JPH04132636A - 酸化チタン被膜の製造方法 - Google Patents
酸化チタン被膜の製造方法Info
- Publication number
- JPH04132636A JPH04132636A JP25382890A JP25382890A JPH04132636A JP H04132636 A JPH04132636 A JP H04132636A JP 25382890 A JP25382890 A JP 25382890A JP 25382890 A JP25382890 A JP 25382890A JP H04132636 A JPH04132636 A JP H04132636A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- titanium
- titanium oxide
- aqueous solution
- substrate
- coating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 24
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 18
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title abstract description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title abstract 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title abstract 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims abstract description 17
- BFDQRLXGNLZULX-UHFFFAOYSA-N titanium hydrofluoride Chemical compound F.[Ti] BFDQRLXGNLZULX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims abstract description 10
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- LLZRNZOLAXHGLL-UHFFFAOYSA-J titanic acid Chemical compound O[Ti](O)(O)O LLZRNZOLAXHGLL-UHFFFAOYSA-J 0.000 claims abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 6
- 229910000349 titanium oxysulfate Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 abstract description 11
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 abstract description 10
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 abstract description 7
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 abstract description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 229910001510 metal chloride Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 abstract description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 abstract description 2
- 101100396546 Neurospora crassa (strain ATCC 24698 / 74-OR23-1A / CBS 708.71 / DSM 1257 / FGSC 987) tif-6 gene Proteins 0.000 abstract 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 5
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010342 TiF4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010336 TiFe2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- DCKVFVYPWDKYDN-UHFFFAOYSA-L oxygen(2-);titanium(4+);sulfate Chemical compound [O-2].[Ti+4].[O-]S([O-])(=O)=O DCKVFVYPWDKYDN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910000348 titanium sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- XROWMBWRMNHXMF-UHFFFAOYSA-J titanium tetrafluoride Chemical compound [F-].[F-].[F-].[F-].[Ti+4] XROWMBWRMNHXMF-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は酸化チタン被膜の製造方法に関し、特に液相で
の析出現象を利用して処理溶液と基材とを接触させて基
材表面に酸化チタン被膜を形成させる酸化チタン被膜の
製造方法に関する。
の析出現象を利用して処理溶液と基材とを接触させて基
材表面に酸化チタン被膜を形成させる酸化チタン被膜の
製造方法に関する。
従来、チタンフッ化水素酸にホウ酸あるいは塩化アルミ
などの反応開始剤を添加した処理液とガラス基材とを接
触させてガラス表面に酸化チタン被膜を形成させる方法
が知られている。 （特開平〔発明が解決しようとする
問題点〕 通常、チタンフッ化水素酸は水溶液中でＴｉＦｅ２のよ
うな錯体で存在すると考えられる。上記液相析出法では
、こ・の水溶液にホウ酸などの反応開始剤を添加するこ
とでＴｉＯ２の析出を促す。この時、ＴｉＦｓ２−錯体
はＴｉＦｓ（叶）２−やＴｉＦ４（ＯＨ）２２−など多
くの錯体を経てＴｉＯ２として析出すると思われる。
などの反応開始剤を添加した処理液とガラス基材とを接
触させてガラス表面に酸化チタン被膜を形成させる方法
が知られている。 （特開平〔発明が解決しようとする
問題点〕 通常、チタンフッ化水素酸は水溶液中でＴｉＦｅ２のよ
うな錯体で存在すると考えられる。上記液相析出法では
、こ・の水溶液にホウ酸などの反応開始剤を添加するこ
とでＴｉＯ２の析出を促す。この時、ＴｉＦｓ２−錯体
はＴｉＦｓ（叶）２−やＴｉＦ４（ＯＨ）２２−など多
くの錯体を経てＴｉＯ２として析出すると思われる。
したがって、この方法では反応開始剤添加後、成膜まで
の時間が長くなり、成膜効率がよいとは言い難かった。
の時間が長くなり、成膜効率がよいとは言い難かった。
そこで成膜開始までの時間を短縮し、被膜の形成効率を
よくすることが望まれている。
よくすることが望まれている。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
上記液相析出法において反応開始剤添加以前にチタンフ
ッ化水素酸水溶液にＴｉを含む添加剤を添加溶解し、水
溶液中のＦに対するＴｉ濃度（Ｔ１／Ｆ）を高め、あら
かじめＴｉＦｅ２−からＦの少ない錯体へと変化させて
おくことを特徴とする。
上記液相析出法において反応開始剤添加以前にチタンフ
ッ化水素酸水溶液にＴｉを含む添加剤を添加溶解し、水
溶液中のＦに対するＴｉ濃度（Ｔ１／Ｆ）を高め、あら
かじめＴｉＦｅ２−からＦの少ない錯体へと変化させて
おくことを特徴とする。
そのことにより、ＴｉＯ２の析出まで、つまり成膜開始
までの時間が短縮できる。
までの時間が短縮できる。
本発明に用いられる添加剤はＴｉを含み、チタンフッ化
水素酸に、溶解するものであればなんでもよい。例えば
硫酸チタン、硫酸チタニル、水酸化チタン、金属チタン
などが例示できる。金属チタンを溶解する場合、金属チ
タンだけでは溶液中のＴｉ４１イオンが還元され、Ｔｉ
ｈ・ｎＨ２Ｏなどとなって沈澱してくるため、過酸化水
素水等の酸化剤を用いて溶液中のＴｉイオンをＴｉ”″
の状態に保つ必要がある。これらを溶解して得られた処
理液濃度の最大値の一例を以下に示す。
水素酸に、溶解するものであればなんでもよい。例えば
硫酸チタン、硫酸チタニル、水酸化チタン、金属チタン
などが例示できる。金属チタンを溶解する場合、金属チ
タンだけでは溶液中のＴｉ４１イオンが還元され、Ｔｉ
ｈ・ｎＨ２Ｏなどとなって沈澱してくるため、過酸化水
素水等の酸化剤を用いて溶液中のＴｉイオンをＴｉ”″
の状態に保つ必要がある。これらを溶解して得られた処
理液濃度の最大値の一例を以下に示す。
また、本発明に用いるチタンフッ化水素酸水溶液は任意
の濃度で使用できるが、酸化チタン被膜の形成速度及び
作業性等の問題から０．１モル／リットル以上の濃度で
あることが好ましい。
の濃度で使用できるが、酸化チタン被膜の形成速度及び
作業性等の問題から０．１モル／リットル以上の濃度で
あることが好ましい。
反応開始剤の添加量はチタンフッ化水素酸水溶液の溶液
の濃度および温度、添加剤の種類、形態、濃度等により
調整されるが、１１２ＴｉＦｅ １モルに対して４〜５
０モルの割合で添加されることが必要である。添加量が
下限よりも少ないと基板がエツチングされたりする場合
が生じ易く、添加量が上限よりも多いと溶液中に沈澱な
どを生じ易くなる。
の濃度および温度、添加剤の種類、形態、濃度等により
調整されるが、１１２ＴｉＦｅ １モルに対して４〜５
０モルの割合で添加されることが必要である。添加量が
下限よりも少ないと基板がエツチングされたりする場合
が生じ易く、添加量が上限よりも多いと溶液中に沈澱な
どを生じ易くなる。
該添加剤としては、金属酸化物、金属水酸化物、ホウ酸
、金属塩化物等チタンフッ化水素酸水溶液を酸化チタン
過飽和常態とするものならば任意の形状（粉末状、水溶
液状）で使用することができる。
、金属塩化物等チタンフッ化水素酸水溶液を酸化チタン
過飽和常態とするものならば任意の形状（粉末状、水溶
液状）で使用することができる。
酸化チタンを析出させる共材としては、該添加剤の添加
されたチタンフッ化水素酸の溶液と反応しないかまたは
反応しにくい基板であれば使用することができる。また
糸状、線状、管状、板状、壷状など任意の形状の基材に
適用することができる。
されたチタンフッ化水素酸の溶液と反応しないかまたは
反応しにくい基板であれば使用することができる。また
糸状、線状、管状、板状、壷状など任意の形状の基材に
適用することができる。
以下、水酸化チタンを添加剤として用いた実施例におい
て本願発明を詳述する。
て本願発明を詳述する。
３．３８モル／リットルのチタンフッ化水素酸４リツト
ルをビーカーに取り、これにα型水酸化チタン（Ｔｉ（
ＯＨ）４） ５００ｇを加え、４０°Ｃにて１６時間撹
拌した。その後１日静匿し、水酸化チタンの沈澱ができ
ていることを確認した後フィルターで未溶解物を除去し
処理液とした。処理液中のＦに対するＴｉ濃度（Ｔｉ／
Ｆ）は ０．２４００であった。
ルをビーカーに取り、これにα型水酸化チタン（Ｔｉ（
ＯＨ）４） ５００ｇを加え、４０°Ｃにて１６時間撹
拌した。その後１日静匿し、水酸化チタンの沈澱ができ
ていることを確認した後フィルターで未溶解物を除去し
処理液とした。処理液中のＦに対するＴｉ濃度（Ｔｉ／
Ｆ）は ０．２４００であった。
また、ｋｔｚ 横５０ ｍｍ、 厚さ１ｍｍのソー
ダライムガラスを充分に洗浄、乾燥し、試料基材とした
。
ダライムガラスを充分に洗浄、乾燥し、試料基材とした
。
該処理液１．５ミリリツトルと０．５モル／リットルの
ホウ酸水溶液３００ミリリツトルを３５°Ｃで３０分間
、撹拌・混合した後、該試料基材を浸漬した。４時間後
、試料基材を取り出し、膜厚を測定したところ約４０ｎ
ｍの酸化チタン膜が形成されていた。
ホウ酸水溶液３００ミリリツトルを３５°Ｃで３０分間
、撹拌・混合した後、該試料基材を浸漬した。４時間後
、試料基材を取り出し、膜厚を測定したところ約４０ｎ
ｍの酸化チタン膜が形成されていた。
比較例として、本願発明のようにホウ酸などの反応開始
剤を加える前のチタンフッ化水素酸の水溶液に、チタン
を含む添加剤をくわえることをしない場合（従来の方法
）は、試料基材を浸漬した後８時間目にしてはじめて約
４０ｎｍの酸化チタン膜が形成された。
剤を加える前のチタンフッ化水素酸の水溶液に、チタン
を含む添加剤をくわえることをしない場合（従来の方法
）は、試料基材を浸漬した後８時間目にしてはじめて約
４０ｎｍの酸化チタン膜が形成された。
〔実施例２〕
３．３８モル／リットルのチタンフッ化水素酸４リツト
ルをビーカーに取り、これに金属チタン１３０ｇを少量
ずつ加え、同時に適当量の過酸化水素酸をＴｉ３°の着
色が起こらない程度に加えながら４０°Ｃにて１６時間
撹拌し、これを処理液とした。処理液中のＦに対するＴ
ｉ濃度（Ｔｉ／Ｆ）は ０．３９４８であった。
ルをビーカーに取り、これに金属チタン１３０ｇを少量
ずつ加え、同時に適当量の過酸化水素酸をＴｉ３°の着
色が起こらない程度に加えながら４０°Ｃにて１６時間
撹拌し、これを処理液とした。処理液中のＦに対するＴ
ｉ濃度（Ｔｉ／Ｆ）は ０．３９４８であった。
また、縦、横５０ｍｍ５ 厚さ１ｍｌ１１のソーダラ
イムガラスを充分に洗浄、乾燥し、試料基材とした。
イムガラスを充分に洗浄、乾燥し、試料基材とした。
該処理液１．５ミリリツトルと０，５モル／リットルの
ホウ酸水溶液３００ミリリツトルを３５゛Ｃで３０分間
、撹拌・混合した後、該試料用材を浸漬した。２時間後
、試料基材を取り出し、膜厚を測定したところ約４０ｎ
ｍの酸化チタン膜が形成されていた。
ホウ酸水溶液３００ミリリツトルを３５゛Ｃで３０分間
、撹拌・混合した後、該試料用材を浸漬した。２時間後
、試料基材を取り出し、膜厚を測定したところ約４０ｎ
ｍの酸化チタン膜が形成されていた。
チタンフッ化水素酸に水酸化チタン、硫酸チタニル、金
属チタンなどＴｉを含む添加剤を添加することによって
、水溶液中のＴｉ濃度を高め、遊離フッ素の存在を少な
くしている。そのことにより、成膜開始までの時間を短
縮し、被膜の形成効率をよくすることができるに至った
。
属チタンなどＴｉを含む添加剤を添加することによって
、水溶液中のＴｉ濃度を高め、遊離フッ素の存在を少な
くしている。そのことにより、成膜開始までの時間を短
縮し、被膜の形成効率をよくすることができるに至った
。
Claims (1)
- チタンフッ化水素酸を含む水溶液中に反応開始剤を添
加して過飽和溶液とした処理液と基材とを接触させて、
基材表面に酸化チタン被膜を形成させる酸化チタン被膜
の製造方法において、該チタンフッ化水素酸を含む水溶
液に水酸化チタン、硫酸チタニル、金属チタンなどＴｉ
を含む添加剤を添加し、Ｆに対するＴｉ濃度（Ｔｉ／Ｆ
）を高め、あらかじめＦの少ない錯体としておくことを
特徴とした酸化チタン被膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25382890A JP2870170B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 酸化チタン被膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25382890A JP2870170B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 酸化チタン被膜の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04132636A true JPH04132636A (ja) | 1992-05-06 |
| JP2870170B2 JP2870170B2 (ja) | 1999-03-10 |
Family
ID=17256700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25382890A Expired - Lifetime JP2870170B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 酸化チタン被膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2870170B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6066359A (en) * | 1996-09-13 | 2000-05-23 | Takeshi Yao | Process for producing titanium oxide thin film, and photocatalyst |
| US6355308B1 (en) * | 1997-12-18 | 2002-03-12 | Hoya Corporation | Methods for producing oxides or composites thereof |
| JP2007113047A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-05-10 | Nippon Steel Corp | 表面処理反応性に優れた処理溶液 |
| EP1978131A1 (de) * | 2007-03-29 | 2008-10-08 | Atotech Deutschland Gmbh | Mittel zur Herstellung von Korrosionsschutzschichten auf Metalloberflächen |
| CN105271803A (zh) * | 2015-11-01 | 2016-01-27 | 吴姣 | 一种自洁玻璃的制备方法 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP25382890A patent/JP2870170B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6066359A (en) * | 1996-09-13 | 2000-05-23 | Takeshi Yao | Process for producing titanium oxide thin film, and photocatalyst |
| US6355308B1 (en) * | 1997-12-18 | 2002-03-12 | Hoya Corporation | Methods for producing oxides or composites thereof |
| US6589906B2 (en) | 1997-12-18 | 2003-07-08 | Hoya Corporation | Methods for producing oxides or composites thereof |
| JP2007113047A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-05-10 | Nippon Steel Corp | 表面処理反応性に優れた処理溶液 |
| JP4685586B2 (ja) * | 2005-10-19 | 2011-05-18 | 新日本製鐵株式会社 | 表面処理反応性に優れた処理溶液 |
| EP1978131A1 (de) * | 2007-03-29 | 2008-10-08 | Atotech Deutschland Gmbh | Mittel zur Herstellung von Korrosionsschutzschichten auf Metalloberflächen |
| WO2008119675A1 (de) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Atotech Deutschland Gmbh | Mittel zur herstellung von korrosionsschutzschichten auf metalloberflächen |
| US8764916B2 (en) | 2007-03-29 | 2014-07-01 | Atotech Deutschland Gmbh | Agent for the production of anti-corrosion layers on metal surfaces |
| KR101493458B1 (ko) * | 2007-03-29 | 2015-02-13 | 아토테크 도이칠란드 게엠베하 | 금속 표면 위에 항-부식층의 제조를 위한 제제 |
| CN105271803A (zh) * | 2015-11-01 | 2016-01-27 | 吴姣 | 一种自洁玻璃的制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2870170B2 (ja) | 1999-03-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR970703282A (ko) | 페로브스카이트형 복합 산화물 석출물의 제조 방법(process for preparing precipitate of perovskite composite oxide) | |
| KR101493458B1 (ko) | 금속 표면 위에 항-부식층의 제조를 위한 제제 | |
| US5073408A (en) | Method of depositing a silicon dioxide film | |
| JPH0971418A (ja) | チタニア膜形成法 | |
| JPH0859235A (ja) | 酸化セリウム及び酸化チタンを基とするコロイド分散体、その製造方法、基材のコーティングへのその利用及びこうしてコーティングされた基材 | |
| JP3502904B2 (ja) | チタン含有水溶液の製造方法 | |
| JPH04132636A (ja) | 酸化チタン被膜の製造方法 | |
| JP2541269B2 (ja) | 酸化物薄膜の製造方法 | |
| JP7342227B2 (ja) | タンタル酸分散液及びタンタル酸化合物 | |
| JP2785433B2 (ja) | 酸化チタン被膜の製造方法 | |
| JP3350864B2 (ja) | 超薄ジルコンコーティングの製造方法 | |
| JP3372435B2 (ja) | 酸化チタン被膜の製造方法 | |
| WO2021161550A1 (ja) | ニオブ酸水溶液 | |
| JPH0193443A (ja) | 酸化チタン被膜の製造方法 | |
| JP3694900B2 (ja) | シリカ系被膜の製造方法 | |
| JP3490012B2 (ja) | 結晶性チタン酸化物粒子分散液体の製造方法 | |
| JPH10297921A (ja) | 酸化チタン被膜の製造方法 | |
| JP7187652B2 (ja) | ニオブ酸水溶液 | |
| Liu et al. | Sol–gel precursor inks and films | |
| JP3846817B2 (ja) | リン酸カルシウム系被膜の製造方法 | |
| JP2000272921A (ja) | 酸化チタン粉末の製造方法及び酸化チタン被膜の製造方法 | |
| JPH0753575B2 (ja) | 酸化セリウムゾルの製造方法 | |
| JPH10158010A (ja) | 酸化珪素被膜の製造方法 | |
| Hurlen | Film growth on copper in acidified cupric chloride solutions | |
| JPH09308833A (ja) | 光触媒含有繊維複合体の製造方法 |