JPH1071326A - 迅速脱着コネクタを備えた使い捨て流体分離器モジュール - Google Patents
迅速脱着コネクタを備えた使い捨て流体分離器モジュールInfo
- Publication number
- JPH1071326A JPH1071326A JP9196346A JP19634697A JPH1071326A JP H1071326 A JPH1071326 A JP H1071326A JP 9196346 A JP9196346 A JP 9196346A JP 19634697 A JP19634697 A JP 19634697A JP H1071326 A JPH1071326 A JP H1071326A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- module
- housing
- connectors
- separator module
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 170
- 230000013011 mating Effects 0.000 claims description 27
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 3
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 241000377588 Atalaya hemiglauca Species 0.000 description 1
- 235000009414 Elaeocarpus kirtonii Nutrition 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000013584 Tabebuia pallida Nutrition 0.000 description 1
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 235000013361 beverage Nutrition 0.000 description 1
- 230000008275 binding mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- -1 developers Substances 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000000383 hazardous chemical Substances 0.000 description 1
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000009428 plumbing Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D65/00—Accessories or auxiliary operations, in general, for separation processes or apparatus using semi-permeable membranes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
- B01D35/26—Filters with built-in pumps filters provided with a pump mounted in or on the casing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
- B01D35/30—Filter housing constructions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D36/00—Filter circuits or combinations of filters with other separating devices
- B01D36/001—Filters in combination with devices for the removal of gas, air purge systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/14—Ultrafiltration; Microfiltration
- B01D61/20—Accessories; Auxiliary operations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
- B01D2201/40—Special measures for connecting different parts of the filter
- B01D2201/4023—Means for connecting filter housings to supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
- B01D2201/40—Special measures for connecting different parts of the filter
- B01D2201/4046—Means for avoiding false mounting of different parts
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Quick-Acting Or Multi-Walled Pipe Joints (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 流体処理システムに迅速脱着態様に結合する
ことができる使い捨て流体分離器モジュールを提供する
こと。 【解決手段】 この使い捨て流体分離器モジュールは、
そのハウジングの一端に配置され、互いに平行に離隔さ
れ、互いに他を排するように配置された複数個のコネク
タを有する。この構成は、モジュールの複数個のコネク
タを流体処理システムの対応するコネクタに実質的に同
時に係合させ、流体密に密封させることを可能にする。
嵌合するコネクタ間に相対移動を起させることなくモジ
ュール全体を１回の動作によれ流体密に掛止する保持機
構も含まれる。
ことができる使い捨て流体分離器モジュールを提供する
こと。 【解決手段】 この使い捨て流体分離器モジュールは、
そのハウジングの一端に配置され、互いに平行に離隔さ
れ、互いに他を排するように配置された複数個のコネク
タを有する。この構成は、モジュールの複数個のコネク
タを流体処理システムの対応するコネクタに実質的に同
時に係合させ、流体密に密封させることを可能にする。
嵌合するコネクタ間に相対移動を起させることなくモジ
ュール全体を１回の動作によれ流体密に掛止する保持機
構も含まれる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体分離装置に関
し、特に、嵌合する相手方コネクタに係合し、流体密関
係に保持される交換容易な使い捨て分離器モジュールを
含む流体分離装置に関する。
し、特に、嵌合する相手方コネクタに係合し、流体密関
係に保持される交換容易な使い捨て分離器モジュールを
含む流体分離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】このタイプの流体分離装置は、工業プロ
セスにおける汚染制御のために永年用いられてきた。こ
の種の分離装置は、各種医薬品、食品及び飲料等を含む
多くの製品の製造に関わる一体部分であるが、効果的な
汚染制御を最も必要とするのは、半導体製造工業の分野
である。半導体製造工業では、回路の細部はミクロン単
位の精細さであり、各要素の一層の小型化が不可避であ
るから、半導体のプロセス流体中の粒状物、イオン、有
機物及びその他の汚染物を制御することが、必須の要件
である。又、半導体デバイスはクリーンルームで製造さ
れるので、製造環境を汚染する可能性を最少限にするこ
とが慣用である。従って、半導体製造プロセスにおいて
は、クリーンルーム並びにプロセスライン（配管）の汚
染を最少限にするために、使い捨ての流体分離器を使用
することが好ましい。
セスにおける汚染制御のために永年用いられてきた。こ
の種の分離装置は、各種医薬品、食品及び飲料等を含む
多くの製品の製造に関わる一体部分であるが、効果的な
汚染制御を最も必要とするのは、半導体製造工業の分野
である。半導体製造工業では、回路の細部はミクロン単
位の精細さであり、各要素の一層の小型化が不可避であ
るから、半導体のプロセス流体中の粒状物、イオン、有
機物及びその他の汚染物を制御することが、必須の要件
である。又、半導体デバイスはクリーンルームで製造さ
れるので、製造環境を汚染する可能性を最少限にするこ
とが慣用である。従って、半導体製造プロセスにおいて
は、クリーンルーム並びにプロセスライン（配管）の汚
染を最少限にするために、使い捨ての流体分離器を使用
することが好ましい。
【０００３】使用点（ＰＯＵ）で処理される半導体プロ
セス流体の例としては、写真平版処理に使用される薬品
（光化学薬品）等がある。光化学薬品としては、下塗
剤、定着剤、フォトレジスト、エッジビード除去剤、反
射防止コーチング、現像剤、誘電材等がある。そのよう
な化学薬品は、通常、特殊ポンプによってシリコンウエ
ハ上に分配され、次いで、スピンコーチングと称される
方法を用いて均一な薄膜に延展されるが、それらの化学
薬品のＰＯＵにおける純度が、許容範囲の製品合格率を
達成する上で極めて重要である。
セス流体の例としては、写真平版処理に使用される薬品
（光化学薬品）等がある。光化学薬品としては、下塗
剤、定着剤、フォトレジスト、エッジビード除去剤、反
射防止コーチング、現像剤、誘電材等がある。そのよう
な化学薬品は、通常、特殊ポンプによってシリコンウエ
ハ上に分配され、次いで、スピンコーチングと称される
方法を用いて均一な薄膜に延展されるが、それらの化学
薬品のＰＯＵにおける純度が、許容範囲の製品合格率を
達成する上で極めて重要である。
【０００４】流体分離器には、一般に、２つのタイプが
ある。第１のタイプでは、流体分離素子（フィルタ材）
が交換可能な部品であり、一方、その分離素子を収容す
る圧力容器即ちハウジングの方は再使用可能である。こ
のハウジングは、それを流体処理システムの残部に接続
するための適当な流体コネクタを備えている。流体分離
素子を交換するには、ハウジングを開放し、使用済み流
体分離素子を取り外し、新しい流体分離素子をハウジン
グ内に装填してハウジングを閉じる。このタイプの流体
分離器には、多くの欠点がある。第１に、ハウジングへ
のアクセスに制約がある場合は特に、交換作業に時間が
かかる。第２に、ハウジングは処理中の一定量の流体を
包含しており、かつ、流体分離素子は、通常、流体で満
たされているので、流体の漏れが起るのが普通である。
危険な流体である場合は、そのような漏れは、その作業
区域の作業員の安全にとって脅威となるばかりでなく、
近傍の装置及び設備に損傷をきたすおそれがある。第３
に、ハウジングを開放するということは、流体処理シス
テムの内側表面を周囲環境からの望ましくない汚染にさ
らすことになる。
ある。第１のタイプでは、流体分離素子（フィルタ材）
が交換可能な部品であり、一方、その分離素子を収容す
る圧力容器即ちハウジングの方は再使用可能である。こ
のハウジングは、それを流体処理システムの残部に接続
するための適当な流体コネクタを備えている。流体分離
素子を交換するには、ハウジングを開放し、使用済み流
体分離素子を取り外し、新しい流体分離素子をハウジン
グ内に装填してハウジングを閉じる。このタイプの流体
分離器には、多くの欠点がある。第１に、ハウジングへ
のアクセスに制約がある場合は特に、交換作業に時間が
かかる。第２に、ハウジングは処理中の一定量の流体を
包含しており、かつ、流体分離素子は、通常、流体で満
たされているので、流体の漏れが起るのが普通である。
危険な流体である場合は、そのような漏れは、その作業
区域の作業員の安全にとって脅威となるばかりでなく、
近傍の装置及び設備に損傷をきたすおそれがある。第３
に、ハウジングを開放するということは、流体処理シス
テムの内側表面を周囲環境からの望ましくない汚染にさ
らすことになる。
【０００５】第２のタイプの流体分離器は、一体の流体
分離器モジュールとするために流体分離素子（フィルタ
材）がハウジングに恒久的に取り付けられており、ハウ
ジングを流体処理システムの残部に接続するための適当
な流体コネクタが設けられているタイプのものである。
この場合、流体分離素子を交換するには、流体分離器モ
ジュール（以下、「分離器モジュール」又は「フィルタ
モジュール」又は単に「モジュール」とも称する）全体
を流体処理システムから外し、新しいモジュールを装置
に再接続すればよい。従って、交換作業は容易であり、
しかも、作業者が危険な薬品に露呈されることがなく、
モジュールの脱着の信頼性が大幅に改善され、周囲環境
による流体処理システムの汚染が防止される。このタイ
プの流体分離器は、分離素子の交換を必要とするときは
モジュール全体が取り外されて廃棄されるので、使い捨
てモジュールと称される。
分離器モジュールとするために流体分離素子（フィルタ
材）がハウジングに恒久的に取り付けられており、ハウ
ジングを流体処理システムの残部に接続するための適当
な流体コネクタが設けられているタイプのものである。
この場合、流体分離素子を交換するには、流体分離器モ
ジュール（以下、「分離器モジュール」又は「フィルタ
モジュール」又は単に「モジュール」とも称する）全体
を流体処理システムから外し、新しいモジュールを装置
に再接続すればよい。従って、交換作業は容易であり、
しかも、作業者が危険な薬品に露呈されることがなく、
モジュールの脱着の信頼性が大幅に改善され、周囲環境
による流体処理システムの汚染が防止される。このタイ
プの流体分離器は、分離素子の交換を必要とするときは
モジュール全体が取り外されて廃棄されるので、使い捨
てモジュールと称される。
【０００６】工業用には、いろいろなタイプの使い捨て
流体分離器モジュールが用いられている。いわゆる「イ
ンライン」の使い捨てモジュールは、そのハウジングの
両端にそれぞれ供給流体用コネクタと流出流体用コネク
タを有する。このモジュール構成には幾つかの長所があ
るが、それらは幾つかの欠点の代償として得られるもの
である。第１に、モジュールを流体処理システムから外
したとき、流体漏れが生じ易いので、モジュールからの
流体の漏れを最少限にするとともに、モジュールが接続
されている他の装置の漏れを防止するために特別な注意
を必要とする。第２に、インライン型モジュールを受け
入れるように設計された流体処理システムは、モジュー
ルの入口端と出口端に１組づつ２組の流体コネクタを設
ける必要があるので、構造が複雑になり、迅速脱着コネ
クタとして構成するのに容易に適合しない。
流体分離器モジュールが用いられている。いわゆる「イ
ンライン」の使い捨てモジュールは、そのハウジングの
両端にそれぞれ供給流体用コネクタと流出流体用コネク
タを有する。このモジュール構成には幾つかの長所があ
るが、それらは幾つかの欠点の代償として得られるもの
である。第１に、モジュールを流体処理システムから外
したとき、流体漏れが生じ易いので、モジュールからの
流体の漏れを最少限にするとともに、モジュールが接続
されている他の装置の漏れを防止するために特別な注意
を必要とする。第２に、インライン型モジュールを受け
入れるように設計された流体処理システムは、モジュー
ルの入口端と出口端に１組づつ２組の流体コネクタを設
ける必要があるので、構造が複雑になり、迅速脱着コネ
クタとして構成するのに容易に適合しない。
【０００７】別のタイプの使い捨て流体分離器モジュー
ルとして、ハウジングの一端にすべてのコネクタが集め
られており、供給流体用コネクタと透過液用コネクタと
が互いに対向して、かつ、ハウジングの本体に対して垂
直な平面内に配置されて「Ｔ」字形とされたタイプのも
のである。このタイプのモジュールは、「Ｔライン」モ
ジュールと称される。Ｔラインモジュールは、インライ
ン型モジュールに随伴する問題の多くを解決する。特
に、それは、コネクタを有する端部を上にしてモジュー
ルの交換を行えば、流体の漏れを防止又は少なくするこ
とができ、すべての流体コネクタが１箇所に集められて
いるので、流体処理システムの構造を簡略にする。しか
しながら、Ｔラインモジュールは、流体分離素子（フィ
ルタ材）の下面とハウジングとの間にデッドスペース、
即ち、液体によって掃引されない望ましくない空間を生
じる。
ルとして、ハウジングの一端にすべてのコネクタが集め
られており、供給流体用コネクタと透過液用コネクタと
が互いに対向して、かつ、ハウジングの本体に対して垂
直な平面内に配置されて「Ｔ」字形とされたタイプのも
のである。このタイプのモジュールは、「Ｔライン」モ
ジュールと称される。Ｔラインモジュールは、インライ
ン型モジュールに随伴する問題の多くを解決する。特
に、それは、コネクタを有する端部を上にしてモジュー
ルの交換を行えば、流体の漏れを防止又は少なくするこ
とができ、すべての流体コネクタが１箇所に集められて
いるので、流体処理システムの構造を簡略にする。しか
しながら、Ｔラインモジュールは、流体分離素子（フィ
ルタ材）の下面とハウジングとの間にデッドスペース、
即ち、液体によって掃引されない望ましくない空間を生
じる。
【０００８】上述したどのタイプの使い捨てモジュール
においても、流体処理システムへの各コネクタの接続
は、個々に行わなければならない。流体流路の接続に
は、２つの互いに嵌合するコネクタ、通常は雄型コネク
タと雌型コネクタを必要とし、コネクタの接続を行うに
は３つの別個の作業、即ち、２つの嵌合コネクタの本体
を心合させる作業と、雄型コネクタの本体を雌型コネク
タ内に係合させて流体密シールを設定する作業と、その
流体密シールをプロセス条件下で維持するように２つの
嵌合コネクタの相対位置を保持する作業を必要とする。
従って、嵌合コネクタの設計には、流体密シールを設定
する能力と、それらのコネクタを流体密嵌合状態に保持
するための何らかの機構を含めなければならない。
においても、流体処理システムへの各コネクタの接続
は、個々に行わなければならない。流体流路の接続に
は、２つの互いに嵌合するコネクタ、通常は雄型コネク
タと雌型コネクタを必要とし、コネクタの接続を行うに
は３つの別個の作業、即ち、２つの嵌合コネクタの本体
を心合させる作業と、雄型コネクタの本体を雌型コネク
タ内に係合させて流体密シールを設定する作業と、その
流体密シールをプロセス条件下で維持するように２つの
嵌合コネクタの相対位置を保持する作業を必要とする。
従って、嵌合コネクタの設計には、流体密シールを設定
する能力と、それらのコネクタを流体密嵌合状態に保持
するための何らかの機構を含めなければならない。
【０００９】一般に用いられているコネクタは、断面円
形のコネクタ本体を有し、雄型コネクタの本体は円筒形
ロッドの形であるのに対して、雌型コネクタの本体は円
筒形凹部の形である。両コネクタの寸法は、両者を係合
させたとき、密封状態に嵌合するように、即ち、一方の
コネクタから他方のコネクタへ流体が流体漏れなしに流
れることができるように定められる。密封は、両嵌合コ
ネクタ間の単一の円形界面に設定される。これらの嵌合
コネクタの流体密係合状態の保持は、ねじ付きファスナ
ー（例えば、ねじとナットの組合せ）によって行われ
る。この種のコネクタは、流体密係合のために円形表面
だけが用いられるという構造上の簡略さと、各コネクタ
が互いに他を排するものである（独立している）こと、
即ち、２つのコネクタがコネクタ本体や密封界面を互い
に共有しない構成であることとによって信頼性の高いシ
ールを設定する。
形のコネクタ本体を有し、雄型コネクタの本体は円筒形
ロッドの形であるのに対して、雌型コネクタの本体は円
筒形凹部の形である。両コネクタの寸法は、両者を係合
させたとき、密封状態に嵌合するように、即ち、一方の
コネクタから他方のコネクタへ流体が流体漏れなしに流
れることができるように定められる。密封は、両嵌合コ
ネクタ間の単一の円形界面に設定される。これらの嵌合
コネクタの流体密係合状態の保持は、ねじ付きファスナ
ー（例えば、ねじとナットの組合せ）によって行われ
る。この種のコネクタは、流体密係合のために円形表面
だけが用いられるという構造上の簡略さと、各コネクタ
が互いに他を排するものである（独立している）こと、
即ち、２つのコネクタがコネクタ本体や密封界面を互い
に共有しない構成であることとによって信頼性の高いシ
ールを設定する。
【００１０】しかしながら、どのようなコネクタ設計が
用いられようとも、使い捨てモジュールでは、多数のコ
ネクタ接続を１箇所づつ順々に行わなければならず、そ
のような接続は、最少限２箇所、通常は３ないし４箇所
で行わなければならない。更に、ねじ付きファスナー
は、面倒であり、係合させることが困難なときもあり、
接続作業に要する時間と手間を増大させる要因となる。
更に、使い捨てモジュールは、コネクタの接続を行う間
所定位置に保持していなければならず、従って同時に２
つの作業（即ち、モジュールを所定位置に保持している
作業と、各コネクタを順次に係合させる作業）を行わな
ければならないので、接続作業を一層困難なものにす
る。最後に、例えば可撓性チューブが用いられている場
合のように、流体処理システムへの恒久的接続が確固た
るものでない場合、コネクタの接続を外したとき、液体
が排出される傾向がある。以上の問題は、すべて、使い
捨てモジュールを交換するのに要する時間と労力を増大
させるばかりでなく、作業員を危険な物質にさらし、製
造環境の汚染を招く。
用いられようとも、使い捨てモジュールでは、多数のコ
ネクタ接続を１箇所づつ順々に行わなければならず、そ
のような接続は、最少限２箇所、通常は３ないし４箇所
で行わなければならない。更に、ねじ付きファスナー
は、面倒であり、係合させることが困難なときもあり、
接続作業に要する時間と手間を増大させる要因となる。
更に、使い捨てモジュールは、コネクタの接続を行う間
所定位置に保持していなければならず、従って同時に２
つの作業（即ち、モジュールを所定位置に保持している
作業と、各コネクタを順次に係合させる作業）を行わな
ければならないので、接続作業を一層困難なものにす
る。最後に、例えば可撓性チューブが用いられている場
合のように、流体処理システムへの恒久的接続が確固た
るものでない場合、コネクタの接続を外したとき、液体
が排出される傾向がある。以上の問題は、すべて、使い
捨てモジュールを交換するのに要する時間と労力を増大
させるばかりでなく、作業員を危険な物質にさらし、製
造環境の汚染を招く。
【００１１】これらの理由から、流体処理システムにい
わゆる「迅速脱着」式に迅速、かつ、容易に接続するこ
とを可能にする特徴を備えた使い捨て流体分離器モジュ
ールが開発されている。このタイプの、即ち迅速脱着式
の使い捨てモジュールは、再使用可能な基板に付設され
た１組のコネクタに簡単な１回の動作で密封係合させる
ことができる１組の嵌合コネクタを備えている。迅速脱
着を達成するために従来からいろいろなタイプの機構が
開発されているが、それらは、いずれも、雄型コネクタ
とそれに対応する雌型コネクタとの間に何らかの形の相
対移動、最も一般的には捻り動作を必要とする。
わゆる「迅速脱着」式に迅速、かつ、容易に接続するこ
とを可能にする特徴を備えた使い捨て流体分離器モジュ
ールが開発されている。このタイプの、即ち迅速脱着式
の使い捨てモジュールは、再使用可能な基板に付設され
た１組のコネクタに簡単な１回の動作で密封係合させる
ことができる１組の嵌合コネクタを備えている。迅速脱
着を達成するために従来からいろいろなタイプの機構が
開発されているが、それらは、いずれも、雄型コネクタ
とそれに対応する雌型コネクタとの間に何らかの形の相
対移動、最も一般的には捻り動作を必要とする。
【００１２】米国特許第４，６５４，１４２号は、水処
理のためのフィルタ装置において、使い捨て浄水カート
リッジのコネクタポートに密封状態に嵌合するコネクタ
ポートを備えた別個の再使用可能なヘッドを用いること
を開示している。この使い捨てモジュール（浄水カート
リッジ）の交換を容易にするために、２つのコネクタポ
ートが、使い捨てモジュールの同じ端部に配置され、再
使用可能なヘッドの対応するコネクタポートに同軸的に
密封係合するように位置づけされている。このモジュー
ルには、それを再使用可能なヘッドに保持するために差
し込み型のロック部材も付設されている。これらの２つ
のコネクタポートとロック部材が対応するヘッドに結合
し、モジュールをその使用中流体密態様に固定する。
理のためのフィルタ装置において、使い捨て浄水カート
リッジのコネクタポートに密封状態に嵌合するコネクタ
ポートを備えた別個の再使用可能なヘッドを用いること
を開示している。この使い捨てモジュール（浄水カート
リッジ）の交換を容易にするために、２つのコネクタポ
ートが、使い捨てモジュールの同じ端部に配置され、再
使用可能なヘッドの対応するコネクタポートに同軸的に
密封係合するように位置づけされている。このモジュー
ルには、それを再使用可能なヘッドに保持するために差
し込み型のロック部材も付設されている。これらの２つ
のコネクタポートとロック部材が対応するヘッドに結合
し、モジュールをその使用中流体密態様に固定する。
【００１３】別の例として、米国特許第４，７１９，０
２３号は、同様なモジュールと取り付け器具を開示して
いる。「捻り装着式使い捨てフィルタ」と称されるこの
モジュールと取り付け器具とは、まずモジュールの差し
込み突起を取り付け器具の差し込み凹部に心合させ、モ
ジュールのコネクタを取り付け器具の孔に軸線方向に挿
入し、次いで、モジュールを自軸線の周りに捻って差し
込み突起を係合させるこよて係合され、それによって、
使い捨てフィルタを保持する。
２３号は、同様なモジュールと取り付け器具を開示して
いる。「捻り装着式使い捨てフィルタ」と称されるこの
モジュールと取り付け器具とは、まずモジュールの差し
込み突起を取り付け器具の差し込み凹部に心合させ、モ
ジュールのコネクタを取り付け器具の孔に軸線方向に挿
入し、次いで、モジュールを自軸線の周りに捻って差し
込み突起を係合させるこよて係合され、それによって、
使い捨てフィルタを保持する。
【００１４】これらの迅速脱着機構は、使い捨て流体分
離器モジュールの使用の便に向けられているが、そのよ
うな迅速脱着機構には幾つかの欠陥がある。第１に、そ
れらのコネクタは、流体入口ポートと出口ポートの間で
共通のシールを共有しているが、それは、望ましくな
い。なぜなら、流体入口ポート（供給用ポート）の共有
シールに漏れが生じると、出口ポート（透過液用ポー
ト）を通る透過液流を未浄化の供給液流で汚染すること
になり、しかも、その汚染が発見されないまま見過ごさ
れることになるからである。第２に、流体分離器モジュ
ールを取り付け器具にロックするために取り付け器具に
対して捻る（回転する）動作は、必然的に両者の密封表
面を相対的に摺動させることになるので粒子が発生し、
流体通路を、そして最終的に浄化すべき流体を汚染する
ことになる。第３に、このタイプのモジュールでは、そ
のコネクタをモジュールの回転軸線の周りに集める必要
があるが、そのために液体の流れパターンを犠牲にする
ばかりでなく、モジュールのハウジング及びコネクタポ
ートの製造を複雑にし、困難にする。
離器モジュールの使用の便に向けられているが、そのよ
うな迅速脱着機構には幾つかの欠陥がある。第１に、そ
れらのコネクタは、流体入口ポートと出口ポートの間で
共通のシールを共有しているが、それは、望ましくな
い。なぜなら、流体入口ポート（供給用ポート）の共有
シールに漏れが生じると、出口ポート（透過液用ポー
ト）を通る透過液流を未浄化の供給液流で汚染すること
になり、しかも、その汚染が発見されないまま見過ごさ
れることになるからである。第２に、流体分離器モジュ
ールを取り付け器具にロックするために取り付け器具に
対して捻る（回転する）動作は、必然的に両者の密封表
面を相対的に摺動させることになるので粒子が発生し、
流体通路を、そして最終的に浄化すべき流体を汚染する
ことになる。第３に、このタイプのモジュールでは、そ
のコネクタをモジュールの回転軸線の周りに集める必要
があるが、そのために液体の流れパターンを犠牲にする
ばかりでなく、モジュールのハウジング及びコネクタポ
ートの製造を複雑にし、困難にする。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明は、信
頼し得る流体接続部（コネクタ）を使用する迅速脱着式
流体分離器モジュールと、１つのコネクタとそれと嵌合
する相手コネクタとの間の相対移動を必要としない保持
機構を提供することを課題とする。
頼し得る流体接続部（コネクタ）を使用する迅速脱着式
流体分離器モジュールと、１つのコネクタとそれと嵌合
する相手コネクタとの間の相対移動を必要としない保持
機構を提供することを課題とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明は、在来の（非迅
速脱着式の）モジュールに用いられているのと同じ種類
の業界承認済みのコネクタを用いることによって、流体
処理システムに迅速脱着式に結合することができ、信頼
性の高い、清浄な接続部を有する使い捨て流体分離器モ
ジュールを提供することによって従来技術の上述した欠
点及び制約を克服する。ここで、「迅速脱着式」とは、
分離器モジュールを、嵌合コネクタ間で相対運動させる
必要なしに１回の動作で嵌合コネクタを係合させ両者間
に流体密シールを設定すると同時に該モジュールを保持
するような態様で迅速かつ容易に結合することを可能に
する結合機構のことをいう。
速脱着式の）モジュールに用いられているのと同じ種類
の業界承認済みのコネクタを用いることによって、流体
処理システムに迅速脱着式に結合することができ、信頼
性の高い、清浄な接続部を有する使い捨て流体分離器モ
ジュールを提供することによって従来技術の上述した欠
点及び制約を克服する。ここで、「迅速脱着式」とは、
分離器モジュールを、嵌合コネクタ間で相対運動させる
必要なしに１回の動作で嵌合コネクタを係合させ両者間
に流体密シールを設定すると同時に該モジュールを保持
するような態様で迅速かつ容易に結合することを可能に
する結合機構のことをいう。
【００１７】本発明によれば、迅速脱着式に結合すべき
分離器モジュールを１回の動作で結合することができる
ように、分離器モジュールの同一端にすべてのコネクタ
を配置する。更に、すべてのコネクタの同時係合を可能
にするために各コネクタの本体を平行又は実質的に平行
にする。又、モジュールのハウジングには、コネクタを
係合させた後モジュール全体を固定された流体密位置に
保持するための手段を付設する。
分離器モジュールを１回の動作で結合することができる
ように、分離器モジュールの同一端にすべてのコネクタ
を配置する。更に、すべてのコネクタの同時係合を可能
にするために各コネクタの本体を平行又は実質的に平行
にする。又、モジュールのハウジングには、コネクタを
係合させた後モジュール全体を固定された流体密位置に
保持するための手段を付設する。
【００１８】信頼性の高い流体密結合を達成するのに必
要な本発明の重要な側面によれば、モジュールの各コネ
クタは、互いにシールを共有せず、従って、各コネクタ
の本体及び密封界面は他のコネクタの本体及び密封界面
と共有せず、しかも、各コネクタは１つ以上の密封界面
をもたない。ここでは、このタイプのコネクタのことを
「排他コネクタ」（独立コネクタ）と称することとす
る。本発明の迅速脱着式モジュールは、その排他コネク
タがそれらを結合状態に保持するのに捻り動作を必要と
しない（実際、捻り動作を禁止する）ように構成されて
いる。なぜなら、排他コネクタは、複数個の平行なコネ
クタの共通係合軸線によって画定される方向以外にはど
の方向においてもモジュールの動きを拘束するからであ
る。「共通係合軸線」とは、複数個の平行なコネクタを
実質的に同時にそれぞれの対応するコネクタに係合させ
るために移動させる共通の軸線のことをいう。
要な本発明の重要な側面によれば、モジュールの各コネ
クタは、互いにシールを共有せず、従って、各コネクタ
の本体及び密封界面は他のコネクタの本体及び密封界面
と共有せず、しかも、各コネクタは１つ以上の密封界面
をもたない。ここでは、このタイプのコネクタのことを
「排他コネクタ」（独立コネクタ）と称することとす
る。本発明の迅速脱着式モジュールは、その排他コネク
タがそれらを結合状態に保持するのに捻り動作を必要と
しない（実際、捻り動作を禁止する）ように構成されて
いる。なぜなら、排他コネクタは、複数個の平行なコネ
クタの共通係合軸線によって画定される方向以外にはど
の方向においてもモジュールの動きを拘束するからであ
る。「共通係合軸線」とは、複数個の平行なコネクタを
実質的に同時にそれぞれの対応するコネクタに係合させ
るために移動させる共通の軸線のことをいう。
【００１９】これらの独特の特徴を流体分離装置に組入
れることによって従来得られなかった利点の組合せを達
成する。
れることによって従来得られなかった利点の組合せを達
成する。
【００２０】従って、本発明の目的は、従来技術の上述
したような迅速脱着式使い捨て流体分離器モジュールに
随伴する諸問題を克服する迅速脱着式使い捨て流体分離
器モジュールを提供することである。本発明の他の目的
は、製造が容易で、信頼性の高い密封を達成する使い易
い、迅速脱着式使い捨て流体分離器モジュールを提供す
ることである。本発明の更に他の目的は、結合作業中汚
染を起さない迅速脱着機構を提供することである。
したような迅速脱着式使い捨て流体分離器モジュールに
随伴する諸問題を克服する迅速脱着式使い捨て流体分離
器モジュールを提供することである。本発明の他の目的
は、製造が容易で、信頼性の高い密封を達成する使い易
い、迅速脱着式使い捨て流体分離器モジュールを提供す
ることである。本発明の更に他の目的は、結合作業中汚
染を起さない迅速脱着機構を提供することである。
【００２１】
【発明の実施の形態】本発明の用途の一例は、マイクロ
エレクトロニクス製造工業に用いられる光化学薬品のＰ
ＯＵ浄化の分野である。光化学薬品ディスペンサー（分
配）ポンプとＰＯＵ流体分離器は、通常、スピンコーチ
ング装置の下に設置された引出し内に設けられている。
ＰＯＵ流体分離器は、外部配管の必要性をなくし、流体
汚染の可能性を排除するために、ディスペンサーポンプ
に密結合（近接して、かつ、密封状態に結合）させるこ
とが好ましい。しかしながら、１つの引出しに８つもの
ポンプが設けられている場合があり、そのためにＰＯＵ
流体分離器へのアクセスを著しく制限する。特に好適な
ディスペンサーポンプ及び流体分離器は、米国特許第
５，２６２，０６８号に開示されているような一体化シ
ステムを構成するように統合されたディスペンサーポン
プ及び流体分離器である。この応用例においては、迅速
脱着式に結合することができる使用者に優しい流体分離
器モジュールが好ましい。
エレクトロニクス製造工業に用いられる光化学薬品のＰ
ＯＵ浄化の分野である。光化学薬品ディスペンサー（分
配）ポンプとＰＯＵ流体分離器は、通常、スピンコーチ
ング装置の下に設置された引出し内に設けられている。
ＰＯＵ流体分離器は、外部配管の必要性をなくし、流体
汚染の可能性を排除するために、ディスペンサーポンプ
に密結合（近接して、かつ、密封状態に結合）させるこ
とが好ましい。しかしながら、１つの引出しに８つもの
ポンプが設けられている場合があり、そのためにＰＯＵ
流体分離器へのアクセスを著しく制限する。特に好適な
ディスペンサーポンプ及び流体分離器は、米国特許第
５，２６２，０６８号に開示されているような一体化シ
ステムを構成するように統合されたディスペンサーポン
プ及び流体分離器である。この応用例においては、迅速
脱着式に結合することができる使用者に優しい流体分離
器モジュールが好ましい。
【００２２】本発明の好ましい実施形態は、図１〜３に
示されている。図１は、使い捨て流体分離器（フィル
タ）モジュール２と、マニホールドブロック３と、ディ
スペンサーポンプ４と、モジュール受け器５を含む光化
学薬品ディスペンサー装置１の透視図である。図１には
又、ポンプ４へ送る、及びポンプから発する電子心合及
び空気圧心合を制御するポンプ制御器６も示されてい
る。このディスペンサー装置１は、上記米国特許第５，
２６２，０６８号に開示されたものと構造及び作動とも
に同様のものである。ディスペンサーポンプ４に取り付
けられたマニホールドブロック３は、再使用可能なもの
であり、後述するようにモジュール２を嵌合状態に受け
入れ、保持するように設計されている。
示されている。図１は、使い捨て流体分離器（フィル
タ）モジュール２と、マニホールドブロック３と、ディ
スペンサーポンプ４と、モジュール受け器５を含む光化
学薬品ディスペンサー装置１の透視図である。図１には
又、ポンプ４へ送る、及びポンプから発する電子心合及
び空気圧心合を制御するポンプ制御器６も示されてい
る。このディスペンサー装置１は、上記米国特許第５，
２６２，０６８号に開示されたものと構造及び作動とも
に同様のものである。ディスペンサーポンプ４に取り付
けられたマニホールドブロック３は、再使用可能なもの
であり、後述するようにモジュール２を嵌合状態に受け
入れ、保持するように設計されている。
【００２３】図２は、使い捨てモジュール２とマニホー
ルドブロック３の下方部分の透視図であり、モジュール
２をマニホールドブロック３に対して迅速脱着式に結合
することを可能にする本発明の特徴の詳細を示す。モジ
ュール２の上端には、該モジュールのハウジング２３内
に設けられた流体分離素子（フィルタ材）（図示せず）
に流体連通する３つの雌型流体コネクタ２１（以下、
「雌型コネクタ」又は単に「コネクタ」とも称する）が
設けられている。分離素子は、米国特許第５，２６２，
０６８号に開示されているような平坦なシート状メンブ
レンであってよいが、１９９６年６月２８日付で出願さ
れた本出願人の米国特許出願に開示されている中空繊維
メンブレンで構成することがより好ましい。
ルドブロック３の下方部分の透視図であり、モジュール
２をマニホールドブロック３に対して迅速脱着式に結合
することを可能にする本発明の特徴の詳細を示す。モジ
ュール２の上端には、該モジュールのハウジング２３内
に設けられた流体分離素子（フィルタ材）（図示せず）
に流体連通する３つの雌型流体コネクタ２１（以下、
「雌型コネクタ」又は単に「コネクタ」とも称する）が
設けられている。分離素子は、米国特許第５，２６２，
０６８号に開示されているような平坦なシート状メンブ
レンであってよいが、１９９６年６月２８日付で出願さ
れた本出願人の米国特許出願に開示されている中空繊維
メンブレンで構成することがより好ましい。
【００２４】これらのコネクタ２１は、マニホールドブ
ロック３のそれぞれ対応する雄型コネクタ２５に迅速脱
着式に密封係合することができるように、互いに離隔さ
れて平行に、互いに他を排するように配置されている。
雄型コネクタ２５は、ポンプ４の流体通路の筒状延長部
であり、ポンプ４の最下部に配設されている。互いに嵌
合する各コネクタ対２１，２５の流体密密封は、各コネ
クタ２５に付設されたＯリング２６によって設定され
る。
ロック３のそれぞれ対応する雄型コネクタ２５に迅速脱
着式に密封係合することができるように、互いに離隔さ
れて平行に、互いに他を排するように配置されている。
雄型コネクタ２５は、ポンプ４の流体通路の筒状延長部
であり、ポンプ４の最下部に配設されている。互いに嵌
合する各コネクタ対２１，２５の流体密密封は、各コネ
クタ２５に付設されたＯリング２６によって設定され
る。
【００２５】モジュール２のハウジング２３に付設され
たフランジ２２は、モジュール２全体を位置づけすると
ともに、モジュール受け器５と連携してモジュール２を
マニホールドブロック３に心合させる働きをし、従っ
て、モジュール２をマニホールドブロック３に密封係合
させた状態に保持するのを助成する。この特定の実施形
態においては、フランジ２２は、モジュール２を、それ
を受け入れるように設計されたモジュール受け器５内に
正確に位置づけするのを助成するための複数の突起２４
を有している。モジュール２のコネクタ２１及びフラン
ジ２２のサイズ、形状及び位置は、モジュール２をモジ
ュール受け器５と連携してマニホールドブロック３内に
迅速脱着式に結合させるのを可能にするように定められ
る。
たフランジ２２は、モジュール２全体を位置づけすると
ともに、モジュール受け器５と連携してモジュール２を
マニホールドブロック３に心合させる働きをし、従っ
て、モジュール２をマニホールドブロック３に密封係合
させた状態に保持するのを助成する。この特定の実施形
態においては、フランジ２２は、モジュール２を、それ
を受け入れるように設計されたモジュール受け器５内に
正確に位置づけするのを助成するための複数の突起２４
を有している。モジュール２のコネクタ２１及びフラン
ジ２２のサイズ、形状及び位置は、モジュール２をモジ
ュール受け器５と連携してマニホールドブロック３内に
迅速脱着式に結合させるのを可能にするように定められ
る。
【００２６】図３−Ａ及びＢは、マニホールドブロック
３に取り付けられるモジュール受け器５をポンプ４から
取り外した状態で示す透視図であり、モジュール２がモ
ジュール受け器５内に位置づけされた態様を示す。フラ
ンジ２２は、モジュール受け器５の本体に形成された１
対のスロット３２（図３−Ｂ）に嵌合する。モジュール
受け器５は、ヒンジ３３によってマニホールドブロック
３に取り付けられている。ヒンジ３３は、モジュール受
け器５をマニホールドブロック３に対して実質的に直線
状に上下方向に一定範囲だけ移動させることを可能に
し、それによって、使い捨てモジュール２をするマニホ
ールドブロック３の雄型コネクタ２５に密封係合させた
り、コネクタから脱係合させたりすることができる。
３に取り付けられるモジュール受け器５をポンプ４から
取り外した状態で示す透視図であり、モジュール２がモ
ジュール受け器５内に位置づけされた態様を示す。フラ
ンジ２２は、モジュール受け器５の本体に形成された１
対のスロット３２（図３−Ｂ）に嵌合する。モジュール
受け器５は、ヒンジ３３によってマニホールドブロック
３に取り付けられている。ヒンジ３３は、モジュール受
け器５をマニホールドブロック３に対して実質的に直線
状に上下方向に一定範囲だけ移動させることを可能に
し、それによって、使い捨てモジュール２をするマニホ
ールドブロック３の雄型コネクタ２５に密封係合させた
り、コネクタから脱係合させたりすることができる。
【００２７】モジュール受け器５は、更に、ばね付勢
（ばねによって一方の方向に付勢されている）ラッチ３
４によってポンプ４に取り付けられている。ラッチ３４
の一端は、把手３４ａを構成し、他端には、マニホール
ドブロック３に固定された保持支柱３６の切欠き３５に
掛止する半円形の切開部３４ｂが形成されている。この
構成により、モジュール２をディスペンサー装置１に装
着した後ポンプ４に密封係合した状態に保持する。ラッ
チ３４は、又、保持支柱３６の切欠き３５から脱掛止す
るために水平方向に（即ち、図３−Ｂの平面に対して内
外へ）摺動させることができ、それによって、モジュー
ル２を交換するためにモジュール受け器５をヒンジ３３
を中心として下方へ枢動させることができる。互いに嵌
合するコネクタ２１と２５が脱係合されると、ばね付勢
ラッチ３４の切開部３４ｂがばねの張力を受けて保持支
柱３６に圧接する。
（ばねによって一方の方向に付勢されている）ラッチ３
４によってポンプ４に取り付けられている。ラッチ３４
の一端は、把手３４ａを構成し、他端には、マニホール
ドブロック３に固定された保持支柱３６の切欠き３５に
掛止する半円形の切開部３４ｂが形成されている。この
構成により、モジュール２をディスペンサー装置１に装
着した後ポンプ４に密封係合した状態に保持する。ラッ
チ３４は、又、保持支柱３６の切欠き３５から脱掛止す
るために水平方向に（即ち、図３−Ｂの平面に対して内
外へ）摺動させることができ、それによって、モジュー
ル２を交換するためにモジュール受け器５をヒンジ３３
を中心として下方へ枢動させることができる。互いに嵌
合するコネクタ２１と２５が脱係合されると、ばね付勢
ラッチ３４の切開部３４ｂがばねの張力を受けて保持支
柱３６に圧接する。
【００２８】使い捨て流体分離器モジュール２を交換す
るには、使い捨て流体分離器モジュール２の交換作業
は、把手３４ａを手前に、即ち、雌型コネクタ２１を雄
型コネクタ２５に係合させるのに必要とされる運動方向
に対してほぼ垂直な方向に引張ることによって行われ
る。即ち、把手３４ａを手前に引張ると、ラッチ３４が
保持支柱３６から脱掛止され、モジュール受け器５のヒ
ンジ止めされていない側の端部がポンプ４から解放され
て下降する。その結果、モジュール２全体が、そのコネ
クタ２１をマニホールドブロック３の嵌合コネクタ２５
との密封係合から外すのに十分な距離下方へヒンジ２２
の周りに枢動される。モジュール受け器５がこのように
下降位置に置かれたならば、モジュール２を、そのフラ
ンジ２２をスロット３２から滑り外すことによってディ
スペンサー装置１から取り出すことができる。
るには、使い捨て流体分離器モジュール２の交換作業
は、把手３４ａを手前に、即ち、雌型コネクタ２１を雄
型コネクタ２５に係合させるのに必要とされる運動方向
に対してほぼ垂直な方向に引張ることによって行われ
る。即ち、把手３４ａを手前に引張ると、ラッチ３４が
保持支柱３６から脱掛止され、モジュール受け器５のヒ
ンジ止めされていない側の端部がポンプ４から解放され
て下降する。その結果、モジュール２全体が、そのコネ
クタ２１をマニホールドブロック３の嵌合コネクタ２５
との密封係合から外すのに十分な距離下方へヒンジ２２
の周りに枢動される。モジュール受け器５がこのように
下降位置に置かれたならば、モジュール２を、そのフラ
ンジ２２をスロット３２から滑り外すことによってディ
スペンサー装置１から取り出すことができる。
【００２９】次いで、新しい交換モジュール２を、その
フランジ２２をスロット３２に挿入することによってデ
ィスペンサー装置１に装填し、次いで、モジュール受け
器５を上方へ枢動させてモジュール２のコネクタ２１を
マニホールドブロック３の嵌合コネクタ２５に密封係合
させる。モジュール２のコネクタ２１がマニホールドブ
ロック３の嵌合コネクタ２５に密封係合すると、ラッチ
３４の切開部３４ｂが自動的に支柱３６の切欠き３５内
に掛止し、それによって、以後の流体処理工程中モジュ
ールをマニホールドブロック３に密封係合した状態に保
持する。
フランジ２２をスロット３２に挿入することによってデ
ィスペンサー装置１に装填し、次いで、モジュール受け
器５を上方へ枢動させてモジュール２のコネクタ２１を
マニホールドブロック３の嵌合コネクタ２５に密封係合
させる。モジュール２のコネクタ２１がマニホールドブ
ロック３の嵌合コネクタ２５に密封係合すると、ラッチ
３４の切開部３４ｂが自動的に支柱３６の切欠き３５内
に掛止し、それによって、以後の流体処理工程中モジュ
ールをマニホールドブロック３に密封係合した状態に保
持する。
【００３０】分離器（フィルタ）モジュール２の脱着の
上記の説明から分かるように、互いに嵌合するコネクタ
２１と２５の係合及び密封は、それらのコネクタの本体
を画定する軸線に平行な実質的に直線状の第１の運動に
よって行われる。次いで、互いに嵌合する部材（２と
５）の相互掛止とそれによるモジュール２の保持は、コ
ネクタ２１と２５の係合密封のときの第１の運動の方向
に対して垂直な方向の実質的に直線状の第２の運動によ
って嵌合コネクタ２１，２５間の相対運動なしに達成さ
れる。又、本発明の迅速脱着機構は、使い捨て分離器モ
ジュール２の上端のすべてのコネクタを相手のコネクタ
に同時に結合し密封することにも注目されたい。ただ
し、本発明の構成によって導出されれる利点は、たとえ
モジュール受け器５のスイング（枢動）アークを比較的
大きくしても、又、複数対の嵌合コネクタを全く同時に
ではなく多少時間をおいて順次に係合させるようにした
としても、コネクタの係合及びモジュールの保持が「迅
速脱着」とみなされるのに十分に迅速かつ容易に実施さ
れる限り、同等に得られる。
上記の説明から分かるように、互いに嵌合するコネクタ
２１と２５の係合及び密封は、それらのコネクタの本体
を画定する軸線に平行な実質的に直線状の第１の運動に
よって行われる。次いで、互いに嵌合する部材（２と
５）の相互掛止とそれによるモジュール２の保持は、コ
ネクタ２１と２５の係合密封のときの第１の運動の方向
に対して垂直な方向の実質的に直線状の第２の運動によ
って嵌合コネクタ２１，２５間の相対運動なしに達成さ
れる。又、本発明の迅速脱着機構は、使い捨て分離器モ
ジュール２の上端のすべてのコネクタを相手のコネクタ
に同時に結合し密封することにも注目されたい。ただ
し、本発明の構成によって導出されれる利点は、たとえ
モジュール受け器５のスイング（枢動）アークを比較的
大きくしても、又、複数対の嵌合コネクタを全く同時に
ではなく多少時間をおいて順次に係合させるようにした
としても、コネクタの係合及びモジュールの保持が「迅
速脱着」とみなされるのに十分に迅速かつ容易に実施さ
れる限り、同等に得られる。
【００３１】図４−Ａ及びＢは、本発明の別の実施形態
を示す。この実施形態では、使い捨て流体分離器（フィ
ルタ）モジュール４０は、ハウジング４１と、ハウジン
グの上端に配置された雄型コネクタ４２と、各雄型コネ
クタ４２のベースの両側面に形成された凹溝形の１対の
スロット４３を有する。各雄型コネクタ４２は、ハウジ
ング４１内に収容された流体分離素子（フィルタ材）
（図示せず）に流体連通している。モジュール４０のコ
ネクタ４２及びスロット４３のサイズ、形状及び位置
は、後述するようにモジュール４０を再使用可能なマニ
ホールドブロック内に迅速脱着式に結合させるのを可能
にするように定められる。
を示す。この実施形態では、使い捨て流体分離器（フィ
ルタ）モジュール４０は、ハウジング４１と、ハウジン
グの上端に配置された雄型コネクタ４２と、各雄型コネ
クタ４２のベースの両側面に形成された凹溝形の１対の
スロット４３を有する。各雄型コネクタ４２は、ハウジ
ング４１内に収容された流体分離素子（フィルタ材）
（図示せず）に流体連通している。モジュール４０のコ
ネクタ４２及びスロット４３のサイズ、形状及び位置
は、後述するようにモジュール４０を再使用可能なマニ
ホールドブロック内に迅速脱着式に結合させるのを可能
にするように定められる。
【００３２】図５−Ａ、Ｂ及びＣは、モジュール４０と
組合せて用いるための再使用可能なマニホールドブロッ
ク５０を示す。マニホールドブロック５０は、本体５１
と、端板５３によって本体５１に保持された滑り保持プ
レート５２を有する。本体５１の下端に配置された雌型
コネクタ５４は、モジュール４０の雄型コネクタ４２を
流体密密封係合状態に受け入れるように配置されてい
る。互いに嵌合するコネクタ対４２，５４の流体密密封
は、各雌型コネクタ５４にＯリング抑え５９によって装
着されたＯリング５８によって設定される。慣用の流体
コネクタ５５が、本体５１の上端に配置されており、チ
ューブ（図示せず）と嵌合ナット５７によって流体処理
システム（図示せず）に接続されるようになされてい
る。
組合せて用いるための再使用可能なマニホールドブロッ
ク５０を示す。マニホールドブロック５０は、本体５１
と、端板５３によって本体５１に保持された滑り保持プ
レート５２を有する。本体５１の下端に配置された雌型
コネクタ５４は、モジュール４０の雄型コネクタ４２を
流体密密封係合状態に受け入れるように配置されてい
る。互いに嵌合するコネクタ対４２，５４の流体密密封
は、各雌型コネクタ５４にＯリング抑え５９によって装
着されたＯリング５８によって設定される。慣用の流体
コネクタ５５が、本体５１の上端に配置されており、チ
ューブ（図示せず）と嵌合ナット５７によって流体処理
システム（図示せず）に接続されるようになされてい
る。
【００３３】滑り保持プレート（以下、単に「滑りプレ
ート」とも称する）５２は、スロットの形とした長手方
向の孔５６（図６をも参照）を有しており、孔５６に
は、滑りプレート５２が後退（脱掛止）位置（図５−Ａ
及び５−Ｂ）に引込められたとき、モジュール４０をマ
ニホールドブロック５０に密封係合させることを可能に
するためにモジュール４０の各コネクタ４２のベースを
自由に通すように寸法づけされ、付形された３つの拡大
円形状開口部６２が形成されている。モジュール４０が
マニホールドブロック５０に密封係合されたならば、滑
りプレート５２を掛止位置（図５−Ｃ及び５−Ｄ）へ移
動させ、孔５６の幅狭開口部６４をモジュール４０のコ
ネクタ４２のスロット４３に嵌合させ、それによってモ
ジュール４０をマニホールドブロック５０に堅く保持さ
せる。
ート」とも称する）５２は、スロットの形とした長手方
向の孔５６（図６をも参照）を有しており、孔５６に
は、滑りプレート５２が後退（脱掛止）位置（図５−Ａ
及び５−Ｂ）に引込められたとき、モジュール４０をマ
ニホールドブロック５０に密封係合させることを可能に
するためにモジュール４０の各コネクタ４２のベースを
自由に通すように寸法づけされ、付形された３つの拡大
円形状開口部６２が形成されている。モジュール４０が
マニホールドブロック５０に密封係合されたならば、滑
りプレート５２を掛止位置（図５−Ｃ及び５−Ｄ）へ移
動させ、孔５６の幅狭開口部６４をモジュール４０のコ
ネクタ４２のスロット４３に嵌合させ、それによってモ
ジュール４０をマニホールドブロック５０に堅く保持さ
せる。
【００３４】マニホールドブロック５０は、そのコネク
タ５５を締着することだけによって流体処理システムに
取り付けることができるが、つまり、マニホールドブロ
ック５０を上述したような別個の「独立型」（スタンド
アローン）部品としてもよいが、マニホールドブロック
５０を流体処理システムに恒久的に取り付けることがで
きるようにマニホールドブロック５０の本体５１にブラ
ケット又はその他の取り付け手段（図示せず）を設けて
もよい。
タ５５を締着することだけによって流体処理システムに
取り付けることができるが、つまり、マニホールドブロ
ック５０を上述したような別個の「独立型」（スタンド
アローン）部品としてもよいが、マニホールドブロック
５０を流体処理システムに恒久的に取り付けることがで
きるようにマニホールドブロック５０の本体５１にブラ
ケット又はその他の取り付け手段（図示せず）を設けて
もよい。
【００３５】以下に、この実施形態において迅速脱着態
様で使用済みモジュールを交換して新しいモジュールを
結合する方法の工程を要約する。 １．滑りプレート５２を図５−Ａ及び５−Ｂに示される
後退（脱掛止）位置へ引込める。 ２．使用済みモジュール４０を真直ぐ下に引張ることに
よって取り外す。 ３．新しいモジュール４０を再使用可能なマニホールド
ブロック５０の下に位置づけし、モジュール４０の雄型
コネクタ４２がマニホールドブロック５０の雌型コネク
タ５４の真下に位置するように整列させる。 ４．モジュール４０を真直ぐ上に押し上げてマニホール
ドブロック５０に係合させる。 ５．滑りプレート５２を図５−Ｃ及び５−Ｄに示される
掛止位置へ押込み、（プレート５２の孔５６の幅狭開口
部６４をモジュール４０のコネクタ４２のスロット４３
に嵌合させることによって）モジュール４０をマニホー
ルドブロック５０に密封係合した状態に保持する。
様で使用済みモジュールを交換して新しいモジュールを
結合する方法の工程を要約する。 １．滑りプレート５２を図５−Ａ及び５−Ｂに示される
後退（脱掛止）位置へ引込める。 ２．使用済みモジュール４０を真直ぐ下に引張ることに
よって取り外す。 ３．新しいモジュール４０を再使用可能なマニホールド
ブロック５０の下に位置づけし、モジュール４０の雄型
コネクタ４２がマニホールドブロック５０の雌型コネク
タ５４の真下に位置するように整列させる。 ４．モジュール４０を真直ぐ上に押し上げてマニホール
ドブロック５０に係合させる。 ５．滑りプレート５２を図５−Ｃ及び５−Ｄに示される
掛止位置へ押込み、（プレート５２の孔５６の幅狭開口
部６４をモジュール４０のコネクタ４２のスロット４３
に嵌合させることによって）モジュール４０をマニホー
ルドブロック５０に密封係合した状態に保持する。
【００３６】ここに例示された実施形態は、本発明の枢
要な特徴と融通性を示しているが、ここに例示されたも
のより場合によっては好ましい多くの変型実施形態があ
ることを理解されたい。例えば、ここに図示されていな
いが、本発明の範囲内に入る変型の例としては、下記の
事項がある。 Ｏリングの使用を必要としないシール。モジュールの流
体コネクタをモジュールのハウジングの長手軸線に対し
て垂直に（即ち、添付図に示されたコネクタの向きに対
して垂直な向きに）配置すること。モジュールをマニホ
ールドブロックに心合させる手段として、ここに例示さ
れたフランジ及びスロットの代わりに、例えばモジュー
ルのハウジングに皿穴又はピンを設けるなどの他の手段
を用いること。モジュールをマニホールドブロックに係
合させるのに必要とされる運動を起すための機構とし
て、例えば引込み式クランプ又はジャッキ等の他の手段
を用いること。モジュールをマニホールドブロックに密
封係合状態に保持させるための手段として、ここに例示
されたラッチ及び滑りプレートの代わりに、例えばカ
ム、レバー又はピン等の他の手段を用いること。
要な特徴と融通性を示しているが、ここに例示されたも
のより場合によっては好ましい多くの変型実施形態があ
ることを理解されたい。例えば、ここに図示されていな
いが、本発明の範囲内に入る変型の例としては、下記の
事項がある。 Ｏリングの使用を必要としないシール。モジュールの流
体コネクタをモジュールのハウジングの長手軸線に対し
て垂直に（即ち、添付図に示されたコネクタの向きに対
して垂直な向きに）配置すること。モジュールをマニホ
ールドブロックに心合させる手段として、ここに例示さ
れたフランジ及びスロットの代わりに、例えばモジュー
ルのハウジングに皿穴又はピンを設けるなどの他の手段
を用いること。モジュールをマニホールドブロックに係
合させるのに必要とされる運動を起すための機構とし
て、例えば引込み式クランプ又はジャッキ等の他の手段
を用いること。モジュールをマニホールドブロックに密
封係合状態に保持させるための手段として、ここに例示
されたラッチ及び滑りプレートの代わりに、例えばカ
ム、レバー又はピン等の他の手段を用いること。
【００３７】更に、本発明に使用される流体分離素子
（フィルタ材）のタイプについて特定の例を挙げたが、
本発明は、当業者に周知のいろいろな種類の分離素子、
例えば、慣用のフィルタ、メンブレンフィルタ（ＭＦ、
ＵＦ及びＲＯ）、クロマトグラフィコラム、吸着媒体カ
ートリッジ（例えば、イオン交換活性炭や、特異配位
子）、及び吸着樹脂媒体を埋設されたメンブレンフィル
タ等にも適用することができる。最後に、ここでは半導
体産業、特に半導体産業内での特定の用途における要望
事項に言及したが、他の産業の他の用途においても、例
えば、フィルタ交換の安全性、汚染防止措置及び容易さ
が重要な問題となる原子力、生化学、バイオテクノロ
ジ、及び医薬品産業等においても同様な要望がある。
（フィルタ材）のタイプについて特定の例を挙げたが、
本発明は、当業者に周知のいろいろな種類の分離素子、
例えば、慣用のフィルタ、メンブレンフィルタ（ＭＦ、
ＵＦ及びＲＯ）、クロマトグラフィコラム、吸着媒体カ
ートリッジ（例えば、イオン交換活性炭や、特異配位
子）、及び吸着樹脂媒体を埋設されたメンブレンフィル
タ等にも適用することができる。最後に、ここでは半導
体産業、特に半導体産業内での特定の用途における要望
事項に言及したが、他の産業の他の用途においても、例
えば、フィルタ交換の安全性、汚染防止措置及び容易さ
が重要な問題となる原子力、生化学、バイオテクノロ
ジ、及び医薬品産業等においても同様な要望がある。
【図１】図１は、光化学薬品のＰＯＵ濾過に使用される
本発明の好ましい実施形態の透視図であり、嵌合流体マ
ニホールドブロックをディスペンサーポンプの一体的部
分として示し、該マニホールドブロックに取り付け心合
させるためのフランジを備えた使い捨て流体分離器モジ
ュールを示す。
本発明の好ましい実施形態の透視図であり、嵌合流体マ
ニホールドブロックをディスペンサーポンプの一体的部
分として示し、該マニホールドブロックに取り付け心合
させるためのフランジを備えた使い捨て流体分離器モジ
ュールを示す。
【図２】図２は、図１のモジュールとマニホールドブロ
ックの下方部分の透視図であり、マニホールドブロック
に対するモジュールの心合及び密封状態を詳細に示す。
ックの下方部分の透視図であり、マニホールドブロック
に対するモジュールの心合及び密封状態を詳細に示す。
【図３】図３−Ａ及びＢは、図１のモジュールと対応す
るモジュール受け器の透視図であり、モジュールがモジ
ュール受け器に嵌合する態様を詳細に示す。
るモジュール受け器の透視図であり、モジュールがモジ
ュール受け器に嵌合する態様を詳細に示す。
【図４】図４−Ａ及びＢは、本発明の変型実施形態に用
いられる分離器モジュールの側面図であり、モジュール
を再使用可能なマニホールドブロックに保持するための
モジュールのコネクタポート及びスロットの詳細を示
す。
いられる分離器モジュールの側面図であり、モジュール
を再使用可能なマニホールドブロックに保持するための
モジュールのコネクタポート及びスロットの詳細を示
す。
【図５】図５−Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤは、流体処理システム
の他の機器に一体に統合されない応用例に特に適するマ
ニホールドブロックの部分断面図であり、該マニホール
ドブロックが図４のモジュールに嵌合するように配置さ
れたところを示し、マニホールドブロックと、モジュー
ルをマニホールドブロックに保持するための機構の詳細
を示す。
の他の機器に一体に統合されない応用例に特に適するマ
ニホールドブロックの部分断面図であり、該マニホール
ドブロックが図４のモジュールに嵌合するように配置さ
れたところを示し、マニホールドブロックと、モジュー
ルをマニホールドブロックに保持するための機構の詳細
を示す。
【図６】図６は、図５に示された実施形態に使用される
滑り保持プレートの立面図である。
滑り保持プレートの立面図である。
１：光化学薬品ディスペンサー装置 ２：使い捨て流体分離器モジュール ３：マニホールドブロック ４：ディスペンサーポンプ ５：モジュール受け器 ２１：雌型コネクタ ２２：フランジ ２３：ハウジング ２４：突起 ２５：雄型コネクタ ２６：Ｏリング ３２：スロット ３３：ヒンジ ３４：ばね負荷ラッチ ３４ｂ：半円形切開部 ３５：切欠き ３６：保持支柱 ４０：使い捨て流体分離器モジュール ４１：ハウジング ４２：雄型コネクタ ４３：スロット ５０：マニホールドブロック ５１：本体 ５２：滑り保持プレート ５４：雌型コネクタ ５６：長手方向の孔（スロット） ５８：Ｏリング ６２：拡大円形状開口部 ６４：幅狭開口部
フロントページの続き (72)発明者 クリストファー・アール・ワーゴー アメリカ合衆国マサチューセッツ州ウォー タータウン、クワーク・ストリート37 (72)発明者 リチャード・エル・ミラー アメリカ合衆国マサチューセッツ州ニーダ ム、ノース・ヒル・アベニュー５ (72)発明者 スティーブン・ケイ・ゲレラ アメリカ合衆国マサチューセッツ州ミルフ ォード、ホワイトウッド・ロード58
Claims (16)
- 【請求項１】 使い捨て流体分離器モジュールであっ
て、 ハウジングの一端に配置され、ハウジングの内部に流体
連通した複数個のコネクタを有するハウジングと、 該ハウジング内に配設された流体分離素子とから成り、 前記ハウジングは、基板上の再使用可能な嵌合自在素子
によって保持されるように寸法づけされ付形された嵌合
自在素子を備えており、前記複数個のコネクタは、該モ
ジュールを前記基板に迅速脱着態様に結合することがで
きるように、互いに平行に離隔され、互いに他を排する
ように配置されていることを特徴とする使い捨て流体分
離器モジュール。 - 【請求項２】 前記ハウジングの前記嵌合自在素子は、
該ハウジングに付設されたフランジであり、該フランジ
は、前記基板に付設された受け器に係合するように該ハ
ウジングの本体を越えて突出した表面を有していること
を特徴とする請求項１に記載の使い捨て流体分離器モジ
ュール。 - 【請求項３】 前記フランジの前記表面は、該フランジ
を前記受け器内に心合させるための突起を有しているこ
とを特徴とする請求項２に記載の使い捨て流体分離器モ
ジュール。 - 【請求項４】 前記フランジは、前記複数個のコネクタ
に近接したところで前記ハウジングの上端に付設されて
いることを特徴とする請求項３に記載の使い捨て流体分
離器モジュール。 - 【請求項５】 前記フランジは、前記複数個のコネクタ
に近接したところで前記ハウジングの上端に付設されて
いることを特徴とする請求項２に記載の使い捨て流体分
離器モジュール。 - 【請求項６】 前記ハウジングの前記嵌合自在素子は、
前記基板又は該基板上の前記嵌合自在素子に係合するよ
うに前記複数個のコネクタの各々の側壁に形成されたス
ロットであることを特徴とする請求項１に記載の使い捨
て流体分離器モジュール。 - 【請求項７】 前記スロットは、横方向に延長した水平
な溝であることを特徴とする請求項６に記載の使い捨て
流体分離器モジュール。 - 【請求項８】 使い捨て流体分離器モジュールと、流体
コネクタ部材とから成る流体分離装置であって、 前記流体分離器モジュールは、 ハウジングと、 該ハウジング内に配設された流体分離素子と、 該ハウジング内へ流体を導入し、該ハウジング内から流
体を排出するために該ハウジングの一端に互いに平行に
離隔されて互いに他を排するように配置され、該ハウジ
ングの内部に流体連通した複数個の第１コネクタとから
成り、 前記流体コネクタ部材は、前記流体分離器モジュールの
前記複数個のコネクタに流体密係合するように位置ぎめ
され、寸法づけされ、付形された複数個の第２コネクタ
を含むことを特徴とする流体分離装置。 - 【請求項９】 （ａ）前記流体分離器モジュールの前記
複数個の第１コネクタを前記流体コネクタ部材の前記複
数個の第２コネクタに実質的に同時に密封嵌合させ、
（ｂ）該流体分離器モジュールの該複数個の第１コネク
タを該流体コネクタ部材の該複数個の第２コネクタから
実質的に同時に脱係合させるための位置ぎめ手段を含む
ことを特徴とする請求項８に記載の流体分離装置。 - 【請求項１０】 前記位置ぎめ手段は、前記流体分離器
モジュールと前記流体コネクタ部材との間の相対運動を
必要とすることなく該流体分離器モジュールを該流体コ
ネクタ部材に掛止するための保持手段を含むことを特徴
とする請求項９に記載の流体分離装置。 - 【請求項１１】 前記流体密係合は、前記第１コネクタ
及び第２コネクタの両方の軸線に平行な、実質的に直線
状の第１運動によって行われ、該第１運動に対して実質
的に垂直な方向の第２運動によって前記流体分離器モジ
ュールを前記流体コネクタ部材に掛止するための保持手
段が設けられていることを特徴とする請求項８に記載の
流体分離装置。 - 【請求項１２】 前記保持手段は、前記流体分離器モジ
ュールを受取り、心合させ、保持するために前記流体コ
ネクタ部材に取り付けられた受け器と、該流体コネクタ
部材又は流体分離器モジュールのどちらかに取り付けら
れたラッチを含み、該ラッチは、該流体分離器モジュー
ルを流体コネクタ部材に掛止するために前記第１運動に
対して実質的に垂直な平面内で移動自在であることを特
徴とする請求項１１に記載の流体分離装置。 - 【請求項１３】 前記受け器は、前記第１運動中実質的
に直線状の運動をするようにヒンジによって連結されて
いることを特徴とする請求項１２に記載の流体分離装
置。 - 【請求項１４】 前記流体コネクタ部材は、流体処理シ
ステムの一構成機器に一体的に結合されていることを特
徴とする請求項１３に記載の流体分離装置。 - 【請求項１５】 前記流体処理システムの前記一構成機
器は、該流体処理システム内に光化学薬品溶液をポンプ
送りし、濾過するためのポンプであることを特徴とする
請求項１４に記載の流体分離装置。 - 【請求項１６】 使い捨て流体分離器モジュールであっ
て、 ハウジングの一端に配置され、ハウジングの内部に流体
連通した複数個のコネクタを有するハウジングと、 該ハウジング内に配設された流体分離素子とから成り、 前記複数個のコネクタは、それらのコネクタを基板上の
嵌合コネクタに実質的に同時に流体密係合させることが
できるように互いに平行に離隔され、互いに他を排する
ように配置されており、 前記ハウジングは、該モジュールを前記基板に流体密態
様に保持させるように、該基板状の第２の再使用可能な
嵌合自在素子に掛止するように寸法づけされ付形された
第１の嵌合自在素子を備えていることを特徴とする使い
捨て流体分離器モジュール。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US678795 | 1996-07-12 | ||
| US08/678,795 US6068770A (en) | 1996-07-12 | 1996-07-12 | Disposable separation module with quick connect capability |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1071326A true JPH1071326A (ja) | 1998-03-17 |
| JP3334090B2 JP3334090B2 (ja) | 2002-10-15 |
Family
ID=24724303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19634697A Expired - Lifetime JP3334090B2 (ja) | 1996-07-12 | 1997-07-08 | 迅速脱着コネクタを備えた使い捨て流体分離器モジュール |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6068770A (ja) |
| EP (1) | EP0818228B1 (ja) |
| JP (1) | JP3334090B2 (ja) |
| KR (1) | KR100225219B1 (ja) |
| CN (1) | CN1069219C (ja) |
| DE (1) | DE69725063T2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002085945A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-03-26 | Millipore Corp | ろ過装置 |
| JP2003172471A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Smc Corp | 電磁弁用マニホールド |
| JP2003251110A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-09 | Nippon Mykrolis Kk | フィルターカートリッジ用コネクタ装置 |
| JP2004520930A (ja) * | 2000-08-11 | 2004-07-15 | リード，ロジャー，ピー | フィルターカートリッジをフィルターホルダに接続するためのキーシステム |
| JP2005501704A (ja) * | 2001-09-13 | 2005-01-20 | マイクロリス・コーポレイシヨン | 分離モジュール |
| KR100757334B1 (ko) | 2006-05-08 | 2007-09-11 | 이원영 | 매니폴드의 원터치 커넥터 |
| JP2009018308A (ja) * | 2008-09-17 | 2009-01-29 | Entegris Inc | フィルターカートリッジ用コネクタ装置 |
| JP2010509037A (ja) * | 2006-11-07 | 2010-03-25 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 浄水装置及びフィルタユニット |
| JP2010144777A (ja) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Toyo Roshi Kaisha Ltd | カプセルカートリッジ用接続構造体 |
| JP2017080694A (ja) * | 2015-10-29 | 2017-05-18 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | フィルタ連結装置およびこれを備えた基板処理装置 |
| JP2018153778A (ja) * | 2017-03-21 | 2018-10-04 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | フィルタ連結装置およびこれを備えた基板処理装置 |
| WO2021132423A1 (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-01 | 株式会社ロキテクノ | フィルタエレメントおよびフィルタ容器 |
| JP2021527566A (ja) * | 2018-06-19 | 2021-10-14 | ザトーリウス ステディム ビオテーク ゲーエムベーハー | 生物学的製剤プロセス用フィルタシステム |
Families Citing this family (57)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6068770A (en) * | 1996-07-12 | 2000-05-30 | Millipore Corporation | Disposable separation module with quick connect capability |
| US6378907B1 (en) * | 1996-07-12 | 2002-04-30 | Mykrolis Corporation | Connector apparatus and system including connector apparatus |
| DE19727251C2 (de) * | 1997-06-26 | 2002-06-06 | Fresenius Medical Care De Gmbh | Filtervorrichtung und Vorrichtung zu deren Halterung |
| ATE281005T1 (de) * | 1997-08-14 | 2004-11-15 | Daimler Chrysler Corp | Selbstführendes verbindungssystem für ein instrumentenbrett |
| JP4174211B2 (ja) | 2000-03-01 | 2008-10-29 | インテグリス・インコーポレーテッド | 交換容易機能を持つ使い捨て流体分離装置−マニホールドアッセンブリ設計 |
| DE60140326D1 (de) * | 2000-05-12 | 2009-12-10 | Pall Corp | Filter |
| ATE317719T1 (de) * | 2000-05-12 | 2006-03-15 | Pall Corp | Filtrationssysteme |
| US7476314B2 (en) | 2000-08-11 | 2009-01-13 | Reid Roger P | Keyed system for connection of filter cartridge to filter holder |
| US20110203985A1 (en) * | 2009-08-21 | 2011-08-25 | Omnipure Filter Company, Pllc | Keyed system for connection of filter to filter holder |
| US9314722B2 (en) | 2000-08-11 | 2016-04-19 | Omnipure Filter Company, Inc. | Keyed system for connection of filter cartridge to filter holder |
| JP2004508183A (ja) * | 2000-09-13 | 2004-03-18 | マイクロリス・コーポレイシヨン | 液体濾過装置 |
| ES2200776T3 (es) * | 2000-12-22 | 2004-03-16 | Grunbeck Wasseraufbereitung Gmbh | Dispositivo para el tratamiento de un liquido. |
| DE60208437T2 (de) * | 2001-09-13 | 2006-08-10 | Entegris, Inc., Chaska | Trennmodul |
| US7469932B2 (en) * | 2001-09-13 | 2008-12-30 | Entegris, Inc. | Receptor for a separation module |
| US6683273B2 (en) * | 2001-11-09 | 2004-01-27 | Thermal Dynamics Corporation | Quick disconnect having a make-break timing sequence |
| TWI269665B (en) * | 2002-02-21 | 2007-01-01 | Roger P Reid | Quick change filter and bracket system with key system and universal key option |
| FR2845081B1 (fr) * | 2002-09-26 | 2006-04-28 | Millipore Corp | Ensemble a module de traitement de fluide et structure de support ayant des surfaces fonctionnelles cooperantes perfectionnees, ainsi que module et appareil correspondants |
| KR20040040938A (ko) * | 2002-11-08 | 2004-05-13 | 에스케이 텔레콤주식회사 | 고객정보 동기화 방법 |
| USD494654S1 (en) | 2003-04-25 | 2004-08-17 | Procter & Gamble Co. | Fluidic cartridge fittings |
| USD492753S1 (en) | 2003-04-25 | 2004-07-06 | Procter & Gamble | Fluidic cartridge end piece |
| FR2861604B1 (fr) | 2003-10-29 | 2007-02-16 | Millipore Corp | Module de purification d'un fluide contenant un agent de nettoyage, et procedes de fabrication et d'utilisation d'un tel module |
| US7544293B2 (en) | 2005-09-26 | 2009-06-09 | Semba Inc. | Valve and process for interrupted continuous flow chromatography |
| US7651070B2 (en) * | 2006-01-19 | 2010-01-26 | Clean & Clear Corporation | Canter element controlled combination manifold, valve and filter module system |
| US20070251878A1 (en) * | 2006-05-01 | 2007-11-01 | Michael Saveliev | Low volume per output large in-line filter assembly |
| US8398852B2 (en) * | 2006-10-12 | 2013-03-19 | Bruce D. Burrows | Drainless reverse osmosis water purification system |
| DE102006062351B4 (de) * | 2006-12-22 | 2009-05-07 | Alfred Kärcher Gmbh & Co. Kg | Filtervorrichtung und Filteraufnahme für ein Wasserabgabegerät sowie Wasserabgabegerät mit mindestens einer Filtervorrichtung und mindestens einer Filteraufnahme |
| US9188573B2 (en) * | 2010-01-20 | 2015-11-17 | Dionex Corporation | Multichannel ion chromatography system and method |
| USD712007S1 (en) | 2010-03-03 | 2014-08-26 | Omnipure Filter Company, Inc. | Filter for liquid |
| US8741137B2 (en) * | 2010-03-12 | 2014-06-03 | Clean & Clear Corporation | Filtering methods and configurations |
| US8413818B1 (en) | 2011-09-15 | 2013-04-09 | Whirlpool Corporation | Filter unit |
| USD654560S1 (en) | 2011-09-15 | 2012-02-21 | Whirlpool Corporation | Filter unit |
| USD654565S1 (en) | 2011-09-15 | 2012-02-21 | Whirlpool Corporation | Filter unit |
| USD654559S1 (en) | 2011-09-15 | 2012-02-21 | Whirlpool Corporation | Filter unit |
| US8845896B2 (en) | 2011-09-15 | 2014-09-30 | Whirlpool Corporation | Water filter system |
| USD654561S1 (en) | 2011-09-15 | 2012-02-21 | Whirlpool Corporation | Filter unit |
| USD655377S1 (en) | 2011-09-15 | 2012-03-06 | Whirlpool Corporation | Filter unit |
| USD654562S1 (en) | 2011-09-15 | 2012-02-21 | Whirlpool Corporation | Filter unit |
| USD654563S1 (en) | 2011-09-15 | 2012-02-21 | Whirlpool Corporation | Filter unit |
| US20130068684A1 (en) | 2011-09-15 | 2013-03-21 | Whirlpool Corporation | Filter unit |
| US8950052B2 (en) | 2011-09-15 | 2015-02-10 | Whirlpool Corporation | Method of installing a filter unit |
| USD654566S1 (en) | 2011-09-15 | 2012-02-21 | Whirlpool Corporation | Filter unit |
| USD655378S1 (en) | 2011-09-15 | 2012-03-06 | Whirlpool Corporation | Filter unit |
| US8580109B2 (en) | 2011-09-15 | 2013-11-12 | Whirlpool Corporation | Electronic interface for water filter system |
| US8591736B2 (en) | 2011-09-15 | 2013-11-26 | Whirlpool Corporation | Water filter unit |
| USD654564S1 (en) | 2011-09-15 | 2012-02-21 | Whirlpool Corporation | Filter unit |
| US9719504B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-08-01 | Integrated Designs, L.P. | Pump having an automated gas removal and fluid recovery system and method |
| WO2014210365A1 (en) | 2013-06-26 | 2014-12-31 | Pentair Residential Filtration, Llc | Water filtration system and method |
| US9527021B2 (en) * | 2013-10-31 | 2016-12-27 | Pall Corporation | Filter manifold |
| US10183874B2 (en) | 2013-12-18 | 2019-01-22 | Ds Services Of America, Inc. | Water purification system with active vibration |
| USD755344S1 (en) | 2014-06-26 | 2016-05-03 | Pentair Residential Filtration, Llc | Filter cartridge |
| EP3386561B1 (en) | 2015-12-11 | 2023-05-03 | NxStage Medical, Inc. | Fluid line connector devices methods and systems |
| JP6803405B2 (ja) * | 2017-01-19 | 2020-12-23 | 株式会社ロキテクノ | フィルタ容器着脱システム |
| US10525387B2 (en) | 2017-04-06 | 2020-01-07 | Whirlpool Corporation | Filter cartridge |
| US10584040B2 (en) | 2017-10-06 | 2020-03-10 | Whirlpool Corporation | Filter cartridge |
| US10807025B2 (en) | 2018-08-06 | 2020-10-20 | Whirlpool Corporation | Blind attachment interface for filter housing assembly |
| US20200197846A1 (en) * | 2018-12-21 | 2020-06-25 | Ho Sung Yoon | Filter cartridge connecting structure for water purifier |
| USD969964S1 (en) | 2020-03-06 | 2022-11-15 | Pentair Residential Filtration, Llc | Filtration system |
Family Cites Families (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3100564A1 (de) * | 1981-01-10 | 1982-08-12 | August Beul, Armaturenfabrik und Metallgießerei, 5952 Attendorn | Montage-anschlussstueck fuer filterstationen von versorgungsleitungen |
| US4535997A (en) * | 1983-06-24 | 1985-08-20 | Brust John E | Sealing system |
| US4522717A (en) * | 1983-06-24 | 1985-06-11 | Brust John E | Filter apparatus |
| EP0138060B1 (en) * | 1983-09-16 | 1990-03-07 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Hollow-fiber filtering module and water purification device utilizing it |
| US4654142A (en) * | 1985-11-18 | 1987-03-31 | Everpure, Inc. | Filtering system |
| US4719012A (en) * | 1986-05-30 | 1988-01-12 | Caterpillar Inc. | Twist on disposable filter |
| US4806240A (en) * | 1987-06-12 | 1989-02-21 | Cuno, Incorporated | Adapter and cartridge assembly |
| DE3740418A1 (de) * | 1987-11-28 | 1989-06-08 | Joachim Wolf | Filtervorrichtung |
| DE3837423A1 (de) * | 1988-11-04 | 1990-05-10 | Bosch Gmbh Robert | Fluessigkeitsfilter |
| US5167814A (en) * | 1989-06-15 | 1992-12-01 | Cuno, Incorporated | Filter apparatus snap lock cartridge retainer |
| US5133858A (en) * | 1989-11-30 | 1992-07-28 | Layton Manufacturing Corporation | Reverse osmosis water purification apparatus |
| US5342518A (en) * | 1990-02-14 | 1994-08-30 | Iraco Filtration Systems, Inc. | Filtration system and mount for beverage dispensers and automatic beverage brewing machines |
| JPH07114723B2 (ja) * | 1990-05-11 | 1995-12-13 | 株式会社ラッキーコーポレーション | ターバン・髪巻付け兼用バンドの製造法 |
| US5066391A (en) * | 1990-08-22 | 1991-11-19 | Faria Manuel S | Reusable liquid filter assembly |
| US5176828A (en) * | 1991-02-04 | 1993-01-05 | Millipore Corporation | Manifold segment stack with intermediate feed manifold |
| JPH052793A (ja) * | 1991-04-19 | 1993-01-08 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気ヘツドスライダ |
| JPH0776686B2 (ja) * | 1991-08-09 | 1995-08-16 | 山武ハネウエル株式会社 | ワーク高さ測定器 |
| BR9202956A (pt) * | 1992-02-11 | 1993-08-17 | Huron Products Ind Inc | Conjunto de alojamento,e processo de montar um filtro |
| US5401401A (en) * | 1993-01-13 | 1995-03-28 | Aquaria Inc. | Hang on tank canister filter |
| JPH0729003A (ja) * | 1993-07-09 | 1995-01-31 | Nec Corp | 指紋照合装置 |
| JPH07110323A (ja) * | 1993-10-13 | 1995-04-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | アンモニア濃度計測法 |
| JP3320185B2 (ja) * | 1994-01-12 | 2002-09-03 | 山信工業株式会社 | 液体濾過用フィルタ装置 |
| JP2784321B2 (ja) * | 1994-02-25 | 1998-08-06 | 高木産業株式会社 | 浴槽用湯水浄化器および湯水浄化方法 |
| CN1120520A (zh) * | 1994-07-08 | 1996-04-17 | 三星电子株式会社 | 净水器的过滤装置 |
| JPH0824856A (ja) * | 1994-07-18 | 1996-01-30 | Sanyo Electric Co Ltd | 浄水器 |
| JP2846852B2 (ja) * | 1996-06-20 | 1999-01-13 | 株式会社オーエスジー・コーポレーション | 浄水器とその切替えコック |
| US6068770A (en) * | 1996-07-12 | 2000-05-30 | Millipore Corporation | Disposable separation module with quick connect capability |
-
1996
- 1996-07-12 US US08/678,795 patent/US6068770A/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-07-08 JP JP19634697A patent/JP3334090B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1997-07-09 EP EP97111656A patent/EP0818228B1/en not_active Revoked
- 1997-07-09 DE DE69725063T patent/DE69725063T2/de not_active Revoked
- 1997-07-11 CN CN97112224A patent/CN1069219C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1997-07-11 KR KR1019970032306A patent/KR100225219B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004520930A (ja) * | 2000-08-11 | 2004-07-15 | リード，ロジャー，ピー | フィルターカートリッジをフィルターホルダに接続するためのキーシステム |
| JP2009095833A (ja) * | 2000-08-11 | 2009-05-07 | Roger P Reid | フィルターカートリッジをフィルターホルダに接続するためのキーシステム |
| JP2002085945A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-03-26 | Millipore Corp | ろ過装置 |
| JP2005501704A (ja) * | 2001-09-13 | 2005-01-20 | マイクロリス・コーポレイシヨン | 分離モジュール |
| JP4731811B2 (ja) * | 2001-09-13 | 2011-07-27 | インテグリス・インコーポレーテッド | 分離モジュールおよび固定レセプターを備えたシステムならびに分離モジュール |
| JP2003172471A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Smc Corp | 電磁弁用マニホールド |
| JP2003251110A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-09 | Nippon Mykrolis Kk | フィルターカートリッジ用コネクタ装置 |
| KR100757334B1 (ko) | 2006-05-08 | 2007-09-11 | 이원영 | 매니폴드의 원터치 커넥터 |
| JP2010509037A (ja) * | 2006-11-07 | 2010-03-25 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 浄水装置及びフィルタユニット |
| JP2009018308A (ja) * | 2008-09-17 | 2009-01-29 | Entegris Inc | フィルターカートリッジ用コネクタ装置 |
| JP2010144777A (ja) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Toyo Roshi Kaisha Ltd | カプセルカートリッジ用接続構造体 |
| JP2017080694A (ja) * | 2015-10-29 | 2017-05-18 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | フィルタ連結装置およびこれを備えた基板処理装置 |
| US10617983B2 (en) | 2015-10-29 | 2020-04-14 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Filter coupling device and a substrate treating apparatus having same |
| JP2018153778A (ja) * | 2017-03-21 | 2018-10-04 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | フィルタ連結装置およびこれを備えた基板処理装置 |
| US11358076B2 (en) | 2017-03-21 | 2022-06-14 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Filter coupling device and substrate treating apparatus provided therewith |
| JP2021527566A (ja) * | 2018-06-19 | 2021-10-14 | ザトーリウス ステディム ビオテーク ゲーエムベーハー | 生物学的製剤プロセス用フィルタシステム |
| WO2021132423A1 (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-01 | 株式会社ロキテクノ | フィルタエレメントおよびフィルタ容器 |
| JP2021104475A (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-26 | 株式会社ロキテクノ | フィルタエレメントおよびフィルタ容器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1069219C (zh) | 2001-08-08 |
| EP0818228A1 (en) | 1998-01-14 |
| DE69725063T2 (de) | 2004-06-17 |
| JP3334090B2 (ja) | 2002-10-15 |
| DE69725063D1 (de) | 2003-10-30 |
| KR980008290A (ko) | 1998-04-30 |
| EP0818228B1 (en) | 2003-09-24 |
| KR100225219B1 (ko) | 1999-10-15 |
| CN1182632A (zh) | 1998-05-27 |
| US6068770A (en) | 2000-05-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3334090B2 (ja) | 迅速脱着コネクタを備えた使い捨て流体分離器モジュール | |
| EP1096991B1 (en) | Bridge apparatus for replacing a separation module and system including the same | |
| JP4664596B2 (ja) | 濾過カートリッジ構造 | |
| JP4731811B2 (ja) | 分離モジュールおよび固定レセプターを備えたシステムならびに分離モジュール | |
| JP2003525113A (ja) | 交換容易機能を持つ使い捨て流体分離装置−マニホールドアッセンブリ設計 | |
| JP2005521547A (ja) | 濾過カートリッジ構造 | |
| US20040159600A1 (en) | Filtration module including unitary filter cartridge-bowl construction | |
| JP4585568B2 (ja) | 流体処理装置および流体処理装置の動作方法 | |
| US7469932B2 (en) | Receptor for a separation module | |
| KR100919569B1 (ko) | 분리 모듈 | |
| JP4698105B2 (ja) | 着脱可能な分離モジュール | |
| EP1637206B1 (en) | Separation module | |
| JP5296518B2 (ja) | 流体処理装置および流体処理装置の動作方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020611 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080802 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090802 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090802 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100802 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100802 Year of fee payment: 8 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100802 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110802 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110802 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120802 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120802 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130802 Year of fee payment: 11 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |