JP2000317248A

JP2000317248A - ガス不純物の除去システム

Info

Publication number: JP2000317248A
Application number: JP11134085A
Authority: JP
Inventors: Tasuku Suzuki; 翼鈴木; Takeshi Ebine; 猛海老根; Hajime Tamura; 一田村; Shiyuuji Yoneda; 周似米田; Tsutomu Oishi; 勉大石; Hiroshi Yoshida; 宏吉田
Original assignee: Yamaha Corp; Techno Ryowa Ltd
Current assignee: Yamaha Corp; Techno Ryowa Ltd
Priority date: 1999-05-14
Filing date: 1999-05-14
Publication date: 2000-11-21

Abstract

(57)【要約】【課題】処理空気の温湿度を一定に維持しながら、処
理空気中に含まれるガス不純物を高効率、低圧損で除去
する。【解決手段】チャンバ２１の内部に、プレフィルタ２
４、中性能フィルタ２５、冷却コイル２６、加熱コイル
２７、ガス不純物の除去装置２８、再熱コイル２９、送
風機３０、水不溶性ガス除去ケミカルフィルタ３１、Ｈ
ＥＰＡフィルタ３２を順次設け、ガス不純物の除去装置
２８の出口に、乾球温度計４０を設ける。また、ガス不
純物の除去装置２８は、送風方向に沿って複数段の固体
壁４１〜４４を備え、各段の固体壁には上方から液体を
滴下し、固体壁の表面に液膜を形成する。また、最下流
に配設された固体壁４４に滴下された液体を回収し、こ
の液体をポンプ４７によって隣接する固体壁４３の上部
に循環させ、同様に、ポンプ４６、４５によって順次上
流側の固体壁４２、４１の上部に循環させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、空気中に含まれる
水溶性のガス不純物の除去に適したガス不純物の除去シ
ステムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、超微細化が進む半導体デバイス等
の製造工程において、空気中に含まれるガス不純物が問
題となっている。かかるガス不純物が半導体等の製造雰
囲気に混入した場合、デバイスの電気特性を劣化させる
原因となるおそれがあるからである。

【０００３】このような空気中に含まれるガス不純物の
除去手段としては、従来からケミカルフィルタ処理によ
る除去方法（乾式法）と、気液接触による除去方法とが
知られている。上記乾式法は、気中のガス不純物を化学
吸着又は物理吸着、あるいは両方によりフィルタ内に取
り込み除去するもので、ガス不純物の種類により、濾材
の種類や処理方法及び濾材に添着する化学物質の種類が
異なるものである。一方、気液接触による除去方法は、
液滴を噴霧したり、表面積の大きい充填材に液状物質を
供給することにより、気中のガス不純物を除去するもの
である。

【０００４】しかしながら、乾式法に用いられるケミカ
ルフィルタは、（ａ）高価、（ｂ）除去効果が短命（１
年位）、（ｃ）適正交換時期の予測が困難、（ｄ）交換
作業が必要、（ｅ）送風抵抗（圧力損失）が大きく送風
コストが上昇するといった問題があった。また、従来の
気液接触による除去方法では、吸水性の低い充填材を使
用して気液接触面積を大きくしようとするために、大量
の液状物質を供給しなければならず、ランニングコスト
が高くなるという問題があった。

【０００５】これらの問題点を解決すべく、外気処理空
調機（以下、外調機）用として、水噴霧等の湿式による
ガス不純物の除去装置が提案されている。例えば、特開
平９−２３９２２４号公報に示されたガス不純物の除去
装置は、図１２に示したように構成されている。すなわ
ち、図１２はガス不純物の除去装置１を組み込んだクリ
ーンルーム用の外調機２の全体を示したものであり、チ
ャンバ３内には、上流側（入口側）から順に、プレフィ
ルタ４、除塩フィルタ５、加熱コイル６、冷却コイル
７、ガス不純物の除去装置１、ファン８、再熱コイル９
及び超高性能微粒子除去フィルタ１０が配置されてい
る。

【０００６】また、ガス不純物の除去装置１は、チャン
バ３外に設置されている純水製造装置１１から供給され
た純水を下流側に向けて噴霧する複数のノズル１３と、
このノズル１３から所定の距離を隔てて配設されたエリ
ミネータとなるウェットプレート群１４とを有してい
る。また、このウェットプレート群１４は、図１３に示
したように、つづら折りした複数のウェットプレート１
５を気流の流れに沿って平行に配置した構成とされてい
る。なお、ウェットプレートは、例えば、ポリエステル
繊維をフェノール樹脂をバインダーとして所定の厚さに
成形した吸水性素材から構成されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来のガス不純物の除去装置には、以下に述べ
るような問題点があった。すなわち、図１２に示したよ
うな従来のガス不純物の除去装置においては、複数のノ
ズルからエリミネータに向けて高圧力で純水を噴霧する
方式を採用しており、大きなポンプ圧力を必要とし、大
きな動力エネルギーが必要となっていた。

【０００８】また、ウェットプレート群１４に純水が噴
霧されると、ウェットプレートは吸水性があるため濡れ
るが、下流側に配設されたウェットプレートや各ウェッ
トプレートの上部においては水の流通が悪く、それらの
部分ではガス不純物の液中濃度が高くなるため、ガス不
純物を吸収しにくくなる。さらに、本来、エリミネータ
は液滴をトラップするものであるため、下流側に配設さ
れたウェットプレートには液滴が届きにくいという欠点
もあった。

【０００９】さらに、ガス吸収の最も効率の良い接触方
式は対向流方式であることが知られているが、図１２に
示したような従来のガス不純物の除去装置においては、
純水をウェットプレート群１４に噴霧する方向と処理空
気の流れる方向が同一である並行流方式が用いられてい
るため、吸収効率が悪かった。なお、図１４は、ガス吸
収の接触方式の例を示したものであるが、図１４（Ａ）
に示した並行流方式は吸収効率が悪く、図１４（Ｂ）に
示した直交流方式は並行流方式よりは吸収効率が良い
が、図１４（Ｃ）に示した対向流方式が最も吸収効率が
良いことが知られている。

【００１０】また、エリミネータとなるウェットプレー
ト群１４には、それらと直交する方向から純水が噴霧さ
れ、噴霧された純水は重力によって各ウェットプレート
の下部へ落下する。そのため、各ウェットプレートにお
いて、その上部及び下部の水膜の厚さは同一ではなくな
り、下部に噴霧された水は直ちに下に落ちてしまうた
め、気液接触面積を大きくするのに有効に利用されない
といった問題もあった。

【００１１】さらに、図１２に示したような従来のガス
不純物の除去装置においては、出口の相対湿度を常に１
００％とするのは難しく、室内湿度の制御精度が厳しい
場合、また外気量や温湿度が変動する場合には、出口の
露点温度を一定に制御するのは難しく、蒸気加湿による
微調整が必要となる。そのため、出口において、乾球温
度（ＤＢ）と露点温度（ＤＰ）の両方を測定して制御す
る必要があった。

【００１２】本発明は、上述したような従来技術の問題
点を解決するために提案されたものであり、その目的
は、処理空気の温湿度を一定に維持しながら、処理空気
中に含まれるガス不純物を高効率、低圧損で除去するこ
とができるガス不純物の除去システムを提供することに
ある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載のガス不純物の除去システムは、
ガス不純物を含む処理対象となる空気流をその内部で上
流から下流に流通させることが可能なチャンバと、前記
チャンバ内に、前記空気流に対して略直交方向に複数段
に設けられた固体壁と、前記複数段の固体壁の内、最下
流に配設された固体壁に液体を供給する給水手段とを備
え、前記最下流に配設された固体壁に供給された液体を
回収し、この液体を順次隣接する上流側の固体壁の上部
に循環させるように構成し、前記固体壁に液膜を形成し
たことを特徴とするものである。上記のような構成を有
する請求項１に記載のガス不純物の除去システムによれ
ば、ガス不純物を吸収すべく供給される液体は、複数段
の固体壁の内、最下流側の固体壁のみに供給され、最下
流の固体壁の下部に溜まった液体を前段の固体壁に順次
循環させることにより、疑似対向流が形成される。その
結果、ガス不純物の吸収効率が大幅に向上する。

【００１４】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のガス不純物の除去システムにおいて、液体が純水であ
ることを特徴とするものである。上記のような構成を有
する請求項２に記載のガス不純物の除去システムによれ
ば、特に、水溶性のガス不純物を効率良く除去すること
ができる。

【００１５】請求項３に記載の発明は、請求項１又は請
求項２に記載のガス不純物の除去システムにおいて、固
体壁が、気化式加湿材料から構成されていることを特徴
とするものである。上記のような構成を有する請求項３
に記載のガス不純物の除去システムによれば、固体壁を
ガス不純物の除去手段として用いるだけでなく、加湿器
としても利用することができる。

【００１６】請求項４に記載の発明は、請求項１又は請
求項２に記載のガス不純物の除去システムにおいて、固
体壁が、親水性処理を施した所定の硬質材料により構成
されていることを特徴とするものである。上記のような
構成を有する請求項４に記載のガス不純物の除去システ
ムによれば、固体壁の洗浄や滅菌消毒が可能なガス不純
物の除去システムを提供することができる。

【００１７】請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請
求項４のいずれか一に記載のガス不純物の除去システム
において、固体壁が、折れ板状又は平行平板状の部材に
より構成されていることを特徴とするものである。上記
のような構成を有する請求項５に記載のガス不純物の除
去システムによれば、ガスの拡散運動によるガス不純物
の吸収効率が大幅に向上する。

【００１８】請求項６に記載の発明は、請求項１乃至請
求項５のいずれか一に記載のガス不純物の除去システム
において、複数段の固体壁の下流側に温度センサを配設
したことを特徴とするものである。上記のような構成を
有する請求項６に記載のガス不純物の除去システムによ
れば、従来、クリーンルーム等に供給する空気の温湿度
を制御するために必要であった乾球温度（ＤＢ）と露点
温度（ＤＰ）の両方の測定を、複数段の固体壁の下流側
において乾球温度のみを測定し、その結果に基づいて冷
却コイルあるいは加熱コイルを調整することにより、乾
球温度を一定にすることで、安定した温湿度を維持する
ことができる。

【００１９】請求項７に記載の発明は、請求項１乃至請
求項６のいずれか一に記載のガス不純物の除去システム
において、固体壁が各段ごとにユニット化され、チャン
バ内に着脱可能に配設されていることを特徴とするもの
である。上記のような構成を有する請求項７に記載のガ
ス不純物の除去システムによれば、各段の固体壁の交換
作業が容易となるだけでなく、種々の状況に合わせて、
ユニット化された固体壁を抜き取ることにより、低圧損
化が可能となる。

【００２０】請求項８に記載の発明は、請求項７に記載
のガス不純物の除去システムにおいて、ユニット化され
た固体壁がさらに複数個の単位ユニットに分割され、こ
の単位ユニットごとに着脱可能に構成されていることを
特徴とするものである。上記のような構成を有する請求
項８に記載のガス不純物の除去システムによれば、固体
壁を引き出す場合に、単位ユニット毎に取り出すことが
できるので、固体壁ユニットの引き出し作業に要するス
ペースを大幅に縮小することができる。

【００２１】請求項９に記載の発明は、請求項１乃至請
求項８のいずれか一に記載のガス不純物の除去システム
において、給水手段に熱交換器が設けられ、前記液体
を、供給空気の必要露点温度に等しい乾球温度まで冷却
するように構成されていることを特徴とするものであ
る。上記のような構成を有する請求項９に記載のガス不
純物の除去システムによれば、最下流に配置された固体
壁に供給される液体の温度を、ガス吸収効率が良い低温
に制御することができ、また、処理空気の必要露点温度
に等しい乾球温度（相対湿度が１００％となる）に制御
することにより、ガス不純物を除去した温湿度一定の処
理空気をクリーンルーム等に供給することが可能とな
る。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態（以
下、実施形態という）について、図面を参照して具体的
に説明する。

【００２３】［１．第１実施形態］［１−１．第１実施形態の構成］本実施形態のガス不純
物の除去システムは、図１に示すように構成されてい
る。すなわち、処理空気の取入口２２及び供給口２３を
有するチャンバ２１の内部に、プレフィルタ２４、中性
能フィルタ２５、冷却コイル２６、加熱コイル２７、ガ
ス不純物の除去装置２８、再熱コイル２９、送風機３
０、水不溶性ガス除去ケミカルフィルタ３１、ＨＥＰＡ
フィルタ３２が順次設けられている。また、ガス不純物
の除去装置２８の出口には、乾球温度計４０が設けられ
ている。

【００２４】また、ガス不純物の除去装置２８は、送風
方向に沿って複数段（ここでは、４段）に設けられた固
体壁４１〜４４を備えており、各段の固体壁には上方か
ら液体（純水）が滴下され、固体壁の表面に液膜（水
膜）が形成されるように構成されている。また、各段の
固体壁に液体を滴下する手段としては、給水装置（図示
せず）によって最下流に配設された固体壁４４に滴下さ
れた液体を回収し、この液体をポンプ４７によって隣接
する固体壁４３の上部に循環させ、同様に、ポンプ４
６、４５によって順次上流側の固体壁４２、４１の上部
に循環させる方法が用いられている。

【００２５】なお、本実施形態においては、固体壁４１
〜４４としては、気化式加湿用の材料（例えば、ウェッ
トマスター株式会社製の気化式加湿器）を用い、滴下す
る液体に純水を使用することで、空気中のガス不純物を
除去すると同時に加湿にも適用できる構造となってい
る。また、固体壁の材料としては、上記気化式加湿用の
材料に限らず、グラスファイバーを骨材として焼成した
複合セラミックスや、多孔質セラミックを用いることが
でき、また、ポリエステル、ポリエチレン等の化学繊維
を用いた吸水性あるいは親水性の素材を用いることもで
きる。

【００２６】また、吸水性材料や親水性材料よりなる固
体壁４１〜４４は、空気中に含まれるガス不純物を周知
のガスの拡散運動により吸収するため、その表面に液膜
を一様に形成することができるように、ジグザグに屈曲
した折れ板状（プリーツ状）あるいは平行平板状に構成
されている。なお、このような液膜式は、従来から用い
られているワッシャー方式でスプレーされる水粒子を微
細化するよりも気体と液体の接触面積を容易に増やすこ
とができるため、ガス不純物の吸収率の向上が期待でき
る。

【００２７】さらに、すべての段の固体壁４１〜４４に
対する液体の供給が、上部から重力式でなされること
で、ガスと液体の接触方式として基本的に並行流より効
率の高い直交流を形成している（図１４参照）。さら
に、本実施形態においては、送風方向に沿って固体壁を
複数段設け、空気の流れに対して下流側から上流側に向
かって滴下する液体の循環を繰り返すことにより、図２
に示したような疑似対向流を作り出しているため、吸収
効率のさらなる向上が図られている。

【００２８】［１−２．第１実施形態の作用・効果］上
記のような構成を有する本実施形態のガス不純物の除去
システムは、以下に述べるように作用する。すなわち、
図１に示したガス不純物の除去装置２８においては、４
段の固体壁４１〜４４の内、最下流に配設された第１段
の固体壁４４に純水を滴下し、その滴下水を循環ポンプ
４７によって第２段の固体壁４３へ再び滴下する。これ
を第４段の固体壁４１まで繰り返した後、残留水を排水
する。このようにして、各固体壁４１〜４４に水膜が形
成される。

【００２９】一方、取入口２２からチャンバ２１の内部
に導入された処理対象となる空気は、プレフィルタ２
４、中性能フィルタ２５、冷却コイル２６及び加熱コイ
ル２７を介して、上記ガス不純物の除去装置２８に供給
される。そして、処理対象となる空気は、このガス不純
物の除去装置２８において、各固体壁に形成された水膜
と接触し、ガスの拡散運動によりその空気中に含まれる
ガス不純物が除去される。

【００３０】なお、ガス不純物の除去装置２８に供給さ
れた処理対象となる空気は、まず、第４段の固体壁４１
と接触し、ここである程度ガス不純物が除去される。そ
して、最後に、清浄な純水が供給される第１段の固体壁
４４と接触するため、水溶性のガス不純物は非常に効率
良く除去される。

【００３１】このようにしてガス不純物の除去装置２８
を通過した空気は、再熱コイル２９、水不溶性ガス除去
ケミカルフィルタ３１及びＨＥＰＡフィルタ３２を介し
て、供給口２３からチャンバ２１外に取り出され、クリ
ーンルームに供給される。

【００３２】続いて、本実施形態のガス不純物の除去シ
ステムの作用を、冬期の加湿モードの場合（図３及び図
４参照）と、夏期の除湿モードの場合（図５及び図６参
照）とに分けてそれぞれ説明する。

【００３３】すなわち、例えば外気が５℃、相対湿度７
０％（図４中のＡ点）の冬期の加湿モードにおいては、
図３にも示したように、まずプレフィルタ２４、中性能
フィルタ２５を介して、チャンバ２１内に前処理した外
気を取り入れる。そして、これらのフィルタによって粒
子を除去した空気を加熱コイル２７によって、２０．５
℃まで加熱する（図４中のＢ点）。なお、外気が低い場
合、特に氷点温度以下に下がる場合などは、冷却コイル
を運転することにより、凍結防止と省エネルギーが可能
である。

【００３４】そして、上述したように、ガス不純物除去
装置２８によって処理空気中に含まれるガス不純物を除
去する。このとき、同時に加湿も行われるので、処理空
気は１０．３℃、ＲＨ１００％となる（図４中のＣ
点）。そして、再熱コイル２９で加熱すると共に、送風
機３０により昇温され、水不溶性ガス除去ケミカルフィ
ルタ３１及びＨＥＰＡフィルタ３２によって水不溶性の
ガス不純物及び微粒子を除去することにより、所期の１
２℃、ＲＨ９０％の清浄空気がチャンバ２１から送り出
される（図４中のＤ点）。そして、この清浄空気は、ク
リーンルーム（２３℃、ＲＨ４５％：図４中のＥ点）に
供給される。以上のような加湿モードでは、ガス不純物
除去装置２８は加湿器としても機能しており、加湿しな
がらガス不純物を除去する作用を奏する。

【００３５】一方、例えば外気が３０℃、ＲＨ７０％
（図６中のＡ点）の夏期の減湿モードにおいては、図５
にも示したように、まず、プレフィルタ２４、中性能フ
ィルタ２５を介して、チャンバ２１内に前処理した外気
を取り入れる。そして、これらのフィルタによって粒子
を除去した空気を冷却コイル２６によって、１０．３
℃、ＲＨ１００％まで冷却する（図６中のＢ点）。

【００３６】そして、上述したように、ガス不純物除去
装置２８によって処理空気中に含まれるガス不純物を除
去する。そして、再熱コイル２９で加熱すると共に、送
風機３０により昇温され、水不溶性ガス除去ケミカルフ
ィルタ３１及びＨＥＰＡフィルタ３２によって水不溶性
のガス不純物及び微粒子を除去することにより、所期の
１２℃、ＲＨ９０％の清浄空気がチャンバ２１から送り
出される（図６中のＣ点）。そして、この清浄空気は、
クリーンルーム（２３℃、ＲＨ４５％：図６中のＤ点）
に供給される。

【００３７】以上のような減湿モードでは、ガス不純物
除去装置２８へは露点に達した空気が供給されることか
ら、固体壁に給水される水は一切蒸発しないでガス不純
物吸収に使用される。従って、冷却水による結露及び濡
れたフィン面のガス吸収も見込めることから、減湿モー
ドにおけるガス吸収率は非常に良くなり、加湿モードに
比較して給水量を減らすことが可能となる。なお、この
不純物除去に使用された純水は、微量の水溶性のガス不
純物が溶解しているだけであり、一般水に比べてはるか
に不純物レベルの低い水である。従って、再び純水製造
装置に戻すことによって容易に再生することができ、こ
のような再生循環形式を採用することにより、純水コス
トを大幅に低減することができる。

【００３８】また、各固体壁において、その上部から供
給された液体は重力式で滴下するため、水噴霧粒子を微
細化して気液接触面積を増やすための高圧スプレーの動
力は不要であり、大幅な省エネルギーが可能となる。さ
らに、本実施形態のガス不純物の除去装置２８は、１段
で加湿飽和効率が７０〜８０％と高いため加湿効率が良
く、入口側の相対湿度が非常に低い状態であっても、４
段では出口の相対湿度は１００％となるため、ガス不純
物の除去装置２８の下流側において乾球温度のみを測定
し、その結果に基づいて冷却コイル（冷却除湿期）ある
いは加熱コイル（加熱加湿期）を調整することにより、
乾球温度を一定にすることで、非常に安定した露点温度
を維持することができる。また、制御センサとして温度
センサのみを設ければ良く、従来用いられていた湿度セ
ンサ（露点温度計）が不要となるため、コスト及び信頼
性の両面でも非常に有利となる。

【００３９】このように、本実施形態においては、ガス
不純物の除去装置２８に配設される固体壁４１〜４４に
気化式加湿用の材料を用い、液体に純水を使用すること
で加湿にも適用できる構造となっている他、補給液体は
最下流側の固体壁のみに供給され、前段の固体壁に最後
段の固体壁の下部に溜まった液体を順次循環させること
で、疑似対向流を作り出している。その結果、ガス不純
物の吸収効率が大幅に向上する。

【００４０】［２．第２実施形態］本実施形態のガス不
純物の除去システムは、上記第１実施形態の変形例であ
り、ガス不純物の除去装置に配設される固体壁をユニッ
ト化したものである。

【００４１】本実施形態においては、図７に示したよう
に、各段の固体壁がそれぞれ独立した固体壁ユニット５
１〜５４とされ、所定の筐体５５内に着脱可能に収納さ
れている。また、筐体５５の下面には、各固体壁ユニッ
ト５１〜５４の着脱を容易にするために、ガイドレール
５６が設けられ、筐体５５の側面には、各固体壁ユニッ
トを交換する際に開閉される扉５７が設けられている。

【００４２】このような構成を有する本実施形態のガス
不純物の除去システムにおいては、各段の固体壁の交換
作業が容易となるだけでなく、種々の状況に合わせて、
ユニット化された固体壁を抜き取ることにより、低圧損
化が可能となる。すなわち、冷却除湿期には、上流側に
配設された冷却コイル２６における結露及び結露水によ
る水膜により、ガス不純物の除去効果が期待できるた
め、例えば、処理空気中のガス不純物がもともと微量で
ある場合等においては、所望の個数だけユニット化され
た固体壁を抜き取ることにより、低圧損化が可能とな
る。

【００４３】なお、第１実施形態で述べたように、各固
体壁には、液体を滴下するためのホースや滴下された液
体を貯める水槽が配設されているが、これらをも含めた
形態でユニット化しても良いことは言うまでもない。ま
た、図８（Ａ）に示したように、各段の固体壁をさらに
細分化（図８では８個の単位ユニット６０に分割）して
構成することも可能である。この場合、隣接する単位ユ
ニット間は、図８（Ｂ）に示したように、それぞれに設
けられた係合部材６１によって着脱可能に構成すること
が望ましい。これにより、固体壁を引き出す場合に、図
８（Ｃ）に示したように、単位ユニット毎に取り出すこ
とができるので、引き出し作業に要するスペースを大幅
に縮小することができる。

【００４４】［３．他の実施形態］本発明は、上述した
実施形態に限定されるものではなく、種々の変形例が考
えられる。例えば、外調機内にもともと組み込まれてい
る冷却コイル及び加熱コイル、またこれらのフィンに親
水性となる処理を施し、上部より液体を供給して液膜を
構成することにより、本来の熱交換機能にガス不純物の
除去及び加湿機能を併有させることも可能である。な
お、これらの硬質材料に親水性を保持させる処理として
は、（ａ）親水性のコーティング、（ｂ）親水性の塗
料、（ｃ）親水性及び抗菌性を有するメッキ、等の方法
が考えられる。また、これらのコイルとは別に、液膜を
構成する固体壁に親水性を持たせるために、硬質材料を
メッシュ状に構成しても良い。このように、硬質、耐食
性、強度のある材料に親水性を保持させて、ガス不純物
の除去装置として利用できるようにすることにより、洗
浄や滅菌消毒も可能となる。

【００４５】また、固体壁に液体を均一に滴下する方法
としては、図９に示したように、固体壁の上部に吸水性
マットを設置し、この吸水性マットに液体を分散滴下す
る方法を用いることができる。なお、分散方法として
は、図１０に示したように、農業用の散水に使用される
スーパーホース（商品名）などを使用しても良い。

【００４６】さらに、図１１に示したように、最下流に
配置された固体壁に純水を供給する給水装置７０に熱交
換器７１を設け、純水の温度を供給空気の必要露点温度
に等しい乾球温度まで冷却するように構成することもで
きる。すなわち、図１１に示したように、液体の供給側
に温度センサ７２を設け、このセンサによる検出温度に
基づいて、冷水供給配管に設けたバルブ７３の開度を調
整するように構成されている。

【００４７】このように構成することにより、最下流に
配置された固体壁に供給される液体の温度を、ガス吸収
効率が良い低温に制御することができ、また、処理空気
の必要露点温度に等しい乾球温度に制御することによ
り、常に相対湿度を１００％とすることができるため、
ガス不純物を除去した温湿度一定の処理空気をクリーン
ルーム等に供給することが可能となる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
処理空気の温湿度を一定に維持しながら、処理空気中に
含まれるガス不純物を高効率、低圧損で除去することが
できるガス不純物の除去システムを提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるガス不純物の除去システムの第１
実施形態の構成を示す概略図

【図２】疑似対向流方式を示す概略図

【図３】図１に示した外調機を用いた冬期の運転例の処
理フローを示す図

【図４】図１に示した外調機を用いた冬期の運転例の空
気線図

【図５】図１に示した外調機を用いた夏期の運転例の処
理フローを示す図

【図６】図１に示した外調機を用いた夏期の運転例の空
気線図

【図７】本発明によるガス不純物の除去システムの第２
実施形態の構成を示す概略図

【図８】（Ａ）は、固体壁ユニットをさらに単位ユニッ
トに分割した図、（Ｂ）は、隣接する単位ユニット間の
連結構造を示す図、（Ｃ）は、固体壁ユニットの内、単
位ユニット部分のみを引き出した状態を示す図

【図９】固体壁の上部に配設した吸水マットを示す図

【図１０】図９に示した吸水マットに、スーパーホース
を配設した状態を示す図

【図１１】本発明の他の実施形態の構成を示す概略図

【図１２】従来のガス不純物の除去装置を組み込んだ外
調機の構成を示す斜視図

【図１３】図１２に示したガス不純物の除去装置の平面
図

【図１４】ガス吸収の接触方式の例を示す図であり、
（Ａ）は並行流、（Ｂ）は直交流、（Ｃ）は対向流

【符号の説明】

２１…チャンバ２４…プレフィルタ２５…中性能フィルタ２６…冷却コイル２７…加熱コイル２８…ガス不純物の除去装置２９…再熱コイル３０…送風機３１…水不溶性ガス除去ケミカルフィルタ３２…ＨＥＰＡフィルタ４０…乾球温度計４１〜４４…固体壁４５〜４７…ポンプ５１〜５４…固体壁ユニット５５…筐体５６…ガイドレール５７…扉６０…単位ユニット６１…係合部材７０…給水装置７１…熱交換器７２…温度センサ７３…バルブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者海老根猛東京都港区南青山２丁目３番６号株式会社テクノ菱和内 (72)発明者田村一東京都港区南青山２丁目３番６号株式会社テクノ菱和内 (72)発明者米田周似東京都港区南青山２丁目３番６号株式会社テクノ菱和内 (72)発明者大石勉東京都港区南青山２丁目３番６号株式会社テクノ菱和内 (72)発明者吉田宏東京都港区南青山２丁目３番６号株式会社テクノ菱和内Ｆターム(参考） 4D020 BA23 BB03 CB33 CC01 CC09 CC10 CC16 DA02 DB02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガス不純物を含む処理対象となる空気流
をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチ
ャンバと、前記チャンバ内に、前記空気流に対して略直交方向に複
数段に設けられた固体壁と、前記複数段の固体壁の内、最下流に配設された固体壁に
液体を供給する給水手段とを備え、前記最下流に配設された固体壁に供給された液体を回収
し、この液体を順次隣接する上流側の固体壁の上部に循
環させるように構成し、前記固体壁に液膜を形成したこ
とを特徴とするガス不純物の除去システム。
【請求項２】前記液体が、純水であることを特徴とす
る請求項１に記載のガス不純物の除去システム。
【請求項３】前記固体壁が、気化式加湿材料から構成
されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記
載のガス不純物の除去システム。
【請求項４】前記固体壁が、親水性処理を施した所定
の硬質材料により構成されていることを特徴とする請求
項１又は請求項２に記載のガス不純物の除去システム。
【請求項５】前記固体壁が、折れ板状又は平行平板状
の部材により構成されていることを特徴とする請求項１
乃至請求項４のいずれか一に記載のガス不純物の除去シ
ステム。
【請求項６】前記複数段の固体壁の下流側に、温度セ
ンサを配設したことを特徴とする請求項１乃至請求項５
のいずれか一に記載のガス不純物の除去システム。
【請求項７】前記固体壁が各段ごとにユニット化さ
れ、前記チャンバ内に着脱可能に配設されていることを
特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一に記載の
ガス不純物の除去システム。
【請求項８】前記ユニット化された固体壁が、さらに
複数個の単位ユニットに分割され、この単位ユニットご
とに着脱可能に構成されていることを特徴とする請求項
７に記載のガス不純物の除去システム。
【請求項９】前記給水手段に熱交換器が設けられ、前
記液体を、供給空気の必要露点温度に等しい乾球温度ま
で冷却するように構成されていることを特徴とする請求
項１乃至請求項８のいずれか一に記載のガス不純物の除
去システム。