JP3215764B2 - 反射型走査光学系 - Google Patents
反射型走査光学系Info
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Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、走査光学系に関し、特にｆθレ
ンズ等の走査レンズに代えて、ミラーを用いた反射型走
査光学系に関する。
ンズ等の走査レンズに代えて、ミラーを用いた反射型走
査光学系に関する。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】レーザビームプリンタ、レ
ーザスキャナ、バーコードリーダ等においては、走査光
学系が不可欠であり、光偏向器として偏向器やホログラ
ムディスクが用いられている。半導体レーザから出射し
たレーザ光は、光偏向器に入射して走査され、走査され
た光束は、被走査面、例えば感光体に走査される。
ーザスキャナ、バーコードリーダ等においては、走査光
学系が不可欠であり、光偏向器として偏向器やホログラ
ムディスクが用いられている。半導体レーザから出射し
たレーザ光は、光偏向器に入射して走査され、走査され
た光束は、被走査面、例えば感光体に走査される。
【０００３】このような走査光学系においては従来、光
偏向器からの光束をｆθレンズ系等の走査レンズ系を透
過させているが、読取系として利用する場合は、色収差
が発生するという問題がある。このため、近時、走査レ
ンズ系に代えて、ミラーを用いた光学系が提案されてい
る。
偏向器からの光束をｆθレンズ系等の走査レンズ系を透
過させているが、読取系として利用する場合は、色収差
が発生するという問題がある。このため、近時、走査レ
ンズ系に代えて、ミラーを用いた光学系が提案されてい
る。
【０００４】本出願人は、このようなミラーを用いた走
査光学系として、走査係数Ｋに対して、最適な入射光の
焦点位置、ミラーの位置、及びミラーのＲを見出して、
特許出願した（特願平５−４９５７号）。この反射型走
査光学系は、走査線の曲がり（ボウ(BOW))や像面湾曲が
少なく、しかも走査角度範囲が広いという特徴がある。
しかしながら、この反射型走査光学系では、装置の小型
化に視点が向けられておらず、このため、ミラーを小さ
くするべく、走査係数を小さく設定すると、ミラーと感
光体ドラム（被走査面、像面）の間隔（ｆB ）が小さく
なり、熱を発する定着ユニットがミラーに近接して種々
の問題が生じることが明らかになった。
査光学系として、走査係数Ｋに対して、最適な入射光の
焦点位置、ミラーの位置、及びミラーのＲを見出して、
特許出願した（特願平５−４９５７号）。この反射型走
査光学系は、走査線の曲がり（ボウ(BOW))や像面湾曲が
少なく、しかも走査角度範囲が広いという特徴がある。
しかしながら、この反射型走査光学系では、装置の小型
化に視点が向けられておらず、このため、ミラーを小さ
くするべく、走査係数を小さく設定すると、ミラーと感
光体ドラム（被走査面、像面）の間隔（ｆB ）が小さく
なり、熱を発する定着ユニットがミラーに近接して種々
の問題が生じることが明らかになった。
【０００５】
【発明の目的】本発明は従って、ミラーを用いた反射型
走査光学系において、ミラーを小型化しても、ミラーか
ら被走査面（像面、ドラム）までの距離を大きく確保す
ることができる走査光学系を得ることを目的とする。
走査光学系において、ミラーを小型化しても、ミラーか
ら被走査面（像面、ドラム）までの距離を大きく確保す
ることができる走査光学系を得ることを目的とする。
【０００６】
【発明の概要】本発明の反射型走査光学系は、光束を偏
向させる偏向器と；この偏向器に対し副走査方向に入射
角を持たせてレーザ光を入射させるレーザ光源と；偏向
器で偏向されたレーザ光を、入射方向に対して分離角を
持たせてさらに反射する、少なくとも主走査方向に曲率
を有する曲面ミラーと；この曲面ミラーと被走査面との
間に配設されたアナモフィックレンズ系と；を基本構成
として備えるものであって、さらに、アナモフィックレ
ンズ系は、少なくとも、主走査断面形状が非球面である
面と；光軸から離れた位置での副走査断面の曲率半径が
主走査断面形状とは無関係に設定されている、回転軸を
持たない非球面を有する面と；を備えていることを特徴
としている。
向させる偏向器と；この偏向器に対し副走査方向に入射
角を持たせてレーザ光を入射させるレーザ光源と；偏向
器で偏向されたレーザ光を、入射方向に対して分離角を
持たせてさらに反射する、少なくとも主走査方向に曲率
を有する曲面ミラーと；この曲面ミラーと被走査面との
間に配設されたアナモフィックレンズ系と；を基本構成
として備えるものであって、さらに、アナモフィックレ
ンズ系は、少なくとも、主走査断面形状が非球面である
面と；光軸から離れた位置での副走査断面の曲率半径が
主走査断面形状とは無関係に設定されている、回転軸を
持たない非球面を有する面と；を備えていることを特徴
としている。
【０００７】以上の構成によると、曲面ミラーを小さく
するべく走査係数を小さく設定した場合においても、ア
ナモフィックレンズ系の主走査断面方向の非球面によ
り、特に主走査方向の像面湾曲を補正することができる
とともに、副走査断面の回転軸を持たない非球面によ
り、特に副走査方向の像面湾曲を補正することができ、
さらに、ミラーと被走査面との間の距離を大きくとるこ
とが可能となる。
するべく走査係数を小さく設定した場合においても、ア
ナモフィックレンズ系の主走査断面方向の非球面によ
り、特に主走査方向の像面湾曲を補正することができる
とともに、副走査断面の回転軸を持たない非球面によ
り、特に副走査方向の像面湾曲を補正することができ、
さらに、ミラーと被走査面との間の距離を大きくとるこ
とが可能となる。
【０００８】さらに、主走査断面における像面湾曲は、
曲面ミラーを、その主走査断面において、非球面とする
と、さらに効果的に補正できることが分かった。
曲面ミラーを、その主走査断面において、非球面とする
と、さらに効果的に補正できることが分かった。
【０００９】偏向器への入射光が副走査方向に角度を持
つことによって発生する波面のねじれは、アナモフィッ
クレンズ系を副走査方向に偏心させて配置することによ
り、補正している。
つことによって発生する波面のねじれは、アナモフィッ
クレンズ系を副走査方向に偏心させて配置することによ
り、補正している。
【００１０】
【発明の実施例】以下図示実施例について本発明を説明
する。図１は、本発明の反射型走査光学系の副走査断面
内における配置、図２は同主走査断面における配置を示
している。偏向器として例示するポリゴンミラー１１
は、周面に複数の反射面１１ａを有し、回転軸１２を中
心に回転駆動される。反射面１１ａに直交する平面１３
を考えると、半導体レーザ光源１４からのレーザ光は、
この直交平面１３に対して一定の入射角αをなして、反
射面１１ａに入射する。半導体レーザ光源１４からのレ
ーザ光は、レーザ光を平行光束とするコリメートレンズ
１５と、副走査方向にのみパワーを持つシリンドリカル
レンズ１６と、主副両走査方向にパワーを有する収束レ
ンズ１７を介して出射する。
する。図１は、本発明の反射型走査光学系の副走査断面
内における配置、図２は同主走査断面における配置を示
している。偏向器として例示するポリゴンミラー１１
は、周面に複数の反射面１１ａを有し、回転軸１２を中
心に回転駆動される。反射面１１ａに直交する平面１３
を考えると、半導体レーザ光源１４からのレーザ光は、
この直交平面１３に対して一定の入射角αをなして、反
射面１１ａに入射する。半導体レーザ光源１４からのレ
ーザ光は、レーザ光を平行光束とするコリメートレンズ
１５と、副走査方向にのみパワーを持つシリンドリカル
レンズ１６と、主副両走査方向にパワーを有する収束レ
ンズ１７を介して出射する。
【００１１】反射面１１ａからの反射レーザ光の光路上
には、曲面ミラー２０が配設されている。この曲面ミラ
ー２０は、少なくとも主走査方向に曲率を有するもの
で、入射方向に対し分離角βをもってレーザ光を反射さ
せるように、設置されている。
には、曲面ミラー２０が配設されている。この曲面ミラ
ー２０は、少なくとも主走査方向に曲率を有するもの
で、入射方向に対し分離角βをもってレーザ光を反射さ
せるように、設置されている。
【００１２】この曲面ミラー２０からの反射レーザ光路
上には、本発明の特徴とするアナモフィックレンズ２１
が配設されている。レーザ光は、このアナモフィックレ
ンズ２１によって主に副走査方向に集光され、ミラー２
２を介して被走査面（例えば感光ドラム）２３に走査さ
れる。このアナモフィックレンズ２１は、図２に示すよ
うに、主走査方向にはパワーが小さく、一方、副走査面
内では、図１に示すように、副走査方向に正のパワーを
有する形状をなし、かつその光軸が光学系の光軸（レー
ザ光走査面）Ｏに対して距離ｅだけ偏心させて配置され
ている。この偏心は、上述のように、偏向器への入射光
が副走査方向に角度を持つことによって発生する波面の
ねじれを補正するために有効である。
上には、本発明の特徴とするアナモフィックレンズ２１
が配設されている。レーザ光は、このアナモフィックレ
ンズ２１によって主に副走査方向に集光され、ミラー２
２を介して被走査面（例えば感光ドラム）２３に走査さ
れる。このアナモフィックレンズ２１は、図２に示すよ
うに、主走査方向にはパワーが小さく、一方、副走査面
内では、図１に示すように、副走査方向に正のパワーを
有する形状をなし、かつその光軸が光学系の光軸（レー
ザ光走査面）Ｏに対して距離ｅだけ偏心させて配置され
ている。この偏心は、上述のように、偏向器への入射光
が副走査方向に角度を持つことによって発生する波面の
ねじれを補正するために有効である。
【００１３】以上の反射型走査光学系は、半導体レーザ
光源１４からのレーザ光が、コリメートレンズ１５、シ
リンドリカルレンズ１６、及び収束レンズ１７により、
主走査方向及び副走査方向に収束され、ポリゴンミラー
１１の回転中心に向けて照射され、反射面１１ａで反射
する。特にシリンドリカルレンズ１６の作用により、副
走査方向に強く収束し、反射面１１ａの近傍で一旦主走
査方向に延びる線像を形成する。反射面１１ａで反射さ
れたレーザ光は、曲面ミラー２０で反射した後、アナモ
フィックレンズ２１で副走査方向に収束され、さらにミ
ラー２２で反射した後、被走査面２３上を走査される。
レーザ光は、主走査方向に関しては主として収束レンズ
１７と曲面ミラー２０により被走査面２３上に収束さ
れ、副走査方向に関してはシリンドリカルレンズ１６、
収束レンズ１７及びアナモフィックレンズ２１によって
収束される。
光源１４からのレーザ光が、コリメートレンズ１５、シ
リンドリカルレンズ１６、及び収束レンズ１７により、
主走査方向及び副走査方向に収束され、ポリゴンミラー
１１の回転中心に向けて照射され、反射面１１ａで反射
する。特にシリンドリカルレンズ１６の作用により、副
走査方向に強く収束し、反射面１１ａの近傍で一旦主走
査方向に延びる線像を形成する。反射面１１ａで反射さ
れたレーザ光は、曲面ミラー２０で反射した後、アナモ
フィックレンズ２１で副走査方向に収束され、さらにミ
ラー２２で反射した後、被走査面２３上を走査される。
レーザ光は、主走査方向に関しては主として収束レンズ
１７と曲面ミラー２０により被走査面２３上に収束さ
れ、副走査方向に関してはシリンドリカルレンズ１６、
収束レンズ１７及びアナモフィックレンズ２１によって
収束される。
【００１４】このように、ポリゴンミラー１１の回転中
心に向けてレーザ光を入射させると、ポリゴンミラー１
１の大きさに対して走査可能な角度範囲を大きく設定で
きるため、ポリゴンミラー１１の大きさを一定とすれば
広範囲の走査が可能となり、走査範囲を一定とすればポ
リゴンミラー１１の径を小さくすることができる。
心に向けてレーザ光を入射させると、ポリゴンミラー１
１の大きさに対して走査可能な角度範囲を大きく設定で
きるため、ポリゴンミラー１１の大きさを一定とすれば
広範囲の走査が可能となり、走査範囲を一定とすればポ
リゴンミラー１１の径を小さくすることができる。
【００１５】本発明は、例えば以上のように構成される
反射型走査光学系において、アナモフィックレンズ２１
を、主走査断面に関しては非球面とし、副走査断面に関
しては、回転軸を持たない非球面にした点に第一の特徴
がある。また第二の特徴は、曲面ミラー２０を非球面化
した点にある。
反射型走査光学系において、アナモフィックレンズ２１
を、主走査断面に関しては非球面とし、副走査断面に関
しては、回転軸を持たない非球面にした点に第一の特徴
がある。また第二の特徴は、曲面ミラー２０を非球面化
した点にある。
【００１６】図３及び次式１は、主走査断面における回
転対称非球面の定義である。
転対称非球面の定義である。
【式１】x=ch2/{1+[1-(1+K)c2h2]1/2}+A4h4+A6h6+A8h8+
A10h10 +・・・ 但し、C=1/R
A10h10 +・・・ 但し、C=1/R
【００１７】アナモフィックレンズ２１の少なくとも１
面、例えば第１面２１ａを、主走査断面において非球面
とすることにより、主走査方向の像面湾曲をよく補正す
ることができる。曲面ミラー２０の非球面も、この回転
対称非球面であって、アナモフィックレンズ２１の第１
面２１ａと同時に非球面化することにより、より良好に
主走査方向の像面湾曲及びｆθ特性を補正できる。
面、例えば第１面２１ａを、主走査断面において非球面
とすることにより、主走査方向の像面湾曲をよく補正す
ることができる。曲面ミラー２０の非球面も、この回転
対称非球面であって、アナモフィックレンズ２１の第１
面２１ａと同時に非球面化することにより、より良好に
主走査方向の像面湾曲及びｆθ特性を補正できる。
【００１８】図４は、光軸Ｏから離れた位置での副走査
断面の曲率半径が主走査断面形状とは無関係に設定され
ている、回転軸を持たない非球面の概念図であり、その
定義式を次式２に示す。
断面の曲率半径が主走査断面形状とは無関係に設定され
ている、回転軸を持たない非球面の概念図であり、その
定義式を次式２に示す。
【式２】 x=cy2/{1+[1-(1+K)c2y2]1/2}+A4y4+A6y6+A8y8+A10y10 +・・・（イ） 1/RZ=(1/RZ0)+B1y+B2y2+B3y3+B4y4+・・・ （ロ） 実施例では、B1、B3は０のため、実質上、 1/RZ=(1/RZ0)+B2y2+B4y42+B6y6+・・・ （イ）’ である。回転軸を持たない非球面は、（イ）式（または
（イ）’式）で定義される主走査断面に（ロ）式で定義
される円弧が連続した形状となる。
（イ）’式）で定義される主走査断面に（ロ）式で定義
される円弧が連続した形状となる。
【００１９】アナモフィックレンズ２１のいずれか１
面、例えば第２面２１ｂをこのような回転軸を持たない
非球面とすることにより、副走査断面における像面湾曲
を効果的に補正することができる。具体的な非球面量
は、レンズ系に応じて決定される。
面、例えば第２面２１ｂをこのような回転軸を持たない
非球面とすることにより、副走査断面における像面湾曲
を効果的に補正することができる。具体的な非球面量
は、レンズ系に応じて決定される。
【００２０】次に具体的な数値実施例について本発明を
説明する。 ［実施例１］図５は、図１、図２に基本構成を示した反
射型走査光学系について、表１に示す具体的な数値デー
タの光学系につき、ｆθ特性を計算したグラフである。
図６は同じく、メリディオナル（主走査方向）Ｍとサジ
タル（副走査方向）Ｓの像面湾曲を計算したグラフであ
る。図７は同じく、走査線湾曲（ボウ、BOW ）を計算し
たグラフである。図５ないし図７の縦軸は主走査方向の
位置を示しており、図５及び図７の横軸は理想位置から
の偏差（ｍｍ）、図６の横軸は相対的な焦点位置（ｍ
ｍ）を示している。
説明する。 ［実施例１］図５は、図１、図２に基本構成を示した反
射型走査光学系について、表１に示す具体的な数値デー
タの光学系につき、ｆθ特性を計算したグラフである。
図６は同じく、メリディオナル（主走査方向）Ｍとサジ
タル（副走査方向）Ｓの像面湾曲を計算したグラフであ
る。図７は同じく、走査線湾曲（ボウ、BOW ）を計算し
たグラフである。図５ないし図７の縦軸は主走査方向の
位置を示しており、図５及び図７の横軸は理想位置から
の偏差（ｍｍ）、図６の横軸は相対的な焦点位置（ｍ
ｍ）を示している。
【００２１】表中、K は走査係数、W は走査幅、αは偏
向器への入射角、βは曲面ミラーでの分離角、ｅはアナ
モフィックレンズの偏心量、R はレンズ各面の主走査平
面における曲率半径、D はレンズ厚もしくはレンズ間
隔、N は波長７８０ｎｍに対する屈折率を示す。この実
施例は、ポリゴンミラー１１への入射光が主走査断面で
平行光であり、図１中の収束レンズ１７を必要としな
い。
向器への入射角、βは曲面ミラーでの分離角、ｅはアナ
モフィックレンズの偏心量、R はレンズ各面の主走査平
面における曲率半径、D はレンズ厚もしくはレンズ間
隔、N は波長７８０ｎｍに対する屈折率を示す。この実
施例は、ポリゴンミラー１１への入射光が主走査断面で
平行光であり、図１中の収束レンズ１７を必要としな
い。
【００２２】
【表１】K=170.0 W=216 α=4゜ β=6゜ e=-2.60 y=0 における走査位置ずれ；-3.24 * は回転対称非球面、 **は回転軸を持たない非球面。 非球面データ； １面；K=-2.50、 A4=4.55×10-8、A6=-5.80×10-12 、A8
=-3.22×10-17 、A10=0 ２面；K=2.90、 A4=-8.80×10-8、A6=1.53 ×10-11 、A8
=-5.22×10-16 、A10=0 ３面 K=2.58、 A4=-2.22×10-7、A6=1.80 ×10-11 、A8=-3.47
×10-16 、A10=0 RZ=-23.36、 B2=4.43×10-7、B4=1.75 ×10-11 、B6=1.9
8 ×10-15
=-3.22×10-17 、A10=0 ２面；K=2.90、 A4=-8.80×10-8、A6=1.53 ×10-11 、A8
=-5.22×10-16 、A10=0 ３面 K=2.58、 A4=-2.22×10-7、A6=1.80 ×10-11 、A8=-3.47
×10-16 、A10=0 RZ=-23.36、 B2=4.43×10-7、B4=1.75 ×10-11 、B6=1.9
8 ×10-15
【００２３】［実施例２］図８は、図１、図２に基本構
成を示した反射型走査光学系について、表２に示す具体
的な数値データの光学系につき、ｆθ特性を計算したグ
ラフである。図９は同じく、メリディオナル（主走査方
向）Ｍとサジタル（副走査方向）Ｓの像面湾曲を計算し
たグラフである。図１０は同じく、走査線湾曲（ボウ、
BOW ）を計算したグラフである。図８ないし図１０の縦
軸と横軸は、図５ないし図７と同じである。この実施例
も、ポリゴンミラー１１への入射光が主走査断面で平行
光であり、図１中の収束レンズ１７を必要としない。
成を示した反射型走査光学系について、表２に示す具体
的な数値データの光学系につき、ｆθ特性を計算したグ
ラフである。図９は同じく、メリディオナル（主走査方
向）Ｍとサジタル（副走査方向）Ｓの像面湾曲を計算し
たグラフである。図１０は同じく、走査線湾曲（ボウ、
BOW ）を計算したグラフである。図８ないし図１０の縦
軸と横軸は、図５ないし図７と同じである。この実施例
も、ポリゴンミラー１１への入射光が主走査断面で平行
光であり、図１中の収束レンズ１７を必要としない。
【００２４】
【表２】K=191.0 W=216 α=4゜ β=6゜ e=-2.80 y=0 における走査位置ずれ；-3.37 * は回転対称非球面、 **は回転軸を持たない非球面。 非球面データ； １面；K=0.63、 A4=1.95 ×10-8、A6=3.89 ×10-12 、 A
8=-1.12 ×10-15 、A10=0 ２面；K=0、 A4=-1.16 ×10-7、A6=2.95 ×10-11 、 A8=
-1.84 ×10-15 、A10=0 ３面 K=0、 A4=-1.13 ×10-7、A6=1.80 ×10-11 、A8=-1.04×
10-15 、A10=0 RZ=-24.00、 B2=4.97×10-7、B4=8.48 ×10-11 、B6=-8.
63×10-15
8=-1.12 ×10-15 、A10=0 ２面；K=0、 A4=-1.16 ×10-7、A6=2.95 ×10-11 、 A8=
-1.84 ×10-15 、A10=0 ３面 K=0、 A4=-1.13 ×10-7、A6=1.80 ×10-11 、A8=-1.04×
10-15 、A10=0 RZ=-24.00、 B2=4.97×10-7、B4=8.48 ×10-11 、B6=-8.
63×10-15
【００２５】［実施例３］図１１は、図１、図２に基本
構成を示した反射型走査光学系について、表３に示す具
体的な数値データの光学系につき、ｆθ特性を計算した
グラフである。図１２は同じく、メリディオナル（主走
査方向）Ｍとサジタル（副走査方向）Ｓの像面湾曲を計
算したグラフである。図１３は同じく、走査線湾曲（ボ
ウ、BOW ）を計算したグラフである。図１１ないし図１
３の縦軸と横軸は、図５ないし図７と同じである。この
実施例は、ポリゴンミラー１１への入射光が主走査断面
で収束する収束光であり、収束光の位置は、曲面ミラー
２０から524.89である。
構成を示した反射型走査光学系について、表３に示す具
体的な数値データの光学系につき、ｆθ特性を計算した
グラフである。図１２は同じく、メリディオナル（主走
査方向）Ｍとサジタル（副走査方向）Ｓの像面湾曲を計
算したグラフである。図１３は同じく、走査線湾曲（ボ
ウ、BOW ）を計算したグラフである。図１１ないし図１
３の縦軸と横軸は、図５ないし図７と同じである。この
実施例は、ポリゴンミラー１１への入射光が主走査断面
で収束する収束光であり、収束光の位置は、曲面ミラー
２０から524.89である。
【００２６】
【表３】K=191.0 W=216 α=4゜ β=6゜ e=-2.60 y=0 における走査位置ずれ；-3.28 * は回転対称非球面、 **は回転軸を持たない非球面。 非球面データ； １面；K=-2.42、 A4=5.17×10-8、A6=1.58 ×10-12 、A8
=-3.07×10-15 、A10=0 ２面；K=2.93、 A4=-9.67×10-8、A6=3.12 ×10-11 、A8
=-1.55×10-15 、A10=0 ３面 K=0、 A4=-2.06 ×10-7、A6=2.69 ×10-11 、A8=-9.62×
10-16 、A10=0 RZ=-22.06、 B2=7.59×10-7、B4=1.18 ×10-10 、B6=-8.
00×10-15
=-3.07×10-15 、A10=0 ２面；K=2.93、 A4=-9.67×10-8、A6=3.12 ×10-11 、A8
=-1.55×10-15 、A10=0 ３面 K=0、 A4=-2.06 ×10-7、A6=2.69 ×10-11 、A8=-9.62×
10-16 、A10=0 RZ=-22.06、 B2=7.59×10-7、B4=1.18 ×10-10 、B6=-8.
00×10-15
【００２７】以上の各実施例から明らかなように、本発
明の走査光学系によれば、主走査方向及び副走査方向の
像面湾曲をよく補正することができる。またｆθ特性に
優れ、ボウの発生も少ない。
明の走査光学系によれば、主走査方向及び副走査方向の
像面湾曲をよく補正することができる。またｆθ特性に
優れ、ボウの発生も少ない。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、ミラーを小型化して
も、ミラーから被走査面までの距離を大きく確保するこ
とができ、反射型走査光学系を小型化することができ
る。よって例えば被走査面が感光体ドラムであるレーザ
ビームプリンタにおいては、ミラーと発熱する現像系と
離して設置することができ、ミラーが熱の影響を受ける
ことが少ない。
も、ミラーから被走査面までの距離を大きく確保するこ
とができ、反射型走査光学系を小型化することができ
る。よって例えば被走査面が感光体ドラムであるレーザ
ビームプリンタにおいては、ミラーと発熱する現像系と
離して設置することができ、ミラーが熱の影響を受ける
ことが少ない。
【図１】本発明による反射型走査光学系の実施例を示す
副走査断面の断面図である。
副走査断面の断面図である。
【図２】図１の反射型走査光学系の主走査断面の断面図
である。
である。
【図３】本発明の反射型走査光学系に用いる、回転対称
非球面の一般的概念図である。
非球面の一般的概念図である。
【図４】本発明の反射型走査光学系に用いる、回転軸を
持たない非球面の一般的概念図である。
持たない非球面の一般的概念図である。
【図５】本発明の反射型走査光学系の第１の実施例のｆ
θ特性を示すグラフである。
θ特性を示すグラフである。
【図６】同像面湾曲を示すグラフである。
【図７】同走査線の曲がり（ボウ）を示すグラフであ
る。
る。
【図８】本発明の反射型走査光学系の第２の実施例のｆ
θ特性を示すグラフである。
θ特性を示すグラフである。
【図９】同像面湾曲を示すグラフである。
【図１０】同走査線の曲がり（ボウ）を示すグラフであ
る。
る。
【図１１】本発明の反射型走査光学系の第３の実施例の
ｆθ特性を示すグラフである。
ｆθ特性を示すグラフである。
【図１２】同像面湾曲を示すグラフである。
【図１３】同走査線の曲がり（ボウ）を示すグラフであ
る。
る。
１１ ポリゴンミラー（偏向器） １１ａ 反射面 １２ 回転軸 １３ 反射面との直交平面 １４ 半導体レーザ光源 １５ コリメートレンズ １６ シリンドリカルレンズ １７ 収束レンズ ２０ 曲面ミラー ２１ アナモフィックレンズ ２２ ミラー ２３ 被走査面
Claims (3)
- 【請求項１】 光束を偏向させる偏向器と；この偏向器
に対し副走査方向に入射角を持たせてレーザ光を入射さ
せるレーザ光源と；上記偏向器で偏向されたレーザ光
を、入射方向に対して分離角を持たせてさらに反射す
る、少なくとも主走査方向に曲率を有する曲面ミラー
と；この曲面ミラーと被走査面との間に配設されたアナ
モフィックレンズ系と；を備え、 上記アナモフィックレンズ系は、少なくとも、主走査断
面形状が非球面である面と；光軸から離れた位置での副
走査断面の曲率半径が主走査断面形状とは無関係に設定
されている、回転軸を持たない非球面を有する面と；を
備えていることを特徴とする反射型走査光学系。 - 【請求項２】 請求項１において、さらに、上記曲面ミ
ラーは、その主走査断面において、非球面である反射型
走査光学系。 - 【請求項３】 請求項１または２において、上記アナモ
フィックレンズは、その光軸がレーザ光偏向面に対して
副走査方向に偏心して配置されている反射型走査光学
系。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33318993A JP3215764B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 反射型走査光学系 |
| US08/362,980 US5648865A (en) | 1993-12-27 | 1994-12-23 | Scanning optical system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33318993A JP3215764B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 反射型走査光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07191272A JPH07191272A (ja) | 1995-07-28 |
| JP3215764B2 true JP3215764B2 (ja) | 2001-10-09 |
Family
ID=18263307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33318993A Expired - Fee Related JP3215764B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 反射型走査光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3215764B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6643044B1 (en) | 1996-04-05 | 2003-11-04 | Pentax Corporation | Scanning optical system |
| JP2001318331A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Asahi Optical Co Ltd | 反射型走査光学系 |
| JP2004070107A (ja) | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Canon Inc | 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置 |
| US7034859B2 (en) | 2002-08-08 | 2006-04-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical scanning device and image forming apparatus using the same |
| US7433095B2 (en) | 2003-06-17 | 2008-10-07 | Hoya Corporation | Reflective scanning optical system |
| US7327507B2 (en) * | 2005-08-02 | 2008-02-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical beam scanning device having two sets of fθ mirrors where the mirror base and mirror face have differing coefficients of linear expansion |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP33318993A patent/JP3215764B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07191272A (ja) | 1995-07-28 |
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