JPH11117939A - エアースピンドル - Google Patents
エアースピンドルInfo
- Publication number
- JPH11117939A JPH11117939A JP27879897A JP27879897A JPH11117939A JP H11117939 A JPH11117939 A JP H11117939A JP 27879897 A JP27879897 A JP 27879897A JP 27879897 A JP27879897 A JP 27879897A JP H11117939 A JPH11117939 A JP H11117939A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- thrust plate
- thrust
- radial
- air supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 エアースピンドル回転軸のスラストプレート
の外周面にもラジアル軸受部を設け、ラジアル方向の剛
性を高めると共に微小のぶれを防止する。 【解決手段】 エアースピンドルのハウジングに設けら
れたエアー供給路に、回転軸のスラストプレートの外周
面に対応させて分岐路を新設し、この分岐路を介してス
ラストプレートに対するラジアル軸受部を付加する。半
導体ウェーハ等を切削する切削装置の切削手段にこのエ
アースピンドルを組み込む。スラストプレートの厚み
は、必要且つ十分なラジアル方向のエアーによる支持力
を得るために２０ｍｍ〜５０ｍｍに設定する。
の外周面にもラジアル軸受部を設け、ラジアル方向の剛
性を高めると共に微小のぶれを防止する。 【解決手段】 エアースピンドルのハウジングに設けら
れたエアー供給路に、回転軸のスラストプレートの外周
面に対応させて分岐路を新設し、この分岐路を介してス
ラストプレートに対するラジアル軸受部を付加する。半
導体ウェーハ等を切削する切削装置の切削手段にこのエ
アースピンドルを組み込む。スラストプレートの厚み
は、必要且つ十分なラジアル方向のエアーによる支持力
を得るために２０ｍｍ〜５０ｍｍに設定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハ等
を切削する切削装置等に組み込まれるエアースピンドル
に関する。
を切削する切削装置等に組み込まれるエアースピンドル
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハ等を切削する切削装置
は、例えば図３に示すようにフレームＦにテープを介し
て貼着された半導体ウェーハ等の被切削物Ｗを、チャッ
クテーブルＴ上に吸着保持し、このチャックテーブルＴ
を水平方向に往復動させながら切削手段Ｃの回転ブレー
ドＢにより切削するようになっている。この回転ブレー
ドＢは、図４のように切削手段Ｃに設けられたエアース
ピンドルＳの回転軸１の先端取付部１ａに、取り付けナ
ット２を介して装着される。そして、エアースピンドル
Ｓは、図５に示すように前記回転軸１と、この回転軸１
をエアーで支持する円筒状のハウジング３とを備えてい
る。
は、例えば図３に示すようにフレームＦにテープを介し
て貼着された半導体ウェーハ等の被切削物Ｗを、チャッ
クテーブルＴ上に吸着保持し、このチャックテーブルＴ
を水平方向に往復動させながら切削手段Ｃの回転ブレー
ドＢにより切削するようになっている。この回転ブレー
ドＢは、図４のように切削手段Ｃに設けられたエアース
ピンドルＳの回転軸１の先端取付部１ａに、取り付けナ
ット２を介して装着される。そして、エアースピンドル
Ｓは、図５に示すように前記回転軸１と、この回転軸１
をエアーで支持する円筒状のハウジング３とを備えてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のエアースピ
ンドルＳは、ハウジング３の壁内にエアー供給路４が設
けられ、このエアー供給路４に高圧エアーを供給して回
転軸１の外周面に沿ってラジアル軸受部５を形成すると
共に、回転軸１のスラストプレート１ｂの外周部両面に
沿ってスラスト軸受部６を形成して回転軸１をエアーで
支持している。しかしながら、スラストプレート１ｂが
回転ブレードＢの取付部１ａの直近に位置しているた
め、切削時に微小のぶれが生じたりラジアル方向の剛性
が損なわれる等の問題があった。この問題を解決するに
は、例えばスラストプレート１ｂを後方即ちモータＭ側
へ移動させる方法もあるが、その場合には回転軸１の軸
方向への変位が大きくなり、高精度な切削や加工用途に
は適さなくなってしまう。
ンドルＳは、ハウジング３の壁内にエアー供給路４が設
けられ、このエアー供給路４に高圧エアーを供給して回
転軸１の外周面に沿ってラジアル軸受部５を形成すると
共に、回転軸１のスラストプレート１ｂの外周部両面に
沿ってスラスト軸受部６を形成して回転軸１をエアーで
支持している。しかしながら、スラストプレート１ｂが
回転ブレードＢの取付部１ａの直近に位置しているた
め、切削時に微小のぶれが生じたりラジアル方向の剛性
が損なわれる等の問題があった。この問題を解決するに
は、例えばスラストプレート１ｂを後方即ちモータＭ側
へ移動させる方法もあるが、その場合には回転軸１の軸
方向への変位が大きくなり、高精度な切削や加工用途に
は適さなくなってしまう。
【０００４】本発明は、このような従来の問題を解決す
るためになされ、回転軸のスラストプレートの外周面に
もエアーによるラジアル軸受部を設け、ラジアル方向の
剛性を高めるようにしたエアースピンドルを提供するこ
とを目的とする。
るためになされ、回転軸のスラストプレートの外周面に
もエアーによるラジアル軸受部を設け、ラジアル方向の
剛性を高めるようにしたエアースピンドルを提供するこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の具体的手段として、本発明は、回転軸と、この回転軸
のラジアル方向をエアーで支持するラジアル軸受部及び
スラスト方向をエアーで支持するスラスト軸受部とを含
むハウジングと、から構成されるエアースピンドルであ
って、前記回転軸には前記スラスト軸受部によって支持
されるスラストプレートが形成されており、スラスト軸
受部は前記スラストプレートのラジアル方向もエアーで
支持するようにしたエアースピンドルを要旨とする。
又、半導体ウェーハ等を切削する切削装置を構成する切
削手段に組み込まれたこと、スラストプレートの厚みは
２０ｍｍ〜５０ｍｍであること、を要旨とするものであ
る。
の具体的手段として、本発明は、回転軸と、この回転軸
のラジアル方向をエアーで支持するラジアル軸受部及び
スラスト方向をエアーで支持するスラスト軸受部とを含
むハウジングと、から構成されるエアースピンドルであ
って、前記回転軸には前記スラスト軸受部によって支持
されるスラストプレートが形成されており、スラスト軸
受部は前記スラストプレートのラジアル方向もエアーで
支持するようにしたエアースピンドルを要旨とする。
又、半導体ウェーハ等を切削する切削装置を構成する切
削手段に組み込まれたこと、スラストプレートの厚みは
２０ｍｍ〜５０ｍｍであること、を要旨とするものであ
る。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳説する（従来と同じ部材は同一符
号）。図１は、本発明に係るエアースピンドルであり、
回転軸１と、この回転軸１をエアーで支持する円筒状の
ハウジング３とを備え、回転軸１の先端部には前記回転
ブレードＢを装着する取付部１ａが設けられ、ハウジン
グ３の前端部付近に位置させてスラストプレート１ｂが
設けられている。
図面に基づいて詳説する（従来と同じ部材は同一符
号）。図１は、本発明に係るエアースピンドルであり、
回転軸１と、この回転軸１をエアーで支持する円筒状の
ハウジング３とを備え、回転軸１の先端部には前記回転
ブレードＢを装着する取付部１ａが設けられ、ハウジン
グ３の前端部付近に位置させてスラストプレート１ｂが
設けられている。
【０００７】前記ハウジング３の壁内には、従来と同様
にエアー供給路４がハウジング３の円周方向に一定の間
隔をあけて複数本設けられ、各エアー供給路４からは所
定の間隔をあけて複数の第１の分岐路４ａがそれぞれ中
心方向に向けて放射状に設けられている。
にエアー供給路４がハウジング３の円周方向に一定の間
隔をあけて複数本設けられ、各エアー供給路４からは所
定の間隔をあけて複数の第１の分岐路４ａがそれぞれ中
心方向に向けて放射状に設けられている。
【０００８】又、エアー供給路４の前方部には、前記ス
ラストプレート１ｂの外周部の両面に対向させて第２の
分岐路４ｂがそれぞれ設けられ、更に本発明の場合に
は、スラストプレート１ｂの外周面に対向する第３の分
岐路４ｃが中心に向けてそれぞれ放射状に設けられてい
る。
ラストプレート１ｂの外周部の両面に対向させて第２の
分岐路４ｂがそれぞれ設けられ、更に本発明の場合に
は、スラストプレート１ｂの外周面に対向する第３の分
岐路４ｃが中心に向けてそれぞれ放射状に設けられてい
る。
【０００９】このように構成されたエアースピンドル
Ｓ′において、切削時等にエアー供給路４に高圧エアー
を供給すると、回転軸１には前記第１の分岐路４ａを介
してラジアル方向をエアーで支持するラジアル軸受部５
が形成され、スラストプレート１ｂには第２の分岐路４
ｂを介してスラスト方向をエアーで支持するスラスト軸
受部６が形成され、更に第３の分岐路４ｃを介してラジ
アル方向をエアーで支持するラジアル軸受部７が形成さ
れる。
Ｓ′において、切削時等にエアー供給路４に高圧エアー
を供給すると、回転軸１には前記第１の分岐路４ａを介
してラジアル方向をエアーで支持するラジアル軸受部５
が形成され、スラストプレート１ｂには第２の分岐路４
ｂを介してスラスト方向をエアーで支持するスラスト軸
受部６が形成され、更に第３の分岐路４ｃを介してラジ
アル方向をエアーで支持するラジアル軸受部７が形成さ
れる。
【００１０】従って、回転軸１のスラストプレート１ｂ
は、スラスト軸受部６とラジアル軸受部７との両方で安
定良く支持されることとなり、直近の取付部１ａに装着
された回転ブレードＢ（図略）が切削等の加工を行って
も、微小のぶれが生じたりラジアル方向の剛性が損なわ
れたりすることはなく、高精度の加工が可能となる。
は、スラスト軸受部６とラジアル軸受部７との両方で安
定良く支持されることとなり、直近の取付部１ａに装着
された回転ブレードＢ（図略）が切削等の加工を行って
も、微小のぶれが生じたりラジアル方向の剛性が損なわ
れたりすることはなく、高精度の加工が可能となる。
【００１１】この場合、スラストプレート１ｂの厚み
は、必要且つ十分なラジアル方向の支持力を受けるため
に２０ｍｍ〜５０ｍｍに設定するが、エアースピンドル
の大きさによっては適宜変更する。尚、図１において８
はローター、９はステーターであり、モータＭを構成し
ている。
は、必要且つ十分なラジアル方向の支持力を受けるため
に２０ｍｍ〜５０ｍｍに設定するが、エアースピンドル
の大きさによっては適宜変更する。尚、図１において８
はローター、９はステーターであり、モータＭを構成し
ている。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
半導体ウェーハ等を切削する切削装置等に組み込まれる
エアースピンドルにおいて、回転軸のスラストプレート
をエアーで支持するスラスト軸受部に、スラストプレー
トのラジアル方向もエアーで支持するラジアル軸受部を
付加したので、ラジアル方向の剛性を高め、微小のぶれ
を未然に防止し、切削等の加工精度を著しく高める効果
を奏する。
半導体ウェーハ等を切削する切削装置等に組み込まれる
エアースピンドルにおいて、回転軸のスラストプレート
をエアーで支持するスラスト軸受部に、スラストプレー
トのラジアル方向もエアーで支持するラジアル軸受部を
付加したので、ラジアル方向の剛性を高め、微小のぶれ
を未然に防止し、切削等の加工精度を著しく高める効果
を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るエアースピンドルの概略断面図で
ある。
ある。
【図２】同、要部の拡大図である。
【図３】エアースピンドルを組み込んだ切削装置の一例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図４】回転ブレード取付部の分解斜視図である。
【図５】従来のエアースピンドルの概略断面図である。
１…回転軸 ２…取り付けナット ３…ハウジング ４…エアー供給路 ５…ラジアル軸受部 ６…スラスト軸受部 ７…ラジアル軸受部 ８…ローター ９…ステーター
Claims (3)
- 【請求項１】回転軸と、この回転軸のラジアル方向をエ
アーで支持するラジアル軸受部及びスラスト方向をエア
ーで支持するスラスト軸受部とを含むハウジングと、か
ら構成されるエアースピンドルであって、 前記回転軸には前記スラスト軸受部によって支持される
スラストプレートが形成されており、スラスト軸受部は
前記スラストプレートのラジアル方向もエアーで支持す
ることを特徴とするエアースピンドル。 - 【請求項２】半導体ウェーハ等を切削する切削装置を構
成する切削手段に組み込まれた請求項１記載のエアース
ピンドル。 - 【請求項３】スラストプレートの厚みは２０ｍｍ〜５０
ｍｍである請求項１又は２記載のエアースピンドル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27879897A JPH11117939A (ja) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | エアースピンドル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27879897A JPH11117939A (ja) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | エアースピンドル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11117939A true JPH11117939A (ja) | 1999-04-27 |
Family
ID=17602331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27879897A Withdrawn JPH11117939A (ja) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | エアースピンドル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11117939A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110243601A (zh) * | 2019-07-08 | 2019-09-17 | 淮海工学院 | 一种适用于超高速工况下的组合推力与径向轴承装置及其检测方法 |
-
1997
- 1997-10-13 JP JP27879897A patent/JPH11117939A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110243601A (zh) * | 2019-07-08 | 2019-09-17 | 淮海工学院 | 一种适用于超高速工况下的组合推力与径向轴承装置及其检测方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040916 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20080317 |