JPH08122516A

JPH08122516A - 極薄膜感光性フィルム及びカラーフィルタの製造法

Info

Publication number: JPH08122516A
Application number: JP25201094A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Furubayashi; 寛巳古林; Hiroshi Yamazaki; 宏山崎; Manabu Saito; 学斉藤; Michio Ogawa; 道夫小川; Takeetsu Kitamura; 健悦北村; Naoki Kato; 直己加藤
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date: 1994-10-18
Filing date: 1994-10-18
Publication date: 1996-05-17

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】外観及び収率良い、極薄膜感光性フィルム及
びカラーフィルタの製造法を提供する。【構成】フィルムＡが、フィルムＢよりも感光性樹脂
層との密着性が低く、引張り弾性係数が３０〜７００kg
/mm²、ガラス転移温度が−２０〜２３０℃及び膜厚が１
５〜１００μｍであるフィルムであり、フィルムＢが、
５〜１０μｍ厚のポリエステスフィルムである極薄膜感
光性フィルム及び前記極薄膜感光性フィルムを、そのフ
ィルムＡをはがしながら、カラーフィルタ用の基板上に
感光性樹脂組成物層を積層し、感光性樹脂組成物層上の
フィルムＢを介してパターン状に露光し、その後フィル
ムＢを除去し、未露光部を現像して着色パターンを形成
することを特徴とするカラーフィルタの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は極薄膜感光性フィルム及
びカラーフィルタの製造法に関する。更に詳しくはカラ
ーフィルタの作製に好適なアルカリ現像型の極薄膜の感
光性樹脂層を有する極薄膜感光性フィルム及びカラーフ
ィルタの製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルタは、ガラスなどの光学的
に透明な基板の表面に二種以上の色相を異にする極めて
微細なストライプ状又モザイク状のパターンを一定の間
隔を開けて、平行又は交差して並べた物である。これら
のパターンは色相を所定の順序に所定の間隔をおいて整
然と配置し、しかも厚さムラの少ない均一な層とする必
要があり、種々のカラーフィルタの製造法が提案されて
いる。例えば、スクリーン印刷法では低コストのカラー
フィルタの形成が可能である。またフォトリソグラフィ
技術を用いる方法、すなわち、カラーフィルタ用基板上
に形成された透明膜に、所定のネガマスクを通して紫外
線照射し、未露光部を除去したのち、防染層を形成しな
がら染色する方法がある。

【０００３】前記の方法の改良法として、基板上に着色
した溶液状の感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥したの
ち、露光、現像して一色のパターンを形成させ、工程を
他の色についても同様に繰り返し行ってカラーフィルタ
を形成する方法がある。また、現在プリント配線板製造
時のエッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジ
スト等に一般に使用されている、透明支持体フィルム及
び感光性樹脂層から成る感光性フィルムを使用した多色
の微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを簡単
に高精度で形成できるカラーフィルタの製造法が知られ
ている。

【０００４】透明基板上に支持体フィルムと一色に着色
された感光性樹脂層とからなる感光性フィルムを、着色
された感光性樹脂層が基板に面するように貼り合わせる
工程、露光して所定のパターンを形成させる工程及び前
記支持体フィルムを剥がして現像する工程を繰り返して
多色パターンを形成させてカラーフィルタが製造され
る。

【０００５】例えば、一つの色相着色剤を含む感光性樹
脂の層を透明支持体フィルムに塗布乾燥した感光性フィ
ルムの感光性樹脂の層を透明な板の上に転写して、所定
のパターンのマスクを介して露光、現像してパターンを
形成する方法（特開昭６１−９９１０２号公報）、この
フィルムに所定のパターンのマスクを介して露光、現像
してパターンを形成したのちに、透明な板の上に転写し
てカラーフィルタのパターンを形成する方法（特開昭６
１−９９１０３号公報）、このフィルムを透明な板の上
に加熱圧着して、所定のパターンのマスクを介して露光
して、支持体フィルムを剥離し、現像して透明着色の画
像パターンを形成する方法（特開昭６３−１８７２０３
号公報）等が知られている。感光性フィルムは、透明な
ベースフィルム、例えば、ポリエチレンテレフタレート
等のフィルム上に、赤、青及び緑にそれぞれ着色した感
光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させて各色に着色した着
色感光性樹脂層を形成したものであり、感光性樹脂層の
膜厚は通常、０．５〜５．０μｍであり、好ましくは
１．０〜２．５μｍである。着色感光性樹脂層は未硬化
であり、柔軟で、粘着性を有するため、この上に更にポ
リエチレンフィルム等の保護フィルムを貼り合わせて外
部からの損傷、異物の付着等を防止することが好まし
い。感光性フィルムに形成された着色感光性樹脂層は、
保護フィルムを剥しながら透明基板上に貼り合わされ
る。

【０００６】上記のような感光性フィルムを用いる場
合、その現像に用いる現像液は、作業環境面、ランニン
グコストの面から、有機溶剤ではなくアルカリ水溶液を
用いることが好ましい。アルカリ水溶液としては一般に
０．３〜２．０重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液が多く用いら
れる。アルカリ水溶液で現像されるアルカリ現像型の感
光性樹脂組成物は、一般にメタクリル酸又はアクリル酸
〔以下（メタ）アクリル酸と言う〕を共重合したバイン
ダポリマ、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤、顔
料又は染料を含む。一般に感光性フィルムを製造する
際、感光性樹脂組成物を溶解するための溶剤には従来メ
チルエチルケトン、アセトン、塩化メチレンプロピレン
グリコールメチルエーテル、トルエン等の有機溶剤が用
いられており、プリント配線板に用いられる場合は、乾
燥後の感光性樹脂層の膜厚が、２５μｍ〜１００μｍで
ある。ところが、膜厚が５μｍ未満となるように塗布す
る際には、乾燥性が良すぎること、樹脂の溶解性があま
り良くないこと、支持体フィルムの形状が顕著に影響し
易いために塗布外観及び収率が悪化すること等があり、
これらの改善が必要である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来の技術の問題点を解決し、感光性樹脂を塗布する際、
外観及び収率良く塗布することが出来る極薄膜感光性フ
ィルム及びカラーフィルタの製造法を提供するものであ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、（Ａ）メタク
リル酸又はアクリル酸を１７〜３０重量％共重合した重
量平均分子量が５０，０００〜１５０，０００のフィル
ム性付与ポリマ４５〜７０重量部、（Ｂ）エチレン性不
飽和化合物３０〜５５重量部（ただし、（Ａ）成分と
（Ｂ）成分との総量を１００重量部とする）、（Ｃ）光
重合開始剤０．１〜１０重量部及び（Ｄ）顔料又は染料
を０．１〜５０重量部含む感光性樹脂組成物を、フィル
ムＡ上に塗布し乾燥した後、その感光性樹脂層上にフィ
ルムＢをラミネートした感光性フィルムであって、フィ
ルムＡが、フィルムＢよりも感光性樹脂層との密着性が
低く、引張り弾性係数が３０〜７００kg/mm²、ガラス転
移温度が−２０〜２３０℃及び膜厚が１５〜１００μｍ
であるフィルムであり、フィルムＢが、５〜１０μｍ厚
のポリエステスフィルムである極薄膜感光性フィルムに
関する。また、本発明は、前記極薄膜感光性フィルム
を、そのフィルムＡをはがしながら、カラーフィルタ用
の基板上に感光性樹脂組成物層を積層し、感光性樹脂組
成物層上のフィルムＢを介してパターン状に露光し、そ
の後フィルムＢを除去し、未露光部を現像して着色パタ
ーンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造
法に関する。

【０００９】本発明における感光性樹脂組成物に含まれ
るフィルム性付与ポリマ（(Ａ)成分）としては、例え
ば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルと（メタ）ア
クリル酸との共重合体、（メタ）アクリル酸アルキルエ
ステルと（メタ）アクリル酸とこれらと共重合し得るビ
ニルモノマとの共重合体等が挙げられる。（メタ）アク
リル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）ア
クリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）
アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキ
シル等が挙げられる。また、（メタ）アクリル酸アルキ
ルエステルや（メタ）アクリル酸とこれらと共重合し得
るビニルモノマとしては、（メタ）アクリル酸ジメチル
エチル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、
（メタ）アクリル酸ジエチル、２，２，２−トリフルオ
ロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テト
ラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、アクリルア
ミド、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルト
ルエン等が挙げられる。さらに、（メタ）アクリル酸を
共重合成分として含むテレフタル酸、イソフタル酸、セ
バシン酸等のポリエステル、ブタジエンとアクリロニト
リルの共重合体、セルロースアセテート、セルロースア
セテートブチレート、メチルセルロース、エチルセルロ
ースなども用いることができる。（メタ）アクリル酸の
共重合の割合は、１７〜３０重量％とされる。１７重量
％未満では現像性に乏しく、３０重量％を超えると微細
パターン部の欠落が発生する。

【００１０】（Ａ）成分の使用によって、塗膜性や硬化
物の膜特性が向上し、その配合量は、（Ａ）成分と
（Ｂ）成分の総量を１００重量部として、４５〜７０重
量部とされる。この配合量が４５重量部未満では、フィ
ルム形成性が不足し、７０重量部を超えると、光硬化物
が脆くなる。また、（Ａ）成分の重量平均分子量は、５
０，０００〜１５０，０００とされる。５０，０００未
満では微細パターン部が欠落しやすく、１５０，０００
を超える分子量では現像性が低下する。

【００１１】エチレン性不飽和化合物（(Ｂ)成分）とし
ては、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を付
加して得られる化合物、例えば、トリメチロールプロパ
ンジ（メタ）アクリレート（メタアクリレート又はアク
リレートを意味する、以下同じ）、トリメチロールプロ
パントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタ
ントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトール
ペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトール
ヘキサ（メタ）アクリレート等、グリシジル基含有化合
物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合
物、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエ
ーテルトリアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジ
ルエーテルジ（メタ）アクリレート等、多価カルボン
酸、無水フタル酸等と水酸基及びエチレン性不飽和基を
有する化合物、例えば、β−ヒドロキシエチル（メタ）
アクリレート等とのエステル化物、（メタ）アクリル酸
（メタアクリル酸又はアクリル酸を意味する、以下同
じ）のアルキルエステル、例えば、（メタ）アクリル酸
メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル
酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル等、
トリメチルヘキサメチレンジイソシアナートと２価アル
コールと２価の（メタ）アクリル酸モノエステルとを反
応させて得られるウレタンジアクリレート化合物なども
用いられる。これらの化合物は単独で又は２種類以上を
組み合わせて使用される。（Ｂ）成分の配合量は、
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量を１００重量部として、
３０〜５５重量部とされる。この配合量が３０重量部未
満では、光硬化物が脆くなり、５５重量部を超えると、
フィルム形成性が不足する。

【００１２】前記の光重合開始剤（(Ｃ)成分）として
は、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル
−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケト
ン）、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベ
ンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベ
ンゾフェノン、４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノ
ン、２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン
等の芳香族ケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等の
ベンゾインエーテル、メチルベンゾイン、エチルベンゾ
イン等のベンゾイン、２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−ク
ロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）
−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−
フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール
二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフ
ェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４
−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾ
ール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メ
チルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾー
ル二量体などが用いられる。

【００１３】（Ｃ）成分の配合量は、（Ａ）成分と
（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、０．１〜１０
重量部とされる。この配合量が０．１重量部未満では、
光感度が不十分となり、１０重量部を超えると、露光の
際に組成物の表面での光吸収が増大し、内部の光硬化が
不十分となる。

【００１４】前記顔料又は染料（(Ｄ)成分）としては、
公知の着色剤が使用でき、感光性樹脂層の成分、特にエ
チレン性不飽和化合物又はカルボキシル基含有フィルム
性付与ポリマに対する相溶性、目標とする色相、光透過
性等を考慮して選択される。（Ｄ）成分の配合量は、
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、
０．１〜５０重量部とされ、好ましくは１〜４０重量部
とされる。この配合量が０．１重量部未満では、着色が
不十分となり、５０重量部を超えると、光透過率が低下
する。

【００１５】感光性樹脂組成物には、加熱硬化性を高め
るためにカルボキシル基含有フィルム性付与ポリマ
（Ｂ）のカルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂及び
／又はエポキシ樹脂を、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量
１００重量部に対して、１〜２０重量部添加含有させる
ことが好ましい。これらを添加して１３０〜２００℃で
３０〜６０分加熱することによって、架橋密度、耐熱性
等を向上させることができる。

【００１６】本発明では、感光性樹脂組成物を塗布する
フィルムＡに１つの特徴がある。感光性樹脂組成物をフ
ィルムＡ上に塗布し乾燥した後、その感光性樹脂組成物
層へさらにフィルムＢをラミネートして極薄膜感光性フ
ィルムを製造できるが、この際、フィルムＡをフィルム
Ｂよりも感光性樹脂組成物層との密着性が低く、引張り
弾性係数が３０〜７００kg/mm²、ガラス転移温度が−２
０〜２３０℃及び膜厚が１５〜１００μｍのフィルムと
し、フィルムＢを５〜１０μｍ厚のポリエステスフィル
ムとしてラミネートすることにより本発明の極薄膜感光
性フィルムを製造することができる。ここで、フィルム
Ａの材質としては、例えば、２軸延伸ポリプロピレン等
の配向ポリプロピレン（ＯＰＰ）、無延伸ポリプロピレ
ン、離型処理ポリエステス、硬質ポリ塩化ビニル、アセ
テート（セルローストリアセテート）、２軸延伸ナイロ
ン、無延伸ナイロン、ポリイミド、２軸延伸ポリナフタ
レート等が挙げられる。外観、収率等の点からこれらの
中で配向ポリプロピレンが好ましい。

【００１７】上記感光性樹脂組成物層は、フィルムＡと
フィルムＢとの密着力の差からフィルムＢ上に転写され
る。フィルムＢ上に転写された感光性樹脂組成物層はフ
ィルムＢに支持され、カラーフィルタ製造用ガラス基板
及その他平面基板等にラミネートすることができる。５
〜１０μｍ厚のフィルムＢに支持され、ラミネートされ
た感光性フィルムは基板への追従性が極めて良好であ
る。なお、フィルムＢの厚さが１０μｍを超える場合
は、膜厚が厚すぎるため、感光性樹脂組成物層が基板に
追従できず、ラミネート時にエアーボイド等が発生し、
外観不良となる。

【００１８】従来、プリント配線板製造用の感光性フィ
ルム及びカラーフィルタ用感光性フィルム等の製造には
１５〜１００μｍのフィルムＢに塗布され製造されてい
たため塗膜外観及び収率は良好であった。しかし、５〜
１０μｍのフィルムＢを用いて、感光性樹脂組成物層の
膜厚が０．５〜５μｍの極薄膜感光性フィルムの製造を
行おうすると塗膜外観及び収率が悪くなることが問題に
なっていた。しかし、本発明によれば感光性樹脂組成物
層の塗膜外観及び収率を飛躍的に向上することができ、
比較的薄い５〜１０μｍフィルムＢを使用しても、良好
にラミネートすることができるようになった。

【００１９】本発明においてカラーフィルタは、例え
ば、次のようにして製造される。まず、透明基板上にフ
ィルムＡとしてのＯＰＰフィルム等をはがしながら着色
された感光性樹脂組成物層を積層し（貼り合わせ）、着
色された感光性樹脂組成物層の表面のフィルムＢとして
のＰＥＴフィルム等の上に所定パターンのネガマスクを
乗せて露光したあと、フィルムＢとしてのＰＥＴフィル
ム等が除去される。ついで未露光部分が現像液で現像さ
れ、着色パターンが形成される。この着色パターン形成
工程を、色の異なる感光性フィルムを用いて所定回数繰
り返し行い、多色のパターンを形成させてカラーフィル
タが得られる。

【００２０】ラミネート工程は、通常、ホットロールと
呼ばれる加熱可能なロール又はヒートシューと呼ばれる
加熱用ジャケットとラミネートロールと呼ばれるロール
により、感光性樹脂組成物層を加熱し軟化しながら行
う。

【００２１】露光工程は、通常、専用の露光機があり、
接触又は非接触型のものを用いて行う。ランプとして
は、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドラン
プ、キセノンランプ灯等の紫外線を有効に放射するもの
を用いることができる。

【００２２】現像方法は、デイップ法、スプレー法等が
あげられ、高解像度化には高圧スプレー法が適してい
る。現像液は、溶剤現像型、アルカリ現像型等のものが
あり、溶剤現像型では１，１，１−トリクロロエタン、
アルカリ現像型では、１重量％の炭酸ナトリウム０．１
重量部ホウ砂を用いることができる。

【００２３】

【実施例】次に、本発明を実施例により詳しく説明す
る。実施例１〜３及び比較例１〜３塗工液の調整表１の材料を均一に溶解した溶液２１１重量部に表２の
いずれかの顔料３５重量部を添加し、溶解して着色され
た感光性樹脂組成物層用の塗工液（感光性樹脂組成物の
溶液）を得た。

【００２４】

【表１】

【００２５】

【表２】

【００２６】極薄膜感光性フィルムの製造以下、図１に基づき極薄膜感光性フィルムの製造につい
て述べる。上記のようにして得られた感光性樹脂組成物
の溶液（図１中の２）を、ＯＰＰフィルム（東レ製、商
品名トレファン、膜厚４０μｍの２軸延伸ポリプロピレ
ンフィルム）（図１中の１）上に均一にロールコータ
（図１中の３）を用いて塗布し、１００℃の熱風対流式
乾燥機（図示せず）で約１０分間乾燥して着色された感
光性樹脂組成物層（図１中の５）を形成した後、ＰＥＴ
フィルム（帝人製、商品名テトロンＭ５Ｒ、膜厚６μｍ
のポリエステルフィルム）（図１中の４）をロール（図
１中の６）により積層し、極薄膜感光性フィルムを得
た。着色された感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は、
１．８μｍであった。得られた極薄膜感光性フィルムの
フィルム外観及びフィルム収率（％）を表３に示した。

【００２７】

【表３】

【００２８】図２に基づき本発明の極薄膜感光性フィル
ムを用いたカラーフィルタの製造について以下述べる。
カラーフィルタ用のガラス基板（図２中の７）を１５０
℃で１０分間加熱後、実施例２で得られた極薄膜感光性
フィルムのＯＰＰフィルム（図２中の１、フィルムＡ）
を剥がしながら、着色された感光性樹脂組成物層（図２
中の５）をロール（図２中の６）で、ロール温度１５０
℃、ロール圧力６kgf/cm²及びロール速度１．０ｍ／分
としてラミネートした。次いで、所定のパターンのネガ
マスクを通して露光機ＨＭＷ−２０１Ｂ（３kw、超高圧
水銀灯、オーク製作所製）で２００mJ/cm²露光した後、
ＰＥＴ（図２中の４、フィルムＢ）を除去し、３０℃の
０．２重量％ホウ砂水溶液で１０〜２０秒スプレー現像
をして未露光部を除去し、１色目（赤）の着色パターン
を形成した。得られた赤パターンの基板を１５０℃で４
５分間加熱した。この着色パターンの形成工程を赤、青
及び緑の順に各色の極薄膜感光性フィルムを用いて繰返
し行い、３色のパターンのあるカラーフィルタを得た。
得られたカラーフィルタの外観を目視で観察し、欠点の
有無を調べた。その結果、良好なフィルム外観を反映
し、むらのないカラーフィルタであることを確認でき
た。また、フィルムＢが６μｍと薄膜であるため、２色
目（青）と３色目（緑）の極薄膜感光性フィルムの追従
性が損なわれず気泡の巻き込みもなかった。

【００２９】

【発明の効果】本発明の極薄膜感光性フィルムは、外観
及び収率が良好で、これを用いて、外観が良好で、高精
度なカラーフィルタを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の極薄膜感光性フィルムの作成工程の一
例を示す模式図。

【図２】本発明におけるラミネート工程の一例を示す模
式図。

【符号の説明】

１フィルムＡ２感光性樹脂組成物３コーター４フィルムＢ５感光性樹脂組成物層６ロール７基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所 // Ｂ３２Ｂ 27/36 9349−4ＦＢ２９Ｋ 67:00 (72)発明者小川道夫茨城県日立市東町四丁目13番１号日立化成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者北村健悦東京都新宿区西新宿二丁目１番１号日立化成工業株式会社内 (72)発明者加藤直己茨城県日立市東町四丁目13番１号日立化成工業株式会社山崎工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（Ａ）メタクリル酸又はアクリル酸を１
７〜３０重量％共重合した重量平均分子量が５０，００
０〜１５０，０００のフィルム性付与ポリマ４５〜７０
重量部、（Ｂ）エチレン性不飽和化合物３０〜５５重量
部（ただし、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量を１００
重量部とする）、（Ｃ）光重合開始剤０．１〜１０重量
部及び（Ｄ）顔料又は染料を０．１〜５０重量部含む感
光性樹脂組成物を、フィルムＡ上に塗布し乾燥した後、
その感光性樹脂層上にフィルムＢをラミネートした感光
性フィルムであって、フィルムＡが、フィルムＢよりも
感光性樹脂層との密着性が低く、引張り弾性係数が３０
〜７００kg/mm²、ガラス転移温度が−２０〜２３０℃及
び膜厚が１５〜１００μｍであるフィルムであり、フィ
ルムＢが、５〜１０μｍ厚のポリエステスフィルムであ
る極薄膜感光性フィルム。
【請求項２】フィルムＡがＯＰＰ（配向ポリプロピレ
ン）フィルムである請求項１記載のカラーフィルタ用感
光性フィルム。
【請求項３】請求項１又は２記載の極薄膜感光性フィ
ルムを、そのフィルムＡをはがしながら、カラーフィル
タ用の基板上に感光性樹脂組成物層を積層し、感光性樹
脂組成物層上のフィルムＢを介してパターン状に露光
し、その後フィルムＢを除去し、未露光部を現像して着
色パターンを形成することを特徴とするカラーフィルタ
の製造法。