JPH1090906A

JPH1090906A - 感光性フィルム及びこれを用いたカラーフィルタの製造法

Info

Publication number: JPH1090906A
Application number: JP24089696A
Authority: JP
Inventors: Manabu Saito; 学斉藤; Hiroshi Yamazaki; 宏山崎; Hiromi Furubayashi; 寛巳古林; Tadahiro Tanigawa; 直裕谷川
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date: 1996-09-12
Filing date: 1996-09-12
Publication date: 1998-04-10

Abstract

(57)【要約】【課題】着色された感光性樹脂層からクッション層を
容易に剥離することができ、段差が少なく、高精度のパ
ターンを生産性よく製造できるカラーフィルタの製造に
好適な感光性フィルム及びカラーフィルタの製造法を提
供する。【解決手段】（ａ）透明支持体フィルム、（ｂ）クッ
ション層及び（ｃ）着色された感光性樹脂層を順次積層
してなる感光性フィルムにおいて、（ｂ）クッション層
中にワックスを含有する感光性フィルム並びに（Ｉ）前
記感光性フィルムを、（ｃ）着色された感光性樹脂層
が、透明基板上に接するように張り合わせる工程、（I
I）（ａ）透明支持体フィルム及び（ｂ）クッション層
を剥離する工程並びに（III）（ｃ）着色された感光性
樹脂層をパターン状に露光、現像する工程を含む工程を
繰り返すことにより、多色のパターンを形成することを
特徴とするカラーフィルタの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性フィルム及
びこれを用いたカラーフィルタの製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶カラーテレビ、液晶カラー表
示のコンピューター等が実用化されているが、これらの
液晶表示装置は、透明電極を設けたガラス等の透明な基
板を１〜１０μｍ程度の間隔を設けて、その間に液晶物
質を封入し、電極間の印加した電圧により液晶物質を配
向しその濃淡により表示する仕組になっている。さら
に、カラー表示のため、ガラス等の光学的に透明な基板
の表面に２種以上の色相を異にする、極めて微細なスト
ライプ状又はモザイク状のパターンを一定間隔に開け
て、平行又は交差して並べたカラーフィルタを設置して
いる。

【０００３】カラーフィルタは、通常、透明基板、着色
パターン、保護膜、透明電極の順に形成されている。着
色パターンは２種以上の色相を異にする極めて微細なス
トライプ状またはモザイク状のパターンからなるもので
ある。これらのパターンは、色相を所定の順序に所定の
間隔をおいて整然と配置し、しかも厚さむらの少ない均
一な層とする必要があり、種々のカラーフィルタの製造
法が提案されている。例えば、スクリーン印刷法では、
低コストのカラーフィルタの形成が可能である。また、
フォトリソグラフィ技術を用いる方法、すなわち、カラ
ーフィルタ用基板上に形成された透明膜に、所定のネガ
マスクを通して紫外線照射し、未露光部を除去した後、
防染層を形成しながら染色する方法が有る。

【０００４】前記の方法の改良方法として、基板上に着
色した溶液状感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥した後、
露光、現像して一色のパターンを形成させ、この工程を
他の色についても同様に繰り返し行ってカラーフィルタ
を形成する方法がある。また、現在プリント配線板製造
時のエッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジ
スト等に一般に使用されている透明支持体フィルム及び
感光性樹脂層からなる感光性フィルムを使用した多色の
微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを簡単に
高精度で形成できるカラーフィルタの製造法が知られて
いる。また、透明基板上に、支持体フィルムと一色に着
色された感光性樹脂層とからなる感光性フィルムを、着
色された感光性樹脂層が基板に面するように貼り合わせ
る工程、露光して所定のパターンを形成させる工程及び
前記支持体フィルムを剥がして現像する工程を繰り返し
て多色パターンを形成させてカラーフィルタが製造され
る。

【０００５】例えば、一つの色相着色剤を含む感光性樹
脂層を、透明支持体フィルムに塗布乾燥した感光性フィ
ルムの感光性樹脂層を透明基板上に転写して、所定のパ
ターンのマスクを介して露光・現像してパターンを形成
する方法（特開昭６１−９９１０２号公報）が知られて
いる。また、このフィルムに所定のパターンのマスクを
介して露光、現像してパターンを形成した後、透明基板
上に転写してカラーフィルタのパターンを形成する方法
（特開昭６１−９９１０３号公報）及びこのフィルムを
透明基板上に加熱圧着して、所定のパターンのマスクを
介して露光して、支持体フィルムを剥離し、現像して透
明着色の画像パターンを形成する方法（特開昭６３−１
８７２０３号公報）が知られている。また、着色感光性
樹脂層の上にポリ酢酸ビニル共重合体の接着体を構成し
た感光性フィルムを用いて、特開昭６３−１８７２０３
号公報と同様の方法でカラーフィルタのパターンを形成
する方法（特開平２−２４６２４号公報）が知られてい
る。

【０００６】しかしながら、感光性フィルムを用いたカ
ラーフィルタの製造法においては、多色の内二色目以降
を感光性フィルムのラミネート（積層）で形成するた
め、どうしても既に形成されてパターンが影響し、表面
の段差が発生する問題がある。この段差は、後の工程の
透明樹脂からなるオーバーコート層の塗布むらやその後
のスパッタリングによるＩｎ₂Ｏ₃−ＳｎＯ₂系の電極形
成不良による高抵抗化の問題がある。また、直接に画像
の荒れとして現れることもある。この段差を低減するた
めに、着色感光性樹脂層と透明支持体の間に熱可塑性の
樹脂層を設け、ラミネート時の圧力と温度で平坦化する
方法（特開平４−２０８９４０号公報、特開平７−２０
３０９号公報等）が提案されている。この方法では、着
色感光性樹脂層とクッション層が密着しているため、ク
ッション層の上に所定のパターンのマスクを介して露光
しなければならなく、著しい解像度不足を招く結果とな
っている。このため露光前に透明支持体フィルムと一緒
にクッション層を剥離する方法が提案されている。

【０００７】しかし、この方法では、透明支持体フィル
ムとクッション層を剥離する際に着色感光性樹脂層とク
ッション層の密着が強く、着色感光性樹脂層が透明基板
上に残らない問題がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】請求項１記載の発明
は、着色された感光性樹脂層からクッション層を容易に
剥離することができ、段差が少なく、高精度のパターン
を生産性よく製造できるカラーフィルタの製造に好適な
感光性フィルムを提供するものである。請求項２記載の
発明は、請求項１記載の発明の効果を奏し、より剥離性
が優れる感光性フィルムを提供するものである。請求項
３記載の発明は、請求項１又は２記載の発明の効果を奏
し、より剥離性が優れる感光性フィルムを提供するもの
である。請求項４記載の発明は、請求項１、２又は３記
載の発明の効果を奏し、さらに作業性、環境安全性等が
優れる感光性フィルムを提供するものである。請求項５
記載の発明は、着色された感光性樹脂層からクッション
層を容易に剥離することができ、段差が少なく、高精度
のパターンを生産性よく製造できるカラーフィルタの製
造法を提供するものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、（ａ）透明支
持体フィルム、（ｂ）クッション層及び（ｃ）着色され
た感光性樹脂層を順次積層してなる感光性フィルムにお
いて、（ｂ）クッション層中にワックスを含有する感光
性フィルムに関する。また、本発明は、ワックスの配合
量が、（ｂ）クッション層の総量を１００重量部とし
て、１．０〜５０重量部である前記感光性フィルムに関
する。また、本発明は、ワックスが、パラフィン系ワッ
クスである前記感光性フィルムに関する。

【００１０】また、本発明は、（ｃ）着色された感光性
樹脂層が、（Ａ）カルボキシル基を有する有機高分子化
合物、（Ｂ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合
物、（Ｃ）光重合開始剤及び（Ｄ）顔料又は染料を含有
するものである前記感光性フィルムに関する。また、本
発明は、（Ｉ）前記感光性フィルムを、（ｃ）着色され
た感光性樹脂層が、透明基板上に接するように張り合わ
せる工程、（II）（ａ）透明支持体フィルム及び（ｂ）
クッション層を剥離する工程並びに（III）（ｃ）着色
された感光性樹脂層をパターン状に露光、現像する工程
を含む工程を繰り返すことにより、多色のパターンを形
成することを特徴とするカラーフィルタの製造法に関す
る。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明は、（ａ）透明支持体フィ
ルム、（ｂ）クッション層及び（ｃ）着色された感光性
樹脂層を順次積層してなる感光性フィルムであり、
（ｂ）クッション層中にワックスを含有するものであ
る。本発明における（ａ）透明支持体フィルム、として
は、厚さが２〜１００μｍ程度のポリエステルフィルム
を使用することができ、具体的には、帝人製テトロンフ
ィルム、デュポン社製マイラーフィルム等のポリエステ
ルフィルムなどが挙げられる。

【００１２】本発明における（ｂ）クッション層は、ワ
ックスを必須成分として含有するものである。本発明に
おけるワックスとしては、特に制限はなく、例えば、高
位脂肪酸と高級一価アルコールからなる固形エステル、
パラフィン系ワックス、動植物体の表面等から得られる
カルナバろう、鯨ろう、蜜ろうも等が挙げられ、中で
も、パラフィン系ワックスが好ましいものとして挙げら
れる。本発明における（ｂ）クッション層には、必須成
分であるワックスの他に、通常、熱可塑性樹脂が用いら
れる。熱可塑性樹脂としては、感光性フィルムの張り合
わせ（ラミネート）時に軟化するものであれば特に制限
はなく、公知のものを使用できるが、例えば、ポリエチ
レン、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレンエチ
ルアクリレート共重合体樹脂、エチレンメタクリル酸共
重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、アイオノマー樹脂等
が挙げられる。

【００１３】これらの樹脂の軟化点は、２３〜１５０℃
であることが好ましく、５０〜１２０℃であることがよ
り好ましい。この軟化点が２３℃未満では、感光性フィ
ルムの取扱性が劣る傾向があり、１５０℃を超えると、
感光性フィルムを透明基板に張り合わせる時に、（ｂ）
クッション層を軟化させようとして高温にした際に、感
光性フィルムの（ｃ）着色された感光性樹脂層が、所望
しない熱硬化を起こしたり、透明基板にダメージを与え
たりする傾向がある。

【００１４】本発明における（ｂ）クッション層におい
て、ワックスの配合量は、（ｂ）クッション層の総量を
１００重量部として、１．０〜５０重量部とすることが
好ましく、１．０〜２０重量部とすることがより好まし
い。この配合量が１．０重量部未満では、（ｂ）クッシ
ョン層と後述する（ｃ）着色された感光性樹脂層との密
着が強くなり、（ｂ）クッション層の剥離の際に、
（ｃ）着色された感光性樹脂層が同時に剥離してしまう
傾向があり、５０重量部を超えると、（ｂ）クッション
層の形成性が劣る傾向がある。

【００１５】本発明における（ｃ）着色された感光性樹
脂層は、紫外線により露光され、アルカリ水溶液で現像
可能な樹脂であることが好ましく、例えば、（Ａ）カル
ボキシル基を有する有機高分子化合物、（Ｂ）エチレン
性不飽和基を有する光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始
剤及び（Ｄ）顔料又は染料を含有するものであることが
より好ましい。

【００１６】本発明における（Ａ）カルボキシル基を有
する有機高分子化合物としては、例えば、アクリル酸ア
ルキルエステル又はメタクリル酸アルキルエステルと、
アクリル酸又はメタクリル酸との共重合体、アクリル酸
アルキルエステル又はメタクリル酸アルキルエステル
と、アクリル酸又はメタクリル酸と、これらと共重合し
得るビニルモノマとの共重合体等が挙げられる。

【００１７】アクリル酸アルキルエステル又はメタクリ
ル酸アルキルエステルとしては、例えば、アクリル酸メ
チル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタク
リル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチ
ル、アクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル酸２−
エチルヘキシル等が挙げられる。

【００１８】また、アクリル酸アルキルエステル又はメ
タクリル酸アルキルエステルや、アクリル酸又はメタク
リル酸と、これらと共重合し得るビニルモノマとして
は、例えば、アクリル酸ジメチルエチル、メタクリル酸
ジメチルエチル、アクリル酸テトラヒドロフルフリル、
メタクリル酸テトラヒドロフルフリル、２，２，２−ト
リフルオロエチルアクリレート、２，２，２−トリフル
オロエチルメタクリレート、２，２，３，３−テトラフ
ルオロプロピルアクリレート、２，２，３，３−テトラ
フルオロプロピルメタクリレート、アクリルアミド、ジ
アセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等
が挙げられる。

【００１９】さらに、アクリル酸又はメタクリル酸を共
重合成分として含む、テレフタル酸、イソフタル酸、セ
バシン酸等のポリエステル、ブタジエンとアクリロニト
リルの共重合体、セルロースアセテート、セルロースア
セテートブチレート、メチルセルロース、エチルセルロ
ースなども使用することができる。

【００２０】本発明における（Ａ）カルボキシル基を有
する有機高分子化合物の重量平均分子量（ゲルパーミエ
ーションクロマトグラフィー法により測定し、標準ポリ
スチレン検量線を用いて換算した値）は、２０，０００
〜３００，０００とすることが好ましい。

【００２１】本発明における（Ｂ）エチレン性不飽和基
を有する光重合性化合物としては、例えば、多価アルコ
ールにα、β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化
合物（トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメ
チロールプロパンジメタクリレート、トリメチロールプ
ロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ
メタクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレ
ート、テトラメチロールメタントリメタクリレート、ジ
ペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサメタクリレート等）、グリシジル基
含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得ら
れる化合物（トリメチロールプロパントリグリシジルエ
ーテルトリアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジ
ルエーテルジアクリレート、ビスフェノールＡジグリシ
ジルエーテルジメタクリレート等）、多価カルボン酸
（無水フタル酸等）と水酸基及びエチレン性不飽和基を
有する化合物（β−ヒドロキシエチルアクリレート、β
−ヒドロキシエチルメタクリレート等）とのエステル化
合物、アクリル酸又はメタクリル酸のアルキルエステル
（アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸
エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタ
クリル酸ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル、メタ
クリル酸２−エチルヘキシル等）、トリメチルヘキサメ
チレンジイソシアナートと２価アルコールとアクリル酸
ヒドロキシモノエステル又はメタクリル酸ヒドロキシモ
ノエステルとを反応させて得られるウレタンジアクリレ
ート化合物等が挙げられる。これらは単独で又は２種類
以上を組み合わせて使用される。

【００２２】本発明における（Ｃ）光重合開始剤として
は、例えば、芳香族ケトン（ベンゾフェノン、４，４′
−ジメチルアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、
４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノン、４−メトキ
シ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−エチル
アントラキノン、フェナントレンキノン等）、ベンゾイ
ン（ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインフェニルエーテル等）、２，４，５−
トリアリールイミダゾール二量体（２−（ｏ−クロロフ
ェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２
−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシ
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、
２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メ
トキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二
量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェ
ニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフ
ェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２
−ジ（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフ
ェニルイミダゾール二量体等）などが挙げられる。これ
らは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００２３】本発明における（Ｄ）顔料又は染料として
は、特に制限はなく、公知の着色剤を使用することがで
き、感光性樹脂層の成分、特に、（Ａ）カルボキシル基
を有する有機高分子化合物又は（Ｂ）エチレン性不飽和
基を有する光重合性化合物に対する相容性、目標とする
色相、光透過性等を考慮して選択することができる。

【００２４】本発明における（Ａ）成分の配合量は、
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量を１００重量部とし
て、２０〜６０重量部とすることが好ましい。この配合
量が２０重量部未満では、塗膜性が不充分となる傾向が
あり、６０重量部を超えると、硬化物の膜特性が低下す
る傾向がある。

【００２５】本発明における（Ｂ）成分の配合量は、
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量を１００重量部とし
て、４０〜８０重量部とすることが好ましい。この配合
量が４０重量部未満では、光感度が不充分となる傾向が
あり、硬化物の膜特性が低下する傾向がある。また、８
０重量部を超えると、塗膜性が不充分となる傾向があ
る。

【００２６】本発明における（Ｃ）成分の配合量は、
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し
て、０．１〜３０重量部とすることが好ましい。この配
合量が０．１重量部未満では、光感度が不充分となる傾
向があり、３０重量部を超えると、露光の際、（ｃ）着
色された感光性樹脂層の表面での光吸収が増大し、内部
の光硬化が不充分となる傾向がある。

【００２７】本発明における（Ｄ）成分の配合量は、
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し
て、１〜５０重量部とすることが好ましい。この配合量
が１重量部未満では、着色が不充分となる傾向があり、
５０重量部を超えると、光透過率が低下する傾向があ
る。

【００２８】また、本発明における（ｃ）着色された感
光性樹脂層には、熱重合性成分安定剤、メラミン樹脂等
の熱硬化性樹脂などを含有することができる。

【００２９】本発明の感光性フィルムは、前記（ａ）透
明支持体フィルム上に、（ｂ）クッション層に使用され
る各成分を溶剤に溶解し、この溶液を塗布、乾燥して
（ｂ）クッション層を形成し、次いで、この（ｂ）クッ
ション層の上に、（ｃ）着色された感光性樹脂層に使用
される各成分を溶剤に溶解し、この溶液を塗布、乾燥し
て（ｃ）着色された感光性樹脂層を形成することにより
得ることができる。

【００３０】（ｂ）クッション層に使用される各成分及
び（ｃ）着色された感光性樹脂層に使用される各成分を
溶解する溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチ
ルケトン、トルエン、エチルセロソルブ、酢酸エチル、
酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、プロピレングリコールモノエチルエーテル等が挙げ
られる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて
使用される。

【００３１】（ｂ）クッション層の溶液及び（ｃ）着色
された感光性樹脂層の溶液を塗布する際の塗布方法とし
ては、例えば、ロールコータ法、コンマコータ法、グラ
ビアコータ法、エアーナイフコータ法、ダイコータ法、
バーコータ法等が挙げられる。（ｂ）クッション層及び
（ｃ）着色された感光性樹脂層の乾燥温度は、通常、４
０〜１５０℃であり、乾燥時間は、通常、２〜３０分間
である。

【００３２】本発明の感光性フィルムにおける（ｂ）ク
ッション層の膜厚は、３〜３０μｍとすることが好まし
く、５〜２０μｍとすることがより好ましい。この膜厚
が３μｍ未満では、（ｂ）クッション層を設けた効果が
小さくなり、（ｃ）着色された感光性樹脂層の１色目の
パターンの設けられた基板或いは１色目のパターン及び
２色目のパターンの設けられた基板の表面の凹凸への追
従性が不充分となる傾向があり、３０μｍを超えると、
コストアップとなる傾向がある。

【００３３】本発明の感光性フィルムにおける（ｃ）着
色された感光性樹脂層の膜厚は、０．５〜５．０μｍと
することが好ましく、１．０〜２．５μｍとすることが
より好ましい。この膜厚が０．５μｍ未満では、塗膜外
観不良（かすれ）及び色相調整不能となる傾向があり、
５．０μｍを超えると、コストアップ及び塗膜外観不良
（流れによるスジ）となる傾向がある。

【００３４】本発明の感光性フィルムには、（ｃ）着色
された感光性樹脂層を保護のために、前記（ｃ）着色さ
れた感光性樹脂層の上に、さらに保護フィルムを積層す
ることが好ましい。保護フィルムとしては、例えば、ポ
リエステルフィルム、ポリオレフィンフィルム等が使用
できるが、価格、柔軟性、強度、硬度等の点から、ポリ
オレフィンフィルムが好ましく、ポリエチレンフィルム
がより好ましい。また、保護フィルムの厚さは、１０〜
４０μｍとすることが好ましい。保護フィルムの厚さが
１０μｍ未満では、取扱性が劣る傾向があり、４０μｍ
を超えると、コストアップとなる傾向がある。

【００３５】また、本発明の感光性フィルムは、（ａ）
透明支持体フィルム上に、（ｂ）クッション層に使用さ
れる各成分を溶剤に溶解し、この溶液を塗布、乾燥して
（ｂ）クッション層を形成したものと、別途（ａ）透明
支持体フィルム上に、（ｃ）着色された感光性樹脂層に
使用される各成分を溶剤に溶解し、この溶液を塗布、乾
燥して（ｃ）着色された感光性樹脂層を形成したものと
を、（ｂ）クッション層と（ｃ）着色された感光性樹脂
層を接するようにして張り合わせることにより得ること
もできる。

【００３６】このようにして得られた本発明の感光性フ
ィルムは、ロール状にして、保管することが可能であ
る。

【００３７】本発明のカラーフィルタの製造法は、
（Ｉ）前記本発明の感光性フィルムを、（ｃ）着色され
た感光性樹脂層が、透明基板上に接するように張り合わ
せる工程、（II）（ａ）透明支持体フィルム及び（ｂ）
クッション層を剥離する工程並びに（III）（ｃ）着色
された感光性樹脂層をパターン状に露光、現像する工程
を含む各工程を繰り返すことにより、多色のパターンを
形成することを特徴とする。

【００３８】本発明における透明基板としては、透明で
あれば特に制限はなく、その材質として、例えば、ガラ
ス、プラスチック等が挙げられる。以下、本発明のカラ
ーフィルタの製造法について詳述する。〔（Ｉ）前記本発明の感光性フィルムを、（ｃ）着色さ
れた感光性樹脂層が、透明基板上に接するように張り合
わせる工程〕まず、必要に応じてブラックマトリックス
を形成された透明基板を、必要に応じて加熱（１００〜
２００℃、３〜３０分間）した後、この透明基板上に、
（ｃ）着色された感光性樹脂層が接するように、感光性
フィルムの保護フィルムを剥がしながらラミネート（貼
合わせ）する。

【００３９】ラミネートは、通常、ホットロールと呼ば
れる加熱可能なロール又はヒートシューと呼ばれる加熱
用のジャケットとラミネートロールと呼ばれるロールに
より、（ｃ）着色された感光性樹脂層を加熱し、軟化し
ながら行う。ラミネート時のラミネート温度は、６０〜
１５０℃とすることが好ましく、ロール圧力は、９．８
×１０⁴〜４．９×１０⁵Paとすることが好ましく、ラミ
ネート速度は、０．５〜６．０ｍ／分とすることが好ま
しい。

【００４０】〔（II）（ａ）透明支持体フィルム及び
（ｂ）クッション層を剥離する工程〕前記（Ｉ）の工程
が終了した後、（ｃ）着色された感光性樹脂層上の、
（ｂ）クッション層を剥離することにより、（ａ）透明
支持体フィルム及び（ｂ）クッション層を同時に剥離す
ることができる。また、最初に（ａ）透明支持体フィル
ムを剥離し、次いで、（ｂ）クッション層を剥離するこ
ともできる。

【００４１】剥離方法としては、例えば、直線型針、鉤
型針等で、（ａ）透明支持体フィルム及び（ｂ）クッシ
ョン層の一方或いは両方を引っ掛けて、保獲／保持して
引っ張ることにより、（ａ）透明支持体フィルムと
（ｂ）クッション層を併せて一体で（ｃ）着色された感
光性樹脂層から引き剥がす方法又は（ａ）透明支持体フ
ィルムを（ｂ）クッション層から、（ｂ）クッション層
を（ｃ）着色された感光性樹脂層から別々に引き剥がす
方法、粘着面を有するプローブを（ａ）透明支持体フィ
ルムに粘着させて、保獲／保持して引っ張ることによ
り、（ａ）透明支持体フィルムと（ｂ）クッション層を
併せて一体で（ｃ）着色された感光性樹脂層から引き剥
がす方法又は粘着面を有するプローブを（ａ）透明支持
体フィルムに粘着させて、保獲／保持して引っ張って、
（ａ）透明支持体フィルムを（ｂ）クッション層から引
き剥がした後、（ｂ）クッション層に粘着面を有するプ
ローブを粘着させて、保獲／保持して引っ張ることによ
り、（ｂ）クッション層を（ｃ）着色された感光性樹脂
層から引き剥がす方法等により、物理的に剥離する方法
が挙げられる。

【００４２】〔（III）（ｃ）着色された感光性樹脂層
をパターン状に露光、現像する工程〕前記（II）の工程
が終了した後、（ｃ）着色された感光性樹脂層の上に、
所定のパターンのネガマスクを載せて、パターン状に露
光する。露光は、通常、専用の露光機を使用し、接触又
は非接触型のものを用いて行う。露光時の光源として
は、例えば、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライ
ドランプ、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射する
ものを用いることができる。次いで、未露光部分を現像
液で現像することにより除去して、着色パターンが形成
される。現像方法としては、例えば、ディップ法、スプ
レー法等が挙げられ、高解像度化には高圧スプレー法が
最適である。現像液としては、通常、アルカリ現像型で
は、１重量％の炭酸ナトリウム水溶液又は０．１重量％
のほう砂水溶液が用いられるが、現像液はアルカリ性で
あれば、これに限定されない。

【００４３】本発明における前記（Ｉ）の工程、（II）
の工程及び（III）の工程を、色の異なる本発明の感光
性フィルムを用いて、所定回数繰り返すことにより、多
色の着色パターンを形成させカラーフィルタを製造する
ことができる。また、本発明の感光性フィルムを使用す
ることにより、二色目以降の着色パターンを形成する際
に、特別な処理をすることなくパターンの段差を低減す
ることができる。

【００４４】

〔感光性フィルム（１）の作製〕

（ａ）透明支持体フィルムのポリエステルフィルム（５
０μｍ厚）上に、表１に示す（ｂ）クッション層の溶液
を、コンマコータで均一に塗布し、１００℃の熱風対流
式乾燥機で、１０分間乾燥して乾燥後の膜厚が２０μｍ
の（ｂ）クッション層を形成した。

【００４５】

【表１】

【００４６】次いで、この（ｂ）クッション層上に、表
２に示す（ｃ）着色された感光性樹脂組成物層の溶液
を、グラビアコータで均一に塗布し、１００℃の熱風対
流式乾燥機で、１０分間乾燥して乾燥後の膜厚が１．８
μｍの（ｃ）着色された感光性樹脂組成物層を形成した
後、厚さが３０μｍのポリエチレンフィルムを保護フィ
ルムとして積層し、感光性フィルム（１）を作製した。

【００４７】

【表２】

【００４８】〔感光性フィルム（２）の作製〕実施例１
において、表１に示す（ｂ）クッション層の溶液の配合
から、パラフィンワックスNo.１５５を除いた以外は、
実施例１と同様にして、感光性フィルム（２）を作製し
た。

【００４９】〔カラーフィルタの作製〕実施例２実施例１で得られた感光性フィルム（１）の（ｃ）着色
された感光性樹脂組成物層側の保護フィルムを剥がしな
がら、１５０℃で予め加熱したガラス基板上に、（ｃ）
着色された感光性樹脂組成物層を、ロール温度が１５０
℃、ロール圧力が６×１０⁵Pa、ラミネート速度が１．
０ｍ／分でラミネートした。次いで、（ａ）透明支持体
フィルム（ポリエステルフィルム）と（ｂ）クッション
層を剥離し、所定のパターンのネガマスクを通して、露
光機ＨＭＷ−２０１Ｂ（３kW、超高圧水銀灯、オーク製
作所製）を使用し、２００mJ/cm²の露光量で、パターン
状に露光した後、３０℃の０．０５重量％の炭酸ナトリ
ウム水溶液で、２０秒間スプレー現像して未露光部を除
去し、一色目の着色パターンを形成した。

【００５０】この着色パターンの形成工程を赤、青、緑
の順の各色の感光性フィルムを用いて３回繰り返し行
い、多色パターンを形成した。得られた多色パターン
は、整然と並んでおり、得られた膜厚も良好なものであ
った。また、（ａ）透明支持体フィルム及び（ｂ）クッ
ション層の剥離もスムーズに行なうことができた。次い
で、得られた多色パターンに１５０℃で４５分間加熱し
てカラーフィルタを得た。

【００５１】比較例２実施例２において、実施例１で得られた感光性フィルム
（１）を、比較例１で得られた感光性フィルム（２）に
代えた以外は、実施例２と同様にして、感光性フィルム
（２）をガラス基板上にラミネートした。次いで、
（ａ）透明支持体フィルム（ポリエステルフィルム）と
（ｂ）クッション層を剥離しようとしたが、（ｂ）クッ
ション層と共に、（ｃ）着色された感光性樹脂層も剥離
されてしまい、着色パターンを形成することができなか
った。

【００５２】

【発明の効果】請求項１記載の感光性フィルムは、着色
された感光性樹脂層からクッション層を容易に剥離する
ことができ、段差が少なく、高精度のパターンを生産性
よく製造できるカラーフィルタの製造に好適なものであ
る。請求項２記載の感光性フィルムは、請求項１記載の
感光性フィルムの効果を奏し、より剥離性が優れる。請
求項３記載の感光性フィルムは、請求項１又は２記載の
感光性フィルムの効果を奏し、より剥離性が優れる。請
求項４記載の感光性フィルムは、請求項１、２又は３記
載の感光性フィルムの効果を奏し、さらに作業性、環境
安全性等が優れる。請求項５記載のカラーフィルタの製
造法は、着色された感光性樹脂層からクッション層を容
易に剥離することができ、段差が少なく、高精度のパタ
ーンを生産性よくカラーフィルタを製造できる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者谷川直裕茨城県日立市東町四丁目13番１号日立化成工業株式会社山崎工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（ａ）透明支持体フィルム、（ｂ）クッ
ション層及び（ｃ）着色された感光性樹脂層を順次積層
してなる感光性フィルムにおいて、（ｂ）クッション層
中にワックスを含有する感光性フィルム。
【請求項２】ワックスの配合量が、（ｂ）クッション
層の総量を１００重量部として、１．０〜５０重量部で
ある請求項１記載の感光性フィルム。
【請求項３】ワックスが、パラフィン系ワックスであ
る請求項１又は２記載の感光性フィルム。
【請求項４】（ｃ）着色された感光性樹脂層が、
（Ａ）カルボキシル基を有する有機高分子化合物、
（Ｂ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、
（Ｃ）光重合開始剤及び（Ｄ）顔料又は染料を含有する
ものである請求項１、２又は３記載の感光性フィルム。
【請求項５】（Ｉ）請求項１、２、３又は４記載の感
光性フィルムを、（ｃ）着色された感光性樹脂層が、透
明基板上に接するように張り合わせる工程、（II）
（ａ）透明支持体フィルム及び（ｂ）クッション層を剥
離する工程並びに（III）（ｃ）着色された感光性樹脂
層をパターン状に露光、現像する工程を含む工程を繰り
返すことにより、多色のパターンを形成することを特徴
とするカラーフィルタの製造法。