JPH1090616A - マルチビーム走査装置 - Google Patents

マルチビーム走査装置

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JPH1090616A
JPH1090616A JP8302172A JP30217296A JPH1090616A JP H1090616 A JPH1090616 A JP H1090616A JP 8302172 A JP8302172 A JP 8302172A JP 30217296 A JP30217296 A JP 30217296A JP H1090616 A JPH1090616 A JP H1090616A
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智宏 中島
Katsumi Yamaguchi
勝己 山口
Akira Shimura
顕 志村
Masaki Narita
昌樹 成田
Shuichi Yamazaki
修一 山崎
Satoru Ito
悟 伊藤
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Abstract

(57)【要約】 【課題】マルチビーム走査装置において、記録画質に影
響の大きい走査線ピッチを精度良く検出する。 【解決手段】個別に発光制御される複数の発光源を有す
る光源装置1からの複数の光ビームを同一の偏向手段3
により偏向させ、同一の走査結像光学系4により被走査
面5に複数の光スポットとして集光させ、複数の光スポ
ットにより被走査面を同時走査するマルチビーム走査装
置であって、被走査面上において隣接する光スポットの
副走査方向の間隔を走査線ピッチとして検出する走査線
ピッチ検出手段6,7を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はマルチビーム走査
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】個別に発光制御される複数の発光源を有
する光源装置からの複数の光ビームを同一の偏向手段に
より偏向させ、同一の走査結像光学系により被走査面に
複数の光スポットとして集光させ、上記複数の光スポッ
トにより被走査面を同時走査するマルチビーム走査装置
が提案されている(特開昭56−42248号公報)。
【0003】マルチビーム走査装置において良好な走査
を実現するには、同時走査される隣接走査線間の距離、
即ち走査線ピッチが精度良く設定される必要がある。走
査ピッチに狂いがあると、走査により書き込まれる画像
の濃度が副走査方向に周期的に変動する濃度むらを生
じ、記録画像の像質を劣化させる。
【0004】走査線ピッチは、例えば、マルチビーム走
査装置を組み込んだ画像形成装置の出荷時に適正なピッ
チに調整する必要があるし、出荷された後においても、
画像形成装置の機械的振動等により経時的に変化する可
能性があり、そのように走査線ピッチに狂いを生じた場
合には、随時の設定調整が必要となる。
【0005】また、近来、走査線ピッチを変更すること
により、記録密度の切り換えを行なうことも意図されて
おり、このような場合には、記録密度の切り換えに応じ
て走査線ピッチを精度良く設定しなおす必要がある。
【0006】走査線ピッチを調整するにせよ設定するに
せよ、これを正確に行なうには、走査線ピッチの正確な
検出が必要である。走査線ピッチを検出する方法は、例
えば、特開平7−72399号公報に記載された方法
等、種々の方法が知られているが、精度や能率の面で問
題なしとしない。
【0007】また、走査線ピッチの調整・制御に関して
は、特開昭61−245174号公報や、The 9t
h international congress
onadvances in non−inpact
printinng technologies/Ja
pan hardcopy 793 P222に掲載の
論文:Dual beam diode laser
scanningsystem for high s
peed laser beam printer等に
記載された方法が知られているが、精度等に関して種々
の問題がある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、走査線ピ
ッチ検出手段を持つ新規なマルチビーム走査装置の実現
を課題とする。
【0009】この発明はまた、走査線ピッチ検出手段と
ピッチ調整手段とを有するマルチビーム走査装置の実現
を課題とする。
【0010】この発明はさらに、走査線ピッチ検出手段
とピッチ調整手段とピッチ調整制御手段とを有するマル
チビーム走査装置の実現を課題とする。
【0011】また、この発明は、専用の同期光検出手段
を用いること無く同期検知信号を得られるようにするこ
とによりマルチビーム走査装置のコンパクト化を実現す
ることを課題とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】この発明のマルチビーム
走査装置は「個別に発光制御される複数の発光源を有す
る光源装置からの複数の光ビームを同一の偏向手段によ
り偏向させ、同一の走査結像光学系により被走査面に複
数の光スポットとして集光させ、上記複数の光スポット
により被走査面を同時走査するマルチビーム走査装置」
である。
【0013】「光源装置」としては、複数の半導体レー
ザ発光源をモノリシックにアレイ配列させた半導体レー
ザアレイや、後述する2個の半導体レーザを組み合わせ
たものを有効に利用できる。
【0014】「同一の偏向手段」は、光源装置から放射
される複数の光ビームを一括して偏向させる。この偏向
手段としては、ポリゴンミラーや、回転単面鏡、回転2
面鏡を用いるもの等を利用できる。
【0015】「同一の走査結像光学系」は、一括して偏
向された複数の光ビームを被走査面上に複数の光スポッ
トとして集光させる。このような走査結像光学系として
は、fθレンズを始め、fθレンズと像面湾曲補正用あ
るいは面倒れ補正用の長尺レンズ(シリンダレンズやト
ロイダルレンズあるいは特殊な面形状の特殊トロイダル
レンズ等)の組合せとして実現できる。また、光源装置
から偏向手段に向かう複数の光ビームを偏向手段の偏向
反射面位置に「線像」として結像させ、走査結像光学系
をアナモフィックに構成して、偏向反射面位置と被走査
面位置とを副走査方向において共役な関係としてもよ
い。
【0016】マルチビーム走査装置の光学系には、光学
系のレイアウトに応じて、光ビームの光路を屈曲させる
「光路屈曲用のミラー」を適宜に配備することができ
る。要するに光源装置を除く光学系の構成としては、従
来から知られたシングルビーム走査装置の光学系に類似
のものを適宜利用できる。なお、被走査面位置には通
常、光導電性の感光体の感光面が配備されるので、光ス
ポットは実態的には感光体の感光面を走査することにな
る。
【0017】ここで、以下の説明のために「主走査方
向」および「副走査方向」の意味に就き説明する。周知
の如く、「主走査方向」は、被走査面上において光スポ
ットが走査を行なう方向であり、副走査方向は光スポッ
トの走査に相対的に感光体の感光面が移動する方向であ
る。この明細書においては、これらの方向をさらに一般
化する。即ち、偏向手段により理想的に偏向された光ビ
ームを考え、この光ビームに直交する任意の平面内で光
ビームの移動により走査される方向を、一般的に主走査
方向とよび、上記面内で、被走査面上の副走査方向と平
行的に対応する方向を一般的に副走査方向と称する。
【0018】また、光源装置の発光源から偏向手段に至
る光路上においても上記主走査方向に対応する方向を
「主走査方向」と呼び、上記副走査方向と対応する方向
を「副走査方向」と称する。上述の「線像」は主走査方
向に長く結像する。
【0019】請求項1記載のマルチビーム走査装置は
「被走査面上において隣接する光スポットの副走査方向
の間隔を走査線ピッチとして検出する走査線ピッチ検出
手段」を有する。「走査線ピッチ検出手段」は、光ビー
ム検出部と、制御部とによって構成することができる
(請求項2)。「光ビーム検出部」は、被走査面と等価
な検出領域(走査結像光学系の作用により、被走査面上
に於けると同様に複数の光スポットが集光形成される)
に、長手方向を副走査方向に対応させて設けられた「細
帯状の第1の光センサ」と、検出領域における走査方向
下流側に、第1の光センサに対して長手方向を所定角傾
けて設けられた「細帯状の第2の光センサ」とを有す
る。
【0020】「細帯状の光センサ」は、細幅の長い受光
部を有する光センサで、第1の光センサはその長手方向
を副走査方向に平行させて配備され、第2の光センサ
は、その長さ方向を副走査方向から傾けることにより、
第1の光センサと所定の角をなすようにする。光センサ
としては、他にCCDリニアセンサを用いることも可能
である。
【0021】「制御部」は、第1および第2の光センサ
から出力される光ビーム検出信号に基づき、各光スポッ
トが第1および第2の光センサ間の距離を通過する通過
時間を検出し、第2の光センサの第1の光センサに対す
る傾き角と、上記検出された通過時間とに基づき、隣合
った2つの光スポットの副走査方向の間隔を走査線ピッ
チとして演算する。
【0022】上記制御部は、より具体的には、基準クロ
ック発生回路と、遅延クロック発生回路と、ビーム間隔
計測回路と、信号位相検出回路と、副走査ピッチ演算回
路とを有することができる(請求項3)。
【0023】「基準クロック発生回路」は、基準クロッ
クを発生する。基準クロックは計時の基準となるクロッ
クである。 、「遅延クロック発生回路」は、基準クロ
ックに対して所定の微少時間ずつ遅延した1連の遅延ク
ロック(基準クロックと同周波数である)を発生させ
る。「ビーム間隔計測回路」は、各光スポットが光ビー
ム検出部の第1および第2の光センサにより発生する光
ビーム検出信号に基づき、各光スポットが第1および第
2の光センサ間の距離を通過する通過時間間隔を上記基
準クロックを基準として計測する。
【0024】「位置信号位相検出回路」は、各光スポッ
トによる光ビーム検出信号と同位相の遅延クロックを検
出する。「副走査ピッチ演算回路」は、光ビーム検出信
号と同位相の遅延クロックと基準クロックとの位相のず
れを時間差として演算し、演算された各時間差により光
スポットごとの通過時間間隔を補正して、各光スポット
ごとの通過時間を得、この通過時間と、第2の光センサ
の第1の光センサに対する傾き角とにより、隣合った2
つの光スポットの副走査方向の間隔を走査線ピッチとし
て演算する。
【0025】請求項3記載のマルチビーム走査装置にお
いて、複数の遅延クロック中で「第1の光センサからの
光ビーム検出信号と同位相の遅延クロック」を選択し
て、各光スポットに対する書込みクロック信号とするこ
とができる(請求項4)。この書込みクロック信号を用
いることにより、各光ビームによる書き出し位置を正確
に調整することができる。
【0026】上記請求項2または3または4に記載され
たマルチビーム走査装置は、光源装置を光軸に平行な軸
のまわりに回転させることにより、走査線ピッチを調整
する「ピッチ調整手段」を有することができる(請求項
5)。
【0027】請求項6記載のマルチビーム走査装置は、
上記請求項1記載のマルチビーム走査装置において、走
査線ピッチ検出手段が、受光手段と、演算手段を有す
る。「受光手段」は、被走査面の近傍(走査を妨げない
程度の近傍)に配備されるが、「主走査方向の受光面幅
が副走査方向にリニアに変化」する。「演算手段」は、
各光ビームが受光手段の受光面を主走査方向に通過する
通過時間を検出し、光スポットの走査速度と、検出され
た通過時間と、受光面の形状とに応じて走査線ピッチを
演算する。
【0028】請求項6記載のマルチビーム走査装置にお
ける演算手段は、より具体的には、前処理回路と、カウ
ンタ手段と、ラッチ手段と、遅延回路と、ビットコンパ
レータ手段とを有することができる(請求項7)。「前
処理回路」は、受光手段の出力を増幅し、2値化する。
「カウンタ手段」は、前処理回路により前処理されたデ
ジタル信号を、所定のクロック信号により計数する。
「ラッチ手段」は、カウンタ手段が計数した各光スポッ
トの通過時間をラッチする。「遅延回路」は、前処理回
路の出力を入力され、その立ち下がり時間を基準とした
所定の遅延時間で、ラッチ手段へのカウンタ手段の出力
をラッチするトリガ信号とカウンタ手段をクリアするク
リア信号とを発する。「ビットコンパレータ手段」は、
ラッチ手段の出力に基づき、隣接する光スポットの通過
時間の差を演算する。
【0029】請求項8記載のマルチビーム走査装置は、
請求項1記載のマルチビーム走査装置において、走査線
ピッチ検出手段が、以下の如き遮光部材と、受光手段
と、演算手段を有することを特徴とする。「受光手段」
は遮光部材と受光素子とを有し、被走査面の近傍に配備
される。
【0030】「遮光部材」は、互いに非平行に主走査方
向に併設された第1および第2のスリットを有する。
【0031】「受光素子」は、遮光部材の第1および第
2のスリットを通過した光ビームを受光する。「演算手
段」は、各光ビームが第1および第2のスリットの間を
主走査方向に通過する通過時間を検出し、光スポットの
走査速度と、検出された通過時間と、遮光部材における
第1および第2のスリットの態位とに応じて、走査線ピ
ッチを演算する。
【0032】請求項8記載のマルチビーム走査装置にお
ける演算手段は、前処理回路と、カウンタ手段と、ラッ
チ手段と、遅延回路と、ビットコンパレータ手段とを有
することができる。「前処理手段」は、受光手段の出力
を増幅したのち微分し、微分信号の0交叉点を検出す
る。
【0033】上記カウンタ手段、ラッチ手段、遅延回
路、ビットコンパレータ手段は請求項7記載のマルチビ
ーム走査装置におけると同様のものであり、前処理回路
により前処理されたデジタル信号に対し、請求項7記載
のものと同様の処理を行なう。請求項10記載のマルチ
ビーム走査装置は、請求項1記載のマルチビーム走査装
置において、走査線ピッチ検出手段が、以下の如き受光
手段と演算手段とを有する点を特徴とする。
【0034】「受光手段」は、被走査面の近傍に配備さ
れ、分割ラインが互いに非平行になるように主走査方向
に併設された第1および第2の2分割光センサにより構
成される。「2分割光センサ」は、細帯状の受光面が長
手方向の分割線により縦割りに2分割されたものであ
り、分割された各受光部(細長い形状である)から独立
して出力信号が発せられる。
【0035】「演算手段」は、各光ビームが第1および
第2の2分割光センサの間を主走査方向に通過する通過
時間を検出し、光スポットの走査速度と、検出された通
過時間と、第1および第2の2分割光センサの分割ライ
ンの態位とに応じて、走査線ピッチを演算する。
【0036】この場合の「演算手段」は、以下の如き前
処理回路と、カウンタ手段と、ラッチ手段と、遅延回路
と、ビットコンパレータ手段とを有することができる
(請求項11)。「前処理回路」は、受光手段における
各2分割光センサの各受光部からの出力の差を増幅し、
増幅された出力差の0交叉点を検出し、各2分割光セン
サに対応する0交差点の信号に対しイクスクルーシブオ
ア論理処理を行なう。
【0037】カウンタ手段、ラッチ手段、遅延回路、ビ
ットコンパレータ手段は請求項7記載のマルチビーム走
査装置におけると同様のものであり、前処理回路により
前処理されたデジタル信号に対し請求項7記載のものと
同様の処理を行なう。
【0038】請求項12記載のマルチビーム走査装置は
以下の如き特徴を有する。即ち、請求項1記載のマルチ
ビーム走査装置において、光源装置からは「偏光状態が
互いに異なる2本の光ビーム」が放射される。そして、
走査線ピッチ検出手段は、光ビーム分離手段と、2つの
受光手段と、演算手段とを有する。「光ビーム分離手
段」は、上記2本の光ビームを、偏光状態に従って互い
に分離する。「2つの受光手段」は、分離された各ビー
ムを受光する。「演算手段」は、各受光手段の出力に基
づき走査線ピッチを演算する。
【0039】上記2つの受光手段は、請求項6または8
または10記載の受光手段であり、演算手段は、請求項
6または8または10記載の演算手段に、上記2つの受
光手段の出力を時間的に前後して入力するように構成さ
れたものである。
【0040】上記請求項6〜12の任意の1に記載のマ
ルチビーム走査装置において、受光手段の受光信号によ
り同期検知信号を得るようにでき(請求項13)、請求
項6〜13の任意の1に記載のマルチビーム走査装置は
「光源装置を光軸に平行な軸のまわりに回転させること
により、走査線ピッチを調整するピッチ調整手段」を有
することができる(請求項14)。
【0041】請求項15記載のマルチビーム走査装置
は、請求項1記載のマルチビーム走査装置において、走
査線ピッチ検出手段が、以下の如き、リニアセンサと重
心位置演算手段とを有する。「リニアセンサ」は、長手
方向を副走査方向に対応させて検出領域に設けられる。
「重心位置演算手段」は、リニアセンサの出力に基づ
き、リニアセンサが受光した光スポットの重心位置を演
算する。
【0042】そして、重心位置演算手段で演算された重
心位置のデータが、走査線ピッチ検出のための「光スポ
ット位置データ」とされる。
【0043】請求項16記載のマルチビーム走査装置
は、走査線ピッチ検出手段と、ピッチ調整手段と、ピッ
チ調整制御手段とを有する。「走査線ピッチ検出手段」
は、被走査面上において隣接する光スポットの副走査方
向の間隔を走査線ピッチとして検出する。「ピッチ調整
手段」は、走査線ピッチを、光源装置の光軸まわりの回
転により調整する。「ピッチ調整制御手段」は、走査線
ピッチ検出手段による検出結果に基づきピッチ調整手段
を制御して所望の走査線ピッチを実現する。走査線ピッ
チ検出手段としては、上に説明した種々のものを用いる
ことができる。
【0044】請求項16記載のマルチビーム走査装置に
おける「走査線ピッチ検出手段」として、請求項15記
載のものを用い、ピッチ調整制御手段が「光源装置の各
発光源を時系列に順次発光させて、各ビームごとに光ス
ポット位置検出を走査線ピッチ検出手段により検出し、
検出された位置データに基づき、走査線ピッチを算出す
る機能」を有するように構成することができる(請求項
17)。
【0045】上記請求項16または17記載のマルチビ
ーム走査装置において、ピッチ調整制御手段は「検出さ
れる走査線ピッチと光源装置の回転角度との換算式に基
づき、光源装置の回転角度量を決定するピッチ・回転角
度変換手段」を有することができる(請求項18)。
【0046】請求項16または17または18記載のマ
ルチビーム走査装置において、偏向手段として「ポリゴ
ンミラーを用いるもの」を用いる場合には、ピッチ調整
制御手段が「光源装置の各発光源を時系列に順次発光さ
せて得られる各光ビームの偏向を、同一の偏向反射面で
行なわせるタイミング制御手段」を有するようにするこ
とができる(請求項19)。
【0047】上記請求項17記載のマルチビーム走査装
置においては、ピッチ調整制御手段が、主走査ピッチ算
出手段と、回転角度量算出手段を有することができる
(請求項20)。「主走査ピッチ算出手段」は、ピッチ
検出手段のリニアセンサを各光スポットが通過するとき
の出力間隔から「主走査ピッチ」を算出する。「回転角
度量算出手段」は、算出された主走査ピッチと、ピッチ
検出手段により検出された走査線ピッチとに基づき、光
源装置の回転角度量を算出する。
【0048】上記請求項15または17または18また
は19または20記載のマルチビーム走査装置におい
て、走査線ピッチ検出手段のリニアセンサの出力信号に
より同期検知信号を得るようにできる(請求項21)。
【0049】請求項22記載のマルチビーム走査装置
は、請求項1記載のマルチビーム走査装置において、走
査線ピッチ検出手段が、ビーム位置検出手段と、位置検
出用結像光学素子とを有する。「ビーム位置検出手段」
は、走査領域外に配備され、偏向された各光ビームの副
走査方向の位置を検出する手段であり、リニアセンサや
位置センサを利用できる。「位置検出用結像光学素子」
は、複数の光ビームをビーム位置検出手段に結像させる
光学素子であり、その副走査方向における結像倍率が、
被走査面に対する走査結像光学系の副走査方向の結像倍
率よりも大きく設定されている。
【0050】この場合、偏向された複数の光ビームを被
走査面上に集光させる同一の走査結像光学系の主走査方
向の所定の側の端部近傍に、他の部分に比して正のパワ
ーの小さい部分を設け、この部分を通過した各光ビーム
がビーム位置検出手段に結像するように「位置検出用結
像光学系を上記走査結像光学系の一部として構成」する
ことができる(請求項23)。
【0051】あるいはまた、請求項22記載のマルチビ
ーム走査装置において、偏向された複数の光ビームを被
走査面上に集光させる同一の走査結像光学系を、複数枚
のレンズを有するように構成し、これら複数枚のレンズ
の一部のレンズであって「偏向手段側にあるもの」の副
走査方向のパワーが、走査結像光学系全体としての副走
査方向の正のパワーよりも弱くなるようにすることによ
り、上記一部のレンズを位置検出用結像光学系となし、
この位置検出用結像光学系を通過した各光ビームを、走
査結像光学系における残りのレンズを透過させることな
くビーム位置検出手段に導いて結像させるようにしても
良い(請求項24)。この場合において、走査結像光学
系がfθレンズと、面倒れ補正用の長尺レンズとを有す
るようにし、「fθレンズを位置検出用結像光学系とす
る」ことができる(請求項25)。
【0052】請求項22〜25の任意の1に記載のマル
チビーム走査装置は、光源装置回転機構と、駆動手段
と、演算手段と、回転制御手段とを有することができる
(請求項26)。「光源装置回転機構」は、光源装置を
光軸のまわりに回転させる。「駆動手段」は、光源装置
回転機構を回転駆動する。「演算手段」は、ビーム位置
検出手段の出力に基づき、走査線ピッチを算出する。
「回転制御手段」は、演算手段の算出結果に基づき駆動
手段を制御する。
【0053】これら請求項1〜26の任意の1に記載の
マルチビーム走査装置において、光源装置が「第1およ
び第2の半導体レーザと、第1および第2のコリメート
レンズと、第1および第2のアパーチュアと、一方の半
導体レーザからの光ビームの偏光面を90度旋回させる
1/2波長板と、上記第1および第2の半導体レーザか
らの光ビームを、両光ビームの偏光状態を利用して合成
するビーム合成プリズムとを有し、第1または第2の半
導体レーザを、対応するコリメートレンズの光軸から微
少距離ずらすことにより、2つの光ビームの射出方向を
互いに微小角異ならせる」ように構成することができる
(請求項27)。
【0054】また、上記請求項22〜27記載のマルチ
ビーム走査装置において、ビーム位置検出手段の出力信
号により同期検知信号を得るようにすることができる
(請求項28)。
【0055】請求項4、請求項13、請求項21、請求
項28記載の発明のように、走査線ピッチ検出手段を利
用して光スポットによる書き出し位置を揃える場合に
は、光ビーム検出部や受光手段、ビーム位置検出手段等
を、走査領域の書き出し側に配備して、走査領域へ向か
う光ビームを検出する必要があるが、走査線ピッチ検出
のみを目的とするのであれば、走査終了後のビームを検
出して走査線ピッチ検出を行なってもよい。
【0056】
【発明の実施の形態】図1において、個別に発光制御さ
れる複数の発光源を有する光源装置1からの複数の光ビ
ームは、「同一の偏向手段」を構成するポリゴンミラー
3(ポリゴンミラー3を駆動するモータは図示を省略さ
れている。以下の図においても同様である)により偏向
され、「同一の走査結像光学系」をなすアナモフィック
なfθレンズ4により光導電性の感光体5の感光面上に
複数の光スポットとして集光され、実体的な被走査面を
なす感光体周面を同時走査する。
【0057】図1において、符号2は副走査方向にのみ
正のパワーを持つシリンダレンズを示す。光源装置1か
らの複数の光ビームはシリンダレンズ2により、それぞ
れ副走査方向へのみ集光され、偏向手段3の偏向反射面
の近傍に主走査方向に長い線像として結像される。fθ
レンズ4は上記偏向反射面と被走査面との間を副走査方
向に関して共役な関係とする(それ故アナモフィックで
ある)。従って、図1のマルチビーム走査装置はポリゴ
ンミラー3における「面倒れ」を補正する機能を持つ。
【0058】光源装置1から放射される複数の光ビーム
はそれぞれ平行ビームとしてもよく、弱い発散性もしく
は弱い収束性の光ビームとしてもよい。以下では説明の
具体性のため、光源装置1から放射される光ビームは平
行光束であるとし、放射される光ビーム数は2本である
とする。光源装置1の具体的な構成の例は後述するが、
さしあたっては2個の半導体レーザを発光源として有
し、これら発光源からの光をコリメートして合成する機
能を持ち、光源装置の光軸まわりの回転により走査線ピ
ッチを調整・変更できるものであるとする。
【0059】図1において、符号8は偏向された光ビー
ムの光路を被走査面側へ屈曲させる光路屈曲用のミラー
を示し、符号9は、マルチビーム走査光学系を収納する
ハウジング(図示されず)から、光ビームを感光体5側
へ射出させるための窓を密閉するカバーガラスを示して
いる。
【0060】ポリゴンミラー3により一括偏向された2
本の光ビームは、fθレンズ4に入射し、走査領域の走
査に先立ち、ミラー61に反射され、「光ビーム検出
部」をなす光ビーム検出装置6に入射する。光ビーム検
出装置6は図3に示すように、2つの光センサPD1,
PD2および増幅器AMP1,AMP2を有する。光セ
ンサPD1,PD2は、図に示されたように「細帯状の
受光部」を持つ。第1の光センサPD1は、受光部の長
手方向を副走査方向(図の上下方向)に対応させて配備
され、第2の光センサPD2は受光部の長手方向を第1
の光センサPD1に対して所定角傾けて設けられる。第
1の光センサPD1と第2の光センサPD2とは「被走
査面と等価な検出領域」に受光面が位置するように配備
され、光センサPD2の配備位置は光センサPD1の
「走査方向下流側(図3の右方)」である。検出領域は
被走査面と等価であるので、2本の光ビームは被走査面
に集光するのと同様に検出領域に集光してそれぞれ光ス
ポットを形成する。
【0061】図4に示すように、2つの光スポットSP
1,SP2は主走査方向へ移動しつつ第1および第2の
光センサPD1,PD2を横切る。これに伴い、図3に
示すように、光センサPD1,PD2からの出力は増幅
器AMP1,AMP2でそれぞれ増幅されて「光ビーム
検出信号」となる。
【0062】図1において、光ビーム検出装置6から発
せられる各光ビーム検出信号は制御部7に入力される。
制御部7は、図2に示すように、基準クロック発生回路
71と、遅延クロック発生回路72と、ビーム間隔計測
回路74,75と、位置信号位相検出回路73と、副走
査ピッチ演算回路76とを有する。
【0063】基準クロック発生回路71は、書き込むべ
き記録データの送出タイミングの基準となる基準クロッ
クを発生する。この基準クロックの周期は走査線ピッチ
検出における計時の時間単位となる。遅延クロック発生
回路72は、基準クロック発生回路71で発生された基
準クロックの入力を受け、基準クロックに対して所定の
微少時間(基準クロックの周期の1/n)ずつ遅延した
1連の遅延クロックを発生させる。
【0064】図5に、上記基準クロックと遅延クロック
CKd0,...CKd4,..CKd7,CKd8,
CKd9,CKdn−1を示す。これら遅延クロック
は、位置信号位相検出回路73に向けて出力される。各
遅延クロックは基準クロックと同周期である。位置信号
位相検出回路73には光ビーム検出装置6の各光センサ
からの光ビーム検出信号が入力され、位置信号位相検出
回路73は入力される2系列の光ビーム検出信号(光セ
ンサPD1,PD2からの出力)と同位相の遅延クロッ
クを検出し、検出された遅延クロックを副走査ピッチ演
算回路76に向けて出力する。因みに図5に示す例で
は、光センサPD1からの光ビーム検出信号の立ち上が
りタイミングと同位相の遅延クロックとして遅延クロッ
クCKd4が検出され、光センサPD2からの光ビーム
検出信号の立ち上がりタイミングと同位相の遅延クロッ
クとして遅延クロックCKd9が検出されている。以下
の説明は図5に示す場合に準拠して行なう。
【0065】光ビーム検出装置6からの各光ビーム検出
信号はそれぞれビーム間隔計測回路74,75に入力さ
れる。ビーム間隔計測回路74,75には基準クロック
発生回路71からの基準クロックが入力される。ビーム
間隔計測回路74は光センサPD1からの光ビーム検出
信号に基づき、2つの光スポットSP1,SP2が順次
に光センサPD1を通過するのに要する「通過時間間隔
(図5:TC1)」を基準クロックに基づいて計測する。
同様に、ビーム間隔計測回路75は光センサPD2から
の光ビーム検出信号に基づき、2つの光スポットSP
1,SP2が順次に光センサPD2を通過する「通過時
間間隔(図5:TC2)」を基準クロックに基づいて計測
する。これら計測された通過時間間隔:TC1,TC2は副
走査ピッチ演算回路76に入力される。
【0066】副走査ピッチ演算回路76は位置信号位相
検出回路73から入力される2種の遅延クロックCKd
4,CKd9と基準クロックとの位相のずれによる時間
差:Td11,Td12,Td21,Td22を演算し、演算された
各時間差:Td11等により、光スポットごとの通過時間
間隔:TC1,TC2を補正し、各光スポットごとの通過時
間:TPD1,TPD2を演算により得、通過時間:TPD1
PD2と、第2の光センサPD2の第1の光センサPD
1に対する傾き角:θ(図4)と、光スポットSP1,
SP2の走査速度:Vとにより、2つの光スポットSP
1,SP2の副走査方向の間隔を走査線ピッチとして演
算する。
【0067】図4を参照すると、第2の光センサPD2
の第1の光センサPD1に対する傾き角:θは、光セン
サPD1,PD2の中心線が互いに交叉する交叉角であ
る。上記各中心線と光スポットSP1,SP2の中心軌
跡との交点を図の如くA1,A2,B1,B2とする
と、時間差:TPD2−TPD1(=THとする)に走査速
度:V(2本の光ビームは一括偏向されるから、光ビー
ムSP1,SP2に共通である)を乗じたものは「A2
〜B2の距離−A1〜B1の距離」に等しい。
【0068】光スポットSP1の受光面の長さ方向は副
走査方向に設定されているから、走査線ピッチをPVと
すると関係「PV=TH・V・tanθ」が成立つ。ま
た、図5から明らかなように、 TPD2=TC2+Td21−Td22、TPD1=TC1+Td11−T
d12 であるから、上記関係は PV={(TC2+Td21−Td22)−(TC1+Td11−Td12)}
・V・tanθ と書くことができる。ここで、上記走査線ピッチ:PV
をPV=TV・Vと書くと、TVは、走査線ピッチ:P
Vを走査速度:Vを単位として時間に換算したものであ
り、このTVを用いると、上記関係は、 TV={(TC2+Td21−Td22)−(TC1+Td11−Td12)}
・tanθ と書くことができる。
【0069】そこで時間:TVを上記式の右辺により演
算すると、走査線ピッチ:PVは上記の如く演算された
時間:TVと、基準クロックの周波数:f(Hz)、記
録密度:D(dpi)を用いて、演算:PV=(24.
5)・f・TV/Dにより算出することができる(上記
演算における因子:(24.5)・f/Dは走査速度:
Vを与える)。この演算は、前述の如く副走査ピッチ演
算回路76により行なわれる。
【0070】さて、説明中の実施の形態においては、図
2に示すように、制御部7は書込クロック選択回路78
を有する。書込クロック選択回路78は、複数の遅延ク
ロックから「第1の光センサPD1からの光ビーム検出
信号と同位相の遅延クロック(図5における遅延クロッ
クCKd4,CKd9)」を選択して各光スポットに対
する書込みクロック信号とする(請求項4)。このよう
にして、各光スポットの書込み開始のタイミングを互い
に揃えることが可能になる。
【0071】制御部7はまた、ピッチ間隔制御部77を
有する。即ち、光源装置1は、これを光軸を中心として
回転させることができるようになっている。被走査面上
における2つの光スポットSP1,SP2間の距離が所
定の大きさとなるように光源装置1が設定されている。
そこで、光スポットSP1を形成するための光源(半導
体レーザ)が光軸上にあるものとすると、光源装置1を
光軸のまわりに回転させることにより、図6に示すよう
に、被走査面上の光スポットSP2の位置を「光スポッ
トSP1を中心として回転」させることができる。従っ
て、光スポットSP1,SP2を結ぶ方向が主走査方向
となす角:η1,η2を調整することにより、走査線ピッ
チ:PVを調整することができる。図6に示されたの
は、上記角:η1,η2に応じて走査線ピッチ:PVがピ
ッチ1,ピッチ2に設定される状態を示している。
【0072】光源装置1の上記回転は「図示されない光
源装置回転機構」で行なわれ、この光源装置回転機構
と、図2のピッチ間隔制御部77とが「光源装置を、光
軸に平行な軸のまわりに回転させることにより、走査線
ピッチを調整するピッチ調整手段」を構成している(請
求項5)。
【0073】ピッチ調整に当っては、先ず、前述の如く
して走査線ピッチ:PVを検出し、調整すべき走査線ピ
ッチと検出されたピッチ:PVとの差に応じて、光源装
置1の回転角を定めて光源装置1の回転を行なえば良
い。光源装置を回転させる光源装置回転機構の具体的な
例に就いては後述する。
【0074】上には、光源装置として発光源が2つの場
合を説明したが、光源装置はこれに限らず、半導体レー
ザアレイ等のように3以上の発光源を持つものでもこの
発明を実施できる。例えば、発光源が3つ以上ある場
合、それら発光部の内で隣合う2つの発光部による2つ
の光スポットに就いて、上記の如くして走査線ピッチを
検出すれば、他の発光源も同じピッチで設けられている
から、全ての光スポットに就き、走査線ピッチを調整す
ることが可能である。
【0075】上に説明した実施の形態では、位相のず
れ:Td11,Td12,Td21,Td22を副走査ピッチ演算回
路76で演算したが、位置信号位相検出回路73で演算
するようにしてもよい。
【0076】図7は、請求項6記載のマルチビーム走査
装置の実施の形態を要部のみ示している。光源装置1A
から放射される複数の光ビームは、同一の偏向手段であ
るポリゴンミラー3により一括して偏向され、同一の走
査結像光学系であるfθレンズ4Aを透過して、光路屈
曲用のミラー8を介して被走査面5A上に入射し、fθ
レンズ4Aの作用により複数の光スポットとして被走査
面5A上に集光される。
【0077】被走査面5Aの位置には図示されない感光
体が配備され、光スポットが実体的には感光体を走査す
ることは図1の実施の形態と同様である。複数の光ビー
ムは画像信号に応じて変調され、画像信号に従う静電潜
像を書き込む。
【0078】被走査面5Aの近傍に受光手段6Aが配備
されている。受光手段6Aはフォトダイオード等の受光
素子で、図8に示すように三角形状の受光面61を有す
る。受光面61は、その底辺を主走査方向(図の左右方
向)と平行にし、上記底辺から頂点Aに向かう方向が副
走査方向となるように「被走査面と等価な位置(光スポ
ットが集光する位置)」に配備されている。このような
受光面形状により、受光面6Aの「主走査方向の受光面
幅」は副走査方向にリニアに変化することになる。
【0079】受光面形状としては上記三角形状の他「底
辺と上辺とが主走査方向に平行な台形形状」としてもよ
い。受光手段における「主走査方向の受光面幅を副走査
方向にリニアに変化させる」ためには、図8に示す例の
ように、受光素子の受光面自体を三角形もしくは台形形
状に形成しても良いが、図9に示す例のように、例えば
長方形形状の受光面61Aを有する受光素子6Bの受光
面に、台形形状(三角形状でもよい)の開口部63Aを
有する遮光部材63を設けることによって実現してもよ
い。
【0080】実施の形態として、一括して偏向される光
ビームが3本であり、これら光ビームが、図8に示すよ
うに、主・副走査方向に分離した3つの光スポットSP
1,SP2,SP3のように集光して同時の走査を行な
う場合を説明する。
【0081】三角形状の受光面61の頂点Aで交わる2
辺が副走査方向(図の上下方向)となす角を図の如くθ
1,θ2とし、頂点Aから計って光スポットSP1,SP
2,SP3が受光面61を横切る高さを、それぞれ
1,y2,y3、光スポットSP1,SP2,SP3が
受光面61を横切る距離をそれぞれ、x1,x2,x3
すると、これらの間に以下の関係が成り立つ。
【0082】y1=x1/(tanθ1+tanθ2) y2=x2/(tanθ1+tanθ2) y3=x3/(tanθ1+tanθ2
【0083】図8に示すように、光スポットSP1とS
P2の副走査方向の間隔(走査線ピッチ)をPV1、光
スポットSP2,SP3の副走査方向の間隔をPV2と
すると、これらは以下のように与えられる。 PV1=y1−y2=(x1−x2)/(tanθ1+ta
nθ2) PV2=y2−y3=(x2−x3)/(tanθ1+ta
nθ2) 。
【0084】一括して偏向される複数の光ビームの偏向
速度は同一であり、これらは同一の走査光学系であるf
θレンズ4Aにより集光されるから、光スポットSP
1,SP2,SP3は同一の走査速度:vbを有する。
光スポットSP1,SP2,SP3が受光手段6Aの受
光面を走査すると、受光手段6Aから、図10に示すよ
うに、互いに異なる時間:t1,t2,t3の受光パル
ス(周知の処理で2値化されている)が発せられる。時
間:t1は光スポットSP1が受光面61を横切る「通
過時間」であり、時間:t2,t3はそれぞれ光スポッ
トSP2,SP3が受光面61を横切る「通過時間」で
ある。
【0085】走査速度:vbを用いると、図8の受光面
幅:x1,x2,x3は、x1=t1・vb,x2=t2・
vb,x3=t3・vbであるから、走査線ピッチ:P
V1,PV2は上記通過時間:t1,t2,t3を用い
て以下のように表される。 PV1=(t1−t2)・vb/(tanθ1+tanθ2) (6A) PV2=(t2−t3)・vb/(tanθ1+tanθ2) (6B)。
【0086】走査速度:vbは、走査結像光学系(fθ
レンズ4A)の焦点距離(走査結像光学系がアナモフィ
ックであるときは主走査方向の焦点距離):F(mm)、
ポリゴンミラー3による偏向光ビームの最大ふれ角(4
π/偏向反射面数):θPL、被走査面5Aに位置する感
光体の感光面の移動速度(副走査方向):v(m/s)、
記録密度:RD(dpi)、一括偏向される光ビームの
数:nbを用いて、一般に、 vb(m/s)=F・θPL・v・RD/nb/24.5 (6C) で与えられる。F,θPL,v,RD,nbはマルチビー
ム走査装置の設計条件として定まるから、結局、上記通
過時間:t1,t2,t3が検出されれば、走査線ピッ
チ:PV1,PV2を上記式(6A),(6B),(6
C)によって演算算出できることになる。この演算は
「演算手段」により行なわれる。図7に示す実施の形態
においては演算部7Aが演算手段である。
【0087】図11は演算部7Aの要部を示すブロック
図である。受光手段6Aからの出力は増幅器110によ
り増幅されたのち2値化回路120によりデジタル信号
に変換されて出力信号Vsとなる。増幅器110と2値
化回路120は「前処理回路」を構成する(請求項
7)。
【0088】デジタル化された出力信号Vsはデジタル
カウンタ130のイネーブル入力端子131に入力され
るとともに遅延回路140に入力される一方、同期検知
信号として用いられ(請求項13)、位相同期回路10
00を経て「書込クロック信号」となる。
【0089】デジタルカウンタ130のクロック入力端
子132にはクロック信号CKが入力される。デジタル
カウンタ130とクロック信号CKを発生するクロック
発生器(図示されず)は「カウンタ手段」を構成する。
【0090】出力信号Vsはデジタルカウンタ130を
イネーブルにし、デジタルカウンタ130はクロック信
号CKのパルスを計数してカウント信号CTを出力す
る。遅延回路140はデジタルカウンタ130の出力を
ラッチするトリガ信号TR1,TR2,TR3と、デジ
タルカウンタ130をクリアするクリア信号CRを発生
する。トリガ信号TR1,TR2,TR3とクリア信号
CRは、信号Vsの立ち下がりを基準に発生される。
【0091】カウント信号CTは「カウンタ手段が計数
した各光スポットの通過時間をラッチするラッチ手段」
を構成するラッチ回路151,152,153に、それ
ぞれトリガ信号TR1,TR2,TR3の各立ち上がり
によりラッチされ、ラッチ出力:D1,D2,D3は
「ビットコンパレータ手段」を構成するビットコンパレ
ータ161,162に入力される。
【0092】以下、図12に示すタイミングチャートに
基づいて説明する。受光手段6Aは光スポットSP1,
SP2,SP3を順次に受光して受光信号を発し、これ
が前述の前処理回路(増幅器110と2値化回路12
0)により前処理されると、図12の一番上に示す出力
信号Vsとなる。出力信号Vsは「光スポットSP1,
SP2,SP3が受光手段6Aの受光部を通過する通過
時間」である受光時間:t1,t2,t3を「信号持続
時間」として有する。
【0093】2値化回路120から最初に出力される出
力信号Vs(信号継続時間:t1)は、光スポットSP
1の受光信号を前処理した信号で、光スポットSP1に
よる書込みの同期検知信号として用いられる。
【0094】デジタルカウンタ130は、受光信号の信
号継続時間:t1をクロック信号を単位としてカウント
する(図12のカウント数:Nc1)。デジタルカウン
タ130の出力であるカウント信号CTは、ラッチ回路
151,152,153に入力する。
【0095】遅延回路14は、信号継続時間:t1の出
力信号Vsが立ち下がると、その立ち下がりから遅延時
間:td1後にトリガ信号TR1を発生し、さらに遅延
時間:Td2だけ遅れてクリア信号CRを発生する。ト
リガ信号TR1は、その立ち上がりでラッチ回路151
をラッチする。これにより上記受光時間:t1に応じた
カウント値:Nc1がラッチ回路151にラッチされ
る。クリア信号CRはデジタルカウンタ130をクリア
する。
【0096】続いて、光スポットSP2の受光信号に応
じて信号継続時間:t2を持つ出力信号Vs(光スポッ
トによる書込みの同期検知信号として用いらえれる)に
対して上記と同様の処理が行なわれるが、このときデジ
タルカウンタ130のカウント信号CTはトリガ信号T
R2の立ち上がりによりラッチ回路152にラッチされ
る。その後、デジタルカウンタ130はクリアされ、光
スポットSP3の受光時間に応じた信号継続時間:T3
を持つ出力信号Vs(光スポットSP3による書込みの
同期検知信号として用いられる)のカウントとラッチが
同様に行なわれる。このときカウント信号CTは、トリ
ガ信号TR3の立ち上がりによりラッチ回路153にラ
ッチされる。デジタルカウンタ130はその後クリア信
号CRによりクリアされる。
【0097】かくて、ラッチ回路151,152,15
3には受光時間:t1,t2,t3をクロック信号CK
によりカウントしたカウント値:Nc1,Nc2,Nc
3がラッチされ、各ラッチ回路はラッチしたカウント値
に応じたラッチ出力信号:D1,D2,D3を出力す
る。ラッチ回路151〜153は「カウンタ手段が計数
した各光スポットの通過時間をラッチするラッチ手段」
を構成する。
【0098】ラッチ出力:D1,D2はビットコンパレ
ータ161に入力し、ラッチ出力:D2,D3はビット
コンパレータ162に入力する。ビットコンパレータ1
61はラッチ出力:D1,D2の差:D1−D2を出力
し、ビットコンパレータ162はラッチ出力:D2,D
3の差:D2−D3を出力する。「D1−D2」は光ス
ポットSP1,SP2が受光手段6Aの受光面を横切っ
た通過時間:t1,t2の差に相当し、「D2−D3」
は光スポットSP2,SP3が受光手段6Aの受光面を
横切った通過時間:t2,t3の差に当るから、ビット
コンパレータ手段の出力を用い、前述の(6A)〜(6
C)式による演算(図示されない演算機構:コンピュー
タ等により行なう)により走査線ピッチ:PV1,PV
2を算出することにより走査線ピッチの検出が可能であ
る。
【0099】図13は、請求項8記載のマルチビーム走
査装置の実施に用いる「受光部」を説明するための図で
ある。受光手段6Cは、矩形形状の受光面を有する受光
素子6B1と、その受光面を覆うように設けられ「非平
行に主走査方向に併設された第1,第2のスリットSL
1,SL2」を有する遮光部材64とにより構成され、
被走査面近傍(例えば、図7における受光手段6Aの位
置)に配備される。
【0100】スリットSL1,SL2が副走査方向とな
す角:θ1,θ2、距離:x1〜x3,y1〜y3を図8に倣
って図13のように定めれば、走査線ピッチ:PV1,
PV2は前記と同様、次のように表される。 PV1=y1−y2=(x1−x2)/(tanθ1+tanθ2) PV2=y2−y3=(x2−x3)/(tanθ1+tanθ2) 。
【0101】一括して走査される光ビームに共通の走査
速度:vb(前述の(6C)式で与えられる)を用いれ
ば、PV1,PV2は以下の式で与えられる。
【0102】 PV1=(t1−t2)・vb/(tanθ1+tanθ2) (6A’) PV2=(t1−t2)・vb/(tanθ1+tanθ2) (6B’)。
【0103】ここに、時間:t1,t2,t3はそれぞ
れ、光スポットSP1,SP2,SP3がスリットSL
1,SL2間を通過する通過時間である。即ち、光スポ
ットSP1,SP2,SP3が、受光手段6C上を通過
すると、各光スポットがスリットSL1,SL2を通過
するとき、受光素子6B1は図14に示すごときパルス
(適宜の方法で2値化されている)を出力する。これら
パルスの図に示す時間間隔が上記通過時間:t1〜t3
である。
【0104】演算式(6A’),(6B’)の演算に必
要な通過時間の時間差:t1−t2,t2−t3を得る
には演算手段として図15に示す如き回路を用いて行な
う。図16は図15の回路の動作に対応するタイミング
チャートである。
【0105】図13に示す如き受光手段6Cを光スポッ
トSP1,SP2,SP3が順次に走査するとき、受光
手段6Cからの出力は図15に示す増幅器110により
増幅されたのち、微分回路210により微分され、さら
に0交叉検出回路220で0交叉点が検出されてデジタ
ル化された信号になる。
【0106】即ち、図16に示すように、増幅回路11
0により増幅された信号SG1は微分回路210により
微分されて信号SG2になる。信号SG2の0交叉(各
光スポットがスリットの中央部分に位置する時刻)検出
により、3連のデジタル信号Vs(出力信号)が得られ
る。3つの出力信号Vsは順次に時間:t1,t2,t
3を信号継続時間(各光スポットがスリットSL1,S
L2間を通過する通過時間)として有する。図15に示
す増幅回路110、微分回路210、0交叉検出回路2
20は「前処理回路」を構成する。
【0107】前処理回路により処理された出力信号Vs
を処理する部分、即ち、デジタルカウンタ130および
図示されないクロック発生器(カウンタ手段を構成)、
遅延回路140、ラッチ回路151,152,153
(ラッチ手段を構成)、ビットコンパレータ161,1
62(ビットコンパレータ手段を構成)により要部を構
成される部分は、先に図11に即して説明した例と全く
同様であり、その働きも図11の場合と全く同様である
(図16参照)。出力信号Vsは、図11におけると同
様にして書込クロック信号となる。
【0108】即ち、0交叉検出回路220から順次得ら
れる「信号継続時間:t1,t2,t3」を持つ信号V
sは、デジタルカウンタ130によりクロック信号でカ
ウントされ、ラッチ回路151,152,153にラッ
チされ、ラッチ出力D1〜D3に基づき、ビットコンパ
レータ手段により時間差:t1−t2,t2−t3に対
応する出力:D1−D2,D2−D3が得られる。
【0109】従って、ビットコンパレータ手段の出力を
用いて(6A’),(6B’)式および(6C)式によ
る演算(図示されない演算機構:コンピュータ等)によ
り走査線ピッチ:PV1,PV2を算出することにより
走査線ピッチの検出が可能である。
【0110】なお、図13に示す受光手段6Cに代え
て、スリットSL1,SL2と等価なライン状の受光部
を持つ図3に示した如き光センサを用いる受光手段を用
いても上記と同様の結果が得られることは自明であろ
う。
【0111】図17は請求項10記載のマルチビーム走
査装置の走査線ピッチ検出手段に用いる受光手段を説明
するための図である。受光手段6Dは、第1の2分割光
センサ91と第2の2分割光センサ92とを有する。2
分割光センサ91,92は同一構造のもので「細帯状の
受光面が分割ラインにより長手方向に縦割り」されて2
分割され、2分割された各受光部から受光信号が発生す
るようになっており、各分割ラインが「互いに非平行」
になるように主走査方向に併設されて被走査面の近傍に
配備される。
【0112】2分割光センサ91,92の各分割線が副
走査方向(図の上下方向)となす角:θ1,θ2、距離:
1〜x3,y1〜y3を、図8に倣って図17のように定
めれば、走査線ピッチ:PV1,PV2は前記と同様、
次のように表される。 PV1=y1−y2=(x1−x2)/(tanθ1+tanθ2) PV2=y2−y3=(x2−x3)/(tanθ1+tanθ2) 。
【0113】一括して走査される光ビームに共通の走査
速度:vb(前述の(6C)式で与えられる)を用いれ
ば、PV1,PV2は以下の式で与えられる。
【0114】 PV1=(t1−t2)・vb/(tanθ1+tanθ2) (6A’’) PV2=(t1−t2)・vb/(tanθ1+tanθ2) (6B’’)。
【0115】ここに、時間:t1,t2,t3はそれぞ
れ、光スポットSP1,SP2,SP3が2分割光セン
サ91,92間を通過する通過時間、換言すれば、光ス
ポットSP1が距離:x1を、光スポットSP2が距
離:x2を、光スポットSP3が距離:x3を通過する通
過時間である。光スポットSP1,SP2,SP3が受
光手段6Dの領域を通過すると、2分割光センサ91,
92は図18に示すごときパルス(適宜の方法で2値化
されている)を出力する。これらのパルスの図に示す時
間間隔が上記通過時間:t1〜t3である。
【0116】演算式(6A’’),(6B’’)の演算
に必要な通過時間の時間差:t1−t2,t2−t3を
得るには、演算手段として図19に示す如き回路を用い
て行なう。図20は図19の回路の動作に対応するタイ
ミングチャートである。
【0117】図17に示す如き受光手段6Dを光スポッ
トSP1,SP2,SP3が順次に走査するとき、2分
割光センサ91,92の各受光部からの出力は差動増幅
器311,312により出力差が増幅されて信号SG
3,SG4となる。
【0118】増幅された出力差である信号SG3,SG
4は、0交叉検出回路321,322によりそれぞれ0
交叉点を検出されて信号SG5,SG6となる。上記0
交叉が起きるとき、光スポットは2分割光センサの分割
線上にその中心がある。信号SG5,SG6は、信号S
G3,SG4に従ってレベルが順次切り替わる2値信号
である。
【0119】2値化されたデジタルの信号SG5,SG
6は、イクスクルーシブオア回路330により「イクス
クルーシブオア論理処理」されて出力信号Vsとなる。
図20に見られるように、出力信号Vsは3連で、それ
ぞれ信号継続時間:t1,t2,t3を有する。差動増
幅器311,312、0交叉検出回路321,322、
イクスクルーシブオア回路330は「前処理回路」を構
成する。
【0120】前処理回路により処理された信号Vsを処
理する部分、即ち、要部をデジタルカウンタ130およ
び図示されないクロック発生器(カウンタ手段を構
成)、遅延回路140、ラッチ回路151,152,1
53(ラッチ手段を構成)、ビットコンパレータ16
1,162(ビットコンパレータ手段を構成)により構
成される部分は、先に図11に即して説明した例と全く
同様であり、その働きも図11の場合と同様である(図
20参照)。出力信号Vsは、図11におけると同様に
して書込クロック信号となる。
【0121】即ち、信号継続時間:t1,t2,t3を
持つ信号Vsは、デジタルカウンタ13によりクロック
信号でカウントされ、ラッチ回路151,152,15
3にラッチされ、そのラッチ出力D1〜D3に基づき、
ビットコンパレータ手段により、時間差:t1−t2,
t2−t3に対応する出力:D1−D2,D2−D3が
得られる。従ってビットコンパレータ手段の出力を用
い、(6A’’),(6B’’)式および(6C)式に
よる演算(図示されない演算機構:コンピュータ等)に
より走査線ピッチ:PV1,PV2を算出することによ
り、走査線ピッチの検出が可能である。
【0122】上に説明した2分割光センサを用いる実施
の形態では、2分割光センサの使用により、光スポット
の大きさや光強度のばらつき・変動による受光信号への
影響を軽減させて、精度の良い走査線ピッチ検出が可能
である。
【0123】これまで説明してきた実施の各形態におい
て「検出された走査線ピッチ」は、走査線ピッチの初期
調整に利用でき、走査線ピッチ調整手段と共に用いるこ
とにより、走査線ピッチの自動切り換え設定や自動調整
に供することができる。
【0124】これまで説明してきた実施の形態において
は、受光手段を走査する複数の光スポットSP1,SP
2等は互いに主走査方向に十分に分離しており、従っ
て、受光手段により各光スポットを独立して検出するこ
とができた。
【0125】複数の光スポットの主走査方向における分
離が小さい場合(複数の光スポットを連ねた線が副走査
方向となす角が小さい場合)には、受光手段を同時に2
以上の光スポットが走査するようになると、上に説明し
た実施の各形態においては各光スポットが受光手段を通
過する通過時間を精度良く得ることが難しくなる。
【0126】このような場合、上記の実施の形態を利用
して精度の良い走査線ピッチ検出を行なうには、光ビー
ム検出部や受光手段を複数の光スポットで同時に走査せ
ず、一度に一つの光スポットによる走査を行なって当該
光スポットの位置を検出するプロセスを繰返し、各光ス
ポットの位置から走査線ピッチを得るようにすれば良
い。この場合、偏向手段がポリゴンミラーを用いるもの
である場合には、各光スポットを形成する異なる光ビー
ムが同一の偏向反射面で偏向されるように偏向のタイミ
ングを調整すれば、ポリゴンミラーの面倒れが走査線ピ
ッチ検出に影響するのを防ぐことができる。
【0127】請求項12記載のマルチビーム走査装置
は、光源装置から放射される光ビームが2本である場合
に、上記のような場合にも、各光スポットを同時且つ独
立に検出して走査線ピッチを検出することができる。以
下請求項12記載の発明の実施の形態を説明する。
【0128】マルチビーム走査装置における光学的な配
置は図7におけるのと同様である。図21は光源装置の
光源部1A1を略示している。発光源である2つの半導
体レーザ11,12からの光束は、それぞれコリメート
レンズ13,14により実質的な平行光束にされ、偏光
ビームスプリッタ16に向かう。半導体レーザ11,1
2から放射された光束は偏光ビームスプリッタ16に対
してS偏光であり、半導体レーザ11から放射された光
束は1/2波長板15により偏光面を90度旋回されて
偏向ビームスプリッタ16に対してP偏光になる。
【0129】従って、半導体レーザ11からの光は偏光
ビームスプリッタ16を略100%透過し、半導体レー
ザ12からの光は偏光ビームスプリッタ16により略1
00%反射されて互いに合流し、さらに1/4波長板1
7を透過することにより、互いに旋回方向が逆向きの異
なる円偏光とされる。半導体レーザ11,12から放射
された各光ビームBM1,BM2は円偏光となることに
より、同一の偏向手段や同一の走査結像光学系における
反射率・透過率に差がなくなり、光スポットに光量差が
生じにくくなる。
【0130】図22は受光部6Eの形態を示している。
同一の偏向手段により偏向された複数の光ビームBM
1,BM2は上記の如く「円偏光の旋回方向が互いに
逆」であるから、偏光状態が互いに異なる2本の光ビー
ムであり、1/4波長板21により偏光方向が互いに直
交する2光束に戻され、偏光ビームスプリッタ22に入
射する。光ビームBM1は偏光ビームスプリッタ22を
透過すると受光手段23に入射し、光ビームBM2は偏
光ビームスプリッタ22に反射されて受光手段24に入
射する。即ち、1/4波長板21と偏光ビームスプリッ
タ22とは「2本の光ビームBM1,BM2を偏光状態
に従って互いに分離する光ビーム分離手段」を構成す
る。図23(a),(b)に、光源部1A1と受光部6
Eにおける光ビームBM1,BM2の偏光状態を説明図
として示している。光源部1A1における1/4波長板
15(図21)と、受光部6Eにおける1/4波長板2
1(図22)とは省略することもできる。また、偏光ビ
ームスプリッタ16,22に代えて、ウォラストンプリ
ズム、トムソンプリズム等の偏光素子の使用が可能であ
る。
【0131】2つの受光手段23,24は、図18に示
すように三角形状の受光面を有し、頂点A1,A2に対す
る辺を主走査方向に平行にして配備される。頂点A1
2に対する頂角は一般的にθ1+θ2とするが図24に
おいてはθ1=0である。
【0132】距離:y1,y2,x1,x2を図の如くに定
め、頂点A1,A2の副走査方向のずれをΔyとする。v
bは光スポットSP1,SP2に共通の走査速度であ
る。
【0133】頂点A1,A2に副走査方向のずれが無く、
Δy=0の場合であると、受光素子23,24の出力:
Vs1,Vs2の信号継続時間:t1,t2を用いて、
走査線ピッチ:PVは一般に、 PV=(t2−t1)・vb/(tanθ1+tan
θ2) で算出される。但し、説明中の例では前述のようにθ1
=0である。
【0134】上記ずれ:Δyが0でない場合には、走査
線ピッチ:PVは、演算: PV=(t2−t1)・vb/(tanθ1+tan
θ2)+Δy で算出しなければならない。Δyは以下のように特定で
きる。即ち、光源装置および受光部に配備されている1
/4波長板の一方を仮に取りはすすと光スポットSP
1,SP2は、2つの受光手段23,24をいずれも走
査するようになるから、発光源の半導レーザの一方のみ
を点灯して、光スポットSP1のみにより受光手段24
を走査して、その時の受光信号Vs1’の信号継続時
間:t1’を測定する。すると、このとき、Δyは、Δ
t=t1’−t1として、 Δy=Δt・vb/(tanθ1+tanθ2) となる。従って、このΔyを用いて走査線ピッチ:PV
を知ることができる。
【0135】受光手段23,24の出力信号Vs1,V
s2の立上り部は、光スポットSP1,SP2よる書込
み用の同期検知信号として利用できるが、受光手段3
2,24は別体であるので、これらは光スポットSP
1,SP2との関係で主走査方向に互いに等価な位置に
なければならない。即ち、仮に光スポットSP1が受光
手段23,24を共に走査すると考えた場合、光スポッ
トSP1は、受光手段23,24を同時に走査しなけれ
ばならない。この走査にずれがあると光スポットSP
1,SP2による書込み開始位置にずれを生じてしま
う。
【0136】これを避けるには、前記一方の1/4波長
板を外した状態で光スポットSP1により受光手段2
3,24を同時走査し、受光手段23,24の出力信号
Vs1,Vs2の立ち上がりの時間差:δtを測定し、
この時間差を補正するような回路を同期検知回路に組み
込んでおけば良い。このようにして、主走査方向のスポ
ット間隔が小さい場合にも、走査線ピッチ:PVを正確
に検出可能であり、光ビーム毎に独立に正確な同期検知
信号を得ることができる。
【0137】また、上記の如くして検出された「走査線
ピッチ」は走査線ピッチの初期調整に利用でき、またピ
ッチ調整手段と共に用いることにより走査線ピッチの
「自動切り換え設定や自動調整」に供することができ
る。図7〜図24に即して説明した上記発明の形態は、
図1に示す如き光学系配置の場合にも勿論、適用可能で
ある。
【0138】図25は請求項16〜21記載のマルチビ
ーム走査装置の実施の形態を説明するための図である。
繁雑を避けるため、混同の虞れがないと思われるものに
就いては図1,21におけると同じ符号を用いた。
【0139】図25において、個別に発光制御される複
数の発光源を有する光源装置1Bからの複数の光ビーム
はシリンダレンズ2により副走査方向に収束され、「同
一の偏向手段」を構成する正6角柱形状のポリゴンミラ
ー3の偏向反射面3Aの近傍に主走査方向に長い潜像と
して結像する。偏向反射面3Aによる反射ビームは、図
示されないモータにより駆動されるポリゴンミラー3に
より偏向される。
【0140】ポリゴンミラー3により一括して偏向され
た複数の光ビームは「同一の走査結像光学系」をなすア
ナモフィックなfθレンズ4Aと(補正用の)長尺トロ
イダルレンズ4Cとにより、光導電性の感光体5の感光
面上に複数の光スポットとして集光され、実体的な被走
査面をなす感光体周面を同時走査する。符号8は図1に
於けると同様、光路屈曲用のミラーを示す。
【0141】走査結像光学系はポリゴンミラー3の偏向
反射面3Aによる偏向の起点と被走査面位置とを副走査
方向に関して共役な関係としており、従って図25のマ
ルチビーム走査装置はポリゴンミラー3の面倒れを補正
する機能を持つ。
【0142】ポリゴンミラー3により一括偏向された複
数の光ビームは、走査領域の走査に先立ち、ミラー8に
より反射され同期検知センサ10に入射して同期検知信
号を発生させる。光源装置1Bから放射される複数の光
ビームは、それぞれ平行光束としてもよいし、弱い発散
性もしくは弱い収束性の光束としてもよいが、説明中の
実施の形態において、光源装置1Bからは2本の光ビー
ムがそれぞれ平行ビームとして放射される。
【0143】即ち、図25において光源装置1Bは発光
源として2個の半導体レーザ11,12を有する。半導
体レーザ11,12を半導体レーザ制御部37で点灯さ
せると、光源装置1Bからは、進行方向が互いに微小角
異なる2つの光ビームBM1,BM2が放射される。
【0144】以下、光源装置1Bを詳細に説明する。図
26に示すように、光源装置1Bは、第1,第2の半導
体レーザ11,12と、第1,第2のコリメートレンズ
13,14と、第1,第2のアパーチュアAP1,AP
2と、半導体レーザ12からの光ビームの偏光面を90
度旋回させる1/2波長板15と、第1,第2の半導体
レーザ11,12からの光ビームを、射出方向が互いに
微小角:αだけ異なる2つの近接した光ビームに合成す
るビーム合成プリズム170とを有する(請求項2
7)。
【0145】半導体レーザ11,12は、そのp−n接
合面を図26における軸X0,X1に直交するように配備
される。図26に示す形態においては軸X1,X0は同一
面内にあり、従って、半導体レーザ11,12の発光部
は共に同一面内にある。
【0146】半導体レーザ11から放射された光ビーム
はコリメートレンズ14で平行ビーム化されたのち、光
スポット形状成形用のアパーチュアAP1により光束周
辺部を遮断され、合成プリズム170における偏光ビー
ムスプリッタ膜171を透過して光ビームBM1となっ
て合成プリズム170から射出する。
【0147】半導体レーザ12から放射された光ビーム
は、コリメートレンズ13で平行ビーム化されたのちア
パーチュアAP2により光束周辺部を遮断され、1/2
波長板15により偏光面を90度旋回されてビーム合成
プリズム170に入射し、同プリズム170の斜面17
2で内部反射し、偏光ビームスプリッタ膜171により
反射され、光ビームBM2となって合成プリズム170
から射出する。
【0148】図26の形態において、半導体レーザ11
の発光部はコリメートレンズ13の光軸上にあり、従っ
て、光ビームBM1は主光線をコリメートレンズ13の
光軸に合致させて射出される。これに対し、半導体レー
ザ12は、コリメートレンズ14の光軸に対し、図26
における軸X1の方向へ微少距離「ずらされ」ており、
このためビーム合成プリズム170から射出する光ビー
ムBM2は、上記軸X1とコリメートレンズ12の光軸
とで形成される平面内において、光ビームBM1に対し
て微小角:α(半導体レーザ12の、コリメートレンズ
14の光軸からのずれ量により調整可能である)だけ傾
いている(請求項27)。
【0149】従って、図26におけるX0軸,X1軸を主
走査方向に設定すれば、図25に即して説明した光学系
により、被走査面上に「互いに主走査方向にずれた2つ
の光スポット」を得ることができ、この状態から光源装
置1をシリンダレンズ13の光軸の回りに回転させる
と、図27に示すように、光スポットSP1(光ビーム
BM1による光スポット)と光スポットSP2(光ビー
ムBM2による光スポット)とを互いに副走査方向(図
の上下方向)に分離することができ、上記回転の角を調
整することにより走査線ピッチ:PVを可変調整でき
る。即ち、図26の光源装置1Bでは、コリメートレン
ズ13の光軸が「光源装置の光軸」であり、光源装置1
Bの光軸まわりの回転により走査線ピッチの調整が可能
な訳である。
【0150】勿論、半導体レーザ12をコリメートレン
ズ14の光軸に合致させ、半導体レーザ11のコリメー
トレンズ13の光軸からずらすことにより、光ビームB
M2の主光線が光源装置1Bの光軸に合致するようにし
てもよい。
【0151】図28は「光源装置1Bの具体的な構造」
と、光源装置1Bを光軸まわりに回転調整する「光源装
置回転機構」と、これを回転駆動する「駆動手段」とを
説明するための図である。符号23Aで示す基板は嵌合
孔23a,23bを有し、嵌合孔23aには鏡筒に保持
されたコリメートレンズ13が、嵌合孔23bには鏡筒
に保持されたコリメートレンズ14がそれぞれ嵌合保持
される。アパーチュアAP1,AP2の開口部は同一の
遮光板240に穿設され、遮光板240のアパーチュア
AP2側の位置に形成された凹みには1/2波長板15
が嵌め込まれる。
【0152】フランジ部材25は合成プリズム170を
光ビーム入射側で固定的に保持し、合成プリズム170
により合成された2つの光ビームは、フランジ部材25
の中空シリンダ状の射出口25bから射出するようにな
っている。フランジ部材25と基板23Aとで遮光板2
40と1/2波長板15とを挾み、半導体レーザ11を
保持した保持体21Aをコリメートレンズ13に光軸合
わせし、半導体レーザ12を保持した保持体22Aをコ
リメートレンズ14に光軸合わせして、フランジ部材2
5と基板23Aと保持体21A,22Aを螺子24a,
24b,24c,24dで接合一体化し、これらを半導
体レーザ11,12を点滅制御する半導体レーザ制御部
37に組付け固定している。
【0153】フランジ部材25は、射出口25bの中心
軸(コリメートレンズ13の光軸に合致し、光源装置の
光軸となている)の回りに正逆回転可能となっている。
フランジ部材25に一体化されたレバー25aには、下
方から中空円筒状のアクチュエータ28の上端部が当接
している。アクチュエータ28は、図示されない保持手
段により保持されて軸心の回りに回転可能で且つ軸心方
向に移動自在であり、内周に形成された螺子溝には、ス
テッピングモータ26の回転軸に圧入された円筒部材2
7の外周に形成された螺子が螺合している。
【0154】レバー25aにはバネ等の弾性力手段(図
示されず)が、図の上方から押圧力を作用させており、
ステッピングモータ26の回転によりアクチュエータ2
8を上下させることによりフランジ部材25を前記射出
口25bの中心軸の回り、即ち光源装置1Bの光軸まわ
りに正逆方向に回転させることができる。
【0155】即ち、レバー25a、図示されない弾性力
手段、アクチュエータ28および円筒部材27は光源装
置1Bを光軸まわりに回転させる「光源装置回転機構」
を構成し、ステッピングモータ26は光源装置回転機構
を回転駆動する「駆動手段」を構成する。そしてこれら
はピッチ調整手段29を構成する。
【0156】図25に戻ると、感光体5の周面近傍にリ
ニアセンサ31が設けられている。リニアセンサ31は
CCDリニアセンサであり、受光エレメントの配列方
向、即ちライン方向を副走査方向に向けている。光源装
置1Bからの2本の光ビームは、同期検知センサ10に
入射した直後にリニアセンサ31を走査するようになっ
ている。リニアセンサ31には「重心位置演算手段」で
ある重心位置演算部32が接続され、リニアセンサ31
と重心位置演算部32とにより位置検出手段33が構成
されている。
【0157】即ち、図25の実施の形態において「走査
線ピッチ検出手段」は、長手方向を副走査方向に対応さ
せて検出領域に設けられたリニアセンサ31と、リニア
センサ31の出力に基づき光スポットの重心位置を演算
する重心位置演算手段32とを有し、リニアセンサ31
の出力に基づき重心位置演算手段32で演算された重心
位置のデータを「光スポット位置データ」とする(請求
項15)。
【0158】重心位置演算部32から出力される各光ス
ポットSP1,SP2の「光スポット位置データ」はピ
ッチ算出部34に入力される。ピッチ算出部34は、入
力する光スポット位置データに基づき走査線ピッチを算
出し、その結果をピッチ・回転角度変換部35に向けて
出力する。ピッチ・回転角度変換部35は入力された情
報に基づき所望の走査線ピッチを得るために、光源装置
1Bを回転させるべき「回転角度」を算出し、その結果
に基づきモータ制御部36を介してステッピングモータ
26を駆動制御する。
【0159】即ち、図26のマルチビーム走査装置は、
個別に発光制御される複数の発光源を有する光源装置1
Bからの複数の光ビームを同一の偏向手段3により偏向
させ、同一の走査結像光学系4B,4Cにより被走査面
に複数の光スポットとして集光させ、複数の光スポット
により被走査面を同時走査するマルチビーム走査装置で
あって、被走査面上において隣接する光スポットの副走
査方向の間隔を走査線ピッチとして検出する走査線ピッ
チ検出手段33,34と、走査線ピッチを「光源装置1
Bの光軸まわりの回転」により調整するピッチ調整手段
29と、走査線ピッチ検出手段33,34による検出結
果に基づき、ピッチ調整手段29を制御して所望の走査
線ピッチを実現するピッチ調整制御手段35,36を有
し(請求項16)、走査線ピッチ検出手段は請求項15
記載のものである。
【0160】図25に示された半導体レーザ制御部37
は、画像情報を書き込むときには、2ライン分の画像情
報に応じて半導体レーザ11,12の発光を「同時且つ
個別的」に制御するが、走査線ピッチ検出およびピッチ
調整を行なうときは、半導体レーザ11,12を同時に
発光させず、時系列に順次に発光させるように制御する
(請求項17)。
【0161】図25の実施の形態においては、単一のリ
ニアセンサ31で2つの光スポットSP1,SP2を検
出するので、走査線ピッチ検出時に半導体レーザ11,
12を同時に発光させた場合、2つの光スポットSP
1,SP2の主走査方向の間隔(図27の間隔:L)が
小さくなり、リニアセンサ31が2つの光スポットを同
時に受光するようになると、リニアセンサ31の出力は
図33(a)のように、光スポットSP1,SP2に対
しての出力波形A1,A2が合成されたもの(破線で示
す)になり、合成出力の極大部分の間隔は実際の走査線
ピッチPVに対して若干小さくなるので、検出される走
査線ピッチの誤差になる。また走査線ピッチが小さくな
って、図33(b)のΔの程度になると、2つの光スポ
ットの同時検出では走査線ピッチを検出できない。
【0162】そこで図15のマルチビーム走査装置で
は、走査線ピッチ検出およびピッチ調整を行なうとき
は、半導体レーザ11,12を同時に発光させず、時系
列に順次に発光させるのである。このようにして、光ス
ポットSP1,SP2が互いに近接しているような場合
にも、各光スポットを個別に検出できるので精度の良い
走査線ピッチ検出が可能になる。
【0163】上記マルチビーム走査装置は、前述の如
く、ポリゴンミラー3の面倒れを補正するようになって
いるが、リニアセンサ31の受光エレメントの配列ピッ
チ(数μmオーダー)で見ると、面倒れの影響を完全に
除くことは難しく、光ビームがどの偏向反射面により偏
向されるかに応じて、リニアセンサ31が検出する光ス
ポット位置データは変動し、正確な走査線ピッチ検出を
面倒にする。
【0164】説明中の実施の形態においては、光源装置
1Bの各発光源11,12を時系列に順次発光させて得
られる各光ビームの偏向を、同一の偏向反射面で行なわ
せるタイミング制御手段を有する(請求項19)。例え
ば、6面ある偏向反射面のうちで第1番目のものでのみ
光ビーム偏向を行なう用にするのであれば、図29に示
すように、第1の偏向反射面が偏向態位にあるときにの
み半導体レーザの点灯をオンにするのである。図示され
ない「タイミング制御手段」は「ピッチ調整制御手段」
の一部を構成し、半導体レーザ制御部37に向けてタイ
ミング信号を出力する。
【0165】従って、例えば、各光スポットの光スポッ
ト位置データとしてn個のデータをサンプリングする場
合であれば、常に同一の偏向反射面が使用されるように
半導体レーザ11,12の発光を制御して、ポリゴンミ
ラー3の1〜n回転で光スポットSP1に対する光スポ
ット位置データを得、ポリゴンミラー3のn+1〜2n
回転で光スポットSP2に関する光スポット位置データ
を得る。このようにして、走査線ピッチ検出におけるポ
リゴンミラー3の面倒れの影響を除去することができ
る。
【0166】「光スポット位置データ」は以下のように
して得られる。リニアセンサ31から出力が重心位置演
算部32に入力すると、同演算部32は「リニアセンサ
31の全長:D(ビット数:N×受光エレメント幅:7
μm)にわたる出力」を図30(a)に示すように「積
分」し、積分値の1/2となるビット位置:d(ビット
位置:dの両側における光強度の和が等しい)を「光ス
ポットの重心位置」として演算する(図30(b)参
照)。
【0167】演算されたデータは、受光した光スポット
がSP1,SP2であるかに応じて、SP1もしくはS
P2の「光スポット位置データ」としてピッチ算出部3
4に入力する。ピッチ算出部34は、SP1位置デー
タ:d1およびSP2位置データ:d2に基づき、演算:
|d1−d2|を行なって走査線ピッチ:PVを算出す
る。
【0168】このように光スポットSP1,SP2の光
スポット位置データとして重心位置を用いるので、光ス
ポット形状が崩れていてピーク位置がスポット中央部に
無いような場合であっても確実に光スポットの重心位置
により適正な光スポット位置データを得ることができ
る。この重心位置検出はリニアセンサ31における分解
能(説明中の例では7μm)の精度で可能であり検出精
度が高い。
【0169】再び図25に戻ると、上記の如くピッチ算
出部34において算出された走査線ピッチ:PVはピッ
チ・回転角度変換部35に入力し、ピッチ・回転角度変
換部35は、入力された走査線ピッチ:PVに基づき所
望の走査線ピッチを実現するために光源装置1Bを光軸
まわりに回転させるべき「回転角度量」を決定する。即
ち、入力される走査線ピッチ:PVを光源装置1Bの光
軸まわりの回転角度量に変換する。
【0170】図25に示す実施の形態においては、検出
された走査線ピッチ:PVと、回転角度量:ΔΘとの関
係(1例を図31に示す)が「換算式」としてピッチ・
回転角度変換部35内のメモリに、マルチビーム走査装
置の工場出荷時に予め記憶されており、ピッチ・回転角
度変換部35は、入力される走査線ピッチ:PVと所望
の走査線ピッチとの差:ΔPVを求め、ΔPVに対応す
る回転角度量:ΔΘを上記換算式に基づき決定する。即
ちピッチ・回転角度変換部35は「検出される走査線ピ
ッチ:PVと光源装置1Bの回転角度との換算式に基づ
き光源装置の回転角度量:ΔΘを決定するピッチ・回転
角度変換手段」である(請求項18)。
【0171】このように決定された回転角度量:ΔΘは
モータ制御部36に送られ、同制御部36はステッピン
グモータ26を駆動して、光源装置1BをΔΘだけ回転
させる。このようにして所望の走査線ピッチが実現され
る。
【0172】上記の換算式で回転角度量を決定するよう
にすると、一度の回転動作で所望の走査線ピッチを実現
でき、所望の走査線ピッチを実現するまでフィードバッ
クループによる調整を何度も繰り返す必要がなく、短時
間内に所望の走査線ピッチを実現できる。
【0173】上記の走査線ピッチ調整においては、被走
査面上の2つの光スポットSP1,SP2の間隔(ξと
する)が一義的に定まっていることを前提としている。
このとき、光スポットSP1,SP2の重心を結ぶ直線
が主走査方向となす角をγとすれば、走査線ピッチは
「ξ・sinγ」で与えられるので、回転角度量:ΔΘ
による回転で上記角:γを設定することにより走査線ピ
ッチを所望の値に設定するのである。
【0174】先に説明したように「ξ」は、半導体レー
ザ12のコリメートレンズ14の光軸からの「ずらし
量」により決定されるほか、光源装置から被走査面に至
る光学系の特性にも依存する。従って上記「ずらし量」
に誤差があったり、光学系に加工誤差や汲み付け誤差に
よる狂いがあったりすると「ξ」に誤差が含まれ、調整
される走査線ピッチにも誤差が生じることになる。
【0175】このような誤差を除去するには、走査線ピ
ッチ:PVの検出に加えて、距離:ξの検出をも行なえ
ば良い。
【0176】図25に示した実施の形態の場合、走査線
ピッチ:PVは上に説明した方法によりピッチ算出部3
4で算出することができる。一方、図32に示す、光ス
ポットSP1,SP2の主走査方向の間隔:Lは、半導
体レーザ11,12を同時に発光させておいて、リニア
センサ31を走査速度:vbで走査したときのリニアセ
ンサ31において生じる光スポットSP1の受光信号と
光スポットSP2の受光信号の時間差:τを検出すれ
ば、演算:L=vb×τで求めることができる。なお、
時間差:τを検出するのにリニアセンサ31の出力を用
いず、同期検知センサ10の出力を用いてもよい。
【0177】すると、光スポットSP1,SP2の間
隔:ξは演算:√{L2+(PV)2}で得ることがで
き、図33に示すように、走査線ピッチの検出値をP
V、実現すべき所望の走査線ピッチをPV0、これらの
差:PV0−PV=ΔPVとすれば、光源装置1Bの回
転角度量:ΔΘは、演算:ΔΘ=sin~1{ΔPV/
ξ}により得ることができる。
【0178】上記:L,ξ,ΔPVの算出に必要な演算
は、図示されない演算手段を付加して行なっても良い
し、ピッチ算出部34にこの演算機能を付加しても良
い。ΔΘの算出演算は、算出された「ξとΔPV」をピ
ッチ・回転角度変換部35に与えて行なうことができ
る。
【0179】このようにすると、検出された走査線ピッ
チと回転角度量との換算式を工場出荷時に各ロットごと
に予め入力する煩わしさがなく、適正に光源装置1Bの
回転角度量:ΔΘを決定できる。
【0180】図1〜図24に即して説明した実施の形態
において、光源装置1,1Aに就いては「その具体的な
構成」を説明しなかったが、図25,26に即して説明
した光源装置1Bは、図1に示す光源装置1として、あ
るいは図7に示す光源装置1Aとして利用できる。ま
た、図1〜図24に即して説明した実施の形態におい
て、図25〜図32に即して説明した「光源装置回転機
構」と、これを回転駆動する「駆動手段」を、図1,図
7のマルチビーム走査装置に利用できること勿論であ
り、図1〜図6に即して説明した実施の形態あるいは図
7〜図24に即して説明した実施の形態により検出され
た走査線ピッチに基づき、上記光源装置回転機構と駆動
手段とを用いて走査線ピッチ調整を行なうことができ
る。
【0181】また、図25に示すマルチビーム走査装置
では、複数の光ビームの書き出しの同期は、同期貢献値
センサ10の出力を用いて行なうが、専用の同期光検知
センサ10を用いること無く、リニアセンサ31の出力
を利用して同期検知信号を得ることもできる(請求項2
1)。
【0182】図34は、請求項22,23,26〜28
記載のマルチビーム走査装置の実施の形態を示してい
る。繁雑を避けるため、混同の虞れがないものに就いて
は図25におけると同一の符号を用いた。光源装置1
B、シリンダレンズ2、ポリゴンミラー3を用いる偏向
手段、光路屈曲用ミラー8、被走査面に主面を合致させ
て配備された光導電性の感光体5、光源装置1Bを光軸
まわりに回転させるためのステッピングモータ26、ス
テッピングモータ26を制御するモータ制御部36、モ
ータ制御部36に光源装置1Bを回転させるための回転
角度量を得るピッチ・回転角度変換部37、光源装置1
Bの半導体レーザ11,12の点滅を制御する半導体レ
ーザ制御部37は図25に示されたものと同様のもので
ある。
【0183】従って図34に示す実施の形態において
も、光源装置1Bは図26に示すごとき光学構成、具体
的には図28に示すごとき構成であって、図28に示す
ごときピッチ可変手段29により光軸まわりに回転され
てピッチ調整を行なう。
【0184】図34(a)において、光源装置1Bは発
光源である半導体レーザ11,12が半導体レーザ制御
部37により点灯されると、進行方向が互いに微小角異
なる2つの光ビームBM1,BM2(共に平行ビームで
ある)を放射する。光ビームBM1,BM2は、副走査
方向にのみ正のパワーを持つシリンダレンズ2を介して
同一の偏向手段のポリゴンミラー3の偏向反射面に入射
する。このときシリンダレンズ2の作用により、光ビー
ムBM1,BM2とも偏向反射面近傍に「主走査方向に
長い線像」として結像する。
【0185】ポリゴンミラー3の回転に依り、一括して
等角速度的に偏向された両光ビームは共通の「走査結像
光学系」に入射する。走査結像光学系は、この実施の形
態においてfθレンズ4Bと「補正用の長尺レンズ」で
ある長尺トロイダルレンズ4Cとにより構成されてい
る。走査結像光学系を透過した光ビームBM1,BM2
は、光路屈曲用のミラー8により光路を折り曲げられ、
被走査面(実体的には感光体5の周面)上に副走査方向
に走査線ピッチ:PVだけ分離した2つの光スポットと
して集光し、2つの隣接する走査線を同時に走査する。
【0186】走査結像光学系をなすfθレンズ4Bと長
尺トロイダルレンズ4Cとは、副走査方向に関して「偏
向反射面位置近傍(前記線像の結像位置)と被走査面位
置とを幾何光学的に略共役な関係としており(共軸レン
ズであるfθレンズ4Bと長尺トロイダルレンズ4Cと
を組み合わせることにより、このようなアナモフィック
な性質を実現している)、従って図34のマルチビーム
走査装置はポリゴンミラー3における「面倒れ」を補正
する機能を有している。
【0187】「ビーム位置検出手段」であるリニアセン
サ31Aは、受光エレメントの配列方向を副走査方向に
向けて走査開始側における走査領域外に配備されてい
る。走査結像光学系における「主走査方向の走査開始側
端部」を通った光ビームBM1,BM2は、光路屈曲用
のミラー8に反射されることなくリニアセンサ31Aに
入射する。
【0188】走査結像光学系を構成するfθレンズ4B
と長尺トロイダルレンズ4Cのうち、fθレンズ4Bを
なす2枚のレンズ41,42の中で,ポリゴンミラー3
から離れた側にあるレンズ42の主走査方向の光走査開
始側の端部(図34(a)に符号bで示す部分)には、
長尺トロイダルレンズ4C側の面に、図34(b)示す
ように「副走査方向に負のパワー」を持つ樹脂成形レン
ズ700を貼付てある。
【0189】樹脂成形レンズ700の貼着により、この
部分におけるレンズ42の屈折面の正のパワーが減少
し、結果的に樹脂成形レンズ700を通る光ビームに対
する走査結像光学系の副走査方向の結像倍率は他の部分
よりも相対的に大きくなる(請求項24)。その結果
「ビーム位置検出手段」である1次元のリニアセンサ3
1Aが検出する光ビームBM1,BM2の副走査方向の
間隔:PV’は、被走査面上の走査線ピッチ:PVより
大きくなる。なお、図では明確でないが「位置検出用結
像光学系(前記走査結像光学系と樹脂成形レンズ700
で構成される)」の副走査対応方向の結像倍率が、走査
光学系の結像倍率より大きいことから、リニアセンサ3
1Aの配備位置は「走査結像レンズから被走査面に到る
距離よりも遠方」に設定されている。
【0190】このように、間隔:PV’は大きいので精
度良く検出できる。リニアセンサ31Aの出力が「演算
手段」であるピッチ算出部34Aに入力すると、ピッチ
算出部34Aは入力情報に基づき(例えば、図25の実
施の形態の場合と同様にして)間隔:PV’を決定し、
さらに間隔:PV’と走査線ピッチ:PVとの比(走査
結像光学系と位置検出用結像光学系の、副走査対応方向
における結像倍率の比):k(マルチビーム走査装置に
おける設計条件により定まる定数)により演算:PV’
/kを行なって走査線ピッチ:PVを求める。
【0191】得られた走査線ピッチ:PVはピッチ・回
転角度変換部35に入力し、ピッチ回転角変換部35
は、達成するべき走査線ピッチの目標値:PV0(走査
線ピッチを切り換える場合であれば切り換えに依って新
たに設定された走査線ピッチ、走査線ピッチの補正の場
合であれば予め定められた走査線ピッチ)を実現するた
めに光源装置1を回転させるべき回転角度量:ΔΘを図
25の実施の形態緒場合と同様にして決定する。
【0192】そして、決定された回転角度量:ΔΘを実
現するようにモータ制御部36を介してステッピングモ
ータ26を制御する。従って、ピッチ・回転角度変換部
32とモータ制御部34とは「駆動手段を制御する回転
制御手段」を構成する。このようにして目標とする走査
線ピッチ:PV0を確実に実現できる。
【0193】図35は請求項22,24,25〜28記
載のマルチビーム走査装置の実施の形態を示している。
混同の虞れが無いと思われるものに就いては図34
(a)におけると同一の符号を用いた。図34に示す実
施の形態との差異は以下の点にある。即ち、図35の実
施の形態では、fθレンズ4Bの、主走査方向における
光走査開始側端部を通った光ビームは長尺トロイダルレ
ンズ4Cに入射することなくミラーm1により反射され
て「ビーム位置検出手段」であるリニアセンサ31Aに
入射する。走査結像光学系を構成するfθレンズ4Bと
長尺トロイダルレンズ4Cは、いずれも副走査方向に正
のパワーを持つのでfθレンズ4Bのみによる副走査方
向の正のパワーは、走査結像光学系における副走査方向
の「合成の正のパワー」よりも小さい。
【0194】このようにfθレンズ4Bを「位置検出用
結像光学系」として用いることにより(請求項24,2
5)、リニアセンサ31A上には光ビームBM1,BM
2を、被走査面上におけるよりも副走査方向に大きい結
像倍率で結像させることができる。換言すれば、リニア
センサ31Aが検出する光ビームBM1,BM2の副走
査方向の間隔:PV’は、被走査面上における走査線ピ
ッチ:PVよりも大きくなり、間隔:PV’を精度良く
検出できる。検出された間隔:PV’に応じて目標とす
る走査線ピッチ:PV0を実現する方法は、図34の実
施の形態の場合と全く同様である。
【0195】図35の実施の形態においては、変形例と
してミラーm1に代えて「副走査方向にのみ正のパワー
を持つ凹シリンダミラー」を用い、fθレンズ4Bと、
この凹シリンダミラーとで「位置検出用結像光学系」を
構成することもできる。このようにすると、位置検出用
結像光学系の副走査方向における結像倍率を図35の実
施の形態における場合よりも更に大きくすることができ
る。
【0196】上の説明では、間隔:PV’の検出から走
査線ピッチ:Pの目標値:PV0の実現までを自動的に
行なったが、間隔:PV’の検出に基づき、走査線ピッ
チ:PVの設定や補正は手動で行なうようにしてもよ
い。
【0197】また、光源装置1Bから被走査面に到る光
路上に配備される光学素子は、上に説明した実施の形態
におけるものに限らず、従来から知られた種々のものを
適宜利用できる。また、リニアセンサ31Aの出力信号
により同期検知信号を得るようにすることができる(請
求項28)。
【0198】以上説明した全ての実施の形態において、
光源装置として特開昭56−42248号公報に記載さ
れたような半導体レーザアレイを用いることができるこ
とも言うまでもない。
【0199】
【発明の効果】この発明によれば新規なマルチビーム走
査装置を実現できる。請求項1記載の発明のマルチビー
ム走査装置は、走査線ピッチを検出する機能を有するの
で走査線ピッチを視度良く検出でき、走査線ピッチの調
整に供することにより走査線ピッチの精度良い調整が可
能である。
【0200】請求項2,3記載の発明では2つの光セン
サを用い、複数光ビームを同時に走査して走査線ピッチ
検出を行なうので、偏向手段に「面倒れ」があっても、
その影響を受けずに走査線ピッチを短時間で精度良く検
出できる。
【0201】請求項4,6〜12,21,28記載の発
明では、走査線ピッチ検出手段の光センサの出力に基づ
き書込み用の同期検知信号を得るので各光ビームの書込
み開始位置を正確に調整でき、専用の同期光検知手段を
必要としないのでマルチビーム走査装置のコンパクト化
が可能である。
【0202】請求項5,13,14,26記載の発明の
マルチビーム走査装置はピッチ調整手段を有するので、
検出された走査線ピッチに応じて走査線ピッチを良好に
調整できる。請求項12記載の発明のマルチビーム走査
装置は2つの受光手段により2本の光ビームを別個に検
出するので、2つの光スポットが主・副走査方向に近接
する場合でも、良好な走査線ピッチの検出が可能であ
る。
【0203】請求項15記載の発明のマルチビーム走査
装置は光スポットの重心位置を検出して走査線ピッチ検
出を行なうので光スポットの形状が崩れているような場
合にも、適正な走査線ピッチ検出が可能である。
【0204】請求項16〜20記載の発明のマルチビー
ム走査装置は単一のリニアセンサにより走査線ピッチを
検出し、検出された走査線ピッチに基づきピッチ調整を
行なって所望の走査線ピッチを実現できる。
【0205】請求項19記載の発明のマルチビーム走査
装置は、ポリゴンミラーの面倒れの影響を除去して単一
のリニアセンサにより走査線ピッチを検出できる。
【0206】請求項22〜26記載の発明のマルチビー
ム走査装置では、位置検出用結像光学系における副走査
方向における結像倍率が被走査面に対する走査結像光学
系の副走査方向の結像倍率よりも大きく設定されている
ので、走査線ピッチが細かい場合にも精度の良い走査戦
費値検出が可能である。
【0207】請求項27記載の発明によれば請求項1〜
26記載の発明のマルチビーム走査装置に適した2ビー
ム用の光源装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項2記載の発明の実施の1形態を示す図で
ある。
【図2】図1における制御部7の構成を示すブロック図
である。
【図3】図1における受光部6の構成を説明するための
図である。
【図4】図3における受光部6と、これを走査する光ス
ポットSP1,SP2の関係を示す図である。
【図5】図2の制御部7における信号処理を説明するタ
イミング図である。
【図6】光スポットSP1,SP2と走査線ピッチの関
係を説明するための図である。
【図7】請求項6記載の発明の実施の1形態を示す図で
ある。
【図8】図7における受光手段6Aを説明するための図
である。
【図9】図7における受光手段の別例を示す図である。
【図10】図7における受光手段6Aから得られる受光
信号を示す図である。
【図11】図7の制御部7Aの要部を説明するための図
である。
【図12】図7の制御部7Aにおける信号処理を説明す
るためのタイミング図である。
【図13】請求項8の受光手段を説明するための図であ
る。
【図14】図13の受光手段から得られる受光信号を示
す図である。
【図15】図13の受光手段から得られる受光信号の処
理を行なう制御部を説明するための図である。
【図16】図15の制御部における信号処理を説明する
ためのタイミング図である。
【図17】請求項10の受光手段を説明するための図で
ある。
【図18】図17の受光手段から得られる受光信号を示
す図である。
【図19】図17の受光手段から得られる受光信号の処
理を行なう制御部を説明するための図である。
【図20】図19の制御部における信号処理を説明する
ためのタイミング図である。
【図21】請求項12における光源部の構成を説明する
ための図である。
【図22】請求項12における受光部の構成を説明する
ための図である。
【図23】図22,23の光源部、受光部における光ビ
ームBM1,BM2の偏光状態を示す図である。
【図24】請求項12における走査線ピッチ検出を説明
するための図である。
【図25】請求項16記載のマルチビーム走査装置の実
施の1形態を説明するための図である。
【図26】図25における光源装置1Bを説明するため
の図である。
【図27】図25の光源装置1Bによる被走査面上の光
スポットの状態を説明するための図である。
【図28】図25の光源装置1Bの機械的構成と、光源
装置1Bを回転させる光源装置回転機構を説明するため
の図である。
【図29】請求項19記載の発明を説明する図である。
【図30】請求項15,17記載の発明における重心検
出を説明するための図である。
【図31】走査線ピッチと光源装置の光軸まわりの回転
角度との関係を説明するための図である。
【図32】請求項20記載の発明を説明するための図で
ある。
【図33】図25のリニアセンサ31からの受光信号が
重なる場合を説明する図である。
【図34】請求項22,23記載の発明のマルチビーム
走査装置の実施の1形態を説明するための図である。
【図35】請求項22,24,25記載の発明のマルチ
ビーム走査装置の実施の1形態を説明するための図であ
る。
【符号の説明】
1 光源装置 2 シリンダレンズ 3 ポリゴンミラー 4 走査結像光学系 5 感光体 6 受光手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平8−159254 (32)優先日 平8(1996)5月31日 (33)優先権主張国 日本(JP) (31)優先権主張番号 特願平8−213278 (32)優先日 平8(1996)7月25日 (33)優先権主張国 日本(JP) (72)発明者 成田 昌樹 東京都大田区中馬込1丁目3番6号・株式 会社リコー内 (72)発明者 山崎 修一 東京都大田区中馬込1丁目3番6号・株式 会社リコー内 (72)発明者 伊藤 悟 東京都大田区中馬込1丁目3番6号・株式 会社リコー内

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】個別に発光制御される複数の発光源を有す
    る光源装置からの複数の光ビームを同一の偏向手段によ
    り偏向させ、同一の走査結像光学系により被走査面に複
    数の光スポットとして集光させ、上記複数の光スポット
    により被走査面を同時走査するマルチビーム走査装置で
    あって、 被走査面上において隣接する光スポットの副走査方向の
    間隔を走査線ピッチとして検出する走査線ピッチ検出手
    段を有するマルチビーム走査装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載のマルチビーム走査装置にお
    いて、 走査線ピッチ検出手段が、 被走査面と等価な検出領域に、長手方向を副走査方向に
    対応させて設けられた細帯状の第1の光センサと、上記
    検出領域における走査方向下流側に、上記第1の光セン
    サに対して長手方向を所定角傾けて設けられた細帯状の
    第2の光センサとを有する、光ビーム検出部と、 これら第1および第2の光センサから出力される光ビー
    ム検出信号に基づき、各光スポットが第1および第2の
    光センサ間の距離を通過する通過時間を検出し、上記第
    2の光センサの第1の光センサに対する傾き角と、上記
    検出された通過時間とに基づき、隣合った2つの光スポ
    ットの副走査方向の間隔を走査線ピッチとして演算する
    制御部とを有することを特徴とするマルチビーム走査装
    置。
  3. 【請求項3】請求項2記載のマルチビーム走査装置にお
    いて、 走査線ピッチ検出手段における制御部が、 基準クロック発生回路と、 基準クロックに対して所定の微少時間ずつ遅延した1連
    の遅延クロックを発生させる遅延クロック発生回路と、 各光スポットが光ビーム検出部の第1および第2の光セ
    ンサにより発生する光ビーム検出信号に基づき、各光ス
    ポットが第1および第2の光センサ間の距離を通過する
    通過時間間隔を上記基準クロックを基準として計測する
    ビーム間隔計測回路と、 各光スポットによる光ビーム検出信号と同位相の遅延ク
    ロックを検出する位置信号位相検出回路と、 上記同位相の遅延クロックと上記基準クロックとの位相
    のずれを時間差として演算し、演算された各時間差によ
    り上記光スポットごとの通過時間間隔を補正して、各光
    スポットごとの通過時間を得、この通過時間と、上記第
    2の光センサの第1の光センサに対する傾き角とによ
    り、隣合った2つの光スポットの副走査方向の間隔を走
    査線ピッチとして演算する副走査ピッチ演算回路とを有
    することを特徴とするマルチビーム走査装置。
  4. 【請求項4】請求項3記載のマルチビーム走査装置にお
    いて、 複数の遅延クロック中で、第1の光センサからの光ビー
    ム検出信号と同位相の遅延クロックを選択して各光スポ
    ットに対する書込みクロック信号とすることを特徴とす
    るマルチビーム走査装置。
  5. 【請求項5】請求項2または3または4記載のマルチビ
    ーム走査装置において、 光源装置を、光軸に平行な軸のまわりに回転させること
    により、走査線ピッチを調整するピッチ調整手段を有す
    ることを特徴とするマルチビーム走査装置。
  6. 【請求項6】請求項1記載のマルチビーム走査装置にお
    いて、 走査線ピッチ検出手段が、 被走査面の近傍に配備され、主走査方向の受光面幅が副
    走査方向にリニアに変化する受光手段と、 各光ビームが上記受光手段の受光面を主走査方向に通過
    する通過時間を検出し、光スポットの走査速度と、上記
    検出された通過時間と、上記受光面の形状とに応じて、
    走査線ピッチを演算する演算手段とを有することを特徴
    とするマルチビーム走査装置。
  7. 【請求項7】請求項6記載のマルチビーム走査装置にお
    いて、 演算手段が、 受光手段の出力を増幅し2値化する前処理回路と、 この前処理回路により前処理されたデジタル信号を、所
    定のクロック信号により計数するカウンタ手段と、 このカウンタ手段が計数した各光スポットの通過時間を
    ラッチするラッチ手段と、 上記前処理回路の出力を入力され、その立ち下がり時間
    を基準とした所定の遅延時間で、上記ラッチ手段への上
    記カウンタ手段の出力をラッチするトリガ信号と上記カ
    ウンタ手段をクリアするクリア信号とを発する遅延回路
    と、 上記ラッチ手段の出力に基づき、隣接する光スポットの
    通過時間の差を演算するビットコンパレータ手段とを有
    することを特徴とするマルチビーム走査装置。
  8. 【請求項8】請求項1記載のマルチビーム走査装置にお
    いて、 走査線ピッチ検出手段が、 被走査面の近傍に配備され、互いに非平行に主走査方向
    に併設された第1および第2のスリットを有する遮光部
    材と、この遮光部材の上記第1および第2のスリットを
    通過した光ビームを受光する受光素子とにより構成され
    る受光手段と、 各光ビームが上記第1および第2のスリットの間を主走
    査方向に通過する通過時間を検出し、光スポットの走査
    速度と、上記検出された通過時間と、上記第1および第
    2のスリットの態位とに応じて、走査線ピッチを演算す
    る演算手段とを有することを特徴とするマルチビーム走
    査装置。
  9. 【請求項9】請求項8記載のマルチビーム走査装置にお
    いて、 演算手段が、 受光手段の出力を増幅したのち微分し、微分信号の0交
    叉点を検出する前処理回路と、 この前処理回路により前処理されたデジタル信号を、所
    定のクロック信号により計数するカウンタ手段と、 このカウンタ手段が計数した各光スポットの通過時間を
    ラッチするラッチ手段と、 上記前処理回路の出力を入力され、その立ち下がり時間
    を基準とした所定の遅延時間で、上記ラッチ手段への上
    記カウンタ手段の出力をラッチするトリガ信号と上記カ
    ウンタ手段をクリアするクリア信号とを発する遅延回路
    と、 上記ラッチ手段の出力に基づき、隣接する光スポットの
    通過時間の差を演算するビットコンパレータ手段とを有
    することを特徴とするマルチビーム走査装置。
  10. 【請求項10】請求項1記載のマルチビーム走査装置に
    おいて、 走査線ピッチ検出手段が、 被走査面の近傍に配備され、細帯状の受光面を長手方向
    に縦割りする分割ラインが互いに非平行になるように、
    主走査方向に併設された第1および第2の2分割光セン
    サによる受光手段と、 各光ビームが上記第1および第2の2分割光センサの間
    を主走査方向に通過する通過時間を検出し、光スポット
    の走査速度と、上記検出された通過時間と、上記遮光部
    材における第1および第2の2分割光センサの分割ライ
    ンの態位とに応じて、走査線ピッチを演算する演算手段
    とを有することを特徴とするマルチビーム走査装置。
  11. 【請求項11】請求項10記載のマルチビーム走査装置
    において、 演算手段が、 受光手段における各2分割光センサの各受光部からの出
    力の差を増幅し、増幅された出力差の0交叉点を検出
    し、各2分割光センサに対応する0交差点の信号に対し
    イクスクルーシブオア論理処理する前処理回路と、 この前処理回路により前処理されたデジタル信号を、所
    定のクロック信号により計数するカウンタ手段と、 このカウンタ手段が計数した各光スポットの通過時間を
    ラッチするラッチ手段と、 上記前処理回路の出力を入力され、その立ち下がり時間
    を基準とした所定の遅延時間で、上記ラッチ手段への上
    記カウンタ手段の出力をラッチするトリガ信号と上記カ
    ウンタ手段をクリアするクリア信号とを発する遅延回路
    と、 上記ラッチ手段の出力に基づき、隣接する光スポットの
    通過時間の差を演算するビットコンパレータ手段とを有
    することを特徴とするマルチビーム走査装置。
  12. 【請求項12】請求項1記載のマルチビーム走査装置に
    おいて、 同一の偏向手段により偏向される複数の光ビームは、偏
    光状態が互いに異なる2本の光ビームであり、 走査線ピッチ検出手段が、 上記2本の光ビームを偏光状態に従って互いに分離する
    光ビーム分離手段と、 分離された各ビームを受光する2つの受光手段と、 各受光手段の出力に基づき、走査線ピッチを演算する演
    算手段とを有し、 上記2つの受光手段は、請求項6または8または10記
    載の受光手段であり、 演算手段が、請求項6または8または10記載の演算手
    段に上記2つの受光手段の出力を時間的に前後して入力
    するように構成されたものであることを特徴とするマル
    チビーム走査装置。
  13. 【請求項13】請求項6〜12の任意の1に記載のマル
    チビーム走査装置において、 受光手段の受光信号により同期検知信号を得ることを特
    徴とするマルチビーム走査装置。
  14. 【請求項14】請求項6〜13の任意の1に記載のマル
    チビーム走査装置において、 光源装置を光軸に平行な軸のまわりに回転させることに
    より、走査線ピッチを調整するピッチ調整手段を有する
    ことを特徴とするマルチビーム走査装置。
  15. 【請求項15】請求項1記載のマルチビーム走査装置に
    おいて、 走査線ピッチ検出手段が、長手方向を副走査方向に対応
    させて検出領域に設けられたリニアセンサと、 このリニアセンサの出力に基づき、光スポットの重心位
    置を演算する重心位置演算手段とを有し、 上記リニアセンサの出力に基づき重心位置演算手段で演
    算された重心位置のデータを、光スポット位置データと
    することを特徴とするマルチビーム走査装置。
  16. 【請求項16】個別に発光制御される複数の発光源を有
    する光源装置からの複数の光ビームを同一の偏向手段に
    より偏向させ、同一の走査結像光学系により被走査面に
    複数の光スポットとして集光させ、上記複数の光スポッ
    トにより被走査面を同時走査するマルチビーム走査装置
    であって、 被走査面上において隣接する光スポットの副走査方向の
    間隔を走査線ピッチとして検出する走査線ピッチ検出手
    段と、 走査線ピッチを、光源装置の光軸まわりの回転により調
    整するピッチ調整手段と、 上記走査線ピッチ検出手段による検出結果に基づき、上
    記ピッチ調整手段を制御して所望の走査線ピッチを実現
    するピッチ調整制御手段とを有することを特徴とするマ
    ルチビーム走査装置。
  17. 【請求項17】請求項16記載のマルチビーム走査装置
    において、 走査線ピッチ検出手段が、請求項15記載のものであ
    り、 ピッチ調整制御手段は、光源装置の各発光源を時系列に
    順次発光させて、各ビームごとに光スポット位置を上記
    走査線ピッチ検出手段により検出し、検出された位置デ
    ータに基づき、走査線ピッチを算出する機能を有するこ
    とを特徴とするマルチビーム走査装置。
  18. 【請求項18】請求項16または17記載のマルチビー
    ム走査装置において、 ピッチ調整制御手段は、検出される走査線ピッチと光源
    装置の回転角度との換算式に基づき、上記光源装置の回
    転角度量を決定するピッチ・回転角度変換手段を有する
    ことを特徴とするマルチビーム走査装置。
  19. 【請求項19】請求項16または17または18記載の
    マルチビーム走査装置において、 偏向手段が、ポリゴンミラーを用いるものであり、 ピッチ調整制御手段が、光源装置の各発光源を時系列に
    順次発光させて得られる各光ビームの偏向を、同一の偏
    向反射面で行なわせるタイミング制御手段を有すること
    を特徴とするマルチビーム走査装置。
  20. 【請求項20】請求項17記載のマルチビーム走査装置
    において、 ピッチ調整制御手段が、 ピッチ検出手段のリニアセンサを各光スポットが通過す
    るときの出力間隔から主走査ピッチを算出する主走査ピ
    ッチ算出手段と、 この主走査ピッチ算出手段により算出された主走査ピッ
    チと、ピッチ検出手段により検出された走査線ピッチと
    に基づき、光源装置の回転角度量を算出する回転角度量
    算出手段とを有することを特徴とするマルチビーム走査
    装置。
  21. 【請求項21】請求項15または17または18または
    19または20記載のマルチビーム走査装置において、 走査線ピッチ検出手段のリニアセンサの出力信号により
    同期検知信号を得ることを特徴とするマルチビーム走査
    装置。
  22. 【請求項22】請求項1記載のマルチビーム走査装置に
    おいて、 走査線ピッチ検出手段が、 走査領域外に配備され、偏向された各光ビームの副走査
    方向の位置を検出するビーム位置検出手段と、 上記複数の光ビームを上記ビーム位置検出手段に結像さ
    せる位置検出用結像光学素子とを有し、 上記位置検出用結像光学系における副走査方向における
    結像倍率が、被走査面に対する走査結像光学系の副走査
    方向の結像倍率よりも大きく設定されていることを特徴
    とするマルチビーム走査装置。
  23. 【請求項23】請求項22記載のマルチビーム走査装置
    において、 偏向された複数の光ビームを被走査面上に集光させる同
    一の走査結像光学系の主走査方向の所定の側の端部近傍
    に、他の部分に比して正のパワーの小さい部分を設け、
    この部分を通過した各光ビームが、ビーム位置検出手段
    に結像するように、位置検出用結像光学系を上記走査結
    像光学系の一部として構成したことを特徴とするマルチ
    ビーム走査装置。
  24. 【請求項24】請求項22記載のマルチビーム走査装置
    において、 偏向された複数の光ビームを被走査面上に集光させる同
    一の走査結像光学系が複数枚のレンズを有して構成さ
    れ、 これら複数枚のレンズの一部のレンズであって、偏向手
    段側にあるものの副走査方向のパワーが、走査結像光学
    系全体としての副走査方向の正のパワーよりも弱くなる
    ようにすることにより、上記一部のレンズを位置検出用
    結像光学系となし、この位置検出用結像光学系を通過し
    た各光ビームを、走査結像光学系における残りのレンズ
    を透過させることなしにビーム位置検出手段に導いて結
    像させることを特徴とするマルチビーム走査装置。
  25. 【請求項25】請求項24記載のマルチビーム走査装置
    において、 走査結像光学系が、fθレンズと、面倒れ補正用の長尺
    レンズとを有し、上記fθレンズを位置検出用結像光学
    系としたことを特徴とするマルチビーム走査装置。
  26. 【請求項26】請求項22または23または24または
    25記載のマルチビーム走査装置において、光源装置を
    光軸のまわりに回転させる光源装置回転機構と、 この光源装置回転機構を回転駆動する駆動手段と、 ビーム位置検出手段の出力に基づき、走査線ピッチを算
    出する演算手段と、 この演算手段の算出結果に基づき、上記駆動手段を制御
    する回転制御手段とを有することを特徴とするマルチビ
    ーム走査装置。
  27. 【請求項27】請求項1〜26の任意の1に記載のマル
    チビーム走査装置において、 光源装置が、第1および第2の半導体レーザと、第1お
    よび第2のコリメートレンズと、第1および第2のアパ
    ーチュアと、一方の半導体レーザからの光ビームの偏光
    面を90度旋回させる1/2波長板と、上記第1および
    第2の半導体レーザからの光ビームを、両光ビームの偏
    光状態を利用して合成するビーム合成プリズムとを有
    し、 第1または第2の半導体レーザを、対応するコリメート
    レンズの光軸から微少距離ずらすことにより、2つの光
    ビームの射出方向を互いに微小角異ならせるように構成
    されていることを特徴とするマルチビーム走査装置。
  28. 【請求項28】請求項22〜27記載のマルチビーム走
    査装置において、 ビーム位置検出手段の出力信号により同期検知信号を得
    ることを特徴とするマルチビーム走査装置。
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