JPH10504857A - アルミニウム合金用エッチング液 - Google Patents

アルミニウム合金用エッチング液

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JPH10504857A
JPH10504857A JP9501760A JP50176097A JPH10504857A JP H10504857 A JPH10504857 A JP H10504857A JP 9501760 A JP9501760 A JP 9501760A JP 50176097 A JP50176097 A JP 50176097A JP H10504857 A JPH10504857 A JP H10504857A
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ムラヌシ,ヨシヒサ
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アトテク ユーエスエイ インコーポレイテッド
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    • C25D5/34Pretreatment of metallic surfaces to be electroplated
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Abstract

(57)【要約】 二価錫イオン含有化合物、弗化物イオン含有化合物及び酸水素イオン含有化合物を含む錫浸漬組成物を開示する。また、アルミニウム−銅またはアルミニウム−珪素合金への金属層の付着を改良するために、合金を酸性錫浸漬組成物と接触させて合金上に錫浸漬被覆を生成し、そして錫浸漬被覆をエッチング液と接触させて錫浸漬被覆を実質上除去し且つ腐蝕合金表面をもたらすことを含む、上記合金の処理方法を開示する。

Description

【発明の詳細な説明】 アルミニウム合金用エッチング液発明の背景発明の分野 本発明の分野は、アルミニウム表面を金属メッキするための組成物及び方法 である。 関連技術の説明 Harrison等は、「メッキアルミニウム車輪の特性表示(Plate d Alminum Wheel Characterization)」と題 する記事(Metal Finishing、1994年12月、第11頁〜1 6頁)の中で、アルミニウムの金属メッキが、特にアルミニウム製自動車車輪を 装飾メッキするという成長分野の一つであると記している。従来、メッキアルミ ニウム車輪は小さな後市場(after−market)専門品目であったが、 これは、モデル装置製造業者のオプションになり、また特別の追加的特色になっ てきた。 金属メッキアルミニウムの製造における主要な関心はメッキ法の信頼性、外 観及びコストである。 アルミニウムに金属被覆を適用するための典型的順序では、支持体を磨き、 そして浸軟清浄化する。アルミニウム表面の前処理で用いる浸軟清浄剤は、磨き 処理からアルミニウム表面に残った仕上油、グリース及び除去困難なバフ磨き化 合物を取り除く。 浸軟清浄化後、アルミニウムを、エッチング速度が苛性アルカリ濃度より温 度に依存する故、高温で作動される温和な苛性アルカリないしアルカリ性エッチ ング液に浸漬する。 温和なアルカリ性エッチング液はベイルビー層を除去し、表面を粗くする。 アルミニウム−珪素合金を用いることにより、珪素よりも優先的にアルミニウム が腐食され、その結果表面に暴露した粗大珪素結晶が残る。 アルミニウム−珪素合金の表面を調べると、アルミニウムマトリックス中に 散在した暴露珪素の面積が大きいことがわかる。珪素粒子は粒度に変化があり、 鋳造全体にわたって一様に分布しているようには見えず、またアルミニウムの表 面に一様に分布せずに、むしろばらばらの領域にある。珪素結晶は表面から突き 出ていて、大抵は表面に対し垂直方向である。 エッチング処理後、次いで、支持体をスマット除去組成物に付す。スマット 除去工程の間、より小さな、付着度の、より緩やかな珪素粒子(珪素含有合金使 用時)並びに金属間化合物が除去される見込みは非常に大きいように思える。次 いで、支持体をゆすぎ、亜鉛酸塩化し、硝酸でストリッピングし、再度亜鉛酸塩 化し、その後ニッケルストライク被覆する。これを、順次、光沢銅メッキ、随意 的銅バフ磨き、ニッケルメッキ及び随意的高疏黄ニッケルに付して耐蝕性を改良 する。これらの予備的工程の後、装飾クロムメッキが適用される。 Harrison等が記しているように、温和な苛性アルカリエッチング後 アルミニウム上にフィルムが残り、而してそれはスマット除去工程で除かれるが 、引続き適用される金属被覆の適切な付着を確実にするのに、それは、アルミニ ウム支持体の加工で最も困難な工程の一つである。このフィルムの靭性は、特に アルミニウム合金を使用する場合アルミニウムの組成によって変動する。 スマット除去溶液は強鉱酸を含有し、またアルミニウム−珪素合金を処理す るときは弗化物イオンを含有する。両者は、アルミニウム表面を一様に侵食する ように選定され、或はその割合は、珪素(例えば高い弗化物濃度)及ぴ(または )アルミニウムを選択的に溶解させるよう変えられる。アルミニウム及び暴露珪 素粒子は、それによって、より活性化される。添加剤、硝酸、硫酸及び燐酸に、 弗化水素アンモニウムもしくはフルオロ硼酸の如き弗化物塩を組合せた種々の混 合物は、引続き適用される金属被覆の良好な付着を得るのに適切なアルミニウム の前処理を許容する。 自動車産業で用いられるアルミニウム車輪は一般にA−356アルミニウム 合金鋳物である。A−356合金は、一般に、その鋳造における用い易さ、高い 熱分解抵抗、高い流動性、低い収縮傾向及び中庸の機械加工容易性故に、アルミ ニウム車両応用向けに選定される。 A−356合金は、主に、2相顕微鏡組織よりなる亜共晶合金である。鉄は 、型と鋳物との間の粘着を最小限にするために存在する。合金に強度を付与すべ く、マグネシウム及び銅が加えられる。マンガンは、鋳物の高温特性を改良する と信じられる。合金中の珪素は非常に固い粒子のように思われ、而して耐摩耗性 を付与する。大抵の亜共晶アルミニウム−珪素合金は、柔らかで且つ延性のアル ミニウム相よりなる。 A−356アルミニウム合金の公称組成は下記の如くである: 元素 重量% Al 91.9 Si 7.0 Cu 0.2 Mg 0.3 Mn 0.1 Zn 0.1 Fe 0.2 Ti 0.2 A−356合金の如きアルミニウム合金を上記態様で処理すると、温和な苛 性アルカリエッチング後アルミニウム上に重質フィルムが残る。このフィルムも しくはスマットは、元素としての珪素を含有する合金中の暴露珪素のみならずア ルミニウム酸化物及び合金元素酸化物両者の混合物である。 亜鉛酸塩形成性物質は一般にCN亜鉛組成物からなり、また随意ニッケルを 含んだが、環境上の理由及び斯界のシアン化物処理技法の現状故に、製造業者は シアン化物不含系を探索した。 亜鉛及び随意ニッケル、銅または鉄並びにこれらの混合物を含むいくつかの シアン化物不含亜鉛酸塩組成物が開発されている。しかしながら、いくつかの例 で、A−356合金の如き特定のアルミニウム合金が、時折凝離と呼ばれる、初 期エッチング時における該合金上での不均質組成物の形成があることで、十分に は前処理され得ないことがわかった。この凝離は、次いで、引続き適用される金 属層の付着に悪影響を及ぼす。 更に、2024合金の如きアルミニウム−銅合金が、その低い溶液ポテンシ ャル故にアルカリ性もしくは酸の腐蝕剤によって一様に腐食され得ないこともわ かった。また、これは、引続き適用される金属被覆の付着を弱めることもわかっ た。 Ullmanの工業化学辞典(Ullman’s Encyclopedi a of Industrial Chemistry)、A−1巻、第520 頁(1985)には、アルミニウム酸化物表面の性質及び酸化物除去後のアルミ ニウムの反応性が電気メッキをより複雑にすることを記している。付加的要素と して、アルミニウムと電気メッキ液との間の反応、アルミニウムとメッキ金属と のガルバニック反応並びに、各々異なる反応性を有する固溶体、成分、分散質及 び沈殿物よりなるアルミニウム合金の冶金構造が挙げられる。 上記から明らかな如く、アルミニウム表面の金属メッキは非常に複雑な分野 である。 それ故、シアン化物不含亜鉛組成物を用いるプロセスでのアルミニウム支持 体の電気メッキで、スマット形成、凝離、一様でないエッチング及び劣悪な付着 という窮境を回避し或は最小限にするための方法ないし組成物を提供することは 有利である。 従って、本発明は、関連技術の制約ないし欠点故の叙上ないし他の問題の一 つもしくは二つ以上を実質的に取り除くことに係る。 発明の概要 叙上及び他の利益は本発明に従って得られる。 本発明の付加的特徴ないし利益は以下の記載に示され、また部分的に本発明 の詳細な説明から明らかであり或は本発明の実施によって確かめられる。本発明 の目的及び他の利益は、特に本発明の詳細な説明及び請求の範囲で明らかにした 物質組成及び方法により具体化され且つ達成される。 叙上及び他の利益を達成するために、また本明細書で具体化し且つ概記する 如き本発明の目的に従えば、本発明は、二価錫イオン含有化合物、弗化物イオン 含有化合物及び酸水素イオン含有化合物を含む新規な酸性錫浸漬組成物を包括す る。 本発明はまた、アルミニウム−銅またはアルミニウム−珪素合金への金属層 の付着を改良するために、 (a)合金を酸性錫浸漬組成物と接触させて合金上に錫浸漬被覆を生成し; (b)錫浸漬被覆をエッチング液と接触させて錫浸漬被覆を実質上除去し、 腐蝕合金表面をもたらすこと を含む、上記合金の処理方法を包括する。 支持体、特にアルミニウム−銅支持体は、酸性錫浸漬被覆、特に本発明の新 規な酸性錫浸漬被覆により、同時に、エッチングされ且つ被覆される。好ましく は、この後、錫浸漬被覆を実質的に除去し且つアルミニウム合金の表面に微孔質 構造をもたらす別個のエッチング工程が実施される。 もう一つの具体化において、アルミニウム珪素含有支持体に酸性錫浸漬被覆 、特に本発明の新規な酸性錫浸漬被覆が施され、ここでも同時に、アルミニウム 合金上の錫浸漬被覆がエッチングされ且つ付着される。アルミニウム支持体上の 錫被覆に施される弗化物エッチング液は錫浸漬被覆を除去し、且つアルミニウム 表面に微孔質構造をもたらす。 次いで、シアン化物不含浸漬被覆がアルミニウム支持体に施された後、ニッ ケルの如き金属層の電着が行われる。酸性錫浸漬被覆/エッチングプロセスによ り製せられた微孔質構造は、引続き適用される金属層に改良された付着をもたら す。 発明の詳細な説明 本発明は、弗化物イオン含有化合物を有する新規な酸性錫浸漬被覆組成物を 包括し、而してそれはアルミニウム支持体上に微孔質構造をもたらす方法で用い られる。 酸性錫浸漬組成物、特に弗化物イオン含有化合物を有する本発明の新規な酸 性錫浸漬組成物を用いることによって、引続きアルミニウム支持体を一様にエッ チングして錫を実質的に除去し、而して腐蝕アルミニウム支持体特に後続適用さ れる金属被覆の改良された付着を促進する支持体上の微孔質構造を得ることがで きる。本発明の方法は、特に、アルミニウム−銅合金及びアルミニウム−珪素合 金に適用しうる。後者を用いる場合、錫浸漬被覆のエッチングは、好ましくは、 弗化物イオン含有エッチング液を用いて実施される。 エッチングによりアルミニウム表面から錫浸漬被覆が実質上除去された後、 アルミニウム表面は浸漬または電解法によって金属被覆されうる。別法として、 エッチングないし金属被覆されたアルミニウム支持体は、カソードスパッター、 化学蒸着(CVD)、イオンビーム被覆等を含む非浸漬法ないし非電解法の如き 斯界に知られた他の方法を用いて金属被覆されうる。これに関しては、亜鉛、ク ロム、銅、ニッケルまたはこれらの混合物の如きいかなる金属も、合金の組合せ 物であれ、或は同一ないし別異の金属ないし合金であれ、被覆することができる 。 本発明の好ましい方法は、アルミニウム−銅またはアルミニウム−珪素合金 支持体を、弗化物イオン含有化合物を有する新規な酸性錫浸漬組成物で被覆する ことよりなる。この後、アルミニウム上の錫被覆がエッチングにより実質上除去 され、また随意、金属被覆される。弗化物イオン含有化合物を有するエッチング 液は、錫浸漬被覆を施されたアルミニウム−珪素合金をエッチングするのに好ま しい。 本発明の新規な酸性錫浸漬被覆はアルミニウム上に極めて多孔質の表面をも たらし、而してこの表面は錫とアルミニウムとの間の浸漬ないし置換反応から生 じると信じられる。先に記した如く、他の金属イオンは、置換ないし浸漬反応に おいて同程度の微孔質をもたらさなかった。 本発明の新規な酸性錫浸漬被覆は、いくつかの点で、酸エッチング液として 作用し、またアルミニウム合金支持体上に錫層を供与する浸漬被覆としても作用 する。本発明の方法において、この錫被覆は引続きエッチングされ、本明細書中 錫の実質的除去と記載する錫の部分的ないし完全な剥離がある。ストリッピング 工程の後、暴露されたアルミニウム合金表面が残る。これはユニークな微孔質表 面を有し、更に本明細書に記載の金属被覆、特にシアン化物不含亜鉛浸漬被覆が 施される。 酸性錫浸漬被覆の適用は、耐久的錫被覆をもたらすのではなく、アルミニウ ム表面に微孔質構造を創生するように企図される。 弗化物イオン含有化合物を有する酸性錫浸漬錫組成物は、硫酸錫の如き二価 錫塩または、任意の他の均等な錫塩を含む。これらの塩は、錫化合物と、硫黄、 燐もしくは窒素の酸化物を基剤とする酸を含む鉱酸並びに有機酸または、弗素、 塩素、臭素及び沃素を基剤とする酸のようなハロゲン酸の如き酸との反応生成物 である。 硫酸に加えて、鉱酸には、亜硫酸、硝酸、亜硝酸、燐酸、ホスホン酸、ホス フィン酸並びに、塩酸、弗化水素酸、臭化水素酸及び沃化水素酸の如きハロゲン 酸が含まれ、これらはすべて斯界に知られている。 これに関する有機酸は、斯界に知られた、ジカルボン酸、トリカルボン酸ま たはテトラカルボン酸の如き任意のモノカルボン酸或はポリカルボン酸を包含す る。例として、脂肪族酸、脂環式酸及び芳香族酸が挙げられるが、但し脂肪族酸 は1〜約5個の炭素原子を含有し、また脂環式ないし芳香族酸は6〜約10個の 炭素原子を含有する。而して、かかる酸に、酢酸、ヒドロキシ酢酸、マレイン酸 、フタル酸、メリット酸、トリメリット酸、安息香酸等が包含される。酸の混合 物を用いることができ、これには2種、3種もしくは4種の成分混合物が含まれ る。 好ましい酸として鉱酸、特に硫酸が含まれる。好ましい錫塩として硫酸錫が 含まれる。 本発明の酸性錫浸漬被覆は弗化物イオン含有化合物を有するが、但し弗化物 イオンの給源は弗化水素或は、二弗化アンモニウム、三弗化アルミニウム、弗化 ナトリウム、二弗化ナトリウム、二弗化カリウム、弗化アンモニウム、フルオロ 硼酸または弗化水素酸の如き任意の弗化物塩でありうる。二弗化アンモニウムま たは弗化アンモニウムは、アンモニアヒュームが潜在的刺激物であるとき、通常 用いられない。この点で、アルカリ金属弗化物及び弗化水素酸は特に適している 。弗化物イオンを供与する種々の化合物の混合物、特に2種、3種もしくは4種 成分混合物を用いることができる。 酸水素イオン含有化合物は本明細書に記載の酸、特に鉱酸を基剤とする。好 ましい酸は、錫塩と同じアニオンを有するものである。 新規な酸性錫浸漬組成物の、二価錫イオン、弗化物イオン及び酸水素イオン の比は、アルミニウムの表面上に本発明の所期微孔質構造を生成するエッチング と錫浸漬被覆とをもたらすように選定される。二価錫イオンは、一般に約0.0 5〜0.15モル、特に約0.075〜0.125モルの量で存在する。弗化物 イオン含有化合物は、弗化物イオンが約0.25〜0.75モル、特に約0.3 75〜0.625モルの量で存在するよう浸漬組成物中に用いられる。最後に、 酸は、酸性水素イオンが組成物中どこでも約0.25〜0.75モル、特に約0 .375〜0.625モルであるように選定される。 イオン種のこれらモル量は、用いられるイオン種のg原子でもあり、而して これらのイオン種を供与すべく用いられる化合物のいくつかが特定イオン種を1 モルにつき1g原子より多く含有することが考慮される。例えば、疏酸は、水素 を1モルにつき2g原子含有するが、塩酸は水素を1モルにつき1g原子を含有 する。従って、種々の成分の量は、使用化合物のモル量としてではなく、該化合 物によってもたらされるイオン種のモル量として表わされる。 上記のモル量は種々の二価錫イオン、弗化物イオン及び酸水素イオンの比を 定義するのに用いられるが、それはまた、これらのモル量が、浸漬組成物を調整 すべく水1リットル中で使用しうる浸漬組成物の成分量を構成する点で水性錫浸 漬組成物の濃度でもある。 アルミニウム−珪素合金から酸性錫浸漬被覆を除去するのに用いられるエッ チング液は、弗化物イオン含有化合物を有する組成物を構成し、而して該化合物 は、本明細書に記載の弗化物イオン含有化合物のうちの任意物を含む。このエッ チング液には、これら弗化物イオン含有化合物を、本明細書に定義した如き鉱酸 のような酸と混合使用するものも含まれる。 下記例は例示例である。 本発明の新規な酸性錫浸漬被覆(微孔質エッチと別称)は下記の如く調製さ れる: SnSO4 21.5g/リットル HF(47%) 20ミリリットル/リットル H2SO4(95.0%) 5.2ミリリットル/リットル 随意、2.0g/リットルのゼラチンを加えることができる。 種々のアルミニウム支持体をメッキするのに、下記の如く二つの標準プロセ スシーケンスを用いた。 これらのプロセスで、亜鉛酸塩は、亜鉛イオン及び随意ニッケル、銅及び鉄 イオンを含有する標準シアン化物不含亜鉛酸塩溶液であった。 アルミニウム用シアン化物不含亜鉛浸漬被覆については、Stareckが 米国特許第2,511,952号明細書に、またIhrie等が米国特許第27 09,847号明細書に記載している。Zelleyは、米国特許第2,650 ,886号明細書で、アルミニウム用亜鉛イオンシアン化物不含亜鉛浸漬被覆を 記載している。上記亜鉛浸漬被覆のいずれも使用し得、且つ鉄に加えて、ニッケ ル、銅または、ニッケル、銅及び鉄と、亜鉛浸漬被覆中の亜鉛との任意の組合せ を含むように変性することができる。この変性は、当業者によって容易に行われ る。 特記せぬ限り、弗化水素または本明細書に記載の任意の弗化物塩の如き弗化 物イオン含有化合物を含む本明細書に記載の鉱酸スマット除去組成物よりなる組 成物で、スマット除去プロセスを実施した。このスマット除去プロセスを酸性錫 浸漬被覆に適用するとき、該プロセスを本明細書ではエッチング工程と呼称して いる。 ニッケルメッキは、斯界に周知のワット浴によるニッケル被覆の適用からな った。例 1 プロセスA 1.浸軟清浄 (AlkeenTMA−11) 2.アルカリ性エッチング液 (AlkeenTMA−77) 3.スマット除去 (Cleaner#30; 珪素含有Al合金用酸性製品 HNO3及びH2SO4) 4.亜鉛酸塩 5.亜鉛酸塩−除去 (HNO3、50容量%) 6.亜鉛酸塩 7.Niメッキ例 2 プロセスB 1.浸軟清浄 (AlkeenTMA−11) 2.スマット除去 3.亜鉛酸塩 4.亜鉛酸塩−除去 (HNO3、50容量%) 5.亜鉛酸塩 6.ニッケルメッキ 付着結果: 上記から理解しうるように、劣悪な結果は、銅または珪素を含有するアルミ ニウム合金の場合に得られた。 従って、プロセスA及びBを、弗化物を含有する本発明の新規な酸性錫浸漬 組成物を含むように変性した。この組成物を下記例では微孔質エッチと記す:例 3 変性プロセスA 1.浸軟清浄 (AlkeenTM A−11) 2.アルカリ性エッチング液 (AlkeenTM A−77) 3.スマット除去 (Cleaner No.30) 4.微孔質エッチ 5.HNO3(50容量%) 6.亜鉛酸塩化 7.Niメッキ例 4 変性プロセスB 1.浸軟清浄 (AlkeenTM A−11) 2.微孔質エッチ 3.スマット除去 4.亜鉛酸塩化 5.亜鉛酸塩−除去 (HNO3、50容量%) 6.亜鉛酸塩化 7.Niメッキ 用いたスマット除去、亜鉛酸塩化及びニッケルメッキ工程は、例1及び2と 同じであった。変性プロセスA及びBを用いた結果から理解しうるように、銅及 び珪素含有アルミニウム合金に対する良好な付着は、本発明の組成物及び方法を 用いることにより得られた。 錫の析出が早過ぎ、それによって受容される微孔質構造の形成が損なわれる とき、弗化物を含有する新規な酸性錫浸漬組成物にゼラチンの如き有機化合物を 加えることができる。 本発明の、アルミニウム支持体における新規な被覆用組成物及び方法におい て、本発明の精神ないし範囲を逸脱せずに修正ないし変更を行いうることは当業 者に明らかであろう。かかる修正及び変更並びにそれらの均等物は、それらが本 明細書に記載の特許請求の範囲に入るとき、本発明の一部分として包含されるこ とが意図される。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C23C 18/38 C23C 18/38 C25D 5/44 C25D 5/44

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.二価錫イオン含有化合物、弗化物イオン含有化合物及び酸水素イオン含 有化合物を含む錫浸漬組成物。 2.二価錫イオン含有化合物が錫塩よりなり、弗化物イオン含有化合物が弗 化水素酸もしくは弗化物塩よりなり、そして酸水素イオン含有化合物が鉱酸より なる、請求項1の組成物。 3.二価錫イオンが約0.05〜0.15モルの量で存在し、弗化物イオン が約0.25〜0.75モルの量で存在し、そして酸水素イオンが約0.25〜 〜0.75モルの量で存在する、請求項2の組成物。 4.アルミニウム−銅またはアルミニウム−珪素合金への金属層の付着を改 良するために、 (a)前記合金を酸性錫浸漬組成物と接触させて該合金上に錫浸漬被覆を生 成し; (b)前記錫浸漬被覆をエッチング液と接触させて錫浸漬被覆を実質的に除 去し、腐蝕合金表面をもたらすこと を含む、アルミニウム−銅またはアルミニウム−珪素合金の処理方法。 5.アルミニウム合金上に微孔質構造を生成するに際し、酸性錫浸漬組成物 が、二価錫イオン含有化合物、弗化物イオン含有化合物及び酸水素イオン含有化 合物を含む錫浸漬組成物である、請求項4の方法。 6.二価錫イオン含有化合物が錫塩よりなり、弗化物イオン含有化合物が弗 化水素酸もしくは弗化物塩よりなり、そして酸水素イオン含有化合物が鉱酸より なる、請求項5の方法。 7.二価錫イオンが約0.05〜0.15モルの量で存在し、弗化物イオン が約0.25〜0.75モルの量で存在し、そして酸水素イオンが約0.25〜 〜0.75モルの量で存在する、請求項6の方法。 8.更に腐蝕合金を金属で被覆することを含む、請求項4の方法。 9.更に腐蝕合金を金属で被覆することを含む、請求項5の方法。 10.更に腐蝕合金を浸漬被覆法により金属被覆することを含む、請求項4の 方法。 11.更に腐蝕合金を浸漬被覆法により金属被覆することを含む、請求項5の 方法。 12.更に腐蝕合金を亜鉛浸漬金属被覆法により金属被覆して、亜鉛被覆アル ミニウム支持体をもたらすことを含む、請求項4の方法。 13.更に腐蝕合金を亜鉛浸漬金属被覆法により金属被覆して、亜鉛被覆アル ミニウム支持体をもたらすことを含む、請求項5の方法。 14.亜鉛被覆アルミニウム支持体を金属電解被覆することを含む、請求項1 2の方法。 15.亜鉛被覆アルミニウム支持体を金属電解被覆することを含む、請求項1 3の方法。 16.亜鉛被覆アルミニウム支持体をニッケル電解被覆することを含む、請求 項14の方法。 17.亜鉛被覆アルミニウム支持体をニッケル電解被覆することを含む、請求 項15の方法。 18.請求項4の方法により製造された製品。 19.請求項5の方法により製造された製品。 20.請求項8の方法により製造された製品。 21.請求項9の方法により製造された製品。 22.請求項10の方法により製造された製品。 23.請求項11の方法により製造された製品。 24.請求項12の方法により製造された製品。 25.請求項13の方法により製造された製品。 26.請求項14の方法により製造された製品。 27.請求項15の方法により製造された製品。
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