JPH11147717A

JPH11147717A - 酸化チタン被膜の製造方法

Info

Publication number: JPH11147717A
Application number: JP9310244A
Authority: JP
Inventors: Koji Kishimoto; 広次岸本; 孝一 ▲高▼濱; Koichi Takahama
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1997-11-12
Filing date: 1997-11-12
Publication date: 1999-06-02

Abstract

(57)【要約】【課題】アナターゼ型酸化チタンの含有量の多い酸化
チタン被膜を析出させることができるようにする。【解決手段】チタンフッ化アンモニウムを含む水溶液
中に（ＮＨ₄）₂ＴｉＦ ₆＋２Ｈ₂Ｏ⇔ＴｉＯ₂＋４Ｈ
Ｆ＋２ＮＨ₄Ｆの平衡を右に進める添加剤を添加して、
酸化チタンの過飽和溶液とした処理液を調製する。そし
てこの処理液と基材とを接触させて、基材の表面に酸化
チタン被膜を形成させる。この際に、平行を右に進める
添加剤として塩化アルミニウムとアンモニアを用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液相での析出現象
を利用して酸化チタン含有溶液と基材とを接触させて基
材の表面に酸化チタン被膜を形成する酸化チタン被膜の
製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】酸化チタン被膜は、光触媒やアルカリ溶
出防止膜などに利用されているが、上記被膜を基材の表
面に形成する方法として、従来より、気相法ではＣＶＤ
法やＰＶＤ法などが、液相法ではゾル−ゲル法によるデ
ィップコーティング法やスピンコーティング法などが知
られている。

【０００３】しかしＣＶＤ法やＰＶＤ法には、高価な装
置を用いなければならず、また真空中のバッチ処理であ
るため、プロセスコストが高くなるという問題があり、
さらにサイズが小さく比較的凹凸の少ない基材にしか適
用できない、等の問題があった。またゾル−ゲル法によ
るディップコーティング法やスピンコーティング法では
平板状の基材にしか被膜を形成することができず、しか
も有機溶媒を用いるために火災や爆発の危険を伴い、さ
らに被膜に有機物が大量に残存するので、これを除去す
るために高温での処理が必要になるという問題があっ
た。

【０００４】一方、チタンフッ化アンモニウムあるいは
チタンフッ化水素酸水溶液にほう酸あるいはアルミニウ
ムを添加して調製した処理液にガラス基材を浸漬し、ガ
ラス基材の表面に酸化チタン被膜を析出させる液相析出
法が、特開昭５９−１４１４４１号公報、特開平１−９
３４４３号公報、特開平３−２８５８２１号公報、特開
平３−２８５８２２号公報、特開平４−２６５１６号公
報、特公平７−３５２６８号公報等で知られている。こ
れらの方法は上記の各方法のような問題がなく、酸化チ
タン被膜を基材の表面に形成する方法として比較的優れ
ているといえる。

【０００５】さらに本発明者等は、チタンフッ化アンモ
ニウムにほう酸を添加する液相析出法によって、熱処理
なしでアナターゼ型（ａｎａｔａｓｅ−ｔｙｐｅ）酸化
チタンと無定形（非晶質）の酸化チタンの混合物が得ら
れることを既に報告している（「第１５回光がかかわる
触媒化学シンポジウム」（’９６東京工業大学）講演予
稿集Ｐ１６）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、チタンフッ化
アンモニウムにほう酸を添加する液相析出法では、上記
の混合物中において結晶性のアナターゼ型酸化チタンの
含有量は３８％程度であり、実際の使用に際しては、結
晶の含有量を増加させるためにこの混合物を熱処理して
用いることが必要である。すなわち、酸化チタン被膜や
酸化チタン粒子を光触媒として用いる場合、非晶質の酸
化チタンには光触媒活性がないかあるいは非常に小さい
ため、チタンフッ化アンモニウムにほう酸を添加する液
相析出法で作製した酸化チタンにはアナターゼ型酸化チ
タンを含んではいるものの、３００℃〜５００℃での熱
処理を行なって、結晶性のアナターゼ型酸化チタンの含
有量を高める必要があるのである。

【０００７】このようにアナターゼ型酸化チタンの含有
量が小さい場合には熱処理が必要であるが、アナターゼ
型酸化チタンの含有量の多い酸化チタンを析出すること
ができれば、熱処理が不要になって利用できる範囲が広
がる。例えば酸化チタン被膜を光触媒汚れ防止膜として
用いる場合、アナターゼ型酸化チタンの含有量が多いと
光触媒活性が高いので熱処理をしなくてもより汚れの付
着量が多い場所への応用展開が可能になるものである。
また、熱処理して用いる場合においても、熱処理前のア
ナターゼ型酸化チタンの含有量が多いものでは、より低
い温度での熱処理でより高い結晶性を持つ酸化チタンを
作製することができるものである。

【０００８】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、アナターゼ型酸化チタンの含有量の多い酸化チタ
ン被膜を析出させることができる酸化チタン被膜の製造
方法を提供することを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係る酸化チタン
被膜の製造方法は、チタンフッ化アンモニウムを含む水
溶液中に（ＮＨ₄）₂ＴｉＦ₆＋２Ｈ₂Ｏ⇔ＴｉＯ₂＋
４ＨＦ＋２ＮＨ₄Ｆの平衡を右に進める添加剤を添加し
て、酸化チタンの過飽和溶液とした処理液を調製し、こ
の処理液と基材とを接触させて、基材の表面に酸化チタ
ン被膜を形成させるにあたって、平行を右に進める添加
剤として塩化アルミニウム及びアンモニアを用いること
を特徴とするものである。

【００１０】また請求項２の発明は、塩化アルミニウム
の処理液中の濃度を、０．１ｍｏｌ／Ｌ〜０．２ｍｏｌ
／Ｌに設定することを特徴とするものである。また請求
項３の発明は、アンモニアの処理液中の濃度を、塩化ア
ルミニウムの濃度の１．０倍〜２．０倍に設定すること
を特徴とするものである。尚、反応式中の「⇔」は平衡
反応を示す符号であり、また「ｍｏｌ／Ｌ」は「モル／
リットル」を意味する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。本発明において、処理液中のチタンフッ化アンモ
ニウム（（ＮＨ₄）₂ＴｉＦ ₆）の濃度は、０．５ｍｏ
ｌ／Ｌ未満であることが望ましい。これよりも高い濃度
に処理液の濃度を設定しようとすると、後述の添加剤と
混合する前のチタンフッ化アンモニウムの濃度を０．５
ｍｏｌ／リットル以上に設定しなければならず、常温で
この濃度にチタンフッ化アンモニウムを水に溶解させる
には非常に時間がかかるかまたは溶解しないので、作業
上好ましくない。フッ化チタンアンモニウムの濃度の下
限は特に設定されないが、十分な製膜速度を得るために
０．０８ｍｏｌ／Ｌより高いことが好ましい。

【００１２】そして本発明では、処理液中で（ＮＨ₄）
₂ＴｉＦ₆＋２Ｈ₂Ｏ⇔ＴｉＯ₂＋４ＨＦ＋２ＮＨ₄Ｆ
の平衡を右に進める添加剤として、塩化アルミニウムを
用いるものであり、チタンフッ化アンモニウム水溶液に
塩化アルミニウムを添加して処理液を調製する。この塩
化アルミニウムの処理液への添加量が少な過ぎると、酸
化チタンが基材の表面に析出しないか、析出するのに時
間がかかって作業上好ましくない。逆に塩化アルミニウ
ムの処理液への添加量が多過ぎると、得られる酸化チタ
ン中にアルミニウムや塩素などの不純物が多く取り込ま
れる恐れがあり、また却って成膜速度の低下を招く恐れ
があって好ましくない。従って添加剤として塩化アルミ
ニウムを用いる場合、処理液中の塩化アルミニウムの濃
度が０．０２ｍｏｌ／Ｌ〜０．２ｍｏｌ／Ｌとなるよう
に塩化アルミニウム水溶液をチタンフッ化アンモニウム
水溶液に添加するのが好ましい。処理液中の塩化アルミ
ニウムのより好ましい濃度は０．１ｍｏｌ／Ｌ〜０．２
ｍｏｌ／Ｌである。

【００１３】しかし、上記のように塩化アルミニウムを
単独でチタンフッ化アンモニウム水溶液に添加して処理
液を調製すると、処理液のｐＨが１以下になり、上記の
平衡反応を右に進めることができない。そこで本発明で
は、平衡反応を右に進める添加剤として塩化アルミニウ
ムの他にアンモニアを併用することによって、処理液の
ｐＨが３以上になるようにｐＨ調整を行なうようにして
いるものである。ｐＨ調整することができるものであれ
ば何でもよいが、得られる酸化チタン中に取り込まれて
も簡単に除去できる点から、本発明ではアンモニアを用
いるようにしている。アンモニアの好ましい添加量は、
処理液中の塩化アルミニウムの濃度に大きく影響される
ものであり、処理液中の塩化アルミニウムの濃度の１．
０〜２．０倍の濃度にアンモニアの濃度がなるように、
つまり（アンモニア濃度）／（塩化アルミニウム濃度）
＝１．０〜２．０になるように、設定するのが好まし
い。（アンモニア濃度）／（塩化アルミニウム濃度）が
２．０を超える場合には、得られる酸化チタン中にアル
ミニウム等の不純物が多く取り込まれる恐れがあるので
好ましくない。逆に（アンモニア濃度）／（塩化アルミ
ニウム濃度）が１．０未満の場合には、酸化チタンが析
出しないか、析出するのに時間がかかって作業上好まし
くない。

【００１４】上記のように調製される処理液の温度は２
５℃以上、１００℃未満であることが好ましい。処理液
の温度が２５℃未満であると、所望の膜厚の酸化チタン
被膜や所望の量の酸化チタン粉末を得るまでに時間がか
かり、生産性が低くなる恐れがある。逆に処理液の温度
が１００℃以上になると、処理液が沸騰してしまい、均
一な酸化チタン被膜の析出が妨げられる恐れがある。

【００１５】一方、本発明において用いる基材として
は、上記処理液と反応しないものあるいは反応しにくい
ものであればよく、例えばガラスを用いることができ
る。また基材の形状は処理液と接触できるものであれば
よく、糸状、板状、壺状のもの、あるいは表面に凹凸の
あるものなど任意の形状のものを用いることができる。
そして上記の処理液に基材を所定時間浸漬することによ
って、基材の表面に酸化チタンを析出させることができ
るものであり、アナターゼ型酸化チタンの含有率が高い
酸化チタンを得ることができる。添加剤として塩化アル
ミニウムとアンモニアを用いることによってアナターゼ
型酸化チタンの含有率が高い酸化チタンを得ることがで
きる理由は明確ではないが、アルミニウムイオンによる
強いフッ素イオンの捕捉力が原因となっていることや、
酸化チタンが析出する前の反応中間体の配位構造が変化
することによってその構造がアナターゼ型酸化チタンの
構造、つまり６配位のチタンがらせん状に連なる形に近
いものになっていることなどが考えられる。このよう
に、結晶性であるアナターゼ型酸化チタンの含有率が高
い酸化チタンを得ることができるので、熱処理なしで
も、例えばこの酸化チタンを光触媒汚れ防止膜として用
いるにあたって高い光触媒活性を得ることができ、汚れ
の付着量が多い場所への応用展開が可能になるものであ
る。またこれを熱処理して用いるにあたっても、より低
い温度での熱処理でより高い結晶性を持つ酸化チタンを
作製することができるものである。

【００１６】尚、上記の反応速度及び析出する酸化チタ
ンの性状や膜厚は、チタンフッ化アンモニウム、塩化ア
ルミニウム、及びアンモニアの各濃度及び反応温度によ
って影響を受けるものであり、各条件を上記の範囲内に
設定することが好ましい。

【００１７】

【実施例】次に、本発明を実施例によって具体的に説明
する。（実施例１）濃度が０．５ｍｏｌ／Ｌの塩化アルミニウ
ム水溶液を４０ｍＬ（ミリリットル）入れた容器を５本
用意した。この塩化アルミニウム水溶液を攪拌しなが
ら、濃度が１．０ｍｏｌ／Ｌのアンモニア水溶液をそれ
ぞれの容器に１５ｍＬ、２０ｍＬ、２５ｍＬ、３０ｍ
Ｌ、３５ｍＬを徐々に滴下した。次に、このアンモニア
を含有する塩化アルミニウム水溶液をそれぞれ７５ｍＬ
となるように水で希釈し、これに濃度が０．４ｍｏｌ／
Ｌのチタンフッ化アンモニウム水溶液２５ｍＬを加えて
混合し、約１００ｍＬの処理液を５種類調製した。

【００１８】この５種類の処理液は、チタンフッ化アン
モニウムの濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌ、塩化アルミニウム
の濃度が０．２ｍｏｌ／Ｌであり、アンモニアの濃度は
それぞれ０．１５ｍｏｌ／Ｌ、０．２０ｍｏｌ／Ｌ、
０．２５ｍｏｌ／Ｌ、０．３０ｍｏｌ／Ｌ、０．３５ｍ
ｏｌ／Ｌであって、（アンモニア濃度）／（塩化アルミ
ニウム濃度）の値はそれぞれ０．７５、１．０、１．２
５、１．５、１．７５であった。

【００１９】一方、縦の長さが７６ｍｍ、横の長さが２
６ｍｍ、厚さが１．１ｍｍのソーダライムガラスを十分
に洗浄、乾燥し、試料の基材とした。そして、上記の５
種類の処理液を４０℃で保持しながら、各処理液にこの
基材を縦長の姿勢にして浸漬した。この際、基材の下部
５０ｍｍまでの部分まで浸漬し、上部２６ｍｍの部分は
処理液に接触しないようにして保持した。

【００２０】３時間経過後は総ての基材に被膜の形成は
観察されなかった。２４時間経過後に基材を引き上げて
水で洗浄して乾燥すると、（アンモニア濃度）／（塩化
アルミニウム濃度）の値が０．７５の処理液に浸漬した
基材には被膜は形成されていなかったが、（アンモニア
濃度）／（塩化アルミニウム濃度）の値が１．０、１．
２５、１．５、１．７５の処理液に浸漬した基材の表面
には白色の酸化チタン被膜が形成されていた。得られた
酸化チタンをＸ線回折測定し、そのチャートの２５．３
°のピークの面積強度によって計算したところ、各酸化
チタンのアナターゼ型酸化チタンの含有量はそれぞれ４
６％、４６％、４０％、４４％であった（表１参照）。

【００２１】（実施例２）濃度が０．５ｍｏｌ／Ｌの塩
化アルミニウム水溶液を２０ｍＬ入れた容器を５本用意
した。この塩化アルミニウム水溶液を攪拌しながら、濃
度が１．０ｍｏｌ／Ｌのアンモニア水溶液をそれぞれの
容器に１０ｍＬ、１５ｍＬ、２０ｍＬ、２５ｍＬ、３０
ｍＬを徐々に滴下した。アンモニア水溶液を３０ｍＬ滴
下した液からは沈澱が生じ、攪拌により溶解しなかった
ので、この液は以後の検討には用いなかった。次に、こ
のアンモニアを含有する塩化アルミニウム水溶液をそれ
ぞれ７５ｍＬとなるように水で希釈し、これに濃度が
０．４ｍｏｌ／Ｌのチタンフッ化アンモニウム水溶液２
５ｍＬを加えて混合し、約１００ｍＬの処理液を５種類
調製した。

【００２２】この５種類の処理液は、チタンフッ化アン
モニウムの濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌ、塩化アルミニウム
の濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌであり、アンモニアの濃度は
それぞれ０．１０ｍｏｌ／Ｌ、０．１５ｍｏｌ／Ｌ、
０．２０ｍｏｌ／Ｌ、０．２５ｍｏｌ／Ｌであって、
（アンモニア濃度）／（塩化アルミニウム濃度）の値は
それぞれ１．０、１．５、２．０、２．５であった。

【００２３】そして、上記の５種類の処理液を４０℃で
保持しながら、各処理液に実施例１と同じ基材を縦長の
姿勢にして浸漬した。この際、基材の下部５０ｍｍまで
の部分まで浸漬し、上部２６ｍｍの部分は処理液に接触
しないようにして保持した。３０分経過後は総ての基材
に被膜の形成は観察されなかった。３時間経過後に基材
を引き上げて水で洗浄して乾燥すると、（アンモニア濃
度）／（塩化アルミニウム濃度）の値が１．０、１．５
の処理液に浸漬した基材の表面には白色半透明の酸化チ
タン被膜が形成されていた。また（アンモニア濃度）／
（塩化アルミニウム濃度）の値が２．０の処理液に浸漬
した基材の表面には青色の干渉色を示す酸化チタン被膜
が形成されていた。また（アンモニア濃度）／（塩化ア
ルミニウム濃度）の値が２．５の処理液に浸漬した基材
の表面にはアルミニウム／チタン複合酸化物の被膜が形
成されていた。得られた酸化チタンを実施例１と同様に
して測定したところ、各酸化チタンのアナターゼ型酸化
チタンの含有量はそれぞれ４２％、４５％、４４％であ
った（表１参照、アルミニウム／チタン複合酸化物につ
いては測定せず）。

【００２４】（実施例３）濃度が０．５ｍｏｌ／Ｌの塩
化アルミニウム水溶液を１０ｍＬ入れた容器を５本用意
した。この塩化アルミニウム水溶液を攪拌しながら、濃
度が１．０ｍｏｌ／Ｌのアンモニア水溶液をそれぞれの
容器に５ｍＬ、７．５ｍＬ、１０ｍＬ、１２．５ｍＬ、
１５ｍＬを徐々に滴下した。アンモニア水溶液を１５ｍ
Ｌ滴下した液からは沈澱が生じ、攪拌により溶解しなか
ったので、この液は以後の検討には用いなかった。次
に、このアンモニアを含有する塩化アルミニウム水溶液
をそれぞれ７５ｍＬとなるように水で希釈し、これに濃
度が０．４ｍｏｌ／Ｌのチタンフッ化アンモニウム水溶
液２５ｍＬを加えて混合し、約１００ｍＬの処理液を５
種類調製した。

【００２５】この５種類の処理液は、チタンフッ化アン
モニウムの濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌ、塩化アルミニウム
の濃度が０．０５ｍｏｌ／Ｌであり、アンモニアの濃度
はそれぞれ０．０５ｍｏｌ／Ｌ、０．０７５ｍｏｌ／
Ｌ、０．１０ｍｏｌ／Ｌ、０．１２５ｍｏｌ／Ｌであっ
て、（アンモニア濃度）／（塩化アルミニウム濃度）の
値はそれぞれ１．０、１．５、２．０、２．５であっ
た。

【００２６】そして、上記の５種類の処理液を４０℃で
保持しながら、各処理液に実施例１と同じ基材を縦長の
姿勢にして浸漬した。この際、基材の下部５０ｍｍまで
の部分まで浸漬し、上部２６ｍｍの部分は処理液に接触
しないようにして保持した。３０分経過後は（アンモニ
ア濃度）／（塩化アルミニウム濃度）の値が２．０、
２．５の処理液に浸漬した基材の表面に青色の干渉色を
示す酸化チタン被膜が形成されていた。それ以外の基材
には被膜の形成は観察されなかった。１時間経過後は、
（アンモニア濃度）／（塩化アルミニウム濃度）の値が
１．５の処理液に浸漬した基材の表面に青色の干渉色を
示す酸化チタン被膜が形成されていた。また３時間経過
後は、（アンモニア濃度）／（塩化アルミニウム濃度）
の値が１．０の処理液に浸漬した基材の表面に無色半透
明の酸化チタン被膜が形成されていた。得られた酸化チ
タンを実施例１と同様にして測定したところ、各酸化チ
タンのアナターゼ型酸化チタンの含有量はそれぞれ４８
％、４７％、４３％、４２％であった（表１参照）。

【００２７】（実施例４）濃度が０．５ｍｏｌ／Ｌの塩
化アルミニウム水溶液を４ｍＬ入れた容器を５本用意し
た。この塩化アルミニウム水溶液を攪拌しながら、濃度
が１．０ｍｏｌ／Ｌのアンモニア水溶液をそれぞれの容
器に２ｍＬ、３ｍＬ、４ｍＬ、５ｍＬ、６ｍＬを徐々に
滴下した。アンモニア水溶液を６ｍＬ滴下した液からは
沈澱が生じ、攪拌により溶解しなかったので、この液は
以後の検討には用いなかった。次に、このアンモニアを
含有する塩化アルミニウム水溶液をそれぞれ７５ｍＬと
なるように水で希釈し、これに濃度が０．４ｍｏｌ／Ｌ
のチタンフッ化アンモニウム水溶液２５ｍＬを加えて混
合し、約１００ｍＬの処理液を５種類調製した。

【００２８】この５種類の処理液は、チタンフッ化アン
モニウムの濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌ、塩化アルミニウム
の濃度が０．０２ｍｏｌ／Ｌであり、アンモニアの濃度
はそれぞれ０．０２ｍｏｌ／Ｌ、０．０３ｍｏｌ／Ｌ、
０．０４ｍｏｌ／Ｌ、０．０５ｍｏｌ／Ｌであって、
（アンモニア濃度）／（塩化アルミニウム濃度）の値は
それぞれ１．０、１．５、２．０、２．５であった。

【００２９】そして、上記の５種類の処理液を４０℃で
保持しながら、各処理液に実施例１と同じ基材を縦長の
姿勢にして浸漬した。この際、基材の下部５０ｍｍまで
の部分まで浸漬し、上部２６ｍｍの部分は処理液に接触
しないようにして保持した。３時間経過後は総ての基材
に被膜の形成は観察されなかった。２４時間経過後に基
材を引き上げて水で洗浄して乾燥すると、（アンモニア
濃度）／（塩化アルミニウム濃度）の値が１．０の処理
液に浸漬した基材には被膜は形成されていなかったが、
（アンモニア濃度）／（塩化アルミニウム濃度）の値が
１．５、２．０、２．５の処理液に浸漬した基材の表面
には白色の酸化チタン被膜が形成されていた。得られた
酸化チタンを実施例１と同様にして測定したところ、各
酸化チタンのアナターゼ型酸化チタンの含有量はそれぞ
れ４２％、４３％、４０％であった（表１参照）。

【００３０】（比較例１）濃度が０．４ｍｏｌ／Ｌのチ
タンフッ化アンモニウム水溶液を２５ｍ／Ｌ用意した。
このチタンフッ化アンモニウム水溶液に水を加えて６０
ｍ／Ｌとなるように希釈し、濃度が０．５ｍｏｌ／ｌの
ほう酸水溶液４ｍ／Ｌを混合し、約１００ｍＬの処理液
を調製した。この処理液中のチタンフッ化アンモニウム
の濃度は０．１ｍｏｌ／Ｌであり、ほう酸の濃度は０．
２ｍｏｌ／Ｌであった。

【００３１】そして、この処理液を４０℃で保持しなが
ら、実施例１と同じ基材を縦長の姿勢にして浸漬した。
この際、基材の下部５０ｍｍまでの部分まで浸漬し、上
部２６ｍｍの部分は処理液に接触しないようにして保持
した。６０分経過後、基材を引き上げて水で洗浄して乾
燥したところ、基材の表面には白色の酸化チタン被膜が
形成されていた。得られた酸化チタンを実施例１と同様
にして測定したところ、アナターゼ型酸化チタンの含有
量は３８％であった。

【００３２】

【表１】

【００３３】

【発明の効果】上記のように本発明は、チタンフッ化ア
ンモニウムを含む水溶液中に（ＮＨ₄）₂ＴｉＦ₆＋２
Ｈ₂Ｏ⇔ＴｉＯ₂＋４ＨＦ＋２ＮＨ₄Ｆの平衡を右に進
める添加剤を添加して、酸化チタンの過飽和溶液とした
処理液を調製し、この処理液と基材とを接触させて、基
材の表面に酸化チタン被膜を形成させるにあたって、平
行を右に進める添加剤として塩化アルミニウムとアンモ
ニアを用いるようにしたので、塩化アルミニウムとアン
モニアの作用で、アナターゼ型酸化チタンの含有量の多
い酸化チタン被膜を析出させることができるものであ
る。

【００３４】また請求項２の発明は、塩化アルミニウム
の処理液中の濃度を、０．１ｍｏｌ／Ｌ〜０．２ｍｏｌ
／Ｌに設定するようにしたので、酸化チタンの析出速度
が遅くなったり、酸化チタン中に不純物が多く取り込ま
れたりする恐れなく、酸化チタン被膜を析出させること
ができるものである。また請求項３の発明は、アンモニ
アの処理液中の濃度を、塩化アルミニウムの濃度の１．
０倍〜２．０倍に設定するようにしたので、酸化チタン
の析出速度が遅くなったり、酸化チタン中に不純物が多
く取り込まれたりする恐れなく、酸化チタン被膜を析出
させることができるものである。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】チタンフッ化アンモニウムを含む水溶液
中に（ＮＨ₄）₂ＴｉＦ₆＋２Ｈ₂Ｏ⇔ＴｉＯ₂＋４Ｈ
Ｆ＋２ＮＨ₄Ｆの平衡を右に進める添加剤を添加して、
酸化チタンの過飽和溶液とした処理液を調製し、この処
理液と基材とを接触させて、基材の表面に酸化チタン被
膜を形成させるにあたって、平行を右に進める添加剤と
して塩化アルミニウムとアンモニアを用いることを特徴
とする酸化チタン被膜の製造方法。
【請求項２】塩化アルミニウムの処理液中の濃度を、
０．１ｍｏｌ／Ｌ〜０．２ｍｏｌ／Ｌに設定することを
特徴とする請求項１に記載の酸化チタン被膜の製造方
法。
【請求項３】アンモニアの処理液中の濃度を、塩化ア
ルミニウムの濃度の１．０倍〜２．０倍に設定すること
を特徴とする請求項１又は２に記載の酸化チタン被膜の
製造方法。