JPH06324210A

JPH06324210A - カラーフィルタ製造用感光性フィルム

Info

Publication number: JPH06324210A
Application number: JP11254593A
Authority: JP
Inventors: Yasuki Mori; 靖樹森; Manabu Saito; 学斉藤
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date: 1993-05-14
Filing date: 1993-05-14
Publication date: 1994-11-25

Abstract

(57)【要約】【目的】追随性、作業性よく基板上に均一な厚さの高
精度の多色の微細パターンの形成されたカラーフィルタ
を製造できる感光性フィルムを提供する。【構成】透明基板上に、ベースフィルムと一色に着色
された感光性樹脂層とからなる感光性フィルムを、一色
に着色された感光性樹脂層が透明基板に面するように貼
り合わせ、露光して所定のパターンを形成させ、ベース
フィルムを剥がして現像する工程を繰り返して多色パタ
ーンを形成させるカラーフィルタの製造法に用いられる
カラーフィルタ製造用感光性フィルムであって、ベース
フィルムの膜厚を１０〜１５μｍ、その引っ張り弾性率
（ヤング率）を１００００ｋｇ／ｃｍ²以下としたカラ
ーフィルタ製造用感光性フィルム。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルタの製造
に用いる感光性フィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルタは、ガラスなどの光学的
に透明な基板の表面に２種以上の色相を異にする極めて
微細なストライプ状またはモザイク状のパターンを一定
の間隔をあけて、平行又は交差して並べた物である。こ
れらのパターンは色相を所定の順序に所定の間隔をおい
て整然と配置し、しかも厚さムラの少ない均一な層とす
る必要があり、種々のカラーフィルタの製造方法が提案
されている。しかし、実用上安価で高品質のカラーフィ
ルタを形成する方法はまだ開発されていない。例えばス
クリーン印刷法では低コストのカラーフィルタの形成が
可能であるがパターンの位置ずれ、樹脂の滲みだし、膜
厚の不均一等が生じる欠点がある。またフォトリソグラ
フィ技術を用いる方法、すなわち、カラーフィルタ用基
板上に形成された透明膜に、所定のネガマスクを通して
紫外線を照射し、未露光部を除去したのち、防染層を形
成しながら染色する方法では、繊細なパターンは形成で
きるが着色層のほかに防染層の形成工程が必要であり、
工程が煩雑となり、製造に長時間を要し、コスト高とな
るなどの欠点があつた。

【０００３】前記の方法の改良法として、基板上に着色
した溶液状の感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥したの
ち、露光、現像して一色のパターンを形成させ、この工
程を他の色についても同様に繰り返し行ってカラーフィ
ルタを形成する方法がある。しかし、この方法は、微細
パターンの形成は可能であるが、溶液状の感光性樹脂組
成物を塗布して乾燥する際に溶剤等が拡散するという作
業環境上の問題があり、特別の装置を必要とするなど作
業性が悪い欠点がある。また、二色目の層を形成する際
に、既に形成された着色層上の新着色層が現像しにく
く、完全除去が難しい等の欠点がある。

【０００４】前記の従来技術の欠点を無くし、作業性が
良く、しかも高精度で多色の微細パターンを形成するこ
とができるカラーフィルタの製造法として、現在プリン
ト配線板製造時のエツチングレジスト、めっきレジス
ト、ソルダレジスト等に一般に使用されている、ベース
フィルムおよび感光性樹脂層から成る感光性フィルムを
使用した多色の微細なストライプ状またはモザイク状の
パターンを簡単に高精度で形成することができるカラー
フィルタの製造法が知られている。すなわち、透明基板
上にベースフィルムと一色に着色された感光性樹脂層と
からなる感光性フィルムを、この感光性樹脂層が前記基
板に面するように貼り合わせる工程、露光して所定のパ
ターンを形成させる工程およびベースフィルムを剥がし
て現像する工程を繰り返して多色パターンを形成させて
カラーフィルタとされる。ベースフィルムには通常ポリ
エチレンテレフタレートフィルムが用いられている。そ
の厚さは、２０〜７０μｍであり、薄い膜の限度は露光
後のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がす際の
フィルムの裂けにくさ、感光性フィルム製造時のベース
フィルムの制御のし易さなどから決まり、厚い膜は光が
散乱して露光時に解像度を低下させるために、用いられ
ない。透明なベースフィルムとしては、一般の用途の感
光性フィルムでは、例えば、特公昭４３−２２９０１号
公報、特公昭３７−３１９３号公報等に記載されている
ポリアミド、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリビニ
ル及びセルロースのような高重合体からなるものが好適
である。透明なベースフィルムとしては、ポリヘキサメ
チレンセバシンアミド、ポリヘキサメチレンアジピンア
ミド、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステルす
なわちポリエチレンテレフタレート、エチレンテレフタ
レート／イソフタレート共重合体、塩化ビニル、スチレ
ンおよびアクリルニトリルと共重合させたビニルアセタ
ール、塩化ビニリデン、酢酸セルロース、ビスコースレ
ーヨン等も用いられている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の製造方法では、
二色目以降の層を形成する際に、既に形成された着色層
上の二色目以降の着色層と前記基板上に直接接触する着
色層との間に段差が生じ、この段差は既に形成された着
色層の厚さ（１〜５μｍ）によつて決まる。この段差が
あるために新着色層が下地（透明ガラス）に接触せず、
また不十分な接着圧力の為、接着力が不十分となり、着
色層が下地に密着せず、ベースフィルムを剥離すると、
ベースフィルムとともに剥離されて、下地に着色層が付
着しない部分が生ずる。そのまま露光現像すると、着色
層が存在しない部分を露光する等の不都合が生じ、所望
のカラーフィルタが得られない欠点があった。本発明
は、この欠点をなくし、作業性よく、しかも高精度で多
色の微細パターンを形成することができるカラーフィル
タ製造用感光性フィルムを提供するものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上
に、ベースフィルムと一色に着色された感光性樹脂層と
からなる感光性フィルムを、一色に着色された感光性樹
脂層が透明基板に面するように貼り合わせ、露光して所
定のパターンを形成させ、ベースフィルムを剥がして現
像する工程を繰り返して多色パターンを形成させるカラ
ーフィルタの製造法に用いられるカラーフィルタ製造用
フィルムであって、ベースフィルムの膜厚を１０〜１５
μｍ、その引っ張り弾性率（ヤング率）を１００００ｋ
ｇ／ｃｍ²以下としたカラーフィルタ製造用感光性フィ
ルムに関する。

【０００７】本発明に用いられる感光性フィルムは、透
明なベースフィルム、例えばポリエチレンテレフタレー
トなどのフィルム上に、一色に着色された感光性樹脂組
成物を塗布し、乾燥させて着色感光性樹脂層を形成させ
たものである。この一色に着色された感光性樹脂層は未
硬化であり、柔軟で、粘着性を有するため、この上にさ
らにポリエチレンフィルムなどの保護フィルムを貼り合
わせて外部からの損傷、異物の付着等を防止することが
望ましい。感光性フィルムに形成された一色に着色され
た感光性樹脂層は、保護フィルムを剥がしながら透明基
板上に貼り合わされ、また、該着色感光性樹脂層表面の
ベースフィルムは、所定パターンのネガマスクを通して
露光した後に除去される。

【０００８】その膜厚が１０〜１５μｍであって、その
引っ張り弾性率（ヤング率）を１００００ｋｇ／ｃｍ²
以下としたベースフィルムを用いることにより、フィル
ムの追随性が改善され、前記の一色に着色された感光性
樹脂層の密着性を向上させ、ベースフィルムの剥離の際
および現像時に一色に着色された感光性樹脂層が基板か
ら剥がれることが防止される。

【０００９】図１、図２および図３によって説明する
と、図１は既に第一色目の一色に着色された感光性樹脂
層のパターン２が形成された表面に第二色目の感光性フ
ィルムを積層するときの積層断面の状態を示す模式図で
ある。図２は感光性フィルムの追随性不良のときの積層
断面の状態を示す模式図である。図１において、透明基
板１上に第一色目の着色された感光性樹脂層のパターン
２が形成された表面に第二色目の着色された感光性樹脂
層３を積層するが、感光性フィルムは着色された感光性
樹脂層３とベースフィルム４から構成されている。例と
して２は赤（Ｒ）、３は緑（Ｇ）とする。図３において
貼り合わせのため、感光性フィルムの背面から、ゴムロ
ール６で圧着する。フィルムの追随性が良好の場合は図
１のような断面形状が得られる。ゴムロールで圧力をか
けて圧着させるが、圧力が不十分の場合もしくはフィル
ムの剛性が強いときは追随性が不良となり、図２の空隙
５が発生する。空隙の部分では当然ながら着色感光性樹
脂層３と透明基板１は接触が不良となり、接着不良とな
る。空隙をなくすことが本発明の目的であるが、これ
は、ベースフィルムの膜厚が１０〜１５μｍであって、
その引っ張り弾性率（ヤング率）を１００００ｋｇ／ｃ
ｍ²以下とした感光性フィルムを用いることによって達
成できる。

【００１０】すなわち、感光性フィルムの剛性は「こわ
さ」、「腰」の学術用語で表現されている。腰はフィル
ムのヤング率（Ｅ）とフィルム断面の二次モーメントの
積で表すことができて

【数１】と表すことが出来るので、Ｅの小さい材料からなるフィ
ルムを用いれば膜厚を極端に減少させる必要はなく、ハ
ンドリングに優れた感光性フィルムを生産出来る。カラ
ーフィルタ製造用の感光性フィルムの場合は追随性を問
題としているのであるから、ｂは一定とすることが出来
て、ｄとＥを小さくすることによって、腰の値を小さく
して、追随性を向上させることが出来る。本発明を実施
するのに好適なベースフィルムの例としては、ポリプロ
ピレンフィルム（ヤング率１００００ｋｇ／ｃｍ²東レ
社製商品名、トレファンＢＯ）、軟質ポリ塩化ビニルフ
ィルム（旭化成社製軟質塩ビシート、ヤング率１５００
ｋｇ／ｃｍ²）、可塑化ポリビニルアルコールフィルム
（デンカ社製ポパールシート、ヤング率１９００ｋｇ／
ｃｍ²）等が挙げられる。ヤング率が１００００ｋｇ／
ｃｍ²を超え、膜厚が１５μｍを超えると、空隙が発生
し本発明の効果が得られない。また、ヤング率が１００
００ｋｇ／ｃｍ²以下のフィルムでも膜厚が１０μｍよ
りも小さくなると、剥がすときに膜が切れやすくなり、
作業性の低下を招く。

【００１１】一色に着色された感光性樹脂層は、エチレ
ン性不飽和化合物（ａ）、カルボキシル基含有フィルム
性付与ポリマー（ｂ）、光重合開始剤または光重合開始
剤系化合物（ｃ）および（ｄ）顔料または染料（ｄ）を
含有するのが好ましく、層の厚さは０．５〜１５μｍと
することが好ましい。

【００１２】エチレン性不飽和化合物（（ａ）成分）と
しては、例えば多価アルコールにα、β−不飽和カルボ
ン酸を付加して得られる化合物、例えばトリメチロール
プロパンジ（メタ）アクリレート（メタアクリレートま
たはアクリレートを意味する。以下同じ）、トリメチロ
ールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロ
ールメタントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサ（メタ）アクリレート等；グリシジル基
含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得ら
れる化合物、例えばトリメチロールプロパントリグリシ
ジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノールＡジグ
リシジルエーテルジ（メタ）アクリレート等；多価カル
ボン酸、例えば無水フタル酸等と水酸基およびエチレン
性不飽和基を有する化合物、例えばβ−ヒドロキシエチ
ル（メタ）アクリレート等とのエステル化合物；（メ
タ）アクリル酸（メタアクリル酸またはアクリル酸を意
味する、以下同じ）のアルキルエステル、例えば（メ
タ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、
（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エ
チルヘキシル等が挙げられ、トリメチルヘキサメチレン
ジイソシアナートと２価アルコールと２価の（メタ）ア
クリル酸モノエステルとを反応させて得られるウレタン
ジアクリレート化合物なども用いられる。これらの化合
物は２種以上用いても良い。（ａ）成分の配合量は
（ａ）成分と（ｂ）成分の総量を１００重量部として好
ましくは９０〜５０重量部とされる。

【００１３】カルボキシル基含有フィルム性付与ポリマ
ー（（ｂ）成分）としては、例えば（メタ）アクリル酸
アルキルエステルと（メタ）アクリル酸との共重合体：
（メタ）アクリル酸アルキルエステルと（メタ）アクリ
ル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーとの共重合
体が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステル
としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メ
タ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、
（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられ
る。また、（メタ）アクリル酸アルキルエステルや（メ
タ）アクリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマー
としては、（メタ）アクリル酸ジメチルエチル、（メ
タ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、（メタ）アク
リル酸ジエチル、２，２，２−トリフルオロエチル（メ
タ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプ
ロピル（メタ）アクリレート、アクリルアミド、ジアセ
トンアクリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙
げられる。さらに（メタ）アクリル酸を共重合成分とし
て含むテレフタル酸、イソフタル酸、セバシン酸等のポ
リエステル、ブタジエンとアクリロニトリルとの共重合
体、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチ
レート、メチルセルロース、エチルセルロース等も用い
ることが出来る。

【００１４】（ｂ）成分の使用によって、塗膜性や硬化
物の膜特性が向上し、（ｂ）成分の配合量は、（ａ）成
分と（ｂ）成分の総量を１００重量部として好ましくは
１０〜５０重量部である。この配合量が１０重量部未満
では、エチレン性不飽和化合物が多くなるため光感度が
低下し、５０重量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾
向がある。また、（ｂ）成分の重量平均分子量は、前記
塗膜性や膜強度の点から１００００以上が好ましい。

【００１５】前記の光重合開始剤または光重合開始剤系
化合物（（ｃ）成分）としては、例えばベンゾフェノ
ン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベン
ゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ′−テトラメチ
ル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ
−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４′−ジ
エチルアミノベンゾフェノン、２−エチルアントラキノ
ン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン；ベンゾイ
ンメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾ
インフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチル
ベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン；２−
（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾ
ール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ
（ｍ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシ
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、
２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニ
ル）−５−フェニルイミダゾール二量体、２−（２，４
−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾ
ール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５
−トリアリールイミダゾール二量体等が用いられる。

【００１６】（ｃ）成分の配合量は（ａ）成分と（ｂ）
成分の総量１００重量部に対して好ましくは０．１〜１
０重量部である。この配合量が０．１重量部未満では光
感度が不十分となり、１０重量部を超えると露光の際に
組成物の表面での光吸収が増大し、内部の光硬化が不十
分となる傾向がある。

【００１７】前記顔料又は染料（（ｄ）成分）として
は、一般に知られている着色剤が使用でき、感光性樹脂
層の成分、特にエチレン性不飽和化合物またはカルボキ
シル基含有フィルム性付与ポリマーに対する相溶性、目
標とする色相、光透過性等を考慮して選択される。
（ｄ）成分の配合量は、（ａ）成分と（ｂ）成分の総量
１００重量部に対して好ましくは１〜５０重量部であ
る。この配合量が１重量部未満では着色が不十分であ
り、５０重量部を超えると光透過率が低下する傾向があ
る。

【００１８】一色に着色された感光性樹脂層には、加熱
硬化性を高めるためにカルボキシル基含有フィルム性付
与ポリマーのカルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂
および／またはエポキシ樹脂を、（ａ）成分と（ｂ）成
分の総量１００重量部に対して１〜２０重量部添加含有
させることが好ましい。これらを添加して１３０〜２０
０℃で３０〜６０分加熱することによって着色層の架橋
密度が向上し、耐熱性が著しく向上する。

【００１９】カラーフィルタを形成する基板がガラス板
の場合は、一色に着色された感光性樹脂層とガラス板と
の密着性を向上させるため、あらかじめシランカップリ
ング剤で処理したガラス板を用いることが好ましい。ま
た、この着色感光性樹脂層にシランカップリング剤を含
有させ、感光性樹脂層とガラス板との密着性を向上させ
ることもできる。この場合のシランカップリング剤の添
加量は、（ａ）成分と（ｂ）成分の総量１００重量部に
対して１〜３０重量部であることが好ましい。

【００２０】本発明においてカラーフィルタは、次のよ
うにして製造される。まず、透明基板上に上記のベース
フィルムを用いた感光性フィルムに形成された一色に着
色された感光性樹脂層を貼り合わせ、この着色感光性樹
脂層表面のベースフィルム上に所定パターンのネガマス
クを乗せて露光したあと、ベースフィルムが除去され
る。ついで未露光部分が現像液で現像され、着色パター
ンが形成される。この着色パターンの形成工程を、色の
異なる感光性フィルムを用いて所定回数繰り返し行い、
多色のパターンを形成させてカラーフィルタが得られ
る。

【００２１】

【実施例】

実施例１１）感光性フィルムの製造表１の材料を均一に溶解した溶液Ａ２０６重量部に表２
のいずれかの顔料３５重量部、メラミン樹脂５重量部お
よびシランカップリング剤５重量部をそれぞれ添加し、
溶解して感光性樹脂層塗工溶液を得た。

【表１】

【表２】メラミン樹脂はサイメル３００（ヘキサメトキシメチル
メラミンの商品名、三井東圧社製）、シランカップリン
グ剤はＫ３Ｍ５０３（信越化学社製）を用いた。

【００２２】得られた溶液を、厚さ１５μｍの軟質ポリ
塩化ビニルフィルム（旭化成社製軟質塩ビ、ヤング率１
５００ｋｇ／ｃｍ²を示す）上に均一な厚さに塗布し、
１００℃の乾燥機で２分間乾燥し、保護フィルムとして
厚さ３０μｍのポリエチレンフィルムを貼り合わせて着
色の感光性フィルムを得た。乾燥後の感光性樹脂層の厚
さは２μｍであった。つぎに、厚さ１ｍｍのガラス板を
８０℃で１０分間加熱後、このガラス板上に１）で得た
感光性フィルムの保護フィルムを剥がしながら、赤色の
感光性樹脂層をロール温度１２０℃、ロール圧ｋｇ／ｃ
ｍ²、速度１．５ｍ／分でラミネートした。次いで、所
定のパターンのネガマスクを通して露光機ＨＭＷ−２０
１Ｂ（３ｋＷ、超高圧水銀灯、オーク製作所製）で露光
した後、軟質ポリ塩化ビニルフィルムを除去し、３０℃
で２重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液で１０〜２０秒スプレー
現像をして未露光部を除去し、赤色の着色パターンを形
成した。この着色パターンの形成工程を、青、緑、黒の
順に各色の感光性フィルムを用いて繰り返し行い、図４
に示す多色のパターンを形成した。この際の露光量は
赤、青、緑色の感光性樹脂層に対しては５０ｍＪ／ｃｍ
²、黒色の感光性樹脂層に対しては１３０ｍＪ／ｃｍ²と
した。得られた多色パターンに紫外線照射機（ランプＨ
５６００Ｌ／２、東芝電材社製）を用いて３Ｊ／ｃｍ²
で照射した後、１５０℃で４５分間加熱してカラーフィ
ルタを得た。得られたカラーフィルタは赤、青および緑
色のパターンが整然と並び、それぞれの間隔は黒色で埋
められていた。

【００２３】比較例１実施例１と同様にして厚さ２５μｍのポリエチレンテレ
フタレートフィルム（テイジン製、テトロンフィルムＳ
２５、ヤング率５００００ｋｇ／ｃｍ²）をベースフィ
ルムとして、上に保護フィルムとして厚さ３０μｍのポ
リエチレンフィルムを貼り合わせた感光性フィルムを顔
料の赤、青、緑、黒それぞれについて作成した。実施例
１と同様にして、赤色の着色パターンを形成し、つい
で、このパターンの形成工程を、青、緑、黒の順に各色
の感光性フィルムを用いて繰り返し行った。実施例１と
同様の多色のパターンを形成した。得られた多色のパタ
ーンの模式図を図５に示す。はじめの色の赤（７）のパ
ターンは良好であったが、青（８）、緑（９）では、赤
と赤の隣合った画素のあいだ（３２５μｍ）の一部分し
か画素が生ぜず、特に、赤の画素に２５μｍ間隔で接し
ている青の画素では５０μｍ幅しか再現せず、１２５μ
ｍ×１２５μｍの正方形は再現されなかった。黒はまっ
たく画素を生じなかった。

【００２４】実施例２〜４実施例１と同様に行うが、使用するベースフィルムを表
３に示す材料に置き換えて実施した。追随性の良否を調
べて、その結果を表３に併せて記した。いずれも良好な
追随性を示し、図４のパターンを持つカラーフィルタを
得た。

【表３】

【発明の効果】本発明の感光性フィルムによれば、追随
性、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度の多色の微
細パターンの形成された優れた耐熱性を有するカラーフ
ィルタを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】カラーフィルタの良好な断面を示す模式面であ
る。

【図２】カラーフィルタの不良断面を示す模式面であ
る。

【図３】カラーフィルタの貼り合わせ工程の断面を示す
模式図である。

【図４】本発明の実施例で得たカラーフィルタのパター
ンを示す模式図である。

【図５】本発明の比較例で得たカラーフィルタのパター
ンを示す模式図である。

【符号の説明】

１透明基板２パターン３着色感光性樹脂層４ベースフィルム５空隙６ゴムロール７赤色８青色９緑色１０黒色

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明基板上に、ベースフィルムと一色に
着色された感光性樹脂層とからなる感光性フィルムを、
一色に着色された感光性樹脂層が透明基板に面するよう
に貼り合わせ、露光して所定のパターンを形成させ、ベ
ースフィルムを剥がして現像する工程を繰り返して多色
パターンを形成させるカラーフィルタの製造法に用いら
れるカラーフィルタ製造用感光性フィルムであって、ベ
ースフィルムの膜厚を１０〜１５μｍ、その引っ張り弾
性率（ヤング率）を１００００ｋｇ／ｃｍ²以下とした
カラーフィルタ製造用感光性フィルム。
【請求項２】ベースフィルムを軟質ポリ塩化ビニル樹
脂フィルムまたは可塑化ポリビニルアルコール樹脂フィ
ルムとした請求項１記載のカラーフィルタ製造用感光性
フィルム。