JPH08137101A - カラーフィルター用感光性樹脂組成物、感光性フィルム及びカラーフィルター - Google Patents

カラーフィルター用感光性樹脂組成物、感光性フィルム及びカラーフィルター

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JPH08137101A
JPH08137101A JP27493694A JP27493694A JPH08137101A JP H08137101 A JPH08137101 A JP H08137101A JP 27493694 A JP27493694 A JP 27493694A JP 27493694 A JP27493694 A JP 27493694A JP H08137101 A JPH08137101 A JP H08137101A
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photosensitive resin
film
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学 斎藤
Hiroshi Yamazaki
宏 山崎
Hiromi Furubayashi
寛巳 古林
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板上に作業性よく高精度で多色の微細パタ
ーンを有するカラーフィルターを製造できるカラーフィ
ルター用感光性樹脂組成物、感光性フィルム及びカラー
フィルターを提供する。 【構成】 (A)メタクリル酸又はアクリル酸を17〜
30重量%共重合した重量平均分子量が50,000〜
150,000のフィルム性付与ポリマ45〜70重量
部、(B)エチレン性不飽和化合物30〜55重量部
(但し、(A)成分と(B)成分との総量が100重量
部となるようにする)、(C)光重合開始剤0.1〜1
0重量部及び(D)顔料又は染料を0.1〜50重量部
含むカラーフィルター用感光性樹脂組成物において、
(B)エチレン性不飽和化合物がγ−クロロ−β−ヒド
ロキシプロピル−β′−メタクリロイルオキシエチル−
o−フタレートを含有するカラーフィルター用感光性樹
脂組成物、感光性フィルム及びカラーフィルター。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルター用感
光性樹脂組成物、感光性フィルム及びカラーフィルター
に関する。
【0002】
【従来の技術】カラーフィルターは、スパッタクロム等
でブラックマトリックス部を形成したガラスなど光学的
に透明な基板上に赤(R)、緑(G)及び青(B)から
なる色相の極めて微細なカラー画素をストライプ状また
モザイク状のパターンを一定の間隔で並べたものであ
る。これらのパターンは色相を所定の順序に所定の間隔
をおいて整然と配置し、しかも厚さムラの少ない均一な
層とする必要があり、種々カラーフィルターの製造法が
提案されている。例えば、スクリーン印刷法では、低コ
ストのカラーフィルターの製造が可能である。また、フ
ォトリソグラフィ技術を用いる方法、即ちカラーフィル
ター用基板上に形成された透明膜に、所定のネガマスク
を通して紫外線照射し、未露光部を除去した後、防染層
に形成しながら染色する方法がある。
【0003】前記の方法の改良法として透明基板上に着
色した溶液状感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥したの
ち、露光、現像して一色のパターンを形成させ、この工
程を他の色についても同様に繰り返し行いカラーフィル
ターを形成する方法がある。また、現在プリント配線板
製造時のレジストとして一般的に使用されている、ベー
スフィルム及び感光性樹脂層とからなる感光性フィルム
を使用した、多色の微細なストライプ状またはモザイク
状のパターンを簡単に高精度で形成できるカラーフィル
ターの製造法が知られている。透明基板上にベースフィ
ルムと一色に着色された感光性樹脂層が基板に面するよ
うに貼合わせる工程、露光して所定のパターンを形成さ
せる工程及び前記ベースフィルムを剥がして現像する工
程を繰り返して多色のパターンを形成させてカラーフィ
ルターが製造される。例えば、一つの色相着色剤を含む
感光性樹脂の層を支持体に塗布乾燥した感光性フィルム
の感光性樹脂の層を透明な基板に転写して、所定のパタ
ーンのマスクを介して露光、現像してパターンを形成さ
せる方法(特開昭61−99102号公報)、このフィ
ルムに所定のパターンのマスクを介して露光、現像して
パターンを形成した後に、透明な基板上に転写してカラ
ーフィルターのパターンを形成する方法(特開昭61−
99103号公報)、このフィルムを加熱圧着して、所
定のパターンのマスクを介して露光して、ベースフィル
ムを剥離し現像して透明着色の画像パターンを形成する
方法(特開昭63−187203号公報)、着色感光性
樹脂の上にポリ酢酸ビニル共重合体の接着剤を構成した
感光性フィルムを用いて特開昭63−187203号公
報と同様の方法でカラーフィルターのパターンを形成す
る方法(特開平2−24624号公報)等が知られてい
る。
【0004】カラーフィルターの製造には、透明基板上
に感光性樹脂を塗布、露光、現像する工程がある。これ
らの工程を繰り返すことによってカラーフィルター用の
微細パターンを形成することは非常に難しく、特に透明
基板上と感光性樹脂層との密着性は重要な課題である。
通常、感光性樹脂層と透明基板上との密着性は非常に弱
く、現像の際に剥離してしまう。また、感光性フィルム
による製造法においては、基板上に感光性樹脂を転写す
ることも非常に困難である。そこで、透明基板上と感光
性樹脂の密着性を確保するために感光性樹脂層にシラン
カップリング剤を配合したり、透明基板上に予め接着層
を設けたり、透明基板上を処理したりするなどの方法が
とられている。しかし、シランカップリング剤の混入や
接着層の形成等により透明基板上と感光性樹脂層との密
着性が今度は逆に強固すぎるものとなりパターン現像時
に現像残渣となる問題がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した従
来の技術の問題である透明基板上と感光性樹脂層との密
着性を向上させ、微細パターンからなるカラーフィルタ
ーを製造できるカラーフィルター用感光性樹脂組成物、
感光性フィルム及びカラーフィルターを提供するもので
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、(A)メタク
リル酸又はアクリル酸を17〜30重量%共重合した重
量平均分子量が50,000〜150,000のフィル
ム性付与ポリマ45〜70重量部、(B)エチレン性不
飽和化合物30〜55重量部(但し、(A)成分と
(B)成分との総量が100重量部となるようにす
る)、(C)光重合開始剤0.1〜10重量部及び
(D)顔料又は染料を0.1〜50重量部含むカラーフ
ィルター用感光性樹脂組成物において、(B)エチレン
性不飽和化合物がγ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル
−β′−メタクリロイルオキシエチル−o−フタレート
を含有するカラーフィルター用感光性樹脂組成物に関す
る。
【0007】また、本発明は前記カラーフィルター用感
光性樹脂組成物をフィルム支持体上に、塗布、乾燥し
て、膜厚が0.5〜5.0μmの感光性樹脂層を形成し
た感光性フィルムに関する。また、本発明は前記感光性
フィルムを用いて製造されたカラーフィルターに関す
る。本発明において、カラーフィルター用感光性樹脂組
成中の(B)エチレン性不飽和化合物として、γ−クロ
ロ−β−ヒドロキシプロピル−β′−メタクリロイルオ
キシエチル−o−フタレートを必須成分として含有する
ものを用いることが、透明基板上と感光性樹脂層との適
当な密着性を確保し、カラーフィルターに要求される微
細パターンを形成するために必要である。このとき
(B)エチレン性不飽和化合物中のγ−クロロ−β−ヒ
ドロキシプロピル−β′−メタクリロイルオキシエチル
−o−フタレートの含有量は、5〜60重量%であるこ
とが好ましい。この含有量が5重量%未満では、密着性
が不充分となる傾向があり、60重量%を超えると、光
硬化性が不充分となる傾向がある。
【0008】本発明におけるフィルム性付与ポリマー
((A)成分)としては、例えば、(メタ)アクリル酸ア
ルキルエステルと(メタ)アクリル酸との共重合体、
(メタ)アクリル酸アルキルエステルと(メタ)アクリ
ル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーとの共重合
体等が挙げられる。(メタ)アクリル酸アルキルエステ
ルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メ
タ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、
(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル等が挙げられ
る。また、(メタ)アクリル酸アルキルエステルや(メ
タ)アクリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマー
としては、例えば、(メタ)アクリル酸ジメチルエチ
ル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリル、(メ
タ)アクリル酸ジエチル、2,2,2−トリフルオロエ
チル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフ
ルオロプロピル(メタ)アクリレート、アクリルアミ
ド、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトル
エン等が挙げられる。また、(A)成分に、(メタ)ア
クリル酸を共重合成分として含むテレフタル酸、イソフ
タル酸、セバシン酸等のポリエステル、ブタジエンとア
クリロニトリルの共重合体、セルロースアセテート、セ
ルロースアセテートブチレート、メチルセルロース、エ
チルセルロース等のセルロースポリマーなどを併用する
ことができる。
【0009】(A)成分の使用によって、塗膜性や硬化
物の膜特性が向上し、その配合量は(B)成分と(A)
成分との総量を100重量部として、45〜70重量部
とされる。この配合量が45重量部未満では、光感度が
低下し、70重量部を超えると、光硬化物が脆くなる。
また、(A)成分の重量平均分子量は、前記塗膜性や膜
強度の点から50,000〜150,000とされる。
【0010】本発明における(B)成分は、γ−クロロ
−β−ヒドロキシプロピル−β′−メタクリロイルオキ
シエチル−o−フタレートを必ず含むが、これ以外のも
のとしては、例えば、トリメチロールプロパンジ(メ
タ)アクリレート((メタ)アクリレートは、メタアク
リレート又はアクリレートを意味する、以下同じ)、ト
リメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テト
ラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、ジペン
タエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペン
タエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の多価
アルコールにα、β−不飽和カルボン酸を付加して得ら
れる化合物、トリメチロールプロパントリグリシジルエ
ーテルトリアクリレート、ビスフェノールAジグリシジ
ルエーテルジ(メタ)アクリレート等のグリシジル基含
有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得られ
る化合物、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリ
ル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アク
リル酸2−エチルヘキシル等の(メタ)アクリル酸(メ
タアクリル酸又はアクリル酸を意味する、以下同じ)の
アルキルエステル、トリメチルヘキサメチレンジイソシ
アナートと2価アルコールと2価の(メタ)アクリル酸
モノエステルとを反応させて得られるウレタンジアクリ
レート化合物などが挙げられる。これらは単独で又は2
種類以上を組み合わせて使用される。(B)成分の配合
量は、(B)成分と(A)成分との総量を100重量部
として30〜55重量部とされる。この配合量が30重
量部未満では、光硬化物が脆くなり、55重量部を超え
ると、光感度が低下する。
【0011】本発明における光重合開始剤((C)成分)
としては、例えば、ベンゾフェノン、N,N′−テトラ
メチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラー
ケトン)、N,N′−テトラメチル−4,4′−ジアミ
ノベンゾフェノン、4−メトキシ−4′−ジメチルアミ
ノベンゾフェノン、4,4′−ジエチルアミノベンゾフ
ェノン、2−エチルアントラキノン、フェナントレンキ
ノン等の芳香族ケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベ
ンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル
等のベンゾインエーテル、メチルベンゾイン、エチルベ
ンゾイン等のベンゾイン、2(o−クロロフェニル)−
4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−ク
ロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフェニル)
−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−
フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール
二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフ
ェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニ
ル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2,4
−ジ(p−メトキシフェニル)−5−フェニルイミダゾ
ール二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−
4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メ
チルメルカプトフェニル)−4,5−ジフェニルイミダ
ゾール二量体等の2,4,5−トリアリールイミダゾー
ル二量体などが用いられる。これらは、単独で又は2種
類以上を組み合わせて使用される。
【0012】(C)成分の配合量は、(B)成分と
(A)成分との総量100重量部に対して0.1〜10
重量部とされる。この配合量が0.1重量部未満では、
光感度が不充分となり、10重量部を超えると、露光の
際に感光性樹脂層の表面での光吸収が増大し、内部の光
硬化が不充分となる。
【0013】本発明における顔料又は染料((D)成分)
としては、公知の着色剤が使用でき、感光性樹脂層の成
分、特にエチレン性不飽和化合物又はカルボキシル基含
有フィルム性付与ポリマーに対する相溶性、目標とする
色相、光透過性等を考慮して選択される。(D)成分の
配合量は、(B)成分と(A)成分との総量100重量
部に対して0.1〜50重量部とされる。この配合量が
0.1重量部未満では、着色が不充分となり、50重量
部を超えると、光透過率が低下する。
【0014】本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組
成物には、加熱硬化性を高めるために、カルボキシル基
含有フィルム性付与ポリマーのカルボキシル基と熱反応
するメラミン樹脂及び/又はエポキシ樹脂を、(B)成
分と(A)成分との総量100重量部に対して1〜20
重量部含有させることが好ましい。これらを添加して、
加熱することによって、架橋密度、耐熱性等が著しく向
上させることができる。加熱条件として、加熱温度は、
130〜200℃とすることが好ましく、加熱時間は、
30〜60分とすることが好ましい。
【0015】赤、青及び緑に着色された、各色のカラー
フィルター用感光性樹脂組成物を、フィルム状支持体、
例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の上
に、塗布、乾燥することにより、各色の着色された着色
感光性樹脂層を形成したフィルム状のもの(感光性フィ
ルム)を、製造することができる。このとき感光性樹脂
層の膜厚は、光硬化性、フィルター特性の点から、0.
5〜5.0μmとされ、1.0〜2.5μmであること
が好ましい。着色感光性樹脂層は未硬化であり、柔軟
で、粘着性を有するため、この上に更にポリエチレンフ
ィルム等の保護フィルムを貼合わせて外部からの損傷、
異物の付着などを防止することが好ましい。
【0016】本発明において上記感光性フィルムを用い
たカラーフィルターは、次のようにして製造される。ま
ず、透明基板上に感光性フィルムの着色感光性樹脂層を
貼合わせ、着色感光性樹脂層表面のフィルム状支持体の
上に所定パターンのネガマスクをのせて露光した後、フ
ィルム状支持体を除去し、所定の現像液で現像し着色パ
ターンを形成する。この着色パターン形成工程を、色の
異なる感光性フィルムを用いて所定回数繰り返し行い、
多色のパターンを形成させてカラーフィルターが得られ
る。なお、ここで得られるカラーフィルターのパターン
はストライプ状、モザイク状などの既存のカラーフィル
ター用パターンの全てに適用可能であるが、各色のパタ
ーン間の間隔は25μm以上とすることが好ましい。
【0017】
【実施例】以下、実施例によって本発明を説明する。 実施例1 表1の配合表に従い均一に溶解した溶液A(206重量
部)に表2の赤色の顔料を20重量部を溶解し赤ワニス
を得た。これと同様に溶液A(206重量部)に緑顔
料、青顔料を20重量部それぞれ溶解させ、緑ワニス、
青ワニスを得た。得られた各ワニスをフィルムコーター
を用いて厚さ6μmのポリエチレンテレフタレートフィ
ルム(テイジン社製テトロンフィルムM5R)上に均一
な厚さに塗布し、100℃の乾燥機で約2分間加熱乾燥
後、保護フィルムとして厚さ30μmのポリエチレンフ
ィルムを貼合わせて感光性樹脂層の膜厚が2μmの着色
された感光性フィルムを得た。次に、カラーフィルター
用の下地基板を80〜150℃前後で10分間加熱後、
着色感光性フィルムのポリエチレンフィルムを剥がしな
がら、着色された感光性樹脂層をロール温度110℃、
ロール圧力:4kgf/cm2、速度:1.0m/minで基板にラ
ミネートした。次いで所定のパターンのネガマスクを通
して露光機HMW−201B(3kW、超高圧水銀灯、オ
ーク製作所製)を用い60mj/cm2で露光した。露光後、
ポリエチレンテレフタレートフィルムを除去し、0.2
重量%ほう酸ナトリウム水溶液で現像し所定のパターン
を形成した。その結果、基板によく密着し、剥れのない
高品質なパターンが得られた。
【0018】比較例1 表1の配合表に従い配合した塗液Bに実施例1と同様に
顔料を含有させ感光性フィルムを作成した。得られた感
光性フィルムを使用し、実施例1と同様に所定のパター
ンを形成するためにラミネート、露光及び現像の工程を
行ったが、基板上の着色された樹脂層は現像の際現像さ
れずに透明基板上から剥離してしまった。
【0019】比較例2 表1の配合表に従い配合した塗液Cに実施例1と同様に
顔料を含有させ感光性フィルムを作成した。得られた感
光性フィルムを使用し、実施例1と同様に所定のパター
ンを形成するためにラミネート、露光及び現像の工程を
行ったが、現像を行うために感光性樹脂層上のポリエチ
レンテレフタレートを剥離しようとしたところ、感光性
樹脂層はポリエチレンテレフタレートと一緒に剥離され
てしまった。
【0020】比較例3 表1の配合表に従い配合した塗液Dに実施例と同様に顔
料を含有させ感光性フィルムを作成した。得られた感光
性フィルムを使用し、実施例1と同様に所定のパターン
を形成するためにラミネート、露光及び現像の工程を行
ったところ、基板上の着色樹脂層は現像後、すぐに透明
基板上から剥離してしまった。
【0021】
【表1】
【0022】
【表2】
【0023】
【発明の効果】本発明のカラーフィルター用感光性樹脂
組成物及び感光性フィルムを用いることによって、透明
基板上に感光性樹脂層との良好な密着性を確保でき、作
業性よく、高精度で多色の微細パターンを有するカラー
フィルターを容易に製造することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/033

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)メタクリル酸又はアクリル酸を1
    7〜30重量%共重合した重量平均分子量が50,00
    0〜150,000のフィルム性付与ポリマ45〜70
    重量部、(B)エチレン性不飽和化合物30〜55重量
    部(但し、(A)成分と(B)成分との総量が100重
    量部となるようにする)、(C)光重合開始剤0.1〜
    10重量部及び(D)顔料又は染料を0.1〜50重量
    部含むカラーフィルター用感光性樹脂組成物において、
    (B)エチレン性不飽和化合物がγ−クロロ−β−ヒド
    ロキシプロピル−β′−メタクリロイルオキシエチル−
    o−フタレートを含有するカラーフィルター用感光性樹
    脂組成物。
  2. 【請求項2】 (B)エチレン性不飽和化合物中にγ−
    クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β′−メタクリロイ
    ルオキシエチル−o−フタレートが5〜60重量%含有
    される請求項1記載のカラーフィルター用感光性樹脂組
    成物。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2記載のカラーフィルター
    用感光性樹脂組成物をフィルム支持体上に、塗布、乾燥
    して、膜厚が0.5〜5.0μmの感光性樹脂層を形成
    した感光性フィルム。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の感光性フィルムを用いて
    製造されたカラーフィルター。
JP27493694A 1994-11-09 1994-11-09 カラーフィルター用感光性樹脂組成物、感光性フィルム及びカラーフィルター Pending JPH08137101A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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