JP2001248861A - 高風速エアワッシャ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高風速化と小型化を図りながらも、確実なガ
ス除去性能と高い飽和加湿効率を具現でき、配管のため
に水噴霧室の壁体を貫通する個所を最小限にすることが
できる高風速エアワッシャを提供する。 【解決手段】 空気入口１３ａから空気出口１３ｂに向
かって高風速の空気流が流れる水噴霧室１３と、空気流
方向に沿って所定距離を隔てた複数箇所に列状に配置
し、放射状に組み付けた複数の小口径の噴霧口１６ｂか
ら空気流に向けて噴霧水を高圧噴霧する多頭噴霧水ノズ
ル１６と、各多頭噴霧水ノズル１６を相互に連結する連
結管１７と、水噴霧室１３の空気出口１３ｂに配置し、
空気流方向に対して傾斜面をなす円錐形もしくはＶ字形
の気液接触メディア１５と、流下する噴霧水を受け止め
る貯水槽１８と、先端側が連結管１７を通して各多頭噴
霧水ノズル１６に直列に連通するとともに基端側が貯水
槽１８に連通し、循環水を各多頭噴霧水ノズル１６に循
環供給する循環水供給系１９とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場等にお
ける空気調和装置に係り、空気中の塵埃や有害ガスを除
去するとともに、飽和効率の高い加湿を行なう外気処理
用の高風速エアワッシャに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のエアワッシャとしては、例えば図
２３に示すものがある。このエアワッシャ１１０は、矩
形の流路断面を有する本体ケーシング１１１の内部に、
所定長さの水噴霧室１１２を有している。水噴霧室１１
２は、その一端に形成した空気入口１１２ａにおいてダ
クト（図示せず）に接続しており、このダクトから流入
する空気Ａが水噴霧室１１２の流路を通って他端に形成
した空気出口１１２ｂから流出する。

【０００３】水噴霧室１１２には、空気入口１１２ａに
位置して第１ワッシャメディア１１３を配置し、水噴霧
室１１２の流路の途中に位置して第２ワッシャメディア
１１４を配置し、空気出口１１２ｂに位置して第３ワッ
シャメディア１１５を配置しており、第１ワッシャメデ
ィア１１３と第２ワッシャメディア１１４の間を第１段
エアワッシャ部１１２ｃとし、第２ワッシャメディア１
１４と第３ワッシャメディア１１５の間を第２段エアワ
ッシャ部１１２ｄとしている。各ワッシャメディア１１
３、１１４、１１５は、空気流の流路断面とほぼ等しい
形状を有し、ポリ塩化ビニルデン系繊維やステンレスの
線材等からなり、たとえば２５ｍｍ〜５０ｍｍ程度の厚
みを有するマット状のものである。

【０００４】水噴霧室１１２の内部には、複数の第１段
ノズル１１６を第１ワッシャメディア１１３より下流側
の位置に配置するとともに、複数の第２段ノズル１１７
を第２ワッシャメディア１１４より下流側の位置に配置
している。第１段ノズル１１６は、空気流とは逆方向に
向けて第１ワッシャメディア１１３に達する噴霧水を噴
霧するものであり、第２段ノズル１１７は、空気流とは
逆方向に向けて第２ワッシャメディア１１４に達しない
噴霧水を噴霧するものである。

【０００５】水噴霧室１１２の下流側には、水噴霧室１
１２を通過した空気に含まれる水滴等を除去するエリミ
ネータ１１８が配置してあり、水噴霧室１１２の空気出
口１１２ｂには、水噴霧室１１２と同様の流路断面形状
を有する所定長さの冷却室１１９が接続してある。冷却
室１１９の内部には冷却器として冷却コイル１２０が設
けてあり、水噴霧室１１２の下流側には送風機（図示せ
ず）が配置してあり、この送風機を作動することによっ
て水噴霧室１１２の流路に空気を導く。

【０００６】水噴霧室１１２の内部に配置した複数の第
１段ノズル１１６には、水噴霧室１１２の底部に配置し
た貯水槽（図示省略）に滞留する循環水を循環水供給系
１２１によって供給する。第２段ノズル１１７には図示
しない純水等の清浄水供給系を接続している。循環水供
給系１２１は、貯水槽の下部に開口する吸込管１２２
と、吸込管１２２に接続した循環ポンプ１２３と、循環
ポンプ１２３を駆動するモータ１２４と、循環ポンプ１
２４の吐出口に接続して水噴霧室１１２の上方にまで配
置した吐出管１２５と、吐出管１２５から分岐して水噴
霧室１１２に垂直方向に配設した複数の分岐管１２６と
からなり、各分岐管１２６に第１段ノズル１１６を設け
ている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記したエアワッシャ
１１０においては、水噴霧室１１２における風速が２．
０〜２．５ｍ／ｓであり、外形寸法の大きな形状を有す
るために、その形状に見合う大きな設置スペースが必要
であり、設置場所が制限される。このため、水噴霧室に
おける風速を高めることにより、必要な風量を確保しな
がら装置を小型化することが求められる。

【０００８】しかし、水噴霧室１１２における風速を高
風速化すると、水噴霧室１１２を通過する空気と噴霧水
との接触時間が短くなってガス除去性能および飽和加湿
効率が低下し、風速の高まりに伴って噴霧水がワッシャ
メディアを通過して下流側へ飛散するキャリアオーバー
が増大し、空気流の圧力損失が上昇して送風に必要な動
力が増加するなどの問題があった。

【０００９】また、複数の第１段ノズル１１６および第
２段ノズル１１７は複数の分岐管１２６を通して循環水
供給系１２１や清浄水供給系（図示省略）に接続してお
り、その配管が複雑となる。また、配管は水噴霧室１１
２の壁体を貫通して行うので、配管貫通部における水漏
対策に手数と高い費用を要する問題があった。

【００１０】本発明は上記した課題を解決するものであ
り、高風速化と小型化を図りながらも、確実なガス除去
性能と高い飽和加湿効率を具現でき、配管のために水噴
霧室の壁体を貫通する個所を最小限にすることができる
高風速エアワッシャを提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項１に係る本発明の高風速エアワッシャ
は、断面形状が円形もしくは直方形（正方形もしくは長
方形）の通風路をなし、一側の空気入口から他側の空気
出口に向かって高風速の空気流が流れる水噴霧室と、水
噴霧室内の空気流方向に沿って所定距離を隔てた複数箇
所に列状に配置し、放射状に組み付けた複数の小口径の
噴霧口から空気流に向けて噴霧水を高圧噴霧する多頭噴
霧水ノズルと、各多頭噴霧水ノズルを相互に連結する連
結管と、水噴霧室の空気出口に配置し、空気流方向に対
して傾斜面をなす円錐形もしくはＶ字形の気液接触メデ
ィアと、流下する噴霧水を受け止める貯水槽と、貯水槽
に連通し、循環水を各多頭噴霧水ノズルに循環供給する
循環水供給系とを備えた構成としたものである。

【００１２】上記した構成により、水噴霧室の空気入口
から流入する空気流に対し、その流れに対向するように
貯水槽からの水を多頭噴霧水ノズルの各小口径の噴霧口
から放射状に高圧噴霧し、各位置の多頭噴霧水ノズルか
ら噴霧水を空気流に向けて多段に噴霧する。

【００１３】噴霧水は空気中の塵埃や有害ガスに衝突
し、衝突した空気中の塵埃や有害ガスが噴霧水とともに
空気流に乗って気液接触メディアに達し、気液接触メデ
ィアが塵埃や有害ガスを伴った噴霧水を捕捉する。気液
接触メディアに達した噴霧水は、気液接触メディアに付
着した塵埃を洗い流して流下するとともに有害ガスを取
り込んで貯水槽へ流入する。この貯水槽に滞留する循環
水を、循環水供給系を通って再び多頭噴霧水ノズルから
噴霧する。

【００１４】このように噴霧水は、多頭噴霧水ノズルか
ら放射状で広範囲に、かつ細かな噴霧水粒径（平均６０
〜９０μｍ）で噴霧し、各位置の多頭噴霧水ノズルから
空気流に向けて多段に繰り返し噴霧することで、空気流
と噴霧水の接触効率が高くなるので、水噴霧室に空気流
を高風速（５〜６ｍ／ｓ）で通風し、空気流量に対する
噴霧水量の割合を低く設定しても、確実なガス除去性能
と高い飽和加湿効率を得ることができ、高風速化（従来
の２〜３倍）と小型化（水噴霧室の空気通過断面積が従
来の１／２〜１／３）を実現できる。

【００１５】噴霧水を微細化することにより、ガス除去
性能と飽和加湿効率を満たす噴霧水量が従来の１／３〜
１／６の少ない噴霧水量（空気流重量の０．０８〜０．
１６％）となり、噴霧水圧（０．４〜０．８ＭＰａ）が
低くなるので、噴霧に要する消費動力を低減できる。

【００１６】しかも、微細な噴霧水を多段に噴霧して空
気流と噴霧水の接触効率を高くしているので、気液接触
メディアは、その設置数を少なくできる。また、気液接
触メディアは、その気液接触面が空気流方向に対して傾
斜する円錐形もしくはＶ字形の形状を有するので、水噴
霧室の空気流通過断面積に対して大きな気液接触面積を
得ることができる。このため、気液接触メディアにおけ
る噴霧水の捕捉率が高まるので、水噴霧室の空気出口に
のみに設置しても十分に噴霧水を捕捉することができ、
水噴霧室に空気流を高風速で通風しても、圧力損失とキ
ャリアオーバーを従来と同等程度以下に抑制することが
できる。

【００１７】多頭噴霧水ノズルは、水噴霧室内に空気流
方向に沿って配置した連結管によって相互に連結するの
で、配管が非常に簡単となり、配管のために水噴霧室の
壁体を貫通する個所を最小限にすることができ、水漏れ
対策を施す手間を大幅に省くことができ、製作コストが
安価となる。

【００１８】請求項２に係る本発明の高風速エアワッシ
ャは、各多頭噴霧水ノズルが複数の小口径の噴霧口を空
気流方向に沿った斜め上流方向および斜め下流方向に向
けて設けた構成としたものである。

【００１９】請求項３に係る本発明の高風速エアワッシ
ャは、複数の多頭噴霧水ノズルを連結管で一体に連結
し、水噴霧室の内壁面に摺接して空気流方向へ移動可能
な円形もしくは直方形の枠で連結管を支持した構成とし
たものである。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１〜図７に示すように、エアワ
ッシャ１１は、円形（直方形でも良い）の流路断面を有
する本体ケーシング１２の内部に、所定長さ（１．５〜
１．８ｍ）の水噴霧室１３を有している。水噴霧室１３
は、その一端に形成した空気入口１３ａにおいてダクト
（図示せず）に接続しており、このダクトから流入する
空気Ａが水噴霧室１３の流路を通って他端に形成した空
気出口１３ｂから流出する。

【００２１】水噴霧室１３には、空気入口１３ａに空気
流を旋回させるガイドベーン１４を配置し、空気出口１
３ｂに位置して気液接触メディア１５を配置しており、
気液接触メディア１５は、空気流方向に対して傾斜面を
なす円錐形もしくはＶ字形の形状をなし、ポリ塩化ビニ
ルデン系繊維等の合成樹脂やステンレスの線材等の金属
繊維からなり、たとえば５０ｍｍ程度の厚みを有するマ
ット状のものである。

【００２２】水噴霧室１３の内部には、空気流に向けて
噴霧水を高圧噴霧する複数の多頭噴霧水ノズル１６が、
水噴霧室１３の空気流方向に沿って所定距離を隔てた複
数箇所に列状に配置してあり、各多頭噴霧水ノズル１６
は水噴霧室１３の内部に空気流方向に沿って配置した連
結管１７によって相互に直列に連結してある。

【００２３】水噴霧室１３に配置する多頭噴霧水ノズル
１６の内で、最上流位置に配置する先頭の多頭噴霧水ノ
ズル１６は、図６に示すように、空気流方向の下流側部
位に連結管１７に対する接続口１６ａを有し、小口径の
噴霧口１６ｂを有する複数のノズルチップ１６ｃを連結
管１７の軸線廻りに放射状に、かつ空気流方向の斜め上
流方向および空気流に対向する上流方向に向けて設けて
いる。

【００２４】中間および最下流位置に配置する多頭噴霧
水ノズル１６は、図７に示すように、空気流方向の下流
側部位および上流側部位に連結管１７に対する接続口１
６ａ、１６ｄを設けている。

【００２５】図４および図５に示すように、連結管１７
は先端側を保持する支持部材１７ａによって水噴霧室１
３の流路の中心位置に配置しており、支持部材（円形
枠）１７ａは水噴霧室１３の内壁面に摺接して空気流方
向へ移動可能なリング体１７ｂと、連結管１７を回転自
在に保持するハブ１７ｃと、リング体１７ｂとハブ１７
ｃを連結するスポーク１７ｄとからなる。組み立て時に
は、多頭噴霧水ノズル１６を装着した連結管１７を支持
部材１７ａに装着した状態で水噴霧室１３に挿入し、接
続管２４に接続する。この構成によって、水噴霧室１３
が狭い空間である場合にも容易に組み立て作業を行うこ
とができる。

【００２６】水噴霧室１３の下流には、流下する噴霧水
を受け止める貯水槽１８が設けてあり、貯水槽１８に滞
留する循環水を多頭噴霧水ノズル１６に循環供給する循
環水供給系１９が水噴霧室１３の下部に連通して設けて
ある。

【００２７】循環水供給系１９は、貯水槽１８の下部に
開口する吸込管２０と、吸込管２０に接続した循環ポン
プ２１と、循環ポンプ２１を駆動するモータ２２と、循
環ポンプ２１の吐出口に接続して水噴霧室１３の上方に
まで延びる吐出管２３と、吐出管２３から水噴霧室１２
に垂直方向に配設した接続管２４とからなり、接続管２
４を最下流位置の多頭噴霧水ノズル１６に接続してい
る。

【００２８】貯水槽１８には、オバーフロー管２５と、
補給水として清浄水を供給する補給水供給管２６が連通
している。水噴霧室１３の下流側には、水噴霧室１３の
空気出口１３ｂに接続して冷却室２７を設けており、冷
却室２７の内部には冷却器として冷却コイル２８を設
け、冷却室２７の下方にドレンパン２９を形成してい
る。水噴霧室１３の下流側には送風機（図示せず）が配
置してあり、この送風機を作動することによって水噴霧
室１３の流路に空気を導く。

【００２９】上記した構成における作用を説明する。空
気Ａは空気入口１３ａからガイドベーン１４を通して水
噴霧室１３に流入する。空気流はガイドベーン１４に案
内されて旋回し、旋回空気流となって水噴霧室１３を流
れる。

【００３０】この旋回空気流に向けて、貯水槽１８から
の循環水を多頭噴霧水ノズル１６の噴霧口１６ｂから放
射状に、０．４〜０．８ＭＰａの噴霧水圧で噴霧し、か
つ各位置の多頭噴霧水ノズル１６から多段に噴霧する。

【００３１】噴霧水は空気中の塵埃や有害ガスに衝突
し、衝突した空気中の塵埃や有害ガスが噴霧水とともに
旋回空気流に乗って気液接触メディア１５に達し、気液
接触メディア１５が塵埃や有害ガスを伴った噴霧水を捕
捉する。

【００３２】気液接触メディア１５に達した噴霧水は、
気液接触メディア１５に付着した塵埃を洗い流して流下
するとともに有害ガスを取り込んで貯水槽１８へ流入す
る。この貯水槽１８に滞留する循環水を、循環水供給系
１９を通って再び多頭噴霧水ノズルから噴霧する。

【００３３】このように噴霧水を、多頭噴霧水ノズル１
６から放射状で広範囲に、かつ高圧噴霧することで平均
６０〜９０μｍの細かな噴霧水粒径で噴霧し、各位置の
多頭噴霧水ノズル１６から旋回空気流に向けて多段に繰
り返し噴霧することで、空気流と噴霧水の接触効率が高
くなる。

【００３４】このため、水噴霧室１３に空気流を５〜６
ｍ／ｓの高風速で通風し、空気流量に対する噴霧水量の
割合を低く設定しても、確実なガス除去性能と高い飽和
加湿効率を得ることができ、従来の２〜３倍の高風速化
と、水噴霧室１３の空気通過断面積を従来の１／２〜１
／３とする小型化を実現できる。

【００３５】噴霧水を微細化することにより、ガス除去
性能と飽和加湿効率を満たす噴霧水量が空気流重量の
０．０８〜０．１６％でよく、従来の１／３〜１／６の
少ない噴霧水量となることで、噴霧に要するモータ２２
の消費動力は従来と同程度以下である。

【００３６】多頭噴霧水ノズル１６は、水噴霧室１３の
内部に空気流方向に沿って配置した連結管１７によって
相互に連結するので、配管が非常に簡単となり、配管の
ために水噴霧室１３の壁体を貫通する個所を最小限にす
ることができ、水漏れ対策を施す手間を大幅に省くこと
ができ、製作コストが安価となる。

【００３７】気液接触メディア１５は、水噴霧室１３の
下流のみに設置し、その気液接触面が空気流方向に対し
て傾斜する円錐形もしくはＶ字形の形状を有するので、
水噴霧室１３の空気流通過断面積に対して大きな気液接
触面積を得ることができる。このため、気液接触メディ
アにおける噴霧水の捕捉率が高まるので、水噴霧室１３
の空気出口１３ｂにのみに設置しても十分に噴霧水を捕
捉することができ、水噴霧室１３に旋回空気流を高風速
で通風しても、圧力損失とキャリアオーバーを従来と同
等程度に抑制することができる。気液接触メディア１５
を通過した空気は、浄化して十分に加湿した清浄な空気
として空気出口１３ｂから冷却室２７に導き、冷却コイ
ル２８によって所定温度に冷却する。

【００３８】上述した過程において、循環水は空気の加
湿に伴って減少するので、この循環水の減少量を補うと
ともに、循環水中の有害ガス濃度を一定値以下に維持す
るために必要な必要補給水量の補給水を補給水供給管２
６から供給する。

【００３９】図８〜図１０は本発明の他の実施の形態を
示すものであり、先の実施の形態と同様の作用を行なう
部材については同一番号を付して説明を省略する。図８
〜図１０において、冷却室２７の上流側にはそれぞれ独
立した複数の水噴霧室１３を設け、各水噴霧室１３にガ
イドベーン１４、気液接触メディア１５、多頭噴霧水ノ
ズル１６を設けている。

【００４０】図１１〜図１４は本発明の他の実施の形態
を示すものであり、先の実施の形態と同様の作用を行な
う部材については同一番号を付して説明を省略する。図
１１〜図１４において、多頭噴霧水ノズル１６は、矩形
の水噴霧室１３の内部に空気流方向に沿って所定距離を
隔てた複数箇所に列状に、かつ平行な複数の列状に配置
している。ガイドベーン１４は、多頭噴霧水ノズル１６
の各列に対応して複数箇所に配置し、図１４に示すよう
に、隣接するガイドベーン１６を気流旋回方向が相互に
逆方向となるように形成している。

【００４１】この構成により、水噴霧室１３の内部に複
数の旋回空気流が生起し、隣接する旋回空気流が相互に
逆方向に旋回することで、空気流の旋回が互いに阻害さ
れることがなく、多頭噴霧水ノズル１６から広範囲に噴
霧する噴霧水と空気流との接触効率が高くなり、水噴霧
室１３に空気流を高風速で通風する状態においても、確
実なガス除去性能と高い飽和加湿効率を得ることがで
き、高風速化と小型化を実現できる。

【００４２】図１５〜図１８は本発明の他の実施の形態
を示すものであり、先の実施の形態と同様の作用を行な
う部材については同一番号を付して説明を省略する。図
１５〜図１８において、多頭噴霧水ノズル１６は、空気
流方向に沿って所定距離を隔てた複数箇所に列状に、か
つ平行な複数の列状に配置している。ガイドベーン１４
は多頭噴霧水ノズル１６の各列に対応して複数箇所に配
置しており、水噴霧室１３の内部には個々のガイドベー
ン１４に対応する通風路を形成する干渉防止メディア３
１を多頭噴霧水ノズル１６の各列の間に配置している。
この干渉防止メディア３１は、金網もしくはパンチング
メタルで形成する。図１８に示すように、隣接するガイ
ドベーン１６は気流旋回方向が相互に逆方向となるよう
に形成している。

【００４３】この構成により、水噴霧室１３の内部に複
数の旋回空気流が生起し、干渉防止メディア３１によっ
て相互の干渉を防止する状態で、各旋回空気流が各通風
路を流れることで、多頭噴霧水ノズル１６から広範囲に
噴霧する噴霧水と空気流との接触効率が高くなる。しか
も、干渉防止メディアに衝突した噴霧水が更に微細化す
るので、水噴霧室１３に空気流を高風速で通風する状態
においても、確実なガス除去性能と高い飽和加湿効率を
得ることができ、高風速化と小型化を実現できる。

【００４４】図１９〜図２０は本発明の他の実施の形態
を示すものであり、先の実施の形態と同様の作用を行な
う部材については同一番号を付して説明を省略する。図
１９〜図２０において、最上流に配置する多頭噴霧水ノ
ズル１６はノズルチップ１６ｃを空気流方向に沿った斜
め上流方向、斜め下流方向、空気流方向に対向する方向
に向けて設けている。また、図２１〜図２２に示すよう
に、下流に配置する多頭噴霧水ノズル１６にもノズルチ
ップ１６ｃを空気流方向に沿った斜め上流方向、斜め下
流方向に向けて設けることも可能である。

【００４５】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、噴霧
水を多頭噴霧水ノズルから放射状で広範囲に、かつ細か
な噴霧水粒径で噴霧し、各位置の多頭噴霧水ノズルから
多段に繰り返し噴霧することで、空気流と噴霧水との接
触効率が高くなるので、確実なガス除去性能と高い飽和
加湿効率を得ることができ、高風速化と小型化を実現で
きる。気液接触メディアを円錐形もしくはＶ字形の形状
として気液接触面積を増加して噴霧水の捕捉率を高める
ことで、高風速化しても圧力損失とキャリアオーバーを
従来と同等程度に抑制することができる。ガイドベーン
によって空気流を旋回させることにより、噴霧水と空気
流との接触効率をさらに高めることができ、確実なガス
除去性能と高い飽和加湿効率を得ることができる。小型
化によって設置場所の制約がなくなり、既設のダクトの
途中に本装置を設置することで、既設の空気調和装置の
機能向上を図れる。

【００４６】多頭噴霧水ノズルは、水噴霧室内に空気流
方向に沿って配置した連結管によって相互に連結するの
で、配管が非常に簡単となり、配管のために水噴霧室の
壁体を貫通する個所を最小限にすることができ、水漏れ
対策を施す手間を大幅に省くことができ、製作コストが
安価となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を示すエアワッシャの平断面
図である。

【図２】同エアワッシャの縦断面図である。

【図３】同エアワッシャの正面図である。

【図４】同エアワッシャの要部横断面図である。

【図５】同エアワッシャの要部縦断面図である。

【図６】同エアワッシャにおける最上流の多頭噴霧水ノ
ズルを示すもので、（ａ）は断面図、（ｂ）は側面図、
（ｃ）は正面図である。

【図７】同エアワッシャにおける中間および最下流の多
頭噴霧水ノズルを示すもので、（ａ）は断面図、（ｂ）
は側面図、（ｃ）は正面図である。

【図８】本発明の他の実施形態を示すエアワッシャの平
断面図である。

【図９】同エアワッシャの縦断面図である。

【図１０】同エアワッシャの正面図である。

【図１１】本発明の他の実施形態を示すエアワッシャの
平断面図である。

【図１２】同エアワッシャの縦断面図である。

【図１３】同エアワッシャの正面図である。

【図１４】同エアワッシャにおける空気流の旋回方向を
示す模式図である。

【図１５】本発明の他の実施形態を示すエアワッシャの
平断面図である。

【図１６】同エアワッシャの縦断面図である。

【図１７】同エアワッシャの正面図である。

【図１８】同エアワッシャにおける空気流の旋回方向を
示す模式図である。

【図１９】本発明の他の実施形態を示すエアワッシャの
縦断面図である。

【図２０】同エアワッシャにおける最上流の多頭噴霧水
ノズルを示すもので、（ａ）は断面図、（ｂ）は側面図
である。

【図２１】本発明の他の実施形態を示すエアワッシャの
縦断面図である。

【図２２】同エアワッシャにおける中間および最下流の
多頭噴霧水ノズルを示すもので、（ａ）は断面図、
（ｂ）は側面図である。

【図２３】従来のエアワッシャの構成を示す平断面図で
ある。

【符号の説明】

１１ エアワッシャ １２ 本体ケーシング １３ 水噴霧室 １３ａ 空気入口 １３ｂ 空気出口 １４ ガイドベーン １５ 気液接触メディア １６ 多頭噴霧水ノズル １６ａ、１６ｄ 接続口 １６ｂ 噴霧口 １６ｃ ノズルチップ １７ 連結管 １７ａ 支持部材 １７ｂ リング体 １７ｃ ハブ １７ｄ スポーク １８ 貯水槽 １９ 循環水供給系 ２０ 吸込管 ２１ 循環ポンプ ２２ モータ ２３ 吐出管 ２４ 接続管 ２５ オバーフロー管 ２６ 補給水供給管 ２７ 冷却室 ２８ 冷却コイル ２９ ドレンパン ３１ 干渉防止メディア

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 玉村 順一 東京都中央区八丁堀２丁目20番８号 富士 電機総設株式会社内 (72)発明者 神崎 誠 東京都中央区八丁堀２丁目20番８号 富士 電機総設株式会社内 (72)発明者 森兼 正夫 東京都中央区八丁堀２丁目20番８号 富士 電機総設株式会社内 (72)発明者 秋田 州三 栃木県宇都宮市平出工業団地28 クボタ空 調株式会社栃木工場内 (72)発明者 森田 英和 栃木県宇都宮市平出工業団地28 クボタ空 調株式会社栃木工場内 (72)発明者 鈴木 正 栃木県宇都宮市平出工業団地28 クボタ空 調株式会社栃木工場内 Ｆターム(参考） 3L053 BD02 3L058 BD06 BE02 BF04 BG05

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 断面形状が円形もしくは直方形の通風路
   をなし、一側の空気入口から他側の空気出口に向かって
   高風速の空気流が流れる水噴霧室と、水噴霧室内の空気
   流方向に沿って所定距離を隔てた複数箇所に列状に配置
   し、放射状に組み付けた複数の小口径の噴霧口から空気
   流に向けて噴霧水を高圧噴霧する多頭噴霧水ノズルと、
   各多頭噴霧水ノズルを相互に連結する連結管と、水噴霧
   室の空気出口に配置し、空気流方向に対して傾斜面をな
   す円錐形もしくはＶ字形の気液接触メディアと、流下す
   る噴霧水を受け止める貯水槽と、貯水槽に連通し、循環
   水を各多頭噴霧水ノズルに循環供給する循環水供給系と
   を備えたことを特徴とする高風速エアワッシャ。
2. 【請求項２】 各多頭噴霧水ノズルが複数の小口径の噴
   霧口を空気流方向に沿った斜め上流方向および斜め下流
   方向に向けて設けたことを特徴とする請求項１に記載の
   高風速エアワッシャ。
3. 【請求項３】 複数の多頭噴霧水ノズルを連結管で一体
   に連結し、水噴霧室の内壁面に摺接して空気流方向へ移
   動可能な円形もしくは直方形の枠で連結管を支持したこ
   とを特徴とする請求項１または２に記載の高風速エアワ
   ッシャ。