JPH1095690A

JPH1095690A - 単結晶引き上げ装置

Info

Publication number: JPH1095690A
Application number: JP26675596A
Authority: JP
Inventors: Hideki Fujiwara; 秀樹藤原
Original assignee: Sumitomo Sitix Corp
Current assignee: Nippon Steel Corp
Priority date: 1996-09-17
Filing date: 1996-09-17
Publication date: 1998-04-14

Abstract

(57)【要約】【課題】大型単結晶を引き上げるため、ネックの下方
に拡大部及び縮小部を形成し、縮小部を係合して単結晶
を引き上げる装置が開示されているが、この装置は係合
力が弱く、またその機構が複雑で、高温雰囲気下では故
障等が発生し易かった。また、縮小部を保持するための
機構と単結晶を引き上げるための引き上げ軸とが独立に
昇降する単結晶引き上げ装置も開示されているが、これ
らの装置においては、昇降速度や回転数の同期をとるの
が難しく、また、中心軸にわずかのずれが生じても単結
晶を確実に保持するのが難しかった。【解決手段】単結晶保持手段１１が単結晶２６の係合
部２６ｂを両側から包み込む１対の把持部１４ａ、１４
ｂを含んで構成され、さらにこれら１対の把持部１４
ａ、１４ｂを待機位置から係合部把持位置に移動させる
押圧部材１９を備えている単結晶引き上げ装置１０を使
用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、単結晶引き上げ装
置に関し、より詳細には、チョクラルスキー法（以下、
ＣＺ法と記す）に代表される引き上げ法により、シリコ
ン等からなる単結晶を引き上げる際に使用される、単結
晶引き上げ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、ＬＳＩ（大規模集積回路）等の回
路素子形成用基板の製造に使用されているシリコン単結
晶の大部分は、ＣＺ法により引き上げられたシリコン単
結晶である。図４は、このＣＺ法に用いられる、従来の
単結晶引き上げ装置を模式的に示した断面図であり、図
中２１は、坩堝を示している。

【０００３】この坩堝２１は、有底円筒形状の石英製坩
堝２１ａと、この石英製坩堝２１ａの外側に嵌合され
た、同じく有底円筒形状の黒鉛製坩堝２１ｂとから構成
されており、また、黒鉛製坩堝２１ｂは黒鉛製の嵌合部
材２８ａに嵌合されている。そして、これら坩堝２１及
び嵌合部材２８ａは、図中の矢印方向に所定の速度で回
転する、支持軸２８に支持されている。この坩堝２１の
外側には、抵抗加熱式のヒータ２２、ヒータ２２の外側
には、保温筒２７が同心円状に配置されており、坩堝２
１内にはこのヒータ２２により溶融させた結晶用原料の
溶融液２３が充填されている。また、坩堝２１の中心軸
上には、引き上げ棒あるいはワイヤー等からなる、引き
上げ軸２４が吊設されており、この引き上げ軸２４の先
に、保持具３４ａを介して、種結晶３５が取り付けられ
るようになっている。また、これら部材は、圧力の制御
が可能な水冷式のチャンバ３９内に納められている。

【０００４】上記した単結晶引き上げ装置３０を用いて
単結晶３６を引き上げる際には、まずチャンバ３９内を
減圧した後、ヒータ２２により結晶用原料を溶融させ、
しばらく放置して溶融液２３中のガスを十分に放出さ
せ、その後、不活性ガスを導入して減圧の不活性ガス雰
囲気とする。

【０００５】次に、支持軸２８と同一軸心で逆方向に所
定の速度で引き上げ軸２４を回転させながら、保持具３
４ａに取り付けられた種結晶３５を降下させて溶融液２
３に着液させ、単結晶３６の引き上げを開始する。次
に、種結晶３５の先端に結晶を成長させてゆくが、この
とき、所定径になるまで結晶を細く絞り、ネック３６ａ
を形成する。

【０００６】次に、ネック３６ａを所定の径まで成長さ
せ、ショルダ３６ｂを形成した後、一定の径、所定長さ
のメインボディ３６ｃを形成する。その後、単結晶３６
の直径を徐々に絞って、終端コーンを形成した後、単結
晶３６を溶融液２３から切り離す。

【０００７】上記した従来の単結晶引き上げ方法におい
ては、種結晶３５を溶融液２３に着液させた際、熱ショ
ックにより導入される転位を排除するために種結晶３５
の下方にネック３６ａを形成していた。通常、このネッ
ク３６ａの直径は３ｍｍ程度でその長さは３０ｍｍ程度
であり、直径が約６インチ、重量が８０ｋｇ程度の単結
晶３６を引き上げる際には、上記したネック３６ａの直
径であっても、引き上げる単結晶３６を十分に支持する
ことができた。

【０００８】しかしながら、近年の半導体デバイスの生
産性の効率化、及び低コスト化に対応して、ウエハも大
口径化が要求されてきており、最近では、例えば直径約
１２インチ（３００ｍｍ）、重量が３００ｋｇ程度の単
結晶の製造が望まれている。この場合、従来のネック３
６ａの直径（通常３ｍｍ程度）では、ネック３６ａが引
き上げられる単結晶３６の重さに耐えられずに破損し、
単結晶３６が落下してしまうという問題があった。

【０００９】上記問題を解決するために、ネックの下に
一旦単結晶の径を次第に拡大させた拡大部を形成した
後、次第に径を縮小させた縮小部を形成し、この縮小部
を支持装置により支持しながら単結晶を引き上げる方法
が開示されている。

【００１０】図５は、従来のこの種の単結晶支持装置が
組み込まれた単結晶引き上げ装置を模式的に示した断面
図であり（特公平７−５１５号公報）、図中５１は坩堝
を示している。

【００１１】略有底円筒形状の坩堝５１内には単結晶原
料を溶融させた溶融液５３が充填されるようになってい
る。坩堝５１の上方には引き上げ用ワイヤ４１ａが吊設
されており、この引き上げ用ワイヤ４１ａはワイヤ駆動
部４７により上下方向に移動させられると共に、矢印Ａ
方向に回転させられるようになっている。引き上げ用ワ
イヤ４１ａ下端部には略丸棒形状の引き上げ軸４１ｂが
接続され、引き上げ軸４１ｂの外方には略パイプ形状の
ロータ４２がベアリング４２ａを介して回動可能に配設
されている。また引き上げ軸４１ｂ上部にはモータ４３
が取り付けられ、モータ４３はロータ４２上部に連結さ
れる一方、受信部４３ａと電気的に接続されている。そ
して送信手段（図示せず）を用いて単結晶引き上げ装置
４０の外方から送信された信号を受信部４３ａにおいて
受信すると、モータ４３が駆動してロータ４２が矢印Ｂ
またはＣ方向に回動するようになっている。またロータ
４２の外周には雄ねじ部４２ｂが形成され、雄ねじ部４
２ｂには略円板形状の支持部４４ａが螺合され、支持部
４４ａ下部からは略円筒形状の把持ホルダ４４ｂが延設
され、把持ホルダ４４ｂの内面には上下方向のガイド溝
４４ｃが対向して形成されている。また把持ホルダ４４
ｂ下部には複数個の切り欠き部４４ｄが形成され、切り
欠き部４４ｄ内には爪部４４ｅが回動可能に枢支され、
把持ホルダ４４ｂ下端部にはストッパ部４４ｆが形成さ
れており、爪部４４ｅは上方への回転が可能である一
方、下方への回転がストッパ部４４ｆにより規制される
ようになっている。把持手段４４は、これら支持部４４
ａ、把持ホルダ４４ｂ、爪部４４ｅ、ストッパ部４４ｆ
等を含んで構成されている。他方、引き上げ軸４１ｂ下
端部には保持具４１ｃが連結され、保持具４１ｃの外周
にはフランジ４５が固定され、このフランジ４５先端部
はガイド溝４４ｃ内に上下方向摺動可能に係合してお
り、ロータ４２が回転すると、把持手段４４の回転が規
制されつつ、把持手段４４が上下方向に移動するように
なっている。そして、単結晶支持装置４０ａは、これら
引き上げ軸４１ｂ、ロータ４２、モータ４３、把持手段
４４、フランジ４５等を含んで構成されている。また、
保持具４１ｃ下端部には種結晶４１ｄが取り付けられて
いる。

【００１２】このように構成された単結晶引き上げ装置
４０を用いて単結晶４６を引き上げる場合、モータ４３
を正転駆動させてロータ４２を例えば矢印Ｂ方向に回転
させ、これに螺合された把持手段４４を上方に移動させ
ておく。次にワイヤ駆動部４７を駆動させ、引き上げ用
ワイヤ４１ａ、引き上げ軸４１ｂを介して保持具４１ｃ
を下方に移動させ、種結晶４１ｄを溶融液５３に浸漬す
る。次にワイヤ駆動部４７を駆動させ、引き上げ用ワイ
ヤ４１ａを回転させつつ比較的速い速度で引き上げてゆ
くと、種結晶４１ｄ下端部からネック４６ａが形成され
る。次に速度を次第に遅くしながら引き上げ用ワイヤ４
１ａを引き上げてゆくと、次第に大きい直径を有する拡
大部４６ｂがネック４６ａの下方に形成される。この後
再び比較的速い速度で引き上げ用ワイヤ４１ａを引き上
げると、拡大部４６ｂよりも小さい直径の縮小部４６ｃ
がこの下方に形成され、次に速度を次第に遅くしながら
引き上げてゆくと、ショルダ部４６ｄが縮小部４６ｃの
下方に形成される。このとき前記送信手段を用いて受信
部４３ａに信号を送信すると、モータ４３が逆転駆動し
てロータ４２が矢印Ｃ方向に回転し、把持手段４４が下
方に移動させられ、爪部４４ｅが拡大部４６ｂ先端に当
接して、爪部４４ｅが拡大部４６ｂを逃げるかたちで相
対的に上方へ回転させられた後、縮小部４６ｃに係合す
る。次に、モータ４３を停止させた後、所定速度で引き
上げ用ワイヤ４１ａを引き上げてゆくと、単結晶支持装
置４０ａにより把持された状態で、所定直径のメインボ
ディ４６ｅがショルダ部４６ｄの下方に形成されてゆ
く。次に坩堝５１内の溶融液５３が所定量以下になった
ところで、比較的速い速度で引き上げ用ワイヤ４１ａを
引き上げると、テール部（図示せず）が形成されて溶融
液５３から切り離され、単結晶４６の引き上げが終了す
る。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上記単結晶引き上げ装
置４０を用いることにより、大型の単結晶４６の引き上
げが可能になるが、この単結晶引き上げ装置４０を構成
する単結晶支持装置４０ａは、爪部４４ｅで縮小部４４
ｃを把持する構造であるため、係合力が弱く、また爪部
４４ｅが破損しやすいという課題があった。

【００１４】また、単結晶支持装置４０ａは、その機構
が複雑で、溶融液５３のすぐ上方の高温の雰囲気中にこ
のような複雑な単結晶支持装置４０ａを配置した場合、
故障等が発生し易いという課題もあった。

【００１５】また、縮小部を保持するための機構と単結
晶を引き上げるための引き上げ軸とが独立に昇降する単
結晶引き上げ装置も開示されているが、これらの装置に
おいては、昇降速度や回転数の同期をとるのが難しく、
また、中心軸にわずかのずれが生じても単結晶を確実に
保持するのが難しいという課題もあった。

【００１６】本発明は、上記課題に鑑みなされたもので
あり、その機構が比較的簡単で、高温の雰囲気中におい
ても故障等が生じにくく、引き上げの初期段階において
保持具と単結晶保持手段との一体化を図ることにより、
回転速度や回転数の同期を特別にとる必要がなく、中心
軸のずれ等も生じず、確実に拡大部及び縮小部からなる
係合部を把持することができる単結晶引き上げ装置を提
供することを目的としている。

【００１７】

【課題を解決するための手段及びその効果】上記目的を
達成するために、本発明に係る単結晶引き上げ装置
（１）は、種結晶の下方にネックを有し、該ネックの下
方に拡大部及び縮小部よりなる係合部を有する単結晶に
おける前記係合部を保持しながら引き上げる単結晶保持
手段を備えた単結晶引き上げ装置であって、前記単結晶
保持手段が前記単結晶の前記係合部を両側から包み込む
１対の把持部を含んで構成され、さらにこれら１対の把
持部を待機位置から係合部把持位置に移動させる押圧手
段を備えていることを特徴としている。

【００１８】また、本発明に係る単結晶引き上げ装置
（２）は、上記単結晶引き上げ装置（１）において、単
結晶保持手段における把持部の内側形状が係合部の外形
と略同一であることを特徴としている。

【００１９】上記単結晶引き上げ装置（１）又は（２）
によれば、単結晶保持手段を構成する把持部を、押圧手
段により待機位置から係合部把持位置に移動させること
により、単結晶に形成された前記係合部を前記把持部に
より確実に把持（保持）することができる。また、前記
単結晶保持手段は前記押圧手段により押圧するのみで、
前記係合部を把持することができるという簡単な機構で
構成されており、高温下においても故障が少ない。従っ
て、上記単結晶引き上げ装置を用いることにより、大重
量の単結晶を安全かつ確実に引き上げることができる。

【００２０】また、本発明に係る単結晶引き上げ装置
（３）は、上記単結晶引き上げ装置（１）又は（２）に
おいて、単結晶保持手段における１対の把持部を含む把
持部材が把持部材支持用円板に移動可能に支持され、か
つ連結機構により、これら１対の把持部が、単結晶の中
心に対し常に対称的に移動するように構成されているこ
とを特徴としている。

【００２１】上記単結晶引き上げ装置（３）によれば、
前記単結晶保持手段を構成する前記把持部が両側から単
結晶の中心に対して対称的に移動して前記係合部を包み
込むように把持するので、前記係合部を把持した際に単
結晶が破損したりすることがなく、安全かつ確実に単結
晶を保持することができる。

【００２２】また、本発明に係る単結晶引き上げ装置
（４）は、上記単結晶引き上げ装置（１）〜（３）のい
ずれかにおいて、種結晶保持具と単結晶保持手段との一
体化が図られた後、把持部が係合部を把持するように構
成されていることを特徴としている。

【００２３】上記単結晶引き上げ装置（４）によれば、
単結晶引き上げの初期に近い段階で前記保持具と前記単
結晶保持手段とが一体化するので、回転速度や回転数の
同期を特別にとる必要がなく、中心軸のずれ等も生じに
くく、容易に特性に優れた単結晶を引き上げることがで
きる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る単結晶引き上
げ装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。

【００２５】本実施の形態に係る単結晶引き上げ装置
は、１２インチ以上の大口径、大重量の単結晶の引き上
げを前提としている。

【００２６】図１は、実施の形態に係る単結晶引き上げ
装置を模式的に示した縦断面図であり、図２（ａ）は、
単結晶保持手段を構成する把持部材を模式的に示した正
面図であり、（ｂ）はその側面図であり、（ｃ）はその
平面図である。また、図３は、前記単結晶保持手段を模
式的に示した平面図である。

【００２７】本実施の形態に係る単結晶引き上げ装置１
０においては、図１に示したようにネック２６ａの下方
に拡大部２６０ｂ及び縮小部２６５ｂからなる係合部２
６ｂを有する単結晶２６を引き上げる際に、係合部２６
ｂを把持しながら引き上げる単結晶保持手段１１を備え
ているが、その他の部材は図４に示した単結晶引き上げ
装置３０と同様に構成されている。従って、単結晶保持
手段１１及び単結晶保持手段１１に関係する部材以外の
説明を、ここでは省略する。

【００２８】単結晶保持手段１１は、把持部材１２ａ、
１２ｂ、把持部材支持用円板１８、連結部材１６ａ、１
６ｂ、支持用補助部材１５ａを含んで構成されており、
この単結晶保持手段１１は、単結晶２６を所定の位置に
引き上げるまでは所定の位置で待機するようになってい
る。

【００２９】ガイド２０はプルチャンバ２９ａ下部の左
右の内壁に設置され、把持部材支持用円板１８がこのガ
イド２０上に載置されている。把持部材支持用円板１８
は、ガイド２０の下方には移動しないが、上方には自由
に移動できるようになっている。図３に示したように、
把持部材支持用円板１８の中心軸部分には貫通孔１８ａ
が形成され、引き上げ軸２４が貫通しており、この貫通
孔１８ａの左右には、引き上げ軸２４に関して対称的
に、横方向に細長い形状の貫通孔１８ｂ、１８ｃが形成
され、さらに貫通孔１８ｂ、１８ｃの横方向の中心軸を
結ぶ線に対して直角方向に縦に細長い形状の貫通孔１８
ｄが形成されている。

【００３０】貫通孔１８ｂ、１８ｃには、把持部材１２
ａ、１２ｂを構成するアーム部１３ａ、１３ｂの上部が
貫通しており、このアーム部１３ａ、１３ｂに配設さ
れ、把持部材支持用円板１８を上下から挟むようにして
アーム部１３ａ、１３ｂを支持する支持用補助部材１５
ａにより、把持部材１２ａ、１２ｂが支持されている。
また、アーム部１３ａ、１３ｂは、支持用補助部材１５
ａに支持された状態で左右に自由に移動することができ
るようになっている。把持部材１２ａは、図２に示した
ように、下部の把持部１４ａの内側形状が係合部２６ｂ
の外形の一部と略同一となっており、係合部２６ｂの両
側に配置された１対の把持部材１２ａ、１２ｂにより係
合部２６ｂを包み込むように把持するようになってい
る。

【００３１】また、把持部材１２ａを構成するそれぞれ
のアーム部１３ａ、１３ｂの上端には、棒状の連結部材
１６ａ、１６ｂの一端部が止めネジ１５ｂにより回転自
在に取り付けられ、これら連結部材１６ａ、１６ｂの他
端は共に、貫通孔１８ｄに取り付けられた連結部材支持
棒１６ｃ（図１）に回転自在に取り付けられ、連結され
ている。連結部材支持棒１６ｃも、貫通孔１８ｄの内部
を自由に移動できるようになっている。

【００３２】従って、把持部材１２ａを構成するアーム
部１３ａを引き上げ軸２４の方向に移動させると、連結
部材支持棒１６ｃが貫通孔１８ｄの内部を外側に向かっ
て移動し、それに伴いアーム部１３ｂが貫通孔１８ｃ内
を引き上げ軸２４の方向に向かって移動する。貫通孔１
８ｂ、１８ｃは中心軸に対称に形成されており、連結部
材１６ａ、１６ｂは引き上げ軸２４と貫通孔１８ｄの中
心軸を結ぶ線に対称に配置されており、アーム部１３
ａ、１３ｂは、引き上げ軸２４に対して、常に対称的に
移動するように構成されている。

【００３３】単結晶２６の引き上げ前や、引き上げを開
始してからしばらくの間は、アーム１３ａ、１３ｂを貫
通孔１８ｂ、１８ｃの左右の端部（待機位置）で待機さ
せておき、単結晶２６を保持する必要が生じた場合に
は、プルチャンバ２９ａの下部に配置した押圧手段（図
示せず）を構成する押圧部材１９を内側に押し出すこと
により、アーム１３ａ、１３ｂを貫通孔１８ｂ、１８ｃ
内の引き上げ軸２４側の端部に移動させ、係合部把持位
置にする。このとき、連結部材支持棒１６ｃは、貫通孔
１８ｄを外側に向かって移動して、外側の端部に達した
とき、バネ１８ｆに取り付けられた固定用部材１８ｅが
機能して、連結部材支持棒１６ｃが固定され、それに伴
いアーム部１３ａ、１３ｂも固定される。

【００３４】上記操作により、アーム部１３ａ、１３ｂ
の下端に配設された把持部１４ａ、１４ｂが単結晶２６
に形成された係合部２６ｂを両側から包み込むように把
持し、単結晶２６を保持する。この後、単結晶保持手段
１１は単結晶２６を保持した状態で、保持具２４ａや引
き上げ軸２４等と一体化し、引き上げ軸２４を引き上げ
るにつれ、上昇していく。

【００３５】次に、単結晶保持手段１１を使用した単結
晶の引き上げ方法について説明する。単結晶２６の引き
上げを行う前の段階において、単結晶保持手段１１をチ
ャンバ２９内に設置し、アーム１３ａ、１３ｂを貫通孔
１８ｂ、１８ｃの左右の端部の位置（待機位置）にして
おく。引き上げ軸２４は把持部材支持用円板１８の貫通
孔１８ａを貫通しており、引き上げ軸２４の下端には種
結晶２５を保持した保持具２４ａが吊設されている。保
持具２４ａ等は通常の単結晶引き上げ装置３０と同様に
回転や引き上げを自由に行うことができる。

【００３６】まず、従来の方法と同様に坩堝２１の溶融
液２３に種結晶２５を着液させ、種結晶２５の下方にネ
ック２６ａを形成する。次に、引き上げ軸２４の引き上
げ速度を遅くし、径を次第に大きくして拡大部２６０ｂ
をネック２６ａの下方に形成し、続いて、再び比較的速
い速度で引き上げ軸２４を引き上げ、径を次第に小さく
して縮小部２６５ｂを形成する。

【００３７】この拡大部２６０ｂ及び縮小部２６５ｂ
（係合部２６ｂ）を形成した後、引き上げ速度を次第に
遅くすることにより、ショルダ２６ｃを形成し、次に一
定直径のメインボディ２６ｄを形成する。そして、ある
程度の高さまで保持具２４ａが上昇すると、保持具２４
ａが単結晶保持手段１１を構成する把持部材支持用円板
１８に当接するようになる。このとき、把持部１４ａ、
１４ｂを係合部把持位置に移動させると、丁度把持部１
４ａ、１４ｂが係合部２６ｂを把持するように種結晶２
５から係合部２６ｂまでの長さを制御しておく。従っ
て、押圧部材１９を用いてアーム部１３ａ、１３ｂ及び
把持部１４ａ、１４ｂを待機位置から係合部把持位置に
移動させると、把持部１４ａ、１４ｂが係合部２６ｂを
把持し、単結晶２６を保持するようになる。

【００３８】この後、保持具２４ａや引き上げ軸２４等
と単結晶保持手段１１とは一体化し、引き上げ軸２４を
引き上げるに従って単結晶保持手段１１も同速度で上昇
する。また、引き上げ軸２４を回転させることにより、
単結晶保持手段１１も同速度で回転する。従って、この
後は、従来の場合と同様の条件で単結晶２６を引き上げ
ればよく、引き上げの際、単結晶２６は単結晶保持手段
１１により保持されているため大重量の単結晶２６であ
っても、破損等の事故を発生させることなく、容易に引
き上げることができる。また、何らかの原因で、ネック
２６ａは破損した場合でも、単結晶２６は単結晶保持手
段１１により保持されているため落下することはなく、
そのまま安全に引き上げを続行することができる。

【００３９】上記したように、保持具２４ａが把持部材
支持用円板１８に当接した後は、保持具２４ａ等と単結
晶保持手段１１とが一体化するため、あらためて別の操
作を行わなくても昇降速度や回転数の同期がとれてお
り、引き上げ軸２４と単結晶保持手段１１との中心軸が
ずれるという虞れもない。また、単結晶保持手段１１の
機構が比較的簡単であるため、高温の雰囲気中において
も故障等が生じにくい。

【００４０】また、アーム部１３ａ、１３ｂを待機位置
から係合部把持位置に移動させる手段も、図１に示した
押圧部材１９を含む押圧手段に限られない。例えば、ア
ーム部１３ａ、１３ｂの上端に歯車、及びモータを配設
し、把持部材支持用円板１８上に固定された歯車（ラッ
ク）と組み合わすことによりアーム部１３ａ、１３ｂを
移動させるようにしてもよい。

【００４１】

【実施例及び比較例】以下、実施例に係る単結晶引き上
げ装置を図面に基づいて説明する。

【００４２】上記実施形態で説明した方法により単結晶
２６を引き上げた。表１〜表５にその条件を記載する。

【００４３】

【表１】

【００４４】

【表２】

【００４５】

【表３】

【００４６】

【表４】

【００４７】

【表５】

【００４８】＜実施例の結果＞単結晶２６の引き上げ時
及び取り出し時にネック２６ａが破断することはなく、
安全に単結晶２６の引き上げ作業を行うことができた。
また、引き上げた単結晶２６のネック２６ａを人為的に
破断したが、単結晶２６が落下することはなく、単結晶
保持手段１１による単結晶２６の保持が確実に行われて
いることを確認することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る単結晶引き上げ装置
を、模式的に示した縦断面図である。

【図２】（ａ）は、実施の形態に係る単結晶引き上げ装
置において、単結晶保持手段を構成する把持部材を模式
的に示した正面図であり、（ｂ）はその側面図であり、
（ｃ）は平面図である。

【図３】実施の形態に係る単結晶引き上げ装置を構成す
る単結晶保持手段を、模式的に示した平面図である。

【図４】従来の単結晶引き上げ装置を、模式的に示した
断面図である。

【図５】従来の別の単結晶引き上げ装置を、模式的に示
した断面図である。

【符号の説明】

１０単結晶引き上げ装置１１単結晶保持手段１２ａ、１２ｂ把持部材１４ａ、１４ｂ把持部１６ａ、１６ｂ連結部材１８把持部材支持用円板１９押圧部材２４ａ保持具２５種結晶２６単結晶２６ａネック２６ｂ係合部２６０ｂ拡大部２６５ｂ縮小部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】種結晶の下方にネックを有し、該ネック
の下方に拡大部及び縮小部よりなる係合部を有する単結
晶における前記係合部を保持しながら引き上げる単結晶
保持手段を備えた単結晶引き上げ装置であって、前記単
結晶保持手段が前記単結晶の前記係合部を両側から包み
込む１対の把持部を含んで構成され、さらにこれら１対
の把持部を待機位置から係合部把持位置に移動させる押
圧手段を備えていることを特徴とする単結晶引き上げ装
置。
【請求項２】単結晶保持手段における把持部の内側形
状が係合部の外形と略同一であることを特徴とする請求
項１記載の単結晶引き上げ装置。
【請求項３】単結晶保持手段における１対の把持部を
含む把持部材が把持部材支持用円板に移動可能に支持さ
れ、かつ連結機構により、これら１対の把持部が、単結
晶の中心に対し常に対称的に移動するように構成されて
いることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の単結
晶引き上げ装置。
【請求項４】種結晶保持具と単結晶保持手段との一体
化が図られた後、把持部が係合部を把持するように構成
されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかの
項に記載の単結晶引き上げ装置。