JPH11104428A

JPH11104428A - エアワッシャ

Info

Publication number: JPH11104428A
Application number: JP9264706A
Authority: JP
Inventors: Mitsukazu Yamagata; 允和山形; Shuzo Akita; 州三秋田; Tsugiaki Kamimura; 次明上村
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd; Kubota Corp
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd; Kubota Corp
Priority date: 1997-09-30
Filing date: 1997-09-30
Publication date: 1999-04-20
Anticipated expiration: 2017-09-30
Also published as: JP3544836B2

Abstract

(57)【要約】【課題】空気中の塵埃や有害ガスを確実に除去し、清
浄水として使用する純水の供給量を低減し、かつ飽和効
率の高い加湿を行なうエアワッシャを提供する。【解決手段】空気入口から空気出口に向かって空気流
が生じる水噴霧室１２と空気入口に配置する第１ワッシ
ャメディア１３と、空気流を横切って配置する第２ワッ
シャメディア１４と、空気出口に配置する第３ワッシャ
メディア１５と、空気流とは逆方向に向けて第１ワッシ
ャメディアに達する噴霧水を噴霧する第１段ノズル１６
と、水噴霧室内の第２ワッシャメディアより下流側に位
置し、空気流とは逆方向に向けて、もしくは順方向に向
けて噴霧水を噴霧する第２段ノズル１７と、流下する噴
霧水を受け止める貯水槽１８と、貯水槽内の循環水を第
１段ノズルに循環供給する循環水供給系１９と、補給水
を第２段ノズルに供給する補給水供給系２５とを備え
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場等にお
ける空気調和装置に係り、空気中の塵埃や有害ガスを除
去するとともに、飽和効率の高い加湿を行なうエアワッ
シャに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のエアワッシャとしては、例えば特
開平７−９６１２２号公報に開示するものがあり、その
概要を図１０に示す。図１０において、エアワッシャｌ
は、空気が上流側から下流側に向けて通過する水噴霧室
２を備え、水噴霧室２のほぼ中央に空気の流れ方向（図
中に矢印で示す）に延びる仕切板３を設け、仕切板３に
対向して水噴霧装置４のノズル４ａを配置している。

【０００３】このエアワッシャ１において、仕切板３に
衝突するように、水噴霧装置４のノズル４ａから清浄水
を噴霧水として噴霧すると、水噴霧室２を通過する空気
中の塵埃が噴霧水に衝突し、塵埃は噴霧水とともに仕切
板３に達して仕切板３の表面に形成する水膜に補えられ
て、水膜の落下とともに仕切板３に沿って流下する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記したエアワッシャ
１は、空気中の塵埃の除去を目的としたものであり、こ
のエアワッシャｌで空気を飽和状態付近まで加湿するに
は、水噴霧室２における空気の流量に対する噴霧水量の
割合を、塵埃を除去するための通常の割合より高く設定
する必要があり、水噴霧装置４のノズル４ａに清浄水を
圧送するためのポンプに大きな出力のものを要すること
になり、空気に効率よく加湿することができなかった。

【０００５】ところで、水噴霧室２を通過する空気中の
有害ガス成分を噴霧水によって吸収除去しようとする場
合には、有害ガスの除去性能を維持するために、噴霧水
の清浄度を所定値以上に保つ必要があり、噴霧水を循環
利用する場合には、噴霧水に取り込んだ有害ガス成分の
濃度が所定値以下を保つように、新たに清浄水を補給す
る必要がある。

【０００６】しかし、系内を循環する循環水に対して清
浄水を供給するに際し、循環水を一時的に貯留する水槽
へ清浄水を供給する場合には、水槽内に滞留する循環水
中の有害ガス成分の濃度を希釈することになり、言い換
えると補給水として供給する清浄水が水槽中の有害ガス
成分によって汚濁されるので、補給する清浄水の清浄性
を十分に活用することができなかった。しかも、補給水
の全量に純水を使用する場合には多量の純水を要し、純
水製造装置に容量の大きなものが必要となり、コストが
高くなる問題があった。

【０００７】本発明は上記した課題を解決するものであ
り、空気中の塵埃や有害ガスを確実に除去するととも
に、清浄水として使用する純水の供給量を低減し、かつ
飽和効率の高い加湿を行なうエアワッシャを提供するこ
とを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、本発明の請求項１に係るエアワッシャは、空気
入口と空気出口とを有し、空気入口から空気出口に向か
って空気流が生じる水噴霧室と、水噴霧室の空気入口に
配置する第１ワッシャメディアと、水噴霧室内に空気流
を横切って配置する第２ワッシャメディアと、水噴霧室
の空気出口に配置する第３ワッシャメディアと、水噴霧
室内の第１ワッシャメディアより下流側に位置し、空気
流とは逆方向に向けて第１ワッシャメディアに達する噴
霧水を噴霧する第１段ノズルと、水噴霧室内の第２ワッ
シャメディアより下流側に位置し、空気流とは逆方向に
向けて、もしくは順方向に向けて噴霧水を噴霧する第２
段ノズルと、水噴霧室内に位置して流下する噴霧水を受
け止める貯水槽と、貯水槽内の循環水を第１段ノズルに
循環供給する循環水供給系と、補給水を第２段ノズルに
供給する補給水供給系とを備えた構成としてものであ
る。

【０００９】上記した構成により、請求項１に係るエア
ワッシャにおいて、水噴霧室の空気入口から第１ワッシ
ャメディアを通して流入する空気流に対し、その流れに
対向するように貯水槽からの水を第１段ノズルから噴霧
すると、噴霧水が空気中の塵埃や有害ガスに衝突し、衝
突した空気中の塵埃や有害ガスが噴霧水とともに第１ワ
ッシャメディアに達し、第１ワッシャメディアが塵埃や
有害ガスを伴った噴霧水を捕捉する。

【００１０】第１ワッシャメディアに達した噴霧水は、
第１ワッシャメディアに付着した塵埃を洗い流して流下
するとともに有害ガスを取り込んで貯水槽へ流入し、流
下する過程において蒸発して空気を加湿する。

【００１１】第ｌワッシャメディアに衝突しなかった噴
霧水は、一部が水噴霧室の天井面、壁面または貯水面に
衝突するが、それ以外は空気流に乗って移動し、その過
程において蒸発して空気を加湿するとともに、空気中の
塵埃や有害ガスを取り込んで第２ワッシャメディアに達
し、第２ワッシャメディアが塵埃や有害ガスを伴った噴
霧水を捕捉する。

【００１２】第２ワッシャメディアに達した噴霧水は、
第２ワッシャメディアに付着した塵埃を洗い流して流下
するとともに有害ガスを取り込んで貯水槽へ流入し、流
下する過程において蒸発して空気を加湿する。貯水槽に
滞留する循環水は、循環水供給系を通って循環し、再び
第１段ノズルから噴霧する。

【００１３】このように、第１段ノズルから噴霧水を空
気流に対向するように噴射し、折り返すように空気を加
湿するので、空気の流量に対する噴霧水の量の割合を低
く設定しても、第ｌおよび第２ワッシャメディアによっ
て空気中の塵埃や有害ガスを十分に除去するとともに効
率よく空気を加湿でき、循環水供給系におけるポンプ等
のアクチュエータの出力を低減することができる。

【００１４】第２ワッシャメディアを通過した空気流に
対し、清浄な補給水を第２段ノズルから噴霧すると、清
浄な水の噴霧水が空気中に残存する塵埃や有害ガスに衝
突し、衝突した塵埃や有害ガスが噴霧水とともに第３ワ
ッシャメディアに達し、第３ワッシャメディアが塵埃や
有害ガスを伴った噴霧水を捕捉する。

【００１５】第３ワッシャメディアに達した噴霧水は、
第３ワッシャメディアに付着した塵埃を洗い流して流下
するとともに有害ガスを取り込んで貯水槽へ流入し、流
下する過程において蒸発して空気を加湿する。

【００１６】このように、第２段ノズルから噴霧する清
浄な水は、初期清浄度を保った状態で噴霧水となるの
で、第１ワッシャメディアおよび第２ワッシャメディア
を通過した有害ガスに対して、その清浄性を有効に活か
して高い除去性能を発揮することができる。貯水槽へ流
入した清浄な水は補給水として循環水に合流し、循環水
供給系を通って第１段ノズルから循環水として噴霧す
る。第３ワッシャメディアを通過した空気は、浄化して
十分に加湿した清浄な空気として空気出口から流出す
る。

【００１７】補給水は、空気の加湿に伴って減少する循
環水の減少量を補うとともに、循環水中の有害ガス濃度
を一定値以下に維持するために必要な量を第２段ノズル
と貯水槽へ供給し、貯水槽の水位を保つ位置に設けるオ
ーバーフロー管から余分となる水を排出する。

【００１８】本発明の請求項２に係るエアワッシャは、
第２段ノズルに補給水を供給する補給水供給系が、補給
水として純水を供給するものである。請求項２に係るエ
アワッシャにおいては、第２段ノズルへの補給水を純水
とすることにより、純水のより清浄性を活かした有害ガ
スの除去を行ないつつ、全ての補給水を純水にしなくて
もよいので、純水の使用量を低減することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１〜図３に示すように、エアワッ
シャ１０は、矩形の流路断面を有する本体ケーシング１
１の内部に、所定長さの水噴霧室１２を有している。水
噴霧室１２は、その一端に形成した空気入口１２ａにお
いてダクト（図示せず）に接続しており、このダクトか
ら流入する空気Ａが水噴霧室１２の流路を通って他端に
形成した空気出口１２ｂから流出する。

【００２０】水噴霧室１２には、空気入口１２ａに位置
して第１ワッシャメディア１３を配置し、水噴霧室１２
の流路の途中に位置して第２ワッシャメディア１４を配
置し、空気出口１２ｂに位置して第３ワッシャメディア
１５を配置しており、第１ワッシャメディア１３と第２
ワッシャメディア１４の間を第１段エアワッシャ部１２
ｃとし、第２ワッシャメディア１４と第３ワッシャメデ
ィア１５の間を第２段エアワッシャ部１２ｄとしてい
る。各ワッシャメディア１３、１４、１５は、空気流の
流路断面とほぼ等しい形状を有し、ポリ塩化ビニルデン
系繊維やステンレスの線材等からなり、たとえば２５ｍ
ｍ〜５０ｍｍ程度の厚みを有するマット状のものであ
る。

【００２１】水噴霧室１２の内部には、後述する循環水
供給系に連通する複数の第１段ノズル１６を第１ワッシ
ャメディア１３より下流側に位置して配置するととも
に、後述する補給水供給系に連通する複数の第２段ノズ
ル１７を第２ワッシャメディア１４より下流側に位置し
て配置している。第１段ノズル１６は、空気流とは逆方
向に向けて第１ワッシャメディア１３に達する噴霧水を
噴霧するものであり、第２段ノズル１７は、空気流とは
逆方向に向けて第２ワッシャメディア１４に達しない噴
霧水を噴霧するものである。

【００２２】第１段ノズル１６からの噴霧水の圧力は、
水噴霧室１２内に所定流量の空気を流しているときに噴
霧水の一部１／３程度）が第１ワッシャメディア１３に
衝突する程度に設定する。また、残りの水の一部（１／
３程度、全水量の２／９）が、水噴霧室１２内において
天井面、壁面等に衝突し、その残りの水（全水量の５／
９）が空気の流れに乗って移動し、第２ワッシャメディ
ア１４に衝突するように設定する。

【００２３】第２段ノズル１７からの噴霧水の圧力は、
水噴霧室１２内に所定流量の空気を流しているときに、
噴霧水が第２ワッシャメディア１４に衝突する前に、空
気の流れに乗って移動して第３ワッシャメディア１５に
衝突するように設定する。

【００２４】水噴霧室１２の下部には、流下する噴霧水
を受け止める貯水槽１８が設けてあり、貯水槽１８に滞
留する循環水を第１段ノズル１６第１段ノズルに循環供
給する循環水供給系１９が水噴霧室１２の下部に連通し
て設けてある。

【００２５】循環水供給系１９は、貯水槽１８の下部に
開口する吸込管２０と、吸込管２０に接続した循環ポン
プ２１と、循環ポンプ２１を駆動するモータ２２と、循
環ポンプ２１の吐出口に接続して水噴霧室１２の上方に
配置した第１段吐出管２３と、第１段吐出管２３から分
岐して水噴霧室１２の第１段エアワッシャ部１２ｃに垂
直方向に配設した複数の第１段分岐管２４とからなり、
各第１段分岐管２４に前述した複数の第１段ノズル１６
を設けている。

【００２６】第２段ノズルに補給水を供給する補給水供
給系２５は、清浄水供給装置（図示せず）もしくは純水
供給装置（図示せず）に接続して水噴霧室１２の上方に
配置した第２段吐出管２６と、第２段吐出管２６から分
岐して水噴霧室１２の第２段エアワッシャ部１２ｄに垂
直方向に配設した複数の第２段分岐管２７とからなり、
各第２段分岐管２７に前述した複数の第２段ノズル１７
を設けている。

【００２７】貯水槽１８には、オバーフロー管２８と、
補給水として清浄水を供給する第２補給水供給管２９が
連通し、供給管２９は清浄水供給装置（図示せず）に連
通している。

【００２８】水噴霧室１２の下流側には、水噴霧室１２
を通過した空気に含まれる水滴等を除去するエリミネー
タ３０が配置してあり、水噴霧室１２の空気出口１２ｂ
には、水噴霧室１２と同様の流路断面形状を有する所定
長さの冷却室３１が接続してある。冷却室３１の内部に
は冷却器として冷却コイル３２が設けてあり、冷却室３
１の下方にはドレンパン３３が形成したある。このドレ
ンパン３３の凹みには冷却室３１の外部へ通じるドレン
パイプ３４が接続してある。水噴霧室１２の下流側には
送風機（図示せず）が配置してあり、この送風機を作動
することによって水噴霧室１２の流路に空気を導く。

【００２９】本実施の形態においては、第２段ノズル１
７は、空気流とは逆方向に向けて第２ワッシャメディア
１４に達しない噴霧水を噴霧するものであるが、図６か
ら図７に示すように、第２段ノズル１７は、空気流と順
方向に向けて噴霧水を噴霧するものであっても良い。

【００３０】上記した構成における作用を説明する。空
気Ａは空気入口１２ａから第１ワッシャメディア１３を
通して水噴霧室１２の第１段エアワッシャ部１２ｃに流
入する。この空気流に対し、その流れに対向するように
貯水槽１８からの循環水を第１段ノズル１６から噴霧す
る。噴霧水は空気中の塵埃や有害ガスに衝突し、衝突し
た空気中の塵埃や有害ガスが噴霧水とともに第１ワッシ
ャメディア１３に達し、第１ワッシャメディア１３が塵
埃や有害ガスを伴った噴霧水を捕捉する。第１ワッシャ
メディア１３では、噴霧水が第１ワッシャメディア１３
に付着した塵埃を洗い流して流下するとともに、有害ガ
スを取り込んで貯水槽１８へ流入する。噴霧水は流下す
る過程において蒸発して空気を加湿する。

【００３１】第ｌワッシャメディア１３に衝突しなかっ
た噴霧水は、一部が水噴霧室１２の天井面、壁面または
貯水面に衝突するが、それ以外は空気流に乗って移動
し、その過程において蒸発して空気を加湿するととも
に、空気中の塵埃や有害ガスを取り込んで第２ワッシャ
メディア１４に達し、第２ワッシャメディア１４が塵埃
や有害ガスを伴った噴霧水を捕捉する。第２ワッシャメ
ディア１４では、噴霧水が第２ワッシャメディア１４に
付着した塵埃を洗い流して流下するとともに、有害ガス
を取り込んで貯水槽１８へ流入する。噴霧水は流下する
過程において蒸発して空気を加湿する。貯水槽１８に滞
留する循環水は、循環水供給系１９を通って循環し、再
び第１段ノズル１６から噴霧する。

【００３２】第２ワッシャメディア１４を通過した空気
流は、水噴霧室１２の第２段エアワッシャ部１２ｄに流
入する。この空気流に対して、清浄水もしくは純水を第
２段ノズル１７から噴霧すると、清浄水もしくは純水の
噴霧水が空気中に残存する塵埃や有害ガスに衝突し、衝
突した塵埃や有害ガスが噴霧水とともに第３ワッシャメ
ディア１５に達し、第３ワッシャメディア１５が塵埃や
有害ガスを伴った噴霧水を捕捉する。

【００３３】第３ワッシャメディア１５では、噴霧水が
第３ワッシャメディア１５に付着した塵埃を洗い流して
流下するとともに、有害ガスを取り込んで貯水槽１８へ
流入する。噴霧水は流下する過程において蒸発して空気
を加湿する。

【００３４】貯水槽へ流入した清浄水もしくは純水は、
補給水として循環水に合流し、循環水供給系１９を通っ
て第１段ノズル１６から循環水として噴霧する。第３ワ
ッシャメディア１５を通過した空気は、浄化して十分に
加湿した清浄な空気として空気出口からエリミネータ３
０に流入し、エリミネータ３０において空気中の水滴を
除去する。エリミネータ３０から流出する空気は冷却室
３１に導き、冷却コイル３２によって冷却する。

【００３５】上述した過程において、循環水は空気の加
湿に伴って減少するので、この循環水の減少量を補うと
ともに、循環水中の有害ガス濃度を一定値以下に維持す
るために必要な必要補給水量の補給水を循環水の循環系
に補給する。第２段エアワッシャ部１２ｄにおいて清浄
水もしくは純水が貯水槽１８へ補給水として流入するの
で、この水量を必要補給水量から減じ、その量を補給水
として第２補給水供給管２９から貯水槽１８に供給す
る。第２補給水供給管２９から供給する補給水は、純水
でなく、適度に浄化した水道水等の清浄水（塩素を除去
したもの）を使用する。

【００３６】図５に示す湿り空気線図は、図４に示すエ
アワッシャの各位置における空気の状態変化を示してお
り、図４および図５において、〜は互いに対応して
いる。すなわち、は第１ワッシャメディア１３の直前
の状態、は第１ワッシャメディア１３を通過直後の状
態、は第２ワッシャメディア１４を通過直後の状態、
はエリミネータ２２を通過直後の状態、は冷却コイ
ル３２を通過直後の状態を示す。

【００３７】第１段ノズル１６からの噴霧水は加熱・冷
却しないので、からまでの過程において空気は断熱
変化し、湿球温度一定の線上をその相対湿度を高めるよ
うに変位する。その後、からまでの過程では、冷却
コイル３２によって要求する絶対湿度まで飽和線に沿う
ように冷却する。ここで、からまでの区間Ｂにおけ
る乾球温度（横軸）の温度差と、から−線と飽和
線との交点（飽和点Ｃ）までの区間Ａにおける乾球温度
（横軸）の温度差との割合がエアワッシャの効率であ
る。（実施例１）以下に、アンモニアガスを除去対象ガスと
する場合の必要補給水量について説明する。

【００３８】ここで、ガス除去率η、必要補給水量Ｑ_F
（ｍ³／ｓ）、風量Ｑ_G（ｍ³／ｓ）、蒸発（加湿）水量
Ｑ_B（ｍ³／ｓ）、噴霧水中のガス濃度Ｃ_W（ｍｏｌ／
ｍ³）、第１段エアワッシャ部１２ｃの入口空気のガス
濃度Ｃ_G1（ｍｏｌ／ｍ³）、第２段エアッシャ部１２ｄ
の入口空気のガス濃度Ｃ_G2（ｍｏｌ／ｍ³）とすると、
循環水噴霧の場合の必要補給水量Ｑ_F（ｍ³／ｓ）＝Ｑ_G
・η・Ｃ_Gin／１００Ｃ_W＋Ｑ_Bとなる。

【００３９】また、水・空気比＝噴霧水量（ｋｇ／ｈ）
／空気量（ｋｇ／ｈ）、空気量（ｋｇ／ｈ）＝風量（ｍ
³／ｈ）×１．２（標準空気の密度ｋｇ／ｍ³）である。
今、風量Ｑ_G＝９０００ｍ³／ｈ（２．５ｍ³／ｓ，１０
８００ｋｇ／ｈ）、入口空気のガス濃度Ｃ_G1＝５．０×
１０^-6ｍｏｌ／ｍ³、乾球温度２０℃、相対湿度４５％
とすると、蒸発（加湿）水量Ｑ_B＝０．８×１０^-5ｍ³／
ｓとなる。循環水噴霧量１０８リッター／分（１．８×
１０^-3ｍ³ｓ）とすると、水・空気比０．６となる。図
８は、水・空気比０．６におけるアンモニアガスのＣ_W
／Ｃ_G1とガス除去率η₁の関係を示すものである。第１
段エアワッシャ部１２ｃでの目標ガス除去率η₁を８５
％とした場合に、必要補給水量Ｑ_F＝２．２１×１０^-4
ｍ³／ｓ（１３．３リッター／分）となる。これは、水
・空気比０．０７４に相当する。

【００４０】図９は、純水噴霧の場合における水・空気
比とアンモニアガスのガス除去率η ₂の関係を示すもの
であり、第２段エアワッシャ部１２ｄにおける噴霧水量
（純水）を７リッター／分とすると、ガス除去率η₂は
４０パーセントとなり、水・空気比０．０４に相当す
る。

【００４１】よって、総合ガス除去率η_T＝η₁＋（１０
０−η₁）・η₂／１００は９１パーセントとなり、補給
水供給管２９による補給水量は、１３．４−７．０＝
６．４リッター／分（全補給水の４８％）となる。

【００４２】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、第
１段ノズルから噴霧水を空気流に対向するように噴射
し、折り返すように空気を加湿するので、空気の流量に
対する噴霧水の量の割合を低く設定しても、第ｌおよび
第２ワッシャメディアによって空気中の塵埃を十分に除
去するとともに効率よく空気を加湿でき、循環水供給系
におけるポンプ等のアクチュエータの出力を低減するこ
とができる。

【００４３】第２段ノズルから噴霧する清浄水もしくは
純水は、初期清浄度を保った状態で噴霧水となるので、
第１ワッシャメディアおよび第２ワッシャメディアを通
過した有害ガスに対して、その清浄性を有効に活かして
高い除去性能を発揮することができる。

【００４４】第２段ノズルへの補給水を純水とし、貯水
槽への補給水を清浄水とすることにより、純水のより清
浄性を活かした有害ガスの除去を行ないつつ、全ての補
給水を純水にしなくてもよいので、純水の使用量を低減
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を示すエアワッシャの平断面
図である。

【図２】同エアワッシャの縦断面図である。

【図３】同エアワッシャの横断面図である。

【図４】同エアワッシャにおける噴霧水の流れを示す模
式図である。

【図５】同エアワッシャにおける空気の状態変化を示す
湿り空気線図である。

【図６】本発明の他の実施形態を示すエアワッシャの平
断面図である。

【図７】同エアワッシャにおける噴霧水の流れを示す模
式図である。

【図８】同エアワッシャの水・空気比０．６におけるア
ンモニアガスのＣ_W／Ｃ_G1とガス除去率η₁の関係を示す
グラフ図である。

【図９】同エアワッシャの純水噴霧における水・空気比
とアンモニアガスのガス除去率η₂の関係を示すグラフ
図である。

【図１０】従来のエアワッシャの構成を示す模式図であ
る。

【符号の説明】

１０エアワッシャ１１本体ケーシング１２水噴霧室１２ａ空気入口１２ｂ空気出口１２ｃ第１段エアワッシャ部１２ｄ第２段エアワッシャ部１３第１ワッシャメディア１４第２ワッシャメディア１５第３ワッシャメディア１６第１段ノズル１７第２段ノズル１８貯水槽１９循環水供給系２０吸込管２１循環ポンプ２２モータ２３第１段吐出管２４第１段分岐管２５補給水供給系２６第２段吐出管２７各第２段分岐管２８オバーフロー管２９第２補給水供給管３０エリミネータ３１冷却室３２冷却コイル３３ドレンパン３４ドレンパイプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者秋田州三栃木県宇都宮市平出工業団地28 クボタトレーン株式会社栃木工場内 (72)発明者上村次明栃木県宇都宮市平出工業団地28 クボタトレーン株式会社栃木工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】空気入口と空気出口とを有し、空気入口
から空気出口に向かって空気流が生じる水噴霧室と、水
噴霧室の空気入口に配置する第１ワッシャメディアと、
水噴霧室内に空気流を横切って配置する第２ワッシャメ
ディアと、水噴霧室の空気出口に配置する第３ワッシャ
メディアと、水噴霧室内の第１ワッシャメディアより下
流側に位置し、空気流とは逆方向に向けて第１ワッシャ
メディアに達する噴霧水を噴霧する第１段ノズルと、水
噴霧室内の第２ワッシャメディアより下流側に位置し、
空気流とは逆方向に向けて、もしくは順方向に向けて噴
霧水を噴霧する第２段ノズルと、水噴霧室内に位置して
流下する噴霧水を受け止める貯水槽と、貯水槽内の循環
水を第１段ノズルに循環供給する循環水供給系と、補給
水を第２段ノズルに供給する補給水供給系とを備えたこ
とを特徴とするエアワッシャ。
【請求項２】第２段ノズルに補給水を供給する補給水
供給系は、補給水として純水を供給することを特徴とす
る請求項１記載のエアワッシャ。