KR100613962B1

KR100613962B1 - 진동센서

Info

Publication number: KR100613962B1
Application number: KR1020040067354A
Authority: KR
Inventors: 야스다마모루; 스기모리야스오; 오츠지타카히사
Original assignee: 호시덴 가부시기가이샤
Priority date: 2003-09-02
Filing date: 2004-08-26
Publication date: 2006-08-21
Also published as: JP2005077326A; KR20050025284A; US20060137455A1; CN1846121A; CA2523109A1; CN100473960C; WO2005024360A1; EP1662238A1; US7430915B2; TW200510700A; TWI238244B; JP4073382B2

Abstract

본 발명은, 감도 저하를 피하면서 진동막 전극의 파손을 방지할 수 있으며, 아울러, 조립작업을 양호하게 실시하는 것이 가능해지는 진동센서를 제공하는 것을 과제로 한 것이며, 그 해결수단에 있어서, 고정전극(1)과, 고정전극(1)에 대향하는 쪽과는 반대쪽의 막면에 추체(錘體)(2)가 부설되고 또한 주위를 고정 지지된 진동막 전극(3)을 구비하고, 고정전극(1)과 진동막 전극(3)간의 정전용량의 변화를 진동신호로서 출력 가능함으로서, 진동막 전극(3)의 막면과 간격을 두는 상태로 막면방향을 따라서 돌출하는 돌출부(2a)가 추체(2)의 단부에 부분적으로 형성되는 동시에, 진동막 전극(3)의 막면방향을 따라서 변위하는 추체(2)의 돌출부(2a)에 맞닿아 추체(2)의 변위를 규제 가능한 규제부재(4)가 형성되어 있는 것을 특징으로 한 것이다.

Description

진동센서{VIBRATION SENSOR}

본 발명은, 고정전극과, 상기 고정전극에 대향하는 쪽과는 반대쪽의 막면에 추체(錘體)가 부설되고 또한 주위를 고정 지지된 진동막 전극을 구비하고, 상기 고정전극과 상기 진동막 전극간의 정전용량의 변화를 진동신호로서 출력 가능한 진동센서에 관한 것이다.

상기 진동센서는, 예를 들면, 보수계에 이용 가능한 일렉트릿콘덴서마이크로폰형(ECM형)의 진동센서이며, 종래, 보행 시의 요동 등의 저주파의 진동을 검출하기 위해서, 진동막 전극에 얇은 원기둥 형상 등의 추체를 고정 배치하는 동시에, 추체의 움직임을 좋게 해서 감도를 양호하게 하기 위해, 판 형상의 추체의 단부와 진동막 전극의 주위를 고정하는 진동막 링과의 사이나, 추체와 추체의 배부(背部)에 배치한 회로기판과의 사이 등에 비교적 큰 틈새를 형성하고 있었다(예를 들면 특허문헌 1, 특허문헌 2 참조).

[특허문헌 1]

특개소 59-79700호 공보

[특허문헌 2]

특개평 10-9944호 공보

그러나, 종래에는 상술한 바와 같이 추체의 단부와 진동막 링간이나 추체와 회로기판간 등에 비교적 큰 틈새가 있었기 때문에, 낙하 시 등에서 과대한 충격을 받아 추체가 큰 폭으로 움직였을 때에 진동막 전극에 큰 힘이 가해져 파손될 우려가 있었다. 특히, 추체의 단부의 모서리부분가 뾰족해져 있으면, 추체를 진동막 전극에 붙일 때에 추체의 단부 모서리부분가 진동막 전극에 맞닿아 손상을 주기 쉽고, 또, 충격인가 시에 응력집중에 의해 진동막 전극의 파손이 생기기 쉬워진다.

한편, 추체의 중량을 크게 함으로써 관성력을 증가시켜, 센서의 감도를 높게 하는 것이 가능하지만, 예를 들면 원기둥 형상의 추체의 지름을 단지 크게 하는 것만으로는, 중량은 증가하지만 진동막 전극의 외부쪽의 가동부분 폭이 감소하기 때문에 감도 상승에는 유리하지는 않다. 또, 원기둥 형상의 추체의 높이를 높게 하면, 중량은 증가하지만, 이 경우에는, 낙하 시 등에서의 충격에 의한 모멘트도 증가하기 때문에 진동전극의 파손이 생기기 쉬워진다.

본 발명은, 상기 실정을 감안해서 이루어진 것이고, 그 목적은, 감도 저하를 피하면서 진동막 전극의 파손을 방지할 수 있으며, 아울러, 조립작업을 양호하게 실시하는 것이 가능해지는 진동센서를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 관련되는 진동센서의 제 1의 특징 구성은, 고정전극과, 상기 고정전극에 대향하는 쪽과는 반대쪽의 막면에 추체가 부설 되고 또한 주위를 고정 지지된 진동막 전극을 구비하고, 상기 고정전극과 상기 진동막 전극간의 정전용량의 변화를 진동신호로서 출력 가능한 진동센서로서, 상기 진동막 전극의 막면과 간격을 두는 상태로 막면방향을 따라서 돌출하는 돌출부가 상기 추체의 단부에 부분적으로 형성되는 동시에, 상기 진동막 전극의 막면방향을 따라서 변위하는 상기 추체의 상기 돌출부에 맞닿아 상기 추체의 변위를 규제 가능한 규제부재가 형성되어 있는 점에 있다.

즉, 낙하 등에 의한 충격을 받아 추체가 진동막 전극의 막면방향을 따라서 변위할 때, 추체의 단부에 형성된 돌출부가 규제부재에 맞닿고, 추체의 큰 폭의 변위가 규제되므로, 추체의 막면방향을 따른 변위에 의해서 진동막 전극이 파손되는 것이 방지된다.

한편, 상기 돌출부는 진동막 전극의 막면과 간격을 두는 상태로 막면방향을 따라서 돌출하고, 추체의 단부가 부설된 위치와 주위쪽의 고정위치 사이에 진동막 전극의 가동부분을 확보할 수 있으므로, 검출대상의 진동에 의해서 진동막 전극의 막면방향으로 직교하는 방향을 따라서 동작하는 추체의 움직임이 방해받지 않아, 감도의 저하를 피할 수 있다. 또한, 상기 돌출부의 형성부분에 의해 추체의 중량이 증가한 만큼, 감도도 향상된다.

또한, 상기 돌출부는 추체의 단부에 부분적으로 형성되고, 단부 전체에는 형성되어 있지 않으므로, 돌출부가 형성되어 있지 않은 추체의 단부와 규제부재와의 사이에 틈새가 생기며, 이 틈새를 통해서 상기 추체의 동작 시에 공기가 출입함으로써 추체의 움직임이 원활하게 이루어져, 감도의 저하를 피할 수 있다.

동시에, 상기 돌출부가 추체의 단부에 부분적으로 형성되어 있으므로, 추체를 진동막 전극에 부설할 때에, 상기 돌출부가 형성되어 있지 않은 추체의 단부와 규제부재간의 틈새에 지그 등을 끼워 넣어 추체를 유지한 상태로, 추체를 진동막 전극에 위치맞춤할 수 있다. 이것에 대해서, 돌출부가 추체의 단부 전체에 형성되어 있는 경우에는, 상기 추체를 유지한 상태에서의 위치맞춤은 곤란하게 된다.

따라서, 감도 저하를 피하면서 진동막 전극의 파손을 방지할 수 있으며, 아울러, 조립작업을 양호하게 실시하는 것이 가능해지는 진동센서가 제공된다.

동 제 2의 특징 구성은, 고정전극과, 상기 고정전극에 대향하는 쪽과는 반대쪽의 막면에 추체가 부설되고 또한 주위를 고정 지지된 진동막 전극을 구비하고, 상기 고정전극과 상기 진동막 전극간의 정전용량의 변화를 진동신호로서 출력 가능한 진동센서로서, 상기 진동막 전극의 막면방향을 따라서 변위하는 상기 추체의 단부에 맞닿아 상기 추체의 변위를 규제 가능한 규제부재가, 상기 진동막 전극의 막면과 간격을 두는 상태로 상기 추체의 단부에 대해서 부분적으로 형성되어 있는 점에 있다.

즉, 낙하 등에 의한 충격을 받아 추체가 진동막 전극의 막면방향을 따라서 변위할 때, 추체의 단부가 규제부재에 맞닿고, 추체의 큰 폭의 변위가 규제되므로, 추체의 막면방향을 따른 변위에 의해서 진동막 전극이 파손되는 것이 방지된다.

한편, 상기 규제부재는 진동막 전극의 막면과 간격을 두는 상태로 형성되고, 추체의 단부가 부설된 위치와 주위쪽의 고정위치 사이에 진동막 전극의 가동부분을 확보할 수 있으므로, 검출대상의 진동에 의해서 진동막 전극의 막면방향으로 직교하는 방향을 따라서 동작하는 추체의 움직임이 방해받지 않아, 감도의 저하를 피할 수 있다.

또한, 상기 규제부재는 추체의 단부에 대해서 부분적으로 형성되고, 단부 전체에 대해서는 형성되어 있지 않으므로, 규제부재가 형성되어 있지 않은 추체의 단부와 규제부재와의 사이에 틈새가 생기며, 이 틈새를 통해서 상기 추체의 동작 시에 공기가 출입함으로써 추체의 움직임이 원활하게 이루어져, 감도의 저하를 피할 수 있다.

동시에, 상기 규제부재가 추체의 단부에 대해서 부분적으로 형성되어 있으므로, 추체를 진동막 전극에 부설할 때에, 상기 추체의 단부와 규제부재간의 틈새에 지그 등을 끼워 넣어 추체를 유지한 상태로, 추체를 진동막 전극에 위치맞춤할 수 있다. 이것에 대해서, 규제부재가 추체의 단부 전체에 대해서 형성되어 있는 경우에는, 상기 추체를 유지한 상태에서의 위치맞춤은 곤란하게 된다.

동 제 ３의 특징 구성은, 상기 제 1 또는 제 2의 특징 구성에 부가해서, 상기 진동막 전극의 막면방향으로 직교하는 방향을 따라서 변위하는 상기 추체의 표면에 맞닿아 상기 추체의 변위를 규제 가능한 제 2의 규제부재가 형성되어 있는 점에 있다.

즉, 낙하 등에 의한 충격을 받아 추체가 진동막 전극의 막면방향으로 직교하는 방향을 따라서 과대한 변위를 할 때, 추체의 표면이 제 2의 규제부재에 맞닿아 추체의 변위가 규제되며, 추체의 막면방향으로 직교하는 방향을 따른 과대한 변위에 의한 진동막 전극의 파손이 방지된다.

따라서, 추체의 막면방향을 따른 변위와 함께, 막면방향으로 직교하는 방향을 따른 변위에 의한 진동막 전극의 파손방지를 가능하게 하는 진동센서의 매우 적합한 실시형태가 제공된다.

동 제 ４의 특징 구성은, 상기 제 ３의 특징 구성에 부가해서, 상기 진동신호의 출력회로가 실장된 회로기판을 구비하고, 상기 회로기판 혹은 상기 회로기판 위에 탑재된 전기부품이 상기 제 2의 규제부재로 겸용 구성되어 있는 점에 있다.

즉, 고정전극과 진동막 전극간의 정전용량의 변화를 진동신호로서 출력하는 출력회로가 실장된 회로기판을 센서 내에 구비하는 경우에, 그 회로기판 자체 혹은 회로기판 위에 탑재된 전기부품이 제 2의 규제부재로 겸용되므로, 전용의 제 2의 규제부재를 형성할 필요가 없어 구성이 간소화된다.

따라서, 간소화된 구성에 의해서, 추체의 막면방향으로 직교하는 방향을 따른 변위에 의한 진동막 전극의 파손방지를 가능하게 하는 진동센서의 매우 적합한 실시형태가 제공된다.

동 제 ５의 특징 구성은, 고정전극과, 상기 고정전극에 대향하는 쪽과는 반대쪽의 막면에 추체가 부설되고 또한 주위를 고정 지지된 진동막 전극을 구비하고, 상기 고정전극과 상기 진동막 전극간의 정전용량의 변화를 진동신호로서 출력 가능한 진동센서로서, 상기 진동막 전극과 접하는 상기 추체의 모서리부분가, 상기 진동막 전극의 막면에 대해서 둔각을 이루는 단면형상으로 형성되어 있는 점에 있다.

즉, 낙하 등에 의한 충격을 받아 추체가 변위하면, 진동막 전극과 접하는 추체의 단부의 모서리부분가 진동막 전극에 꽉 눌려지지만, 해당 모서리부분이 진동막 전극의 막면에 대해서 둔각을 이루는 단면형상으로 형성되어 있으므로, 추체의 단부 모서리부분이 진동막 전극의 막면에 부드럽게 접촉하여, 진동막 전극의 일부에 응력이 집중하는 일이 없이, 진동막 전극의 파손을 회피할 수 있다. 이 때, 추체의 단부가 부설된 위치와 주위쪽의 고정위치 사이에 진동막 전극의 가동부분을 확보하고 있으므로, 검출대상의 진동에 의해서 동작하는 추체의 움직임이 방해받지 않아. 감도의 저하는 없다.

따라서, 감도 저하를 피하면서 진동막 전극의 파손을 방지할 수 있는 진동센서가 제공된다.

동 제 6의 특징 구성은, 고정전극과, 상기 고정전극에 대향하는 쪽과는 반대쪽의 막면에 추체가 부설되고 또한 주위를 고정 지지된 진동막 전극을 구비하고, 상기 고정전극과 상기 진동막 전극간의 정전용량의 변화를 진동신호로서 출력 가능한 진동센서로서, 상기 진동막 전극이, 상기 추체가 부설된 내부쪽 부분과 고정 지지된 외부쪽 부분과의 사이에 물결판 형상부(波板狀部)를 가지고 있는 점에 있다.

즉, 낙하 등에 의한 충격을 받아 추체가 변위하면, 추체가 부설된 내부쪽 부분과 고정 지지된 외부쪽 부분과의 사이의 진동막 전극에 형성된 물결판 형상부가 진동막 전극의 막면방향으로 신축하고, 혹은 진동막 전극의 막면방향으로 직교하는 방향으로 요동하여, 상기 충격에 의한 추체의 과대한 변위를 흡수하므로, 진동막 전극에 응력이 집중하는 일이 없이, 진동막 전극의 파손을 회피할 수 있다. 동시에, 상기 물결판 형상부에 의해서 진동막 전극의 가동부분이 확보되므로, 검출대상의 진동에 의해서 동작하는 추체의 움직임이 좋아져, 감도 상승의 효과도 있다.

<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>

본 발명의 진동센서의 실시형태에 대해서 도면에 의거해서 설명한다.

〔제 1실시형태〕

도 1에 표시하는 바와 같이, 제 l실시형태에 관련되는 진동센서는, 고정전극(1)과, 고정전극(1)에 대향하는 쪽과는 반대쪽의 막면에 얇은 원기둥 형상의 추체(2)가 부설되고 또한 주위를 고정 지지된 진동막 전극(3)을 구비하고, 고정전극(l)과 진동막 전극(3)간의 정전용량의 변화를 진동신호로서 출력 가능한 진동센서로서, 진동막 전극(3)의 막면과 간격을 두는 상태로 막면방향을 따라서 돌출하는 돌출부(2a)가 추체(2)의 단부에 부분적으로 형성되는 동시에, 진동막 전극(3)의 막면방향을 따라서 변위하는 추체(2)의 돌출부(2a)에 맞닿아 추체(2)의 변위를 규제 가능한 규제부재로서의 진동막 링(4)이 추체(2)의 단부에 근접해서 형성되어 있다.

상기 고정전극(1)은, 일렉트릿층(5)이 내부면에 형성된 단면 コ 자형의 하우징(10)의 바닥부 부분에 의해서 구성되고, 이 하우징(10)의 바닥부에, 링형상의 수지제 스페이서(6), 상기 진동막 전극(3), 상기 진동막 링(4), 전극 링(7)을 순차적으로 포갠 후, 추체(2)를 진동막 링(4)의 내부쪽 공간에 삽입하여 진동막 전극(3)에 고정 배치하고, 마지막으로, 진동신호의 출력회로가 실장된 회로기판(8)으로 뚜껑을 해서 하우징(10)에 고정하여 진동센서를 조립하는 구조로 이루어져 있다. 이 구조에서, 진동막 전극(3)은 스페이서(6)와 진동막 링(4)에 의해서 주위부분이 끼어져서 고정 지지되어 있다. 또, 상기 하우징(10), 진동막 링(4) 및 전극 링(7)은 금속제이다.

상기 진동막 전극(3)은, 예를 들면 막두께 2μ정도의 고분자 수지필름 재료의 한 쪽 면(도 1에서는 하부면)에, Ni, Al, Ti 등의 금속을 증착한 전극층을 형성한 구성이며, 이 전극층에 의해 상기 진동막 링(4)에 전도되고 있다.

상기 추체(2)의 단부에 부분적으로 형성되는 돌출부(2a)는, 구체적으로는, 도 2(가)에 표시하는 바와 같이, 평면 시야에서 원기둥 형상의 추체(2)의 단부의 120도 회전대칭 위치에 형성한 3개의 손톱 형상부나, 도 2(나)에 표시하는 바와 같이, 평면 시야에서 원기둥 형상의 추체(2)의 단부의 전체둘레에 걸쳐서, 판면방향으로 대향하는 2개소의 결핍부분(p)을 제외하고 형성한 날밑 형상부에 형성한다. 따라서, 상기 손톱 형상이나 날밑 형상의 돌출부(2a)가 형성되어 있지 않은 추체(2)의 단부 개소에 핀셋 등의 지그를 대고 추체(2)를 집은 상태로, 추체(2)를 상기 진동막 링(4)의 내부쪽 공간에 삽입함으로써 위치결정을 하여 추체(2)를 진동막 전극(3)에 고정 배치할 수 있다.

또한, 도 1에 표시하는 바와 같이, 상기 진동막 전극(3)과 접하는 상기 추체(2)의 모서리부분(2b)이, 진동막 전극(3)의 막면에 대해서 둔각을 이루는 단면형상으로 형성되어 있다. 도면에는, 모서리부분(2b)을 각도가 완만하게 변화하는 곡선형상으로 형성한(전단강하를 붙인) 예를 표시하고 있지만, 이 이외에, 모서리부분(2b)을 모떼기형상으로 형성해도 된다.

〔제 2실시형태〕

제 2실시형태에 관련되는 진동센서에서는, 진동막 전극(3)의 막면방향을 따른 추체(2)의 변위에 부가해서, 진동막 전극(3)의 막면방향으로 직교하는 방향으로의 추체(2)의 변위를 규제하는 구성을 구비하고 있는 점에서 제 1실시형태와 상이하다.

즉, 도 3에 표시하는 바와 같이, 진동막 전극(3)의 막면방향으로 직교하는 방향을 따라서 변위하는 추체(2)의 표면(2c)에 맞닿고, 추체(2)의 변위를 규제 가능한 제 2의 규제부재(KB)로서의 규제 링(9)이 형성되어 있다. 여기서, 규제 링(9)은 상기 진동막 링(4)과 상기 전극 링(7)의 사이에 끼워진 상태로 형성되고, 그 중앙에는 개구부가 형성되어 있다. 따라서, 이 규제 링(9)의 개구부를 통해서 공기가 원활하게 출입할 수 있으므로, 진동막 전극(3)의 변위 시의 점성저항(스티프니스)이 작아져 진폭을 크게 취할 수 있다.

도 4 및 도 5는, 제 2실시형태에 관련되는 진동센서의 변형 구성을 표시한다.

도 4(가)에서는, 상기 진동신호의 출력회로가 실장된 회로기판(8) 위에 탑재된 전기부품(칩저항 등)(8a)이 상기 제 2의 규제부재(KB)에 겸용 구성되어 있다. 또한, 도 4(나)에, 상기 진동신호의 출력회로도를 표시하지만, 진동센서에서의 소비전류를 억제하기 위해서, 실제로 회로기판(8)에 탑재되어 있는 것은 칩저항(8a)의 부분뿐, FET 등의 앰프회로부분은 외장되어 있다. 이와 같이 앰프회로부분을 외장하면, 회로기판(8) 위에는 칩저항(8a)만이 실장되어 넓은 공간이 형성되므로, 진동막 전극(3)의 변위 시의 배실용량이 증가하여, 센서 감도가 향상되는 효과가 있다.

도 5에서는, 상기 회로기판(8)이 상기 제 2의 규제부재(KB)에 겸용 구성되어 있다. 또한, 도 5에서 회로기판(8)에 개구부를 형성하고 있는 것은, 진동막 전극(3)의 변위 시의 점성저항(스티프니스)을 작게 하기 위함이다.

〔제 3실시형태〕

제 3실시형태에 관련되는 진동센서에서는, 진동막 전극(3)의 가동부분이 충격을 흡수하는 형상으로 형성되어 있는 점에서 제 1실시형태와 상이하다.

즉, 도 6에 표시하는 바와 같이, 상기 진동막 전극(3)이, 상기 추체(2)가 부설된 내부쪽 부분과 고정 지지된 외부쪽 부분과의 사이에 물결판 형상부(물결주름)(3a)를 가지고 있다. 또한, 물결판 형상부(3a)는, 진동 시에 고정전극(1)의 일렉트릿층(5)에 닿지 않도록, 고정전극(1)과는 반대쪽(도면에서는 하부쪽)에 凸로 형성되고, 진동막 전극(3)과 상기 돌출부(2a)의 사이에 담겨져 있다. 그리고, 상기 물결판 형상부(3a)에 의해서, 진동막 전극(3)에 가해진 충격을 흡수하는 동시에, 진동막 전극(3)의 가동성능을 향상시킬 수 있다. 또한, 진동막 전극(3)의 가동성능을 저하시키지 않고, 진동막 전극(3)의 필름두께를 두껍게 하는(예를 들면, 2μ두께의 것을, 4μ ∼ 12μ두께로 하는) 것도 가능하며, 이 경우, 막의 파손을 방지하는 효과가 높아진다.

〔제 4실시형태〕

제 4실시형태에 관련되는 진동센서에서는, 진동막 전극(3)의 막면방향을 따른 추체(2)의 변위를 규제하는 구성이 제 1실시형태와 상이하다.

즉, 도 7에 표시하는 바와 같이, 상기 진동막 전극(3)의 막면방향을 따라서 변위하는 상기 추체(2)의 단부에 맞닿고 상기 추체(2)의 변위를 규제 가능한 규제부재(11a)가, 진동막 전극(3)의 막면과 간격을 두는 상태로 추체(2)의 단부에 대해서 부분적으로 형성되어 있다. 여기서, 도 8(가) (나)에 표시하는 바와 같이, 규제부재(11a)는, 제 1실시형태와 마찬가지로, 진동막 링(11)의 내부둘레쪽에 형성한 손톱 형상부나 날밑 형상부로 구성되어 있다.

〔다른 실시형태〕

다음에, 본 발명에 관련되는 진동센서의 다른 실시형태에 대해서 설명한다.

상기 실시형태에서는, 고정전극(1)을 하우징(10)의 내벽을 이용해서 구성했지만, 도 9에 표시하는 바와 같이, 하우징(10)과는 별도로 고정전극(12)을 형성하고, 이 고정전극(12)을 금속 링(13)을 통해서 하우징(10)에 닿게 붙여서 지지하게 하는 동시에, 진동막 전극(3)에 면하는 쪽에 일렉트릿층(5)을 형성한 구성이어도 된다. 또한, 도 9(가)에서는, 진동막 전극(3)의 막면방향으로 직교하는 방향의 추체(2)의 변위를 규제하는 제 2의 규제부재(KB)로서 규제 링(9)을 형성하고, 도 9(나)에서는, 제 2의 규제부재(KB)를 회로기판(8)으로 겸용하고, 높이를 낮게 한 저배박형(底背薄型)으로 구성되어 있다.

본 발명에 의하면, 감도 저하를 피하면서 진동막 전극의 파손을 방지할 수 있으며, 아울러, 조립작업을 양호하게 실시하는 것이 가능해진다.

도 1은, 제 1실시형태에 관련되는 진동센서의 구성을 표시하는 단면도

도 2는, 제 1실시형태에 관련되는 진동센서의 구성을 표시하는 평면도와 단면도

도 3은, 제 2실시형태에 관련되는 진동센서의 구성을 표시하는 단면도

도 4는, 제 2실시형태에 관련되는 진동센서의 변형구성을 표시하는 단면도

도 5는, 제 2실시형태에 관련되는 진동센서의 변형구성을 표시하는 단면도

도 6은, 제 3실시형태에 관련되는 진동센서의 구성을 표시하는 단면도

도 7은, 제 4실시형태에 관련되는 진동센서의 구성을 표시하는 단면도

도 8은, 제 4실시형태에 관련되는 진동센서의 구성을 표시하는 평면도와 단면도

도 9는, 다른 실시형태에 관련되는 진동센서의 구성을 표시하는 단면도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1: 고정전극 2: 추체(錘體)

2a: 돌출부 2b: 모서리부분

3: 진동막 전극 3a: 물결판 형상부(波板狀部)

4: (규제부재) 8: 회로기판

8a: 전기부품 1la: 규제부재

KB: 제 2의 규제부재

Claims

고정전극과, 상기 고정전극에 대향하는 쪽과는 반대쪽의 막면에 추체가 부설되고 또한 주위를 고정 지지된 진동막 전극을 구비하고, 상기 고정전극과 상기 진동막 전극간의 정전용량의 변화를 진동신호로서 출력 가능한 진동센서로서,

상기 진동막 전극의 막면과 간격을 두는 상태로 막면방향을 따라서 돌출하는 돌출부가 상기 추체의 단부에 부분적으로 형성되는 동시에, 상기 진동막 전극의 막면방향을 따라서 변위하는 상기 추체의 상기 돌출부에 맞닿아 상기 추체의 변위를 규제 가능한 규제부재가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동센서.
고정전극과, 상기 고정전극에 대향하는 쪽과는 반대쪽의 막면에 추체가 부설되고 또한 주위를 고정 지지된 진동막 전극을 구비하고, 상기 고정전극과 상기 진동막 전극간의 정전용량의 변화를 진동신호로서 출력 가능한 진동센서로서,

상기 진동막 전극의 막면방향을 따라서 변위하는 상기 추체의 단부에 맞닿아 상기 추체의 변위를 규제 가능한 규제부재가, 상기 진동막 전극의 막면과 간격을 두는 상태로 상기 추체의 단부에 대해서 부분적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동센서.
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 진동막 전극의 막면방향으로 직교하는 방향을 따라서 변위하는 상기 추체의 표면에 맞닿아 상기 추체의 변위를 규제 가능한 제 2의 규제부재가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동센서.
제 3항에 있어서, 상기 진동신호의 출력회로가 실장된 회로기판을 구비하고, 상기 회로기판 혹은 상기 회로기판 위에 탑재된 전기부품이 상기 제 2의 규제부재에 겸용 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동센서.
고정전극과, 상기 고정전극에 대향하는 쪽과는 반대쪽의 막면에 추체가 부설되고 또한 주위를 고정 지지된 진동막 전극을 구비하고, 상기 고정전극과 상기 진동막 전극간의 정전용량의 변화를 진동신호로서 출력 가능한 진동센서로서,

상기 진동막 전극과 접하는 상기 추체의 모서리부분이, 상기 진동막 전극의 막면에 대해서 둔각을 이루는 단면형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동센서.
삭제