JPH109944A - 振動センサ - Google Patents
振動センサInfo
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- JPH109944A JPH109944A JP16420396A JP16420396A JPH109944A JP H109944 A JPH109944 A JP H109944A JP 16420396 A JP16420396 A JP 16420396A JP 16420396 A JP16420396 A JP 16420396A JP H109944 A JPH109944 A JP H109944A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動数が低い領域であっても安定して振動を
検知できる振動センサーを提供する。 【解決手段】 固定電極１と、両端部が支持されて所定
間隔を設け空気を介して固定電極１に対面した可動電極
２と、可動電極２に固着されて電荷を保持した電荷保持
面３１が固定電極１に対面したエレクトレット膜３と、
振動時に可動電極２に変位を与えるよう固定電極１の反
対側に設けられた重り４と、を備え、固定電極１と可動
電極２との間の静電容量変化を測定して振動を検知する
振動センサであって、前記重り４は検知する振動数と比
べて装着状態で高い固有振動数を有して、前記振動によ
って前記重り４に衝撃を印加する衝撃印加手段が設けら
れた構成にしてある。
検知できる振動センサーを提供する。 【解決手段】 固定電極１と、両端部が支持されて所定
間隔を設け空気を介して固定電極１に対面した可動電極
２と、可動電極２に固着されて電荷を保持した電荷保持
面３１が固定電極１に対面したエレクトレット膜３と、
振動時に可動電極２に変位を与えるよう固定電極１の反
対側に設けられた重り４と、を備え、固定電極１と可動
電極２との間の静電容量変化を測定して振動を検知する
振動センサであって、前記重り４は検知する振動数と比
べて装着状態で高い固有振動数を有して、前記振動によ
って前記重り４に衝撃を印加する衝撃印加手段が設けら
れた構成にしてある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、互いに対面した固
定電極及び可動電極との間の静電容量変化を測定して、
振動を検知する振動センサに関するものである。
定電極及び可動電極との間の静電容量変化を測定して、
振動を検知する振動センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の振動センサとして、図７
に示す構成のものが存在する。このものは、固定された
第１電極Ａと、両端部が固定されて空気を介して第１電
極に対面した第２電極Ｂと、第１電極Ａと第２電極Ｂと
の間に設けられて、電荷を保持した電荷保持面Ｃ１が所
定間隔Ｃ２を有して第２電極Ｂに対面するエレクトレッ
ト膜Ｃと、加速度印加時にエレクトレット膜Ｃに変位を
与えるよう第２電極Ｂの反対側へ設けられた重りＤと、
を備えている。
に示す構成のものが存在する。このものは、固定された
第１電極Ａと、両端部が固定されて空気を介して第１電
極に対面した第２電極Ｂと、第１電極Ａと第２電極Ｂと
の間に設けられて、電荷を保持した電荷保持面Ｃ１が所
定間隔Ｃ２を有して第２電極Ｂに対面するエレクトレッ
ト膜Ｃと、加速度印加時にエレクトレット膜Ｃに変位を
与えるよう第２電極Ｂの反対側へ設けられた重りＤと、
を備えている。
【０００３】さらに詳しくは、エレクトレット膜Ｃは、
電荷保持面Ｃ１がエレクトレット化された高分子フィル
ムにより形成されて、その電荷保持面Ｃ１が所定間隔Ｃ
２を設けて一定の比誘電率を有する空気を介して板状の
第２電極Ｂに対面している。また、導電薄膜が電荷保持
面Ｃ１の反対面に形成されて、第１電極Ａと電気的に接
続されている。
電荷保持面Ｃ１がエレクトレット化された高分子フィル
ムにより形成されて、その電荷保持面Ｃ１が所定間隔Ｃ
２を設けて一定の比誘電率を有する空気を介して板状の
第２電極Ｂに対面している。また、導電薄膜が電荷保持
面Ｃ１の反対面に形成されて、第１電極Ａと電気的に接
続されている。
【０００４】ここで、振動が印加されると、エレクトレ
ット膜Ｃが重りＤの自重の慣性力でもって変位を与えら
れて、電荷保持面Ｃ１と第２電極Ｂとの距離が変動す
る。その変化に伴って、エレクトレット膜Ｃと第２電極
Ｂとの間の静電容量が変化して、その間に発生した電圧
を測定することによって振動を検知する。
ット膜Ｃが重りＤの自重の慣性力でもって変位を与えら
れて、電荷保持面Ｃ１と第２電極Ｂとの距離が変動す
る。その変化に伴って、エレクトレット膜Ｃと第２電極
Ｂとの間の静電容量が変化して、その間に発生した電圧
を測定することによって振動を検知する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の振動セ
ンサでは、振動が印加されるとエレクトレット膜Ｃが変
位して、そのエレクトレット膜Ｃと第２電極Ｂとの間の
静電容量の変化を測定して振動を検知できる。
ンサでは、振動が印加されるとエレクトレット膜Ｃが変
位して、そのエレクトレット膜Ｃと第２電極Ｂとの間の
静電容量の変化を測定して振動を検知できる。
【０００６】しかしながら、詳しく後述するが、エレク
トレット膜Ｃを使用して静電容量の変化に基づいて振動
を測定する測定原理から、検知する振動の振動数が低く
なると検知できなくなるという問題があった。
トレット膜Ｃを使用して静電容量の変化に基づいて振動
を測定する測定原理から、検知する振動の振動数が低く
なると検知できなくなるという問題があった。
【０００７】本発明は、上記事由に鑑みてなしたもの
で、その目的とするところは、振動数が低い領域であっ
ても安定して振動を検知できる振動センサーを提供する
ことにある。
で、その目的とするところは、振動数が低い領域であっ
ても安定して振動を検知できる振動センサーを提供する
ことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項１記載のものは、固定電極と、両端部が
支持されて所定間隔を設け空気を介して固定電極に対面
した可動電極と、固定電極又は可動電極のいずれか一方
の電極に固着されて電荷を保持した電荷保持面が他方の
電極に対面したエレクトレット膜と、振動時に可動電極
に変位を与えるよう固定電極の反対側に設けられた重り
と、を備え、固定電極と可動電極との間の静電容量変化
を測定して振動を検知する振動センサであって、前記重
りは検知する振動数と比べて装着状態で高い固有振動数
を有して、前記振動によって前記重りに衝撃を印加する
衝撃印加手段が設けられた構成にしてある。
ために、請求項１記載のものは、固定電極と、両端部が
支持されて所定間隔を設け空気を介して固定電極に対面
した可動電極と、固定電極又は可動電極のいずれか一方
の電極に固着されて電荷を保持した電荷保持面が他方の
電極に対面したエレクトレット膜と、振動時に可動電極
に変位を与えるよう固定電極の反対側に設けられた重り
と、を備え、固定電極と可動電極との間の静電容量変化
を測定して振動を検知する振動センサであって、前記重
りは検知する振動数と比べて装着状態で高い固有振動数
を有して、前記振動によって前記重りに衝撃を印加する
衝撃印加手段が設けられた構成にしてある。
【０００９】請求項２記載のものは、請求項１記載のも
のにおいて、前記衝撃印加手段は、一端が固定されたば
ねと、ばねの他端に接続されて前記振動の負荷状態で変
位する衝撃負荷重りとで形成された構成にしてある。
のにおいて、前記衝撃印加手段は、一端が固定されたば
ねと、ばねの他端に接続されて前記振動の負荷状態で変
位する衝撃負荷重りとで形成された構成にしてある。
【００１０】請求項３記載のものは、請求項１記載のも
のにおいて、記衝撃印加手段は、一端が固定された梁
と、梁の他端部に接続されて前記振動の負荷状態で変位
する前記衝撃負荷重りとで形成された構成にしてある。
のにおいて、記衝撃印加手段は、一端が固定された梁
と、梁の他端部に接続されて前記振動の負荷状態で変位
する前記衝撃負荷重りとで形成された構成にしてある。
【００１１】請求項４記載のものは、請求項１記載のも
のにおいて、前記エレクトレット膜は前記固定電極に固
着されたものであって、前記重りは前記可動電極と共に
振動する振動膜を介して前記可動電極に変位を与える構
成にしてある。
のにおいて、前記エレクトレット膜は前記固定電極に固
着されたものであって、前記重りは前記可動電極と共に
振動する振動膜を介して前記可動電極に変位を与える構
成にしてある。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の第１実施形態を図１乃至
図５に基づいて以下に説明する。
図５に基づいて以下に説明する。
【００１３】１は固定電極で、金属により、略円形で薄
板状に形成され、樹脂又はセラミックからなる絶縁体
（図示せず）の一面に形成されて、絶縁体と共に両端部
がベース（図示せず）に固定されている。
板状に形成され、樹脂又はセラミックからなる絶縁体
（図示せず）の一面に形成されて、絶縁体と共に両端部
がベース（図示せず）に固定されている。
【００１４】２は可動電極で、金属により、略円形で薄
板状に形成され、両端部がベースに支持されて、所定間
隔を設け空気を介して固定電極１に対面している。
板状に形成され、両端部がベースに支持されて、所定間
隔を設け空気を介して固定電極１に対面している。
【００１５】３はエレクトレット膜で、高分子フィルム
により、略円形で薄板状に形成され、エレクトレット化
されて電荷を保持した電荷保持面３１が一面に形成され
て、固定電極１と可動電極２との間に位置して電荷保持
面３１が固定電極１に対面した状態で、可動電極２に固
着されている。
により、略円形で薄板状に形成され、エレクトレット化
されて電荷を保持した電荷保持面３１が一面に形成され
て、固定電極１と可動電極２との間に位置して電荷保持
面３１が固定電極１に対面した状態で、可動電極２に固
着されている。
【００１６】４は重りで、金属により、略直方体状で、
固定電極１の反対側にて可動電極２の略中央部に固着さ
れて、装着状態で、つまりエレクトレット膜３を固着し
た可動電極２に装着された状態で、検知する振動数と比
べて高い固有振動数を有し、振動印加時に可動電極２に
変位を与えるよう設けられている。
固定電極１の反対側にて可動電極２の略中央部に固着さ
れて、装着状態で、つまりエレクトレット膜３を固着し
た可動電極２に装着された状態で、検知する振動数と比
べて高い固有振動数を有し、振動印加時に可動電極２に
変位を与えるよう設けられている。
【００１７】５は第１衝撃印加手段で、ばね５１と衝撃
負荷重り５２とで形成されている。ばね５１は、金属線
であり、コイル状に形成され、一端が固定された状態で
振動時に振動が負荷される。衝撃負荷重り５２は、金属
により、球状に形成され、ばね５１の他端に接続され
て、振動の負荷状態で変位して重り４に衝撃を印加す
る。
負荷重り５２とで形成されている。ばね５１は、金属線
であり、コイル状に形成され、一端が固定された状態で
振動時に振動が負荷される。衝撃負荷重り５２は、金属
により、球状に形成され、ばね５１の他端に接続され
て、振動の負荷状態で変位して重り４に衝撃を印加す
る。
【００１８】検出回路６は、図３に示すように、ゲート
に固定電極１が接続された電界効果トランジスタ、いわ
ゆるＦＥＴ６１と、ＦＥＴ６１にバイアス電圧Ｅｂを負
荷するバイアス抵抗６２と、一端がＦＥＴ６１と接続さ
れて他端に出力電圧Ｖを出力するコンデンサ６３とで構
成されている。
に固定電極１が接続された電界効果トランジスタ、いわ
ゆるＦＥＴ６１と、ＦＥＴ６１にバイアス電圧Ｅｂを負
荷するバイアス抵抗６２と、一端がＦＥＴ６１と接続さ
れて他端に出力電圧Ｖを出力するコンデンサ６３とで構
成されている。
【００１９】このものの動作を説明する。第１衝撃印加
手段５は検知する振動が負荷されると、ばね５１の一端
が固定されているので、そのばね５１の他端に接続され
た衝撃負荷重り５２が振動によって周期的に変位して、
重り４に周期的に衝撃を印加する。衝撃を１回印加され
た重り４は、固有振動数で振動して自由振動しながら減
衰していく。このとき、重り４は検知する振動数と比べ
て装着状態で高い固有振動数を有しているので、その高
い固有振動数で振動することになる。
手段５は検知する振動が負荷されると、ばね５１の一端
が固定されているので、そのばね５１の他端に接続され
た衝撃負荷重り５２が振動によって周期的に変位して、
重り４に周期的に衝撃を印加する。衝撃を１回印加され
た重り４は、固有振動数で振動して自由振動しながら減
衰していく。このとき、重り４は検知する振動数と比べ
て装着状態で高い固有振動数を有しているので、その高
い固有振動数で振動することになる。
【００２０】重り４が固有振動数で振動すると、可動電
極２に変位を与え、その可動電極２に固着されたエレク
トレット膜３が変位して、固定電極１と可動電極２との
間の静電容量が増加又は減少して容量変化を生じる。そ
の容量変化が検出回路６のＦＥＴ６１のゲートに入力さ
れて、容量変化に対応した電流がバイアス抵抗６２及び
ＦＥＴ６１を経由して流れ、その電流の交流成分をコン
デンサ６３で検出し出力電圧Ｖが出力されて、その出力
電圧Ｖを測定して振動を検知する。
極２に変位を与え、その可動電極２に固着されたエレク
トレット膜３が変位して、固定電極１と可動電極２との
間の静電容量が増加又は減少して容量変化を生じる。そ
の容量変化が検出回路６のＦＥＴ６１のゲートに入力さ
れて、容量変化に対応した電流がバイアス抵抗６２及び
ＦＥＴ６１を経由して流れ、その電流の交流成分をコン
デンサ６３で検出し出力電圧Ｖが出力されて、その出力
電圧Ｖを測定して振動を検知する。
【００２１】このとき、出力電圧Ｖは次式で表すことが
できる。 Ｖ＝（Ｃ１＊Ｖ０）／（Ｃ０＊Ｋ）、Ｋ＝１＋１／（１
＋ｗ＊Ｃ０＊Ｒ） ここで、Ｃ１は振動に起因する両電極間の静電容量変化
で、Ｖ０はエレクトレット膜３の電位で、Ｃ０は無振動
時の両電極間の静電容量で、ｗは固有振動数で振動する
角振動数で、ＲはＦＥＴ６１のゲート抵抗である。この
数式で表される振動の測定原理からわかるように、衝撃
印加手段がなければ振動数が小さくなると角振動数が小
さくなって、出力電圧Ｖが低下し測定できなくなる。し
かし、衝撃印加手段が設けられて、重り４が検知する振
動数と比べて高い固有振動数ｗで振動するので、出力電
圧Ｖが低下することがない。
できる。 Ｖ＝（Ｃ１＊Ｖ０）／（Ｃ０＊Ｋ）、Ｋ＝１＋１／（１
＋ｗ＊Ｃ０＊Ｒ） ここで、Ｃ１は振動に起因する両電極間の静電容量変化
で、Ｖ０はエレクトレット膜３の電位で、Ｃ０は無振動
時の両電極間の静電容量で、ｗは固有振動数で振動する
角振動数で、ＲはＦＥＴ６１のゲート抵抗である。この
数式で表される振動の測定原理からわかるように、衝撃
印加手段がなければ振動数が小さくなると角振動数が小
さくなって、出力電圧Ｖが低下し測定できなくなる。し
かし、衝撃印加手段が設けられて、重り４が検知する振
動数と比べて高い固有振動数ｗで振動するので、出力電
圧Ｖが低下することがない。
【００２２】このときの出力電圧Ｖの波形を図４及び図
５示す。図４に示すように、重り４が固有振動数で振動
しながら減衰している。また、時間軸のスケールを長く
取ると図５に示すように、衝撃負荷重り５２が振動の負
荷状態で周期的に変位して、重り４に多数回衝撃を周期
的に印加して、その各衝撃に対応して出力電圧Ｖが発生
していることがわかる。
５示す。図４に示すように、重り４が固有振動数で振動
しながら減衰している。また、時間軸のスケールを長く
取ると図５に示すように、衝撃負荷重り５２が振動の負
荷状態で周期的に変位して、重り４に多数回衝撃を周期
的に印加して、その各衝撃に対応して出力電圧Ｖが発生
していることがわかる。
【００２３】かかる第１実施形態の振動センサにあって
は、上記したように、重り４が検知する振動数と比べて
可動電極２に装着状態で高い固有振動数を有して、第１
衝撃印加手段５がその重り４に振動時に衝撃を印加する
から、重り４が高い固有振動数で振動して、従来検知が
困難であった低い振動数の振動であっても精度よく振動
を検知することができる。
は、上記したように、重り４が検知する振動数と比べて
可動電極２に装着状態で高い固有振動数を有して、第１
衝撃印加手段５がその重り４に振動時に衝撃を印加する
から、重り４が高い固有振動数で振動して、従来検知が
困難であった低い振動数の振動であっても精度よく振動
を検知することができる。
【００２４】また、第１衝撃印加手段５が、一端が固定
されたばね５１と、そのばね５１の他端に接続された衝
撃負荷重り５２とで形成されるから、振動の負荷状態
で、衝撃負荷重り５２が周期的に変位して、重り４に周
期的に連続して衝撃を印加することができる。
されたばね５１と、そのばね５１の他端に接続された衝
撃負荷重り５２とで形成されるから、振動の負荷状態
で、衝撃負荷重り５２が周期的に変位して、重り４に周
期的に連続して衝撃を印加することができる。
【００２５】なお、第１実施形態では、第１衝撃印加手
段５を一端が固定されたばね５１と、そのばね５１の他
端に接続された衝撃負荷重り５２とで形成したが、例え
ば固定電極１をばね５１の他端に直接接続して、固定物
に衝突させて重り４に衝撃を印加するよう形成された他
の衝撃印加手段であってもよく、限定されない。
段５を一端が固定されたばね５１と、そのばね５１の他
端に接続された衝撃負荷重り５２とで形成したが、例え
ば固定電極１をばね５１の他端に直接接続して、固定物
に衝突させて重り４に衝撃を印加するよう形成された他
の衝撃印加手段であってもよく、限定されない。
【００２６】本発明の第２実施形態を図６に基づいて以
下に説明する。なお、第２実施形態では第１実施形態と
異なる機能について述べることとし、第１実施形態と実
質的に同一機能を有する部材については、同一符号を付
して説明を省略する。
下に説明する。なお、第２実施形態では第１実施形態と
異なる機能について述べることとし、第１実施形態と実
質的に同一機能を有する部材については、同一符号を付
して説明を省略する。
【００２７】可動電極２は、金属により、固定電極１と
対面して、薄膜状に形成されている。エレクトレット膜
３は、エレクトレット化されて電荷を保持した電荷保持
面３１が一面に形成されて、電荷保持面３１が可動電極
２に対面した状態で、固定電極１に固着されている。６
は振動膜で、高分子フィルムにより、略円形で薄板状に
形成され、固定電極１と対面して、一面に蒸着法でもっ
て薄膜化された可動電極２を固着している。
対面して、薄膜状に形成されている。エレクトレット膜
３は、エレクトレット化されて電荷を保持した電荷保持
面３１が一面に形成されて、電荷保持面３１が可動電極
２に対面した状態で、固定電極１に固着されている。６
は振動膜で、高分子フィルムにより、略円形で薄板状に
形成され、固定電極１と対面して、一面に蒸着法でもっ
て薄膜化された可動電極２を固着している。
【００２８】重り４は、固定電極１の反対側にて振動膜
６の略中央部に固着されて、装着状態で、つまり可動電
極２を固着した振動膜６に装着された状態で、検知する
振動数と比べて高い固有振動数を有し、振動印加時に可
動電極２に振動膜６を介して変位を与えるよう設けられ
ている。
６の略中央部に固着されて、装着状態で、つまり可動電
極２を固着した振動膜６に装着された状態で、検知する
振動数と比べて高い固有振動数を有し、振動印加時に可
動電極２に振動膜６を介して変位を与えるよう設けられ
ている。
【００２９】第２衝撃印加手段７は、梁７１と衝撃負荷
重り５２とで形成されている。梁７１は、弾性を有した
金属により板状に形成され、一端が固定されている。衝
撃負荷重り５２は、梁７１の他端部に接続されて、振動
が負荷された状態で変位して重り４に衝撃を印加する。
検知する振動が負荷されると、梁７１の一端が固定され
ているので、その梁７１の他端部に接続された衝撃負荷
重り５２が振動によって周期的に変位して、重り４に周
期的に衝撃を印加する。
重り５２とで形成されている。梁７１は、弾性を有した
金属により板状に形成され、一端が固定されている。衝
撃負荷重り５２は、梁７１の他端部に接続されて、振動
が負荷された状態で変位して重り４に衝撃を印加する。
検知する振動が負荷されると、梁７１の一端が固定され
ているので、その梁７１の他端部に接続された衝撃負荷
重り５２が振動によって周期的に変位して、重り４に周
期的に衝撃を印加する。
【００３０】かかる第２実施形態の振動センサにあって
は、上記したように、第２衝撃印加手段７が一端が固定
された梁７１と、その梁７１の他端部に接続された衝撃
負荷重り５２とで形成されるから、振動の負荷状態で衝
撃負荷重りが周期的に変位して、重りに周期的に連続し
て衝撃を印加することができる。
は、上記したように、第２衝撃印加手段７が一端が固定
された梁７１と、その梁７１の他端部に接続された衝撃
負荷重り５２とで形成されるから、振動の負荷状態で衝
撃負荷重りが周期的に変位して、重りに周期的に連続し
て衝撃を印加することができる。
【００３１】また、重り４が振動膜６を介して可動電極
２に変位を与えるから、可動電極２を振動膜６に形成し
可動電極２だけでなく振動膜６も同時に振動させて、可
動電極２を薄膜化してコストを安価にすることができ
る。
２に変位を与えるから、可動電極２を振動膜６に形成し
可動電極２だけでなく振動膜６も同時に振動させて、可
動電極２を薄膜化してコストを安価にすることができ
る。
【００３２】なお、第２実施形態では、可動電極２と共
に振動する振動膜６を設けて、重り４がその振動膜６を
介して可動電極２に変位を与えたが、振動膜６を設けず
に可動電極２を薄板状に形成して重り４が直接可動電極
２に変位を与えて、可動電極２だけを振動させてもよ
く、限定されない。
に振動する振動膜６を設けて、重り４がその振動膜６を
介して可動電極２に変位を与えたが、振動膜６を設けず
に可動電極２を薄板状に形成して重り４が直接可動電極
２に変位を与えて、可動電極２だけを振動させてもよ
く、限定されない。
【００３３】
【発明の効果】請求項１記載のものは、重りが検知する
振動数と比べて可動電極に装着状態で高い固有振動数を
有して、衝撃印加手段がその重りに振動時に衝撃を印加
するから、重りが高い固有振動数で振動して、従来検知
が困難であった低い振動数の振動であっても精度よく検
知することができる。
振動数と比べて可動電極に装着状態で高い固有振動数を
有して、衝撃印加手段がその重りに振動時に衝撃を印加
するから、重りが高い固有振動数で振動して、従来検知
が困難であった低い振動数の振動であっても精度よく検
知することができる。
【００３４】請求項２記載のものは、請求項１記載のも
のの効果に加えて、衝撃印加手段が、一端が固定された
ばねと、そのばねの他端に接続された衝撃負荷重りとで
形成されるから、振動の負荷状態で衝撃負荷重りが周期
的に変位して、重りに周期的に連続して衝撃を印加する
ことができる。
のの効果に加えて、衝撃印加手段が、一端が固定された
ばねと、そのばねの他端に接続された衝撃負荷重りとで
形成されるから、振動の負荷状態で衝撃負荷重りが周期
的に変位して、重りに周期的に連続して衝撃を印加する
ことができる。
【００３５】請求項３記載のものは、請求項１記載のも
のの効果に加えて、衝撃印加手段が、一端が固定された
梁と、その梁の他端部に接続された衝撃負荷重りとで形
成されるから、振動の負荷状態で衝撃負荷重りが周期的
に変位して、重りに周期的に連続して衝撃を印加するこ
とができる。
のの効果に加えて、衝撃印加手段が、一端が固定された
梁と、その梁の他端部に接続された衝撃負荷重りとで形
成されるから、振動の負荷状態で衝撃負荷重りが周期的
に変位して、重りに周期的に連続して衝撃を印加するこ
とができる。
【００３６】請求項４記載のものは、請求項１記載のも
のの効果に加えて、エレクトレット膜が固定電極に固着
されたものであれば、重りが振動膜を介して可動電極に
変位を与えるから、可動電極を振動膜に形成し可動電極
だけでなく振動膜も同時に振動させて、可動電極を薄膜
化してコストを安価にすることができる。
のの効果に加えて、エレクトレット膜が固定電極に固着
されたものであれば、重りが振動膜を介して可動電極に
変位を与えるから、可動電極を振動膜に形成し可動電極
だけでなく振動膜も同時に振動させて、可動電極を薄膜
化してコストを安価にすることができる。
【図１】本発明の第１実施形態を示す断面図である。
【図２】同上の重りが可動電極に装着された状態の斜視
図である。
図である。
【図３】同上の検知回路の構成図である。
【図４】同上の重りが衝撃を印加されたときの出力電圧
の波形図である。
の波形図である。
【図５】同上の重りが多数回衝撃を印加されたときの出
力電圧の波形図である。
力電圧の波形図である。
【図６】本発明の第２実施形態を示す断面図である。
【図７】従来例を示す断面図である。
１ 固定電極 ２ 可動電極 ３ エレクトレット膜 ３１ 電荷保持面 ４ 重り ５ 第１衝撃印加手段 ５１ ばね ５２ 衝撃負荷重り ６ 振動膜 ７ 第２衝撃印加手段 ７１ 梁
Claims (4)
- 【請求項１】 固定電極と、両端部が固定されて所定間
隔を設け空気を介して固定電極に対面した可動電極と、
固定電極又は可動電極のいずれか一方の電極に固着され
て電荷を保持した電荷保持面が他方の電極に対面したエ
レクトレット膜と、振動時に可動電極に変位を与えるよ
う固定電極の反対側に設けられた重りとを備え、固定電
極と可動電極との間の静電容量変化を測定して振動を検
知する振動センサであって、 前記重りは検知する振動数と比べて装着状態で高い固有
振動数を有して、前記振動によって前記重りに衝撃を印
加する衝撃印加手段が設けられたことを特徴とする振動
センサ。 - 【請求項２】 前記衝撃印加手段は、一端が固定された
ばねと、ばねの他端に接続されて前記振動の負荷状態で
変位する衝撃負荷重りとで形成されてなることを特徴と
する請求項１記載の振動センサ。 - 【請求項３】 前記衝撃印加手段は、一端が固定された
梁と、梁の他端部に接続されて前記振動の負荷状態で変
位する前記衝撃負荷重りとで形成されてなることを特徴
とする請求項１記載の振動センサ。 - 【請求項４】 前記エレクトレット膜は前記固定電極に
固着されたものであって、前記重りは前記可動電極と共
に振動する振動膜を介して前記可動電極に変位を与える
ことを特徴とする請求項１記載の振動センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16420396A JPH109944A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | 振動センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16420396A JPH109944A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | 振動センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH109944A true JPH109944A (ja) | 1998-01-16 |
Family
ID=15788636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16420396A Pending JPH109944A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | 振動センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH109944A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4903270A (en) * | 1988-06-14 | 1990-02-20 | Intel Corporation | Apparatus for self checking of functional redundancy check (FRC) logic |
| WO1999058795A1 (en) * | 1998-05-14 | 1999-11-18 | Ford Motor Company | Tap sensitive keypad assembly |
| WO2001059238A3 (en) * | 2000-02-10 | 2002-03-07 | Ilan Goldman | Data receiving device for use in an impulse-based data transmission system |
| KR100613962B1 (ko) * | 2003-09-02 | 2006-08-21 | 호시덴 가부시기가이샤 | 진동센서 |
| CN112781715A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-05-11 | 深圳供电局有限公司 | 电缆振动监测装置和系统 |
-
1996
- 1996-06-25 JP JP16420396A patent/JPH109944A/ja active Pending
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| US6848314B2 (en) | 2000-02-10 | 2005-02-01 | Ilan Goldman | Data receiving device for use in an impulse-based data transmission system |
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| US7430915B2 (en) | 2003-09-02 | 2008-10-07 | Hosiden Corporation | Vibration sensor |
| CN112781715A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-05-11 | 深圳供电局有限公司 | 电缆振动监测装置和系统 |
| CN112781715B (zh) * | 2020-12-25 | 2023-12-08 | 深圳供电局有限公司 | 电缆振动监测装置和系统 |
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