JPH11119133A - 光走査光学系 - Google Patents
光走査光学系Info
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- JPH11119133A JPH11119133A JP29328397A JP29328397A JPH11119133A JP H11119133 A JPH11119133 A JP H11119133A JP 29328397 A JP29328397 A JP 29328397A JP 29328397 A JP29328397 A JP 29328397A JP H11119133 A JPH11119133 A JP H11119133A
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Abstract
高精細印字(高解像力化)に適したコンパクトな光走査
光学系を得ること。 【解決手段】 光源手段1から射出された光束を光偏向
器5に導光し、該光偏向器で偏向された光束を走査レン
ズ系6により被走査面8上に導光し、該被走査面上を光
走査する光走査光学系において、該走査レンズ系は少な
くとも2つの回折光学素子11,12を有し、該2つの
回折光学素子のうち少なくとも一方の回折光学素子は主
走査方向と副走査方向のうち、いずれか一方向に回折作
用を有すること。
Description
し、特に走査レンズ系に少なくとも2つの回折光学素子
を設けることにより、該光走査光学系に環境変動(特に
温度変化)が生じてもピント変化(収差変動)が生じな
い高精細印字に適した、例えばレーザビームプリンター
(LBP)やデジタル複写機等の装置に好適な光走査光
学系に関するものである。
各偏向面(反射面)で偏向反射された光束(光ビーム)
を使用して被走査面上を光走査するようにした光走査光
学系が種々と提案されている。
いては光偏向器の各偏向面の面倒れを補正する為、又f
θ特性を得る為や像面湾曲等を補正する為、更には高解
像力化を図る為にシリンドリカルレンズやトーリックレ
ンズ等に回転非対称なガラス材料で形成された光学素子
(ガラスレンズ)を用いて光学系を構成している。
成るシリンドリカルレンズやトーリックレンズ等の光学
素子は一般に重量があり、しかも非常に高価である為、
装置全体の軽量化及び低コスト化を図るのが非常に難し
かった。
学素子を安価で生産性の良いプラスチック材料の型成形
で製作することにより、装置全体の軽量化及び低コスト
化を図り、更には高解像力化にも寄与している。
る光学素子(プラスチックレンズ)はガラス材料より成
る光学素子に比べて周囲の環境変化(特に温度変化)に
より、その光学的特性が大きく変化するという問題点が
あった。
や膨張率が大きく変化し、これにより光学素子の光学的
屈折力(パワー)が変化し、ピント変化や像面湾曲変化
等が生じる。特に高解像力、即ち高解像度を有するレー
ザービームプリンター等の光走査光学系では温度変化に
伴なうピント変化をより正確に補正する為に走査レンズ
系を構成する少なくとも一部のレンズを、その温度変化
に伴なって光軸上移動させている。
クレンズを用いた従来の走査光学系では高解像力化が進
行するほど環境変動(特に温度変化)に対するピント調
整に、より正確さが求められ、これが装置全体を複雑化
し、更には大型化になる傾向にあった。又コストの面か
らしてもコスト高になる等の問題点があった。そのため
プラスチックレンズを使用する光走査光学系では高解像
力化を追求するには、ある程度限界があった。
レンズ系に互いに異なる回折作用を有する少なくとも2
つの回折光学素子を設けることにより、該走査レンズ系
にプラスチックレンズ(走査レンズ)を用いても、環境
変動に伴なうピント変動(収差変動)を良好に補正する
ことができる、高精細印字(高解像力化)に適したコン
パクトな光走査光学系の提供を目的とする。
製作することができる光走査光学系の提供を目的とす
る。
は、 (1) 光源手段から射出された光束を光偏向器に導光し、
該光偏向器で偏向された光束を走査レンズ系により被走
査面上に導光し、該被走査面上を光走査する光走査光学
系において、該走査レンズ系は少なくとも2つの回折光
学素子を有し、該2つの回折光学素子のうち少なくとも
一方の回折光学素子は主走査方向と副走査方向のうち、
いずれか一方向に回折作用を有することを特徴としてい
る。
一方の回折光学素子は主走査方向に回折作用を有し、他
方の回折光学素子は副走査方向に回折作用を有すること
や、(1-2) 前記2つの回折光学素子のうち他方の回折光
学素子は光軸に対し回転対称に回折作用を有すること
や、(1-3) 前記2つの回折光学素子は前記走査レンズ系
を構成する単一の光学素子の光学面に各々重畳されてい
ることや、(1-4) 前記単一の光学素子はプラスチック材
料で形成されたレンズより成ることや、(1-5) 前記光走
査光学系の温度変化によって生じるピント変化を前記2
つの回折光学素子のパワー変化と、前記光源手段の波長
変動とで補正するようにしていることや、(1-6) 前記光
偏向器の偏向面と前記被走査面とは副走査断面内におい
て、前記走査レンズ系によって光学的共役関係にあるこ
と、等を特徴としている。
査方向の要部断面図(主走査断面図)である。
半導体レーザーより成っている。2はコリメーターレン
ズであり、光源手段1から射出された発散光束(光ビー
ム)を略平行光束に変換している。3は開口絞りであ
り、通過光束(光量)を制限している。
方向に所定の屈折力を有しており、開口絞り3を通過し
た光束を副走査断面内で後述する光偏向器5の偏向面5
aのほぼ線像として結像させている。従って光偏向器5
に入射する光束は主走査方向に長手の線像となる。
ー(回転多面鏡)より成っており、モーター等の駆動手
段(不図示)により図中矢印A方向に一定速度で回転し
ている。
あり、プラスチック材料で形成された非球面形状の単レ
ンズ(光学素子)より成り、その単レンズ6の入射側
(光偏向器側)の光学面としてのレンズ面(第1面)6
aに副走査方向に回折パワーを有する第1の回折光学素
子11を重畳しており、射出側(被走査面側)の光学面
としてのレンズ面(第2面)6bに主走査方向に回折パ
ワーを有する第2の回折光学素子12を重畳している。
器5によって偏向された画像情報に基づく光束を被走査
面である感光ドラム面8上に結像させる機能を有し、例
えば主走査方向は光偏向器5で偏向された光束を感光ド
ラム面8上に結像させる作用を有し、副走査方向は光偏
向器5の偏向面5a近傍に結像された線像を感光ドラム
面8上に再結像させる作用を有している。更にfθレン
ズ6は光偏向器5の回転角にリニアに比例して光束が感
光ドラム面8上を走査する、所謂fθ特性を有してい
る。
するのは光偏向器5の回転軸に対する倒れが光ビーム像
に及ぼす位置ずれを除去する、所謂倒れ補正を行なうた
めである。即ち、光偏向器5の偏向面5aと感光ドラム
面8とは副走査断面内において、fθレンズ6によって
光学的共役関係にある。
素子11,12は通常の硝材(ガラス材)で形成された
レンズ(屈折型レンズ)とは異なり、波長に対する屈折
率の変化率の度合いが1桁上で、かつアッベ数の符号が
逆となる光学特性を有している。図5は硝材で形成され
たレンズと回折光学素子との屈折率の分散の違いを示す
説明図である。同図においてAが通常の硝材で形成され
たレンズの光学特性、Bが本実施形態で用いる回折光学
素子の光学特性である。
は、所謂マルチ位相レベルと呼ばれるものであり、フォ
トマスクを用いてエッチングを繰り返して製作しても良
く、又は切除して製作しても良い。いずれにしても一方
のみの格子パターンなので製作は容易である。
射出した発散光束はコリメーターレンズ2により主走査
方向において略平行光束に変換され、開口絞り3によっ
て該光束(光量)を制限してシリンドリカルレンズ4に
入射している。シリンドリカルレンズ4に入射した光束
のうち主走査断面においてはそのままの状態で射出す
る。又副走査断面においては収束して光偏向器5の偏向
面5aにほぼ線像(主走査方向に長手の線像)として結
像している。そして光偏向器5の偏向面5aで偏向され
た光束はfθレンズ6を介して感光ドラム面8上に導光
され、該光偏向器5を矢印A方向に回転させることによ
って、該感光ドラム面8上を矢印B方向(主走査方向)
に光走査している。これにより記録媒体である感光ドラ
ム面8上に画像記録を行なっている。
を主走査方向は8次までの関数で表わされる非球面形状
とし、副走査方向は主走査方向(像高方向)に連続的に
変化する球面より構成している。そのレンズ形状は、例
えばfθレンズ6のレンズ面と光軸との交点を原点と
し、光軸方向をX軸、主走査面内において光軸と直交す
る軸をY軸、副走査面内において光軸と直交する軸をZ
軸としたとき、主走査方向と対応する母線方向が、
係数)なる式で表わされるものであり、また副走査方向
(光軸を含む主走査方向に対して直交する方向)と対応
する子線方向が
折面は位相関数を各々φ1 ,φ2 ,φ3 として光軸から
の高さをH、発振波長をλ、位相係数を各々C2 ,C
3 ,C4 ,C5 ,C8 ,C14,C27としたとき主走査方
向に回折作用を有する場合は
場合は
変化)の影響で、例えば温度がdtだけ変化した場合を
考える。この昇温によってfθレンズ6の屈折率nがd
n/dt変化し、該fθレンズ6の屈折パワーが変化す
る。またこの昇温によって半導体レーザー1の発振波長
λもdλ/dt変化し、第1、第2の回折光学素子1
1,12の回折パワーが変化する。
変化及び半導体レーザー1の波長変化を以下のように定
義する。
(収差変動)を2つの回折光学素子11,12のパワー
変化と、半導体レーザー1の波長変動とで効果的に補正
するようにしている。
トの補正量が互いに異なるので本実施形態では各々独立
に補正できるように副走査方向に回折パワーを有する第
1の回折光学素子11をfθレンズ6の第1面6aに重
畳し、また主走査方向に回折パワーを有する第2の回折
光学素子12をfθレンズ6の第2面6bに重畳するこ
とによって、上記の温度変化によって生ずるピント変動
を補正している。
θレンズ6の非球面係数及び第1、第2の回折光学素子
(DOE)11,12の位相項を示す。
走査方向の像面湾曲と、歪曲収差(fθ特性)等を示し
た諸収差図であり、実線は常温での特性、点線は25℃
昇温が生じたときの特性を示している。同図から分かる
ように温度上昇が生じても光学性能は実用上、問題のな
いレベルに維持することができる。
く互いに異なる方向に回折パワーを有する2つの回折光
学素子11,12をfθレンズ6の両レンズ面6a,6
bに各々重畳することにより、該fθレンズ6をプラス
チック材料で形成しても、温度変化に伴なうピント変動
(収差変動)を該2つの回折光学素子11,12の回折
パワー変化と、半導体レーザー1の波長変動とで効果的
に補正することができる。また第1、第2の回折光学素
子11,12をfθレンズ6の両レンズ面6a,6bに
各々分離させて重畳することによって、該回折光学素子
11,12の回折面の形状が簡単になり、これにより第
1、第2の回折光学素子11,12の製作を容易にして
安価な加工ができ、かつ光学性能の調整を各走査方向に
分離して行なうこともできる。
素子11,12を走査レンズ系を構成するfθレンズ6
の両レンズ面に各々重畳したが、これに限定されること
はなく、各々光路内に独立に設けて構成しても良く、ま
たどちらか一方のみをfθレンズ6のレンズ面に重畳
し、他方を独立に設けても良い。
要部断面図(主走査断面図)である。同図において図1
に示した要素と同一要素には同符番を付している。
なる点はfθレンズの入射側のレンズ面に副走査方向に
回折パワーを有する第1の回折光学素子を重畳し、射出
側のレンズ面に光軸に対して回転対称に回折パワーを有
する第2の回折光学素子を重畳したことである。その他
の構成及び光学的作用は前述の実施形態1と略同様であ
り、これにより同様な効果を得ている。
構成するfθレンズであり、プラスチック材料で形成さ
れた非球面形状の単レンズ(光学素子)より成り、その
単レンズ26の入射側(光偏向器側)のレンズ面(第1
面)26aに副走査方向に回折パワーを有する第1の回
折光学素子21を重畳し、射出側(被走査面側)のレン
ズ面(第2面)26bに光軸に対して回転対称に回折パ
ワーを有する第2の回折光学素子22を重畳している。
走査方向に屈折力が強いので回折光学素子による補正力
も強くしなければならない。そこで本実施形態では上述
の如く第2の回折光学素子22を光軸に対して回転対称
に回折パワーを有するように構成することにより、第1
の回折光学素子21の副走査方向の補正力を弱めること
ができ、更にこのように構成することによって第1、第
2の回折光学素子21,22の回折面の形状が簡単にな
り、これにより該回折光学素子の製作を容易にすること
ができる。
よって生じる主走査方向及び副走査方向のピント変動を
上述した第1、第2の回折光学素子21,22のパワー
変化と、半導体レーザー1の波長変動とで効果的に補正
するようにしている。
θレンズ26の非球面係数及び第1、第2の回折光学素
子(DOE)21,22の位相項を示す。
走査方向の像面湾曲と、歪曲収差(fθ特性)等を示し
た諸収差図であり、実線は常温での特性、点線は25℃
昇温が生じたときの特性を示している。同図から分かる
ように温度上昇が生じても光学性能は実用上、問題のな
いレベルに維持することができる。
査方向に回折パワーを有する第1の回折光学素子21
と、光軸に対して回転対称に回折パワーを有する第2の
回折光学素子22とをfθレンズ26の両レンズ面26
a,26bに各々重畳することにより、該fθレンズ2
6をプラスチック材料で形成しても、温度変化に伴なう
ピント変動(収差変動)を2つの回折光学素子21,2
2の回折パワー変化と、半導体レーザー1の波長変動と
で効果的に補正することができ、また該2つの回折光学
素子21,22の製作も容易にすることができる。
成としては図6に示す1層のキノフォーム形状の1層構
成のものや、図8に示すような格子厚の異なる(又は同
一の)2つの層を積層した2層構成のもの等が適用可能
である。
次回折光の回折効率の波長依存特性である。実際の回折
光学素子101の構成は、基材102の表面に紫外線硬
化樹脂を塗布し、樹脂部に波長530nmで1次回折光
の回折効率が100%となるような格子厚dの層103
を形成している。
は最適化した波長530nmから離れるに従って低下
し、一方設計次数近傍の次数の0次回折光と2次回折光
の回折効率が増大している。その設計次数以外の回折光
の増加はフレアとなり、光学系の解像度の低下につなが
る。
した積層型の回折光学素子の1次回折光の回折効率の波
長依存特性を図9に示す。
(nd=1.499、νd=54)からなる第1層10
4を形成し、その上に別の紫外線硬化樹脂(nd=1.
598、νd=28)からなる第2層105を形成して
いる。この材質の組み合わせでは第1層104の格子厚
d1はd1=13.8μm、第2層105の格子厚d2
はd2=10.5μmとしている。
素子にすることで、設計次数の回折効率は、使用波長全
域で95%以上の高い回折効率を有している。
て、材質を紫外線硬化樹脂に限定するものではなく、他
のプラスチック材等も使用できるし、基材によっては第
1層104を直接基材に形成しても良い。また各格子厚
が必ずしも異なる必要はなく、材料の組み合わせによっ
ては図10に示すように2つの層104と105の格子
厚を等しくしても良い。
が形成されないので、防塵性に優れ、回折光学素子の組
立作業性を向上させることができる。
に互いに異なる回折作用を有する少なくとも2つの回折
光学素子を設けることにより、該走査レンズ系にプラス
チックレンズ(走査レンズ)を用いても、環境変動に伴
なうピント変動(収差変動)を良好に補正することがで
きる、高精細印字(高解像力化)に適したコンパクトな
光走査光学系を達成することができる。
容易に製作することができる光走査光学系を達成するこ
とができる。
図
査方向及び副走査方向の像面湾曲と歪曲収差を示す諸収
差図
図
査方向及び副走査方向の像面湾曲と歪曲収差を示す諸収
差図
示す説明図
説明図
説明図
Claims (7)
- 【請求項1】 光源手段から射出された光束を光偏向器
に導光し、該光偏向器で偏向された光束を走査レンズ系
により被走査面上に導光し、該被走査面上を光走査する
光走査光学系において、 該走査レンズ系は少なくとも2つの回折光学素子を有
し、該2つの回折光学素子のうち少なくとも一方の回折
光学素子は主走査方向と副走査方向のうち、いずれか一
方向に回折作用を有することを特徴とする光走査光学
系。 - 【請求項2】 前記2つの回折光学素子のうち一方の回
折光学素子は主走査方向に回折作用を有し、他方の回折
光学素子は副走査方向に回折作用を有することを特徴と
する請求項1の光走査光学系。 - 【請求項3】 前記2つの回折光学素子のうち他方の回
折光学素子は光軸に対し回転対称に回折作用を有するこ
とを特徴とする請求項1の光走査光学系。 - 【請求項4】 前記2つの回折光学素子は前記走査レン
ズ系を構成する単一の光学素子の光学面に各々重畳され
ていることを特徴とする請求項1、2又は3の光走査光
学系。 - 【請求項5】 前記単一の光学素子はプラスチック材料
で形成されたレンズより成ることを特徴とする請求項4
の光走査光学系。 - 【請求項6】 前記光走査光学系の温度変化によって生
じるピント変化を前記2つの回折光学素子のパワー変化
と、前記光源手段の波長変動とで補正するようにしてい
ることを特徴とする請求項1の光走査光学系。 - 【請求項7】 前記光偏向器の偏向面と前記被走査面と
は副走査断面内において、前記走査レンズ系によって光
学的共役関係にあることを特徴とする請求項1の光走査
光学系。
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Publication Number | Publication Date |
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ID=17792834
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JP29328397A Expired - Fee Related JP3554157B2 (ja) | 1997-10-09 | 1997-10-09 | 光走査光学系及びレーザービームプリンタ |
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Cited By (4)
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JP2006235069A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置および画像形成装置 |
JP2007011113A (ja) * | 2005-07-01 | 2007-01-18 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置および画像形成装置 |
JP2010061110A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-03-18 | Kyocera Mita Corp | 光走査光学装置、該光走査光学装置を用いた画像形成装置並びに光走査方法 |
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1997
- 1997-10-09 JP JP29328397A patent/JP3554157B2/ja not_active Expired - Fee Related
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