JP3411661B2 - 走査光学系 - Google Patents
走査光学系Info
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Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、走査光学系に関し、特にプラス
チックレンズを含みながら高精細描画が可能な走査光学
系に関する。
チックレンズを含みながら高精細描画が可能な走査光学
系に関する。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】レーザビームプリンタ、レ
ーザスキャナ、バーコードリーダ等においては、走査光
学系が不可欠であり、光偏向器としてポリゴンミラーや
ホログラムディスクが用いられている。半導体レーザか
ら出射したレーザ光は、光偏向器に入射して走査され、
走査された光束は、ｆθ光学系等の走査レンズ系を介し
て、被走査面、例えば感光体に走査される。
ーザスキャナ、バーコードリーダ等においては、走査光
学系が不可欠であり、光偏向器としてポリゴンミラーや
ホログラムディスクが用いられている。半導体レーザか
ら出射したレーザ光は、光偏向器に入射して走査され、
走査された光束は、ｆθ光学系等の走査レンズ系を介し
て、被走査面、例えば感光体に走査される。
【０００３】このような走査光学系のｆθレンズ系で高
精細なものは従来、アナモフィックレンズを含んだ３枚
以上のガラスレンズで構成されていたが、高コストとい
う問題がある。特開平４−１１０８１７号公報は、ｆθ
レンズ系の全体をプラスチックレンズ化することを主た
る目的として、２枚のトーリックレンズから構成したｆ
θレンズを提案している。しかし、プラスチックレンズ
は、温度変化、湿度変化により焦点移動が生じるという
問題があり、このｆθレンズ系も全体をプラスチックレ
ンズから構成した場合にはその例外ではない。また、特
開平４−２７７７１５号公報は、ｆθレンズ系全体をプ
ラスチック化しながら、温度変化に対して、焦点移動が
生じにくいｆθレンズ系を提案しているが、ｆB が長く
とれないため、装置の構成に制約を与える可能性があ
る。
精細なものは従来、アナモフィックレンズを含んだ３枚
以上のガラスレンズで構成されていたが、高コストとい
う問題がある。特開平４−１１０８１７号公報は、ｆθ
レンズ系の全体をプラスチックレンズ化することを主た
る目的として、２枚のトーリックレンズから構成したｆ
θレンズを提案している。しかし、プラスチックレンズ
は、温度変化、湿度変化により焦点移動が生じるという
問題があり、このｆθレンズ系も全体をプラスチックレ
ンズから構成した場合にはその例外ではない。また、特
開平４−２７７７１５号公報は、ｆθレンズ系全体をプ
ラスチック化しながら、温度変化に対して、焦点移動が
生じにくいｆθレンズ系を提案しているが、ｆB が長く
とれないため、装置の構成に制約を与える可能性があ
る。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、低コスト、高性能であって、
ｆB が長く温湿度変化に対する焦点変動が少ない走査光
学系を得ることを目的とする。また本発明は、特に副走
査方向の像面湾曲を良好に補正でき、かつレンズ形状が
比較的単純で、その加工あるいは成形が容易な走査光学
系を得ることを目的とする。
ｆB が長く温湿度変化に対する焦点変動が少ない走査光
学系を得ることを目的とする。また本発明は、特に副走
査方向の像面湾曲を良好に補正でき、かつレンズ形状が
比較的単純で、その加工あるいは成形が容易な走査光学
系を得ることを目的とする。
【０００５】
【発明の概要】本発明は、ガラス製のトーリックレンズ
に主たるパワーを持たせ、このガラストーリックレンズ
による主走査方向の像面湾曲と副走査方向の像面湾曲と
をそれぞれ、第１のプラスチックレンズと第２のプラス
チックレンズとによって主に補正するようにした３枚構
成の走査光学系において、特に、副走査方向の像面湾曲
を補正する第２のプラスチックレンズを、偏向器側の面
が主走査方向とほぼ平行な回転軸を持つトーリック面か
らなり、被走査面側の面が副走査方向とほぼ平行な回転
軸を持つトーリック面からなり、主走査断面、副走査断
面の双方においてメニスカス形状をなし、かつ主走査断
面においては被走査面側に凸である形状としたことを特
徴としている。
に主たるパワーを持たせ、このガラストーリックレンズ
による主走査方向の像面湾曲と副走査方向の像面湾曲と
をそれぞれ、第１のプラスチックレンズと第２のプラス
チックレンズとによって主に補正するようにした３枚構
成の走査光学系において、特に、副走査方向の像面湾曲
を補正する第２のプラスチックレンズを、偏向器側の面
が主走査方向とほぼ平行な回転軸を持つトーリック面か
らなり、被走査面側の面が副走査方向とほぼ平行な回転
軸を持つトーリック面からなり、主走査断面、副走査断
面の双方においてメニスカス形状をなし、かつ主走査断
面においては被走査面側に凸である形状としたことを特
徴としている。
【０００６】ガラストーリックレンズは、例えば、被走
査面側の面が、副走査方向とほぼ平行な回転軸を持ち該
被走査面側に凸面を向けたトーリック面から構成するこ
とができる。光偏向器側の面は平面とすれば加工が容易
である。
査面側の面が、副走査方向とほぼ平行な回転軸を持ち該
被走査面側に凸面を向けたトーリック面から構成するこ
とができる。光偏向器側の面は平面とすれば加工が容易
である。
【０００７】第１のプラスチックレンズは、例えば、回
転対称な非球面を与えることにより、主走査方向の像面
湾曲とｆθ特性を補正することができる。
転対称な非球面を与えることにより、主走査方向の像面
湾曲とｆθ特性を補正することができる。
【０００８】第２のプラスチックレンズは、主走査方向
において偏心させることにより、副走査方向の像面が主
走査方向の中心に関し左右で非対称になるのを低減する
ことができる。
において偏心させることにより、副走査方向の像面が主
走査方向の中心に関し左右で非対称になるのを低減する
ことができる。
【０００９】
【発明の実施例】以下図示実施例について本発明を説明
する。 ［実施例１］図１、図２は本発明の第１の実施例を示
す。図１には、光偏向器として回転軸１１を中心に回動
するポリゴンミラー１２を図示している。周知のよう
に、半導体レーザから出射されたレーザ光は、コリメー
トレンズにより平行光束とされ、シリンドリカルレンズ
１３を通ってポリゴンミラー１２に入射し、該ミラー周
面の各反射面１２Ｒで反射されて走査され、走査レンズ
系２０を介して被走査面１４に走査される。被走査面１
４は、例えばレーザビームプリンタの場合、感光体ドラ
ムである。
する。 ［実施例１］図１、図２は本発明の第１の実施例を示
す。図１には、光偏向器として回転軸１１を中心に回動
するポリゴンミラー１２を図示している。周知のよう
に、半導体レーザから出射されたレーザ光は、コリメー
トレンズにより平行光束とされ、シリンドリカルレンズ
１３を通ってポリゴンミラー１２に入射し、該ミラー周
面の各反射面１２Ｒで反射されて走査され、走査レンズ
系２０を介して被走査面１４に走査される。被走査面１
４は、例えばレーザビームプリンタの場合、感光体ドラ
ムである。
【００１０】本発明は、例えば以上の構成を有する走査
光学系の走査レンズ系２０を要旨とするもので、図１、
図２では、ポリゴンミラー１２側から、第１のプラスチ
ックレンズ２１、ガラストーリックレンズ２２、及び第
２のプラスチックレンズ２３の３枚構成である。
光学系の走査レンズ系２０を要旨とするもので、図１、
図２では、ポリゴンミラー１２側から、第１のプラスチ
ックレンズ２１、ガラストーリックレンズ２２、及び第
２のプラスチックレンズ２３の３枚構成である。
【００１１】ガラストーリックレンズ２２は、走査レン
ズ系の主走査方向及び副走査方向の主たるパワーを負担
するもので、被走査面側の面２２ａが、副走査方向とほ
ぼ平行な回転軸を持ち該被走査面側に凸面を向けたトー
リック面からなり、ポリゴンミラー１２側の面２２ｂが
平面からなっている。
ズ系の主走査方向及び副走査方向の主たるパワーを負担
するもので、被走査面側の面２２ａが、副走査方向とほ
ぼ平行な回転軸を持ち該被走査面側に凸面を向けたトー
リック面からなり、ポリゴンミラー１２側の面２２ｂが
平面からなっている。
【００１２】プラスチックレンズ２１は、このガラスト
ーリックレンズ２２によって生じる収差のうち、主走査
方向（紙面上において図１の光軸Ｏと直交する方向）の
像面湾曲とｆθ特性とを補正するものである。このプラ
スチックレンズ２１は、少なくとも一面を回転対称な非
球面とすることが好ましい。
ーリックレンズ２２によって生じる収差のうち、主走査
方向（紙面上において図１の光軸Ｏと直交する方向）の
像面湾曲とｆθ特性とを補正するものである。このプラ
スチックレンズ２１は、少なくとも一面を回転対称な非
球面とすることが好ましい。
【００１３】プラスチックレンズ２３は、ポリゴンミラ
ー１２側の面２３ｂが主走査方向とほぼ平行な回転軸を
持つトーリック面からなり、被走査面側の面２３ａが副
走査方向とほぼ平行な回転軸を持つトーリック面からな
っている。さらに、このプラスチックレンズ２３は、主
走査断面と、副走査断面の双方においてメニスカス形状
をなしており、主走査断面においては被走査面側に凸で
ある。
ー１２側の面２３ｂが主走査方向とほぼ平行な回転軸を
持つトーリック面からなり、被走査面側の面２３ａが副
走査方向とほぼ平行な回転軸を持つトーリック面からな
っている。さらに、このプラスチックレンズ２３は、主
走査断面と、副走査断面の双方においてメニスカス形状
をなしており、主走査断面においては被走査面側に凸で
ある。
【００１４】図９は、本発明の特徴とするプラスチック
レンズ２３の形状を説明する図である。図９の左右方向
を主走査方向とすると、ポリゴンミラー１２側の面２３
ｂは、主走査方向と平行な軸Ｘ１を回転軸とするトーリ
ック面である。このトーリック面の曲率半径は、中心部
が最も小さく、周辺に行くに従って徐々に大きくなる。
つまり、このトーリック面２３ｂの副走査断面方向の曲
率半径は中心から周辺にかけて徐々に大きくなり、パワ
ーが徐々に小さくなっていく。プラスチックレンズ２３
は、主走査方向には、被走査面１４側に凸のメニスカス
形状をなしている。
レンズ２３の形状を説明する図である。図９の左右方向
を主走査方向とすると、ポリゴンミラー１２側の面２３
ｂは、主走査方向と平行な軸Ｘ１を回転軸とするトーリ
ック面である。このトーリック面の曲率半径は、中心部
が最も小さく、周辺に行くに従って徐々に大きくなる。
つまり、このトーリック面２３ｂの副走査断面方向の曲
率半径は中心から周辺にかけて徐々に大きくなり、パワ
ーが徐々に小さくなっていく。プラスチックレンズ２３
は、主走査方向には、被走査面１４側に凸のメニスカス
形状をなしている。
【００１５】一方、被走査面１４側の面２３ａは、副走
査方向と平行な軸Ｘ２（紙面と垂直な方向）を回転軸と
するトーリック面である。つまり、面２３ａの副走査方
向のパワーは、主走査方向のどこでも一定であり、ポリ
ゴンミラー１２側の面２３ｂのパワーの変化がそのまま
像面（被走査面）に現われる。このため、主走査方向の
端部で大きくなる傾向の副走査方向の像面湾曲を小さく
することができる。つまり、主走査方向の端部では中心
部に比べて焦点距離を伸ばすことができ、その結果、副
走査方向の像面湾曲を小さくすることができる。さら
に、仮に面２３ａと２３ｂの中心部における曲率半径を
同一にすれば、このプラスチックレンズ２３は中心部に
おいては副走査方向にパワーを持たないこととなり、周
辺部の副走査方向の像面湾曲だけを選択的に小さくする
ことができる。また、このプラスチックレンズ２３は、
副走査方向の像面湾曲を小さくすることを主たる目的と
しているので、そのパワーは小さくてすみ、よって温湿
度の変化の影響を受けにくい。
査方向と平行な軸Ｘ２（紙面と垂直な方向）を回転軸と
するトーリック面である。つまり、面２３ａの副走査方
向のパワーは、主走査方向のどこでも一定であり、ポリ
ゴンミラー１２側の面２３ｂのパワーの変化がそのまま
像面（被走査面）に現われる。このため、主走査方向の
端部で大きくなる傾向の副走査方向の像面湾曲を小さく
することができる。つまり、主走査方向の端部では中心
部に比べて焦点距離を伸ばすことができ、その結果、副
走査方向の像面湾曲を小さくすることができる。さら
に、仮に面２３ａと２３ｂの中心部における曲率半径を
同一にすれば、このプラスチックレンズ２３は中心部に
おいては副走査方向にパワーを持たないこととなり、周
辺部の副走査方向の像面湾曲だけを選択的に小さくする
ことができる。また、このプラスチックレンズ２３は、
副走査方向の像面湾曲を小さくすることを主たる目的と
しているので、そのパワーは小さくてすみ、よって温湿
度の変化の影響を受けにくい。
【００１６】さらに、このプラスチックレンズ２３は、
副走査断面においてもメニスカス形状をなしている。メ
ニスカス形状とすることにより、パワーを小さくするこ
とができ、副走査断面の像面湾曲だけを効果的に補正す
ることができる。副走査断面方向のメニスカス形状は、
図示例ではポリゴンミラー１２側に凸であるが、被走査
面１４側に凸とすることも可能である。
副走査断面においてもメニスカス形状をなしている。メ
ニスカス形状とすることにより、パワーを小さくするこ
とができ、副走査断面の像面湾曲だけを効果的に補正す
ることができる。副走査断面方向のメニスカス形状は、
図示例ではポリゴンミラー１２側に凸であるが、被走査
面１４側に凸とすることも可能である。
【００１７】またプラスチックレンズ２３は、ｆθレン
ズ系２０の光軸Ｏから距離ｅだけ半導体レーザ側に偏心
している。このようにプラスチックレンズ２３を偏心さ
せると、副走査方向の像面が主走査方向の中心に関し左
右で非対称になる（主走査方向に対して倒れる）のを低
減することができる。この非対称性は、半導体レーザか
らの光束の入射角αが一定値を越えると、特に大きくな
るものである。
ズ系２０の光軸Ｏから距離ｅだけ半導体レーザ側に偏心
している。このようにプラスチックレンズ２３を偏心さ
せると、副走査方向の像面が主走査方向の中心に関し左
右で非対称になる（主走査方向に対して倒れる）のを低
減することができる。この非対称性は、半導体レーザか
らの光束の入射角αが一定値を越えると、特に大きくな
るものである。
【００１８】表１は、実施例１の具体的な数値データで
あり、図３は、表１に示す具体的な数値データの走査レ
ンズ系２０のｆθ特性を示すグラフである。図４は同じ
く、メリディオナル（主走査方向）Ｍとサジタル（副走
査方向）Ｓの像面湾曲を示すグラフである。図３及び図
４の縦軸は主走査方向の位置を示しており、図３の横軸
は理想像高からの偏差（ｍｍ）、図４の横軸は相対的な
焦点位置（ｍｍ）を示している。
あり、図３は、表１に示す具体的な数値データの走査レ
ンズ系２０のｆθ特性を示すグラフである。図４は同じ
く、メリディオナル（主走査方向）Ｍとサジタル（副走
査方向）Ｓの像面湾曲を示すグラフである。図３及び図
４の縦軸は主走査方向の位置を示しており、図３の横軸
は理想像高からの偏差（ｍｍ）、図４の横軸は相対的な
焦点位置（ｍｍ）を示している。
【００１９】表中、f は焦点距離、fBはバックフォーカ
ス、K は走査係数、R はレンズ各面の主走査断面におけ
る曲率半径、RZは同副走査断面における曲率半径、D は
レンズ厚もしくはレンズ間隔、N は波長７８０ｎｍに対
する屈折率を示す。シリンドリカルレンズ１３は、半導
体レーザからポリゴンミラー１２の間に配設されたレン
ズである。
ス、K は走査係数、R はレンズ各面の主走査断面におけ
る曲率半径、RZは同副走査断面における曲率半径、D は
レンズ厚もしくはレンズ間隔、N は波長７８０ｎｍに対
する屈折率を示す。シリンドリカルレンズ１３は、半導
体レーザからポリゴンミラー１２の間に配設されたレン
ズである。
【００２０】
【表１】
f=135.37
fB=124.54
K=135.5
面 No. R RZ D N シリント゛リカル
∞ 17.88 4.00 1.51072(カ゛ラス)
レンス゛ ∞ 32.00ホ゜リコ゛ンミラー
29.94
1* 1053.00 6.73 1.48617(フ゜ラスチック)
2* -160.66 2.29
3 ∞ 14.50 1.51072(カ゛ラス)
4 -100.00 -18.46 3.00
5 -110.00 26.10 4.00 1.48617(フ゜ラスチック)
6 -142.58 23.30 124.54
* は回転対称非球面、
１面；K=5.32、 A4=-3.83×10-6、A6=2.10 ×10-9、A8=-
4.29×10-13 、 ２面；K=10.56、 A4=-2.25 ×10-6、A6=5.76 ×10-10 、
A8=1.18 ×10-13 、 プラスチックレンズ２３の偏心量ｅ；-3.30 像面の偏心（収差図の原点）；0.45 但し、非球面は次式で定義される。 x=cy2/{1+[1-(1+K)c2y2]1/2}+A4y4+A6y6+A8y8
4.29×10-13 、 ２面；K=10.56、 A4=-2.25 ×10-6、A6=5.76 ×10-10 、
A8=1.18 ×10-13 、 プラスチックレンズ２３の偏心量ｅ；-3.30 像面の偏心（収差図の原点）；0.45 但し、非球面は次式で定義される。 x=cy2/{1+[1-(1+K)c2y2]1/2}+A4y4+A6y6+A8y8
【００２１】［実施例２］図５、図６は本発明の第２の
実施例を示す。この実施例は、プラスチックレンズ２１
ないしプラスチックレンズ２３の配置位置を異ならせた
もので、ポリゴンミラー１２側から、ガラストーリック
レンズ２２、プラスチックレンズ２３、プラスチックレ
ンズ２１の順に配置している。この実施例の数値データ
を表２に示し、ｆθ特性を図７に示し、像面湾曲を図８
に示す。
実施例を示す。この実施例は、プラスチックレンズ２１
ないしプラスチックレンズ２３の配置位置を異ならせた
もので、ポリゴンミラー１２側から、ガラストーリック
レンズ２２、プラスチックレンズ２３、プラスチックレ
ンズ２１の順に配置している。この実施例の数値データ
を表２に示し、ｆθ特性を図７に示し、像面湾曲を図８
に示す。
【００２２】
【表２】
f=135.48
fB=128.78
K=135.5
面 No. R RZ D N シリント゛リカル
∞ 25.54 4.00 1.51072(カ゛ラス)
レンス゛ ∞ 58.35ホ゜リコ゛ンミラー
35.67
1 ∞ 14.00 1.51072(カ゛ラス)
2 -85.00 -18.40 2.00
3** -90.00 44.33 4.00 1.48617(フ゜ラスチック)
4 -92.70 29.50 1.00
5* 310.00 6.00 1.48617(フ゜ラスチック)
6* ∞ 128.78
* は回転対称非球面、
**は主走査断面を非球面化したトーリック面、
３面；K=0、 A4=-2.63 ×10-9
５面；K=-6.80、 A4=-1.46 ×10-6、A6=2.00 ×10-10 、
A8=-1.51×10-14 、 ６面；K=-22.00、 A4=-1.32×10-6、A6=1.25 ×10-10 、
A8=-7.00×10-15 、 プラスチックレンズ２３の偏心量ｅ；-2.84 像面の偏心（収差図の原点）；0.07
A8=-1.51×10-14 、 ６面；K=-22.00、 A4=-1.32×10-6、A6=1.25 ×10-10 、
A8=-7.00×10-15 、 プラスチックレンズ２３の偏心量ｅ；-2.84 像面の偏心（収差図の原点）；0.07
【００２３】
【発明の効果】本発明は、１枚のガラストーリックレン
ズと、２枚プラスチックレンズとの３枚構成の走査レン
ズ系において、特に副走査方向の像面湾曲補正に与るプ
ラスチックレンズを両面トーリックで、主走査方向、副
走査方向ともにメニスカス形状のレンズから構成したの
で、副走査方向の像面湾曲を良好に補正することができ
る。トーリック面は回転軸を有するので、精密な形状を
安価に得ることができる。また、２枚のプラスチックレ
ンズは像面湾曲補正及びｆθ特性の補正に与り、主たる
パワーはガラストーリックレンズが負担するので、温湿
度変化による焦点変動が少なく、低コストの走査光学系
を得ることができる。さらに、本発明によれば長いｆB
を得ることができる。
ズと、２枚プラスチックレンズとの３枚構成の走査レン
ズ系において、特に副走査方向の像面湾曲補正に与るプ
ラスチックレンズを両面トーリックで、主走査方向、副
走査方向ともにメニスカス形状のレンズから構成したの
で、副走査方向の像面湾曲を良好に補正することができ
る。トーリック面は回転軸を有するので、精密な形状を
安価に得ることができる。また、２枚のプラスチックレ
ンズは像面湾曲補正及びｆθ特性の補正に与り、主たる
パワーはガラストーリックレンズが負担するので、温湿
度変化による焦点変動が少なく、低コストの走査光学系
を得ることができる。さらに、本発明によれば長いｆB
を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による走査光学系の第１の実施例を示す
平面図である。
平面図である。
【図２】図１の正面図である。
【図３】図１、図２の走査光学系によるｆθ特性を示す
グラフである。
グラフである。
【図４】図１、図２の走査光学系における像面湾曲を示
すグラフである。
すグラフである。
【図５】本発明による走査光学系の第２の実施例を示す
平面図である。
平面図である。
【図６】図５の正面図である。
【図７】図５、図６の走査光学系によるｆθ特性を示す
グラフである。
グラフである。
【図８】図５、図６の走査光学系における像面湾曲を示
すグラフである。
すグラフである。
【図９】本発明による副走査方向の像面湾曲補正に与る
プラスチックレンズの形状を説明する図である。
プラスチックレンズの形状を説明する図である。
１２ ポリゴンミラー（偏向器）
１３ シリンドリカルレンズ
１４ 被走査面
２０ 走査レンズ系
２１ 第１のプラスチックレンズ
２２ ガラストーリックレンズ
２３ 第２のプラスチックレンズ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 9/00 - 17/08
G02B 21/02 - 21/04
G02B 25/00 - 25/04
G02B 26/10
Claims (4)
- 【請求項１】 光偏向器によって走査される光束を、走
査レンズ系を介して被走査面に走査する走査光学系にお
いて、 上記走査レンズ系が、 主にパワーを持つガラストーリックレンズと；主にこの
ガラストーリックレンズによる主走査方向の像面湾曲と
ｆθ特性を補正する第１のプラスチックレンズと；主に
ガラストーリックレンズによる副走査方向の像面湾曲を
補正する第２のプラスチックレンズと；から構成されて
いて、 第２のプラスチックレンズは、偏向器側の面が主走査方
向とほぼ平行な回転軸を持つトーリック面で、被走査面
側の面が副走査方向とほぼ平行な回転軸を持つトーリッ
ク面であり、主走査断面、副走査断面の双方においてメ
ニスカス形状をなし、かつ主走査断面においては被走査
面側に凸の形状をなしていることを特徴とする走査光学
系。 - 【請求項２】 請求項１において、ガラストーリックレ
ンズは、被走査面側の面が、副走査方向とほぼ平行な回
転軸を持ち該被走査面側に凸面を向けたトーリック面か
らなっている走査光学系。 - 【請求項３】 請求項２において、ガラストーリックレ
ンズは、光偏向器側の面が平面である走査光学系。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれか１項におい
て、第１のプラスチックレンズは、回転対称な非球面を
持っている走査光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06525694A JP3411661B2 (ja) | 1994-04-01 | 1994-04-01 | 走査光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06525694A JP3411661B2 (ja) | 1994-04-01 | 1994-04-01 | 走査光学系 |
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| JPH07270678A JPH07270678A (ja) | 1995-10-20 |
| JP3411661B2 true JP3411661B2 (ja) | 2003-06-03 |
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Family Applications (1)
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-
1994
- 1994-04-01 JP JP06525694A patent/JP3411661B2/ja not_active Expired - Fee Related
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