JPH11109913A - 画像形成方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 表面伝導型放出素子の印加電圧に対する放出
電流の特性が略線形に近い部分の特性を利用して、表面
伝導型放出素子を駆動することにより、駆動信号に対す
る発光輝度の線形性を有して再生する画像形成方法及び
装置を提供する。 【解決手段】 Ｘ方向ドライバ回路２により、表示パネ
ル１のマトリクス状に配線した行方向配線を順次選択し
駆動電圧を印加して駆動するとともに、この行方向配線
の駆動に同期して画像信号に応じた電圧信号を印加す
る。ライン補正テーブル１２には、行方向配線のそれぞ
れに接続された複数の表面伝導型放出素子の電子放出特
性を補正するための補正データが記憶されており、各行
方向配線の駆動時、その補正テーブル１２から、その駆
動される行方向配線に対応する補正データを読み出し
て、その行方向配線の駆動電圧を補正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の電子放出素
子を２次元平面上にマトリクス状に配列した電子源を使
用する画像形成方法及び装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、電子放出素子として熱陰極素
子と冷陰極素子の２種類が知られている。このうち冷陰
極素子では、例えば表面伝導型放出素子や、電界放出型
素子（以下ＦＥ型と記す）や、金属／絶縁層／金属型放
出素子（以下ＭＩＭ型と記す）などが知られている。

【０００３】ＦＥ型の例としては、例えば、W. P. Dyke
& W. W. Dolan，“Field emission”, Advance in Ele
ctron Physics, 8, 89 (1956)や、或は、C. A. Spind
t，“Physical properties of thin-film field emissi
on cathodes with molybdeniumcones”, J. Appl. Phy
s., 47, 5248 (1976)などが知られている。

【０００４】また、ＭＩＭ型の例としては、例えば、C.
A. Mead，“Operation of tunnel-emission Devices,
J. Appl. Phys., 32,646 (1961)などが知られている。

【０００５】表面伝導型放出素子としては、例えば、M.
I. Elinson, Radio E-ng. Electron Phys., 10, 1290,
(1965)や、後述する他の例が知られている。

【０００６】表面伝導型放出素子は、基板上に形成され
た小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流すことにより
電子放出が生ずる現象を利用するものである。この表面
伝導型放出素子としては、前記エリンソン(Elinson)等
によるＳｎＯ2薄膜を用いたものの他に、Ａｕ薄膜によ
るもの［G. Dittmer：“Thin Solid Films”, 9,317 (1
972)］や、Ｉｎ2Ｏ3／ＳｎＯ2薄膜によるもの［M. Hart
well and C. G. Fonstad：”IEEE Trans. ED Conf.”，
519 (1975)］や、カーボン薄膜によるもの［荒木久
他：真空、第２６巻、第１号、２２（１９８３）］等が
報告されている。

【０００７】これらの表面伝導型放出素子の素子構成の
典型的な例として、図１８に前述のM. Hartwellらによ
る素子の平面図を示す。同図において、３００１は基板
で、３００４はスパッタで形成された金属酸化物よりな
る導電性薄膜である。導電性薄膜３００４は図示のよう
にＨ字形の平面形状に形成されている。この導電性薄膜
３００４に、後述の通電フォーミングと呼ばれる通電処
理を施すことにより、電子放出部３００５が形成され
る。図中の間隔Ｌは、０．５〜１［ｍｍ］、幅Ｗは、
０．１［ｍｍ］に設定されている。尚、図示の便宜か
ら、電子放出部３００５は導電性薄膜３００４の中央に
矩形の形状で示したが、これは模式的なものであり、実
際の電子放出部の位置や形状を忠実に表現しているわけ
ではない。

【０００８】M. Hartwellらによる素子をはじめとして
上述の表面伝導型放出素子においては、電子放出を行う
前に導電性薄膜３００４に通電フォーミングと呼ばれる
通電処理を施すことにより電子放出部３００５を形成す
るのが一般的であった。即ち、通電フォーミングとは、
前記導電性薄膜３００４の両端に一定の直流電圧、もし
くは、例えば１Ｖ／分程度の非常にゆっくりとしたレー
トで昇圧する直流電圧を印加して通電し、導電性薄膜３
００４を局所的に破壊もしくは変形もしくは変質せし
め、電気的に高抵抗な状態の電子放出部３００５を形成
することである。尚、局所的に破壊もしくは変形もしく
は変質した導電性薄膜３００４の一部には亀裂が発生す
る。この通電フォーミング後に導電性薄膜３００４に適
宜の電圧を印加した場合には、前記亀裂付近において電
子放出が行われる。

【０００９】例えば、表面伝導型放出素子は、冷陰極素
子のなかでも特に構造が単純で製造も容易であることか
ら、大面積にわたり多数の素子を形成できる利点があ
る。そこで、例えば本出願人による特開昭６４−３１３
３２号公報において開示されるように、多数の素子を配
列して駆動するための方法が研究されている。

【００１０】また、表面伝導型放出素子の応用について
は、例えば、画像表示装置、画像記録装置などの画像形
成装置や、荷電ビーム源、等が研究されている。

【００１１】特に、画像表示装置への応用としては、例
えば本出願人によるＵＳＰ５，０６６，８８３や特開平
２−２５７５５１号公報や特開平４−２８１３７号公報
において開示されているように、表面伝導型放出素子と
電子の照射により発光する蛍光体とを組み合わせて用い
た画像表示装置が研究されている。表面伝導型放出素子
と蛍光体とを組み合わせて用いた画像表示装置は、従来
の他の方式の画像表示装置よりも優れた特性が期待され
ている。例えば、近年普及してきた液晶表示装置と比較
しても、自発光型であるためバックライトを必要としな
い点や、視野角が広い点が優れていると言える。

【００１２】発明者らは、上記従来技術に記載したもの
をはじめとして、さまざまな材料、製法、構造の冷陰極
素子を試みてきた。さらに、多数の表面伝導型放出素子
を配列したマルチ電子源、ならびにこのマルチ電子源を
応用した画像表示装置について研究を行ってきた。

【００１３】本願発明者らは、例えば図１９に示す電気
的な配線方法によるマルチ電子源を試みてきた。即ち、
表面伝導型放出素子を２次元的に多数個配列し、これら
の素子を図示のようにマトリクス状に配線したマルチ電
子源である。

【００１４】図中、４００１は表面伝導型放出素子を模
式的に示し、４００２は行方向配線、４００３は列方向
配線を示している。行方向配線４００２及び列方向配線
４００３は、実際には有限の電気抵抗を有するものであ
るが、図においては配線抵抗４００４および４００５と
して示されている。上述のような配線方法を単純マトリ
クス配線と呼ぶ。なお、図示の便宜上、６×６のマトリ
クスで示しているが、マトリクスの規模はむろんこれに
限ったわけではなく、例えば画像表示装置用のマルチ電
子源の場合には、所望の画像表示を行うのに足りるだけ
の素子を配列し配線するものである。

【００１５】表面伝導型放出素子を単純マトリクス配線
したマルチ電子源においては、所望の電子ビームを出力
させるため、行方向配線４００２および列方向配線４０
０３に適宜の電気信号を印加する。例えば、マトリクス
の中の任意の１行の表面伝導型放出素子を駆動するに
は、選択する行の行方向配線４００２には選択電圧Ｖs
を印加し、同時に非選択の行の行方向配線４００２には
非選択電圧Ｖnsを印加する。これと同期して列方向配線
４００３に電子を出力するための駆動電圧Ｖeを印加す
る。この方法によれば、配線抵抗４００４および４００
５による電圧降下を無視すれば、選択する行の表面伝導
型放出素子には電圧（Ｖe−Ｖs）が印加され、また非選
択行の表面伝導型放出素子には電圧（Ｖe−Ｖns）が印
加される。これら電圧Ｖe，Ｖs，Ｖnsを適宜の大きさの
値にすれば、選択する行の表面伝導型放出素子だけから
所望の強度の電子が出力されるはずであり、また列方向
配線の各々に異なる駆動電圧Ｖeを印加すれば、選択す
る行の素子の各々から異なる強度の電子が出力されるは
ずである。また、駆動電圧Ｖeを印加する時間の長さを
変えれば、電子が出力される時間の長さも変えることが
できるはずである。ここで、選択時の素子印加電圧（Ｖ
e−Ｖs）を以下Ｖfと呼ぶ。さらに単純マトリクス配線
したマルチ電子源から電子を得る別の手法として、列方
向配線に駆動電圧Ｖeを印加するための電圧源を接続す
るのではなく、所望の電子を出力するのに必要な電流を
供給するための電流源を接続して駆動する方法もある。
ここで、電子源に流れる電流を以下素子電流Ｉfと呼
び、放出される電子量を放出電流Ｉeと呼ぶ。

【００１６】従って、表面伝導型放出素子を単純マトリ
クス配線したマルチ電子源はいろいろな応用可能性があ
り、例えば画像情報に応じた電気信号を適宜印加すれ
ば、画像表示装置用の電子源として好適に用いることが
できる。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た表面伝導型放出素子を単純マトリクス配線したマルチ
電子源には、実際には以下に述べるような問題が発生し
ていた。

【００１８】放出電流Ｉeの特性は、図２０に示した電
子放出素子に印加される素子電圧Ｖfの変化に対して非
線形な性質をもつことが知られている。特に、閾値電圧
Ｖthを境にして放出電流が増大するダイオードに似た特
性を持ち、この特性は次のような式で表される。

【００１９】 Ｉe＝ａ×（Ｖfの２乗）×ｅｘｐ（−ｂ／Ｖf） ここで、係数ａは、放出電流Ｉeが電流を出力し始める
Ｖfの値に起因し、乗数ｂは放出電流Ｉeのγ値（非線形
に出力された傾きの度合い）に関係する。

【００２０】この様な特性をもつ電子放出素子に対し
て、入力した画像信号に電圧振幅変調を行い、その画像
信号の輝度の線形性を再現できるγ補正方法が知られて
いる。例えば、表示させる画像信号の階調レベルを２５
６階調とした場合には、図２０に示した電圧Ｖsを８ビ
ットで量子化した分解能で、各表面伝導型放出素子に印
加する。

【００２１】このような素子駆動を行って画像の再現性
を高めようとすると、図の破線で示した直線状の特性に
γ特性を変換する必要がでてくる。例えば、電圧Ｖs1を
印加したときに素子から得られる実際の放出電流の値は
Ｉea1であるのに対し、γ補正をすることにより、破線
上のＩeaだけ電流値を増大させた素子電流が得られなけ
ればならない。これは実際の特性曲線上では、電圧Ｖs
1'に相当している。

【００２２】又、電圧Ｖs2の場合には電流Ｉebだけ増や
し、電圧Ｖs3に対しては電流Ｉecが増大されなければな
らない。

【００２３】又、上述のように表面伝導型放出素子をマ
トリクス状に配列した場合には、Ｍ×Ｎ個のすべての素
子に対して補正値を備えねばならず、例えば、２４０×
４８０ラインの素子のそれぞれを８ビットの量子化した
画像データでγ補正して駆動すると、このγ補正用のテ
ーブルのデータとしては約３０Ｍバイトにもなる。更
に、画像信号を表示するために変調信号を印加するとき
に電圧Ｖfに応じた補正信号をリアルタイムで読み出さ
なければならず、構成する回路システムが高速になり、
又、その規模も大きくならざるをえず、システム全体の
コストにも影響してくる。

【００２４】本発明は上記従来例に鑑みてなされたもの
で、表面伝導型放出素子の印加電圧に対する放出電流の
特性が略線形に近い部分の特性を利用して、表面伝導型
放出素子を駆動することにより、駆動信号に対する発光
輝度の線形性を有して再生できる画像形成方法及び装置
を提供することを目的とする。

【００２５】また本発明の目的は、マトリクス状に配線
された表面伝導型放出素子の各行方向配線に対応する複
数の表面伝導型放出素子をまとめて補正することによ
り、各素子に印加する電圧に応じて放出される放出電流
の線形性を保持させた画像形成方法及び装置を提供する
ことにある。

【００２６】また本発明の他の目的は、マトリクス状に
配線された複数の表面伝導型放出素子のそれぞれに対応
する補正データに基づいて印加電圧を補正することによ
り、各素子に印加する電圧に応じて放出される放出電流
の線形性を維持させて画像を形成する画像形成方法及び
装置を提供することにある。

【００２７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の画像形成装置は以下のような構成を備える。
即ち、マトリクス状に配線された複数の表面伝導型放出
素子から放出される電子により画像を形成する画像形成
装置であって、前記マトリクス状に配線した行方向配線
を順次選択し、駆動電圧を印加して駆動する走査駆動手
段と、前記マトリクス状に配線した列方向配線に、前記
走査駆動手段による駆動に同期して画像信号に応じた電
圧信号を印加する電圧駆動手段と、前記行方向配線のそ
れぞれに接続された複数の表面伝導型放出素子の電子放
出特性を補正するための補正データを記憶する記憶手段
と、前記走査駆動手段による各行方向配線の駆動時、前
記記憶手段から当該駆動される行方向配線に対応する補
正データを読み出して前記行方向配線の駆動電圧を補正
する補正手段とを有することを特徴とする。

【００２８】また上記目的を達成するために本発明の画
像形成装置は以下のような構成を備える。即ち、マトリ
クス状に配線された複数の表面伝導型放出素子から放出
される電子により画像を形成する画像形成装置であっ
て、前記マトリクス状に配線した行方向配線を順次選択
し、駆動電圧を印加して駆動する走査駆動手段と、前記
マトリクス状に配線した列方向配線に、前記走査駆動手
段による駆動に同期して画像信号に応じた電圧信号を印
加する電圧駆動手段と、前記複数の表面伝導型放出素子
の電子放出特性を補正するための補正データを記憶する
記憶手段と、前記走査駆動手段による各行方向配線の駆
動時、前記記憶手段から当該駆動される行方向配線に接
続された表面伝導型放出素子の補正データを読み出して
前記電圧駆動手段により印加される電圧信号を補正する
補正手段とを有することを特徴とする。

【００２９】また上記目的を達成するために本発明の画
像形成方法は以下のような工程を備える。即ち、マトリ
クス状に配線された複数の表面伝導型放出素子から放出
される電子により画像を形成する画像形成方法であっ
て、前記マトリクス状に配線した行方向配線を順次選択
し、駆動電圧を印加して駆動する走査駆動工程と、前記
マトリクス状に配線した列方向配線に、前記走査駆動手
段による駆動に同期して画像信号に応じた電圧信号を印
加する電圧駆動工程と、前記行方向配線のそれぞれに接
続された複数の表面伝導型放出素子の電子放出特性を補
正するための補正データをメモリに記憶しておき、前記
走査駆動工程による各行方向配線の駆動時、前記メモリ
から当該駆動される行方向配線に対応する補正データを
読み出して前記行方向配線の駆動電圧を補正する補正工
程とを有することを特徴とする。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する前に本実施の形態の概要を説明する。

【００３１】図１は、本発明の実施の形態におけるγ補
正を説明するための図で、放出電流Ｉeは、Ｖth（素子
電圧Ｖfに対して放出電流Ｉeが出力される電圧値）を境
に、その値が増大する。しかしながら、前述した様に、
この放出電流の特性は素子電圧に対して非直線性を有し
ているため、閾値電圧Ｖthから電圧ΔＶcだけ増大する
域内での放出電流特性は特に非線形となっている。

【００３２】図１において、表示される画素の輝度が安
定する領域は、図のＶcで示した電圧範囲であり、放出
電流Ｉeでみると、電流値Ｉe1よりも大きい電流範囲Ｉe
sであることがわかる。従って、電圧による振幅変調を
行い、輝度の線形性の向上とその補償をとるために、電
圧ΔＶcを補償した後の、電圧域Ｖcで示される電位幅で
行なう。

【００３３】図１では、直線部分に相当する所の特性に
対して破線で示し、実際の特性と比較してもその差が少
ないことが確認できる。又、各素子ごとに放出電流Ｉe
の特性がばらついているのが現実である。そのため、線
形性の高い部分の特性を利用しようとしたとき、その補
償電圧ΔＶcも当然のことながら素子ごとに異なってく
る。そこで、各素子ごと、もしくは駆動ライン毎に補正
電圧ΔＶcを加え、線形性が高い領域で画像表示ができ
るような補正手段を備えている。この補正手段は、後述
の実施の形態で説明するが、各素子の放出電流Ｉeより
求められる電圧ΔＶcの値をメモリに記憶し、そのデー
タに基づいて補正を行う。

【００３４】以下、添付図面を参照して本発明の好適な
実施の形態を詳細に説明する。

【００３５】［実施の形態１］図２は、本発明の実施の
形態１における画像ディスプレイ装置の構成を示すブロ
ック図である。

【００３６】図２において、１は表示パネルを示し、本
実施の形態の表面伝導型放出素子がＭ×Ｎ個、単純マト
リクス配線されている。表示パネル１は、画像表示用と
して使用され、例えば、通常のＴＶ映像を表示したり、
コンピュータ端末、モニタ等にも使用可能である。本実
施の形態では、ＮＴＳＣ信号に基づく映像を表示してお
り、マトリクス配線での線数は、通常のＴＶ画像の走査
線数に対応してもよく、高精細な表示を行うとすればマ
トリクスの配線を増やすことで可能となる。

【００３７】２はＸ方向ドライバ回路で、表示パネル１
の行方向端子Ｘ1〜ＸMを介して行方向配線側を順次駆動
する。本実施の形態では、線順次による表示を行ってい
るため、Ｘ方向ドライバ回路２により時分割に行方向の
配線が１本つずつ選択され、その選択された走査線がト
ランジスタ１０により駆動される。

【００３８】同様に表示パネル１の列方向配線は、列方
向端子Ｙ1〜ＹNを介して駆動される。ＮＴＳＣ信号等の
映像信号は映像検波回路４に入力されて、水平、垂直信
号に分離され、カラー信号の場合はＲ．Ｇ．Ｂの３原色
のそれぞれに分離される。同期分離回路５は、映像検波
回路４からの信号を入力し、水平同期信号（ＨＳＹＮ
Ｃ）、垂直同期信号（ＶＳＹＮＣ）及び映像信号とに分
離している。この内、映像信号は、水平同期信号（ＨＳ
ＹＮＣ）に同期して出力され、画像処理回路６に入力さ
れる。画像処理回路６では、表示パネル１に表示するた
めの駆動信号を生成しており、入力される映像信号の電
圧レベルに対応した振幅変調信号を生成し、アンプ１１
を通して列方向配線に接続されたトランジスタ（ＦＥＴ
でも可）９のコレクタ側に入力している。尚、本実施の
形態１では、システムの構成を分かり易くするために、
映像信号が１系統のみで示されているが、カラー表示を
行う場合には、Ｒ．Ｇ．Ｂの各色の映像信号が出力され
る事はいうまでもない。

【００３９】ＨＳＹＮＣの信号に同期してＹ方向ドライ
バ回路３から各トランジスタ９のベースに入力された信
号によりこれらトランジスタ９がオンされると、各トラ
ンジスタ９のコレクタに入力されている画像信号が表示
パネル１に印加される。従って、表示パネル１の列方向
配線には、ＨＳＹＮＣに同期してＮＴＳＣの映像信号か
ら変調された変調信号が入力されることになる。

【００４０】一方、行方向配線には同期分離回路５から
得られた水平同期信号をもとに、表示パネル１の行方向
配線を線順次するための走査信号を発生するタイミング
信号１４がタイミングコントロール回路７から出力され
る。このタイミング信号１４はＸ方向ドライバ回路２に
入力され、Ｘ方向ドライバ回路２は、列方向配線側のＹ
方向ドライバ回路３からの出力と逐次同期をとって、行
方向側トランジスタ１０のベースを順次駆動する。

【００４１】また、この表示パネル１は、表面伝導型放
出素子に印加された信号で発生する電子ビームを、画素
を表示する発光手段である蛍光体方向に加速するための
アノード電圧駆動回路８が設けられている。これによ
り、映像信号に対応した電子ビームを表示パネル１の上
面に設けられた蛍光体に衝突させて発光させることがで
きる。尚、このアノード電圧駆動回路８には、走査信号
補正回路１３からの信号１３ａが入力されており、例え
ば、補正信号が大きな値であり、表示パネル１に表示さ
れる輝度が高くなりすぎると判断すると、この信号１３
ａによりアノード電圧を下げるように指示する。これに
より、補正信号を印加することにより表示パネル１に表
示される輝度が必要以上に高くなるのを防止できる。

【００４２】次に、本実施の形態の特徴部分を説明す
る。

【００４３】表示パネル１を線順次で駆動するに先立っ
て、各行方向配線に接続された表面伝導型放出素子の素
子特性を計測しておく。そして、素子電圧Ｖfに対する
放出電流Ｉeから求められる補正信号ΔＶｃを、各行方
向配線の補正データとしてライン補正テーブル１２に補
正データとして記憶しておく。

【００４４】本実施の形態１では、各ラインの補正信号
ΔＶcを計測する具体的な方法は特に明示しないが、例
えば、列方向配線を全て接地し、行方向配線に直列に、
電流計測用の抵抗値が既知の抵抗を挿入し、その行方向
配線に所定の電圧Ｖfを印加した場合に、その行方向配
線を流れる電流Ｉfを、その抵抗の両端の電圧に基づい
て求めることができる。又、放出電流Ｉeもアイソレー
ションアンプ等を使用して、素子電流Ｉfと同様な方法
で計測が可能となるため、補正信号ΔＶcの値も求める
ことができる。

【００４５】ここで、従来の表示パネルの駆動方法を述
べておくと、通常の表示パネルの各素子に印加する電圧
は、行方向配線には電圧（Ｖf／２）を印加し、列方向
配線には電圧変調された電圧信号として０Ｖから（Ｖf
／２）Ｖの電圧が印加される。従って、各素子に印加さ
れる最大電圧はＶfとなり、その値は素子によって異な
るが、約１４Ｖである。

【００４６】図１における素子の閾値電圧Ｖthは、その
電圧を印加した時に、その素子に素子電流Ｉeが流れ始
めて電子ビームが出力され始める電圧を示している。通
常、この閾値電圧Ｖthは、電圧（Ｖf／２）に相当して
いる。本実施の形態においても、素子電圧Ｖfは約１４
Ｖであり、閾値電圧Ｖthは約７Ｖであった。

【００４７】次に、表示パネル１の駆動方法について説
明する。

【００４８】図３は、表示パネル１を表示するために、
まず行方向配線側には電圧（−Ｖf／２）に相当する−
７Ｖが印加され、ＮＴＳＣの駆動に対応するために、逐
次、線順次で１からＭ本までを１６．７ｍ秒周期で駆動
している。又、列方向配線は、１からＮ本までを走査信
号に同期して、電圧Ｖs1から電圧ＶsNまでの変調信号が
印加される。この変調信号の振幅特性は、図１に示す様
に、電圧領域Ｖcに相当し、電圧（Ｖf／２）から補正信
号ΔＶを差し引いた値となっている。

【００４９】実際は、各行方向配線に接続された表面伝
導型放出素子の特性が異なるため、電圧領域Ｖcの値は
厳密には同じではないが、この振幅電圧は、前述したよ
うに素子電流Ｉeの特性における直線部分に近い線形性
の良好な領域を使用している。このため、振幅の変化に
対して輝度変化の線形性も良好となっている。又、本実
施の形態１では、電圧領域Ｖcにおける量子化ビット数
を４ビットとし、１６階調の分解能で輝度変化をつけ
た。

【００５０】この量子化は、分解能を向上させて輝度の
階調性を上げるならば、４ビット以上のビット数で行な
うことが可能であるが、本実施の形態の主旨から考慮す
れば必要以上に階調数をあげる必要もなく、実際に表示
した画像を検証しても人間の目により識別できる階調の
分解能はそれほど高くない。従って、本実施の形態で
は、簡易な表示パネル１を提供するために４ビットとし
ている。

【００５１】更に、本実施の形態１では、上記補正信号
ΔＶcを行方向配線に印加することで補正を行ってい
る。具体的に述べると、各行方向配線を逐次駆動する
際、走査信号補正回路１３は、その走査する行方向配線
に対応して、ライン補正テーブル１２から補正信号ΔＶ
ｃを読み出し、電圧（−Ｖf／２）に、その読み出した
補正信号ΔＶcを加えて行方向配線を駆動している。

【００５２】例えば、図３の例では、行方向配線Ｓ1に
は、電圧（−Ｖf／２）に補正信号ΔＶc-S1が加算さ
れ、行方向配線Ｓ2では電圧（−Ｖf／２）に補正信号Δ
Ｖc-S2が加算されるという様に、各ラインごとに異なる
補正信号が（−Ｖf／２）に加算されている。このよう
にして、その走査される行方向配線の選択された素子に
印加される信号は、列方向配線には画像信号に応じた振
幅変調信号Ｖs1〜ＶsNが印加され、行方向配線には［−
Ｖf／２＋ΔＶｃ］が印加されることになる。

【００５３】本実施の形態１では、補正信号ΔＶcは、
各行方向配線毎に異なってばらつくものの、約０．５Ｖ
から１．０Ｖの範囲であった。又、そのときの変調電圧
ΔＶsは約６Ｖであった。

【００５４】以上説明したように本実施の形態１によれ
ば、行方向配線に対応する補正データを記憶したテーブ
ルを使用し、その補正データにより行単位での補正を行
うようにしたので、装置全体の規模も縮小でき、また時
別に高速なハードウェアも必要なくなった。又、表示さ
れる画素の輝度特性も線形性を有しており、高品位の画
像が得られるという効果もある。

【００５５】［実施の形態２］次に、本発明の実施の形
態２を詳細に説明する。

【００５６】図４は、本実施の形態２での画像表示装置
の構成を示したブロック図で、基本的には前述の実施の
形態１の構成と同じであり、図１と共通する部分は同じ
番号で示し、その説明を省略する。

【００５７】この実施の形態２では、前述の実施の形態
１で行方向配線に対して補正信号ΔＶcを印加していた
のに対して、この実施の形態２では、列方向配線に印加
する振幅変調信号に補正信号を印加することを特徴とし
ている。

【００５８】この場合には、行方向配線には、Ｘ方向ド
ライバ回路２により、通常の線順次駆動で、−（Ｖf／
２）の電圧（本実施の形態では７Ｖを印加）を逐次１
６．７ｍ秒周期で印加していく。これに対して、列方向
配線には、処理済みの画像信号から得られた変調信号に
加える、新たに表示パネル１の全素子に対応する補正信
号ΔＶｃを、それぞれ素子補正テーブル１６に補正デー
タとして記憶しておく。この補正データは、前述の実施
の形態１と同様に、表示パネル１の各素子に素子電圧Ｖ
fを印加した際の放出電流Ｉeに基づいて求めることがで
きる。

【００５９】この補正信号ΔＶｃに基づいて補正された
画像信号は、画像信号補正回路１５からトランジスタ９
のコレクタに出力され、Ｙ方向ドライバ回路３から出力
される駆動信号により表示パネル１の列方向配線に印加
される。また、この実施の形態２においても、画像信号
補正回路１５による補正により輝度が必要以上に高くな
ると判断されると、アノード電圧駆動回路８により表示
パネル１に印加するアノード電圧を低下させることによ
り、表示される画像の輝度が高くなりすぎるのを防止で
きるようにしている。

【００６０】この実施の形態２における動作タイミング
例を図５に示す。

【００６１】図５において、列方向配線には、走査信号
Ｓ1からＳMに同期して（変調信号＋補正信号）からなる
電圧信号Ｖs1〜ＶsNが印加されており、ある任意の行方
向配線に接続された各素子のそれぞれを駆動する補正信
号電圧がΔＶc1〜ΔＶcNで示されている。この場合、変
調信号は図１に示したＶｃの電圧幅で、画像信号に対応
した量子化された電圧変調信号として印加される。

【００６２】本実施の形態２においても、電圧振幅され
る量子化のビット数を４ビットとした。

【００６３】又、補正信号は、選択された各素子に対応
した補正信号ΔＶcとして、素子補正テーブル１４から
得られる補正データに基づいて画像信号補正回路１５か
ら出力されている。

【００６４】以上説明したように実施の形態２によれ
ば、列方向配線に各素子に対応した補正信号を加えるこ
とで、各素子の特性に対応した表示駆動を行なうことが
できる。また実施の形態１と同様に、放出電流Ｉeの特
性が比較的、線形性を有する領域で変調をかけているた
め、画素の表示も同じく良好な線形性が得られた。

【００６５】又、各素子に対して補正信号ΔＶcのばら
つきがあるため、補正信号の電圧幅も０．５Ｖから１．
０Ｖの範囲であり、補正信号Ｖcの電圧も約６Ｖであっ
た。

【００６６】この実施の形態２では、表示パネル１の各
素子の補正データを有しているため、前述の実施の形態
１と比べてメモリ量が増加する傾向があるが、表示パネ
ルの全ての素子のそれぞれに対して、その特徴にあった
補正ができるため、各画素ごとの発光輝度の線形性を、
前述の実施の形態１より向上させることが期待できる。 ＜本実施の形態の表面伝導型放出素子の製法及び用途説
明＞図６は、本実施の形態の表示パネル１０００（前述
の表示パネル１に相当）の外観斜視図であり、その内部
構造を示すために表示パネル１０００の１部を切り欠い
て示している。

【００６７】図中、１００５はリアプレート、１００６
は側壁、１００７はフェースプレートであり、１００５
〜１００７により表示パネルの内部を真空に維持するた
めの気密容器を形成している。気密容器を組み立てるに
あたっては、各部材の接合部に十分な強度と気密性を保
持させるため封着する必要があるが、例えばフリットガ
ラスを接合部に塗布し、大気中あるいは窒素雰囲気中
で、４００℃〜５００℃で１０分以上焼成することによ
り封着を達成した。気密容器内部を真空に排気する方法
については後述する。

【００６８】リアプレート１００５には、基板１００１
が固定されているが、この基板１００１上には表面伝導
型放出素子１００２がＮ×Ｍ個形成されている（ここで
Ｎ，Ｍは２以上の正の整数であり、目的とする表示画素
数に応じて適宜設定される。例えば、高品位テレビジョ
ンの表示を目的とした表示装置においては、Ｎ＝３００
０，Ｍ＝１０００以上の数を設定することが望ましい。
本実施の形態においては、Ｎ＝３０７２，Ｍ＝１０２４
とした）。前記Ｎ×Ｍ個の表面伝導型放出素子１００２
は、Ｍ本の行方向配線１００３とＮ本の列方向配線１０
０４により単純マトリクス配線されている。前記１００
１〜１００４によって構成される部分をマルチ電子源と
呼ぶ。なお、マルチ電子源の製造方法や構造について
は、後で詳しく述べる。

【００６９】本実施の形態においては、気密容器のリア
プレート１００５にマルチ電子源の基板１００１を固定
する構成としたが、マルチ電子源の基板１００１が十分
な強度を有するものである場合には、気密容器のリアプ
レートとしてマルチ電子源の基板１００１自体を用いて
もよい。

【００７０】また、フェースプレート１００７の下面に
は、蛍光膜１００８が形成されている。本実施の形態の
表示パネル１０００はカラー表示用であるため、蛍光膜
１００８の部分にはＣＲＴの分野で用いられる赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色の蛍光体が塗り分
けられている。各色の蛍光体は、たとえば図７（Ａ）に
示すようにストライプ状に塗り分けられ、各色の蛍光体
のストライプの間には黒色の導電体１０１０が設けてあ
る。この黒色の導電体１０１０を設ける目的は、電子の
照射位置に多少のずれがあっても表示色にずれが生じな
いようにするためや、外光の反射を防止して表示コント
ラストの低下を防ぐため、更には電子による蛍光膜のチ
ャージアップを防止するためなどである。黒色の導電体
１０１０には、黒鉛を主成分として用いたが、上記の目
的に適するものであればこれ以外の材料を用いても良
い。

【００７１】また、３原色の蛍光体の塗り分け方は図７
（Ａ）に示したストライプ状の配列に限られるものでは
なく、たとえば図７（Ｂ）に示すようなデルタ状配列
や、それ以外の配列であってもよい。なお、モノクロー
ムの表示パネルを作成する場合には、単色の蛍光体材料
を蛍光膜１００８に用いればよく、また黒色導電材料は
必ずしも用いなくともよい。

【００７２】また、蛍光膜１００８のリアプレート側の
面には、ＣＲＴの分野では公知のメタルバック１００９
を設けてある。このメタルバック１００９を設けた目的
は、蛍光膜１００８が発する光の一部を鏡面反射して光
利用率を向上させるため、負イオンの衝突から蛍光膜１
００８を保護するため、電子加速電圧を印加するための
電極として作用させるため、蛍光膜１００８を励起した
電子の導電路として作用させるためなどである。このメ
タルバック１００９は、蛍光膜１００８をフェースプレ
ート基板１００７上に形成した後、蛍光膜表面を平滑化
処理し、その上にアルミニウムを真空蒸着する方法によ
り形成した。なお、蛍光膜１００８に低電圧用の蛍光体
材料を用いた場合には、メタルバック１００９は用いな
い。

【００７３】また、本実施の形態では用いなかったが、
加速電圧の印加用や蛍光膜の導電性向上を目的として、
フェースプレート基板１００７と蛍光膜１００８との間
に、例えばＩＴＯを材料とする透明電極を設けてもよ
い。

【００７４】また、Ｄx1〜ＤxMおよびＤy1〜ＤyNおよび
Ｈｖは、当該表示パネル１０００と不図示の電気回路と
を電気的に接続するために設けた気密構造の電気接続用
端子である。Ｄx1〜ＤxMはマルチ電子源の行方向配線１
００３と、Ｄy1〜ＤyNはマルチ電子源の列方向配線１０
０４と、Ｈｖはフェースプレートのメタルバック１００
９とそれぞれ電気的に接続している。

【００７５】また、気密容器内部を真空に排気するに
は、気密容器を組み立てた後、不図示の排気管と真空ポ
ンプとを接続し、気密容器内を１０のマイナス７乗［to
rr］程度の真空度まで排気する。その後、排気管を封止
するが、気密容器内の真空度を維持するために、封止の
直前あるいは封止後に気密容器内の所定の位置にゲッタ
ー膜（不図示）を形成する。ゲッター膜とは、たとえば
Ｂａを主成分とするゲッター材料をヒータもしくは高周
波加熱により加熱し蒸着して形成した膜であり、該ゲッ
ター膜の吸着作用により気密容器内は１×１０マイナス
５乗ないしは１×１０マイナス７乗［torr］の真空度に
維持される。

【００７６】以上、本発明の実施の形態の表示パネル１
０００の基本構成と製法を説明した。

【００７７】次に、この実施の形態の表示パネル１００
０に用いたマルチ電子源の製造方法について説明する。
本実施の形態の画像表示装置に用いるマルチ電子源は、
表面伝導型放出素子を単純マトリクス配線した電子源で
あれば、表面伝導型放出素子の材料や形状あるいは製法
に制限はない。しかしながら、本願発明者らは、表面伝
導型放出素子の中では、電子放出部もしくはその周辺部
を微粒子膜から形成したものが電子放出特性に優れ、し
かも製造が容易に行えることを見出している。したがっ
て、高輝度で大画面の画像表示装置のマルチ電子源に用
いるには、最も好適であると言える。そこで、上記実施
の形態の表示パネルにおいては、電子放出部もしくはそ
の周辺部を微粒子膜から形成した表面伝導型放出素子を
用いた。そこで、まず好適な表面伝導型放出素子につい
て基本的な構成と製法および特性を説明し、その後で多
数の素子を単純マトリクス配線したマルチ電子源の構造
について述べる。

【００７８】（表面伝導型放出素子の好適な素子構成と
製法）電子放出部もしくはその周辺部を微粒子膜から形
成する表面伝導型放出素子の代表的な構成には、平面型
と垂直型の２種類があげられる。

【００７９】（平面型の表面伝導型放出素子）まず最初
に、平面型の表面伝導型放出素子の素子構成と製法につ
いて説明する。図８に示すのは、平面型の表面伝導型放
出素子の構成を説明するための平面図（Ａ）および断面
図（Ｂ）である。図中、１１０１は基板、１１０２と１
１０３は素子電極、１１０４は導電性薄膜、１１０５は
通電フォーミング処理により形成した電子放出部、１１
１３は通電活性化処理により形成した薄膜である。

【００８０】基板１１０１としては、たとえば、石英ガ
ラスや青板ガラスをはじめとする各種ガラス基板や、ア
ルミナをはじめとする各種セラミクス基板、あるいは上
述の各種基板上に、例えばＳｉＯ2を材料とする絶縁層
を積層した基板などを用いることができる。

【００８１】また、基板１１０１上に基板面と平行に対
向して設けられた素子電極１１０２と１１０３は、導電
性を有する材料によって形成されている。たとえば、Ｎ
ｉ，Ｃｒ，Ａｕ，Ｍｏ，Ｗ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｃｕ，Ｐｄ，
Ａｇ等をはじめとする金属、あるいはこれらの金属の合
金、あるいはＩｎ2Ｏ3−ＳｎＯ2をはじめとする金属酸
化物、ポリシリコンなどの半導体、などの中から適宜材
料を選択して用いればよい。電極を形成するには、たと
えば真空蒸着などの製膜技術とフォトリソグラフィ、エ
ッチングなどのパターニング技術を組み合わせて用いれ
ば容易に形成できるが、それ以外の方法（たとえば印刷
技術）を用いて形成してもさしつかえない。

【００８２】素子電極１１０２と１１０３の形状は、当
該電子放出素子の応用目的に合わせて適宜設計される。
一般的には、電極間隔Ｌは通常は数百オングストローム
から数百マイクロメータの範囲から適当な数値を選んで
設計されるが、なかでも表示装置に応用するために好ま
しいのは数マイクロメータより数十マイクロメータの範
囲である。また、素子電極の厚さｄについては、通常は
数百オングストロームから数マイクロメータの範囲から
適当な数値が選ばれる。

【００８３】また、導電性薄膜１１０４の部分には微粒
子膜を用いる。ここで述べた微粒子膜とは、構成要素と
して多数の微粒子を含んだ膜（島状の集合体も含む）の
ことをさす。微粒子膜を微視的に調べれば、通常は、個
々の微粒子が離間して配置された構造か、あるいは微粒
子が互いに隣接した構造か、あるいは微粒子が互いに重
なり合った構造が観測される。

【００８４】微粒子膜に用いた微粒子の粒径は、数オン
グストロームから数千オングストロームの範囲に含まれ
るものであるが、中でも好ましいのは１０オングストロ
ームから２００オングストロームの範囲のものである。
また、微粒子膜の膜厚は、以下に述べるような諸条件を
考慮して適宜設定される。即ち、素子電極１１０２或は
１１０３と電気的に良好に接続するのに必要な条件、後
述する通電フォーミングを良好に行うのに必要な条件、
微粒子膜自身の電気抵抗を後述する適宜の値にするため
に必要な条件、などである。具体的には、数オングスト
ロームから数千オングストロームの範囲のなかで設定す
るが、なかでも好ましいのは１０オングストロームから
５００オングストロームの間である。

【００８５】また、微粒子膜を形成するのに用いられう
る材料としては、たとえば、Ｐｄ，Ｐｔ，Ｒｕ，Ａｇ，
Ａｕ，Ｔｉ，Ｉｎ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｔ
ａ，Ｗ，Ｐｂなどをはじめとする金属や、ＰｄＯ，Ｓｎ
Ｏ2，Ｉｎ2Ｏ3，ＰｂＯ，Ｓｂ2Ｏ3などをはじめとする
酸化物や、ＨｆＢ2，ＺｒＢ2，ＬａＢ6，ＣｅＢ6，ＹＢ
4，ＧｄＢ4などをはじめとする硼化物や、ＴｉＣ，Ｚｒ
Ｃ，ＨｆＣ，ＴａＣ，ＳｉＣ，ＷＣなどをはじめとする
炭化物や、ＴｉＮ，ＺｒＮ，ＨｆＮ，などをはじめとす
る窒化物や、Ｓｉ，Ｇｅ，などをはじめとする半導体
や、カーボン、などがあげられ、これらの中から適宜選
択される。

【００８６】以上述べたように、導電性薄膜１１０４を
微粒子膜で形成したが、そのシート抵抗値については、
１０の３乗から１０の７乗［オーム／□］の範囲に含ま
れるよう設定した。

【００８７】なお、導電性薄膜１１０４と素子電極１１
０２および１１０３とは、電気的に良好に接続されるの
が望ましいため、互いの一部が重なりあうような構造を
とっている。その重なり方は、図８の例においては、下
から、基板、素子電極、導電性薄膜の順序で積層した
が、場合によっては下から基板、導電性薄膜、素子電
極、の順序で積層してもさしつかえない。

【００８８】また、電子放出部１１０５は、導電性薄膜
１１０４の一部に形成された亀裂状の部分であり、電気
的には周囲の導電性薄膜よりも高抵抗な性質を有してい
る。この亀裂は、導電性薄膜１１０４に対して、後述す
る通電フォーミングの処理を行うことにより形成する。
亀裂内には、数オングストロームから数百オングストロ
ームの粒径の微粒子を配置する場合がある。なお、実際
の電子放出部の位置や形状を精密かつ正確に図示するの
は困難なため、図８においては模式的に示した。

【００８９】また、薄膜１１１３は、炭素もしくは炭素
化合物よりなる薄膜で、電子放出部１１０５およびその
近傍を被覆している。薄膜１１１３は、通電フォーミン
グ処理後に、後述する通電活性化の処理を行うことによ
り形成する。

【００９０】薄膜１１１３は、単結晶グラファイト、多
結晶グラファイト、非晶質カーボン、のいずれかか、も
しくはその混合物であり、膜厚は５００［オングストロ
ーム］以下とするが、３００［オングストローム］以下
とするのがさらに好ましい。なお、実際の薄膜１１１３
の位置や形状を精密に図示するのは困難なため、図８に
おいては模式的に示した。また、平面図（Ａ）において
は、薄膜１１１３の一部を除去した素子を図示した。

【００９１】以上、好ましい素子の基本構成を述べた
が、実施の形態においては以下のような素子を用いた。
すなわち、基板１１０１には青板ガラスを用い、素子電
極１１０２と１１０３にはＮｉ薄膜を用いた。素子電極
の厚さｄは１０００［オングストローム］、電極間隔Ｌ
は２［マイクロメータ］とした。

【００９２】微粒子膜の主要材料としてＰｄもしくはＰ
ｄＯを用い、微粒子膜の厚さは約１００［オングストロ
ーム］、幅Ｗは１００［マイクロメータ］とした。

【００９３】次に、好適な平面型の表面伝導型放出素子
の製造方法について説明する。図９（ａ）〜（ｄ）は、
表面伝導型放出素子の製造工程を説明するための断面図
で、各部材の表記は前記図８と同一である。

【００９４】（１）まず、図９（ａ）に示すように、基
板１１０１上に素子電極１１０２および１１０３を形成
する。これら電極を形成するにあたっては、予め基板１
１０１を洗剤、純水、有機溶剤を用いて十分に洗浄後、
素子電極の材料を堆積させる（堆積する方法としては、
たとえば、蒸着法やスパッタ法などの真空成膜技術を用
ればよい）。その後、堆積した電極材料を、フォトリソ
グラフィー・エッチング技術を用いてパターニングし、
（ａ）に示した一対の素子電極（１１０２と１１０３）
を形成する。

【００９５】（２）次に、同図（ｂ）に示すように、導
電性薄膜１１０４を形成する。この導電性薄膜１１０４
を形成するにあたっては、まず前記（ａ）の基板に有機
金属溶液を塗布して乾燥し、加熱焼成処理して微粒子膜
を成膜した後、フォトリソグラフィー・エッチングによ
り所定の形状にパターニングする。ここで、有機金属溶
液とは、導電性薄膜に用いる微粒子の材料を主要元素と
する有機金属化合物の溶液である（具体的には、本実施
の形態では主要元素としてＰｄを用いた。また、実施の
形態では塗布方法として、ディッピング法を用いたが、
それ以外のたとえばスピンナー法やスプレー法を用いて
もよい）。

【００９６】また、微粒子膜で作られる導電性薄膜の成
膜方法としては、本実施の形態で用いた有機金属溶液の
塗布による方法以外の、たとえば真空蒸着法やスパッタ
法、あるいは化学的気相堆積法などを用いる場合もあ
る。

【００９７】（３）次に、同図（ｃ）に示すように、フ
ォーミング用電源１１１０から素子電極１１０２と１１
０３の間に適宜の電圧を印加し、通電フォーミング処理
を行って、電子放出部１１０５を形成する。

【００９８】この通電フォーミング処理とは、微粒子膜
で作られた導電性薄膜１１０４に通電を行って、その一
部を適宜に破壊、変形、もしくは変質せしめ、電子放出
を行うのに好適な構造に変化させる処理のことである。
微粒子膜で作られた導電性薄膜のうち電子放出を行うの
に好適な構造に変化した部分（即ち、電子放出部１１０
５）においては、薄膜に適当な亀裂が形成されている。
なお、電子放出部１１０５が形成される前と比較する
と、形成された後は素子電極１１０２と１１０３の間で
計測される電気抵抗は大幅に増加する。

【００９９】通電方法をより詳しく説明するために、図
１０に、フォーミング用電源１１１０から印加する適宜
の電圧波形の一例を示す。微粒子膜で作られた導電性薄
膜をフォーミングする場合には、パルス状の電圧が好ま
しく、本実施の形態の場合には同図に示したようにパル
ス幅Ｔ１の三角波パルスをパルス間隔Ｔ２で連続的に印
加した。その際には、三角波パルスの波高値Ｖｐｆを、
順次昇圧した。また、電子放出部１１０５の形成状況を
モニタするためのモニタパルスＰｍを適宜の間隔で三角
波パルスの間に挿入し、その際に流れる電流を電流計１
１１１で計測した。

【０１００】実施の形態においては、例えば１０のマイ
ナス５乗［torr］程度の真空雰囲気下において、例えば
パルス幅Ｔ１を１［ミリ秒］、パルス間隔Ｔ２を１０
［ミリ秒］とし、波高値Ｖｐｆを１パルスごとに０．１
［Ｖ］ずつ昇圧した。そして、三角波を５パルス印加す
るたびに１回の割りで、モニタパルスＰｍを挿入した。
フォーミング処理に悪影響を及ぼすことがないように、
モニタパルスの電圧Ｖｐｍは０．１［Ｖ］に設定した。
そして、素子電極１１０２と１１０３の間の電気抵抗が
１×１０の６乗［オーム］になった段階、すなわちモニ
タパルス印加時に電流計１１１１で計測される電流が１
×１０のマイナス７乗［Ａ］以下になった段階で、フォ
ーミング処理にかかわる通電を終了した。

【０１０１】なお、上記の方法は、本実施例の表面伝導
型放出素子に関する好ましい方法であり、例えば微粒子
膜の材料や膜厚、あるいは素子電極間隔Ｌなど表面伝導
型放出素子の設計を変更した場合には、それに応じて通
電の条件を適宜変更するのが望ましい。

【０１０２】（４）次に、図９（ｄ）に示すように、活
性化用電源１１１２から素子電極１１０２と１１０３の
間に適宜の電圧を印加し、通電活性化処理を行って、電
子放出特性の改善を行う。この通電活性化処理とは、前
記通電フォーミング処理により形成された電子放出部１
１０５に適宜の条件で通電を行って、その近傍に炭素も
しくは炭素化合物を堆積せしめる処理のことである。
（図においては、炭素もしくは炭素化合物よりなる堆積
物を部材１１１３として模式的に示した）。なお、通電
活性化処理を行うことにより、行う前と比較して、同じ
印加電圧における放出電流を典型的には１００倍以上に
増加させることができる。

【０１０３】具体的には、１０のマイナス４乗ないし１
０のマイナス５乗［torr］の範囲内の真空雰囲気中で、
電圧パルスを定期的に印加することにより、真空雰囲気
中に存在する有機化合物を起源とする炭素もしくは炭素
化合物を堆積させる。堆積物１１１３は、単結晶グラフ
ァイト、多結晶グラファイト、非晶質カーボン、のいず
れかか、もしくはその混合物であり、膜厚は５００［オ
ングストローム］以下、より好ましくは３００［オング
ストローム］以下である。

【０１０４】通電方法をより詳しく説明するために、図
１１（ａ）に、活性化用電源１１１２から印加する適宜
の電圧波形の一例を示す。本実施の形態においては、一
定電圧の矩形波を定期的に印加して通電活性化処理を行
ったが、具体的には、矩形波の電圧Ｖａｃは１４
［Ｖ］，パルス幅Ｔ３は、１［ミリ秒］，パルス間隔Ｔ
４は１０［ミリ秒］とした。なお、上述の通電条件は、
本実施の形態の表面伝導型放出素子に関する好ましい条
件であり、表面伝導型放出素子の設計を変更した場合に
は、それに応じて条件を適宜変更するのが望ましい。

【０１０５】図９（ｄ）に示す１１１４は、該表面伝導
型放出素子から放出される放出電流Ｉeを捕捉するため
のアノード電極で、直流高電圧電源１１１５および電流
計１１１６が接続されている。（なお、基板１１０１
を、表示パネルの中に組み込んでから活性化処理を行う
場合には、表示パネルの蛍光面をアノード電極１１１４
として用いる）。活性化用電源１１１２から電圧を印加
する間、電流計１１１６で放出電流Ｉeを計測して通電
活性化処理の進行状況をモニタし、活性化用電源１１１
２の動作を制御する。電流計１１１６で計測された放出
電流Ｉeの一例を図１１（ｂ）に示す。活性化電源１１
１２からパルス電圧を印加しはじめると、時間の経過と
ともに放出電流Ｉeは増加するが、やがて飽和してほと
んど増加しなくなる。このように、放出電流Ｉeがほぼ
飽和した時点で活性化用電源１１１２からの電圧印加を
停止し、通電活性化処理を終了する。

【０１０６】なお、上述の通電条件は、本実施の形態の
表面伝導型放出素子に関する好ましい条件であり、表面
伝導型放出素子の設計を変更した場合には、それに応じ
て条件を適宜変更するのが望ましい。

【０１０７】以上のようにして、図９（ｅ）に示す平面
型の表面伝導型放出素子を製造した。

【０１０８】（垂直型の表面伝導型放出素子）次に、電
子放出部もしくはその周辺を微粒子膜から形成した表面
伝導型放出素子のもうひとつの代表的な構成、すなわち
垂直型の表面伝導型放出素子の構成について説明する。

【０１０９】図１２は、本実施の形態の垂直型の表面伝
導型放出素子の基本構成を説明するための模式的な断面
図であり、図中の１２０１は基板、１２０２と１２０３
は素子電極、１２０６は段差形成部材、１２０４は微粒
子膜を用いた導電性薄膜、１２０５は通電フォーミング
処理により形成した電子放出部、１２１３は通電活性化
処理により形成した薄膜、である。

【０１１０】垂直型が先に説明した平面型と異なる点
は、素子電極のうちの片方（１２０２）が段差形成部材
１２０６上に設けられており、導電性薄膜１２０４が段
差形成部材１２０６の側面を被覆している点にある。し
たがって、前記図８の平面型における素子電極間隔Ｌ
は、垂直型においては段差形成部材１２０６の段差高Ｌ
ｓとして設定される。なお、基板１２０１、素子電極１
２０２および１２０３、微粒子膜を用いた導電性薄膜１
２０４、については、前記平面型の説明中に列挙した材
料を同様に用いることが可能である。また、段差形成部
材１２０６には、たとえばＳｉＯ2のような電気的に絶
縁性の材料を用いる。

【０１１１】次に、垂直型の表面伝導型放出素子の製法
について説明する。図１３（ａ）〜（ｆ）は、製造工程
を説明するための断面図で、各部材の表記は前記図１２
と同一である。

【０１１２】（１）まず、図１３（ａ）に示すように、
基板１２０１上に素子電極１２０３を形成する。

【０１１３】（２）次に、同図（ｂ）に示すように、段
差形成部材を形成するための絶縁層を積層する。絶縁層
は、たとえばＳｉＯ2 をスパッタ法で積層すればよい
が、たとえば真空蒸着法や印刷法などの他の成膜方法を
用いてもよい。

【０１１４】３）次に、同図（ｃ）に示すように、絶縁
層の上に素子電極１２０２を形成する。

【０１１５】４）次に、同図（ｄ）に示すように、絶縁
層の一部を、たとえばエッチング法を用いて除去し、素
子電極１２０３を露出させる。

【０１１６】５）次に、同図（ｅ）に示すように、微粒
子膜を用いた導電性薄膜１２０４を形成する。形成する
には、前記平面型の場合と同じく、たとえば塗布法など
の成膜技術を用いればよい。

【０１１７】６）次に、前記平面型の場合と同じく、通
電フォーミング処理を行い、電子放出部を形成する（図
９（ｃ）を用いて説明した平面型の通電フォーミング処
理と同様の処理を行えばよい）。

【０１１８】（７）次に、前記平面型の場合と同じく、
通電活性化処理を行い、電子放出部近傍に炭素もしくは
炭素化合物を堆積させる（図９（ｄ）を用いて説明した
平面型の通電活性化処理と同様の処理を行えばよい）。

【０１１９】以上のようにして、図１３（ｆ）に示す垂
直型の表面伝導型放出素子を製造した。

【０１２０】（表示装置に用いた表面伝導型放出素子の
特性）以上、平面型と垂直型の表面伝導型放出素子につ
いて素子構成と製法を説明したが、次に表示装置に用い
た素子の特性について述べる。

【０１２１】図１４に、本実施の形態の表示装置に用い
た素子の（放出電流Ｉe）対（素子印加電圧Ｖf）特性、
および（素子電流Ｉf）対（素子印加電圧Ｖf）特性の典
型的な例を示す。なお、放出電流Ｉeは素子電流Ｉfに比
べて著しく小さく、同一尺度で図示するのが困難である
うえ、これらの特性は素子の大きさや形状等の設計パラ
メータを変更することにより変化するものであるため、
２本のグラフは各々任意単位で図示した。

【０１２２】表示装置に用いた素子は、放出電流Ｉeに
関して以下に述べる３つの特性を有している。

【０１２３】第一に、ある電圧（これを閾値電圧Ｖthと
呼ぶ）以上の大きさの電圧を素子に印加すると急激に放
出電流Ｉeが増加するが、一方、閾値電圧Ｖth未満の電
圧では放出電流Ｉeはほとんど検出されない。すなわ
ち、放出電流Ｉeに関して、明確な閾値電圧Ｖthを持っ
た非線形素子である。

【０１２４】第二に、放出電流Ｉeは素子に印加する電
圧Ｖfに依存して変化するため、電圧Ｖfで放出電流Ｉe
の大きさを制御できる。

【０１２５】第三に、素子に印加する電圧Ｖfに対して
素子から放出される電流Ｉeの応答速度が速いため、電
圧Ｖfを印加する時間の長さによって素子から放出され
る電子の電荷量を制御できる。

【０１２６】以上のような特性を有するため、表面伝導
型放出素子を表示装置に好適に用いることができた。た
とえば多数の素子を表示画面の画素に対応して設けた表
示装置において、第一の特性を利用すれば、表示画面を
順次走査して表示を行うことが可能である。すなわち、
駆動中の素子には所望の発光輝度に応じて閾値電圧Ｖth
以上の電圧を適宜印加し、非選択状態の素子には閾値電
圧Ｖth未満の電圧を印加する。駆動する素子を順次切り
替えてゆくことにより、表示画面を順次走査して表示を
行うことが可能である。

【０１２７】また、第二の特性かまたは第三の特性を利
用することにより、発光輝度を制御することができるた
め、諧調表示を行うことが可能である。

【０１２８】（多数素子を単純マトリクス配線したマル
チ電子源の構造）次に、上述の表面伝導型放出素子を基
板上に配列して単純マトリクス配線したマルチ電子源の
構造について述べる。

【０１２９】図１５に示すのは、前記図６の表示パネル
１０００に用いたマルチ電子源の平面図である。基板１
００１上には、前記図８で示したものと同様な表面伝導
型放出素子が配列され、これらの素子は行方向配線電極
１００３と列方向配線電極１００４により単純マトリク
ス状に配線されている。行方向配線電極１００３と列方
向配線電極１００４の交差する部分には、電極間に絶縁
層（不図示）が形成されており、電気的な絶縁が保たれ
ている。

【０１３０】図１５のＡ−Ａ’に沿った断面を図１６に
示す。

【０１３１】なお、このような構造のマルチ電子源は、
あらかじめ基板上に行方向配線電極１００３、列方向配
線電極１００４、電極間絶縁層（不図示）、および表面
伝導型放出素子の素子電極と導電性薄膜を形成した後、
行方向配線電極１００３および列方向配線電極１００４
を介して各素子に給電して通電フォーミング処理と通電
活性化処理を行うことにより製造した。

【０１３２】図１７は、前記説明の表面伝導型放出素子
を電子源として用いたディスプレイパネルに、例えばテ
レビジョン放送をはじめとする種々の画像情報源より提
供される画像情報を表示できるように構成した多機能表
示装置の一例を示すための図である。図中、１０００は
前述したディスプレイパネル、２１０１はディスプレイ
パネルの駆動回路、２１０２はディスプレイコントロー
ラ、２１０３はマルチプレクサ、２１０４はデコーダ、
２１０５は入出力インターフェース回路、２１０６はＣ
ＰＵ、２１０７は画像生成回路、２１０８および２１０
９および２１１０は画像メモリインターフェース回路、
２１１１は画像入力インターフェース回路、２１１２お
よび２１１３はＴＶ信号受信回路、２１１４は入力部で
ある。

【０１３３】（なお、本表示装置は、例えばテレビジョ
ン信号のように映像情報と音声情報の両方を含む信号を
受信する場合には、当然映像の表示と同時に音声を再生
するものであるが、本発明の特徴と直接関係しない音声
情報の受信、分離、再生、処理、記憶などに関する回路
やスピーカなどについては説明を省略する。）以下、画
像信号の流れに沿って各部の機能を説明してゆく。

【０１３４】まず、ＴＶ信号受信回路２１１３は、例え
ば電波や空間光通信などのような無線伝送系を用いて伝
送されるＴＶ画像信号を受信するための回路である。受
信するＴＶ信号の方式は特に限られるものではなく、例
えば、ＮＴＳＣ方式、ＰＡＬ方式、ＳＥＣＡＭ方式など
の諸方式でもよい。また、これらよりさらに多数の走査
線よりなるＴＶ信号（例えばＭＵＳＥ方式をはじめとす
るいわゆる高品位ＴＶ）は、大面積化や大画素数化に適
した前記ディスプレイパネルの利点を生かすのに好適な
信号源である。ＴＶ信号受信回路２１１３で受信された
ＴＶ信号は、デコーダ２１０４に出力される。

【０１３５】また、ＴＶ信号受信回路２１１２は、例え
ば同軸ケーブルや光ファイバーなどのような有線伝送系
を用いて伝送されるＴＶ画像信号を受信するための回路
である。前記ＴＶ信号受信回路２１１３と同様に、受信
するＴＶ信号の方式は特に限られるものではなく、また
本回路で受信されたＴＶ信号もデコーダ２１０４に出力
される。

【０１３６】また、画像入力インターフェース回路２１
１１は、例えばＴＶカメラや画像読み取りスキャナなど
の画像入力装置から供給される画像信号を取り込むため
の回路で、取り込まれた画像信号はデコーダ２１０４に
出力される。

【０１３７】また、画像メモリインターフェース回路２
１１０は、ビデオテープレコーダ（以下ＶＴＲと略す）
に記憶されている画像信号を取り込むための回路で、取
り込まれた画像信号はデコーダ２１０４に出力される。

【０１３８】また、画像メモリインターフェース回路２
１０９は、ビデオディスクに記憶されている画像信号を
取り込むための回路で、取り込まれた画像信号はデコー
ダ２１０４に出力される。

【０１３９】また、画像メモリインターフェース回路２
１０８は、いわゆる静止画ディスクのように、静止画像
データを記憶している装置から画像信号を取り込むため
の回路で、取り込まれた静止画像データはデコーダ２１
０４に出力される。

【０１４０】また、入出力インターフェース回路２１０
５は、本表示装置と、外部のコンピュータもしくはコン
ピュータネットワークもしくはプリンタなどの出力装置
とを接続するための回路である。画像データや文字デー
タ・図形情報の入出力を行うのはもちろんのこと、場合
によっては本表示装置の備えるＣＰＵ２１０６と外部と
の間で制御信号や数値データの入出力などを行うことも
可能である。

【０１４１】また、画像生成回路２１０７は、前記入出
力インターフェース回路２１０５を介して外部から入力
される画像データや文字・図形情報や、あるいはＣＰＵ
２１０６より出力される画像データや文字・図形情報に
基づき表示用画像データを生成するための回路である。
本回路の内部には、例えば画像データや文字・図形情報
を蓄積するための書き換え可能メモリや、文字コードに
対応する画像パターンが記憶されている読みだし専用メ
モリや、画像処理を行うためのプロセッサなどをはじめ
として画像の生成に必要な回路が組み込まれている。本
回路により生成された表示用画像データは、デコーダ２
１０４に出力されるが、場合によっては前記入出力イン
ターフェース回路２１０５を介して外部のコンピュータ
ネットワークやプリンタ入出力することも可能である。

【０１４２】また、ＣＰＵ２１０６は、主として本表示
装置の動作制御や、表示画像の生成や選択や編集に関わ
る作業を行う。

【０１４３】例えば、マルチプレクサ２１０３に制御信
号を出力し、ディスプレイパネルに表示する画像信号を
適宜選択したり組み合わせたりする。また、その際には
表示する画像信号に応じてディスプレイパネルコントロ
ーラ２１０２に対して制御信号を発生し、画面表示周波
数や走査方法（例えばインターレースかノンインターレ
ースか）や一画面の走査線の数など表示装置の動作を適
宜制御する。

【０１４４】また、前記画像生成回路２１０７に対して
画像データや文字・図形情報を直接出力したり、あるい
は前記入出力インターフェース回路２１０５を介して外
部のコンピュータやメモリをアクセスして画像データや
文字・図形情報を入力する。

【０１４５】なお、ＣＰＵ２１０６は、むろんこれ以外
の目的の作業にも関わるものであっても良い。例えば、
パーソナルコンピュータやワードプロセッサなどのよう
に、情報を生成したり処理する機能に直接関わっても良
い。

【０１４６】あるいは、前述したように入出力インター
フェース回路２１０５を介して外部のコンピュータネッ
トワークと接続し、例えば数値計算などの作業を外部機
器と協同して行っても良い。

【０１４７】また、入力部２１１４は、前記ＣＰＵ２１
０６に使用者が命令やプログラム、あるいはデータなど
を入力するためのものであり、例えばキーボードやマウ
スのほか、ジョイスティック、バーコードリーダー、音
声認識装置など多様な入力機器を用いる事が可能であ
る。

【０１４８】また、デコーダ２１０４は、前記２１０７
ないし２１１３より入力される種々の画像信号を３原色
信号、または輝度信号とＩ信号、Ｑ信号に逆変換するた
めの回路である。なお、同図中に点線で示すように、デ
コーダ２１０４は内部に画像メモリを備えるのが望まし
い。これは、例えばＭＵＳＥ方式をはじめとして、逆変
換するに際して画像メモリを必要とするようなテレビ信
号を扱うためである。また、画像メモリを備えることに
より、静止画の表示が容易になる、あるいは前記画像生
成回路２１０７およびＣＰＵ２１０６と協同して画像の
間引き、補間、拡大、縮小、合成をはじめとする画像処
理や編集が容易に行えるようになるという利点が生まれ
るからである。

【０１４９】また、マルチプレクサ２１０３は、前記Ｃ
ＰＵ２１０６より入力される制御信号に基づき表示画像
を適宜選択するものである。すなわち、マルチプレクサ
２１０３はデコーダ２１０４から入力される逆変換され
た画像信号のうちから所望の画像信号を選択して駆動回
路２１０１に出力する。その場合には、一画面表示時間
内で画像信号を切り替えて選択することにより、いわゆ
る多画面テレビのように、一画面を複数の領域に分けて
領域によって異なる画像を表示することも可能である。

【０１５０】また、ディスプレイパネルコントローラ２
１０２は、前記ＣＰＵ２１０６より入力される制御信号
に基づき駆動回路２１０１の動作を制御するための回路
である。

【０１５１】まず、ディスプレイパネルの基本的な動作
にかかわるものとして、例えばディスプレイパネルの駆
動用電源（図示せず）の動作シーケンスを制御するため
の信号を駆動回路２１０１に対して出力する。また、デ
ィスプレイパネルの駆動方法に関わるものとして、例え
ば画面表示周波数や走査方法（例えばインターレースか
ノンインターレースか）を制御するための信号を駆動回
路２１０１に対して出力する。

【０１５２】また、場合によっては表示画像の輝度やコ
ントラストや色調やシャープネスといった画質の調整に
関わる制御信号を駆動回路２１０１に対して出力する場
合もある。

【０１５３】また、駆動回路２１０１は、ディスプレイ
パネル１０００に印加する駆動信号を発生するための回
路であり、前記マルチプレクサ２１０３から入力される
画像信号と、前記ディスプレイパネルコントローラ２１
０２より入力される制御信号に基づいて動作するもので
ある。

【０１５４】以上、各部の機能を説明したが、図１７に
例示した構成により、本表示装置においては多様な画像
情報源より入力される画像情報をディスプレイパネル１
０００に表示する事が可能である。すなわち、テレビジ
ョン放送をはじめとする各種の画像信号はデコーダ２１
０４において逆変換された後、マルチプレクサ２１０３
において適宜選択され、駆動回路２１０１に入力され
る。一方、ディスプレイコントローラ２１０２は、表示
する画像信号に応じて駆動回路２１０１の動作を制御す
るための制御信号を発生する。駆動回路２１０１は、上
記画像信号と制御信号に基づいてディスプレイパネル１
０００に駆動信号を印加する。これにより、ディスプレ
イパネル１０００において画像が表示される。これらの
一連の動作は、ＣＰＵ２１０６により統括的に制御され
る。

【０１５５】また、本表示装置においては、前記デコー
ダ２１０４に内蔵する画像メモリや、画像生成回路２１
０７およびＣＰＵ２１０６が関与することにより、単に
複数の画像情報の中から選択したものを表示するだけで
なく、表示する画像情報に対して、例えば拡大、縮小、
回転、移動、エッジ強調、間引き、補間、色変換、画像
の縦横比変換などをはじめとする画像処理や、合成、消
去、接続、入れ換え、はめ込みなどをはじめとする画像
編集を行う事も可能である。また、本実施例の説明では
特に触れなかったが、上記画像処理や画像編集と同様
に、音声情報に関しても処理や編集を行うための専用回
路を設けても良い。

【０１５６】したがって、本表示装置は、テレビジョン
放送の表示機器、テレビ会議の端末機器、静止画像およ
び動画像を扱う画像編集機器、コンピュータの端末機
器、ワードプロセッサをはじめとする事務用端末機器、
ゲーム機などの機能を一台で兼ね備える事が可能で、産
業用あるいは民生用として極めて応用範囲が広い。

【０１５７】なお、上記図１７は、表面伝導型放出素子
を電子源とするディスプレイパネルを用いた表示装置の
構成の一例を示したにすぎず、これのみに限定されるも
のではない事は言うまでもない。例えば、図１７の構成
要素のうち使用目的上必要のない機能に関わる回路は省
いても差し支えない。またこれとは逆に、使用目的によ
ってはさらに構成要素を追加しても良い。例えば、本表
示装置をテレビ電話機として応用する場合には、テレビ
カメラ、音声マイク、照明機、モデムを含む送受信回路
などを構成要素に追加するのが好適である。

【０１５８】本表示装置においては、とりわけ表面伝導
型放出素子を電子源とするディスプレイパネルが容易に
薄形化できるため、表示装置全体の奥行きを小さくする
ことが可能である。それに加えて、表面伝導型放出素子
を電子源とするディスプレイパネルは大画面化が容易で
輝度が高く視野角特性にも優れるため、本表示装置は臨
場感あふれ迫力に富んだ画像を視認性良く表示する事が
可能である。

【０１５９】以上説明したように本実施の形態によれ
ば、画像表示装置の平均輝度をある基準値以下に抑制す
ることが出来、画像表示装置の消費電力や蛍光板での発
熱を抑えることができる。

【０１６０】以上説明したように本実施の形態によれ
ば、非線形な特性をもつ表面伝導型放出素子の放出電流
において、各素子ごと及び各行方向配線側での放出電流
特性から得られるＶth以上の非線形な部分に相当する電
圧を駆動時に補正電圧として用いて制御し、電圧振幅変
調による階調表示を行う際には、素子特性のほぼリニア
な部分を使って変調を行うことで輝度のリニアリティが
向上することができた。

【０１６１】又、その補正回路構成も一般的なγ補正を
行うためのシステムから比較して簡易な形体であり、高
速処理を伴う制御や、コストを考慮した点においてメリ
ットがあった。

【０１６２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、表
面伝導型放出素子の印加電圧に対する放出電流の特性が
略線形に近い部分の特性を利用して、表面伝導型放出素
子を駆動することにより、駆動信号に対する発光輝度の
線形性を有して再生できるという効果がある。

【０１６３】また本発明によれば、マトリクス状に配線
された表面伝導型放出素子の各行方向配線に対応する複
数の表面伝導型放出素子をまとめて補正することによ
り、各素子に印加する電圧に応じて放出される放出電流
の線形性を保持しつつ画像を形成できるという効果があ
る。

【０１６４】また本発明によれば、マトリクス状に配線
された複数の表面伝導型放出素子のそれぞれに対応する
補正データに基づいて印加電圧を補正することにより、
各素子に印加する電圧に応じて放出される放出電流の線
形性を維持させて画像を形成できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の表面伝導型放出素子の特
性例を示す図である。

【図２】本発明の実施の形態１の画像表示装置の構成を
示すブロック図である。

【図３】本実施の形態１の画像表示装置における動作タ
イミングを示すタイミング図である。

【図４】本発明の実施の形態２の画像表示装置の構成を
示すブロック図である。

【図５】本実施の形態２の画像表示装置の動作を示すタ
イミング図である。

【図６】本発明の実施の形態の画像表示装置の表示パネ
ルの一部を切り欠いて示した斜視図である。

【図７】本実施の形態の表示パネルのフェースプレート
の蛍光体配列を例示した平面図である。

【図８】本実施の形態で用いた平面型の表面伝導型放出
素子の平面図（Ａ），断面図（Ｂ）である。

【図９】本実施の形態の平面型の表面伝導型放出素子の
製造工程を示す図である。

【図１０】本実施の形態における通電フォーミング処理
の際の印加電圧波形を示す図である。

【図１１】通電活性化処理の際の印加電圧波形（ａ），
放電電流Ｉeの変化（ｂ）を示す図である。

【図１２】本実施の形態の垂直型の表面伝導型放出素子
の断面図である。

【図１３】図１２の垂直型の表面伝導型放出素子の製造
工程を示す断面図である。

【図１４】本実施の形態の表面伝導型放出素子の典型的
な特性を示すグラフ図である。

【図１５】本実施の形態で用いたマルチ電子源の基板の
平面図である。

【図１６】図１５のＡ−Ａ’の断面図である。

【図１７】本発明の実施の形態の画像表示装置を用いた
多機能画像表示装置のブロック図である。

【図１８】従来知られた表面伝導型放出素子の一例を示
す図である。

【図１９】電子放出素子のマトリクス配線図である。

【図２０】一般的な電子放出素子の電子放出特性を説明
する図である。

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マトリクス状に配線された複数の表面伝
   導型放出素子から放出される電子により画像を形成する
   画像形成装置であって、 前記マトリクス状に配線した行方向配線を順次選択し、
   駆動電圧を印加して駆動する走査駆動手段と、 前記マトリクス状に配線した列方向配線に、前記走査駆
   動手段による駆動に同期して画像信号に応じた電圧信号
   を印加する電圧駆動手段と、 前記行方向配線のそれぞれに接続された複数の表面伝導
   型放出素子の電子放出特性を補正するための補正データ
   を記憶する記憶手段と、 前記走査駆動手段による各行方向配線の駆動時、前記記
   憶手段から当該駆動される行方向配線に対応する補正デ
   ータを読み出して前記行方向配線の駆動電圧を補正する
   補正手段と、を有することを特徴とする画像形成装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の画像形成装置であっ
   て、 前記補正データは、行方向配線のそれぞれに接続された
   複数の表面伝導型放出素子の電子放出特性を、印加電圧
   に対する電流値が略線形となるように補正するデータで
   あることを特徴とする。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の画像形成装置であっ
   て、 前記電圧駆動手段は、画像信号を振幅変調した電圧信号
   を出力することを特徴とする。
4. 【請求項４】 請求項２に記載の画像形成装置であっ
   て、 前記補正データは、行方向配線のそれぞれに接続された
   複数の表面伝導型放出素子に印加される素子電圧と、当
   該複数の表面伝導型放出素子から放出される放出電流と
   の関係が略線形になる領域で前記表面伝導型放出素子を
   駆動するように印加電圧を補正するためのデータである
   ことを特徴とする。
5. 【請求項５】 マトリクス状に配線された複数の表面伝
   導型放出素子から放出される電子により画像を形成する
   画像形成装置であって、 前記マトリクス状に配線した行方向配線を順次選択し、
   駆動電圧を印加して駆動する走査駆動手段と、 前記マトリクス状に配線した列方向配線に、前記走査駆
   動手段による駆動に同期して画像信号に応じた電圧信号
   を印加する電圧駆動手段と、 前記複数の表面伝導型放出素子の電子放出特性を補正す
   るための補正データを記憶する記憶手段と、 前記走査駆動手段による各行方向配線の駆動時、前記記
   憶手段から当該駆動される行方向配線に接続された表面
   伝導型放出素子のそれぞれの補正データを読み出して前
   記電圧駆動手段により印加される電圧信号を補正する補
   正手段と、を有することを特徴とする画像形成装置。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の画像形成装置であっ
   て、 前記電圧駆動手段は、画像信号を振幅変調した電圧信号
   に前記補正データに対応する電圧を加えて出力すること
   を特徴とする。
7. 【請求項７】 請求項５に記載の画像形成装置であっ
   て、 前記補正データは、前記複数の表面伝導型放出素子の電
   子放出特性を、印加電圧に対する電流値が略線形となる
   ように補正するデータであることを特徴とする。
8. 【請求項８】 請求項７に記載の画像形成装置であっ
   て、 前記補正データは、前記複数の表面伝導型放出素子にお
   ける素子に印加される素子電圧と、当該素子から放出さ
   れる放出電流との関係が略線形になる領域で前記表面伝
   導型放出素子を駆動するように印加電圧を補正するため
   のデータであることを特徴とする。
9. 【請求項９】 マトリクス状に配線された複数の表面伝
   導型放出素子から放出される電子により画像を形成する
   画像形成方法であって、 前記マトリクス状に配線した行方向配線を順次選択し、
   駆動電圧を印加して駆動する走査駆動工程と、 前記マトリクス状に配線した列方向配線に、前記走査駆
   動手段による駆動に同期して画像信号に応じた電圧信号
   を印加する電圧駆動工程と、 前記行方向配線のそれぞれに接続された複数の表面伝導
   型放出素子の電子放出特性を補正するための補正データ
   をメモリに記憶しておき、前記走査駆動工程による各行
   方向配線の駆動時、前記メモリから当該駆動される行方
   向配線に対応する補正データを読み出して前記行方向配
   線の駆動電圧を補正する補正工程と、を有することを特
   徴とする画像形成方法。
10. 【請求項１０】 マトリクス状に配線された複数の表面
    伝導型放出素子から放出される電子により画像を形成す
    る画像形成方法であって、 前記マトリクス状に配線した行方向配線を順次選択し、
    駆動電圧を印加して駆動する走査駆動工程と、 前記マトリクス状に配線した列方向配線に、前記走査駆
    動手段による駆動に同期して画像信号に応じた電圧信号
    を印加する電圧駆動工程と、 前記複数の表面伝導型放出素子の電子放出特性を補正す
    るための補正データをメモリに記憶しておき、前記走査
    駆動工程での各行方向配線の駆動時、前記メモリから当
    該駆動される行方向配線に接続された表面伝導型放出素
    子の補正データを読み出して前記電圧駆動工程で印加さ
    れる電圧信号を補正する補正工程と、を有することを特
    徴とする画像形成方法。
11. 【請求項１１】 請求項１０に記載の画像形成方法であ
    って、 前記電圧駆動工程では、画像信号を振幅変調した電圧信
    号に前記補正データに対応する電圧を加えて出力するこ
    とを特徴とする。
12. 【請求項１２】 請求項９に記載の画像形成方法であっ
    て、 前記補正データは、前記複数の表面伝導型放出素子の電
    子放出特性を、印加電圧に対する電流値が略線形となる
    ように補正するデータであることを特徴とする。
13. 【請求項１３】 請求項１２に記載の画像形成方法であ
    って、 前記補正データは、前記複数の表面伝導型放出素子にお
    ける素子に印加される素子電圧と、当該素子から放出さ
    れる放出電流との関係が略線形になる領域で前記表面伝
    導型放出素子を駆動するように印加電圧を補正するため
    のデータであることを特徴とする。