に取り付けられている。
【００１０】
リニアエンコーダ５を位置検出手段に使用したサーボモータ１は、電源投入時には移動対象物４の絶対的な位置を判別することができない。このため、移動対象物４を予め基準位置として設定した原点位置に一旦復帰させ、その後、その原点位置からの相対位置を、リニアエンコーダ５の出力信号をカウントすることにより検出して位置制御している。前記の原点位置への復帰を検出するため、移動対象物４が取り付けられた移動体７には検出片８が設けられている。また、原点センサ１１が前記の原点位置を設定する位置に配置され、原点位置に移動した検出片８を検出する。
【００１１】
サーボドライバ１０は、装置全体の動作を制御するコントローラ９からの指令と、原点センサ１１の検出信号、およびロータリーエンコーダ２、リニアエンコーダ５の出力信号とに基づいてサーボモータ１の回転を制御する。通常、サーボドライバ１０の内部では、ロータリーエンコーダ２の位置情報を基に速度を検出してサーボループの速度演算に使用し、また、リニアエンコーダ５の位置情報をサーボループの位置演算に使用している。しかしながら、移動対象物４までの移動機構、例えばボールねじ３などの振動要素が入る場合には、リニアエンコーダ５のみの位置情報と速度情報とをサーボルーブの演算に使用する場合もある。
【００１２】
次に、図８に示す位置決め制御装置における原点復帰動作について、図９のフローチャートも参照して説明する。原点復帰動作は、ステップＳ１において、コントローラ９がサーボドライバ１０に対し、移動対象物４を所定方向へ移動させるよう指令することにより開始される。それと同時に、ステップＳ２で、サーボドライバ１０は、原点センサ１１からの基準位置信号（原点センサがオンとなったら入力される信号）の入力を監視する原点センサ検索処理を開始する。このとき、ステップＳ２で一度原点センサ１１がオン（Ｙｅｓ）になった後に、ステップＳ５にてリニアエンコーダのＺ相が検出できない（Ｎｏ）で移動を続け、ステップＳ２に戻って原点センサ１１がオフ（Ｎｏ）になった時は、ステップＳ３で、原点センサが一度オンになった後にオフになった（Ｙｅｓ）ことが判断され、その場合には、ステップ４で移動方向を反転する処理を行う。ステップＳ５において、原点復帰完了条件が成立した場合、すなわち、リニアエンコーダのＺ相の検出と、原点センサ・オンとのＡＮＤ条件が成立した場合、ステップＳ６でサーボドライバ１０は移動動作を停止し、コントローラ９は指令を停止して原点復帰処理を終了する。
【００１３】
以上の構成にかかる位置決め制御装置では、前記原点位置は、移動対象物４の位置を正確に検出できるリニアエンコーダ５のＺ相の位置とされている。一方、ロータリーエンコーダ２のＺ相は、サーボモータ１を駆動する正弦波状の電流指令を作成する基準として使用している。すなわち、リニアエンコーダ５のＺ相位置は、空間的な絶対基準原点位置を定めるために使用し、ロ―タリーエンコーダ２のＺ相位置は、サーボモータ１の制御に必要な電気原点（サーボモータの動作指令を行う電気波形のタイミングをとるための基準、サーボ制御の同期をとるための基準）を定めるために使用している。
【００１４】
次に、サーボモータ１の駆動方法について、図１０、図１１を参照して説明する。ロータリーエンコーダ２のＺ相が検出される前は、サーボモータ１は、モータの誘起電圧の正負に応じて出力されるＣＳ相（コミュテーション・シグナル相）を基に、図１０の下半分に示すような矩形波による駆動が行われる。すなわち、移動対象物４の位置が、例えば図１０に示す位置Ａにある時には、ＣＳ信号の１、３がＯＮとなっており、したがってＵ、Ｗに電流を流す制御を行う。サーボモータ１が図の位置Ｂにある時には、ＣＳ信号の１、２がＯＮなので、Ｕ、Ｖに電流を流す制御を行う。
【００１５】
ここで、上述のＣＳ相はＣＳ１からＣＳ３の総称で、ＣＳ１はＵ−Ｗの正負に応じた矩形波パルスをいい、同様にＣＳ２はＶ−Ｕの正負に応じた、ＣＳ３はＷ−Ｖの正負に応じたそれぞれ矩形波パルスをいう。また、図１１に示すように、サーボモータ１において、Ｕ、Ｖ、Ｗはそれぞれ三相駆動の場合のモータパワー線を示し、Ｕ−ＷはＷをグランド（Ｇ）したときのＵの誘起電圧を、同様にＶ−ＵはＵをグランドしたときのＶの誘起電圧を、Ｗ−ＶはＶをグランドしたときのＷの誘起電圧をそれぞれ示す。この矩形波による駆動は、上記した３つのＣＳ信号の組み合せのみで駆動制御するもので簡易的な駆動となるので、モータを安価に構成する場合や、前記のように電源投入直後の原点復帰前の駆動などに使用されるが、高速・高精度が要求されるようなサーボモータ１の本来の用途には性能上使用することはできない。
【００１６】
そこで、サーボモータ１の電気原点を、ロータリーエンコーダ２のＺ相を基準に定め、この電気原点からの電気的な距離をロータリーエンコーダ２からのＡ相とＢ相で演算し、サーボモータ１の誘起電圧に比例した図１０の上半分に示すような正弦波状の電流指令として出力する正弦波駆動を行うことによってサーボモータ１の性能を引き出している。図１０において、ロータリーエンコーダ２のＺ相位置は、ＣＳ１信号の立ち上がりと一致させ、このＺ相位置とロータリーエンコーダ２の１回転あたりのＡ相とＢ相のカウント値からサーボモータ１の電気的な軸位置を把握することができ、サーボモータ１の正弦波駆動を行うことができる。このような正弦波駆動においては、１回転当たりエンコーダ分解能で得られる電気角が得られるため、高精度の駆動に適し、加速度を上げたり、サーボモータの性能限界まで使用できる。部品実装装置などでは、サーボモータ１の矩形波駆動では位置決め整定時間の短縮や、部品の認識時に必要な等速性を得ることができないため、通常は正弦波駆動が行われている。但し、電源投入直後のようにロータリエンコーダ２のＺ相が検出される前は、正弦波の基準が得られないので正弦波駆動はできない。従って、その場合は、ロータリエンコーダ２のＺ相が検出されるまで、上述した矩形波駆動を行う。そして、ロータリエンコーダ２のＺ相が検出された時点で、正弦波駆動が可能になるので、正弦波駆動に切り換える。
【００１７】
なお、通常のサーボモータ１は、回転角度を検出するＡ相、Ｂ相と、原点位置を示すＺ相と、モータの誘起電圧の正負に応じたＣＳ１相〜ＣＳ３相とを検出できるロータリーエンコーダ２を備えている。前記位置決め制御装置などにサーボモータ１を取り付ける際においては、リニアエンコーダ５はサーボループにおける位置や速度の制御と絶対的な原点位置を検出する用途とに使用されることが多く、電気原点やＣＳ相をリニアエンコーダ５に備えることは、調整の難しさなどがあるためほとんど行われていない。
【００１８】
前記位置決め制御装置を部品実装装置に搭載した動作例を、図１２に示すフローチャートと先に説明した図７とを参照して説明する。上述のように、近年の部品実装装置では部品の小型化に伴う高速・高精度化の要求に応えるため、特にロボット６０のＹ方向駆動部にはツイン駆動など、複数軸の高度な同期制御を行っている。ここでは、実装ヘッド７５を支持する梁７０を、Ｙ方向に動作させる前記Ｙ方向動作部のモータ６２とモータ６４との同期制御について説明する。電源投入時においては、モータ６２、６４ともに現在位置が分からないため、まず原点復帰動作を行う。この原点復帰方法については、特開平１１−１４５６９４号公報などに開示された方法で行うが、その概要を図１２のフローチャートに示している。図１２は、基本的に図９に示す原点位置復帰動作をそれぞれの軸において行うことを示している。すなわち、図１２のステップＳ１５とステップＳ２１とにおいて、モータ６２、モータ６４に対して移動対象物である梁７０の原点位置の検出を各個に行い、それぞれの駆動軸（ボールスクリュー６３、６５）に対応するリニアエンコーダのＺ相が検出されたとき、ステップＳ１６とステップＳ２２においてツイン軸の原点復帰が完了する。なお、原点復帰時の加速度や速度は、矩形波駆動を前提に低く抑えられているため、原点復帰時には性能面での課題はほとんど発生しない。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これまで説明したような従来技術による位置決め制御においては、原点復帰完了条件が「リニアエンコーダのＺ相の検出」と「原点センサ・オン」とのＡＮＤ条件になっているため、原点復帰動作の開始位置や移動方向によっては、ロータリーエンコーダのＺ相が検出されるよりも前に原点復帰を完了してしまうことがあり得る。この原点復帰動作における状況を、図１３を参照して説明する。電源投入時の移動対象物４の位置が、図に示すＰ１の位置にあり、原点復帰方向がマイナス（図の向かって左方向）であるとする。このとき、原点復帰動作を開始した移動対象物４は、原点センサ１１の原点復帰位置検出領域内に入った後、一度ロータリーエンコーダ２のＺ相を横切り（図の×印）、その後、リニアエンコーダ５のＺ相で停止し、原点復帰が完了する。この場合には、ロータリエンコーダ２のＺ相を一度検出することにより、その時点でサーボモータ１の駆動が図示のように矩形波駆動から正弦波駆動に切替わる。したがって、原点復帰が完了した後に行われる位置決め制御のための高加減速、高速度でのサーボモータ１の駆動は、この切替わった後の正弦波駆動により行われこととなるため、移動対象物４を駆動させる装置の駆動を問題なく行うことができる。
【００２０】
しかしながら、電源投入時の移動対象物４の位置が、図１３に示すＰ２の位置にあり、原点復帰方向がプラス（図の向かって右方向）の場合には、ロータリーエンコーダ２のＺ相を一度も横切ることなく、リニアエンコーダ５のＺ相を検出することで原点復帰が完了してしまう。つまり、原点復帰が完了したにもかかわらず、ロータリーエンコーダ２のＺ相を検出していないため、サーボモータ１の駆動は矩形波駆動の状態のままとなっている。この際、原点復帰が完了した後の位置決め動作において、移動方向が図示のようにマイナスになったとすると、ロータリエンコーダ２の回転により最初のＺ相が検出されるまでの最大約一回転分は矩形波駆動のままでサーボモータ１が駆動されることとなる。さらに、その後、ロータリエンコーダ２のＺ相が検出された時には、回転中のサーボモータ１の駆動がその時点で急に矩形波駆動から正弦波駆動に切り替わることとなる。
【００２１】
部品実装装置などの実機においては、電源投入後の最初の原点復帰動作は、矩形波駆動を前提として原点復帰動作における加速度や速度を低く抑えているため、矩形波駆動でも問題なく動作する。しかしながら、一度原点復帰が完了した後の位置決め制御動作においては、通常の高加速度と高速度での動作を行うため、矩形波駆動のままでサーボモータ１を駆動すると異常音が発生したり等速性が失われるなど、本来の位置決め制御性能が果たすことができない。また、サーボモータ１が加速中に矩形波駆動から正弦波駆動に制御方式が切替わると、トルクが急激に変化し、異常音が発生したり速度に脈動が出たりすることになる。
【００２２】
また、最近の部品実装装置では、上述のように高速・高精度化の要求に応えるためにロボットにはツイン駆動などによる複数軸の高度な同期制御を行っている。このような用途に、上述したような従来技術によるリニアエンコーダ方式の位置決め制御を用いると、複数軸の原点復帰完了の状態によっては加速時に高度な同期処理が行うことができず、梁のねじれなどを誘発し、Ｘ軸の梁７０（図７参照）にねじれが加わって、精度上や寿命上の悪影響を及ぼすこととなる。特に、部品実装装置の電源を落とす際には、動作軸の干渉を防ぐために各軸が原点復帰、または原点付近に一旦位置決めをすることが一般である。このため、次の電源投入時には、移動対象物である実装ヘッドが、リニアスケールの原点位置付近に位置決めされていることが多いこととなる。この状態で再度電源投入し、最初の原点復帰を行うと、ロータリーエンコーダのＺ相を検出する前にリニアエンコーダのＺ相を検出し、原点復帰を完了してしまうことが非常に多くなることになる。したがって、電源投入の度に前記のＸ軸の梁７０に精度上や寿命上の悪影響を与えることになりかねず、大きな課題になっている。このため、以上のような課題を解決することができる、高度な位置決め制御装置が求められていた。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、位置決め制御における原点位置復帰において、事前にロータリエンコーダのＺ相を検出することを原点復帰完了の条件とすることにより、前記課題を解決するもので、具体的には以下の内容を含む。
【００２４】
すなわち、請求項１に記載の本発明は、サーボモータと、前記サーボモータを駆動制御するサーボドライバと、前記サーボモータの回転量を検出するロータリエンコーダと、前記サーボモータの回転により駆動される移動機構と、前記移動機構の移動量を検出するリニアエンコーダとから構成され、前記サーボドライバが、前記サーボモータの駆動に必要なＣＳ相を前記ロータリエンコーダから検出し、ロータリエンコーダのＺ相検出前またはリニアエンコーダのＺ相検出前までは、前記ロータリエンコーダのＣＳ相から得られる矩形波状の電流指令を作成し、前記ロータリエンコーダのＺ相検出後またはリニアエンコーダのＺ相検出後は、当該ロータリエンコーダのＺ相を基準とした正弦波状の電流指令を作成して前記サーボモータを駆動するように切り換え、電源投入時に、前記移動機構により移動される移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させ、その後、前記移動対象物を所定位置まで移動させて停止し、位置決めを行う位置決め制御装置であって、前記移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させるに際し、前記リニアエンコーダのＺ相を検出する前に前記ロータリエンコーダのＺ相を検出するという原点復帰完了の条件が成立しているか否かを判断し、前記原点復帰完了の条件が成立したと判断した場合に、原点復帰を完了させることを特徴とする位置決め制御装置に関する。原点復帰時には予めロータリエンコーダのＺ相を検出することを条件とすることによって、位置決めのための移動におけるサーボモータの駆動を事前に正弦波による駆動に切替えておくものである。
【００２５】
請求項２に記載の本発明に係る位置決め制御装置は、前記移動機構により移動される前記移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させるに際し、まず前記移動対象物が原点復帰位置検出領域内にあることが原点センサによって検出され、前記原点復帰位置検出領域内において、前記ロータリエンコーダのＺ相が検出され、次に前記リニアエンコーダのＺ相が検出された時に、前記原点復帰完了の条件が成立したと判断し、原点復帰を完了させることを特徴としている。
【００２６】
請求項３に記載の本発明に係る位置決め制御装置は、前記移動機構により移動される前記移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させるに際し、まず前記移動対象物が原点復帰位置検出領域内にあることが原点センサによって検出され、前記原点復帰位置検出領域内において、前記ロータリエンコーダのＺ相が検出される前に前記リニアエンコーダのＺ相が検出された場合は、前記原点復帰完了の条件が成立してないと判断して前記移動対象物の移動を継続し、前記原点復帰位置検出領域を外れた時に移動方向を反転させ、前記原点復帰位置検出領域内において、前記ロータリエンコーダのＺ相が検出され、次に前記リニアエンコーダのＺ相が検出された時に、前記原点復帰完了の条件が成立したと判断し、原点復帰を完了させることを特徴としている。
【００２７】
請求項４に記載の本発明に係る位置決め制御装置は、前記ロータリエンコーダのＺ相、次にリニアエンコーダのＺ相の順に検出されるような移動方向に前記移動対象物を移動させて原点復帰をさせることを特徴としている。
【００３１】
請求項５に記載の本発明に係る位置決め制御装置は、ロータリエンコーダのＺ相の検出位置からリニアエンコーダのＺ相の検出位置に至るオフセット量とオフセット方向とを予め設定し、前記移動対象物が前記オフセット方向へ移動して前記ロータリエンコーダのＺ相を検出した位置から更に前記設定したオフセット量を移動対象物が移動した位置に達したときに、サーボドライバが、矩形波状の電流指令による駆動から正弦波状の電流指令による駆動に切り換えることを特徴としている。ロータリエンコーダのＺ相を検出しても直ちに電流指令を矩形波から正弦波へ切り換えることなく、リニアエンコーダのＺ相の検出によって切り換えを行うものである。
【００３２】
請求項６に記載の本発明は、回路形成体を搬入して保持する回路形成体保持装置と、部品を供給する部品供給部と、前記部品供給部からの部品の取り出しと前記回路形成体への部品の実装が可能な実装ヘッドと、前記実装ヘッドを搬送するロボットと、前記回路形成体保持装置、部品供給装置、実装ヘッド、ロボットを制御するコントローラとから構成され、前記実装ヘッドにより前記部品供給部から取り出した部品を前記回路形成体の実装位置に実装する部品実装装置であって、前記部品を前記回路形成体の予め定められた実装位置に正確に位置合わせするため、前記ロボット、もしくは前記回路形成体保持装置のいずれか一方もしくは双方が、上述したいずれかの位置決め制御装置を使用することを特徴とする部品実装装置に関する。
【００３４】
請求項７に記載の本発明は、移動対象物を移動するための駆動源であるサーボモータを、前記サーボモータの回転量を検出するロータリエンコーダのＺ相検出前またはリニアエンコーダのＺ相検出前までは前記ロータリエンコーダのＣＳ相から得られる矩形波状の電流により駆動し、前記ロータリエンコーダのＺ相検出後またはリニアエンコーダのＺ相検出後は当該Ｚ相を基準とした正弦波状の電流により駆動するように切り換え、前記移動対象物を当該移動対象物の移動量を検出するリニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に一旦復帰させ、その後、予め定められた位置まで移動させて前記移動対象物の位置決めを行う位置決め制御方法であって、前記移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させるに際し、前記リニアエンコーダのＺ相を検出する前に前記ロータリエンコーダのＺ相を検出するという原点復帰完了の条件が成立しているか否かを判断し、前記原点復帰完了の条件が成立したと判断した場合に、原点復帰を完了させることを特徴とする位置決め制御方法に関する。原点復帰時には予めロータリエンコーダのＺ相を検出することを条件とすることによって、位置決めのための移動におけるサーボモータの駆動を事前に正弦波による駆動に切替えておくものである。
【００３７】
【発明の実施の形態】
本発明にかかる第１の実施の形態の位置決め制御につき、図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態にかかる位置決め制御における原点復帰動作のフローチャートを示している。なお、以下の説明において、従来技術で説明したものと同一の構成要素については同一符号を使用するものとし、したがって、これら従来技術と同一の構成要素については、これまで説明した各該当図面が参照されるものとする。つまり、本実施の形態における位置決め制御装置の構成は従来技術と同じであり、図８で示される。但し、コントローラ９が制御する位置決め制御における原点復帰動作は、図１のフローに基づいて行われる。
【００３８】
図１に示す本実施の形態にかかる位置決め制御の原点復帰動作は、ステップＳ３０において、コントローラ９がサーボドライバ１０に対し、移動対象物４を所定方向へ移動させるよう指令することにより開始される。それと同時に、ステップＳ３１においてサーボドライバ１０は、原点センサ１１からの基準位置信号（原点センサがオンとなったら入力される信号）の入力を監視する原点センサ検索処理を開始する。このとき、ステップＳ３１で一度原点センサ１１がオン（Ｙｅｓ）になった後に、ステップＳ３４でロータリエンコーダ２のＺ相、ステップＳ３５でリニアエンコーダ５のＺ相が検出できない（Ｎｏ）で移動を続け、ステップ３１に戻って原点センサ１１がオフ（Ｎｏ）になった時は、ステップＳ３２で、原点センサ１１が一度オンになった後にオフになったこと（Ｙｅｓ）が判断され、その場合は、ステップＳ３３で移動方向を反転する処理を行う。これは、移動対象物４を原点センサ１１に近づける方向に移動させるようにするためである。
【００３９】
次に、ステップＳ３１で、原点センサ１１がオン（Ｙｅｓ）となり、ステップＳ３４で、ロータリーエンコーダ２のＺ相を一回検出（Ｙｅｓ）したならば、ステップＳ３５において、本来の原点位置であるリニアエンコーダ５のＺ相を検出したかどうかを判断する。リニアエンコーダのＺ相が検出された（Ｙｅｓ）と判断されれば、原点復帰の条件が成立したこととなり、ステップＳ３６にてサーボドライバ１０は移動を停止させ、コントローラ９が指令を停止して原点復帰処理を完了する。ステップＳ３４で、ロータリーエンコーダ２のＺ相がまだ検出されていなければ、ステップＳ３１に戻り、これをロータリエンコーダ２のＺ相が検出されるまで繰り返す。すなわち、図１に示すフローチャートにおいては、本来の原点位置であるリニアエンコーダ５のＺ相を検出する前に、ロータリエンコーダ２のＺ相を検出することを原点復帰完了の条件としている。
【００４０】
図２に、上述の原点復帰におけるロータリーエンコーダ２のＺ相、リニアエンコーダ５のＺ相、原点センサ１１の相互位置と、電源投入時の移動対象物４の位置の違いによる原点復帰動作の相違例を示す。電源投入時の移動対象物４が図に示すＰ３の位置にあり、移動方向がマイナス（図に向かって左方向）である場合、移動対象物４の原点復帰動作における移動により、原点センサ１１、ロータリーエンコーダ２のＺ相、リニアエンコーダ５のＺ相の順番に検出され、リニアエンコーダ５のＺ相の位置で原点復帰が完了する。ここで原点センサ１１の検出とは、図８に示す原点センサ１１が移動体７（もしくは移動対象物４）に取り付けられた検出片８を検出すること（このとき、原点センサ１１がオンとなり、移動対象物４は図２の太帯で示す原点復帰位置検出領域内にある）、また、ロータリエンコーダ２のＺ相の検出とは、ロータリエンコーダ２がサーボモータ１の原点位置を示すＺ相を検出すること、そしてリニアエンコーダ５のＺ相の検出とは、リニアエンコーダ５がリニアスケール６の原点位置を示すＺ相を検出することをそれぞれ意味している。この場合、上述のように原点復帰前にロータリーエンコーダ２のＺ相が一度検出されているため(図２の×印)、図１のフローチャートでは、ステップＳ３４の条件が成立（Ｙｅｓ）した後にステップＳ３５のリニアエンコーダ５のＺ相を検出（Ｙｅｓ）したこととなり、ステップＳ３６にて通常通りの原点復帰が可能である。
【００４１】
これに対して、電源投入時の移動対象物４の位置が、図２に示すＰ４の位置にある場合、移動方向がプラス（図に向かって右方向）であるとすると、原点復帰動作における移動対象物４の移動により、まず原点センサ１１の検出により、原点復帰位置検出領域内であることを検出し、次にリニアエンコーダ５のＺ相を横切ることとなる。しかしながら、このときの移動は、ロータリーエンコーダ２のＺ相検出前であるため、図１のフローチャートにおけるステップＳ３４の条件が不成立（Ｎｏ）であり、したがって、このときのリニアエンコーダ５のＺ相検出は無視される。次に、更なるサーボモータ１の回転によるプラス方向の移動でロータリーエンコーダ２のＺ相が検出される（×印位置）。この検出によって、図１に示すフローチャートのステップＳ３４の条件が成立（Ｙｅｓ）する。このときのロータリーエンコーダ２のＺ相の検出により、サーボモータ１の駆動が矩形波駆動から正弦波駆動へ移行する。その後、更なるプラス方向の移動で原点センサ１１の検出領域外となったことを検出すると、今度はステップＳ３３で移動方向を反転させ、マイナス方向（図に向かって左方向、即ち原点センサ１１検出領域内へ戻る方向）への移動となる。この移動により、再度ロータリーエンコーダ２のＺ相を横切った後に、ステップＳ３５でリニアエンコーダ５のＺ相位置を検出する（Ｙｅｓ）ことから、これによってステップＳ３６で原点復帰が完了して停止する。
【００４２】
電源投入時の位置が図示のＰ３、Ｐ４以外にある場合においては、その原点復帰開始時の位置や移動方向により様々なパターンが存在するが、本発明のように原点復帰の完了条件を、「事前にロータリーエンコーダ２のＺ相が検出されること」という条件を追加するだけで、全ての動作について対応することができる。
【００４３】
本実施の形態にかかる原点復帰動作によれば、事前にロータリエンコーダ２のＺ相が検出されることを条件とすることから、この時点でサーボモータ１の駆動が矩形波駆動から正弦波駆動に切替ることとなり、したがって原点復帰後の位置決め制御における高加減速、高速での駆動においても、駆動機構に問題を生ずることがなく、従来技術にあった課題を解消することが可能となる。
【００４４】
次に、本発明にかかる第２の実施の形態の位置決め制御装置、及び位置決め制御方法につき、図面を参照して説明する。本実施の形態における位置決め制御装置の構成は、従来技術と同じで図８で示される。但し、コントローラ９が制御する位置決め制御における原点復帰動作は図４に示すフローに基づいて行われる。先の実施の形態においては、サーボドライバ１０側における原点復帰の完了条件を、「事前にロータリーエンコーダ２のＺ相が検出されること」としている。この条件を付加することの代替として、予め特定した原点復帰の移動方向に基づき、原点センサ１１の検出位置と、ロータリーエンコーダ２のＺ相の位置と、リニアエンコーダ５のＺ相の位置とを調整することにより、その特定した原点復帰の移動方向に移動すると、原点センサ１１の原点復帰位置検出領域内において、まずロータリーエンコーダ２のＺ相を検出してからリニアエンコーダ５のＺ相が検出できるようにし、このリニアエンコーダ５のＺ相を検出した時点で原点復帰が完了するように構成してもよい。このような構成につき、図３と図４とを参照して説明する。
【００４５】
図３において、原点センサ１１の原点復帰位置検出領域内に、リニアエンコーダ５のＺ相とロータリーエンコーダ２のＺ相を図の左から順番に並ぶように調整する。更に、原点復帰の移動方向を常にマイナス方向（図に向かって左方向）となるように設定する。本実施の形態が適用できるものとしては、図３に示すように、移動対象物４の移動可能範囲の一端が、原点センサ１１の検出領域の一端（図示の例では左側端末）と一致していること、すなわち、原点位置が移動対象物４の移動範囲の端末部に設置される、という制約条件が追加されるものとなる。図示の例でいえば、原点センサ１１が左側端末に設置されていない場合には、原点復帰開始時の上述の初期移動方向がマイナスと設定されているため、対象移動物４が原点センサから離れる方向である左側へ移動してしまうからである。
【００４６】
例えば、移動対象物４が、図に示す原点センサ１１の原点復帰位置検出領域外であるＰ５の位置にあるとした場合、移動方向が予め設定した原点復帰の移動方向であるマイナス方向であるため、移動対象物４の移動にしたがって原点センサ１１の検出、ロータリエンコーダ２のＺ相の検出、リニアエンコーダ５のＺ相の検出が、この順番にされることとなる。原点位置であるリニアエンコーダ５のＺ相を検出する前に、事前にロータリエンコーダ２のＺ相を検出することという条件が満たされることから、これで所望の原点復帰を完了することができる。
【００４７】
原点位置復帰動作の開始時において、移動対象物４が図のＰ６に示すような原点センサ１１の検出領域内の位置にある場合には、まず、移動方向を予め設定した原点復帰の移動方向とは逆転させてプラス方向（図に向かって右方向）とし、この移動により始めに検出するリニアエンコーダ５のＺ相は、事前にロータリエンコーダ２のＺ相を検出するという条件が満たされていないため（原点復帰の移動方向に移動してないため）無視され、一旦原点センサ１１の検出領域外へ出る。その後、再度移動方向を逆転させて移動方向をマイナス方向（原点復帰の移動方向）とし、先のＰ５の位置からの検出と同様に、原点センサ１１の検出、ロータリエンコーダ２のＺ相の検出、リニアエンコーダ５のＺ相の検出をこの順番で行い、所望の原点復帰を完了させる。
【００４８】
上述の動作を、図４のフローチャートを参照して説明する。原点復帰開始時に、ステップＳ４０で、原点センサ１１の原点復帰位置検出領域内であるか否かを判断し、検出領域外（Ｎｏ）であれば（例えば、図示のＰ５の位置）通常の原点復帰を行う。すなわち、移動方向を予め設定した原点復帰の移動方向であるマイナスとして（ステップＳ４１）、ステップＳ４４で原点センサ１１を、ステップＳ４７でロータリーエンコーダのＺ相を、ステップＳ４８でリニアエンコーダのＺ相を、それぞれこの順番で検出し、ステップＳ４９で原点復帰を完了する。ステップＳ４０で、原点復帰開始時に移動対象物４の位置が原点センサ１１の原点復帰位置検出領域内（Ｙｅｓ）であるなら（例えば、図３のＰ６の位置）、ステップＳ４２で移動方向を予め設定した原点復帰の移動方向とは逆転させ（すなわちプラス方向とし）、ステップＳ４４で、一旦原点センサを外れる（Ｎｏ）まで移動し、ステップＳ４６で移動方向を再度反転させ（すなわちマイナス方向とし）、その後ステップＳ４４からステップＳ４８において、原点センサ１１、ロータリーエンコーダ２のＺ相、リニアエンコーダ５のＺ相を、それぞれこの順番に検出して、ステップ４９で原点復帰が完了する。
【００４９】
以上に述べた本実施の形態にかかる位置決め制御においては、原点復帰開始時の初期移動方向が固定（図示の例ではマイナス方向）されるという制約条件が付加されるものとなる。但し、ロータリエンコーダ２のＺ相、リニアエンコーダ５のＺ相の検出位置の関係が上記とは逆の方向で、原点復帰の移動方向をプラス方向とするものであっても、もちろん構わない。
【００５０】
次に、本発明に係る第３の実施の形態につき、図面を参照して説明する。本実施の形態における位置決め制御装置の構成は図８で示され、コントローラ９が制御する位置決め制御における原点復帰動作は、図６のフローに基づいて行われる。本実施の形態が第１の実施の形態と異なる点は、第１の実施の形態では原点復帰動作時にロータリエンコーダ２のＺ相を検出した時に矩形波駆動から正弦波駆動に切り換えていたのに対して、本実施の形態ではロータリエンコーダ２のＺ相を検出した後に更にリニアエンコーダ５のＺ相を検出した時、矩形波駆動から正弦波駆動に切り換えるようにした点である。
【００５１】
この相違点について、図５、図６を参照しながら説明する。図５に示すように、ロータリエンコーダ２のＺ相の検出位置からリニアエンコーダ５のＺ相の検出位置に至るまでの移動対象物４の移動量であるオフセット量と、その際の移動対象物４の特定の移動方向であるオフセット方向とが予めコントローラ９に記憶されている。
【００５２】
例えば、移動対象物４が、図５に示すＰ７の位置からマイナス方向（図の向かって左方向）に移動する時、ロータリエンコーダ２のＺ相の検出位置において（図５の×印、図６のフローのステップＳ５４）、正弦波駆動に切り換えずに矩形波駆動のままマイナス方向への移動を続ける。次に、この時の移動方向が図示のオフセット方向（図の向かって左方向）と一致している場合には（図６のステップＳ５５）、リニアエンコーダ５のＺ相検出位置において（図６のステップＳ５６）矩形波駆動から正弦波駆動に切り換えて移動を停止し、原点復帰を完了する。その際、ロータリエンコーダ２のＺ相が検出された位置から予め記憶したオフセット量分移動した時またはその直前で、ロータリエンコーダ２のＺ相を検出した位置を正弦波の立上がりとする正弦波駆動に切り換える。
【００５３】
次に、移動対象物４が、図５に示すＰ８の位置からプラス方向（図に向かって右方向）に移動する場合、まず原点センサ１１の検出の後、リニアエンコーダ５のＺ相を横切るが、第１の実施の形態で説明したように、これはロータリーエンコーダ２のＺ相検出前であるため無視される。次に、更なるプラス方向の移動でロータリーエンコーダ２のＺ相が検出されるが、この時の移動方向は図示のオフセット方向とは逆方向であることから（図６のステップＳ５５）、この検出も無視される。その後、更なるプラス方向の移動で原点センサ１１の原点復帰位置検出領域外となった後に反転してマイナス方向（図に向かって左方向）への移動となり、この移動方向が図示のオフセット方向と一致する。以下は上述したＰ７に示す位置からの移動と同様に、ロータリエンコーダ２のＺ相を検出し（図５の×印）、但し、正弦波駆動に切り換えずに矩形波駆動のままマイナス方向への移動を続け、リニアエンコーダ５のＺ相検出位置において（図６のステップＳ５６）矩形波駆動から正弦波駆動に切り換えて移動を停止する。
【００５４】
以上の原点復帰動作を図６のフローで見ると、第１の実施の形態に示す図１のフローに対して、ステップＳ５５が追加になっている。すなわち、ステップＳ５５で移動対象物４の移動が予めコントローラ９に入力されている前記オフセット方向と逆方向（Ｎｏ）の場合には、ステップＳ５４でロータリエンコーダのＺ相が検出（Ｙｅｓ）されてもこれが無視され、更に移動を継続する。そしてステップＳ５３で移動方向が反転し、前記オフセット方向と同じ方向の移動になった場合に、まずステップＳ５４でロータリエンコーダのＺ相が検出（Ｙｅｓ）され、その後、予め入力されたオフセット量を移動して、ステップＳ５６でリニアエンコーダのＺ相が検出（Ｙｅｓ）されて、ステップＳ５７で原点復帰動作を完了する。矩形波駆動から正弦波駆動への切り換えはこのステップＳ５６におけるリニアエンコーダのＺ相の検出に合せて行われる。
【００５５】
本実施の形態に係る原点復帰動作によれば、最終的な原点であるリニアエンコーダ５のＺ相を検出するまでモータの回転が矩形波駆動によるため、簡易的な駆動制御を原点復帰による停止まで行うことができる。
【００５６】
なお、上記では、予めロータリエンコーダ２のＺ相の検出位置とリニアエンコーダ５のＺ相の検出位置のオフセット量を設定するものとしたが、このオフセット量が所定量（例えば０）になるようにロータリエンコーダ２のＺ相の位置又はリニアエンコーダ５のＺ相の位置を調整しておくものでも構わない。
【００５７】
次に、本発明に係る第４の実施の形態につき、説明する。本実施の形態は、先の第１、第２及び第３の実施の形態に示す位置決め制御方法および位置決め制御装置を、それぞれ部品実装方法および部品実装装置に適用するものである。部品実装装置においては、図７を参照して説明したように、部品供給部５０から実装ヘッド７５により取り出した部品をロボット６０により搬送し、回路形成体保持装置８０により所定位置に規正保持された回路形成体８２の実装位置に部品を実装する。この際、実装ヘッド７５に保持された部品は、ロボット６０により、前記実装位置に正確に位置決めされる必要がある。本実施の形態は、ロボット６０を構成する上述のＸ方向駆動部、もしくはＹ方向駆動部のいずれか、もしくは双方に、先の各実施の形態で示す位置決め制御方法、及び位置決め制御装置を適用することにより、信頼性の高い、安定した部品の位置決めすることが可能となる部品実装方法、及び部品実装装置を提供するものである。
【００５８】
なお、部品実装装置には他に、前記ロボット６０に、複数の部品吸着ノズルを円周状に配して間欠回転運動を行うインデックスを使用し、連続して高速で部品実装を行うインデックス形式のものがある。このインデックス形式の部品実装装置では、部品を保持する部品吸着ノズルの実装する位置が特定位置に決まってしまうため、回路形成体８２を保持する回路形成体保持装置８０の側をＸ、Ｙ方向に搬送し、回路形成体の実装位置を前記部品の側の特定の実装位置に合わせて位置決めする手段が採られている。この際には、前記回路形成体保持装置を搬送する機構の側に、先の各実施の形態に示す位置決め制御装置、及び位置決め制御機構を適用することにより、同様に信頼性の高い、安定した部品実装方法、及び部品実装装置を提供することができる。さらに他の部品実装装置として、例えば部品は図５に示すＸ方向のみに移動し、回路形成体は同じくＹ方向のみに移動することによって両者の位置決めをするなど、各種組み合わせにかかる搬送手段を利用して位置決めをする形式のものがある。これら各種形式の搬送手段に対しても、先の各実施の形態に示す位置決め制御方法、並びに位置決め制御装置の適用が同様に可能である。
【００５９】
以上、本発明にかかる各実施の形態の位置決め制御につき、説明してきたが、以上の説明では、ロータリーエンコーダ２のＺ相位置を電気原点としている。しかしながら、本発明の適用はこれに限定されるものではなく、例えば、特開昭６１−３９８８５号公報に開示されているような、ＣＳ信号のみで電気原点を検出する方法にも適用可能であることはいうまでもない。すなわち、原点復帰に際しては、事前にロータリーエンコーダ２から得られるＣＳ信号の電気原点（例えば図１０においては、ＣＳ１のパルスの立上がりのタイミングを原点とする）を検出した後であることを条件とすること（第１の実施の形態の代替の場合）、もしくは、原点復帰の際の移動方向を固定し、この方向に沿ってまずロータリーエンコーダ２から得られるＣＳ信号の電気原点を検出し、その後にリニアエンコーダ５のＺ相位置で原点復帰が完了するよう構成すること（第２、第３の実施の形態の代替の場合）とすれば、本発明にかかるロータリーエンコーダ２のＺ相を電気原点とする各実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００６０】
また、本発明にかかる位置決め制御について、以上の説明においては部品実装装置における位置決め制御を対象例としているが、本発明の適用がこの部品実装装置に限定されるものではない。例えば、被加工物を順次搬送して所定位置に位置決めして加工を行うトランスファーマシンにおける前記被加工物の位置決めや、精密機械の自動組立機における被組立て要素の位置決めにおける制御など、一般に移動対象物を所定位置に搬送して位置決め制御する際に広く適用することができる。
【００６１】
【発明の効果】
本発明にかかる位置決め制御装置、並びに位置決め制御方法によれば、原点復帰の完了はロータリーエンコーダのＺ相検出後となるため、サーボモータを必ず正弦波駆動できる状態で原点復帰を完了させることができる。よって、原点復帰後の高加速度、高速度での位置決め動作においても、最初から正弦波駆動を行うことができ、従来の位置決め制御装置のように、矩形波駆動から正弦波駆動への切替に伴う不連続なトルク変化が原因の異常音や速度脈動を回避することができる。
【００６２】
また、部品実装装置などの高度な複数軸の同期制御が要求される軸においても、前記不連続なトルク変化がないため、同期制御されるフレームにねじれを生じさせることがなく、精度上や寿命上の悪影響を装置に与えることがない。
【００６３】
本発明に係る位置決め制御方法もしくは位置決め制御装置を、部品実装方法もしくは部品実装装置に適用することによれば、部品もしくは回路形成体の位置決めを高い信頼度で安定して行うことができ、位置決め精度の高い安定した電子回路基板の製造を可能とする部品実装方法、もしくは部品実装装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明にかかる実施の形態の位置決め制御における原点復帰動作を示すフローチャートである。
【図２】 図１に示す原点復帰動作における各構成要素の相互関係を示す概略図である。
【図３】 本発明にかかる他の実施の形態の位置決め制御における原点復帰動作の各構成要素の相互関係を示す概略図である。
【図４】 図３に示す位置決め制御における原点復帰動作を示すフローチャートである。
【図５】 本発明にかかるさらに他の実施の形態の位置決め制御における原点復帰動作の各構成要素の相互関係を示す概略図である。
【図６】 図５に示す位置決め制御における原点復帰動作を示すフローチャートである。
【図７】 従来技術における部品実装装置を示す概略図である。
【図８】 従来技術における位置決め制御装置の概略図である。
【図９】 従来技術における位置決め制御の原点復帰動作を示すフローチャートである。
【図１０】 従来技術におけるサーボモータの駆動方法を示す概賂図である。
【図１１】 三相駆動のサーボモータの構成を示す概略図である。
【図１２】 図７に示す部品実装装置におけるツイン駆動原点復帰動作を示すフローチャートである。
【図１３】 図１２に示す原点復帰動作における各構成要素の相互関係を示す概略図である。
【符号の説明】
１．サーボモータ、 ２．ロータリーエンコーダ、 ３．ボールねじ、 ４．移動対象物、 ５．リニアエンコーダ、 ６．リニアスケール、 ７．移動体、 ８．検出片、 ９．コントローラ、 １０．サーボドライバ、 １１．原点センサ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、移動対象物を予め定められた位置に移動して位置決めをする位置決め制御装置及び位置決め制御方法、並びに、当該位置決め制御装置もしくは位置決め制御方法を使用する部品実装装置、及び部品実装方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品などの部品を、電子回路基板などの回路形成体の実装位置に連続して実装する部品実装装置においては、回路形成体を装置内に搬入して規正保持し、前記規正保持された回路形成体の実装位置に実装すべき部品を搬送移動して位置決めし、実装を行う。あるいは、部品を実装する位置が特定されており、前記特定された位置にて回路形成体の実装位置に部品が実装されるよう、回路形成体の方を搬送移動して位置決めし、実装を行う。図７は、この内、前者の形式である部品を搬送移動して位置決めする手段を備えた部品実装装置の主要部分を示している。
【０００３】
図において、部品実装装置１００は、部品実装装置１００へ部品を供給する部品供給部５０と、移動対象物を図のＸ、Ｙ方向に平面状に搬送するロボット６０と、ロボット６０により搬送される実装ヘッド７５と、回路形成体を搬入して保持する回路形成体保持装置８０と、部品実装装置１００の全体動作を制御するコントローラ９０とから主に構成されている。
【０００４】
ロボット６０は更に、装置本体に固定されたモータ６２、６４によりボールねじ６３、６５をそれぞれ介して梁７０を図のＹ方向に移動させるＹ方向駆動部と、前記Ｙ方向駆動部により駆動される梁７０に固定されたモータ７２によりボールねじ７３を介して実装ヘッド７５を図のＸ方向に移動させるＸ方向駆動部とから構成されている。この内、前記Ｙ方向駆動部は、単一のモータと単一のボールねじとによる駆動方式とすることも可能であるが、昨今の高速、高負荷実装要求に対応し、合わせて高剛性、高精度が実現できる複数軸（図示の例ではボールねじ６３、６５によるツイン軸）駆動方式とすることが普及している。
【０００５】
実装ヘッド７５には、実装ノズル７６が図示の例では４個装着されている。実装ノズル７６は、図のＺ方向の上下移動とＺ軸を中心とした回転が可能であり、この動作によって部品の取り出しと実装とを行う。回路形成体保持装置８０は、図の電子回路基板８２などの回路形成体を部品実装装置内に搬入し、部品実装の間、これを所定の位置で規正して保持する。
【０００６】
以上のように構成された部品実装装置１００の動作時には、各実装ノズル７６により部品供給部５０から部品を吸着保持した実装ヘッド７５が、ロボット６０に搬送されて実装位置へ向けて移動する。その間に回路形成体保持装置８０は、電子回路基板８２を搬入して所定位置で保持する。ロボット６０による移動量は、別途認識される実装ノズル７６に吸着された部品の保持状態と電子回路基板８２の保持状態との情報を元に、コントローラ９０が演算して制御する。実装位置で移動して停止した実装ヘッド７５は、実装ノズル７６を下降させ、先端に吸着保持した部品を電子回路基板８２の実装位置に実装する。
【０００７】
一般に、部品実装装置は、サーボモータにより回転駆動されるボールねじに沿って、移動対象物（図７に示すＸ方向駆動部の例では実装ヘッド７５）を所定の方向に移動させるとともに、所定位置に位置決め停止させる位置決め制御装置を備えている。この位置決め制御装置における移動対象物の位置検出方式としては、サーボモータ軸と同軸に回転するロータリーエンコーダの回転数を基に検出するロータリーエンコーダ方式と、移動対象物が移動する方向に平行に取り付けられたリニアスケールの位置を移動対象物に取り付けられたリニア位置検出装置で検出するリニアエンコーダ方式とがある。
【０００８】
近年、実装される部品の微小化が進み、電子回路基板には高密度実装が行われるため、部品実装装置には正確な位置決めと実装とを行うことが求められている。このような背景から、部品実装装置における位置決め制御装置は、前記２つの検出方式の内、移動対象物の位置をより正確に検出できるリニアエンコーダ方式が主流になりつつある。リニアエンコーダには更に、絶対位置をカウントにより検出するアブソリュート型エンコーダと、相対位置をカウントにより検出するインクリメンタル型エンコーダとが存在する。この内、現在では、信頼性や過去の実績面から、インクリメンタル型エンコーダが主に採用されている。このインクリメンタル型のリニアエンコーダを用いた従来技術による位置決め制御装置につき、図面を参照して説明する。
【０００９】
図８は、前記インクリメンタル型リニアエンコーダ（以下、単に「リニアエンコーダ」という。）を用いた従来技術による位置決め制御装置の概略構成を示している。図８は、例えば、図７に示す部品実装装置１００のＸ方向駆動部の主要部を取り出して示したものと想定することができる。図８において、サーボモータ１には、移動対象物４を移動させるためのボールねじ３と、ボールねじ３に螺合した移動体７とからなる移動機構が取り付けられている。移動体７には、移動対象物４（図７におけるＸ方向駆動部の例では実装ヘッド７５）が固定されており、サーボモータ１の正逆回転により、ボールねじ３の回転を介して、移動対象物４が図の矢印Ｒ、Ｌ方向に往復移動する。移動対象物４にはリニアエンコーダ５が取り付けられ、リニアエンコーダ５は、ボールねじ３に平行に固定されたリニアスケール６を検知して位置検出を行う。サーボモータ１には、同モータ１と共に回転して回転量を検出するロータリエンコーダ２が同軸に取り付けられている。
【００１０】
リニアエンコーダ５を位置検出手段に使用したサーボモータ１は、電源投入時には移動対象物４の絶対的な位置を判別することができない。このため、移動対象物４を予め基準位置として設定した原点位置に一旦復帰させ、その後、その原点位置からの相対位置を、リニアエンコーダ５の出力信号をカウントすることにより検出して位置制御している。前記の原点位置への復帰を検出するため、移動対象物４が取り付けられた移動体７には検出片８が設けられている。また、原点センサ１１が前記の原点位置を設定する位置に配置され、原点位置に移動した検出片８を検出する。
【００１１】
サーボドライバ１０は、装置全体の動作を制御するコントローラ９からの指令と、原点センサ１１の検出信号、およびロータリーエンコーダ２、リニアエンコーダ５の出力信号とに基づいてサーボモータ１の回転を制御する。通常、サーボドライバ１０の内部では、ロータリーエンコーダ２の位置情報を基に速度を検出してサーボループの速度演算に使用し、また、リニアエンコーダ５の位置情報をサーボループの位置演算に使用している。しかしながら、移動対象物４までの移動機構、例えばボールねじ３などの振動要素が入る場合には、リニアエンコーダ５のみの位置情報と速度情報とをサーボルーブの演算に使用する場合もある。
【００１２】
次に、図８に示す位置決め制御装置における原点復帰動作について、図９のフローチャートも参照して説明する。原点復帰動作は、ステップＳ１において、コントローラ９がサーボドライバ１０に対し、移動対象物４を所定方向へ移動させるよう指令することにより開始される。それと同時に、ステップＳ２で、サーボドライバ１０は、原点センサ１１からの基準位置信号（原点センサがオンとなったら入力される信号）の入力を監視する原点センサ検索処理を開始する。このとき、ステップＳ２で一度原点センサ１１がオン（Ｙｅｓ）になった後に、ステップＳ５にてリニアエンコーダのＺ相が検出できない（Ｎｏ）で移動を続け、ステップＳ２に戻って原点センサ１１がオフ（Ｎｏ）になった時は、ステップＳ３で、原点センサが一度オンになった後にオフになった（Ｙｅｓ）ことが判断され、その場合には、ステップ４で移動方向を反転する処理を行う。ステップＳ５において、原点復帰完了条件が成立した場合、すなわち、リニアエンコーダのＺ相の検出と、原点センサ・オンとのＡＮＤ条件が成立した場合、ステップＳ６でサーボドライバ１０は移動動作を停止し、コントローラ９は指令を停止して原点復帰処理を終了する。
【００１３】
以上の構成にかかる位置決め制御装置では、前記原点位置は、移動対象物４の位置を正確に検出できるリニアエンコーダ５のＺ相の位置とされている。一方、ロータリーエンコーダ２のＺ相は、サーボモータ１を駆動する正弦波状の電流指令を作成する基準として使用している。すなわち、リニアエンコーダ５のＺ相位置は、空間的な絶対基準原点位置を定めるために使用し、ロ―タリーエンコーダ２のＺ相位置は、サーボモータ１の制御に必要な電気原点（サーボモータの動作指令を行う電気波形のタイミングをとるための基準、サーボ制御の同期をとるための基準）を定めるために使用している。
【００１４】
次に、サーボモータ１の駆動方法について、図１０、図１１を参照して説明する。ロータリーエンコーダ２のＺ相が検出される前は、サーボモータ１は、モータの誘起電圧の正負に応じて出力されるＣＳ相（コミュテーション・シグナル相）を基に、図１０の下半分に示すような矩形波による駆動が行われる。すなわち、移動対象物４の位置が、例えば図１０に示す位置Ａにある時には、ＣＳ信号の１、３がＯＮとなっており、したがってＵ、Ｗに電流を流す制御を行う。サーボモータ１が図の位置Ｂにある時には、ＣＳ信号の１、２がＯＮなので、Ｕ、Ｖに電流を流す制御を行う。
【００１５】
ここで、上述のＣＳ相はＣＳ１からＣＳ３の総称で、ＣＳ１はＵ−Ｗの正負に応じた矩形波パルスをいい、同様にＣＳ２はＶ−Ｕの正負に応じた、ＣＳ３はＷ−Ｖの正負に応じたそれぞれ矩形波パルスをいう。また、図１１に示すように、サーボモータ１において、Ｕ、Ｖ、Ｗはそれぞれ三相駆動の場合のモータパワー線を示し、Ｕ−ＷはＷをグランド（Ｇ）したときのＵの誘起電圧を、同様にＶ−ＵはＵをグランドしたときのＶの誘起電圧を、Ｗ−ＶはＶをグランドしたときのＷの誘起電圧をそれぞれ示す。この矩形波による駆動は、上記した３つのＣＳ信号の組み合せのみで駆動制御するもので簡易的な駆動となるので、モータを安価に構成する場合や、前記のように電源投入直後の原点復帰前の駆動などに使用されるが、高速・高精度が要求されるようなサーボモータ１の本来の用途には性能上使用することはできない。
【００１６】
そこで、サーボモータ１の電気原点を、ロータリーエンコーダ２のＺ相を基準に定め、この電気原点からの電気的な距離をロータリーエンコーダ２からのＡ相とＢ相で演算し、サーボモータ１の誘起電圧に比例した図１０の上半分に示すような正弦波状の電流指令として出力する正弦波駆動を行うことによってサーボモータ１の性能を引き出している。図１０において、ロータリーエンコーダ２のＺ相位置は、ＣＳ１信号の立ち上がりと一致させ、このＺ相位置とロータリーエンコーダ２の１回転あたりのＡ相とＢ相のカウント値からサーボモータ１の電気的な軸位置を把握することができ、サーボモータ１の正弦波駆動を行うことができる。このような正弦波駆動においては、１回転当たりエンコーダ分解能で得られる電気角が得られるため、高精度の駆動に適し、加速度を上げたり、サーボモータの性能限界まで使用できる。部品実装装置などでは、サーボモータ１の矩形波駆動では位置決め整定時間の短縮や、部品の認識時に必要な等速性を得ることができないため、通常は正弦波駆動が行われている。但し、電源投入直後のようにロータリエンコーダ２のＺ相が検出される前は、正弦波の基準が得られないので正弦波駆動はできない。従って、その場合は、ロータリエンコーダ２のＺ相が検出されるまで、上述した矩形波駆動を行う。そして、ロータリエンコーダ２のＺ相が検出された時点で、正弦波駆動が可能になるので、正弦波駆動に切り換える。
【００１７】
なお、通常のサーボモータ１は、回転角度を検出するＡ相、Ｂ相と、原点位置を示すＺ相と、モータの誘起電圧の正負に応じたＣＳ１相〜ＣＳ３相とを検出できるロータリーエンコーダ２を備えている。前記位置決め制御装置などにサーボモータ１を取り付ける際においては、リニアエンコーダ５はサーボループにおける位置や速度の制御と絶対的な原点位置を検出する用途とに使用されることが多く、電気原点やＣＳ相をリニアエンコーダ５に備えることは、調整の難しさなどがあるためほとんど行われていない。
【００１８】
前記位置決め制御装置を部品実装装置に搭載した動作例を、図１２に示すフローチャートと先に説明した図７とを参照して説明する。上述のように、近年の部品実装装置では部品の小型化に伴う高速・高精度化の要求に応えるため、特にロボット６０のＹ方向駆動部にはツイン駆動など、複数軸の高度な同期制御を行っている。ここでは、実装ヘッド７５を支持する梁７０を、Ｙ方向に動作させる前記Ｙ方向動作部のモータ６２とモータ６４との同期制御について説明する。電源投入時においては、モータ６２、６４ともに現在位置が分からないため、まず原点復帰動作を行う。この原点復帰方法については、特開平１１−１４５６９４号公報などに開示された方法で行うが、その概要を図１２のフローチャートに示している。図１２は、基本的に図９に示す原点位置復帰動作をそれぞれの軸において行うことを示している。すなわち、図１２のステップＳ１５とステップＳ２１とにおいて、モータ６２、モータ６４に対して移動対象物である梁７０の原点位置の検出を各個に行い、それぞれの駆動軸（ボールスクリュー６３、６５）に対応するリニアエンコーダのＺ相が検出されたとき、ステップＳ１６とステップＳ２２においてツイン軸の原点復帰が完了する。なお、原点復帰時の加速度や速度は、矩形波駆動を前提に低く抑えられているため、原点復帰時には性能面での課題はほとんど発生しない。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これまで説明したような従来技術による位置決め制御においては、原点復帰完了条件が「リニアエンコーダのＺ相の検出」と「原点センサ・オン」とのＡＮＤ条件になっているため、原点復帰動作の開始位置や移動方向によっては、ロータリーエンコーダのＺ相が検出されるよりも前に原点復帰を完了してしまうことがあり得る。この原点復帰動作における状況を、図１３を参照して説明する。電源投入時の移動対象物４の位置が、図に示すＰ１の位置にあり、原点復帰方向がマイナス（図の向かって左方向）であるとする。このとき、原点復帰動作を開始した移動対象物４は、原点センサ１１の原点復帰位置検出領域内に入った後、一度ロータリーエンコーダ２のＺ相を横切り（図の×印）、その後、リニアエンコーダ５のＺ相で停止し、原点復帰が完了する。この場合には、ロータリエンコーダ２のＺ相を一度検出することにより、その時点でサーボモータ１の駆動が図示のように矩形波駆動から正弦波駆動に切替わる。したがって、原点復帰が完了した後に行われる位置決め制御のための高加減速、高速度でのサーボモータ１の駆動は、この切替わった後の正弦波駆動により行われこととなるため、移動対象物４を駆動させる装置の駆動を問題なく行うことができる。
【００２０】
しかしながら、電源投入時の移動対象物４の位置が、図１３に示すＰ２の位置にあり、原点復帰方向がプラス（図の向かって右方向）の場合には、ロータリーエンコーダ２のＺ相を一度も横切ることなく、リニアエンコーダ５のＺ相を検出することで原点復帰が完了してしまう。つまり、原点復帰が完了したにもかかわらず、ロータリーエンコーダ２のＺ相を検出していないため、サーボモータ１の駆動は矩形波駆動の状態のままとなっている。この際、原点復帰が完了した後の位置決め動作において、移動方向が図示のようにマイナスになったとすると、ロータリエンコーダ２の回転により最初のＺ相が検出されるまでの最大約一回転分は矩形波駆動のままでサーボモータ１が駆動されることとなる。さらに、その後、ロータリエンコーダ２のＺ相が検出された時には、回転中のサーボモータ１の駆動がその時点で急に矩形波駆動から正弦波駆動に切り替わることとなる。
【００２１】
部品実装装置などの実機においては、電源投入後の最初の原点復帰動作は、矩形波駆動を前提として原点復帰動作における加速度や速度を低く抑えているため、矩形波駆動でも問題なく動作する。しかしながら、一度原点復帰が完了した後の位置決め制御動作においては、通常の高加速度と高速度での動作を行うため、矩形波駆動のままでサーボモータ１を駆動すると異常音が発生したり等速性が失われるなど、本来の位置決め制御性能が果たすことができない。また、サーボモータ１が加速中に矩形波駆動から正弦波駆動に制御方式が切替わると、トルクが急激に変化し、異常音が発生したり速度に脈動が出たりすることになる。
【００２２】
また、最近の部品実装装置では、上述のように高速・高精度化の要求に応えるためにロボットにはツイン駆動などによる複数軸の高度な同期制御を行っている。このような用途に、上述したような従来技術によるリニアエンコーダ方式の位置決め制御を用いると、複数軸の原点復帰完了の状態によっては加速時に高度な同期処理が行うことができず、梁のねじれなどを誘発し、Ｘ軸の梁７０（図７参照）にねじれが加わって、精度上や寿命上の悪影響を及ぼすこととなる。特に、部品実装装置の電源を落とす際には、動作軸の干渉を防ぐために各軸が原点復帰、または原点付近に一旦位置決めをすることが一般である。このため、次の電源投入時には、移動対象物である実装ヘッドが、リニアスケールの原点位置付近に位置決めされていることが多いこととなる。この状態で再度電源投入し、最初の原点復帰を行うと、ロータリーエンコーダのＺ相を検出する前にリニアエンコーダのＺ相を検出し、原点復帰を完了してしまうことが非常に多くなることになる。したがって、電源投入の度に前記のＸ軸の梁７０に精度上や寿命上の悪影響を与えることになりかねず、大きな課題になっている。このため、以上のような課題を解決することができる、高度な位置決め制御装置が求められていた。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、位置決め制御における原点位置復帰において、事前にロータリエンコーダのＺ相を検出することを原点復帰完了の条件とすることにより、前記課題を解決するもので、具体的には以下の内容を含む。
【００２４】
すなわち、請求項１に記載の本発明は、サーボモータと、前記サーボモータを駆動制御するサーボドライバと、前記サーボモータの回転量を検出するロータリエンコーダと、前記サーボモータの回転により駆動される移動機構と、前記移動機構の移動量を検出するリニアエンコーダとから構成され、前記サーボドライバが、前記サーボモータの駆動に必要なＣＳ相を前記ロータリエンコーダから検出し、ロータリエンコーダのＺ相検出前またはリニアエンコーダのＺ相検出前までは、前記ロータリエンコーダのＣＳ相から得られる矩形波状の電流指令を作成し、前記ロータリエンコーダのＺ相検出後またはリニアエンコーダのＺ相検出後は、当該ロータリエンコーダのＺ相を基準とした正弦波状の電流指令を作成して前記サーボモータを駆動するように切り換え、電源投入時に、前記移動機構により移動される移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させ、その後、前記移動対象物を所定位置まで移動させて停止し、位置決めを行う位置決め制御装置であって、前記移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させるに際し、前記リニアエンコーダのＺ相を検出する前に前記ロータリエンコーダのＺ相を検出するという原点復帰完了の条件が成立しているか否かを判断し、前記原点復帰完了の条件が成立したと判断した場合に、原点復帰を完了させることを特徴とする位置決め制御装置に関する。原点復帰時には予めロータリエンコーダのＺ相を検出することを条件とすることによって、位置決めのための移動におけるサーボモータの駆動を事前に正弦波による駆動に切替えておくものである。
【００２５】
請求項２に記載の本発明に係る位置決め制御装置は、前記移動機構により移動される前記移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させるに際し、まず前記移動対象物が原点復帰位置検出領域内にあることが原点センサによって検出され、前記原点復帰位置検出領域内において、前記ロータリエンコーダのＺ相が検出され、次に前記リニアエンコーダのＺ相が検出された時に、前記原点復帰完了の条件が成立したと判断し、原点復帰を完了させることを特徴としている。
【００２６】
請求項３に記載の本発明に係る位置決め制御装置は、前記移動機構により移動される前記移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させるに際し、まず前記移動対象物が原点復帰位置検出領域内にあることが原点センサによって検出され、前記原点復帰位置検出領域内において、前記ロータリエンコーダのＺ相が検出される前に前記リニアエンコーダのＺ相が検出された場合は、前記原点復帰完了の条件が成立してないと判断して前記移動対象物の移動を継続し、前記原点復帰位置検出領域を外れた時に移動方向を反転させ、前記原点復帰位置検出領域内において、前記ロータリエンコーダのＺ相が検出され、次に前記リニアエンコーダのＺ相が検出された時に、前記原点復帰完了の条件が成立したと判断し、原点復帰を完了させることを特徴としている。
【００２７】
請求項４に記載の本発明に係る位置決め制御装置は、前記ロータリエンコーダのＺ相、次にリニアエンコーダのＺ相の順に検出されるような移動方向に前記移動対象物を移動させて原点復帰をさせることを特徴としている。
【００３１】
請求項５に記載の本発明に係る位置決め制御装置は、ロータリエンコーダのＺ相の検出位置からリニアエンコーダのＺ相の検出位置に至るオフセット量とオフセット方向とを予め設定し、前記移動対象物が前記オフセット方向へ移動して前記ロータリエンコーダのＺ相を検出した位置から更に前記設定したオフセット量を移動対象物が移動した位置に達したときに、サーボドライバが、矩形波状の電流指令による駆動から正弦波状の電流指令による駆動に切り換えることを特徴としている。ロータリエンコーダのＺ相を検出しても直ちに電流指令を矩形波から正弦波へ切り換えることなく、リニアエンコーダのＺ相の検出によって切り換えを行うものである。
【００３２】
請求項６に記載の本発明は、回路形成体を搬入して保持する回路形成体保持装置と、部品を供給する部品供給部と、前記部品供給部からの部品の取り出しと前記回路形成体への部品の実装が可能な実装ヘッドと、前記実装ヘッドを搬送するロボットと、前記回路形成体保持装置、部品供給装置、実装ヘッド、ロボットを制御するコントローラとから構成され、前記実装ヘッドにより前記部品供給部から取り出した部品を前記回路形成体の実装位置に実装する部品実装装置であって、前記部品を前記回路形成体の予め定められた実装位置に正確に位置合わせするため、前記ロボット、もしくは前記回路形成体保持装置のいずれか一方もしくは双方が、上述したいずれかの位置決め制御装置を使用することを特徴とする部品実装装置に関する。
【００３４】
請求項７に記載の本発明は、移動対象物を移動するための駆動源であるサーボモータを、前記サーボモータの回転量を検出するロータリエンコーダのＺ相検出前またはリニアエンコーダのＺ相検出前までは前記ロータリエンコーダのＣＳ相から得られる矩形波状の電流により駆動し、前記ロータリエンコーダのＺ相検出後またはリニアエンコーダのＺ相検出後は当該Ｚ相を基準とした正弦波状の電流により駆動するように切り換え、前記移動対象物を当該移動対象物の移動量を検出するリニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に一旦復帰させ、その後、予め定められた位置まで移動させて前記移動対象物の位置決めを行う位置決め制御方法であって、前記移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させるに際し、前記リニアエンコーダのＺ相を検出する前に前記ロータリエンコーダのＺ相を検出するという原点復帰完了の条件が成立しているか否かを判断し、前記原点復帰完了の条件が成立したと判断した場合に、原点復帰を完了させることを特徴とする位置決め制御方法に関する。原点復帰時には予めロータリエンコーダのＺ相を検出することを条件とすることによって、位置決めのための移動におけるサーボモータの駆動を事前に正弦波による駆動に切替えておくものである。
【００３７】
【発明の実施の形態】
本発明にかかる第１の実施の形態の位置決め制御につき、図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態にかかる位置決め制御における原点復帰動作のフローチャートを示している。なお、以下の説明において、従来技術で説明したものと同一の構成要素については同一符号を使用するものとし、したがって、これら従来技術と同一の構成要素については、これまで説明した各該当図面が参照されるものとする。つまり、本実施の形態における位置決め制御装置の構成は従来技術と同じであり、図８で示される。但し、コントローラ９が制御する位置決め制御における原点復帰動作は、図１のフローに基づいて行われる。
【００３８】
図１に示す本実施の形態にかかる位置決め制御の原点復帰動作は、ステップＳ３０において、コントローラ９がサーボドライバ１０に対し、移動対象物４を所定方向へ移動させるよう指令することにより開始される。それと同時に、ステップＳ３１においてサーボドライバ１０は、原点センサ１１からの基準位置信号（原点センサがオンとなったら入力される信号）の入力を監視する原点センサ検索処理を開始する。このとき、ステップＳ３１で一度原点センサ１１がオン（Ｙｅｓ）になった後に、ステップＳ３４でロータリエンコーダ２のＺ相、ステップＳ３５でリニアエンコーダ５のＺ相が検出できない（Ｎｏ）で移動を続け、ステップ３１に戻って原点センサ１１がオフ（Ｎｏ）になった時は、ステップＳ３２で、原点センサ１１が一度オンになった後にオフになったこと（Ｙｅｓ）が判断され、その場合は、ステップＳ３３で移動方向を反転する処理を行う。これは、移動対象物４を原点センサ１１に近づける方向に移動させるようにするためである。
【００３９】
次に、ステップＳ３１で、原点センサ１１がオン（Ｙｅｓ）となり、ステップＳ３４で、ロータリーエンコーダ２のＺ相を一回検出（Ｙｅｓ）したならば、ステップＳ３５において、本来の原点位置であるリニアエンコーダ５のＺ相を検出したかどうかを判断する。リニアエンコーダのＺ相が検出された（Ｙｅｓ）と判断されれば、原点復帰の条件が成立したこととなり、ステップＳ３６にてサーボドライバ１０は移動を停止させ、コントローラ９が指令を停止して原点復帰処理を完了する。ステップＳ３４で、ロータリーエンコーダ２のＺ相がまだ検出されていなければ、ステップＳ３１に戻り、これをロータリエンコーダ２のＺ相が検出されるまで繰り返す。すなわち、図１に示すフローチャートにおいては、本来の原点位置であるリニアエンコーダ５のＺ相を検出する前に、ロータリエンコーダ２のＺ相を検出することを原点復帰完了の条件としている。
【００４０】
図２に、上述の原点復帰におけるロータリーエンコーダ２のＺ相、リニアエンコーダ５のＺ相、原点センサ１１の相互位置と、電源投入時の移動対象物４の位置の違いによる原点復帰動作の相違例を示す。電源投入時の移動対象物４が図に示すＰ３の位置にあり、移動方向がマイナス（図に向かって左方向）である場合、移動対象物４の原点復帰動作における移動により、原点センサ１１、ロータリーエンコーダ２のＺ相、リニアエンコーダ５のＺ相の順番に検出され、リニアエンコーダ５のＺ相の位置で原点復帰が完了する。ここで原点センサ１１の検出とは、図８に示す原点センサ１１が移動体７（もしくは移動対象物４）に取り付けられた検出片８を検出すること（このとき、原点センサ１１がオンとなり、移動対象物４は図２の太帯で示す原点復帰位置検出領域内にある）、また、ロータリエンコーダ２のＺ相の検出とは、ロータリエンコーダ２がサーボモータ１の原点位置を示すＺ相を検出すること、そしてリニアエンコーダ５のＺ相の検出とは、リニアエンコーダ５がリニアスケール６の原点位置を示すＺ相を検出することをそれぞれ意味している。この場合、上述のように原点復帰前にロータリーエンコーダ２のＺ相が一度検出されているため(図２の×印)、図１のフローチャートでは、ステップＳ３４の条件が成立（Ｙｅｓ）した後にステップＳ３５のリニアエンコーダ５のＺ相を検出（Ｙｅｓ）したこととなり、ステップＳ３６にて通常通りの原点復帰が可能である。
【００４１】
これに対して、電源投入時の移動対象物４の位置が、図２に示すＰ４の位置にある場合、移動方向がプラス（図に向かって右方向）であるとすると、原点復帰動作における移動対象物４の移動により、まず原点センサ１１の検出により、原点復帰位置検出領域内であることを検出し、次にリニアエンコーダ５のＺ相を横切ることとなる。しかしながら、このときの移動は、ロータリーエンコーダ２のＺ相検出前であるため、図１のフローチャートにおけるステップＳ３４の条件が不成立（Ｎｏ）であり、したがって、このときのリニアエンコーダ５のＺ相検出は無視される。次に、更なるサーボモータ１の回転によるプラス方向の移動でロータリーエンコーダ２のＺ相が検出される（×印位置）。この検出によって、図１に示すフローチャートのステップＳ３４の条件が成立（Ｙｅｓ）する。このときのロータリーエンコーダ２のＺ相の検出により、サーボモータ１の駆動が矩形波駆動から正弦波駆動へ移行する。その後、更なるプラス方向の移動で原点センサ１１の検出領域外となったことを検出すると、今度はステップＳ３３で移動方向を反転させ、マイナス方向（図に向かって左方向、即ち原点センサ１１検出領域内へ戻る方向）への移動となる。この移動により、再度ロータリーエンコーダ２のＺ相を横切った後に、ステップＳ３５でリニアエンコーダ５のＺ相位置を検出する（Ｙｅｓ）ことから、これによってステップＳ３６で原点復帰が完了して停止する。
【００４２】
電源投入時の位置が図示のＰ３、Ｐ４以外にある場合においては、その原点復帰開始時の位置や移動方向により様々なパターンが存在するが、本発明のように原点復帰の完了条件を、「事前にロータリーエンコーダ２のＺ相が検出されること」という条件を追加するだけで、全ての動作について対応することができる。
【００４３】
本実施の形態にかかる原点復帰動作によれば、事前にロータリエンコーダ２のＺ相が検出されることを条件とすることから、この時点でサーボモータ１の駆動が矩形波駆動から正弦波駆動に切替ることとなり、したがって原点復帰後の位置決め制御における高加減速、高速での駆動においても、駆動機構に問題を生ずることがなく、従来技術にあった課題を解消することが可能となる。
【００４４】
次に、本発明にかかる第２の実施の形態の位置決め制御装置、及び位置決め制御方法につき、図面を参照して説明する。本実施の形態における位置決め制御装置の構成は、従来技術と同じで図８で示される。但し、コントローラ９が制御する位置決め制御における原点復帰動作は図４に示すフローに基づいて行われる。先の実施の形態においては、サーボドライバ１０側における原点復帰の完了条件を、「事前にロータリーエンコーダ２のＺ相が検出されること」としている。この条件を付加することの代替として、予め特定した原点復帰の移動方向に基づき、原点センサ１１の検出位置と、ロータリーエンコーダ２のＺ相の位置と、リニアエンコーダ５のＺ相の位置とを調整することにより、その特定した原点復帰の移動方向に移動すると、原点センサ１１の原点復帰位置検出領域内において、まずロータリーエンコーダ２のＺ相を検出してからリニアエンコーダ５のＺ相が検出できるようにし、このリニアエンコーダ５のＺ相を検出した時点で原点復帰が完了するように構成してもよい。このような構成につき、図３と図４とを参照して説明する。
【００４５】
図３において、原点センサ１１の原点復帰位置検出領域内に、リニアエンコーダ５のＺ相とロータリーエンコーダ２のＺ相を図の左から順番に並ぶように調整する。更に、原点復帰の移動方向を常にマイナス方向（図に向かって左方向）となるように設定する。本実施の形態が適用できるものとしては、図３に示すように、移動対象物４の移動可能範囲の一端が、原点センサ１１の検出領域の一端（図示の例では左側端末）と一致していること、すなわち、原点位置が移動対象物４の移動範囲の端末部に設置される、という制約条件が追加されるものとなる。図示の例でいえば、原点センサ１１が左側端末に設置されていない場合には、原点復帰開始時の上述の初期移動方向がマイナスと設定されているため、対象移動物４が原点センサから離れる方向である左側へ移動してしまうからである。
【００４６】
例えば、移動対象物４が、図に示す原点センサ１１の原点復帰位置検出領域外であるＰ５の位置にあるとした場合、移動方向が予め設定した原点復帰の移動方向であるマイナス方向であるため、移動対象物４の移動にしたがって原点センサ１１の検出、ロータリエンコーダ２のＺ相の検出、リニアエンコーダ５のＺ相の検出が、この順番にされることとなる。原点位置であるリニアエンコーダ５のＺ相を検出する前に、事前にロータリエンコーダ２のＺ相を検出することという条件が満たされることから、これで所望の原点復帰を完了することができる。
【００４７】
原点位置復帰動作の開始時において、移動対象物４が図のＰ６に示すような原点センサ１１の検出領域内の位置にある場合には、まず、移動方向を予め設定した原点復帰の移動方向とは逆転させてプラス方向（図に向かって右方向）とし、この移動により始めに検出するリニアエンコーダ５のＺ相は、事前にロータリエンコーダ２のＺ相を検出するという条件が満たされていないため（原点復帰の移動方向に移動してないため）無視され、一旦原点センサ１１の検出領域外へ出る。その後、再度移動方向を逆転させて移動方向をマイナス方向（原点復帰の移動方向）とし、先のＰ５の位置からの検出と同様に、原点センサ１１の検出、ロータリエンコーダ２のＺ相の検出、リニアエンコーダ５のＺ相の検出をこの順番で行い、所望の原点復帰を完了させる。
【００４８】
上述の動作を、図４のフローチャートを参照して説明する。原点復帰開始時に、ステップＳ４０で、原点センサ１１の原点復帰位置検出領域内であるか否かを判断し、検出領域外（Ｎｏ）であれば（例えば、図示のＰ５の位置）通常の原点復帰を行う。すなわち、移動方向を予め設定した原点復帰の移動方向であるマイナスとして（ステップＳ４１）、ステップＳ４４で原点センサ１１を、ステップＳ４７でロータリーエンコーダのＺ相を、ステップＳ４８でリニアエンコーダのＺ相を、それぞれこの順番で検出し、ステップＳ４９で原点復帰を完了する。ステップＳ４０で、原点復帰開始時に移動対象物４の位置が原点センサ１１の原点復帰位置検出領域内（Ｙｅｓ）であるなら（例えば、図３のＰ６の位置）、ステップＳ４２で移動方向を予め設定した原点復帰の移動方向とは逆転させ（すなわちプラス方向とし）、ステップＳ４４で、一旦原点センサを外れる（Ｎｏ）まで移動し、ステップＳ４６で移動方向を再度反転させ（すなわちマイナス方向とし）、その後ステップＳ４４からステップＳ４８において、原点センサ１１、ロータリーエンコーダ２のＺ相、リニアエンコーダ５のＺ相を、それぞれこの順番に検出して、ステップ４９で原点復帰が完了する。
【００４９】
以上に述べた本実施の形態にかかる位置決め制御においては、原点復帰開始時の初期移動方向が固定（図示の例ではマイナス方向）されるという制約条件が付加されるものとなる。但し、ロータリエンコーダ２のＺ相、リニアエンコーダ５のＺ相の検出位置の関係が上記とは逆の方向で、原点復帰の移動方向をプラス方向とするものであっても、もちろん構わない。
【００５０】
次に、本発明に係る第３の実施の形態につき、図面を参照して説明する。本実施の形態における位置決め制御装置の構成は図８で示され、コントローラ９が制御する位置決め制御における原点復帰動作は、図６のフローに基づいて行われる。本実施の形態が第１の実施の形態と異なる点は、第１の実施の形態では原点復帰動作時にロータリエンコーダ２のＺ相を検出した時に矩形波駆動から正弦波駆動に切り換えていたのに対して、本実施の形態ではロータリエンコーダ２のＺ相を検出した後に更にリニアエンコーダ５のＺ相を検出した時、矩形波駆動から正弦波駆動に切り換えるようにした点である。
【００５１】
この相違点について、図５、図６を参照しながら説明する。図５に示すように、ロータリエンコーダ２のＺ相の検出位置からリニアエンコーダ５のＺ相の検出位置に至るまでの移動対象物４の移動量であるオフセット量と、その際の移動対象物４の特定の移動方向であるオフセット方向とが予めコントローラ９に記憶されている。
【００５２】
例えば、移動対象物４が、図５に示すＰ７の位置からマイナス方向（図の向かって左方向）に移動する時、ロータリエンコーダ２のＺ相の検出位置において（図５の×印、図６のフローのステップＳ５４）、正弦波駆動に切り換えずに矩形波駆動のままマイナス方向への移動を続ける。次に、この時の移動方向が図示のオフセット方向（図の向かって左方向）と一致している場合には（図６のステップＳ５５）、リニアエンコーダ５のＺ相検出位置において（図６のステップＳ５６）矩形波駆動から正弦波駆動に切り換えて移動を停止し、原点復帰を完了する。その際、ロータリエンコーダ２のＺ相が検出された位置から予め記憶したオフセット量分移動した時またはその直前で、ロータリエンコーダ２のＺ相を検出した位置を正弦波の立上がりとする正弦波駆動に切り換える。
【００５３】
次に、移動対象物４が、図５に示すＰ８の位置からプラス方向（図に向かって右方向）に移動する場合、まず原点センサ１１の検出の後、リニアエンコーダ５のＺ相を横切るが、第１の実施の形態で説明したように、これはロータリーエンコーダ２のＺ相検出前であるため無視される。次に、更なるプラス方向の移動でロータリーエンコーダ２のＺ相が検出されるが、この時の移動方向は図示のオフセット方向とは逆方向であることから（図６のステップＳ５５）、この検出も無視される。その後、更なるプラス方向の移動で原点センサ１１の原点復帰位置検出領域外となった後に反転してマイナス方向（図に向かって左方向）への移動となり、この移動方向が図示のオフセット方向と一致する。以下は上述したＰ７に示す位置からの移動と同様に、ロータリエンコーダ２のＺ相を検出し（図５の×印）、但し、正弦波駆動に切り換えずに矩形波駆動のままマイナス方向への移動を続け、リニアエンコーダ５のＺ相検出位置において（図６のステップＳ５６）矩形波駆動から正弦波駆動に切り換えて移動を停止する。
【００５４】
以上の原点復帰動作を図６のフローで見ると、第１の実施の形態に示す図１のフローに対して、ステップＳ５５が追加になっている。すなわち、ステップＳ５５で移動対象物４の移動が予めコントローラ９に入力されている前記オフセット方向と逆方向（Ｎｏ）の場合には、ステップＳ５４でロータリエンコーダのＺ相が検出（Ｙｅｓ）されてもこれが無視され、更に移動を継続する。そしてステップＳ５３で移動方向が反転し、前記オフセット方向と同じ方向の移動になった場合に、まずステップＳ５４でロータリエンコーダのＺ相が検出（Ｙｅｓ）され、その後、予め入力されたオフセット量を移動して、ステップＳ５６でリニアエンコーダのＺ相が検出（Ｙｅｓ）されて、ステップＳ５７で原点復帰動作を完了する。矩形波駆動から正弦波駆動への切り換えはこのステップＳ５６におけるリニアエンコーダのＺ相の検出に合せて行われる。
【００５５】
本実施の形態に係る原点復帰動作によれば、最終的な原点であるリニアエンコーダ５のＺ相を検出するまでモータの回転が矩形波駆動によるため、簡易的な駆動制御を原点復帰による停止まで行うことができる。
【００５６】
なお、上記では、予めロータリエンコーダ２のＺ相の検出位置とリニアエンコーダ５のＺ相の検出位置のオフセット量を設定するものとしたが、このオフセット量が所定量（例えば０）になるようにロータリエンコーダ２のＺ相の位置又はリニアエンコーダ５のＺ相の位置を調整しておくものでも構わない。
【００５７】
次に、本発明に係る第４の実施の形態につき、説明する。本実施の形態は、先の第１、第２及び第３の実施の形態に示す位置決め制御方法および位置決め制御装置を、それぞれ部品実装方法および部品実装装置に適用するものである。部品実装装置においては、図７を参照して説明したように、部品供給部５０から実装ヘッド７５により取り出した部品をロボット６０により搬送し、回路形成体保持装置８０により所定位置に規正保持された回路形成体８２の実装位置に部品を実装する。この際、実装ヘッド７５に保持された部品は、ロボット６０により、前記実装位置に正確に位置決めされる必要がある。本実施の形態は、ロボット６０を構成する上述のＸ方向駆動部、もしくはＹ方向駆動部のいずれか、もしくは双方に、先の各実施の形態で示す位置決め制御方法、及び位置決め制御装置を適用することにより、信頼性の高い、安定した部品の位置決めすることが可能となる部品実装方法、及び部品実装装置を提供するものである。
【００５８】
なお、部品実装装置には他に、前記ロボット６０に、複数の部品吸着ノズルを円周状に配して間欠回転運動を行うインデックスを使用し、連続して高速で部品実装を行うインデックス形式のものがある。このインデックス形式の部品実装装置では、部品を保持する部品吸着ノズルの実装する位置が特定位置に決まってしまうため、回路形成体８２を保持する回路形成体保持装置８０の側をＸ、Ｙ方向に搬送し、回路形成体の実装位置を前記部品の側の特定の実装位置に合わせて位置決めする手段が採られている。この際には、前記回路形成体保持装置を搬送する機構の側に、先の各実施の形態に示す位置決め制御装置、及び位置決め制御機構を適用することにより、同様に信頼性の高い、安定した部品実装方法、及び部品実装装置を提供することができる。さらに他の部品実装装置として、例えば部品は図５に示すＸ方向のみに移動し、回路形成体は同じくＹ方向のみに移動することによって両者の位置決めをするなど、各種組み合わせにかかる搬送手段を利用して位置決めをする形式のものがある。これら各種形式の搬送手段に対しても、先の各実施の形態に示す位置決め制御方法、並びに位置決め制御装置の適用が同様に可能である。
【００５９】
以上、本発明にかかる各実施の形態の位置決め制御につき、説明してきたが、以上の説明では、ロータリーエンコーダ２のＺ相位置を電気原点としている。しかしながら、本発明の適用はこれに限定されるものではなく、例えば、特開昭６１−３９８８５号公報に開示されているような、ＣＳ信号のみで電気原点を検出する方法にも適用可能であることはいうまでもない。すなわち、原点復帰に際しては、事前にロータリーエンコーダ２から得られるＣＳ信号の電気原点（例えば図１０においては、ＣＳ１のパルスの立上がりのタイミングを原点とする）を検出した後であることを条件とすること（第１の実施の形態の代替の場合）、もしくは、原点復帰の際の移動方向を固定し、この方向に沿ってまずロータリーエンコーダ２から得られるＣＳ信号の電気原点を検出し、その後にリニアエンコーダ５のＺ相位置で原点復帰が完了するよう構成すること（第２、第３の実施の形態の代替の場合）とすれば、本発明にかかるロータリーエンコーダ２のＺ相を電気原点とする各実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００６０】
また、本発明にかかる位置決め制御について、以上の説明においては部品実装装置における位置決め制御を対象例としているが、本発明の適用がこの部品実装装置に限定されるものではない。例えば、被加工物を順次搬送して所定位置に位置決めして加工を行うトランスファーマシンにおける前記被加工物の位置決めや、精密機械の自動組立機における被組立て要素の位置決めにおける制御など、一般に移動対象物を所定位置に搬送して位置決め制御する際に広く適用することができる。
【００６１】
【発明の効果】
本発明にかかる位置決め制御装置、並びに位置決め制御方法によれば、原点復帰の完了はロータリーエンコーダのＺ相検出後となるため、サーボモータを必ず正弦波駆動できる状態で原点復帰を完了させることができる。よって、原点復帰後の高加速度、高速度での位置決め動作においても、最初から正弦波駆動を行うことができ、従来の位置決め制御装置のように、矩形波駆動から正弦波駆動への切替に伴う不連続なトルク変化が原因の異常音や速度脈動を回避することができる。
【００６２】
また、部品実装装置などの高度な複数軸の同期制御が要求される軸においても、前記不連続なトルク変化がないため、同期制御されるフレームにねじれを生じさせることがなく、精度上や寿命上の悪影響を装置に与えることがない。
【００６３】
本発明に係る位置決め制御方法もしくは位置決め制御装置を、部品実装方法もしくは部品実装装置に適用することによれば、部品もしくは回路形成体の位置決めを高い信頼度で安定して行うことができ、位置決め精度の高い安定した電子回路基板の製造を可能とする部品実装方法、もしくは部品実装装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明にかかる実施の形態の位置決め制御における原点復帰動作を示すフローチャートである。
【図２】 図１に示す原点復帰動作における各構成要素の相互関係を示す概略図である。
【図３】 本発明にかかる他の実施の形態の位置決め制御における原点復帰動作の各構成要素の相互関係を示す概略図である。
【図４】 図３に示す位置決め制御における原点復帰動作を示すフローチャートである。
【図５】 本発明にかかるさらに他の実施の形態の位置決め制御における原点復帰動作の各構成要素の相互関係を示す概略図である。
【図６】 図５に示す位置決め制御における原点復帰動作を示すフローチャートである。
【図７】 従来技術における部品実装装置を示す概略図である。
【図８】 従来技術における位置決め制御装置の概略図である。
【図９】 従来技術における位置決め制御の原点復帰動作を示すフローチャートである。
【図１０】 従来技術におけるサーボモータの駆動方法を示す概賂図である。
【図１１】 三相駆動のサーボモータの構成を示す概略図である。
【図１２】 図７に示す部品実装装置におけるツイン駆動原点復帰動作を示すフローチャートである。
【図１３】 図１２に示す原点復帰動作における各構成要素の相互関係を示す概略図である。
【符号の説明】
１．サーボモータ、 ２．ロータリーエンコーダ、 ３．ボールねじ、 ４．移動対象物、 ５．リニアエンコーダ、 ６．リニアスケール、 ７．移動体、 ８．検出片、 ９．コントローラ、 １０．サーボドライバ、 １１．原点センサ。
Claims (7)
- サーボモータと、前記サーボモータを駆動制御するサーボドライバと、前記サーボモータの回転量を検出するロータリエンコーダと、前記サーボモータの回転により駆動される移動機構と、前記移動機構の移動量を検出するリニアエンコーダとから構成され、
前記サーボドライバが、前記サーボモータの駆動に必要なＣＳ相を前記ロータリエンコーダから検出し、ロータリエンコーダのＺ相検出前またはリニアエンコーダのＺ相検出前までは、前記ロータリエンコーダのＣＳ相から得られる矩形波状の電流指令を作成し、前記ロータリエンコーダのＺ相検出後またはリニアエンコーダのＺ相検出後は、当該ロータリエンコーダのＺ相を基準とした正弦波状の電流指令を作成して前記サーボモータを駆動するように切り換え、電源投入時に、前記移動機構により移動される移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させ、その後、前記移動対象物を所定位置まで移動させて停止し、位置決めを行う位置決め制御装置において、
前記移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させるに際し、
前記リニアエンコーダのＺ相を検出する前に前記ロータリエンコーダのＺ相を検出するという原点復帰完了の条件が成立しているか否かを判断し、
前記原点復帰完了の条件が成立したと判断した場合に、原点復帰を完了させることを特徴とする位置決め制御装置。 - 前記移動機構により移動される前記移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させるに際し、まず前記移動対象物が原点復帰位置検出領域内にあることが原点センサによって検出され、前記原点復帰位置検出領域内において、前記ロータリエンコーダのＺ相が検出され、次に前記リニアエンコーダのＺ相が検出された時に、前記原点復帰完了の条件が成立したと判断し、原点復帰を完了させることを特徴とする、請求項１に記載の位置決め制御装置。
- 前記移動機構により移動される前記移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させるに際し、まず前記移動対象物が原点復帰位置検出領域内にあることが原点センサによって検出され、前記原点復帰位置検出領域内において、前記ロータリエンコーダのＺ相が検出される前に前記リニアエンコーダのＺ相が検出された場合は、前記原点復帰完了の条件が成立してないと判断して前記移動対象物の移動を継続し、前記原点復帰位置検出領域を外れた時に移動方向を反転させ、前記原点復帰位置検出領域内において、前記ロータリエンコーダのＺ相が検出され、次に前記リニアエンコーダのＺ相が検出された時に、前記原点復帰完了の条件が成立したと判断し、原点復帰を完了させることを特徴とする、請求項１に記載の位置決め制御装置。
- 前記ロータリエンコーダのＺ相、次にリニアエンコーダのＺ相の順に検出されるような移動方向に前記移動対象物を移動させて原点復帰をさせることを特徴とする、請求項１に記載の位置決め制御装置。
- ロータリエンコーダのＺ相の検出位置からリニアエンコーダのＺ相の検出位置に至るオフセット量とオフセット方向とを予め設定し、前記移動対象物が前記オフセット方向へ移動して前記ロータリエンコーダのＺ相を検出した位置から更に前記設定したオフセット量を移動対象物が移動した位置に達したときに、サーボドライバが、矩形波状の電流指令による駆動から正弦波状の電流指令による駆動に切り換えることを特徴とする、請求項１に記載の位置決め制御装置。
- 回路形成体を搬入して保持する回路形成体保持装置と、
部品を供給する部品供給部と、
前記部品供給部からの部品の取り出しと前記回路形成体への部品の実装が可能な実装ヘッドと、
前記実装ヘッドを搬送するロボットと、
前記回路形成体保持装置、部品供給装置、実装ヘッド、ロボットを制御するコントローラとから構成され、前記実装ヘッドにより前記部品供給部から取り出した部品を前記回路 形成体の実装位置に実装する部品実装装置において、
前記部品を前記回路形成体の予め定められた実装位置に正確に位置合わせするため、前記ロボット、もしくは前記回路形成体保持装置のいずれか一方もしくは双方が、請求項１から請求項５のいずれか一に記載の位置決め制御装置を使用することを特徴とする部品実装装置。 - 移動対象物を移動するための駆動源であるサーボモータを、前記サーボモータの回転量を検出するロータリエンコーダのＺ相検出前またはリニアエンコーダのＺ相検出前までは前記ロータリエンコーダのＣＳ相から得られる矩形波状の電流により駆動し、前記ロータリエンコーダのＺ相検出後またはリニアエンコーダのＺ相検出後は当該Ｚ相を基準とした正弦波状の電流により駆動するように切り換え、前記移動対象物を当該移動対象物の移動量を検出するリニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に一旦復帰させ、その後、予め定められた位置まで移動させて前記移動対象物の位置決めを行う位置決め制御方法において、
前記移動対象物を前記リニアエンコーダのＺ相の位置である原点位置に復帰させるに際し、
前記リニアエンコーダのＺ相を検出する前に前記ロータリエンコーダのＺ相を検出するという原点復帰完了の条件が成立しているか否かを判断し、
前記原点復帰完了の条件が成立したと判断した場合に、原点復帰を完了させることを特徴とする位置決め制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001391993A JP3961280B2 (ja) | 2000-12-26 | 2001-12-25 | 位置決め制御装置及び位置決め制御方法、並びに部品実装装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000-394441 | 2000-12-26 | ||
| JP2000394441 | 2000-12-26 | ||
| JP2001391993A JP3961280B2 (ja) | 2000-12-26 | 2001-12-25 | 位置決め制御装置及び位置決め制御方法、並びに部品実装装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002261496A JP2002261496A (ja) | 2002-09-13 |
| JP3961280B2 true JP3961280B2 (ja) | 2007-08-22 |
Family
ID=26606627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001391993A Expired - Fee Related JP3961280B2 (ja) | 2000-12-26 | 2001-12-25 | 位置決め制御装置及び位置決め制御方法、並びに部品実装装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3961280B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010120123A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Yamaha Motor Co Ltd | 直交ロボット、該直交ロボットを備えた部品実装装置および前記直交ロボットの制御方法 |
-
2001
- 2001-12-25 JP JP2001391993A patent/JP3961280B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002261496A (ja) | 2002-09-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1223485B1 (en) | Positioning-controlling apparatus and positioning-controlling method, and part-mounting equipment and part-mounting method | |
| JP2005148045A (ja) | ４軸ＸＹθテーブルとその制御方法 | |
| JP3961280B2 (ja) | 位置決め制御装置及び位置決め制御方法、並びに部品実装装置 | |
| JP3876685B2 (ja) | 門型ステージ装置の駆動方法 | |
| US5086263A (en) | Bi-axial synchronous driving apparatus | |
| CN114753072B (zh) | 一种刺绣机绣框断电保护控制方法、系统及装置 | |
| JPH11110045A (ja) | ステッピングモータ制御装置およびステッピングモータによるビデオカメラのレンズ駆動系の制御装置 | |
| JPH10190297A (ja) | 部品実装方法 | |
| JPH03164811A (ja) | サーボモータの送り補正方法 | |
| JP3596250B2 (ja) | 電子部品実装方法 | |
| KR100402179B1 (ko) | 듀얼갠트리의 틸트보정장치 | |
| JPH11121991A (ja) | 部品移載装置の原点位置調整方法 | |
| JP2003101297A (ja) | 電子部品実装装置におけるオフセット補正方法 | |
| JPH10263232A (ja) | 自動縫製機のミシンの針零点を正確に決定する方法および装置 | |
| US6879119B2 (en) | Positioning controller | |
| JPH04322982A (ja) | 直角座標型ロボット | |
| JPS6234210A (ja) | 原点位置の検出装置 | |
| KR100293380B1 (ko) | 인크리멘털엔코더를장착한구동축의위치인식방법및장치 | |
| JPH07112385A (ja) | 実装装置 | |
| JPH0749246A (ja) | エンコーダシステム | |
| JP2006300646A (ja) | 作動装置 | |
| JPH1146093A (ja) | 部品実装機における位置決め補正方法 | |
| JPH11289197A (ja) | 実装機及びその位置決め方法 | |
| JP2000357013A (ja) | モータの位置制御方法及び制御装置 | |
| JP2503899B2 (ja) | Ｉｃ搭載装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041221 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070117 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070123 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070323 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070417 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070516 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110525 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110525 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120525 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120525 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130525 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130525 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |