JP2001280657A

JP2001280657A - 空調機

Info

Publication number: JP2001280657A
Application number: JP2000091847A
Authority: JP
Inventors: Atsuko Hanabuchi; 温子花渕; Yoichiro Ono; 陽一郎小野; Keiji Suzuki; 啓次鈴木; Akira Yokoyama; 彰横山
Original assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 2000-03-29
Filing date: 2000-03-29
Publication date: 2001-10-10

Abstract

(57)【要約】【課題】年間を通して冷水コイルで冷却除湿を行な
うように制御して有害ガスを除去し、高価で産業廃棄物
となるケミカルフィルタを用いずにそれ以上の性能で除
去できる空調機を提供する。【解決手段】クリーンルームへの有害ガスを含有す
る気体に蒸気を供給して加湿する蒸気供給手段と、前記
有害ガス成分を凝縮させる凝縮手段とを上流側より順次
配設している。蒸気供給手段の下流側位置と、凝縮手段
の下流側位置との各々に露点計を配置している。その露
点計の出力する信号に応じてクリーンルームの温湿度条
件を満たすように蒸気供給手段の蒸気量と、凝縮手段の
冷水量を制御する制御手段を設けている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は空調機に係り、特に
ガス汚染対策を必要とするクリーンルームの空調機に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製造工場などのクリーンル
ームにおいては、室内の清浄度を保持することが必要で
あり、クリーンルーム内における塵等の粒子はフィルタ
にて除去される。

【０００３】しかし、クリーンルーム内に流入する外気
に有害ガスが含まれていたり、クリーンルーム内におい
て有害ガスが発生することがある。クリーンルームにお
いては、有害ガスを製品の品質管理等の面から除去して
おく必要がある。なお、ここにいう有害ガスとしては、
例えば、火山帯等に多く含有されるＳＯｘ，Ｈ₂Ｓや、
海塩粒子中のＮａ、また薬品蒸発時に発生するＨＦ，Ｈ
Ｃｌ，ＮＨ₃、工場排気に含まれるＳＯｘ等が挙げられ
る。

【０００４】従来においては、クリーンルーム内におけ
る有害ガスを除去するための装置として、一例として、
有害ガスを吸着または分解することにより気体中から除
去するケミカルフィルタがある。このようなケミカルフ
ィルタとしては、例えば特開平１０−１７４８３８号公
報に示したものなどがある。しかし、従来のケミカルフ
ィルタにおいては有害ガス除去効率が７０％程度であ
り、また有害ガスを吸着させたフィルタが産業廃棄物と
なってしまい、廃棄処理において問題を有している。

【０００５】このために、クリーンルーム内に入る外気
より有害ガスを除去する他の例の装置として、有害ガス
含有気体の有害ガス成分を水分中に溶解させ、気体中か
ら有害ガスを除去する図３に示すような空調機６１が試
案されている。

【０００６】この空調機６１は、図示しないクリーンル
ームに入る外気が、プレフィルタ６３および中性能フィ
ルタ６５で気体中の塵芥が除去された後、予熱コイル６
７で加熱されるとともに、蒸気コイル６９で加湿され、
更に、冷水コイル７１でクリーンルームの温湿度条件を
満たすような露点にまで冷却除湿される。その際に、気
体中の有害ガスが水分凝縮作用により溶解し、除去され
る。このときの除去効率は、ケミカルフィルタを必要と
しない、８０％〜９０％程度の効率を有している。有害
ガス成分を水分中に溶解させた気体は、ファン７３によ
り後方に送られ、更に、再熱コイル７５で加熱された後
に、ＨＥＰＡフィルタ７７で微粒子を捕集してクリーン
ルームに供給されている。空調機６１には、冷水コイル
７１の下流側位置に露点計７９が配設されており、この
露点計７９で検出された温湿度検出信号はコントローラ
８１に送られている。コントローラ８１は、冷水コイル
７１に接続される冷水用配管７１ａに配設されている冷
水用バルブ８３、およびに、蒸気コイル６９に接続され
る蒸気用配管６９ａに配設されている蒸気用バルブ８５
に制御信号を出力し、夏期には冷却コイル７１に流れる
冷水量を、また、冬期には蒸気コイル６９を流れる蒸気
量を制御している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記空
調機においてガス除去効果を得るにあたっては、以下の
ような問題があった。夏期においては、高温多湿な外気
は冷却コイルにより冷却除湿され、水分凝縮に伴って有
害ガスを除去する。夏期から中間期を経て冬期に至る際
に、外気の温湿度条件に伴い、冷却量はコントローラに
より接続する冷却用バルブにより制御され、一方では、
加湿が必要となり蒸気が供給される。この蒸気量はコン
トローラにより接続する蒸気用バルブにより制御されて
いる。冷却除湿の必要がなくなると冷水コイルを流れる
冷水量は零となり、冷却コイルでの水分凝縮が起こらな
くなる。このため、冬期においては、冷水コイルでの水
分凝縮に伴うガス除去効果がなく、更に、他時期に比べ
て外気中の有害ガス、例えば、ＳＯｘ濃度が高くなるた
め、夏期に比べて有害ガス濃度が高い状態でクリーンル
ームに供給されてしまうという問題があった。また、既
存の空調機では、凝縮手段が蒸気供給手段よりも上流側
に位置しているものもある。この場合も前述したよう
に、冬期におけるガス除去効果がなかった。

【０００８】また、空調機は、通常上流側に蒸気コイル
を、下流側に冷水コイルを有しているが、蒸気コイルと
冷水コイルとの距離が長く取れなかったり、蒸気コイル
の性能が悪い等の場合に蒸気の分布にムラが生じ、冷水
コイルでの水分凝縮に伴うガス除去にバラツキが発生し
て除去効率が低下するという問題がある。

【０００９】本発明の第１の目的は、年間を通して冷水
コイルで冷却除湿を行なうように制御して有害ガスを除
去し、高価で産業廃棄物となるケミカルフィルタを用い
ずにそれ以上の性能で除去できる空調機を提供すること
である。

【００１０】本発明の第２の目的は、蒸気コイルと冷却
コイルの間に水接触エレメントを設けることで、蒸気の
分布ムラを無くし、加湿効率の良い空調機を提供するこ
とである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明における空調機の第１発明は、クリーンルー
ムへの有害ガスを含有する気体に蒸気を供給して加湿す
る蒸気供給手段と、前記有害ガス成分を凝縮させる凝縮
手段とを上流側より順次配設するとともに、蒸気供給手
段の下流側位置と、凝縮手段の下流側位置との各々に露
点計を配置し、その出力する信号に応じてクリーンルー
ムの温湿度条件を満たすように蒸気供給手段の蒸気量
と、凝縮手段の冷水量を制御する制御手段を設けた構成
としている。

【００１２】第２発明は、クリーンルームへの有害ガス
を含有する気体に該有害ガス成分を凝縮させる第１凝縮
手段、蒸気を供給して加湿する蒸気供給手段、および、
第２凝縮手段を上流側より順次配設し、夏期には第１凝
縮手段の冷却で、冬期には蒸気供給手段の加湿と第２凝
縮手段の冷却とで、前記有害ガスを除去する構成として
いる。

【００１３】第３発明は、クリーンルームへの有害ガス
を含有する気体に蒸気を供給して加湿する蒸気供給手
段、前記気体を加湿する水接触エレメント、および、前
記有害ガス成分を凝縮させる凝縮手段を上流側より順次
配設するとともに、水接触エレメントの下流側位置と、
凝縮手段の下流側位置との各々に露点計を配置し、その
出力する信号に応じてクリーンルームの温湿度条件を満
たすように蒸気供給手段の蒸気量と、凝縮手段の冷水量
を制御する制御手段を設けた構成としている。

【００１４】

【作用】上記構成においては、空調機はクリーンルーム
への有害ガスを含有する気体を蒸気供給手段と凝縮手段
とを通過させるとともに、蒸気供給手段と凝縮手段との
各々の下流側位置の二個所に配置された二つの露点計か
らの信号に応じてクリーンルームの温湿度条件を満たす
ように蒸気量と冷却量を制御し、年間を通して凝縮手段
で冷却除湿を行なうようにし、年間を通して有害ガスを
高価で産業廃棄物となるケミカルフィルタを用いずにそ
れ以上の性能で除去している。

【００１５】また、空調機は、クリーンルームへの有害
ガスを含有する気体が第１凝縮手段、蒸気供給手段、お
よび、第２凝縮手段を上流側より順次通過させるととも
に、夏期には第１凝縮手段の冷却で、冬期には蒸気供給
手段と第２凝縮手段とで有害ガスを除去するようにして
いるため、夏期では、従来と同様に蒸気の供給が不要に
なりエネルギーの低減を図ることができるとともに、冬
期には制御部からの指令で蒸気供給手段により加湿し、
第２凝縮手段で冷却除湿を行なっているために、冬期に
も夏期と同様に性能を低下することなく有害ガスを除去
することが出来る。

【００１６】また、空調機は、クリーンルームへの有害
ガスを含有する気体が蒸気供給手段、水接触エレメン
ト、および、凝縮手段を上流側より順次通過させている
ため、蒸気供給手段で加熱された外気が水接触エレメン
トを通過することで蒸気の温度分布の分布ムラが無くな
り、凝縮手段で均一に冷却除湿が行えるようにしてお
り、更に有害ガスの除去効率も高めることができる。ま
た、有害ガス含有気体は水接触エレメントを通過させる
ことにより、前記気体を加湿するとともに、さらに水と
の気液接触で有害ガスを除去する。さらに、加湿した気
体が冷却されることにより水分を凝縮させ、凝縮水中に
有害ガス成分を取り込むことにより、気体中から有害ガ
スを除去してクリーンルーム室内への流入を行うことが
できる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る空調機１の実
施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、従
来例と同一部品には同一符号を付して説明は省略する。
図１は本実施形態における空調機１の全体構成図であ
る。図２は、本実施形態の空調機１に用いる水接触エレ
メントの部品の構成図である。図１において、空調機１
は、図示しないクリーンルームへ外気を導入する通路
３、あるいは、クリーンルーム内を循環する循環空気が
通過する通路に配設されているが、以下では、有害ガス
を含有する外気を導入する例の場合について説明する。

【００１８】空調機１は、外気を導入する上流側Ａｉか
らクリーンルームへの入口の下流側Ａｏに向けて、プレ
フィルタ６３、中性能フィルタ６５、予熱コイル６７、
第１凝縮手段１１、蒸気供給手段１３、水接触エレメン
ト１５、第２凝縮手段１７、ファン７３、再熱コイル７
５、および、ＨＥＰＡフィルタ７７が順次配設されてい
る。

【００１９】空調機１には、蒸気供給手段１３および水
接触エレメント１５の下流側の位置Ｓａ、即ち、水接触
エレメント１５と第２凝縮手段１７との間の位置Ｓａに
第１露点計２１が、また、第２凝縮手段１７の下流側の
位置Ｓｂに第２露点計２３が配置されている。第１露点
計２１は第１制御手段２５に、また、第２露点計２３は
第２制御手段２７に接続されており、検出した信号を第
２制御手段２７に送信している。

【００２０】第１制御手段２５は、蒸気供給手段１３に
接続される蒸気用配管１３ａに配設されている蒸気用バ
ルブ３１に接続され、第１露点計２１が検出した信号に
応じて蒸気用バルブ３１の開口量を制御して、供給する
蒸気量を制御している。

【００２１】第２制御手段２７は、第１凝縮手段１１に
接続される第１冷水用配管１１ａに配設されている第１
冷水用バルブ３３に接続され、第２露点計２３が検出し
た信号に応じて第１冷水用バルブ３３の開口量を制御し
て、供給する冷水量を制御している。また、同様に、第
２凝縮手段１７に接続される第２冷水用配管１７ａに配
設されている第２冷水用バルブ３５に接続され、第２露
点計２３が検出した信号に応じて第２冷水用バルブ３５
の開口量を制御して、供給する冷水量を制御している。
第２制御手段２７は、第１制御手段２５に接続されてお
り、第１制御手段２５は指令を受けて蒸気用バルブ３１
に開口する指令を、また、水接触エレメント１５に循環
水を流す循環ポンプ５３を回転させる指令を出力する。

【００２２】上記の空調機１において、外気を導入する
上流側Ａｉにプレフィルタ６３が、そしてその下流側に
中性能フィルタ６５が配置されており、前記気体中の塵
埃を捕集可能としており、更に、その下流側には第１凝
縮手段１１である第１冷却コイルが配置してある。第１
冷却コイル１１は、夏期において、前記で清浄された高
温多湿の気体を冷却して気体中の水分を凝縮させて、気
体中に含有している有害ガス成分を溶解し除去してい
る。この第１冷却コイル１１は、パイプ中に第１冷水を
流入して、周囲の気体を冷却することにより気体中の水
分を凝縮させるものである。前記パイプはコイル状に巻
いた形状をなしており、前記気体との接触面積を増大さ
せることにより凝縮効率を高めるようにしている。な
お、冷却コイルの形状としては凝縮効率を高める形状と
することが望ましく、例えばつづら折り状に屈曲させた
形状として凝縮効率を高めるものとしてもよい。また、
凝縮手段としては、気体中の水分を凝縮させるものであ
れば冷却コイルに限られないことはもちろんである。ま
た、気体との接触面積を高める上で有効なフィンも親水
性のものが望ましい。これは、凝縮水との気液接触がよ
り効率的に行われるためである。

【００２３】また、上記の空調機１は、蒸気供給手段１
３である蒸気噴霧器を設けている。本実施形態において
は、前記蒸気噴霧器１３は空調機１における前記気体の
流路の横断面上に配置している。前記蒸気噴霧器１３
は、前記横断面に複数本のパイプを一定間隔で配置して
いる。そして、前記パイプには、一定領域中に蒸気を噴
射するノズル孔が上下方向に沿って設けられている。前
記蒸気噴霧器１３は、蒸気を供給する蒸気用配管１３ａ
に接続されており、蒸気用配管１３ａに配設された蒸気
用バルブ３１を介して蒸気噴霧器１３中のパイプ内に蒸
気が供給されている。そして、前記蒸気噴霧器１３のパ
イプ中に設けてあるノズル孔より、一定領域に蒸気を噴
霧することができる。本実施形態においては、それぞれ
のノズル孔を所定の間隔で設けている。これにより、気
体が流入する空間全体に均一的に蒸気を供給することが
できる。本実施形態においては、蒸気噴霧器１３への蒸
気用配管１３ａには、前記のように蒸気用バルブ３１が
配設されており、季節（気体の湿度に応じて）、即ち、
第１露点計２１が検出した信号に応じて第１制御手段２
５から出力された指令により蒸気用バルブ３１の開閉を
行い、蒸気の供給量の調整を行わせるものである。すな
わち、夏場などの湿潤時には、蒸気噴霧器１３の蒸気供
給経路の蒸気用バルブ３１を閉じて、蒸気の供給を行わ
ずに前記の第１冷却コイル１１で有害ガス除去を行わせ
る。そして冬場などの乾燥時においては、蒸気用配管１
３ａの蒸気用バルブ３１を開口して、蒸気噴霧器１３に
て蒸気を供給して有害ガス含有気体に加湿を行う。この
ようにすることで、有害ガス含有気体を季節によらず一
定に過飽和状態とさせることができ、除去効率の変動を
防止して一定化させることができる。

【００２４】また、本実施形態においては、気体が過飽
和状態となるまで蒸気の供給を行っている。これによ
り、詳細は後述するが有害ガスの水分中への溶解を促進
することができ、ガス除去効率を著しく向上させること
ができる。

【００２５】また、空調機１は、図２に示すような水接
触エレメント１５を有している。図２（ａ）は本実施形
態における水接触エレメント１５の正面図、および、図
２（ｂ）は側面図である。本実施形態における水接触エ
レメント１５は、本体フレーム４１内にグラスファイバ
ーでできた加湿モジュール４３を複数、上下方向に配置
している。前記加湿モジュール４３の上部には、給水ヘ
ッダ４５を介して給水ユニット４７を接続し、当該給水
ユニット４７により加湿モジュール４３に水を常時流入
させた構成としている。給水ユニット４７は、貯水タン
ク４９から循環水が駆動モータ５１により回転する循環
ポンプ５３によって供給されており、この循環水は予熱
コイル６７で処理された外気と等しい温度になってい
る。このように、加湿モジュール４３に上部から滴下給
水することにより、水接触エレメント１５を通過する気
体に加湿を行うものである。すなわち、加湿モジュール
４３に供給される水が、水接触エレメント１５を通過す
る気体と熱交換することにより水分が気化蒸発し、気体
に加湿を行うことができるとともに、蒸気の温度分布の
分布ムラが無くなり、後述する下流側に配置された第２
凝縮手段で均一に冷却除湿が行えるようにしており、更
に有害ガスの除去効率も高めることができる。なお、水
接触エレメント１５の形状は、周囲に加湿を行うことが
できるものであればこれに限られない。

【００２６】また、空調機１は、水接触エレメント１５
の下流側に第２凝縮手段１７である第２冷却コイルが配
置してある。第２冷却コイル１７は、中間期、および冬
期において、前記蒸気噴霧器１３および水接触エレメン
ト１５で高温多湿にされた気体を冷却して気体中の水分
を凝縮させて、気体中に含有している有害ガス成分を溶
解し除去している。この第２冷却コイル１７は、第１冷
却コイル１１と同様に構成されているために説明は省略
する。本実施形態においては、第２冷却コイル１７への
第２冷水用配管１７ａには、第２冷水用バルブ３５が配
設されており、季節（気体の湿度に応じて）、即ち、第
２露点計２３が検出した信号に応じて第２制御手段２７
から出力された指令により第２冷水用バルブ３５の開閉
を行い、第２冷水の供給量の調整を行わせるものであ
る。すなわち、中間期、および冬期などの乾燥時におい
ては、上流側に配置された蒸気噴霧器１３にて加湿され
た有害ガス含有気体に、第２制御手段２７の指令により
第２冷水用バルブ３５を開口して冷水を供給し、気体中
の水分を凝縮させて気体中に含有している有害ガス成分
を溶解し除去している。

【００２７】また、空調機１の第１露点計２１は、蒸気
噴霧器１３および水接触エレメント１５の下流側の位置
Ｓａに配置されており、蒸気噴霧器１３および水接触エ
レメント１５を通過した気体の湿度を測定し、第１制御
手段２５に送信し、蒸気噴霧器１３の蒸気用バルブ３１
の開口面積を変化させて、所定の湿度になるように蒸気
の供給量の調整を行わせるものである。

【００２８】また、空調機１の第２露点計２３は、第２
凝縮手段１７の下流側の位置Ｓｂに配置されており、第
２冷却コイル１７を通過した気体の湿度を測定し、第２
制御手段２７に送信し、夏期には、第１冷却コイル１１
の第１冷水用バルブ３３の開口面積を変化させ、また、
中間期及び冬期には第２冷却コイル１７の第２冷水用バ
ルブ３５の開口面積を変化させて、クリーンルームに供
給する気体の温湿度条件を満たすように冷水の供給量の
調整を行わせるものである。この第２露点計２３の制御
点は、クリーンルームに送風するために必要な露点に設
定されている。

【００２９】また、空調機１は、第１制御手段２５であ
る第１コントローラ２５は第１露点計２１に接続されて
おり、蒸気噴霧器１３および水接触エレメント１５を通
過した気体の露点を設定している。また、第２制御手段
２７である第２コントローラ２７は第２露点計２３に接
続されており、夏期には第１冷却コイル１１で冷却され
た気体の露点を、また、中間期、および、冬期には第２
冷却コイル１７で冷却された気体の露点を設定し、クリ
ーンルームに適合した気体を送風するために必要な露点
を設定している。

【００３０】以上のように構成された本実施形態におけ
る空調機１の作用は、以下のようになる。有害ガスを含
有した気体（外気）は通路３から空調機１を経て図示し
ないクリーンルーム内に流入する場合、前記気体は先ず
プレフィルタ６３に入り比較的大きな塵埃を捕集し、更
に、網目を細かくしている中性能フィルタ６５において
比較的小さな塵埃を捕集し、気体中の塵埃が除去され
る。塵埃が除去された気体は下流の予熱コイル６７を経
て、第１冷却コイル１１から空調機１の出口に配置され
たＨＥＰＡフィルタ７７までの部材を順次経過してクリ
ーンルーム内に流れる。

【００３１】このとき、季節が夏期においては、外気か
らの気体が高温多湿であるため、第２露点計２３で検出
され送信された信号に応じて第２コントローラ２７は、
第１冷水用バルブ３３に開口面積の調整を行なうように
指令を出力する。第１冷水用バルブ３３は、指令にした
がって開口面積の調整を行ない、第１冷水用バルブ３３
への第１冷水の供給量を調整し、第２露点計２３におい
てクリーンルームに必要な湿度の気体の露点になるま
で、冷却除湿する。これにより、気体中の水分は凝縮さ
れて気体中に含有している有害ガス成分を溶解し除去し
ている。また、このときには、下流側に配設されている
蒸気噴霧器１３、水接触エレメント１５、および、第２
冷却コイル１７は、作動が停止しており、蒸気、循環水
および第２冷水の流れは無くなっており、蒸気を発生す
るエネルギー、および、循環水と第２冷水の供給のエネ
ルギーを削減することができる。

【００３２】また、季節が冬期においては、外気からの
気体が低温低湿であるため、第２露点計２３で検出され
送信された信号に応じて第２コントローラ２７は、第１
冷水用バルブ３３に開口面積を閉じる指令を出力し、第
１冷却コイルへの第１冷水の供給を停止する。同時に、
第２コントローラ２７は、第１コントローラ２５に指令
を出力する。第１コントローラ２５は指令を受けて蒸気
用バルブ３１に開口する指令を出力し、蒸気噴霧器１３
より蒸気を出させて外気を加湿する。また、第１コント
ローラ２５は駆動モータ５１に指令を出力して循環ポン
プ５３を回転させて水接触エレメント１５に循環水を流
すようにしている。

【００３３】このとき、第１露点計２１の制御点は、第
２露点計２３の制御点よりも高く設定されている。これ
により、蒸気噴霧器１３および水接触エレメント１５は
通過する気体に対して第１露点計２１の露点よりも過剰
な加湿を行なうとともに、水接触エレメント１５の通過
時において過飽和状態となっている気体中の水分が、気
体中の微粒子を核として凝縮し凝縮水となる。このと
き、有害ガスが凝縮水中に取り込まれることにより、有
害ガスの除去を行わせることができるのである。また、
水接触エレメント１５は、気体中に全体的に加湿するの
で、供給する水分の分布を均一化することができる。こ
のような状態にすることにより、気体に均一的に加湿す
ることができ、有害ガス成分の溶解を均等化させること
ができる。

【００３４】このように前記で気体中を過飽和状態にし
た後、第２露点計２３で検出され送信された信号に応じ
て第２コントローラ２７は、第２冷水用バルブ３５に開
口面積の調整を行なうように指令を出力する。第２冷却
コイル１７では、第２冷水用バルブ３５は指令を受けて
開口面積を調整し、調整された第２冷水の供給量が第２
冷却コイル１７に流れる。第２冷却コイル１７では、第
２露点計２３においてクリーンルームに必要な湿度の気
体の露点になるまで、冷却除湿される。これにより、夏
期と同様に、気体中の有害ガス成分は水分凝縮時に水分
中に溶解するため、気体中から有害ガス成分を水分とと
もに除去することができる。

【００３５】上記において、例えば具体例として、蒸気
噴霧器１３および水接触エレメント１５の下流側の位置
Ｓａに配置された第１露点計２１の第１コントローラ２
５による制御点を、第２冷却コイル１７の下流側の位置
Ｓｂに配置された第２露点計２３の第２冷却コイル１７
による制御点よりも約１℃高く設定することで、蒸気噴
霧器１３で過剰に加湿を行い、その分を第２冷却コイル
１７で冷却除湿する。このことで、冬期においても外気
が高温多湿な夏期と同様に、第２冷却コイル１７で冷却
除湿を行うことができ、冬期にも夏期と同様に性能を低
下することなく有害ガスを除去することが出来る。

【００３６】また、夏期から中間期を経て冬期に至る季
節においては、外気の温湿度の条件に伴い冷水量と蒸気
量を制御している。例えば、第２露点計２３において冷
却除湿の必要があると検出された場合には前記の夏期と
同じ制御が行われる。一方、第２露点計２３において冷
却除湿の必要があると検出された場合には前記の冬期と
同じ制御がおこなわれる。以上のように有害ガスの除去
を行うことにより、年間を通じて前記気体中の有害ガス
除去効率を高く保つことができるのである。

【００３７】このように、本実施形態の空調機１におい
ては、蒸気供給手段の下流側位置と、凝縮手段の下流側
位置との二個所の各々に露点計を配置して蒸気と冷水を
制御している。このため、冬期にも有害ガス含有気体
は、蒸気供給手段にて必要量の蒸気を供給されて加湿さ
れた後に、水接触エレメントにて更に均一に加湿される
とともに、有害ガスが凝縮手段の水分中に凝縮されて除
去されるため、夏期と同様に、有害ガスの除去効率も高
めることができる。また、夏期には、蒸気供給手段を停
止するため、エネルギーの低減を図ることができる。

【００３８】また、実施形態においては、前記気体の流
入経路に空調機を組み込む事により、前記気体中の有害
ガスを除去してクリーンルーム内に流入させる場合につ
いて説明したが、クリーンルーム中を循環した空気を空
調機に導入することにより、クリーンルーム内にて発生
した有害ガスを取り除くことができる。また、本実施形
態の空調機はクリーンルームに好適に使用することがで
きるが、適用対象はクリーンルームに限らず、前記気体
中からの有害ガスを除去する場合、また室内にて発生し
た有害ガスを除去する場合にも好適に使用することがで
きる。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る空調
機によれば、空調機はクリーンルームへの供給空気を蒸
気供給手段と凝縮手段とを通過させるとともに、蒸気供
給手段と凝縮手段とのそれぞれの下流側位置に配置され
た露点計からの信号に応じてクリーンルームの温湿度条
件を満たすように蒸気量と冷却量を制御し、年間を通し
て凝縮手段で冷却除湿を行なうようにしている。また、
蒸気供給手段の下流側に水接触エレメントにて更に均一
に加湿されるとともに、有害ガスが凝縮手段の水分中に
凝縮されて均一に除去されるため、有害ガスの除去が更
に良くなっている。これにより、冷水コイルによる気中
の有害ガス除去効率が８０％〜９０％であり、ケミカル
フィルタの除去効率７０％〜８０％に比べて高いため、
空調機の出口にケミカルフィルタを設ける必要がなくな
る。ケミカルフィルタは高価で、寿命も短いため交換が
必要であるのに対して、本発明の空調機は、有害ガス除
去効率が高く更に安価で提供することができる。更に、
有害物質を吸着した後のケミカルフィルタは産業廃棄物
となるため、産業廃棄物を無くなるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る空調機の実施形態に係る全体構成
図である。

【図２】本発明の空調機に用いる水接触エレメントの構
成図である。

【図３】従来の空調機の実施形態に係る全体構成図であ
る。

【符号の説明】

１……空調機、３……通路、１１……第１凝縮手段（第
１冷却コイル）、１３……蒸気供給手段（蒸気噴霧
器）、１５……水接触エレメント、１７……第２凝縮手
段（第２冷却コイル）、２１……第１露点計、２３……
第２露点計、２５……第１制御手段（第１コントロー
ラ）、２７……第２制御手段（第２コントローラ）、３
１……蒸気用バルブ、３３……第１冷水用バルブ、３５
……第２冷水用バルブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者横山彰東京都千代田区内神田１丁目１番14号日立プラント建設株式会社内Ｆターム(参考） 3L055 AA07 BC02 DA01 DA05 3L058 BD02 BE02 BF09 BG05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】クリーンルームへの有害ガスを含有する
気体に蒸気を供給して加湿する蒸気供給手段と、前記有
害ガス成分を凝縮させる凝縮手段とを上流側より順次配
設するとともに、蒸気供給手段の下流側位置と、凝縮手
段の下流側位置との各々に露点計を配置し、その出力す
る信号に応じてクリーンルームの温湿度条件を満たすよ
うに蒸気供給手段の蒸気量と、凝縮手段の冷水量を制御
する制御手段を設けたことを特徴とする空調機。
【請求項２】クリーンルームへの有害ガスを含有する
気体に該有害ガス成分を凝縮させる第１凝縮手段、蒸気
を供給して加湿する蒸気供給手段、および、第２凝縮手
段を上流側より順次配設し、夏期には第１凝縮手段の冷
却で、冬期には蒸気供給手段の加湿と第２凝縮手段の冷
却とで、前記有害ガスを除去することを特徴とする空調
機。
【請求項３】クリーンルームへの有害ガスを含有する
気体に蒸気を供給して加湿する蒸気供給手段、前記気体
を加湿する水接触エレメント、および、前記有害ガス成
分を凝縮させる凝縮手段を上流側より順次配設するとと
もに、水接触エレメントの下流側位置と、凝縮手段の下
流側位置との各々に露点計を配置し、その出力する信号
に応じてクリーンルームの温湿度条件を満たすように蒸
気供給手段の蒸気量と、凝縮手段の冷水量を制御する制
御手段を設けたことを特徴とする空調機。