JPH11125598A - 呈色反応テープ式アンモニアガス測定装置 - Google Patents
呈色反応テープ式アンモニアガス測定装置Info
- Publication number
- JPH11125598A JPH11125598A JP30932797A JP30932797A JPH11125598A JP H11125598 A JPH11125598 A JP H11125598A JP 30932797 A JP30932797 A JP 30932797A JP 30932797 A JP30932797 A JP 30932797A JP H11125598 A JPH11125598 A JP H11125598A
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- JP
- Japan
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- gas
- tape
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- signal
- environment
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- Pending
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- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 検出テープの検出感度に拘束されることな
く、低い濃度のガスを測定すること。 【解決手段】 ガス検出テープ２の搬送路に対向して配
置された発光ダイオード７とフォトダイオード８を収容
し、被測定環境のガスをガス検出テープ２に供給するガ
ス導入口６を有する測定ヘッド４と、測定開始により作
動し、またフォトダイオード８からの信号が基準値に一
致した時点で停止する計時手段１４と、計時手段の時間
を検量データに基づいてアンモニアガスの濃度に変換す
る検量データ読出手段１６と手段とを備え、環境に晒さ
れても変色しない程度の検出テープに対してフォトダイ
オード８の信号が基準値に到達するまでサンプリングを
継続することにより、極めて濃度の低いアンモニアガス
により反応痕を生じさせる。
く、低い濃度のガスを測定すること。 【解決手段】 ガス検出テープ２の搬送路に対向して配
置された発光ダイオード７とフォトダイオード８を収容
し、被測定環境のガスをガス検出テープ２に供給するガ
ス導入口６を有する測定ヘッド４と、測定開始により作
動し、またフォトダイオード８からの信号が基準値に一
致した時点で停止する計時手段１４と、計時手段の時間
を検量データに基づいてアンモニアガスの濃度に変換す
る検量データ読出手段１６と手段とを備え、環境に晒さ
れても変色しない程度の検出テープに対してフォトダイ
オード８の信号が基準値に到達するまでサンプリングを
継続することにより、極めて濃度の低いアンモニアガス
により反応痕を生じさせる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、大気などの気体
中に存在するアンモニアガスを検知紙上の呈色反応とし
て検出する測定装置に関する。
中に存在するアンモニアガスを検知紙上の呈色反応とし
て検出する測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体製造工程等のクリーンルー
ムにあっては、人体や壁材から放出される極僅かなアン
モニアガスが製品の品質を大きく左右するため、特開平
7-83911号公報に見られるようにフルオレセイン系染料
と、環境中の被検ガス等による反応を防止するバッファ
成分としての強酸性有機酸とを保湿剤とともに紙葉体に
担体に担持させた検知紙を用い、被検ガスを検知紙を透
過させることにより塩基性ガスが保湿剤に保持されてい
る水分に溶解して紙葉体をアルカリ側に変移させ、フル
オレセイン系染料を水素イオン濃度に対応させて発色さ
せて検出するガス検出紙が提案されている。
ムにあっては、人体や壁材から放出される極僅かなアン
モニアガスが製品の品質を大きく左右するため、特開平
7-83911号公報に見られるようにフルオレセイン系染料
と、環境中の被検ガス等による反応を防止するバッファ
成分としての強酸性有機酸とを保湿剤とともに紙葉体に
担体に担持させた検知紙を用い、被検ガスを検知紙を透
過させることにより塩基性ガスが保湿剤に保持されてい
る水分に溶解して紙葉体をアルカリ側に変移させ、フル
オレセイン系染料を水素イオン濃度に対応させて発色さ
せて検出するガス検出紙が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような検出紙は、
強酸性有機酸の濃度を下げることにより検出感度を上げ
ることができるものの、環境中に含まれる成分の影響を
受けて未使用領域に変色を来して測定結果に誤差を招く
という問題がある。本発明はこのような問題に鑑みてな
されたものであって、その目的とするところは環境中の
被検ガスによる変色を防止しつつ、極めて低い濃度のア
ンモニアガスを測定できる呈色反応テープ式アンモニア
ガス測定装置を提供することである。
強酸性有機酸の濃度を下げることにより検出感度を上げ
ることができるものの、環境中に含まれる成分の影響を
受けて未使用領域に変色を来して測定結果に誤差を招く
という問題がある。本発明はこのような問題に鑑みてな
されたものであって、その目的とするところは環境中の
被検ガスによる変色を防止しつつ、極めて低い濃度のア
ンモニアガスを測定できる呈色反応テープ式アンモニア
ガス測定装置を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、ガス検出テープの搬送路に
対向して配置された発光手段と受光手段を収容し、被測
定環境のガスをガス検出テープに供給するガス導入口を
有する測定ヘッドと、測定開始により作動し、また前記
受光手段からの信号が基準値に一致した時点で停止する
計時手段と、前記計時手段の時間を検量データに基づい
て被検ガスの濃度に変換する手段とを備えるようにし
た。
るために本発明においては、ガス検出テープの搬送路に
対向して配置された発光手段と受光手段を収容し、被測
定環境のガスをガス検出テープに供給するガス導入口を
有する測定ヘッドと、測定開始により作動し、また前記
受光手段からの信号が基準値に一致した時点で停止する
計時手段と、前記計時手段の時間を検量データに基づい
て被検ガスの濃度に変換する手段とを備えるようにし
た。
【０００５】
【作用】環境に晒されても変色しない程度の感度を有す
るアンモニアガス検出テープを用いても、受光手段の信
号が基準値に到達するまでサンプリングを継続して積分
効果を十分に活かし、もって極めて濃度の低いアンモニ
アガスにより反応痕を生じさせる。
るアンモニアガス検出テープを用いても、受光手段の信
号が基準値に到達するまでサンプリングを継続して積分
効果を十分に活かし、もって極めて濃度の低いアンモニ
アガスにより反応痕を生じさせる。
【０００６】
【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図１は本発明の一実施例を示すも
のであって、カセット１は、フルオレセイン系染料と、
環境中の被検ガス等による反応を防止するバッファ成分
としての強酸性有機酸とを保湿剤とともに紙葉体に担体
に担持させたアンモニアガス検出テープ２を収容して構
成され、その窓３の両側にテープ２を挟むように測定ヘ
ッド４と、吸引ヘッド５とが配置されている。
に基づいて説明する。図１は本発明の一実施例を示すも
のであって、カセット１は、フルオレセイン系染料と、
環境中の被検ガス等による反応を防止するバッファ成分
としての強酸性有機酸とを保湿剤とともに紙葉体に担体
に担持させたアンモニアガス検出テープ２を収容して構
成され、その窓３の両側にテープ２を挟むように測定ヘ
ッド４と、吸引ヘッド５とが配置されている。
【０００７】測定ヘッド４は、被検出ガスの導入口６が
形成された遮光容器として構成されていて、内部に発光
ダイオード７とフォトダイオード８とが、検出テープ２
上に形成された反応痕を検出できるように入反射関係を
持たせて収容され、パイプ９により被測定環境に連通す
るように構成されている。
形成された遮光容器として構成されていて、内部に発光
ダイオード７とフォトダイオード８とが、検出テープ２
上に形成された反応痕を検出できるように入反射関係を
持たせて収容され、パイプ９により被測定環境に連通す
るように構成されている。
【０００８】吸引ヘッド５は、導入口６と対向するよう
に流出口１０を穿設がされ、パイプ１１を介して図示し
ない吸引ポンプからの負圧を受けている。
に流出口１０を穿設がされ、パイプ１１を介して図示し
ない吸引ポンプからの負圧を受けている。
【０００９】図中符号１２は、信号処理装置で、フォト
ダイオード８からの信号が基準値に一致した場合に信号
を出力する光学濃度検出手段１３と、測定開始信号によ
り作動し、また光学濃度検出手段１３からの信号により
計時動作を停止する計時手段１４と、図３に示したよう
にサンプリング時間とガス濃度との関係、つまり検量線
データを格納した検量データ記憶手段１５と、計時手段
１４の計時時間に基づいて記憶手段１５からガス濃度を
読み出して表示手段１７に出力する検量データ読出手段
１６とから構成されている。
ダイオード８からの信号が基準値に一致した場合に信号
を出力する光学濃度検出手段１３と、測定開始信号によ
り作動し、また光学濃度検出手段１３からの信号により
計時動作を停止する計時手段１４と、図３に示したよう
にサンプリング時間とガス濃度との関係、つまり検量線
データを格納した検量データ記憶手段１５と、計時手段
１４の計時時間に基づいて記憶手段１５からガス濃度を
読み出して表示手段１７に出力する検量データ読出手段
１６とから構成されている。
【００１０】この実施例において、カセット１の窓３か
ら露出している領域の検出テープ２を測定ヘッド４と吸
引ヘッド５とで挟持し、測定を開始すると（ステップ
イ）、計時手段１４が帰零されてから計時動作を開始し
（ステップ ロ）、また図示しない吸引ポンプを作動さ
せる。
ら露出している領域の検出テープ２を測定ヘッド４と吸
引ヘッド５とで挟持し、測定を開始すると（ステップ
イ）、計時手段１４が帰零されてから計時動作を開始し
（ステップ ロ）、また図示しない吸引ポンプを作動さ
せる。
【００１１】被検ガスは、パイプ９を経由して測定ヘッ
ド４に被測定ガスが吸い込まれ、測定ヘッド４から検出
テープ２を通過して吸引ヘッド５に移動する過程で検出
テープ２に含浸されている薬剤と反応してこれの表面に
アンモニアガスの濃度と時間との積に対応した濃度で反
応痕を生じさせる。
ド４に被測定ガスが吸い込まれ、測定ヘッド４から検出
テープ２を通過して吸引ヘッド５に移動する過程で検出
テープ２に含浸されている薬剤と反応してこれの表面に
アンモニアガスの濃度と時間との積に対応した濃度で反
応痕を生じさせる。
【００１２】この過程で発光ダイオード７から放射され
た光は、検出テープ２の表面に形成された反応痕の光学
的濃度に応じて吸収を受けて反射され、フォトダイオー
ド８に入射して電気信号に変換される。光学濃度検出手
段１３は、フォトダイオード８からの信号と基準値とを
比較し、一致した時点で（ステップ ハ）信号を出力し
て計時手段１４の計時動作を停止させる（ステップ
ニ）。
た光は、検出テープ２の表面に形成された反応痕の光学
的濃度に応じて吸収を受けて反射され、フォトダイオー
ド８に入射して電気信号に変換される。光学濃度検出手
段１３は、フォトダイオード８からの信号と基準値とを
比較し、一致した時点で（ステップ ハ）信号を出力し
て計時手段１４の計時動作を停止させる（ステップ
ニ）。
【００１３】検量データ読出手段１６は、計時手段１４
に計時されている時間に一致する濃度を検量データ記憶
手段１５から読み出し、表示手段１７にガス濃度を出力
する（ステップ ホ）。１回の測定が終了した段階で、
検出テープ２を１コマ分紙送りして次の測定に移る（ス
テップ ヘ）。
に計時されている時間に一致する濃度を検量データ記憶
手段１５から読み出し、表示手段１７にガス濃度を出力
する（ステップ ホ）。１回の測定が終了した段階で、
検出テープ２を１コマ分紙送りして次の測定に移る（ス
テップ ヘ）。
【００１４】このように、フォトダイオード８からの信
号のレベルが基準値に到達するまでサンプリングを継続
するから、高い濃度のガスが測定ヘッド４に流入した場
合には、検出テープ２が飽和する以前に光学濃度を検出
してガスの濃度を検出することができ、また極めて低い
濃度のガスが測定ヘッド４に流入している場合には、積
分効果を十分に活かすことができるまでサンプリング時
間を自動的に延長して検出する。
号のレベルが基準値に到達するまでサンプリングを継続
するから、高い濃度のガスが測定ヘッド４に流入した場
合には、検出テープ２が飽和する以前に光学濃度を検出
してガスの濃度を検出することができ、また極めて低い
濃度のガスが測定ヘッド４に流入している場合には、積
分効果を十分に活かすことができるまでサンプリング時
間を自動的に延長して検出する。
【００１５】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、ガス検出テープの搬送路に対向して配置された発光
手段と受光手段を収容し、被測定環境のガスをガス検出
テープに供給するガス導入口を有する測定ヘッドと、測
定開始により作動し、また受光手段からの信号が基準値
に一致した時点で停止する計時手段と、計時手段の時間
を検量データに基づいて被検ガスの濃度に変換する手段
とを備えたので、受光手段の信号が基準値に到達するま
でサンプリングを継続して、積分効果を十分に活かして
ガスを検出することができて、環境中に晒されても変色
しない程度の検出感度のテープを用いて極めて低い濃度
のアンモニアガスを高い精度で測定することができる。
は、ガス検出テープの搬送路に対向して配置された発光
手段と受光手段を収容し、被測定環境のガスをガス検出
テープに供給するガス導入口を有する測定ヘッドと、測
定開始により作動し、また受光手段からの信号が基準値
に一致した時点で停止する計時手段と、計時手段の時間
を検量データに基づいて被検ガスの濃度に変換する手段
とを備えたので、受光手段の信号が基準値に到達するま
でサンプリングを継続して、積分効果を十分に活かして
ガスを検出することができて、環境中に晒されても変色
しない程度の検出感度のテープを用いて極めて低い濃度
のアンモニアガスを高い精度で測定することができる。
【図１】本発明のテープ式ガス測定装置の一実施例を示
す図である。
す図である。
【図２】検量データの一実施例を示す線図である。
【図３】同上装置の動作を示すフローチャートである。
２ ガス検出テープ ７ 発光ダイオード ８ フォトダイオード １２ 信号処理装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 明弘 東京都板橋区小豆沢２丁目７番６号 理研 計器株式会社内 (72)発明者 鹿島 啓正 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内 (72)発明者 井坂 正洋 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 ガス検出テープの搬送路に対向して配置
された発光手段と受光手段を収容し、被測定環境のガス
をガス検出テープに供給するガス導入口を有する測定ヘ
ッドと、 測定開始により作動し、また前記受光手段からの信号が
基準値に一致した時点で停止する計時手段と、 前記計時手段の時間を検量データに基づいて被検ガスの
濃度に変換する手段と、 を備えてなる呈色反応テープ式アンモニアガス測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30932797A JPH11125598A (ja) | 1997-10-23 | 1997-10-23 | 呈色反応テープ式アンモニアガス測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30932797A JPH11125598A (ja) | 1997-10-23 | 1997-10-23 | 呈色反応テープ式アンモニアガス測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11125598A true JPH11125598A (ja) | 1999-05-11 |
Family
ID=17991689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30932797A Pending JPH11125598A (ja) | 1997-10-23 | 1997-10-23 | 呈色反応テープ式アンモニアガス測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11125598A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001133406A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Ebara Corp | 呈色反応テープ式ガス測定装置を用いたモニタリングシステム |
| JP2010133725A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Riken Keiki Co Ltd | 光学式ガス検知器 |
-
1997
- 1997-10-23 JP JP30932797A patent/JPH11125598A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001133406A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Ebara Corp | 呈色反応テープ式ガス測定装置を用いたモニタリングシステム |
| JP2010133725A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Riken Keiki Co Ltd | 光学式ガス検知器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050218 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050223 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050629 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |