JP2001142223A

JP2001142223A - 感光性エレメントの製造法、感光性エレメント及びカラーフィルターの製造法

Info

Publication number: JP2001142223A
Application number: JP32398799A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Furubayashi; 寛巳古林; Hiroshi Yamazaki; 宏山崎
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 1999-11-15
Filing date: 1999-11-15
Publication date: 2001-05-25

Abstract

(57)【要約】【課題】クッション層の塗工外観（膜厚分布）を向上
し、感光性樹脂組成物層の塗膜外観ムラが少なく、作業
性及び生産性が優れる感光性エレメントの製造法、クッ
ション層の塗工外観（膜厚分布）を向上し、感光性樹脂
組成物層の塗膜外観ムラが少なく、作業性及び生産性が
優れ、カラーフィルターの製造に有用な感光性エレメン
ト並びにパターンの段差が小さく、高精度で、表示欠陥
の少なく、作業性及び生産性が優れ、カラーフィルター
の製造法を提供する。【解決手段】（ａ）支持体フィルム、（ｂ）クッショ
ン層及び（ｃ）感光性樹脂組成物層の順に積層された感
光性エレメントの製造法において、前記（ｂ）クッショ
ン層を前記（ａ）支持体フィルム上に積層する際に、沸
点が１２０〜１５５℃の有機成分を必須成分とする溶媒
に溶解させて塗布することを特徴とする感光性エレメン
トの製造法、この感光性エレメントの製造法により製造
された感光性エレメント並びにこの感光性エレメントを
（ｃ）感光性樹脂組成物層が、透明基板上に接するよう
に貼り合わせる工程、（ａ）支持体フィルム及び（ｂ）
クッション層を剥離する工程並びに（ｃ）感光性樹脂組
成物層をパターン状に露光、現像する工程を含む工程を
繰り返すことにより、多色のパターンを形成することを
特徴とするカラーフィルターの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性エレメント
の製造法、感光性エレメント及びカラーフィルターの製
造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶カラーテレビ、液晶カラー表示のコ
ンピューターなどが実用化されているが、これらの液晶
表示装置は、透明電極を設けたガラス等の透明な基板間
に１〜１０μｍ程度の間隔を設けて、その間に液晶物質
を封入し、電極間に印加した電圧により液晶物質を配向
しその濃淡により表示する仕組になっている。更に、カ
ラー表示のため、ガラスなどの光学的に透明な基板の表
面に２種以上の色相を異にする極めて微細なストライプ
状又はモザイク状のパターンを一定間隔に開けて、平行
又は交差して並べたカラーフィルターを設置している。

【０００３】カラーフィルターは、通常、透明基板、着
色パターン、保護膜、透明電極の順に形成されている。
着色パターンは２種以上の色相を異にする極めて微細な
ストライプ状又はモザイク状のパターンからなるもので
ある。これらのパターンは色相を所定の順序に所定の間
隔をおいて整然と配置し、しかも厚さむらの少ない均一
な層とする必要があり、種々のカラーフィルターの製造
法が提案されている。

【０００４】例えばスクリーン印刷法では低コストのカ
ラーフィルターの形成が可能である。またフォトリソグ
ラフィ技術を用いる方法、すなわち、カラーフィルター
用基板上に形成された透明膜に、所定のネガマスクを通
して紫外線照射し、未露光部を除去したのち、防染層を
形成しながら染色する方法がある。前記の方法の改良方
法として、基板上に着色した溶液状感光性樹脂組成物を
塗布し、乾燥した後、露光・現像して一色のパターンを
形成させ、該工程を他の色についても同様に繰り返し行
ってカラーフィルターを形成する方法がある。

【０００５】また、現在プリント配線板製造時のエッチ
ングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジスト等に一
般に使用されている支持体フィルム及び感光性樹脂組成
物層から成る感光性エレメントを使用した多色の微細な
ストライプ状又はモザイク状のパターンを簡単に高精度
で形成できるカラーフィルターの製造法が知られてい
る。この方法は透明基板上に支持体フィルムと一色に感
光性樹脂組成物層とから成る感光性エレメントを、感光
性樹脂組成物層が基板に面するように貼り合わせる工
程、露光して所定のパターンを形成させる工程及び前記
支持体フィルムを剥がして現像する工程を繰り返して多
色パターンを形成させてカラーフィルターを製造する。

【０００６】例えば、一つの色相着色剤を含む感光性樹
脂組成物層を支持体フィルムに塗布乾燥した感光性エレ
メントの感光性樹脂組成物層を透明基板上に転写して、
所定のパターンマスクを介して露光・現像してパターン
を形成する方法（特開昭６１−９９１０２号公報）が知
られている。また、このフィルムに所定のパターンのマ
スクを介して露光・現像してパターンを形成したのち
に、透明基板上に転写してカラーフィルターのパターン
を形成する方法（特開昭６１−９９１０３号公報）及び
このフィルムを透明基板上に加熱圧着して、所定のパタ
ーンのマスクを介して露光して、支持体フィルムを剥離
し、現像して透明着色の画像パターンを形成する方法
（特開昭６３−１８７２０３号公報）が知られている。
また、感光性樹脂組成物層の上にポリ酢酸ビニル共重合
体の接着体を構成した感光性エレメントを用いて特開昭
６３−１８７２０３号公報と同様の方法でカラーフィル
ターのパターンを形成する方法（特開平２−２４６２４
号公報）が知られている。

【０００７】しかしながら、感光性エレメントを用いた
カラーフィルターの製造においては、多色の内２色目以
降を感光性エレメントのラミネート（積層）で形成する
ため、どうしても既に形成されてパターンが影響し表面
に段差が発生する問題がある。この段差は後工程の透明
樹脂から成るオーバーコート層の塗布むらやその後のス
パッタリングによるＩｎ₂Ｏ₃−ＳｎＯ₂系の電極形成不
良による高抵抗化の問題を生ずる。また、直接に画像の
荒れとして現れることもある。この段差を低減するため
に、感光性樹脂組成物層と支持体の間に熱可塑性樹脂の
クッション層を設け、ラミネート時の圧力と温度で平坦
化する方法（特開平４−２０８９４０号公報、特開平７
−２０３０９号公報）が提案されている。この方法で
は、感光性樹脂組成物層とクッション層が密着している
ため、クッション層の上に所定のパターンのマスクを介
して露光しなければならなく、著しい解像度不足を招く
結果となっている。このため露光前に支持体フィルムと
一緒にクッション層を剥離する方法が提案されており、
これによって解像度を向上することができる。

【０００８】このクッション層はＥＥＡまたはＥＶＡ樹
脂を用いることが知られている。それら、樹脂は溶剤へ
の溶解性が悪く、塗工むらが発生しやすい問題がある。
そのため感光性樹脂組成物層の塗工外観にも若干ながら
塗工ムラが残り、表示欠陥になる場合がある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】請求項１、２、３、
４、５、６、７、８、９及び１０記載の発明は、クッシ
ョン層の塗工外観（膜厚分布）を向上し、感光性樹脂組
成物層の塗膜外観ムラが少なく、作業性及び生産性が優
れる感光性エレメントの製造法を提供するものである。
請求項１１記載の発明は、クッション層の塗工外観（膜
厚分布）を向上し、感光性樹脂組成物層の塗膜外観ムラ
が少なく、作業性及び生産性が優れ、カラーフィルター
の製造に有用な感光性エレメントを提供するものであ
る。請求項１２記載の発明は、パターンの段差が小さ
く、高精度で、表示欠陥の少なく、作業性及び生産性が
優れ、カラーフィルターの製造法を提供するものであ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、（ａ）支持体
フィルム、（ｂ）クッション層及び（ｃ）感光性樹脂組
成物層の順に積層された感光性エレメントの製造法にお
いて、前記（ｂ）クッション層を前記（ａ）支持体フィ
ルム上に積層する際に、沸点が１２０〜１５５℃の有機
成分を必須成分とする溶媒に溶解させて塗布することを
特徴とする感光性エレメントの製造法に関する。また、
本発明は、（ｂ）クッション層が、エチレン系共重合体
である前記感光性エレメントの製造法に関する。

【００１１】また、本発明は、エチレン系共重合体が、
ＥＶＡ（エチレン−酢酸ビニル共重合体）又はＥＥＡ
（エチレン−エチルアクリレート共重合体））である前
記感光性エレメントの製造法に関する。また、本発明
は、エチレン系共重合体におけるエチレンの共重合比が
６０〜８０重量％である前記感光性エレメントの製造法
に関する。

【００１２】また、本発明は、沸点が１２０〜１５５℃
の有機成分が、溶媒の総量に対して、５〜２０重量％含
有する前記感光性エレメントの製造法に関する。また、
本発明は、沸点が１２０〜１５５℃の有機成分が、キシ
レンである前記感光性エレメントの製造法に関する。ま
た、本発明は、溶媒がトルエンを含有する前記感光性エ
レメントの製造法に関する。

【００１３】また、本発明は、（ｂ）クッション層の膜
厚が５〜１００μｍである前記感光性エレメントの製造
法に関する。また、本発明は、（ｃ）感光性樹脂組成物
層が、（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）分子内に少な
くとも１つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合
物、（Ｃ）光重合開始剤及び（Ｄ）顔料又は染料を含有
してなる前記感光性エレメントの製造法に関する。ま
た、本発明は、（Ｂ）分子内に少なくとも１つのエチレ
ン性不飽和基を有する光重合性化合物がビスフェノール
Ａ系（メタ）アクリレート化合物である前記感光性エレ
メントの製造法に関する。

【００１４】また、本発明は、前記感光性エレメントの
製造法により製造された感光性エレメントに関する。ま
た、本発明は、前記感光性エレメントを（ｃ）感光性樹
脂組成物層が、透明基板上に接するように貼り合わせる
工程、（ａ）支持体フィルム及び（ｂ）クッション層を
剥離する工程並びに（ｃ）感光性樹脂組成物層をパター
ン状に露光、現像する工程を含む工程を繰り返すことに
より、多色のパターンを形成することを特徴とするカラ
ーフィルターの製造法に関する。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。なお、本発明における（メタ）アクリル酸とはア
クリル酸及びそれに対応するメタクリル酸を意味し、
（メタ）アクリレートとはアクリレート及びそれに対応
するメタクリレートを意味し、（メタ）アクリロイル基
とはアクリロイル基及びそれに対応するメタクリロイル
基を意味する。

【００１６】本発明の感光性エレメントの製造法は、
（ａ）支持体フィルム、（ｂ）クッション層及び（ｃ）
感光性樹脂組成物層の順に積層する必要があり、前記
（ｂ）クッション層を（ａ）支持体フィルム上に積層す
る際に、沸点が１２０〜１５５℃の有機成分を必須成分
とする溶媒に溶解させて塗布する必要がある。

【００１７】上記（ａ）支持体フィルムは、紫外線を透
過できるものであれば特に制限はないが、好ましくは厚
さが２〜１００μｍ程度のポリエステルフィルムが用い
られる。上記ポリエステルフィルムとしては、例えば、
テトロンフィルム（帝人(株)製製品名）、マイラーフィ
ルム（デュポン社製製品名）等のポリエステルフィルム
が挙げられる。

【００１８】上記（ｂ）クッション層としては、特に制
限はないが、エチレン系共重合体であることが好まし
い。上記エチレン系共重合体としては、共重合成分とし
てエチレンを含有するものであれば特に制限はなく、Ｅ
ＶΑ（エチレン−酢酸ビニル共重合体）、ＥＥΑ（エチ
レン−エチルアクリレート共重合体）等が挙げられる。
これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用され
る。

【００１９】上記エチレン系共重合体におけるエチレン
の共重合比は、共重合成分総量に対して、６０〜８０重
量％であることが好ましく、６５〜８０重量％であるこ
とがより好ましい。この共重合比が６０重量％未満では
クッション層の密着性が高くなり、カバーフィルムの剥
離が困難となると同時に、クッション層と色層の密着も
高くなりベースフィルムの剥離も困難となる傾向があ
り、８０重量％を超えると、２色目、３色目の画素を形
成するためにフィルムをラミネートした際、１色目の画
素に対する追従性不良のため良好な画素及び平坦性が得
られなくなる傾向がある。

【００２０】前記（ｂ）クッション層の膜厚は５〜１０
０μｍであることが好ましく、１０〜５０μｍであるこ
とががより好ましく、１５〜３０μｍであることが特に
好ましい。この膜厚が５μｍ未満では２色目、３色目の
画素を形成する際の画素に対する追従性が悪くなる傾向
があり、また１００μｍを超えるとコストアップとなる
傾向がある。

【００２１】前記（ｂ）クッション層を（ａ）支持体フ
ィルムに塗布、乾燥する際には、クッション層成分を沸
点が１２０〜１５５℃の有機成分を必須成分とする溶媒
に溶解させる必要がある。上記沸点が１２０℃未満の有
機成分のみではレベリング効果がなく、１５５℃を超え
る有機成分のみでは塗膜乾燥工程で乾燥不足になり易
い。

【００２２】上記沸点が１２０〜１５５℃の有機成分
は、溶媒の総量に対して、５〜２０重量％含有させるこ
とが好ましく、７〜１５重量％含有させることがより好
ましい。この含有量が５重量％未満ではレベリング効果
がない傾向があり、２０重量％を超えると乾燥性が低下
し生産性を悪化させる傾向がある。

【００２３】上記沸点が１２０〜１５５℃の有機成分以
外の溶媒成分としては、例えば、トルエン等が挙げられ
る。上記トルエンと沸点が１２０〜１５５℃の有機成分
を併用した溶媒にクッション層成分を溶解させることに
より、ワニス温度３０℃以下での急激な粘度上昇を抑制
し、塗膜のレベリング効果を向上させることができる。
溶媒がトルエン単成分ではワニスがコーターヘッドから
出た直後の溶媒気化に伴う温度低下でワニス粘度が急激
に増加し、塗工ムラが発生しやすく、次に塗工する感光
性樹脂組成物層の外観不良となる傾向がある。

【００２４】上記沸点が１２０〜１５５℃の有機成分と
しては、例えば、酢酸ブチル、キシレン、キュメン、エ
チレングリコール、酢酸アミル、酢酸イソプロピル、ジ
酢酸エチレングリコール、メタクリル酸、メタクリル酸
エチル、メタクリル酸ｎ−ブチル、メタクリル酸２−エ
チルヘキシル、メタクリル酸ベンジル、アセト酢酸エチ
ル、安息香酸、エチルベンゼン、メシチレン等が挙げら
れ、キシレンであることが好ましい。また、上記沸点が
１２０〜１５５℃の有機成分はクッション層使用材料に
類似した官能基を有することが望ましい。これらは単独
で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００２５】前記（ｃ）感光性樹脂組成物層としては、
例えば、紫外線等の活性光線により露光され、アルカリ
水溶液等の現像液により現像可能ものなどが挙げられ
る。これらの例としては、例えば、（Ａ）バインダーポ
リマー、（Ｂ）分子内に少なくとも１つのエチレン性不
飽和基を有する光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤及
び（Ｄ）顔料又は染料を含有するものが挙げられる。

【００２６】上記（Ａ）バインダーポリマーとしては、
アルカリ現像性の見地から、カルボキシル基を有するこ
とが好ましく、重量平均分子量が２０，０００〜３０
０，０００であることが好ましい。この重量平均分子量
が２０，０００未満では感光性樹脂組成物層の流動性及
び粘着力が顕著に増大し、クッション層との密着力が強
くなりすぎるためクッション層と支持体フィルムの界面
で剥離しずらくなる傾向があり、３００，０００を超え
ると感光性樹脂組成物層の流動性及び粘着力が顕著に低
下し、ラミネート時に基板へ張り付かない、又はフィル
ムを基板サイズに切断する際、感光性樹脂組成物層の微
小な切断くずが出やすくなり、周辺装置の汚れの原因に
なるなどの問題が生ずる傾向がある。なお、本発明にお
いて、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマ
トグラフィーによって測定し、標準ポリスチレンの検量
線を用いて換算した値である。

【００２７】上記（Ａ）バインダーポリマーとしては、
例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルと（メ
タ）アクリル酸との共重合体、（メタ）アクリル酸アル
キルエステルと（メタ）アクリル酸とこれらと共重合し
得るビニルモノマーとの共重合体等が挙げられる。これ
らは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００２８】上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル
としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メ
タ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、
（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられ
る。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用
される。

【００２９】上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル
や（メタ）アクリル酸とこれらと共重合し得るビニルモ
ノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸ジメチル
エチル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、
２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレー
ト、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）
アクリレート、アクリルアミド、ジアセトンアクリルア
ミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。これ
らは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００３０】更に（メタ）アクリル酸を共重合成分とし
て含むテレフタル酸、イソフタル酸、セバシン酸等のポ
リエステル、ブタジエンとアクリロニトリルの共重合
体、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチ
レート、メチルセルロース、エチルセルロース等も用い
ることができる。

【００３１】前記（Ｂ）分子内に少なくとも１つのエチ
レン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、例え
ば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応
させて得られる化合物、２，２−ビス（４−（（メタ）
アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，
２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキ
シ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メ
タ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニ
ル）プロパン等のビスフェノールＡ系（メタ）アクリレ
ート化合物、グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和
カルボン酸を反応させで得られる化合物、ウレタン結合
を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノ
マー、ノニルフェニルジオキシレン（メタ）アクリレー
ト、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β′−（メ
タ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−
ヒドロキシエチル−β′−（メタ）アクリロイルオキシ
エチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシプロピル−
β′−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレ
ート、（メタ）アクリル酸アルキルエステル等が挙げら
れるが、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合
物又はウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合
物を必須成分とすることが好ましい。これらは単独で又
は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００３２】上記２，２−ビス（４−（（メタ）アクリ
ロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンとしては、例
えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエ
トキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−
（（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロ
パン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテト
ラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−
（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プ
ロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘ
キサエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４
−（（メタ）アクリロキシヘプタエトキシ）フェニル）
プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシ
オクタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス
（４−（（メタ）アクリロキシノナエトキシ）フェニ
ル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロ
キシデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス
（４−（（メタ）アクリロキシウンデカエトキシ）フェ
ニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリ
ロキシドデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−
ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリデカエトキシ）
フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）ア
クリロキシテトラデカエトキシ）フェニル）プロパン、
２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカ
エトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−
（（メタ）アクリロキシヘキサデカエトキシ）フェニ
ル）プロパン等が挙げられ、２，２−ビス（４−（メタ
クリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンは、Ｂ
ＰＥ−５００（新中村化学工業(株)製、製品名）として
商業的に入手可能であり、２，２−ビス（４−（メタク
リロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパンは、
ＢＰＥ−１３００（新中村化学工業（株）製、製品名）
として商業的に入手可能である。これらは単独で又は２
種類以上を組み合わせて使用される。

【００３３】上記２，２−ビス（４−（（メタ）アクリ
ロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパ
ンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）ア
クリロキシジエトキシオクタプロポキシ）フェニル）プ
ロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテ
トラエトキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン、
２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエト
キシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げら
れる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使
用される。

【００３４】前記（Ｃ）光重合開始剤としては、例え
ば、ベンゾフェノン、４，４′−ジメチルアミノベンゾ
フェノン（ミヒラーケトン）、４，４′−ジエチルアミ
ノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミ
ノベンゾフェノン、２−エチルアントラキノン、フェナ
ントレンキノン等の芳香族ケトン、ベンゾインメチルエ
ーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニ
ルエーテル等のベンゾイン、２−（ｏ−クロロフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフ
ェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２
−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，
５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキ
シフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量
体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニ
ルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）
−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−
メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミ
ダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾ
ール二量体、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニ
ル］−２−モルフォリノ）−１−プロパノン等が用いら
れる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使
用される。

【００３５】前記（Ｄ）成分の顔料又は染料としては、
例えば、公知の着色剤が使用でき、（ｃ）感光性樹脂組
成物層の成分、特に（Ａ）成分又は（Ｂ）成分に対する
相溶性、目標とする色相、光透過性等を考慮して適宜選
択され、例えば、フクシン、オーラミン塩基、カルコシ
ドグリーンＳ、パラマジェンタ、クリスタルバイオレッ
ト、メチルオレンジ、ナイトブルー２Ｂ、ビクトリアブ
ルー、マラカイトグリーン、ベイシックブルー２０、ア
イオジンググリーン、ナイトグリーンＢ、トリバロサ
ン、ニューマジェンタ、アシッドバイオレットＲＲＨ、
レッドバイオレット５ＲＳ、エチルバイオレット、メチ
レンブルー、ニューメチレンブルーＧＧ、フタロシアニ
ングリーン、ダイヤモンドグリーン、ローダミンＢ等の
染料、フタロシアニンブルー等のフタロシアニン系顔
料、インダンスレンブルー、フタロシアニングリーン、
ハロゲン化フタロシアニン、ジオキサジンバイオレッ
ト、キナクリドンレッド等のキナクリドン顔料、ピロロ
・ピロール系顔料、アントラキノン系顔料、ベリレン系
顔料、カーボン、チタンカーボン、酸化鉄、アゾ系黒色
顔料、チタン白、シリカ、タルク、炭酸マグネシウム、
炭酸カルシウム、天然マイカ、合成マイカ、水酸化アル
ミニウム、沈降性炭酸バリウム、チタン酸バリウム、山
陽色素(株)製colortex red ＵＥＭ、colortex blue Ｕ
ＥＭ、colortex green ＵＥ−１２０３などが挙げられ
る。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用
される。

【００３６】前記（Ａ）成分の配合量は、（Ａ）成分及
び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、２０〜６０
重量部であることが好ましい。この配合量が２０重量部
未満では塗膜性が不十分となる傾向があり、６０重量部
を超えると硬化物の膜特性が低下する傾向がある。

【００３７】前記（Ｂ）成分の配合量は、（Ａ）成分及
び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、４０〜８０
重量部であることが好ましい。この配合量が４０重量部
未満では光感度が不十分で硬化物の膜特性が低下する傾
向があり、８０重量部を超えると塗膜性が不十分となる
傾向がある。

【００３８】前記（Ｃ）成分の配合量は、（Ａ）成分及
び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、０．１〜１
０重量部であることが好ましい。この配合量が０．１重
量部未満では光感度が不十分となる傾向があり、１０重
量部を超えると露光の際感光性樹脂組成物層の表面での
光吸収が増大し、内部の光硬化が不十分となる傾向があ
る。

【００３９】前記（Ｄ）成分の配合量は、（Ａ）成分及
び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、１〜５０重
量部であることが好ましい。この配合量が１重量部未満
では着色が不十分となる傾向があり、５０重量部を超え
ると光透過率が低下する傾向がある。

【００４０】その他、感光性樹脂組成物層には、熱重合
性成分安定剤、ヘキサメトキシメラミン等のメラミン樹
脂などの熱硬化性樹脂等を含有させてもよい。

【００４１】なお、感光性樹脂組成物層の保護の見地か
ら、（ｃ）感光性樹脂組成物層の（ｂ）クッション層と
接触している面とは反対側の面に、さらに（ｄ）保護フ
ィルムを積層することが好ましい。上記保護フィルムと
しては、例えば、ポリエステルフィルム、ポリオレフィ
ンフィルム等が用いられるが、表面平滑性等の面から、
ポリオレフィンフィルムが好ましい。また、その厚み
は、１０〜４０μｍであることが好ましく、１０μｍ未
満では取扱性に劣る傾向があり、４０μｍを超えるとコ
ストアップとなる傾向がある。

【００４２】本発明の感光性エレメントは、例えば、ポ
リエチレンフィルム等の支持体フィルム上にクッション
層の溶液をロールコータ、コンマコータ、グラビアコー
タ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータなど
で塗布、乾燥後、さらに感光性樹脂組成物の溶液を上記
塗工方法で塗布、乾燥後、必要に応じて保護フィルムを
積層することで製造することができる。

【００４３】また、上記とは別にポリエチレンフィルム
等の支持体フィルム上に感光性樹脂組成物の溶液をロー
ルコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイ
フコータ、ダイコータ、バーコータなどで塗布、乾燥
後、必要に応じて保護フィルムを積層し感光性樹脂組成
物層を有するエレメントを得る。また、ポリエチレンフ
ィルム等の支持体フィルム上にクッション層の溶液をロ
ールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナ
イフコータ、ダイコータ、バーコータなどで塗布、乾燥
してクッション層を有するエレメントを得る。次いで、
必要に応じて存在する保護フィルムを剥離した感光性樹
脂組成物層を有するエレメントの感光性樹脂組成物層と
クッション層とを貼り合わせるようにして本発明の感光
性エレメントを得ることもできる。

【００４４】本発明の感光性エレメントを使用したカラ
ーフィルタは、例えば、以下のようにして製造される。
まず、必要に応じてブラックマトリックスが形成された
カラーフィルタ用基板を必要に応じて１００〜２００℃
の温度で３〜３０分間加熱した後、そのカラーフィルタ
用基板上に必要に応じて存在する保護フィルムを剥がし
ながら感光性エレメントの感光性樹脂組成物層を積層
し、感光性樹脂組成物層の表面の支持体フィルム及びク
ッション層を剥離した後、感光性樹脂組成物層上に所定
のパターンのネガマスクを乗せて像状に露光する。次い
で未露光部分が現像液で現像され着色パターンが形成さ
れる。この着色パターンの形成工程を色の異なる感光性
エレメントを用いて所定回数繰り返すことで多色の着色
パターンを形成させカラーフィルタが得られる。

【００４５】前記積層工程は、一般にホットロールと呼
ばれる加熱可能なロール又はヒートシューと呼ばれる加
熱用のジャケットとラミネートロールと呼ばれるロール
により、感光性樹脂組成物層を加熱し軟化しながら行
う。本発明の感光性エレメントを用いると２色目以降の
パターンを形成する際に、特別な処理をすることなくパ
ターンの段差を低減できる。

【００４６】前記露光工程は、一般に専用の露光機があ
り、接触又は非接触型のものを用いて行う。ランプとし
ては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドラン
プ、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものを
用いることができる。

【００４７】現像方法は、ディップ法、スプレー法等が
挙げられ、高解像度化には高圧スプレー法が最適であ
る。現像液は、環境性及び安全性の見地からアルカリ性
水溶液であることが好ましく、例えば、０．１〜５重量
％炭酸ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％炭酸カ
リウムの希薄溶液、０．１〜５重量％水酸化ナトリウム
の希薄溶液、０．１〜５重量％四ホウ酸ナトリウムの希
薄溶液等が好ましい。

【００４８】

【実施例】次に、本発明を実施例により更に詳しく説明
する。

【００４９】実施例１ポリエステルフィルム（５０μｍ厚）上に均一に表１の
クッション層成分１の樹脂組成物溶液を均一に塗布し、
１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥して乾燥後
の膜厚が２０μｍ厚のクッション層（ｂ）を形成した
後、表２の感光性樹脂組成物の溶液をクッション層上に
均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間
乾燥して乾燥後の膜厚が１．８μｍ厚の感光性樹脂組成
物層（ｃ）を形成し、その後、３０μｍ厚のポリエチレ
ンフィルムを保護フィルム（ｄ）として積層し感光性エ
レメントを得た。

【００５０】得られた感光性エレメントをその保護フィ
ルムを剥がしながら、感光性樹脂組成物層を１５０℃で
予め加熱したガラス基板上にロール温度１５０℃、ロー
ル圧６×１０⁵Pa、速度１．０ｍ／分でラミネートし
た。次いで、ポリエステルフィルムとクッション層を除
去し、所定のパターンのネガマスクを通して露光機ＨＭ
Ｗ−２０１Ｂ（３KW、超高圧水銀灯、オーク製作所製）
で露光した後、３０℃で０．０５重量％の炭酸ナトリウ
ム水溶液で１０〜２０秒スプレー現像して未露光部を除
去し、一色目の着色パターンを作製した。この着色パタ
ーンの形成工程を赤、青、緑の順に各色の感光性エレメ
ントを用いて３回繰り返し行い、多色パターンを作製し
た。この際の露光量は、２００mJ/cm²とした。得られた
多色パターンを１５０℃で４５分間加熱して段差の少な
いカラーフィルターを得た。さらに、表示欠陥は殆ど無
く、良好なカラーフィルターパネルを得ることができ
た。

【００５１】比較例１表１のクッション層組成物をクッション層成分２とする
以外は実施例と同様に感光性エレメントを作製したが、
若干の塗工ムラがあり、僅かに表示欠陥となった。

【００５２】

【表１】

【００５３】

【表２】

【００５４】

【発明の効果】請求項１、２、３、４、５、６、７、
８、９及び１０記載の感光性エレメントの製造法は、ク
ッション層の塗工外観（膜厚分布）を向上し、感光性樹
脂組成物層の塗膜外観ムラが少なく、作業性及び生産性
が優れる。請求項１１記載の感光性エレメントは、クッ
ション層の塗工外観（膜厚分布）を向上し、感光性樹脂
組成物層の塗膜外観ムラが少なく、作業性及び生産性が
優れ、カラーフィルターの製造に有用である。請求項１
２記載のカラーフィルターの製造法は、パターンの段差
が小さく、高精度で、表示欠陥の少なく、作業性及び生
産性が優れる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2H025 AA02 AA18 AB11 AB13 AB14 AC01 AD01 BC13 BC31 BC83 CA00 CC11 DA40 EA08 2H048 BA45 BA47 BA48 BB15 BB28 BB42

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（ａ）支持体フィルム、（ｂ）クッショ
ン層及び（ｃ）感光性樹脂組成物層の順に積層された感
光性エレメントの製造法において、前記（ｂ）クッショ
ン層を前記（ａ）支持体フィルム上に積層する際に、沸
点が１２０〜１５５℃の有機成分を必須成分とする溶媒
に溶解させて塗布することを特徴とする感光性エレメン
トの製造法。
【請求項２】（ｂ）クッション層が、エチレン系共重
合体である請求項１記載の感光性エレメントの製造法。
【請求項３】エチレン系共重合体が、ＥＶＡ（エチレ
ン−酢酸ビニル共重合体）又はＥＥＡ（エチレン−エチ
ルアクリレート共重合体））である請求項２記載の感光
性エレメントの製造法。
【請求項４】エチレン系共重合体におけるエチレンの
共重合比が６０〜８０重量％である請求項２又は３記載
の感光性エレメントの製造法。
【請求項５】沸点が１２０〜１５５℃の有機成分が、
溶媒の総量に対して、５〜２０重量％含有する請求項
１、２、３又は４記載の感光性エレメントの製造法。
【請求項６】沸点が１２０〜１５５℃の有機成分が、
キシレンである請求項１、２、３、４又は５記載の感光
性エレメントの製造法。
【請求項７】溶媒がトルエンを含有する請求項１、
２、３、４、５又は６記載の感光性エレメントの製造
法。
【請求項８】（ｂ）クッション層の膜厚が５〜１００
μｍである請求項１、２、３、４、５、６又は７記載の
感光性エレメントの製造法。
【請求項９】（ｃ）感光性樹脂組成物層が、（Ａ）バ
インダーポリマー、（Ｂ）分子内に少なくとも１つのエ
チレン性不飽和基を有する光重合性化合物、（Ｃ）光重
合開始剤及び（Ｄ）顔料又は染料を含有してなる請求項
１、２、３、４、５、６、７又は８記載の感光性エレメ
ントの製造法。
【請求項１０】（Ｂ）分子内に少なくとも１つのエチ
レン性不飽和基を有する光重合性化合物がビスフェノー
ルＡ系（メタ）アクリレート化合物である請求項９記載
の感光性エレメントの製造法。
【請求項１１】請求項１、２、３、４、５、６、７、
８、９又は１０記載の感光性エレメントの製造法により
製造された感光性エレメント。
【請求項１２】請求項１１記載の感光性エレメントを
（ｃ）感光性樹脂組成物層が、透明基板上に接するよう
に貼り合わせる工程、（ａ）支持体フィルム及び（ｂ）
クッション層を剥離する工程並びに（ｃ）感光性樹脂組
成物層をパターン状に露光、現像する工程を含む工程を
繰り返すことにより、多色のパターンを形成することを
特徴とするカラーフィルターの製造法。