JP2793086B2 - 水素化物ガス検出用テ−プ - Google Patents
水素化物ガス検出用テ−プInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水素化物ガスをセルロ
−ステ−プ上の呈色剤と反応させて生じる反応痕から光
学的に検出するのに最適なガス検出用テ−プに関する。
−ステ−プ上の呈色剤と反応させて生じる反応痕から光
学的に検出するのに最適なガス検出用テ−プに関する。
【０００２】
【従来の技術】金属水素化物、例えばホスフイン（P
H3）、シラン（SiH4）、アルシン（AsH3）、ジボラン
（B2H6）などは無色、無臭の気体であるため、人の五感
による検出が極めて困難である。このためこれら毒性の
強いガスを取り扱う半導体工業などでは水素化物ガスに
感応するガス検出装置が設置されている。これら水素化
物ガスに対する電気化学的ガスセンサや半導体ガスセン
サの検出感度が極めて低いので、通常、反応により光学
的変化を生じる試薬との呈色反応させ、この時に生じた
反応痕の濃度を光学濃度測定装置により測定して検出す
ることが行われている。
H3）、シラン（SiH4）、アルシン（AsH3）、ジボラン
（B2H6）などは無色、無臭の気体であるため、人の五感
による検出が極めて困難である。このためこれら毒性の
強いガスを取り扱う半導体工業などでは水素化物ガスに
感応するガス検出装置が設置されている。これら水素化
物ガスに対する電気化学的ガスセンサや半導体ガスセン
サの検出感度が極めて低いので、通常、反応により光学
的変化を生じる試薬との呈色反応させ、この時に生じた
反応痕の濃度を光学濃度測定装置により測定して検出す
ることが行われている。
【０００３】このような呈色剤としては硝酸銀（AgN
O3）がよく知られている。硝酸銀を使用した水素化物検
出用テ−プは、通気性を備えたセルロ−ステ−プに硝酸
銀を担持させ、硝酸銀が水素化物ガスに晒されて還元さ
れた時に銀コロイドの反応痕を形成させるように構成さ
れている。この反応痕の光学的濃度を測定することによ
り水素化物の濃度を容易に知ることができる。しかしな
がら、硝酸銀は感光性が極めて高いため、硝酸銀を使用
した水素化物ガス検出テ−プは通常、遮光状態での保管
が必要となるが、それでも２４時間程度で褐色に変色す
るという大きな問題を抱えている。このような問題を解
消するために、硝酸銀や吸湿剤を含浸させたセルロ−ス
テ−プに硝酸銀などの強酸を添加して、光による銀コロ
イドの生成を可及的に抑えて耐光性を向上させたものが
提案されている（特開昭58-99753号公報）。硝酸銀が添
加された水素化物検出用テ−プは、遮光容器に収容して
保管すれば変色を招くことなく半年位は保存が可能であ
る。
O3）がよく知られている。硝酸銀を使用した水素化物検
出用テ−プは、通気性を備えたセルロ−ステ−プに硝酸
銀を担持させ、硝酸銀が水素化物ガスに晒されて還元さ
れた時に銀コロイドの反応痕を形成させるように構成さ
れている。この反応痕の光学的濃度を測定することによ
り水素化物の濃度を容易に知ることができる。しかしな
がら、硝酸銀は感光性が極めて高いため、硝酸銀を使用
した水素化物ガス検出テ−プは通常、遮光状態での保管
が必要となるが、それでも２４時間程度で褐色に変色す
るという大きな問題を抱えている。このような問題を解
消するために、硝酸銀や吸湿剤を含浸させたセルロ−ス
テ−プに硝酸銀などの強酸を添加して、光による銀コロ
イドの生成を可及的に抑えて耐光性を向上させたものが
提案されている（特開昭58-99753号公報）。硝酸銀が添
加された水素化物検出用テ−プは、遮光容器に収容して
保管すれば変色を招くことなく半年位は保存が可能であ
る。
【０００４】しかしながら、耐光性を向上させるために
添加されている硝酸は、強酸であるため、試薬担持体で
あるセルロ−スをニトロ化してしまうため、長期間の間
にテ−プの機械的強度が急激に低下する。このような問
題は、ガスサンプリング手段や光学的濃度検出手段を組
込んだ自動測定装置に使用した場合に大きな問題とな
る。つまり、自動測定のためには一定周期でガス検出用
テ−プの未使用部分を測定エリアに対向露出させる必要
上、通常検出テ−プは、保存リ−ルに収容され、使用時
に測定エリアを経由するようにして巻取りリ−ルに掛け
渡され他状態で測定装置にセットされており、１回のガ
スサンプリングが終了した段階で一定長だけ未使用部分
を測定エリアに繰出されていく。この繰出し時にかなり
大きな張力がテ−プに作用するため、機械的強度が低下
していると切断されて測定が中断するという問題があ
る。
添加されている硝酸は、強酸であるため、試薬担持体で
あるセルロ−スをニトロ化してしまうため、長期間の間
にテ−プの機械的強度が急激に低下する。このような問
題は、ガスサンプリング手段や光学的濃度検出手段を組
込んだ自動測定装置に使用した場合に大きな問題とな
る。つまり、自動測定のためには一定周期でガス検出用
テ−プの未使用部分を測定エリアに対向露出させる必要
上、通常検出テ−プは、保存リ−ルに収容され、使用時
に測定エリアを経由するようにして巻取りリ−ルに掛け
渡され他状態で測定装置にセットされており、１回のガ
スサンプリングが終了した段階で一定長だけ未使用部分
を測定エリアに繰出されていく。この繰出し時にかなり
大きな張力がテ−プに作用するため、機械的強度が低下
していると切断されて測定が中断するという問題があ
る。
【０００５】このような問題を解消するために本出願人
は、先に試薬担持体の機械的強度を低下させることなく
耐光性を向上させるために、硝酸に替えてパラトルエン
スルホン酸を使用したものを提案した（特開平2-275352
号公報）。このテ−プは、長期間に渡って変色もまたセ
ルロ−スのニトロ化も生じないため、常に製造時と同一
の性能を維持して極めて使い勝手が高いという特徴があ
る。
は、先に試薬担持体の機械的強度を低下させることなく
耐光性を向上させるために、硝酸に替えてパラトルエン
スルホン酸を使用したものを提案した（特開平2-275352
号公報）。このテ−プは、長期間に渡って変色もまたセ
ルロ−スのニトロ化も生じないため、常に製造時と同一
の性能を維持して極めて使い勝手が高いという特徴があ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、呈色剤
として硝酸銀を使用している関係上、硝酸銀の感光性が
無視できず長期間保管されたものにあっては、若干の変
色が生じており、特に検出感度が低いガスの測定におい
ては測定誤差が無視できないという問題がある。本発明
はこのような問題に鑑みてなされたものであってその目
的とするところは、試薬担持体の機械的強度を落とすこ
となく、しかも感光性を殆ど有しない水素化ガス検出用
テ−プを提供することである。
として硝酸銀を使用している関係上、硝酸銀の感光性が
無視できず長期間保管されたものにあっては、若干の変
色が生じており、特に検出感度が低いガスの測定におい
ては測定誤差が無視できないという問題がある。本発明
はこのような問題に鑑みてなされたものであってその目
的とするところは、試薬担持体の機械的強度を落とすこ
となく、しかも感光性を殆ど有しない水素化ガス検出用
テ−プを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、ガス吸着剤及び保湿剤を含
有する多孔性セルロ−ス紙片に、パラトルエンスルホン
酸銀を呈色剤として、またパラトルエンスルホン酸を耐
光性向上剤として含浸させた。
るために本発明においては、ガス吸着剤及び保湿剤を含
有する多孔性セルロ−ス紙片に、パラトルエンスルホン
酸銀を呈色剤として、またパラトルエンスルホン酸を耐
光性向上剤として含浸させた。
【０００８】
【作用】テ−プ上に担持されているパラトルエンスルホ
ン酸銀は、硝酸銀に比較して極めて感光性が小さいのに
も関らず水素化物ガスと反応し、ガスの濃度に応じてた
量だけ還元されてコロイド銀を析出し反応痕を生じる。
反応痕の濃度が水素化物の濃度に比例するので、これの
光学的濃度を測定することにより水素化物ガスの濃度を
知ることができる。
ン酸銀は、硝酸銀に比較して極めて感光性が小さいのに
も関らず水素化物ガスと反応し、ガスの濃度に応じてた
量だけ還元されてコロイド銀を析出し反応痕を生じる。
反応痕の濃度が水素化物の濃度に比例するので、これの
光学的濃度を測定することにより水素化物ガスの濃度を
知ることができる。
【０００９】
【実施例】そこで、以下に本発明の詳細を実施例に基づ
いて説明する。試薬を担持するセルロ−ステ−プは、植
物繊維を梳いて通気性を有するシ−ト体に整形し、これ
を漂白して可及的に白色としたものにケイ酸（H2Si
O3）、酸化マグネシウム（MgO）、酸化アルミニウム（A
l2O3）等のガス吸着剤を被覆した後、テ−プ状に裁断し
て構成されている。
いて説明する。試薬を担持するセルロ−ステ−プは、植
物繊維を梳いて通気性を有するシ−ト体に整形し、これ
を漂白して可及的に白色としたものにケイ酸（H2Si
O3）、酸化マグネシウム（MgO）、酸化アルミニウム（A
l2O3）等のガス吸着剤を被覆した後、テ−プ状に裁断し
て構成されている。
【００１０】セルロ−ステ−プに含浸されているガス吸
着剤は、気体や液体さらには溶解物質を担持するもの
で、水素化物ガスと呈色薬との反応に必要な水分を常時
保持するとともに、検出時には水素化物ガスを吸着して
テ−プ上のパラトルエンスルホン酸銀との反応を促進さ
せるのに役立っている。このように構成されたセルロ−
ステ−プに、１平方米当りパラトルエンスルホン酸銀を
０．３グラム以上、パラトルエンスルホン酸を０．３乃
至３．０グラム、グリセリンを２５グラム程度含浸担持
させる。
着剤は、気体や液体さらには溶解物質を担持するもの
で、水素化物ガスと呈色薬との反応に必要な水分を常時
保持するとともに、検出時には水素化物ガスを吸着して
テ−プ上のパラトルエンスルホン酸銀との反応を促進さ
せるのに役立っている。このように構成されたセルロ−
ステ−プに、１平方米当りパラトルエンスルホン酸銀を
０．３グラム以上、パラトルエンスルホン酸を０．３乃
至３．０グラム、グリセリンを２５グラム程度含浸担持
させる。
【００１１】セルロ−ステ−プにこれら試薬を担持させ
る手法としては、メタノ−ルなどの有機溶媒に、パラト
ルエンスルホン酸銀を濃度０．５〜２．０ｗ／ｖパ−セ
ント、パラトルエンスルホン酸を０．５乃至４．５ｗ／
ｖパ−セント、グリセリンを１５ｖパ−セント溶解させ
てなる調製液に、上述したセルロ−ステ−プを浸漬し、
溶媒とともにセルロ−ス内に含浸させる。ついでテ−プ
を調製液から引上げ、有機溶媒を室温で蒸発させること
によりパラトルエンスルホン酸銀、パラトルエンスルホ
ン酸、及びグリセリンをテ−プに残留させることができ
る。このような操作を調製液に含まれている試薬の濃度
に応じて１回若しくは複数回繰り返すことにより、所定
濃度の試薬をテ−プ上に担持させることができる。
る手法としては、メタノ−ルなどの有機溶媒に、パラト
ルエンスルホン酸銀を濃度０．５〜２．０ｗ／ｖパ−セ
ント、パラトルエンスルホン酸を０．５乃至４．５ｗ／
ｖパ−セント、グリセリンを１５ｖパ−セント溶解させ
てなる調製液に、上述したセルロ−ステ−プを浸漬し、
溶媒とともにセルロ−ス内に含浸させる。ついでテ−プ
を調製液から引上げ、有機溶媒を室温で蒸発させること
によりパラトルエンスルホン酸銀、パラトルエンスルホ
ン酸、及びグリセリンをテ−プに残留させることができ
る。このような操作を調製液に含まれている試薬の濃度
に応じて１回若しくは複数回繰り返すことにより、所定
濃度の試薬をテ−プ上に担持させることができる。
【００１２】図２は、ガス検出テ−プを用いてガス濃度
を測定するための装置の一例を示すものであって、図中
符号１は、テ−プ２の搬送経路に対向させて配置された
ガス吸引部で、テ−プ２に対向する面には直径１センチ
メ−トル程度の通孔３が穿設されており、パイプ４を介
して図示しない吸引ポンプからの負圧が作用するように
構成されている。
を測定するための装置の一例を示すものであって、図中
符号１は、テ−プ２の搬送経路に対向させて配置された
ガス吸引部で、テ−プ２に対向する面には直径１センチ
メ−トル程度の通孔３が穿設されており、パイプ４を介
して図示しない吸引ポンプからの負圧が作用するように
構成されている。
【００１３】５は、ガス吸引部１の通孔３に対向するテ
−プ２の他面側に配置された測定ヘッド部５で、吸引部
１の通孔と対向する位置に通孔が形成された遮光容器と
して構成されており、内部に発光素子７と受光素子８
を、テ−プ２上に形成された反応痕を検出できるような
関係でもって配置収容し、さらに一端に被検ガスの導入
口９を設けて構成されている。上述したガス検出用テ−
プをリ−ル１０，１１にテ−プをセットし、吸引部４に
図示しないポンプからの吸引圧を作用させると、導入口
９から測定ヘッド部５に被検ガスが吸込まれる。この被
検ガスは、通孔６から検出用テ−プ２を経由して通孔３
から外部に排出される。被検ガスが検出用テ−プ２を通
過する過程でテ−プ２上のパラトルエンスルホン酸銀が
水素化物、例えばホスフイン（PH3）と選択的に反応
し、ホスフインの濃度に比例した量のコロイド銀がテ−
プ表面に析出する。
−プ２の他面側に配置された測定ヘッド部５で、吸引部
１の通孔と対向する位置に通孔が形成された遮光容器と
して構成されており、内部に発光素子７と受光素子８
を、テ−プ２上に形成された反応痕を検出できるような
関係でもって配置収容し、さらに一端に被検ガスの導入
口９を設けて構成されている。上述したガス検出用テ−
プをリ−ル１０，１１にテ−プをセットし、吸引部４に
図示しないポンプからの吸引圧を作用させると、導入口
９から測定ヘッド部５に被検ガスが吸込まれる。この被
検ガスは、通孔６から検出用テ−プ２を経由して通孔３
から外部に排出される。被検ガスが検出用テ−プ２を通
過する過程でテ−プ２上のパラトルエンスルホン酸銀が
水素化物、例えばホスフイン（PH3）と選択的に反応
し、ホスフインの濃度に比例した量のコロイド銀がテ−
プ表面に析出する。
【００１４】このようにして所定のサンプリング時間、
例えば２０秒程度が経過した時点で、吸引を停止して反
応痕の光学的濃度の測定工程に移る。発光素子７からの
光は、テ−プ表面に形成された反応痕の光学的濃度に応
じて吸収を受けるので、測定開始前の光学的濃度、つま
りテ−プのバックグランドとの光学的な濃度差を求める
ことによりテ−プを通過した水素化物ガスの濃度、もし
くは積算量を知ることができる。１サンプリング分の測
定が終了した時点で、巻取りリ−ル１０を駆動してリ−
ル１１に収容されているテ−プの未使用部分を測定領域
に移動させる。
例えば２０秒程度が経過した時点で、吸引を停止して反
応痕の光学的濃度の測定工程に移る。発光素子７からの
光は、テ−プ表面に形成された反応痕の光学的濃度に応
じて吸収を受けるので、測定開始前の光学的濃度、つま
りテ−プのバックグランドとの光学的な濃度差を求める
ことによりテ−プを通過した水素化物ガスの濃度、もし
くは積算量を知ることができる。１サンプリング分の測
定が終了した時点で、巻取りリ−ル１０を駆動してリ−
ル１１に収容されているテ−プの未使用部分を測定領域
に移動させる。
【００１５】図２は、上述の測定装置を用いて水素化物
ガスの代表例であるホスフィンを用いて、その濃度を変
えながら本発明の水素化物ガス検出用テ−プによる検出
出力を調べた検量線を示すものであって、検出器出力と
ガスの濃度が極めて高い直線性で対応していることが明
らかである。そして、ガスに対する感度は、硝酸銀を呈
色薬に用いている従来の水素化物ガス検出用テ−プに対
しても何等遜色がなかった。
ガスの代表例であるホスフィンを用いて、その濃度を変
えながら本発明の水素化物ガス検出用テ−プによる検出
出力を調べた検量線を示すものであって、検出器出力と
ガスの濃度が極めて高い直線性で対応していることが明
らかである。そして、ガスに対する感度は、硝酸銀を呈
色薬に用いている従来の水素化物ガス検出用テ−プに対
しても何等遜色がなかった。
【００１６】また、上述のガス検出用テ−プを、２０ワ
ットの蛍光燈の直下２０ｃｍの所に載置して自然光に近
い光（照度1500ルックス程度）を照射し、検出用テ−プ
の濃度変化を測定したとところ、図に示したような結果
を得た。すなわち、未露光時における水素化物検出用テ
−プの光学的濃度を基準値Ｄ0とし、所定時間における
同一テ−プの濃度Ｄtとの差分（Ｄｔ−Ｄ0）と、基準濃
度との比（Ｄｔ−Ｄ0）／Ｄ0を測定したものである。図
３からも明らかなように本願発明の水素化物ガス検出用
テ−プ（図中Ａ）は、従来の硝酸銀を呈色薬に使用し、
耐光剤として硝酸を利用したテ−プ（図中Ｂ）や、さら
には機械的強度を向上させるために硝酸に代えてパラト
ルエンスルホン酸を使用したテ−プ（図中Ｃ）に比較し
て、露光時間に対する濃度変化率が特に初期段階（積算
露光時間１０時間程度）では１／４乃至１／３と極めて
小さいことが判る。通常の保管状態では上述の試験にお
ける１０時間程度の露光を受けることが殆どないことを
考え合わせると、本願発明の水素化物ガス検出用テ−プ
は、正常に保管されていれば実用上殆ど光学的な濃度変
化を引き起こすことがない。事実、そのまま室内に放置
した状態でも目立った変色は生じなかった。このように
本願発明による水素化物ガス検出テ−プの高い耐光性
は、特に濃度が低いサンプルガスや、呈色薬との反応性
が低いシランガスを高い精度で測定できることを意味し
ている。
ットの蛍光燈の直下２０ｃｍの所に載置して自然光に近
い光（照度1500ルックス程度）を照射し、検出用テ−プ
の濃度変化を測定したとところ、図に示したような結果
を得た。すなわち、未露光時における水素化物検出用テ
−プの光学的濃度を基準値Ｄ0とし、所定時間における
同一テ−プの濃度Ｄtとの差分（Ｄｔ−Ｄ0）と、基準濃
度との比（Ｄｔ−Ｄ0）／Ｄ0を測定したものである。図
３からも明らかなように本願発明の水素化物ガス検出用
テ−プ（図中Ａ）は、従来の硝酸銀を呈色薬に使用し、
耐光剤として硝酸を利用したテ−プ（図中Ｂ）や、さら
には機械的強度を向上させるために硝酸に代えてパラト
ルエンスルホン酸を使用したテ−プ（図中Ｃ）に比較し
て、露光時間に対する濃度変化率が特に初期段階（積算
露光時間１０時間程度）では１／４乃至１／３と極めて
小さいことが判る。通常の保管状態では上述の試験にお
ける１０時間程度の露光を受けることが殆どないことを
考え合わせると、本願発明の水素化物ガス検出用テ−プ
は、正常に保管されていれば実用上殆ど光学的な濃度変
化を引き起こすことがない。事実、そのまま室内に放置
した状態でも目立った変色は生じなかった。このように
本願発明による水素化物ガス検出テ−プの高い耐光性
は、特に濃度が低いサンプルガスや、呈色薬との反応性
が低いシランガスを高い精度で測定できることを意味し
ている。
【００１７】次に本発明の水素化物ガス検出用テ−プの
強度を調べるためにインストロン社製紙葉試験装置を用
いて引っ張り強さを測定したところ平方ミリメ−トル当
たり、０．５５ｋｇであるのに対して、耐光性向上剤と
して硝酸を使用した従来の水素化物ガス検出用テ−プは
本発明の約７０パ−セント程度の０．４Ｋｇ／平方ミリ
メ−トルとであった。このことから本発明のものは自動
測定装置に装着しても高い信頼性で自動測定が可能であ
ることが判明した。
強度を調べるためにインストロン社製紙葉試験装置を用
いて引っ張り強さを測定したところ平方ミリメ−トル当
たり、０．５５ｋｇであるのに対して、耐光性向上剤と
して硝酸を使用した従来の水素化物ガス検出用テ−プは
本発明の約７０パ−セント程度の０．４Ｋｇ／平方ミリ
メ−トルとであった。このことから本発明のものは自動
測定装置に装着しても高い信頼性で自動測定が可能であ
ることが判明した。
【００１８】［実施例］パラトルエンスルホン酸銀を
０．５ｗ／ｖパ−セント以上（もとより、パラトルエン
スルホン酸銀はその溶解度が極めて小さいため、室温で
せいぜい４ｗ／ｖパ−セント程度で飽和する）、パラト
ルエンスルホン酸０．５乃至４．５ｗ／ｖパ−セント、
更にグリセリン１５ｖ／ｖパ−セントをそれぞれメタノ
−ルに溶解した調製液に、ガス吸着剤が被覆されている
セルロ−ステ−プを浸漬させ、引上げてからテ−プに含
まれているメタノ−ルを室温で蒸発させる。このような
手法により１平方メ−トル当たりパラトルエンスルホン
酸銀０．３乃至１．４グラム、パラトルエンスルホン酸
０．３乃至３グラム、グリセリン２５グラムを保持した
テ−プを得ることができる。
０．５ｗ／ｖパ−セント以上（もとより、パラトルエン
スルホン酸銀はその溶解度が極めて小さいため、室温で
せいぜい４ｗ／ｖパ−セント程度で飽和する）、パラト
ルエンスルホン酸０．５乃至４．５ｗ／ｖパ−セント、
更にグリセリン１５ｖ／ｖパ−セントをそれぞれメタノ
−ルに溶解した調製液に、ガス吸着剤が被覆されている
セルロ−ステ−プを浸漬させ、引上げてからテ−プに含
まれているメタノ−ルを室温で蒸発させる。このような
手法により１平方メ−トル当たりパラトルエンスルホン
酸銀０．３乃至１．４グラム、パラトルエンスルホン酸
０．３乃至３グラム、グリセリン２５グラムを保持した
テ−プを得ることができる。
【００１９】また、パラトルエンスルホン酸銀の濃度が
検出感度に及す影響を調べたところ、図４に示したよう
に平方米当り０．３グラム以上であれば実用的な検出感
度を得ることができ。また、パラトルエンスルホン酸銀
は溶解度が極めて小さいから、１度の調製液の塗布によ
り担持させることができる最大量は、１．４グラム／平
方米程度で、これ以上濃度を高くしても呈色剤の消費量
が多くなるため経済的理由から得策ではない。
検出感度に及す影響を調べたところ、図４に示したよう
に平方米当り０．３グラム以上であれば実用的な検出感
度を得ることができ。また、パラトルエンスルホン酸銀
は溶解度が極めて小さいから、１度の調製液の塗布によ
り担持させることができる最大量は、１．４グラム／平
方米程度で、これ以上濃度を高くしても呈色剤の消費量
が多くなるため経済的理由から得策ではない。
【００２０】なお、上述の実施例においては水素化物ガ
ス内、ホスフィンに例を採って説明したが、水素化物ガ
スとして呈色薬に対して共通な化学的性質を示すアルシ
ン、ジボラン、シラン、ジシラン（Ｓi2Ｈ6）、セレン
化水素（ＳeＨ2）、ゲルマン（ＧeＨ4）、硫化水素（Ｈ
2Ｓ）などの他のものの検出にも同様に感度を示すこと
を確認した。
ス内、ホスフィンに例を採って説明したが、水素化物ガ
スとして呈色薬に対して共通な化学的性質を示すアルシ
ン、ジボラン、シラン、ジシラン（Ｓi2Ｈ6）、セレン
化水素（ＳeＨ2）、ゲルマン（ＧeＨ4）、硫化水素（Ｈ
2Ｓ）などの他のものの検出にも同様に感度を示すこと
を確認した。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
ガス吸着剤及び保湿剤を含有する多孔性テ−プ状担体
に、呈色剤としてパラトルエンスルホン酸銀を、また耐
光性向上剤としてパラスルホン酸を含浸させたので、パ
ラトルエンスルホン酸銀自信の耐光性の低さとパラトル
エンスルホン酸による耐光性の向上とあいまって、極め
て高い耐光性を示すばかりでなく、強酸によるテ−プの
引っ張り強度の低下を招くことのない水素化物ガス検出
用テ−プを提供することができる。
ガス吸着剤及び保湿剤を含有する多孔性テ−プ状担体
に、呈色剤としてパラトルエンスルホン酸銀を、また耐
光性向上剤としてパラスルホン酸を含浸させたので、パ
ラトルエンスルホン酸銀自信の耐光性の低さとパラトル
エンスルホン酸による耐光性の向上とあいまって、極め
て高い耐光性を示すばかりでなく、強酸によるテ−プの
引っ張り強度の低下を招くことのない水素化物ガス検出
用テ−プを提供することができる。
【図１】本発明の水素化物ガス検出用テ−プを用いるガ
ス検出器の原理を示す図である。
ス検出器の原理を示す図である。
【図２】本発明の水素化物ガス検出用テ−プのホスフィ
ンに対する検量線を示す図である。
ンに対する検量線を示す図である。
【図３】本発明の水素化物ガス検出用テ−プと従来の水
素化物検出用テ−プの露光時間と濃度変化率との関係を
示す線図である。
素化物検出用テ−プの露光時間と濃度変化率との関係を
示す線図である。
【図４】パラトルエンスルホン酸銀の濃度と水素化物ガ
ス検出感度との関係を示す線図である。
ス検出感度との関係を示す線図である。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 31/00 G01N 31/22 121
Claims (3)
- 【請求項１】 ガス吸着剤及び保湿剤を含有させた通気
性セルロ−ス紙片に、パラトルエンスルホン酸銀を呈色
剤として、またパラトルエンスルホン酸を耐光性向上剤
として含浸させてなる水素化物ガス検出用テ−プ。 - 【請求項２】 前記パラトルエンスルホン酸銀を通気性
セルロ−ス紙片１平方メ−トル当たり少なくとも０．３
グラム備えた請求項１の水素化物ガス検出用テ−プ。 - 【請求項３】 前記パラトルエンスルホン酸を通気性セ
ルロ−ス紙片１平方メ−トル当たり０．３乃至３．０グ
ラム備えた請求項１または請求項２の水素化物ガス検出
用テ−プ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19922392A JP2793086B2 (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | 水素化物ガス検出用テ−プ |
| US07/969,447 US5250260A (en) | 1992-07-02 | 1992-10-30 | Tape for detecting hydrides |
| GB9312784A GB2268584B (en) | 1992-07-02 | 1993-06-21 | Tape for detecting hydrides |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19922392A JP2793086B2 (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | 水素化物ガス検出用テ−プ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0618510A JPH0618510A (ja) | 1994-01-25 |
| JP2793086B2 true JP2793086B2 (ja) | 1998-09-03 |
Family
ID=16404197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19922392A Expired - Fee Related JP2793086B2 (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | 水素化物ガス検出用テ−プ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2793086B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4931205B2 (ja) * | 2006-12-05 | 2012-05-16 | 理研計器株式会社 | シランガス検出材 |
| JP6018481B2 (ja) * | 2012-11-05 | 2016-11-02 | 光明理化学工業株式会社 | 検知管 |
-
1992
- 1992-07-02 JP JP19922392A patent/JP2793086B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0618510A (ja) | 1994-01-25 |
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