JPH11119422A - フォトレジストフィルム - Google Patents
フォトレジストフィルムInfo
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- JPH11119422A JPH11119422A JP30373497A JP30373497A JPH11119422A JP H11119422 A JPH11119422 A JP H11119422A JP 30373497 A JP30373497 A JP 30373497A JP 30373497 A JP30373497 A JP 30373497A JP H11119422 A JPH11119422 A JP H11119422A
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Abstract
グ性又はメッキ性に非常に優れたフォトレジストフィル
ムを提供すること。 【解決手段】 支持体フィルム(I)/感光性樹脂組成物
層(II)/保護フィルム(III)からなるフォトレジストフ
ィルムにおいて、支持体フィルム(I)のヘイズ値が0.01
〜1.5%であり、かつ、感光性樹脂組成物層(II)が、酸
価が95〜250mgKOH/gで、重量平均分子量が5000〜200000
のベースポリマー(a)、エチレン性不飽和化合物(b)、
自己開裂型開始剤(c)を含んでなり、かつ(b)中にエチ
レンオキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレ
ートを50重量%以上含むフォトレジストフィルム。
Description
造に用いられるフォトレジストフィルムに関し、更に詳
しくは感度、解像力、レジスト剥離性、密着性に優れ、
又レジストの密着不足によるエッチング又はメッキでの
導体のかけ、染み込みのない耐エッチング性あるいはメ
ッキ性に優れたフォトレジストフィルムに関するもので
ある。
組成物を用いたフォトレジスト法が用いられており、こ
のフォトレジスト法においては、例えば、まず透明なフ
ィルム等の支持体上に感光性樹脂組成物を塗布して感光
性樹脂組成物層を形成した後、この感光性樹脂組成物層
を所望のパターンを形成しようとする基板表面に積層
し、次いで該感光性樹脂組成物層に原画をパターンマス
クを介して露光した後、未露光部分を溶剤又はアルカリ
水溶液による現像処理により除去して、レジスト画像を
形成させ、形成されたレジスト画像を保護マスクとし、
公知のエッチング処理又はパターンメッキ処理を行った
後、レジスト剥離して印刷回路基板を製造する方法が通
常行われる。このような製造工程において、生産性向
上、時間短縮化のために高感度を有することが求めれら
ている。
伴いプリント配線板の微細化、高密度化が進んでおり、
高解像力をもつドライフィルムレジスト(DFRと略す
ことがある)が求められている。レリーフパターンの巾
が5〜200μmで、隣接するパターンとの間隔が10
μm以上で、かつ巾と高さの比が1/1.5以下である
高感度でパターン形成性が良好でなおかつレジスト剥離
性が良好なDFRが必要になってきた。
は、特定のモル吸光係数をもつ光重合開始剤を用いてレ
リーフパターンを製造する方法(特公平5−81897
号公報)、分子量を規定したポリマー、不飽和基含有化
合物、開始剤としてジアルキルアミノアセトフェノン、
2,4,5−トリフェニルイミダゾール二量体を用いた
光重合組成物において、該不飽和基含有化合物中の不飽
和基を1個有する化合物の割合や2個有する化合物の割
合や分子量を規定した組成物(特開平3−6202号公
報)、α,β−不飽和エチレン系単量体を有するバイン
ダーポリマー、光重合ポリマー、特定の構造式をもつ化
合物と2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体か
らなる開始剤を用いた感光性樹脂組成物(特開平2−6
2545号公報)、開始剤として2,4,5−トリフェ
ニルイミダゾリル二量体を用いる画像形成系用光重合性
組成物(特公昭45−37377号公報)が提案されて
いる。
5−81897号公報開示技術では、膜厚が厚くなるに
従い、感度が低下するとともにパターン形状が太鼓状に
太り解像力が不足し、特開平3−6202号公報、特開
平2−62545号公報開示技術では、厚膜が厚くなる
に従い、感度が低下し、パターンの逆台形化も顕著にな
り、又最終工程であるレジスト剥離においても非常に時
間がかかる等の問題がある。又、特公昭45−3737
7号公報開示技術では、高感度ではあるが、パターン形
状が太鼓状に太り解像力が不足するとともに密着性につ
いてはまだまだ改善の余地が残るものである。
目的で、フォトレジストフィルムとしてヘイズ値が0.
1〜1.5%の支持体フィルムを用いることが提案され
ている(特開平6−230579号公報、特開平8−1
23018号公報)が、該技術では、通常のアルカリ現
像型ドライフィルムレジストを用いた場合には、該金属
基板とレジストの密着性について、最近の技術の高度化
に伴うファイン化、精細化を考慮するとまだまだ満足す
るものでなく、エッチングでの導体のかけや染み込みが
生じ、いわゆる耐エッチング性に劣ったり、又メッキ時
にメッキラインのギザツキが生じる等、歩留まりが低下
するという問題が残るのである。
いて、感度、解像力、レジスト剥離性、密着性に優れ、
又レジストの密着不足によるエッチング又はメッキでの
導体のかけ、染み込みのない耐エッチング性やメッキラ
インのギザツキのないメッキ性に優れたフォトレジスト
フィルムを提供することを目的とする。
かる課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、支持体フ
ィルム(I)/感光性樹脂組成物層(II)/保護フィル
ム(III)からなるフォトレジストフィルムにおいて、
支持体フィルム(I)のヘイズ値が0.01〜1.5%
であり、かつ、感光性樹脂組成物層(II)が、酸価が9
5〜250mgKOH/gで、重量平均分子量が500
0〜200000のベースポリマー(a)、エチレン性
不飽和化合物(b)、自己開裂型開始剤(c)を含んで
なり、かつ(b)中にエチレンオキシド変性トリメチロ
ールプロパントリアクリレートを50重量%以上含むフ
ォトレジストフィルムが上記目的に合致することを見出
し、本発明を完成するに至った。
明する。本発明に用いる支持体フィルム(I)は、透明
であることは勿論、そのヘイズ値が0.01〜1.5
%、好ましくは0.01〜1.0%、更に好ましくは
0.01〜0.5%の範囲であることが必要である。こ
こで、ヘイズ値とは濁度を表す値であり、ランプにより
照射され、試料中を透過した光の全透過率Tと試料中で
拡散され散乱した光の透過率Dより、ヘイズ値(%)は
H(%)=(D/T)×100として求められる。これ
らはJIS K 7105により規定されており、市販
の濁度計、例えば、日本電色工業社製NDH−300A
により容易に測定可能である。
ルムは入手が困難であり、ヘイズ値が1.5%を越える
支持体フィルムは、感度、解像度、密着性等の向上効果
が得られない。ヘイズ値が0.01〜1.5%の支持体
フィルム(I)としては、例えば、帝人社製高透明フィ
ルムGSシリーズ、ダイアホイルヘキスト社製Rシリー
ズ、デュポン社製マイラーDシリーズ、東レ社製Tシリ
ーズ等のポリエチレンテレフタレートフィルム、日本合
成化学工業社製ビニロンフィルム等が挙げられる。支持
体フィルム(I)の膜厚は、10〜30μm、好ましく
は12〜25μm、更に好ましくは16〜23μmであ
り、30μmを越えると解像度が低下したり、コストア
ップとなる。10μm未満ではフィルムが柔軟過ぎて取
り扱いに不便である。
価が95〜250mgKOH/gで、重量平均分子量が
5000〜200000のベースポリマー(a)、エチ
レン性不飽和化合物(b)、自己開裂型開始剤(c)を
含んでなり、かつ(b)中にエチレンオキシド変性トリ
メチロールプロパントリアクリレートを50重量%以上
含む感光性樹脂組成物からなるものである。本発明に用
いるベースポリマー(a)としては、酸価が95〜25
0mgKOH/gであることが必要で、好ましくは11
0〜163mgKOH/gである。酸価が95mgKO
H/g未満では、良好な現像性が得られず、解像力不
良、パターン裾形状不良となり、不適であり、250m
gKOH/gを越えると耐現像液性の低下に伴う細線密
着不良や、現像中での膨潤によって解像力不良となり不
適である。
量は5000〜200000であることが必要で、好ま
しくは30000〜120000であり、更に好ましく
は50000〜100000である。重量平均分子量が
5000未満では塗工乾燥によってフィルム化した際、
充分なフィルム保持性が得られず、エッジフュージョン
の原因となり不適であり、重量平均分子量が20000
0を越えると充分な現像性が得られず、解像不良の原因
となり不適である。
は、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド
系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂などが用
いられる。
主成分とし、エチレン性不飽和カルボン酸や他の共重合
可能なモノマーを共重合したアクリル系(共重合体)樹
脂、アセトアセチル基含有アクリル系(共重合体)樹脂
がベースポリマー(a)として好適に用いられる。
(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、
プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリ
レート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘ
キシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)
アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ジメチ
ルアミノエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)
アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレートなどが
例示される。
クリル酸、メタクリル酸、クロトン酸などのモノカルボ
ン酸が好適に用いられ、そのほか、マレイン酸、フマー
ル酸、イタコン酸などのジカルボン酸、あるいはそれら
の無水物やハーフエステルも用いることができる。これ
らの中では、アクリル酸とメタクリル酸が特に好まし
い。
(b)中にエチレンオキシド変性トリメチロールプロパ
ントリアクリレートを50重量%以上含むもので、更に
は60重量%以上含まれることが好ましく、特に好まし
くは65〜80重量%である。かかる含有量が50重量
%未満では良好な細線密着性が得られず好ましくない。
パントリアクリレートとは下記一般式(1)で表され
る。
パントリアクリレート以外のエチレン性不飽和化合物と
しては多官能モノマーや単官能モノマーが単独、または
2種以上用いられる。多官能モノマーとして具体的に
は、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエ
チレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレング
リコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリ
コールジ(メタ)アクリレート、ブチレングリコールジ
(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メ
タ)アクリレート、1,6−ヘキサングリコールジ(メ
タ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メ
タ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレー
ト、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペ
ンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペン
タエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、2,2
−ビス(4−(メタ)アクリロキシジエトキシフェニ
ル)プロパン、2,2−ビス−(4−(メタ)アクリロ
キシポリエトキシフェニル)プロパン、2−ヒドロキシ
−3−(メタ)アクリロイルオキシプロピル(メタ)ア
クリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテル
ジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジグリ
シジルエーテルジ(メタ)アクリレート、フタル酸ジグ
リシジルエステルジ(メタ)アクリレート、グリセリン
ポリグリシジルエーテルポリ(メタ)アクリレートが挙
げられるが、好ましくはプロピレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メ
タ)アクリレートが用いられる。
ドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ
プロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル
(メタ)アクリレート、2−フェノキシ−2−ヒドロキ
シプロピル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリ
ロイルオキシ−2−ヒドロキシプロピルフタレート、3
−クロロ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレー
ト、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、2−(メ
タ)アクリロイルオキシエチルアシッドホスフェート、
フタル酸誘導体のハーフ(メタ)アクリレート、N−メ
チロール(メタ)アクリルアミドなどが挙げられ、好ま
しくは、2−フェノキシ−2−ヒドロキシプロピル(メ
タ)アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ(メタ)ア
クリレートが用いられる。
るエチレン性不飽和化合物(b)の割合は、25〜10
0重量部、特に35〜75重量部の範囲から選ぶことが
望ましい。エチレン性不飽和化合物(b)の割合が10
0重量部を越えると、乾燥後長期保存に耐える十分な粘
度が得られず、スリットしたロール端面よりレジストが
流れ出るエッジフュージョンを起こすので好ましくな
く、エチレン性不飽和化合物(b)の割合が25重量部
未満では乾燥後の粘度が高くなり過ぎ、可撓性不足によ
り、カッティングの際にチップが出たり、架橋成分不足
により、現像で良好なパターン形状が得られない。
式(2)で表されるもので、具体的にはベンゾイン、ベ
ンゾインメチルエーテル、ベンゾイルイソプロピルエー
テル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチ
ルエーテル、2,2−ジヒドロキシ−2−フェニルアセ
トフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセト
フェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフ
ェノンなどを挙げることができる。
素、水酸基、アルコキシ基、ハロゲン、R3は水酸基、
アルコキシ基を表す。]
特に限定されないが、ベースポリマー(a)100重量
部に対して、自己解裂開始剤(c)は1.0〜15重量
部が好ましく、更には2〜12重量部含まれていること
が好ましく、自己開裂開始剤(c)が1.0重量部より
も少ないと十分に硬化させるために多大な露光量を要
し、逆に15重量部よりも多いと、可塑剤的効果が大き
くエッジフュージョンの原因となり好ましくない。
と光重合開始剤とを併用することができ、かかる光重合
開始剤としては、ベンジルジフェニルジスルフィド、ジ
ベンジル、ジアセチル、アントラキノン、ナフトキノ
ン、3,3′−ジメチル−4−メトキシベンゾフェノ
ン、ベンゾフェノン、p,p′−ビス(ジメチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、p,p′−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、ピバロインエチルエーテル、1,
1−ジクロロアセトフェノン、p−t−ブチルジクロロ
アセトフェノン、ヘキサアリールイミダゾール二量体、
2−クロロチオキサントン、2−メチルチオキサント
ン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,2−ジクロ
ロ−4−フェノキシアセトフェノン、フェニルグリオキ
シレート、α−ヒドロキシイソブチルフェノン、ジベゾ
スパロン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒ
ドロキシ−2−メチル−1−プロパノン、2−メチル−
[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−
1−プロパノン、トリブロモフェニルスルホン、トリブ
ロモメチルフェニルスルホン、アクリジン、9−フェニ
ルアクリジン、2,4−トリクロロメチル−(4′−メ
トキシフェニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロ
ロメチル−(4′−メトキシナフチル)−6−トリアジ
ン等が例示される。
フェニルグリシン(d)を配合することも有用で、配合
割合は(a)100重量部に対して0.1〜1.0重量
部、特に0.2〜0.5重量部が好ましく、0.1重量
部未満では感度向上の効果が望めず、1.0重量部を越
えると未露光状態でベース染料の変色を起こし好ましく
ない。
的で、2,4,5−トリフェニルイミダゾール二量体
(e)を配合することも有用で、配合割合は(a)10
0重量部に対して0.5〜15重量部、特に1.0〜
5.0重量部が好ましく、0.5重量部未満では十分な
内部硬化が得られない為、現像後のパターン形状が悪化
し好ましくなく、15重量部を越えると未露光状態で保
存中に2,4,5−トリフェニルイミダゾール二量体
(e)が結晶化して析出することがあり好ましくない。
のほか、染料(着色、発色)、密着性付与剤、可塑剤、
酸化防止剤、熱重合禁止剤、溶剤、表面張力改質材、安
定剤、連鎖移動剤、消泡剤、難燃剤などの添加剤を適宜
添加することができる。
はレリーフパターン製造、プリント配線板(PWP)や
透明電極等の加工の際のエッチングレジスト又はメッキ
レジスト等に幅広く利用することができるが、特に厚膜
のレリーフパターンの製造に最適である。
は、フォトレジストフィルムをロール状にして用いる場
合に、粘着性を有する感光性樹脂組成物層が支持体フィ
ルムに転着したり、感光性樹脂組成物層に壁などが付着
するのを防止する目的で感光性樹脂組成物層に積層して
用いられる。かかる保護フィルムとしては、例えばポリ
エステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピ
レンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、テフロ
ンフィルムなどが挙げられるが、本発明はかかる例示の
みに限定されるものではない。なお、該保護フィルムの
厚さについては特に限定はなく、通常10〜50μm、
なかんずく10〜30μmであればよい。
(I)、感光性樹脂組成物層(II)、保護フィルム(II
I)を順次積層したフォトレジストフィルムとなる。次
に、本発明のフォトレジストフィルムの製造及びそれを
用いる厚膜のレリーフパターンの製造について説明す
る。
I)をポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィル
ム、ポリスチレンフィルム、ビニロンフィルム等の支持
フィルム(I)面に塗工した後、その塗工面の上からポ
リエチレンフィルム等の保護フィルム(III)を被覆し
てフォトレジストフィルムとする。
画像を形成させるには支持体フィルム(I)と感光性樹
脂組成物層(II)との接着力及び保護フィルム(III)
と感光性樹脂組成物層(II)との接着力を比較し、接着
力の低い方のフィルムを剥離してから感光性樹脂組成物
層(II)の側を銅張基板の銅面などの金属面に貼り付け
た後、他方のフィルム上にパターンマスクを密着させて
露光する。感光性樹脂組成物が粘着性を有しないとき
は、前記他方のフィルムを剥離してからパターンマスク
を感光性樹脂組成物層(II)に直接接触させて露光する
こともできる。
及び寸法としては、レリーフパターンの巾が10〜20
0μmで隣接するパターンとの間隔が10μm以上で、
かつ巾と高さの比は1/1.5以下、好ましくは1/
2.0以下である。又、パターンの断面形状がほぼ矩形
を有し、側面と基板とのなす角度が90°±10°(8
0°〜100°)、更に隣接パターンとの間隔は10μ
m以上である。上記の如く本発明に適した厚膜レジスト
を形成されるためには、一度の操作で所望の厚膜を得る
ことが困難であることが多い。そこで上記のドライフィ
ルムの積層においては、ベースフィルム上に形成したレ
ジストを基材上に転写する操作を繰り返す多段ラミネー
ト操作を行って、所望の厚膜とする方法が推奨される。
更には100μm以上の厚さの厚膜レジストを容易に形
成することができる。
い、その際の光源としては、高圧水銀灯、超高圧水銀
灯、カーボンアーク灯、キセノン灯、メタルハライドラ
ンプ、ケミカルランプなどが用いられる。紫外線照射後
は、必要に応じ加熱を行って、硬化の完全を図ることも
できる。
を剥離除去してから現像を行う。感光性樹脂組成物(I
I)層は稀アルカリ現像型であるので、露光後の現像
は、炭酸ソーダ、炭酸カリウムなどのアルカリ0.3〜
2重量%程度の稀薄水溶液を用いて行う。該アルカリ水
溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるた
めの少量の有機溶剤等を混入させてもよい。
第二銅−塩酸水溶液や塩化第二鉄−塩酸水溶液等の酸性
エッチング液を用いて常法に従ってエッチングを行う。
希にアンモニア系のアルカリエッチング液も用いられ
る。メッキ法は、脱脂剤、ソフトエッチング剤などのメ
ッキ前処理剤を用いて前処理を行った後、メッキ液を用
いてメッキを行う。メッキ液としては、銅メッキ液、ニ
ッケルメッキ液、鉄メッキ液、銀メッキ液、金メッキ
液、錫メッキ液、コバルトメッキ液、亜鉛メッキ液、ニ
ッケルコバルトメッキ液、はんだメッキ液等が挙げられ
る。
程又はメッキ工程後、残っている硬化レジストの剥離を
行う。硬化レジストの剥離除去は、水酸化ナトリウム、
水酸化カリウムなどの0.5〜5重量%程度の濃度のア
ルカリ水溶液からなるアルカリ剥離液を用いて行う。
のヘイズ値を有する支持体フィルム(I)/酸価が95
〜250mgKOH/gで、重量平均分子量が5000
〜200000のベースポリマー(a)、エチレンオキ
シド変性トリメチロールプロパントリアクリレートを5
0重量%以上含むエチレン性不飽和化合物(b)、自己
解裂型開始剤(c)を含有してなる感光性樹脂組成物層
(II)/保護フィルム(III)からなるため、感度、解
像度、基板とレジストの密着性、導体への染み込みや導
体のかけがないといった耐エッチング性やメッキ時にメ
ッキラインのギザツキのないメッキ性に優れ、レジスト
パターンを短時間かつ高い歩留まりで行うことができ、
更に厚膜ファインパターンを形成することができるので
ある。
る。尚、ことわりのない限り「%」及び「部」は重量基
準である。 実施例1 [感光性樹脂組成物の調製]下記のベースポリマー
(a)100部に、下記のエチレン性不飽和化合物
(b)67部、2,2′−ジメトキシ−2−フェニルア
セトフェノン(c)10部、N−フェニルグリシン
(d)0.4部、2,4,5−トリフェニルイミダゾー
ル二量体(e)3.5部を配合してよく混合し、感光性
樹脂組成物を調製した。
タクリル酸の共重合割合が重量基準で50/25/25
である共重合体(酸価163mgKOH/g、ガラス転
移点94℃、重量平均分子量7万)。エチレン性不飽和化合物(b) エチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリアク
リレート67%、ポリプロピレングリコールジアクリレ
ート33%からなるモノマーの混合物。
10ミルのアプリケーターを用いて、ヘイズ値0.1%
のポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィル
ム)からなる支持体フィルム(I)(厚み20μm)上
に塗工し、室温で1分30秒放置した後、60℃、90
℃、110℃のオーブンでそれぞれ3分間乾燥して、レ
ジスト厚50μmのドライフィルムとし、更にポリエチ
レンフィルムからなる保護フィルム(厚さ23μm)を
ラミネートしてフォトレジストフィルムとした。次にメ
チルエチルケトンで表面洗浄を行った厚さ2mmのステ
ンレススチール基板を60℃に加温し、その表面に上記
で得たフォトレジストフィルムを保護フィルムを剥がし
ながら、ラミネートした。その後、PETフィルムをは
がして、再度ラミネートを行い、更に同様のラミネート
操作を計4回繰り返すことにより、ステンレススチール
基板上に厚さ200μmのレジストを形成させた。
トアーク灯(平行光源)で、ストーファー21段ステッ
プタブレット(光透過量が段階的に少なくなるように作
られたネガフィルム)の数値が9となる露光量で露光を
行った。露光後15分経過してからPETフィルムを剥
離し、20℃で0.5%炭酸ナトリウム水溶液をブレー
クポイント(未露光部分が完全溶解する時間)の1.5
倍の現像時間でスプレーすることにより未露光部分を溶
解除去して硬化樹脂画像を得た。
りメッキを行った後、60℃の3%水酸化ナトリウム水
溶液で1.5kg/cm2でスプレーし、剥離を行い画
像を形成した。本発明において以下の項目を下記の如く
評価した。
00mm幅、120m長にスリット、ロール化し、該ロ
ールを30℃、60RH%の恒温、恒湿機中に横おきに
遮光下で放置し、端面のレジストの浸みだしを、目視で
以下の様に評価した。 ○・・・3日間放置しても浸みだしがない。 ×・・・3日間放置中に浸みだしを確認。
レジストをカバーフィルムを除去後、炭酸ナトリウム
0.5重量%、20℃の現像液をスプレー圧0.5kg
/cm2で噴霧し、基板表面が見えるまでの時間を最小
現像時間とし、最小現像時間の1.5倍の時間で、スト
ファーの21段のステップダブレットを用いて現像した
時、ステップ9を与える露光量(mj/cm2)を求め
た。
像可能なスペースの巾を測定した。
を形成後、そのスペース部に高さ180〜200μmの
ニッケルメッキを行った後、60℃の3%水酸化ナトリ
ウム水溶液を1.5kg/cm2でスプレーして、剥離
を行い、以下の様に評価した。 ○・・・30分以内で剥がれ、剥離片の一部がNiメッ
キ部に残らない。 △・・・30分以内で剥がれるが、剥離片の一部がNi
メッキ側面に付着する。 ×・・・30分では剥がれない。
設けたパターンマスク(ラインは1本のみ−スペース巾
∞)を用いて上記の解像性評価と同様に現像して密着性
良好な最小ライン巾(μm)を調べた。
レジストパターンをメッキし、レジストを剥離した後、
基材を拡大顕微鏡で観察して、メッキラインのギザツキ
具合によりを目視評価した。評価基準は下記の通りであ
る。 ○・・・ギザツキなし △・・・端部に5μm未満のギザツキあり ×・・・端部に5μm以上のギザツキあり
た以外は、実施例1に準じて感光性樹脂組成物を調製
し、更にヘイズ値1.4%のPETフィルム(I)(厚
み20μm)を用いた以外は同様に行い、上記と同様の
評価を行った。
ール二量体(e)を除いた以外は、実施例1に準じて感
光性樹脂組成物を調製し、更にヘイズ値1.4%のPE
Tフィルム(I)(厚み20μm)を用いた以外は同様
に行い、上記と同様の評価を行った。
4,5−トリフェニルイミダゾール二量体(e)を除い
た以外は、実施例1に準じて感光性樹脂組成物を調製
し、更にヘイズ値1.4%のPETフィルム(I)(厚
み20μm)を用いた以外は同様に行い、上記と同様の
評価を行った。
てエチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリア
クリレートの含量を80%、ポリピロピレングリコール
ジアクリレート20%からなるモノマーの混合物を用い
た以外は、実施例1に準じて感光性樹脂組成物を調製
し、更にヘイズ値1.4%のPETフィルム(I)(厚
み20μm)を用いた以外は同様に行い、上記と同様の
評価を行った。
施例1に準じて感光性樹脂組成物を調製し、更にヘイズ
値1.0%のPETフィルム(I)(厚み16μm)を
用いた以外は同様に行い、上記と同様の評価を行った。ベースポリマー (a) メチルメタクリレート/n−ブチルアクリレート/2−
エチルヘキシルアクリレート/メタクリル酸の共重合割
合が重量基準で48/10/20/22である共重合体
(酸価143mgKOH/g、ガラス転移点40.1
℃、重量平均分子量7.5万)。
てエチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリア
クリレートを40%、ポリピロピレングリコールジアク
リレート60%からなるモノマーの混合物を用いた以外
は、実施例1に準じて感光性樹脂組成物を調製し、上記
と同様の評価を行った。
ルプロパントリアクリレートの替わりにトリメチロール
プロパントリアクリレートを用いた以外は、実施例1に
準じて感光性樹脂組成物を調製し、上記と同様の評価を
行った。
て、2、2′−ビス−(4−メタクリロキシポリエトキ
シフェニル)プロパン(BPE−500)のみを用いた
以外は、実施例1に準じて感光性樹脂組成物を調製し、
上記と同様の評価を行った。
アセトフェノン(c)10部の替わりにp,p′−ビス
(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン1部を用いた以外
は、実施例1に準じて感光性樹脂組成物を調製し,上記
と同様の評価を行った。
ーを用いて実施例1に準じて感光性樹脂組成物を調製
し、上記と同様の評価を行った。
マーを用いて実施例1に準じて感光性樹脂組成物を調製
し、上記と同様の評価を行った。
ースポリマー(a)を用いて実施例1に準じて感光性樹
脂組成物を調製し、上記と同様の評価を行った。ベースポリマー(a) メチルメタクリレート/スチレン/メタクリル酸の共重
合割合が重量基準で45/30/25である共重合体
(酸価163mgKOH/g、ガラス転移点118
℃)。
ポリマー(a)を用いて実施例1に準じて感光性樹脂組
成物を調製し、上記と同様の評価を行った。ベースポリマー(a) メチルメタクリレート/n−ブチルアクリレート/メタ
クリル酸の共重合割合が重量基準で65/10/25で
ある共重合体(酸価163mgKOH/g、ガラス転移
点94℃)。
ズ値4.0%のPETフィルムを用いた以外は同様に行
い、上記と同様の評価した。
す。
ムは、感度、解像力、レジスト剥離性に優れ、更に金属
基板への密着性が良く、導体への染み込みや導体のかけ
がないといった耐エッチング性やメッキ時のメッキライ
ンのギザツキがないといったメッキ性に優れるため、印
刷配線板の製造、リードフレームの製造、厚膜レリーフ
パターンの製造、金属の精密加工等に用いられるエッチ
ングレジスト又はメッキレジストとして有用である。
Claims (5)
- 【請求項1】 支持体フィルム(I)/感光性樹脂組成
物層(II)/保護フィルム(III)からなるフォトレジ
ストフィルムにおいて、支持体フィルム(I)のヘイズ
値が0.01〜1.5%であり、かつ、感光性樹脂組成
物層(II)が、酸価が95〜250mgKOH/gで、
重量平均分子量が5000〜200000のベースポリ
マー(a)、エチレン性不飽和化合物(b)、自己開裂
型開始剤(c)を含んでなり、かつ(b)中にエチレン
オキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレート
を50重量%以上含むことを特徴とするフォトレジスト
フィルム。 - 【請求項2】 感光性樹脂組成物層(II)が、更にN−
フェニルグリシン(d)と2,4,5−トリフェニルイ
ミダゾール二量体(e)を含んでなることを特徴とする
請求項1記載のフォトレジストフィルム。 - 【請求項3】 感光性樹脂組成物層(II)が、酸価が9
5〜250mgKOH/gで、重量平均分子量が500
0〜200000のベースポリマー(a)100重量部
に対して、エチレン性不飽和化合物(b)を25〜10
0重量部、自己開裂型開始剤(c)を1.0〜15重量
部、N−フェニルグリシン(d)を0.1〜1.0重量
部、2,4,5−トリフェニルイミダゾール二量体
(e)を0.5〜15重量部配合してなることを特徴と
する請求項1又は2記載のフォトレジストフィルム。 - 【請求項4】 レリーフパターン製造用であることを特
徴とする請求項1〜3いずれかに記載のフォトレジスト
フィルム。 - 【請求項5】 レリーフパターンの巾が5〜200μm
で、隣接するパターンとの間隔が10μm以上で、かつ
巾と高さの比が1/1.5以下であることを特徴とする
請求項4記載のフォトレジストフィルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30373497A JP3967805B2 (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | フォトレジストフィルム |
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JP30373497A JP3967805B2 (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | フォトレジストフィルム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11119422A true JPH11119422A (ja) | 1999-04-30 |
JP3967805B2 JP3967805B2 (ja) | 2007-08-29 |
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JP30373497A Expired - Lifetime JP3967805B2 (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | フォトレジストフィルム |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3967805B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007316247A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びガラスパターンの形成方法 |
-
1997
- 1997-10-17 JP JP30373497A patent/JP3967805B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007316247A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びガラスパターンの形成方法 |
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