JPH1081537A - 多孔質光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
多孔質光ファイバ母材の製造方法Info
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- JPH1081537A JPH1081537A JP8231683A JP23168396A JPH1081537A JP H1081537 A JPH1081537 A JP H1081537A JP 8231683 A JP8231683 A JP 8231683A JP 23168396 A JP23168396 A JP 23168396A JP H1081537 A JPH1081537 A JP H1081537A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
- C03B2207/66—Relative motion
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 バーナの待ち時間をなくすことができる多孔
質光ファイバ母材の製造方法を得る。 【解決手段】 複数のバーナ６ａ〜６ｃをターゲットの
一方側から他方側に向けて順次隣接相互間に所定間隔を
あけて低速度Ｖa1，Ｖb1，Ｖc1で走行させてこの間に各
バーナの先端の火炎中で形成したガラス微粒子をターゲ
ットの外周に堆積させて多孔質光ファイバ母材の形成を
行う。各バーナがターゲットの他方側に達する毎にこれ
らバーナを低速度Ｖa1，Ｖb1，Ｖc1より1.5 倍以上速い
高速度ｖa1，ｖb1，ｖc1でターゲットの一方側に戻す。
先頭のバーナ６ａより後のバーナ６ｂ，６ｃがターゲッ
トの他方側から一方側に戻る速度ｖb1，ｖc1を、後のバ
ーナ６ｂ，６ｃがターゲットの一方側に戻ってから待ち
時間を作らずに再スタートできるように遅らせる。
質光ファイバ母材の製造方法を得る。 【解決手段】 複数のバーナ６ａ〜６ｃをターゲットの
一方側から他方側に向けて順次隣接相互間に所定間隔を
あけて低速度Ｖa1，Ｖb1，Ｖc1で走行させてこの間に各
バーナの先端の火炎中で形成したガラス微粒子をターゲ
ットの外周に堆積させて多孔質光ファイバ母材の形成を
行う。各バーナがターゲットの他方側に達する毎にこれ
らバーナを低速度Ｖa1，Ｖb1，Ｖc1より1.5 倍以上速い
高速度ｖa1，ｖb1，ｖc1でターゲットの一方側に戻す。
先頭のバーナ６ａより後のバーナ６ｂ，６ｃがターゲッ
トの他方側から一方側に戻る速度ｖb1，ｖc1を、後のバ
ーナ６ｂ，６ｃがターゲットの一方側に戻ってから待ち
時間を作らずに再スタートできるように遅らせる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のバーナを用
いてガラス微粒子をターゲットの外周に堆積させて多孔
質光ファイバ母材を製造する多孔質光ファイバ母材の製
造方法に関するものである。
いてガラス微粒子をターゲットの外周に堆積させて多孔
質光ファイバ母材を製造する多孔質光ファイバ母材の製
造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】製造すべき多孔質光ファイバ母材の外径
が太くなると、その生産能率を上げるため、複数のバー
ナを用いてガラス微粒子をターゲットの外周に堆積させ
ることが行われている。
が太くなると、その生産能率を上げるため、複数のバー
ナを用いてガラス微粒子をターゲットの外周に堆積させ
ることが行われている。
【０００３】このように、コアプリフォームよりなるタ
ーゲット上に多孔質光ファイバ母材を形成する工程は、
ＪＶＤ工程と呼ばれている。
ーゲット上に多孔質光ファイバ母材を形成する工程は、
ＪＶＤ工程と呼ばれている。
【０００４】図３は、従来のこの種の多孔質光ファイバ
母材の製造方法を実施する光ファイバ母材製造装置の構
成を示したものである。
母材の製造方法を実施する光ファイバ母材製造装置の構
成を示したものである。
【０００５】この光ファイバ母材製造装置においては、
図示のように、コアプリフォームよりなるターゲット１
をその軸心の回りに回転させるターゲット支持機構２を
備えている。該ターゲット支持機構２はＵ型フレーム３
を有し、該Ｕ型フレーム３の両対向端にはターゲット１
を支持するチャック４ａ，４ｂが回転自在に支持されて
いる。一方のチャック４ａはモータ５で回転されるよう
になっており、このチャック４ａの回転によりターゲッ
ト１がその軸心の回りに回転されるようになっている。
図示のように、コアプリフォームよりなるターゲット１
をその軸心の回りに回転させるターゲット支持機構２を
備えている。該ターゲット支持機構２はＵ型フレーム３
を有し、該Ｕ型フレーム３の両対向端にはターゲット１
を支持するチャック４ａ，４ｂが回転自在に支持されて
いる。一方のチャック４ａはモータ５で回転されるよう
になっており、このチャック４ａの回転によりターゲッ
ト１がその軸心の回りに回転されるようになっている。
【０００６】このようにして回転するターゲット１の外
周には、その周方向に位置をずらせて複数のバーナ６
ａ，６ｂが一方の側から対向されている。
周には、その周方向に位置をずらせて複数のバーナ６
ａ，６ｂが一方の側から対向されている。
【０００７】これらバーナ６ａ，６ｂは、各トラバース
機構７ａ，７ｂによってターゲット１の長手方向に沿っ
てそれぞれトラバースされるようになっている。各トラ
バース機構７ａ，７ｂは、ターゲット１に対して平行す
る向きでそれぞれ配置されたスクリュー軸８ａ，８ｂ
と、これらスクリュー軸８ａ，８ｂを回転自在に支持す
るＵ型フレーム９ａ，９ｂと、各スクリュー軸８ａ，８
ｂを回転するモータ１０ａ，１０ｂと、対応するバーナ
６ａ，６ｂを支持した状態で各スクリュー軸８ａ，８ｂ
に螺合されていてこれらスクリュー軸８ａ，８ｂの回転
により各バーナ６ａ，６ｂをターゲット１の長手方向に
沿ってそれぞれトラバースさせるトラバースブロック１
１ａ，１１ｂとを有して構成されている。
機構７ａ，７ｂによってターゲット１の長手方向に沿っ
てそれぞれトラバースされるようになっている。各トラ
バース機構７ａ，７ｂは、ターゲット１に対して平行す
る向きでそれぞれ配置されたスクリュー軸８ａ，８ｂ
と、これらスクリュー軸８ａ，８ｂを回転自在に支持す
るＵ型フレーム９ａ，９ｂと、各スクリュー軸８ａ，８
ｂを回転するモータ１０ａ，１０ｂと、対応するバーナ
６ａ，６ｂを支持した状態で各スクリュー軸８ａ，８ｂ
に螺合されていてこれらスクリュー軸８ａ，８ｂの回転
により各バーナ６ａ，６ｂをターゲット１の長手方向に
沿ってそれぞれトラバースさせるトラバースブロック１
１ａ，１１ｂとを有して構成されている。
【０００８】各バーナ６ａ，６ｂには、ガス供給装置１
２からフレキシブルなガス供給管１３ａ，１３ｂを経て
原料ガスが供給されるようになっている。
２からフレキシブルなガス供給管１３ａ，１３ｂを経て
原料ガスが供給されるようになっている。
【０００９】このような光ファイバ母材製造装置では、
ターゲット支持機構２により軸心の回りに回転させつつ
あるターゲット１の外周にその周方向に位置をずらせて
各バーナ６ａ，６ｂを対向させ、これらバーナ６ａ，６
ｂを相互間に所定の間隔をおいて往復走行させつつ、こ
れらバーナ６ａ，６ｂの火炎中で形成したガラス微粒子
をターゲット１の外周にそれぞれ堆積させて多孔質光フ
ァイバ母材１４を製造する。
ターゲット支持機構２により軸心の回りに回転させつつ
あるターゲット１の外周にその周方向に位置をずらせて
各バーナ６ａ，６ｂを対向させ、これらバーナ６ａ，６
ｂを相互間に所定の間隔をおいて往復走行させつつ、こ
れらバーナ６ａ，６ｂの火炎中で形成したガラス微粒子
をターゲット１の外周にそれぞれ堆積させて多孔質光フ
ァイバ母材１４を製造する。
【００１０】このようにして製造される多孔質光ファイ
バ母材１４として、従来の200 〜400 kmの母材サイズの
ものよりもサイズの大きい1500kmの母材サイズのものに
対する要求がある。
バ母材１４として、従来の200 〜400 kmの母材サイズの
ものよりもサイズの大きい1500kmの母材サイズのものに
対する要求がある。
【００１１】かかる大サイズの多孔質光ファイバ母材１
４を図３に示すように横向きにして製造すると、該多孔
質光ファイバ母材１４はその自重で製造中に下向きに湾
曲してしまうおそれがある。
４を図３に示すように横向きにして製造すると、該多孔
質光ファイバ母材１４はその自重で製造中に下向きに湾
曲してしまうおそれがある。
【００１２】これを避けるためには、図４に示すよう
に、ターゲット２を縦向きにして多孔質光ファイバ母材
１４の製造を行うことが好ましい。
に、ターゲット２を縦向きにして多孔質光ファイバ母材
１４の製造を行うことが好ましい。
【００１３】この場合の多孔質光ファイバ母材１４の製
造方法の例を示すと、次の通りである。即ち、ターゲッ
ト２を縦向きにし、該ターゲット２の周方向に所定間隔
で配置したバーナ６ａ，６ｂ，６ｃを該ターゲット１の
一方側である下方側から他方側である上方側に向けて順
次隣接相互間に所定間隔Ｌをあけて低速度Ｖa1，Ｖb1，
Ｖc1（Ｖa1＝Ｖb1＝Ｖc1）で走行させてこの間に各バー
ナ６ａ〜６ｃの先端の火炎中で形成したガラス微粒子を
ターゲット１の外周に堆積させて多孔質光ファイバ母材
１４の形成を行い、各バーナ６ａ〜６ｃがターゲット１
の他方側である上方側に達する毎にこれらバーナ６ａ〜
６ｃを前述した低速度Ｖa1，Ｖb1，Ｖc1より1.5 倍以上
速い高速度ｖa1，ｖb1，ｖc1（ｖa1＝ｖb1＝ｖc1）でタ
ーゲット１の一方側に戻し、該ターゲット１の一方側に
戻った各バーナ６ａ〜６ｃを順次隣接相互間に所定間隔
Ｌをあけてターゲット１の一方側から他方側に向けて低
速度で走行させる動作を繰り返すと共に多孔質光ファイ
バ母材１４の外径の増加に伴い各バーナ６ａ〜６ｃの低
速度の走行速度を、その１つ前の低速度の走行速度より
遅い速度にする制御を行って所要外径の多孔質光ファイ
バ母材１４の製造を行う。
造方法の例を示すと、次の通りである。即ち、ターゲッ
ト２を縦向きにし、該ターゲット２の周方向に所定間隔
で配置したバーナ６ａ，６ｂ，６ｃを該ターゲット１の
一方側である下方側から他方側である上方側に向けて順
次隣接相互間に所定間隔Ｌをあけて低速度Ｖa1，Ｖb1，
Ｖc1（Ｖa1＝Ｖb1＝Ｖc1）で走行させてこの間に各バー
ナ６ａ〜６ｃの先端の火炎中で形成したガラス微粒子を
ターゲット１の外周に堆積させて多孔質光ファイバ母材
１４の形成を行い、各バーナ６ａ〜６ｃがターゲット１
の他方側である上方側に達する毎にこれらバーナ６ａ〜
６ｃを前述した低速度Ｖa1，Ｖb1，Ｖc1より1.5 倍以上
速い高速度ｖa1，ｖb1，ｖc1（ｖa1＝ｖb1＝ｖc1）でタ
ーゲット１の一方側に戻し、該ターゲット１の一方側に
戻った各バーナ６ａ〜６ｃを順次隣接相互間に所定間隔
Ｌをあけてターゲット１の一方側から他方側に向けて低
速度で走行させる動作を繰り返すと共に多孔質光ファイ
バ母材１４の外径の増加に伴い各バーナ６ａ〜６ｃの低
速度の走行速度を、その１つ前の低速度の走行速度より
遅い速度にする制御を行って所要外径の多孔質光ファイ
バ母材１４の製造を行う。
【００１４】この場合の各バーナ６ａ〜６ｃの上りと下
りの走行速度の関係を示すと、図５に示すとおりであ
る。この図では、線の傾きが速度を示し、線の傾斜角度
θが大きいと速度が速いことを示し、線の傾斜角度θが
小さいと速度が遅いことを示している。
りの走行速度の関係を示すと、図５に示すとおりであ
る。この図では、線の傾きが速度を示し、線の傾斜角度
θが大きいと速度が速いことを示し、線の傾斜角度θが
小さいと速度が遅いことを示している。
【００１５】（イ）バーナ６ａが右肩上がりで低速度Ｖ
a1で上昇するときには、バーナ６ｂ，６ｃは隣接相互間
に一定距離Ｌを保って移動するため、時間Ｔ0 だけ遅れ
て順次スタートする（バーナ間の距離が短いと、火炎が
相互に干渉するので付着速度DRと収率ηが下がる）。
a1で上昇するときには、バーナ６ｂ，６ｃは隣接相互間
に一定距離Ｌを保って移動するため、時間Ｔ0 だけ遅れ
て順次スタートする（バーナ間の距離が短いと、火炎が
相互に干渉するので付着速度DRと収率ηが下がる）。
【００１６】（ロ）先行するバーナ６ａが位置Ｐａに達
したとき、バーナ６ｂが下部から低速度Ｖb1（＝Ｌ／Ｔ
0 ）で上昇を始める。
したとき、バーナ６ｂが下部から低速度Ｖb1（＝Ｌ／Ｔ
0 ）で上昇を始める。
【００１７】（ハ）バーナ６ｂがＰｂ（＝Ｐａ）の位置
に達したとき、バーナ６ｃが下部から低速度Ｖc1（＝Ｌ
／Ｔ0 ）で上昇を始める。
に達したとき、バーナ６ｃが下部から低速度Ｖc1（＝Ｌ
／Ｔ0 ）で上昇を始める。
【００１８】（ニ）バーナ６ａ〜６ｃは上昇範囲の上端
に達したら、ターンさせて高速度ｖa1，ｖb1，ｖc1で移
動範囲の下部まで下降させる。
に達したら、ターンさせて高速度ｖa1，ｖb1，ｖc1で移
動範囲の下部まで下降させる。
【００１９】（ホ）先頭のバーナ６ａは、下部に達した
らターンさせて、待ち時間０で、速度Ｖa1より遅い低速
度Ｖa2( Ｖa1＞Ｖa2) で上昇させる。
らターンさせて、待ち時間０で、速度Ｖa1より遅い低速
度Ｖa2( Ｖa1＞Ｖa2) で上昇させる。
【００２０】（ヘ）バーナ６ｂは、下部に達したらター
ンさせて、待ち時間ｔb の後、速度Ｖa1より遅い低速度
Ｖa2( Ｖa1＞Ｖa2) で上昇させる。
ンさせて、待ち時間ｔb の後、速度Ｖa1より遅い低速度
Ｖa2( Ｖa1＞Ｖa2) で上昇させる。
【００２１】（ト）バーナ６ｃは、下部に達したらター
ンさせて、待ち時間ｔc の後、速度Ｖa1より遅い低速度
Ｖa2( Ｖa1＞Ｖa2) で上昇させる。
ンさせて、待ち時間ｔc の後、速度Ｖa1より遅い低速度
Ｖa2( Ｖa1＞Ｖa2) で上昇させる。
【００２２】ここで、バーナ６ｂ，６ｃは速度をＶb1，
Ｖc1からＶb2，Ｖc2に変えたとき、バーナ間隔Ｌを一定
に保つためには、下部で前述したような待ち時間ｔb ，
ｔcが必要である（この例では、ｔc ＝２ｔb であ
る）。
Ｖc1からＶb2，Ｖc2に変えたとき、バーナ間隔Ｌを一定
に保つためには、下部で前述したような待ち時間ｔb ，
ｔcが必要である（この例では、ｔc ＝２ｔb であ
る）。
【００２３】この例では、分かり易くするために、バー
ナ６ａ〜６ｃはそのスタート位置と下側の折り返し位置
をターゲット１の長手方向に対して同じ位置とし、また
上側の折り返し位置をターゲット１の長手方向に対して
同じ位置としている。
ナ６ａ〜６ｃはそのスタート位置と下側の折り返し位置
をターゲット１の長手方向に対して同じ位置とし、また
上側の折り返し位置をターゲット１の長手方向に対して
同じ位置としている。
【００２４】縦型ＪＶＤ工程では、多孔質光ファイバ母
材１４の製造上の都合から、ステップ毎に原料ガス量
（酸素，水素，ＳｉＣｌ4 など）を変えているが、多く
の場合はターゲット１との界面は密度を低くし、次第に
密度を上げていく（ターゲット１は石英棒であるので密
度は高い）。密度が低いまま多孔質光ファイバ母材１４
の製造を続けると、多孔質光ファイバ母材１４が割れ易
いためである。
材１４の製造上の都合から、ステップ毎に原料ガス量
（酸素，水素，ＳｉＣｌ4 など）を変えているが、多く
の場合はターゲット１との界面は密度を低くし、次第に
密度を上げていく（ターゲット１は石英棒であるので密
度は高い）。密度が低いまま多孔質光ファイバ母材１４
の製造を続けると、多孔質光ファイバ母材１４が割れ易
いためである。
【００２５】一方、大サイズの多孔質光ファイバ母材１
４の製造に際しては、生産上の都合から付着速度DRと収
率ηを上げることが望まれている。そこで、バーナの本
数を、例えば１本から３本に増加させているが、この場
合には、前述したガス条件の変更以外に、これらバーナ
のトラバース速度も変えているほうがよい。即ち、バー
ナの火炎は強くし、多孔質光ファイバ母材１４の外径の
増大と共にガラス微粒子を付着させる低速度のトラバー
ス速度を遅くする。これも適性条件があるが、これによ
って多孔質光ファイバ母材１４の密度が上がり、付着速
度DRと収率ηが向上する。
４の製造に際しては、生産上の都合から付着速度DRと収
率ηを上げることが望まれている。そこで、バーナの本
数を、例えば１本から３本に増加させているが、この場
合には、前述したガス条件の変更以外に、これらバーナ
のトラバース速度も変えているほうがよい。即ち、バー
ナの火炎は強くし、多孔質光ファイバ母材１４の外径の
増大と共にガラス微粒子を付着させる低速度のトラバー
ス速度を遅くする。これも適性条件があるが、これによ
って多孔質光ファイバ母材１４の密度が上がり、付着速
度DRと収率ηが向上する。
【００２６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに各バーナ６ａ〜６ｃのトラバース速度を、ターゲッ
ト１の一方側から他方側に向かうときは低速度で、ター
ゲット１の他方側から一方側に向かうときは高速度で行
い、多孔質光ファイバ母材１４の外径の増大と共にガラ
ス微粒子を付着させる一方側から他方側へのトラバース
速度を遅くすると、前述したように先頭のバーナ６ａの
次のバーナ６ｂ，６ｃから、これらバーナ６ｂ，６ｃが
他方側から一方側に来て折り返して他方側に向かうとき
に待ち時間ｔb ，ｔc が発生し、これらバーナ６ｂ，６
ｃがターゲット１の同じ位置に待ち時間だけ停止するこ
とになる。
うに各バーナ６ａ〜６ｃのトラバース速度を、ターゲッ
ト１の一方側から他方側に向かうときは低速度で、ター
ゲット１の他方側から一方側に向かうときは高速度で行
い、多孔質光ファイバ母材１４の外径の増大と共にガラ
ス微粒子を付着させる一方側から他方側へのトラバース
速度を遅くすると、前述したように先頭のバーナ６ａの
次のバーナ６ｂ，６ｃから、これらバーナ６ｂ，６ｃが
他方側から一方側に来て折り返して他方側に向かうとき
に待ち時間ｔb ，ｔc が発生し、これらバーナ６ｂ，６
ｃがターゲット１の同じ位置に待ち時間だけ停止するこ
とになる。
【００２７】バーナ６ｂ，６ｃがターゲット１の同じ位
置に停止すると、これらバーナ６ｂ，６ｃの火炎がター
ゲット１の同じ位置に対向し続けて、そこが異常高温に
なり、ガラス微粒子（ＳｉＯ2 微粒子）の連続堆積と高
密度化が起こって表面にコブ状突起ができ、このコブ状
突起が以後のガラス微粒子の堆積により成長する。コブ
状突起の成長は、製品の不良につながるので好ましくな
い。
置に停止すると、これらバーナ６ｂ，６ｃの火炎がター
ゲット１の同じ位置に対向し続けて、そこが異常高温に
なり、ガラス微粒子（ＳｉＯ2 微粒子）の連続堆積と高
密度化が起こって表面にコブ状突起ができ、このコブ状
突起が以後のガラス微粒子の堆積により成長する。コブ
状突起の成長は、製品の不良につながるので好ましくな
い。
【００２８】本発明の目的は、バーナの待ち時間をなく
すことができる多孔質光ファイバ母材の製造方法を提供
することにある。
すことができる多孔質光ファイバ母材の製造方法を提供
することにある。
【００２９】
【課題を解決するための手段】本発明に係る多孔質光フ
ァイバ母材の製造方法は、軸心の回りに回転しつつある
棒状のターゲットの外周にその周方向に位置をずらせて
複数のバーナを対向させ、これらバーナをターゲットの
一方側から他方側に向けて順次隣接相互間に所定間隔を
あけて低速度で走行させてこの間に各バーナの先端の火
炎中で形成したガラス微粒子をターゲットの外周に堆積
させて多孔質光ファイバ母材の形成を行い、各バーナが
ターゲットの他方側に達する毎にこれらバーナを前記低
速度より1.5 倍以上速い高速度でターゲットの一方側に
戻し、ターゲットの一方側に戻った各バーナを順次隣接
相互間に所定間隔をあけてターゲットの一方側から他方
側に向けて低速度で走行させる動作を繰り返すと共に多
孔質光ファイバ母材の外径の増加に伴い各バーナの低速
度の走行速度を徐々に遅くする制御を行って所要外径の
多孔質光ファイバ母材の製造を行うに際し、先頭のバー
ナより後のバーナがターゲットの他方側から一方側に戻
る速度を、該後のバーナがターゲットの一方側に戻って
から待ち時間を作らずに再スタートできるように遅らせ
ることを特徴とする。
ァイバ母材の製造方法は、軸心の回りに回転しつつある
棒状のターゲットの外周にその周方向に位置をずらせて
複数のバーナを対向させ、これらバーナをターゲットの
一方側から他方側に向けて順次隣接相互間に所定間隔を
あけて低速度で走行させてこの間に各バーナの先端の火
炎中で形成したガラス微粒子をターゲットの外周に堆積
させて多孔質光ファイバ母材の形成を行い、各バーナが
ターゲットの他方側に達する毎にこれらバーナを前記低
速度より1.5 倍以上速い高速度でターゲットの一方側に
戻し、ターゲットの一方側に戻った各バーナを順次隣接
相互間に所定間隔をあけてターゲットの一方側から他方
側に向けて低速度で走行させる動作を繰り返すと共に多
孔質光ファイバ母材の外径の増加に伴い各バーナの低速
度の走行速度を徐々に遅くする制御を行って所要外径の
多孔質光ファイバ母材の製造を行うに際し、先頭のバー
ナより後のバーナがターゲットの他方側から一方側に戻
る速度を、該後のバーナがターゲットの一方側に戻って
から待ち時間を作らずに再スタートできるように遅らせ
ることを特徴とする。
【００３０】このようにすると、先頭のバーナより後の
バーナは待ち時間なしで、各回の低速走行を行うことが
でき、コブ状突起の発生を防止することができる。特
に、本発明のように、待ち時間を作らないような時間調
整を高速走行時に行うと、高速走行にはガラス微粒子の
堆積を期待していない時間帯であり、ガラス微粒子の堆
積に悪影響を及ぼさずに時間調整を行うことができる。
バーナは待ち時間なしで、各回の低速走行を行うことが
でき、コブ状突起の発生を防止することができる。特
に、本発明のように、待ち時間を作らないような時間調
整を高速走行時に行うと、高速走行にはガラス微粒子の
堆積を期待していない時間帯であり、ガラス微粒子の堆
積に悪影響を及ぼさずに時間調整を行うことができる。
【００３１】また、この際、隣接する各バーナのスター
ト位置と両側の折り返し位置をターゲットの長手方向に
ずらすと、ターゲットの長手方向の端部の同じ位置が各
バーナで繰り返し高温に加熱されるのを回避でき、各バ
ーナのスタート位置と両側の折り返し位置で多孔質光フ
ァイバ母材が高密度化されるのを防止することができ
る。
ト位置と両側の折り返し位置をターゲットの長手方向に
ずらすと、ターゲットの長手方向の端部の同じ位置が各
バーナで繰り返し高温に加熱されるのを回避でき、各バ
ーナのスタート位置と両側の折り返し位置で多孔質光フ
ァイバ母材が高密度化されるのを防止することができ
る。
【００３２】
【発明の実施の形態】本発明に係る多孔質光ファイバ母
材の製造方法における実施の形態の第１例を図１を参照
して詳細に説明する。
材の製造方法における実施の形態の第１例を図１を参照
して詳細に説明する。
【００３３】この例でも、前述した図４に示すように、
ターゲット２は縦向きにし、該ターゲット２の周方向に
所定間隔で配置したバーナ６ａ，６ｂ，６ｃを該ターゲ
ット１の一方側である下方側から他方側である上方側に
向けて順次隣接相互間に所定間隔Ｌをあけて低速度Ｖa
1，Ｖb1，Ｖc1（Ｖa1＝Ｖb1＝Ｖc1）で走行させてこの
間に各バーナ６ａ〜６ｃの先端の火炎中で形成したガラ
ス微粒子をターゲット１の外周に堆積させて多孔質光フ
ァイバ母材１４の形成を行う。各バーナ６ａ〜６ｃがタ
ーゲット１の他方側である上方側に達する毎にこれらバ
ーナ６ａ〜６ｃを前述した低速度Ｖa1，Ｖb1，Ｖc1より
1.5 倍以上速い高速度ｖa1，ｖb1，ｖc1でターゲット１
の一方側に戻す。
ターゲット２は縦向きにし、該ターゲット２の周方向に
所定間隔で配置したバーナ６ａ，６ｂ，６ｃを該ターゲ
ット１の一方側である下方側から他方側である上方側に
向けて順次隣接相互間に所定間隔Ｌをあけて低速度Ｖa
1，Ｖb1，Ｖc1（Ｖa1＝Ｖb1＝Ｖc1）で走行させてこの
間に各バーナ６ａ〜６ｃの先端の火炎中で形成したガラ
ス微粒子をターゲット１の外周に堆積させて多孔質光フ
ァイバ母材１４の形成を行う。各バーナ６ａ〜６ｃがタ
ーゲット１の他方側である上方側に達する毎にこれらバ
ーナ６ａ〜６ｃを前述した低速度Ｖa1，Ｖb1，Ｖc1より
1.5 倍以上速い高速度ｖa1，ｖb1，ｖc1でターゲット１
の一方側に戻す。
【００３４】この際、ターゲット１を高速度ｖa1，ｖb
1，ｖc1で一方側に戻す速度を従来通りとすると、図１
で破線で示すようになるが、本例では図１で実線で示す
ように先頭のバーナ６ａより後のバーナ６ｂ，６ｃがタ
ーゲット２の他方側から一方側に戻る速度ｖb1，ｖc1
を、該後のバーナ６ｂ，６ｃがターゲット２の一方側に
戻ってから待ち時間ｔb ，ｔc を作らずに再スタートで
きるように予め計算した時間ｔb ，ｔc だけ遅らせる。
このため、後のバーナ６ｂ，６ｃに待ち時間ｔb ，ｔc
が発生するのを防止できる。
1，ｖc1で一方側に戻す速度を従来通りとすると、図１
で破線で示すようになるが、本例では図１で実線で示す
ように先頭のバーナ６ａより後のバーナ６ｂ，６ｃがタ
ーゲット２の他方側から一方側に戻る速度ｖb1，ｖc1
を、該後のバーナ６ｂ，６ｃがターゲット２の一方側に
戻ってから待ち時間ｔb ，ｔc を作らずに再スタートで
きるように予め計算した時間ｔb ，ｔc だけ遅らせる。
このため、後のバーナ６ｂ，６ｃに待ち時間ｔb ，ｔc
が発生するのを防止できる。
【００３５】該ターゲット１の一方側に戻った各バーナ
６ａ〜６ｃを順次隣接相互間に所定間隔Ｌをあけてター
ゲット１の一方側から他方側に向けて低速度で走行させ
る動作を繰り返すと共に多孔質光ファイバ母材１４の外
径の増加に伴い各バーナ６ａ〜６ｃの低速度の走行速度
を、その１つ前の低速度の走行速度より遅い速度にする
制御を行って所要外径の多孔質光ファイバ母材１４の製
造を行う。
６ａ〜６ｃを順次隣接相互間に所定間隔Ｌをあけてター
ゲット１の一方側から他方側に向けて低速度で走行させ
る動作を繰り返すと共に多孔質光ファイバ母材１４の外
径の増加に伴い各バーナ６ａ〜６ｃの低速度の走行速度
を、その１つ前の低速度の走行速度より遅い速度にする
制御を行って所要外径の多孔質光ファイバ母材１４の製
造を行う。
【００３６】ここで、各バーナ６ａ〜６ｃがターゲット
１の長手方向にトラバースするトラバース距離をＭと
し、バーナ６ａが速度ｖa1で降下する降下時間Ｔa は Ｔa ＝Ｍ／ｖa1 であるから、バーナ６ｂのトラバース距離Ｍは Ｍ＝ｖb1｛（Ｍ／ｖa1）＋ｔｂ｝と表現でき、このため
待ち時間を作らないバーナ６ｂの降下速度ｖb1は ｖb1＝Ｍ／｛（Ｍ／ｖa1）＋ｔｂ｝ …（１） となるようにする。
１の長手方向にトラバースするトラバース距離をＭと
し、バーナ６ａが速度ｖa1で降下する降下時間Ｔa は Ｔa ＝Ｍ／ｖa1 であるから、バーナ６ｂのトラバース距離Ｍは Ｍ＝ｖb1｛（Ｍ／ｖa1）＋ｔｂ｝と表現でき、このため
待ち時間を作らないバーナ６ｂの降下速度ｖb1は ｖb1＝Ｍ／｛（Ｍ／ｖa1）＋ｔｂ｝ …（１） となるようにする。
【００３７】同様に、バーナ６ｃのトラバース距離Ｍは Ｍ＝ｖc1｛（Ｍ／ｖa1）＋ｔｃ｝と表現でき、このため
待ち時間を作らないバーナ６ｃの降下速度ｖc1は ｖc1＝Ｍ／｛（Ｍ／ｖa1）＋ｔｃ｝ …（２） となるようにする。
待ち時間を作らないバーナ６ｃの降下速度ｖc1は ｖc1＝Ｍ／｛（Ｍ／ｖa1）＋ｔｃ｝ …（２） となるようにする。
【００３８】一方、 Ｌ＝Ｖa1・Ｔ0 ＝Ｖb1（Ｔ0 ＋ｔｂ） であるから、 （Ｖa1／Ｖb1）・Ｔ0 ＝Ｔ0 ＋ｔｂ ｔｂ＝｛（Ｖa1／Ｖb1）−１｝Ｔ0 …（３） ｔc ＝２ｔb ＝２｛（Ｖa1／Ｖb1）−１｝Ｔ0 …（４） （３）式，（４）式のｔｂ，ｔc を（１）式，（２）式
に代入すると、ｖb1，ｖc1は設定速度Ｖa1，Ｖb1，Ｔ0
と、降下速度ｖa1と、トラバース距離Ｍとから求めるこ
とができる。
に代入すると、ｖb1，ｖc1は設定速度Ｖa1，Ｖb1，Ｔ0
と、降下速度ｖa1と、トラバース距離Ｍとから求めるこ
とができる。
【００３９】本例のようにすると、先頭のバーナ６ａよ
り後のバーナ６ｂ，６ｃは待ち時間なしで、各回の低速
走行を行うことができ、コブ状突起の発生を防止するこ
とができる。特に、本例のように、待ち時間を作らない
ような時間調整を高速走行時に行うと、高速走行にはガ
ラス微粒子の堆積を期待していない時間帯であり、ガラ
ス微粒子の堆積に悪影響を及ぼさずに時間調整を行うこ
とができる。
り後のバーナ６ｂ，６ｃは待ち時間なしで、各回の低速
走行を行うことができ、コブ状突起の発生を防止するこ
とができる。特に、本例のように、待ち時間を作らない
ような時間調整を高速走行時に行うと、高速走行にはガ
ラス微粒子の堆積を期待していない時間帯であり、ガラ
ス微粒子の堆積に悪影響を及ぼさずに時間調整を行うこ
とができる。
【００４０】本発明に係る多孔質光ファイバ母材の製造
方法における実施の形態の第２例を図２を参照して詳細
に説明する。
方法における実施の形態の第２例を図２を参照して詳細
に説明する。
【００４１】本例の多孔質光ファイバ母材の製造方法で
は、隣接する各バーナ６ａ，６ｂ，６ｃはそのスタート
位置と両側の折り返し位置ａ，ｂ，ｃとａ´，ｂ´，ｃ
´をターゲットの長手方向に図示のようにずらし、且つ
先頭のバーナ６ａより後のバーナ６ｂ，６ｃがターゲッ
トの他方側から一方側に戻る速度を、後のバーナ６ｂ，
６ｃがターゲットの一方側に戻ってから待ち時間を作ら
ずに再スタートできるように遅らせる。
は、隣接する各バーナ６ａ，６ｂ，６ｃはそのスタート
位置と両側の折り返し位置ａ，ｂ，ｃとａ´，ｂ´，ｃ
´をターゲットの長手方向に図示のようにずらし、且つ
先頭のバーナ６ａより後のバーナ６ｂ，６ｃがターゲッ
トの他方側から一方側に戻る速度を、後のバーナ６ｂ，
６ｃがターゲットの一方側に戻ってから待ち時間を作ら
ずに再スタートできるように遅らせる。
【００４２】バーナ６ａ〜６ｃのスタート位置とターゲ
ットの長手方向の両側の折り返し位置を各側で同じ位置
にすると、ターゲットの長手方向の両側の位置で多孔質
光ファイバ母材１４が異常高温になり、部分的な高密度
化が起こり易いが、本例のように、各バーナ６ａ〜６ｃ
のスタート位置とターゲットの長手方向の両側の折り返
し位置を各側で異ならせると、各バーナ６ａ〜６ｃのス
タート位置と両側の折り返し位置で多孔質光ファイバ母
材１４が部分的に高密度化されるのを防止することがで
きる。
ットの長手方向の両側の折り返し位置を各側で同じ位置
にすると、ターゲットの長手方向の両側の位置で多孔質
光ファイバ母材１４が異常高温になり、部分的な高密度
化が起こり易いが、本例のように、各バーナ６ａ〜６ｃ
のスタート位置とターゲットの長手方向の両側の折り返
し位置を各側で異ならせると、各バーナ６ａ〜６ｃのス
タート位置と両側の折り返し位置で多孔質光ファイバ母
材１４が部分的に高密度化されるのを防止することがで
きる。
【００４３】また、先頭のバーナ６ａより後のバーナ６
ｂ，６ｃをターゲットの他方側から一方側に戻す速度
を、後のバーナ６ｂ，６ｃがターゲットの一方側に戻っ
てから待ち時間を作らずに再スタートできるように遅ら
せると、前述したように先頭のバーナ６ａより後のバー
ナ６ｂ，６ｃは待ち時間なしで、各回の低速走行を行う
ことができ、コブ状突起の発生を防止することができ
る。また、待ち時間を作らないような時間調整を高速走
行時に行うと、高速走行にはガラス微粒子の堆積を期待
していない時間帯であり、ガラス微粒子の堆積に悪影響
を及ぼさずに時間調整を行うことができる。
ｂ，６ｃをターゲットの他方側から一方側に戻す速度
を、後のバーナ６ｂ，６ｃがターゲットの一方側に戻っ
てから待ち時間を作らずに再スタートできるように遅ら
せると、前述したように先頭のバーナ６ａより後のバー
ナ６ｂ，６ｃは待ち時間なしで、各回の低速走行を行う
ことができ、コブ状突起の発生を防止することができ
る。また、待ち時間を作らないような時間調整を高速走
行時に行うと、高速走行にはガラス微粒子の堆積を期待
していない時間帯であり、ガラス微粒子の堆積に悪影響
を及ぼさずに時間調整を行うことができる。
【００４４】なお、各バーナの上昇時のトラバース速度
は、製造する光ファイバ母材が増径するのに伴い遅くす
るが、この速度変化は各トラバース毎に行わなくてはな
らないものではなく、例えば10トラバース毎に行っても
よい。
は、製造する光ファイバ母材が増径するのに伴い遅くす
るが、この速度変化は各トラバース毎に行わなくてはな
らないものではなく、例えば10トラバース毎に行っても
よい。
【００４５】また上記例では、バーナ６ａ〜６ｃが上昇
するとき低速走行とし、下降するとき高速走行とした
が、逆に、バーナ６ａ〜６ｃが下降するとき高速走行と
し、上昇するとき低速走行としてもよい。
するとき低速走行とし、下降するとき高速走行とした
が、逆に、バーナ６ａ〜６ｃが下降するとき高速走行と
し、上昇するとき低速走行としてもよい。
【００４６】
（１）ａ〜ａ´，ｂ〜ｂ´，ｃ〜ｃ´の距離は1500mm、
多孔質光ファイバ母材１４の最大径はφ250mm で、ター
ゲットの一方側から他方側への各バーナ６ａ〜６ｃの低
速度のトラバース速度は多孔質光ファイバ母材１４の外
径の増加に伴い徐々に40cm/sから12cm/sに変化させ、タ
ーゲットの他方側から一方側への高速度のトラバース速
度は80cm/sから120 cm/sの間で変化させた。特にバーナ
６ｂ，６ｃのトラバース速度は、ターゲットの他方側か
ら一方側への走行開始時に小さくした。
多孔質光ファイバ母材１４の最大径はφ250mm で、ター
ゲットの一方側から他方側への各バーナ６ａ〜６ｃの低
速度のトラバース速度は多孔質光ファイバ母材１４の外
径の増加に伴い徐々に40cm/sから12cm/sに変化させ、タ
ーゲットの他方側から一方側への高速度のトラバース速
度は80cm/sから120 cm/sの間で変化させた。特にバーナ
６ｂ，６ｃのトラバース速度は、ターゲットの他方側か
ら一方側への走行開始時に小さくした。
【００４７】（２）ターゲットの他方側から一方側への
トラバース速度を12cm/s〜40cm/sとし、ターゲットの一
方側から他方側へのトラバース速度を80cm/sから120 cm
/sの間で変化させても、多孔質光ファイバ母材１４の製
造は同様にできた。
トラバース速度を12cm/s〜40cm/sとし、ターゲットの一
方側から他方側へのトラバース速度を80cm/sから120 cm
/sの間で変化させても、多孔質光ファイバ母材１４の製
造は同様にできた。
【００４８】（３）各バーナ６ａ〜６ｃ間の距離は20〜
40cmとし、スートの回転速度も合成時間とともに変える
ことにより堆積効率が向上した。
40cmとし、スートの回転速度も合成時間とともに変える
ことにより堆積効率が向上した。
【００４９】
【発明の効果】本発明に係る多孔質光ファイバ母材の製
造方法は、先頭のバーナより後のバーナがターゲットの
他方側から一方側に戻る速度を、該後のバーナがターゲ
ットの一方側に戻ってから待ち時間を作らずに再スター
トできるように遅らせるので、先頭のバーナより後のバ
ーナは待ち時間なしで各回の低速走行を行うことがで
き、このためコブ状突起の発生を防止でき、多孔質光フ
ァイバ母材の製造の歩留りを向上させることができる。
特に、本発明のように、待ち時間を作らないような時間
調整を高速走行時に行うと、高速走行にはガラス微粒子
の堆積を期待していない時間帯であり、ガラス微粒子の
堆積に悪影響を及ぼさずに時間調整を行うことができ
る。
造方法は、先頭のバーナより後のバーナがターゲットの
他方側から一方側に戻る速度を、該後のバーナがターゲ
ットの一方側に戻ってから待ち時間を作らずに再スター
トできるように遅らせるので、先頭のバーナより後のバ
ーナは待ち時間なしで各回の低速走行を行うことがで
き、このためコブ状突起の発生を防止でき、多孔質光フ
ァイバ母材の製造の歩留りを向上させることができる。
特に、本発明のように、待ち時間を作らないような時間
調整を高速走行時に行うと、高速走行にはガラス微粒子
の堆積を期待していない時間帯であり、ガラス微粒子の
堆積に悪影響を及ぼさずに時間調整を行うことができ
る。
【００５０】また、この際、隣接する各バーナのスター
ト位置と両側の折り返し位置をターゲットの長手方向に
ずらすと、ターゲットの長手方向の端部の同じ位置が各
バーナで繰り返し高温に加熱されるのを回避でき、各バ
ーナのスタート位置と両側の折り返し位置で多孔質光フ
ァイバ母材が高密度化されるのを防止することができ
る。
ト位置と両側の折り返し位置をターゲットの長手方向に
ずらすと、ターゲットの長手方向の端部の同じ位置が各
バーナで繰り返し高温に加熱されるのを回避でき、各バ
ーナのスタート位置と両側の折り返し位置で多孔質光フ
ァイバ母材が高密度化されるのを防止することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る多孔質光ファイバ母材の製造方法
における実施の形態の第１例の各バーナの速度の関係を
示す線図である。
における実施の形態の第１例の各バーナの速度の関係を
示す線図である。
【図２】本発明に係る多孔質光ファイバ母材の製造方法
における実施の形態の第２例の各バーナの速度の関係と
スタート位置と両側の折り返し位置との関係を示す線図
である。
における実施の形態の第２例の各バーナの速度の関係と
スタート位置と両側の折り返し位置との関係を示す線図
である。
【図３】従来の多孔質光ファイバ母材の製造方法を実施
する光ファイバ母材製造装置の構成を示した斜視図であ
る。
する光ファイバ母材製造装置の構成を示した斜視図であ
る。
【図４】従来、多孔質光ファイバ母材を縦向きにして製
造する例の説明図である。
造する例の説明図である。
【図５】従来の多孔質光ファイバ母材の製造方法におけ
る各バーナの速度の関係を示す線図である。
る各バーナの速度の関係を示す線図である。
【符号の説明】 １ ターゲット ２ ターゲット支持機構 ３ Ｕ型フレーム ４ａ，４ｂ チャック ５ モータ ６ａ〜６ｃ バーナ ７ａ，７ｂ トラバース機構 ８ａ，８ｂ スクリュー軸 ９ａ，９ｂ Ｕ型フレーム １０ａ，１０ｂ モータ １１ａ，１１ｂ トラバースブロック １２ ガス供給装置 １３ａ，１３ｂ ガス供給管 １４ 多孔質光ファイバ母材
Claims (2)
- 【請求項１】 軸心の回りに回転しつつある棒状のター
ゲットの外周にその周方向に位置をずらせて複数のバー
ナを対向させ、これらバーナを前記ターゲットの一方側
から他方側に向けて順次隣接相互間に所定間隔をあけて
低速度で走行させてこの間に各バーナの先端の火炎中で
形成したガラス微粒子を前記ターゲットの外周に堆積さ
せて多孔質光ファイバ母材の形成を行い、前記各バーナ
が前記ターゲットの他方側に達する毎にこれらバーナを
前記低速度より1.5 倍以上速い高速度で前記ターゲット
の一方側に戻し、前記ターゲットの一方側に戻った前記
各バーナを順次隣接相互間に所定間隔をあけて前記ター
ゲットの一方側から他方側に向けて低速度で走行させる
動作を繰り返すと共に前記多孔質光ファイバ母材の外径
の増加に伴い前記各バーナの低速度の走行速度を遅くす
る制御を行って所要外径の多孔質光ファイバ母材の製造
を行うに際し、 先頭の前記バーナより後の前記バーナが前記ターゲット
の他方側から一方側に戻る速度を、該後のバーナが前記
ターゲットの一方側に戻ってから待ち時間を作らずに再
スタートできるように遅らせることを特徴とする多孔質
光ファイバ母材の製造方法。 - 【請求項２】 軸心の回りに回転しつつある棒状のター
ゲットの外周にその周方向に位置をずらせて複数のバー
ナを対向させ、これらバーナを前記ターゲットの一方側
から他方側に向けて順次隣接相互間に所定間隔をあけて
低速度で走行させてこの間に各バーナの先端の火炎中で
形成したガラス微粒子を前記ターゲットの外周に堆積さ
せて多孔質光ファイバ母材の形成を行い、前記各バーナ
が前記ターゲットの他方側に達する毎にこれらバーナを
前記低速度より1.5 倍以上速い高速度で前記ターゲット
の一方側に戻し、前記ターゲットの一方側に戻った前記
各バーナを順次隣接相互間に所定間隔をあけて前記ター
ゲットの一方側から他方側に向けて低速度で走行させる
動作を繰り返すと共に前記多孔質光ファイバ母材の外径
の増加に伴い前記各バーナの低速度の走行速度を遅くす
る制御を行って所要外径の多孔質光ファイバ母材の製造
を行うに際し、 隣接する前記各バーナはそのスタート位置と両側の折り
返し位置を前記ターゲットの長手方向にずらし、且つ先
頭の前記バーナより後の前記バーナが前記ターゲットの
他方側から一方側に戻る速度を、該後のバーナが前記タ
ーゲットの一方側に戻ってから待ち時間を作らずに再ス
タートできるように遅らせることを特徴とする多孔質光
ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23168396A JP3581764B2 (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 多孔質光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23168396A JP3581764B2 (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 多孔質光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1081537A true JPH1081537A (ja) | 1998-03-31 |
| JP3581764B2 JP3581764B2 (ja) | 2004-10-27 |
Family
ID=16927365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23168396A Expired - Lifetime JP3581764B2 (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 多孔質光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3581764B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100314493B1 (ko) * | 1998-12-31 | 2001-12-28 | 김진찬 | 광섬유 모재 가열장치 |
| WO2005049515A1 (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ母材及びその製造方法 |
| US7451624B2 (en) * | 2001-06-28 | 2008-11-18 | Asi/Silica Machinery, Llc | Particle deposition system and method |
| JP2013249233A (ja) * | 2012-06-01 | 2013-12-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材の製造装置 |
| JP2016003153A (ja) * | 2014-06-16 | 2016-01-12 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
| JP2021143115A (ja) * | 2020-03-13 | 2021-09-24 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造装置及び光ファイバ母材の製造方法 |
| WO2022158421A1 (ja) * | 2021-01-20 | 2022-07-28 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造装置及び光ファイバ母材の製造方法 |
-
1996
- 1996-09-02 JP JP23168396A patent/JP3581764B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100314493B1 (ko) * | 1998-12-31 | 2001-12-28 | 김진찬 | 광섬유 모재 가열장치 |
| US7451624B2 (en) * | 2001-06-28 | 2008-11-18 | Asi/Silica Machinery, Llc | Particle deposition system and method |
| US7451623B2 (en) * | 2001-06-28 | 2008-11-18 | Asi/Silica Machinery, Llc | Particle deposition system and method |
| US8635888B2 (en) | 2001-06-28 | 2014-01-28 | Franklin W. Dabby | Particle deposition system and method |
| WO2005049515A1 (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ母材及びその製造方法 |
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| JP2016003153A (ja) * | 2014-06-16 | 2016-01-12 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
| CN105314841A (zh) * | 2014-06-16 | 2016-02-10 | 信越化学工业株式会社 | 光纤母材的制造方法 |
| CN105314841B (zh) * | 2014-06-16 | 2018-01-16 | 信越化学工业株式会社 | 光纤母材的制造方法 |
| JP2021143115A (ja) * | 2020-03-13 | 2021-09-24 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造装置及び光ファイバ母材の製造方法 |
| WO2022158421A1 (ja) * | 2021-01-20 | 2022-07-28 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造装置及び光ファイバ母材の製造方法 |
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|---|---|
| JP3581764B2 (ja) | 2004-10-27 |
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