JPH1048544A - 光スイッチ並びに該光スイッチを備えた光通信装置、光伝送装置、光交換機および光路切り換え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 消費電力が少なく、駆動のための制御が簡単
なＭ入力Ｎ出力（Ｍ、Ｎは２以上の整数）の機械式光ス
イッチ並び該光スイッチを備えた光通信装置、光伝送装
置、光交換機及び光路切り換え装置を提供する。 【解決手段】 シリコン基板１０上に下部クラッド、光
導波路、上部クラッドを積層し、エッチングによって可
動部材１５と固定梁１１１、１１２を形成する。内部に
中間光導波路２４、２５、２６、２７を有する可動部材
１５を上部クラッド上のコイル３３１、３３２や永久磁
石３１１、３１２を用いて移動させ、固定梁１１１内の
入力用光導波路２０、２１と固定梁１１２内の出力用光
導波路２２、２３の結合状態を切り換える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光等の光の
光路を切り替える光スイッチ並びにこの光スイッチを備
えた光通信装置、光伝送装置、光交換機および光路切り
換え装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】光路を切り換えるための光スイッチとし
ては、電気的に光路の屈折率や位相を変化させて光の進
行方向を切り換える方式のものや、機械的に光路を移動
させて光の進行方向を切り換える方式のものなどが開発
されている。この中で、機械式の光スイッチは、光の結
合損失が小さく、伝搬する光の波長依存性がほとんど無
く、さらに電源を切断した後でも光の結合状態を切断前
の状態に保持できるという特性を持っていることから、
光通信装置や光伝送装置等の中でよく用いられている。

【０００３】このような機械式の従来の光スイッチの一
例として、特開平６−１４８５３６号公報に記載されて
いる光スイッチがある。この光スイッチは、片持ち梁状
に支持された可動部材に第１の光導波路が形成されてお
り、この可動部材を静電力により移動させることで、片
持ち梁の可動端側にほぼ平行に形成された第２の光導波
路及び第３の光導波路のいずれか一方と第１の光導波路
とを光学的に結合させる構造になっている。可動部材に
は可動方向の両側面にそれぞれ電極が形成されており、
この両電極にそれぞれ対向して配置されている電極と、
可動部材に形成された電極との間にそれぞれ電位差を与
えることにより、静電的に可動部材を動かすことができ
る。

【０００４】ここで示した機械式の光スイッチは、シリ
コンの基板上に光集積回路製造技術を用いて容易に作製
できるが、以下に示すような解決すべき技術的課題があ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の光スイ
ッチは、１入力２出力の光スイッチである。従って、こ
の１入力２出力の光スイッチを用いてＭ入力Ｎ出力
（Ｍ、Ｎは２以上の整数）の光スイッチを形成しようと
すると、入力端から出力端に至るまでの間に用いる光ス
イッチの数が増加し、それにともなってスイッチ駆動に
必要な消費電力が増加し、かつ、どの光スイッチに電圧
を印加するかを決める制御も複雑になる。例えばＭ、Ｎ
を２とした２入力２出力の光スイッチでは、入出力端間
で用いる光スイッチの数は４個となり、駆動に必要な消
費電力は１入力２出力の光スイッチの４倍になる。さら
に、２入力２出力の光スイッチでは、光スイッチ１個あ
たりに２カ所の電圧制御が必要なので、全部で８カ所の
電圧制御が必要になる。当然のことながら、この数は
Ｍ、Ｎの数が増えるに従って、急激に増加することにな
る。

【０００６】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、消費電力が少なく、駆動のための制御が簡単な
Ｍ入力Ｎ出力の機械式光スイッチを提供することを目的
としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の光スイッチは、
基板上の対向する位置に形成された複数の光導波路と、
この対向する複数の光導波路に挟まれた位置に、弾性変
形可能な支持バネによって支持された可動部材と、この
可動部材上に形成された少なくとも１本の光導波路と、
基板上の対向する複数の光導波路と可動部材上の光導波
路との結合関係を変化せしめる第１および第２の位置の
間で可動部材を移動させるための駆動力発生部材とを備
えたものである。これにより、消費電力が少なく、駆動
のための制御が簡単なＭ入力Ｎ出力の機械式光スイッチ
を得ることができる。

【０００８】また、基板上に形成された第１および第２
の光導波路と、同一基板上の、第１および第２の光導波
路に対向する位置に形成された第３および第４の光導波
路と、第１および第２の光導波路と第３および第４の光
導波路とに挟まれた位置に、弾性変形可能な支持バネに
よって支持された可動部材と、この可動部材上に形成さ
れた第５、第６、第７および第８の光導波路と、第１の
光導波路と第３の光導波路とが第５の光導波路によって
光学的に結合し、かつ、第２の光導波路と第４の光導波
路とが第６の光導波路によって光学的に結合する第１の
位置と、第１の光導波路と第４の光導波路とが第７の光
導波路によって光学的に結合し、かつ、第２の光導波路
と第３の光導波路とが第８の光導波路によって光学的に
結合する第２の位置との間で、可動部材を移動させるた
めの駆動力を発生する駆動力発生部材とを備えたもので
ある。これにより、消費電力が少なく、駆動のための制
御が簡単な２入力２出力の機械式光スイッチを得ること
ができる。

【０００９】また、基板内に片持ち梁状に支持された弾
性変形可能な第１の可動部材と、この第１の可動部材上
に形成された第１および第２の光導波路と、基板内の第
１の可動部材に対向する位置に片持ち梁状に支持された
弾性変形可能な第２の可動部材と、第２の可動部材上に
形成された第３および第４の光導波路と、基板上の第１
の可動部材と第２の可動部材とに挟まれた位置に形成さ
れた第５、第６、第７及び第８の光導波路と、第１の光
導波路と第３の光導波路が第５の光導波路によって光学
的に結合し、かつ、第２の光導波路と第４の光導波路が
第６の光導波路によって光学的に結合する第１の位置に
第１および第２の可動部材をそれぞれ移動させ、第１の
光導波路と第４の光導波路が第７の光導波路によって光
学的に結合し、かつ、第２の光導波路と第３の光導波路
が第８の光導波路によって光学的に結合する第２の位置
に第１および第２の可動部材をそれぞれ移動させるため
の駆動力を発生する駆動力発生部材とを備えたものであ
る。これにより、消費電力が少なく、駆動のための制御
が簡単な２入力２出力の機械式光スイッチを得ることが
できる。

【００１０】また、基板上に永久磁石、コイル及び軟磁
性材料からなるヨークを、可動部材上に軟磁性材料から
なる軟磁性部材を、それぞれ配置して前記駆動力発生部
材を構成したものである。これにより、消費電力が少な
く、駆動のための制御が簡単な機械式光スイッチを得る
ことができる。

【００１１】また、基板上に第１の電極を、可動部材上
に第２の電極を、それぞれ配置して駆動力発生部材を構
成したものである。これにより、形状の小さな機械式光
スイッチを得ることができる。

【００１２】また、基板上に形状記憶合金からなる弾性
部材を配置して駆動力発生部材を構成したものである。
これにより、簡単な構成で形状の小さな機械式光スイッ
チを得ることができる。

【００１３】また、光導波路のすべてを第１の基板上に
形成し、かつ駆動力発生部材のすべてを第１の基板上に
配置して構成したものである。これにより部品点数の少
なく、製造の容易な機械式光スイッチを得ることができ
る。

【００１４】また、光導波路のすべてを第１の基板上に
形成し、かつ駆動力発生部材の一部または全部を第１の
基板とは異なる第２の基板上に配置し、第２の基板を第
１の基板に接合して構成したものである。これにより、
製造の容易な機械式光スイッチを得ることができる。

【００１５】また、光導波路のすべてを第１の基板上に
形成し、かつ駆動力発生部材の一部または全部を第１の
基板とは異なる第２の基板上に配置し、第１の基板と第
２の基板をともに第３の基板に接合して構成したもので
ある。これにより、製造の容易な機械式光スイッチを得
ることができる。

【００１６】また、対向する複数の光ファイバー固定部
材に固定された複数の光ファイバーと、この対向する複
数の光ファイバーに挟まれた位置に支持された光ファイ
バー駆動部材と、この光ファイバー駆動部材上に固定さ
れた少なくとも１本の光ファイバーと、対向する複数の
光ファイバー固定部材に固定された光ファイバーと光フ
ァイバー駆動部材上の光ファイバーとの結合位置を変化
せしめる第１および第２の位置の間で光ファイバー駆動
部材を移動させるための駆動力を発生する駆動力発生部
材とを備えたものである。これにより、光ファイバーを
用いて、消費電力が少なく、駆動のための制御が簡単な
Ｍ入力Ｎ出力の機械式光スイッチを得ることができる。

【００１７】また、第１の光ファイバー固定部材に固定
された第１および第２の光ファイバーと、第１の光ファ
イバー固定部材に対向する位置にある第２の光ファイバ
ー固定部材に固定された第３および第４の光ファイバー
と、第１の光ファイバー固定部材と第２の光ファイバー
固定部材とに挟まれた位置に支持された光ファイバー駆
動部材と、光ファイバー駆動部材上に固定された第５、
第６、第７および第８の光ファイバーと、第１の光ファ
イバーと第３の光ファイバーが第５の光ファイバーによ
って光学的に結合し、かつ、第２の光ファイバーと第４
の光ファイバーが第６の光ファイバーによって光学的に
結合する第１の位置と、第１の光ファイバーと第４の光
ファイバーが第７の光ファイバーによって光学的に結合
し、かつ、第２の光ファイバーと第３の光ファイバーが
第８の光ファイバーによって光学的に結合する第２の位
置との間で光ファイバー駆動部材を移動させるための駆
動力を発生する駆動力発生部材とを備えたものである。
これにより、光ファイバーを用いて、消費電力が少な
く、駆動のための制御が簡単な２入力２出力の機械式光
スイッチを得ることができる。

【００１８】また、片持ち梁状に支持され、自由端側を
第１の光ファイバー駆動部材に固定された第１および第
２の光ファイバーと、この第１および第２の光ファイバ
ーに対向する位置にあり、片持ち梁状に支持され、自由
端側を第２の光ファイバー駆動部材に固定された第３お
よび第４の光ファイバーと、第１の光ファイバー駆動部
材と第２の光ファイバー駆動部材とに挟まれた位置に固
定された光ファイバー固定部材と、光ファイバー固定部
材に固定された第５、第６、第７および第８の光ファイ
バーと、第１の光ファイバーと第３の光ファイバーが第
５の光ファイバーによって光学的に結合し、かつ、第２
の光ファイバーと第４の光ファイバーが第６の光ファイ
バーによって光学的に結合する第１の位置と、第１の光
ファイバーと第４の光ファイバーが第７の光ファイバー
によって光学的に結合し、かつ、第２の光ファイバーと
第３の光ファイバーが第８の光ファイバーによって光学
的に結合する第２の位置との間で第１および第２の光フ
ァイバー駆動部材をそれぞれ移動させるための駆動力を
発生する駆動力発生部材とを備えたものである。ことれ
により、光ファイバーを用いて、消費電力が少なく、駆
動のための制御が簡単な２入力２出力の機械式光スイッ
チを得ることができる。

【００１９】また、上記したいずれかの特徴を備えた光
スイッチを同一基板上に複数個配置し、かつ、それらの
光スイッチを光導波路または光ファバーによって互いに
光学的に結合して構成したものである。これにより、Ｍ
入力Ｎ出力の機械式光スイッチを容易に構成できる。

【００２０】さらに、本発明による光通信装置、光伝送
装置、光交換機または光路切り換え装置は、上記のいず
れかの特徴を有する光スイッチを備えたものである。こ
れにより、消費電力が少なく、駆動のための制御が簡単
な２入力２出力の機械式光スイッチを用いた光通信装
置、光伝送装置、光交換機または光路切り換え装置が得
られる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を用いて説明する。

【００２２】まず、本発明の第１の実施の形態である光
スイッチについて説明する。図１は、本発明の第１の実
施の形態である光スイッチの上面図を、図２はこの光ス
イッチのＩ−Ｉ縦断面図を、図３はこの光スイッチのII
−II横断面図をそれぞれ示す。図１ないし図３におい
て、本光スイッチは、シリコン基板１０上に順次積層さ
れた下部クラッド１６、入力用光導波路２０、２１、出
力用光導波路２２、２３、中間光導波路２４、２５、２
６、２７、上部クラッド１７からなる光学部材、及び下
部クラッド１６と上部クラッド１７をドライエッチング
法により加工することによって形成された固定梁１１
１、１１２、可動部材１５からなる構造部材、及び上部
クラッド１７上に配置されたコイル３３１、３３２、鉄
とニッケルの合金からなるヨーク３０１、３０２、軟磁
性膜３４、サマリウムとコバルトの合金からなる永久磁
石３１１、３１２からなる磁気回路部材、より構成され
ている。入力用光導波路２０、２１は、光集積回路製造
技術を用いて形成され、入力用光導波路２０、２１が形
成された領域は、上部クラッド１７と下部クラッド１６
をドライエッチング法によって加工することにより、固
定梁１１１となる。同様に、出力用光導波路２２、２３
は、光集積回路製造技術を用いて形成され、出力用光導
波路が形成された領域は、上部クラッド１７と下部クラ
ッド１６をドライエッチング法によって加工することに
より、固定梁１１２となる。中間光導波路２４、２５、
２６、２７は、光集積回路製造技術を用いて形成され、
中間光導波路が形成された領域は、上部クラッド１７と
下部クラッド１６をドライエッチング法によって加工す
ることにより、可動部材１５となる。可動部材１５は、
上部クラッド１７と下部クラッド１６をドライエッチン
グ法で加工することによって形成された支持バネ１２
１、１２２、１２３、１２４によって支持されている。
可動部材１５及び支持バネ１２１、１２２、１２３、１
２４をドライエッチグ法で形成後、それらが形成された
領域のシリコン基板１０をウエットエッチング法で裏面
から除去し、分離孔１３を形成する。分離孔１３を形成
することによって、可動部材１５はシリコン基板１０に
対して浮いた構造になり、固定梁１１１、１１２に対す
る可動部材１５の相対的な位置を変化させることが可能
となる。上部クラッド１７と下部クラッド１６をドライ
エッチング法で加工することにより形成した停止部材１
４１、１４２、１４３、１４４は、可動部材１５の固定
梁１１１、１１２に対する位置を規定するもので、可動
部材１５が、停止部材１４１、１４３と接触していると
きの位置を第１の位置、停止部材１４２、１４４と接触
しているときの位置を第２の位置とする。すなわち、可
動部材１５は、停止部材１４１、１４３、によって決め
られた第１の位置と停止部材１４２、１４４によって決
められた第２の位置の間を往復運動することになる。可
動部材１５に隣接した領域の上部クラッド上には、コイ
ル３３１、３３２、鉄とニッケルの合金からなるヨーク
３０１、３０２、サマリウムとコバルトの合金からなる
永久磁石３１１、３１２が配置され、可動部材１５の中
心部上には、鉄とニッケルの合金からなる軟磁性膜３４
が配置される。コイル３３１の芯には、鉄とニッケルの
合金からなるコア３２１が、コイル３３２の芯には、鉄
とニッケルの合金からなるコア３２２が、それぞれ配置
されている。

【００２３】図４及び図５は、この第１の実施の形態で
ある光スイッチの光の伝搬動作を示す上面図である。図
４は、可動部材１５が第２の位置にあるときの、入力用
光導波路２０、２１、出力用光導波路２２、２３、中間
光導波路２４、２５、２６、２７の相対的な位置関係を
示す。このとき、可動部材１５にある中間光導波路２４
は、固定梁１１１にある入力用光導波路２０と固定梁１
１２にある出力用光導波路２２を光学的に結合させる位
置にあり、入力用光導波路２０に入った光は、中間光導
波路２４を通って出力用光導波路２２に伝搬する。ま
た、可動部材１５にある中間光導波路２５は、固定梁１
１１にある入力用光導波路２１と固定梁１１２にある出
力用光導波路２３を光学的に結合させる位置にあり、入
力用光導波路２１に入った光は、中間光導波路２５を通
って出力用光導波路２３に伝搬する。なお、このとき可
動部材１５にある他の中間光導波路２６、２７は、どの
光導波路とも光学的に結合していない。一方、図５は、
可動部材１５が第１の位置にあるときの、入力用光導波
路２０、２１、出力用光導波路２２、２３、中間光導波
路２４、２５、２６、２７の相対的な位置関係を示す。
このとき、可動部材１５にある中間光導波路２６は、固
定梁１１１にある入力用光導波路２０と固定梁１１２に
ある出力用光導波路２３を光学的に結合させる位置にあ
り、入力用光導波路２０に入った光は、中間光導波路２
６を通って出力用光導波路２３に伝搬する。また、可動
部材１５にある中間光導波路２７は、固定梁１１１にあ
る入力用光導波路２１と固定梁１１２にある出力用光導
波路２２を光学的に結合させる位置にあり、入力用光導
波路２１に入った光は、中間光導波路２７を通って出力
用光導波路２２に伝搬する。なお、このとき可動部材１
５にある他の中間光導波路２４、２５は、どの光導波路
とも光学的に結合していない。このように、可動部材１
５が第１の位置にあるときは、入力用光導波路２０と２
１に入った光は、それぞれ出力用光導波路２３と２２に
伝搬し、また可動部材１５が第２の位置にあるときは、
入力用光導波路２０と２１から入った光は、それぞれ出
力用光導波路２２と２３に伝搬する。すなわち、可動部
材１５の位置を第１の位置と第２の位置の間で移動させ
ることによって、２入力の光の伝搬経路を切り換える２
入力２出力の光スイッチとしての動作をさせることがで
きる。

【００２４】図６は、この第１の実施の形態である光ス
イッチの可動部材１５を駆動する方法について示す。可
動部材１５を第１の位置に移動させるためには、図６の
（１）に示したように、永久磁石３１１が発生させる磁
束の方向と、コイル３３１の芯に配置されたコア３２１
に生じる磁束Ｂの方向が、同じになるようにコイル３３
１に電流を流す。この場合、永久磁石３１１が発生させ
る磁束とコイル３３１が発生させる磁束Ｂが強めあい、
非常に強い磁束がヨーク３０１と可動部材１５上の軟磁
性膜３４に生じるため、可動部材１５には、永久磁石３
１１やコイル３３１のある方向に強い力Ｆが働く。この
電磁的な力Ｆによって、可動部材１５は第１の位置に移
動する。可動部材１５がひとたび第１の位置に固定され
ると、図６の（２）に示したように、永久磁石３１１が
発生させる磁束のみによって、十分な磁束Ｂ’がヨーク
３０１と可動部材１５上の軟磁性膜３４に生じるため、
可動部材には永久磁石３１１やコイル３３１のある方向
に力Ｆ’が働く。この電磁的な力Ｆ’によって、可動部
材１５は、コイル３３１に流していた電流を切断しても
第１の位置に保持されることになる。このように、本実
施の形態の光スイッチは、切り換え動作をするときのみ
電力を消費し、状態を保持するときには電力を一切消費
しないというすぐれた特徴を有している。可動部材１５
を第２の位置に移動させるためには、図６の（３）に示
したように、永久磁石３１１が発生させる磁束の方向
と、コイル３３１の芯に配置されたコア３２１に生じる
磁束の方向が、反対になるようにコイル３３１に電流を
流す。と同時に永久磁石３１２が発生させる磁束の方向
と、コイル３３２の芯に配置されたコア３２２に生じる
磁束Ｂ”の方向が、同じになるようにコイル３３２に電
流を流す。この場合、永久磁石３１１が発生させる磁束
とコイル３３１が発生させる磁束が弱めあい、ヨーク３
０１にはほとんど磁束が生じない。このため、可動部材
１５には、永久磁石３１１やコイル３３１のある方向に
は電磁的な引力が働かない。一方、永久磁石３１２が発
生させる磁束とコイル３２２が発生させる磁束Ｂ”は強
めあい、非常に強い磁束がヨーク３０２と可動部材１５
上の軟磁性膜３４に生じるため、可動部材１５には、永
久磁石３１２やコイル３３２のある方向に強い力Ｆ”が
働く。この電磁的な力Ｆ”によって、可動部材１５は第
２の位置に移動する。もちろん、図６の（２）で説明し
たように、可動部材１５がひとたび第２の位置に固定さ
れると、永久磁石３１２が発生させる磁束のみによっ
て、十分な磁束がヨーク３０２と可動部材１５上の軟磁
性膜３４に生じるため、可動部材には永久磁石３１２や
コイル３３２のある方向に力が生じ、可動部材１５は、
コイル３３１に流していた電流を切断しても第２の位置
に保持されることになる。

【００２５】図７は、分離孔１３を図１で説明した方法
とは異なる方法で形成した本発明の第２の実施の形態で
ある光スイッチの上面図を示す。また、図８は、図７の
光スイッチのIII−III縦断面図を示す。本光スイッチに
おいては、ドライエッチング法を用いて可動部材１５の
下部のシリコン基板１０を表面から除去することによっ
て分離孔１３が形成されている。ドライエッチングによ
って可動部材１５の下部のシリコンを容易に除去できる
ように、可動部材１５内の上部クラッドと下部クラッド
には、エッチング補助孔１３１と１３２がドライエッチ
ング法によって形成されている。この孔からエッチング
ガスがシリコン基板に達し、その部分のシリコンが除去
される。また、図１で説明した可動部材１５上の軟磁性
膜３４は、エッチング補助孔１３１と１３２によって分
離され、ふたつの軟磁性膜３４１と３４２になってい
る。図１で説明した光スイッチにおいては、分離孔１３
はシリコン基板１０をウェットエッチング法で裏面から
除去して形成されているため、可動部材１５の下部のシ
リコン基板は、完全に除去されている。一方、図７で説
明した光スイッチでは、シリコン基板の表面からのドラ
イエッチングで分離孔１３が形成されているため、可動
部材１５は、シリコン基板からは分離されているもの
の、可動部材１５の下部のシリコン基板は大半が残存し
ている。従って、図７で示した方法で分離孔１３を形成
した方が、シリコン基板が多く残っているため構造が安
定で、加工にともなう基板の変形を小さく抑えることが
できる。

【００２６】いずれにしても、本実施の形態の光スイッ
チは、２入力２出力の光スイッチを２個のコイルで駆動
できるため、消費電力が小さく、制御も容易である。

【００２７】次に、本発明の第３の実施の形態である光
スイッチの構造を図９を用いて説明する。

【００２８】図９は、本実施の形態の光スイッチの上面
図を示す。本光スイッチは、シリコン基板１０上に順次
積層された下部クラッド１６、入力用光導波路２０、２
１、出力用光導波路２２、２３、中間光導波路２４、２
５、２６、２７、上部クラッド１７からなる光学部材、
及び下部クラッド１６と上部クラッド１７をドライエッ
チング法により加工することによって形成された可動梁
１１３、１１４からなる構造部材、及び上部クラッド１
７上に配置されたコイル３３１、３３２、鉄とニッケル
の合金からなるヨーク３０１、３０２、軟磁性膜３４、
サマリウムとコバルトの合金からなる永久磁石３１１、
３１２からなる磁気回路部材、より構成されている。入
力用光導波路２０、２１は、光集積回路製造技術を用い
て形成され、入力用光導波路が形成された領域は、上部
クラッド１７と下部クラッド１６をドライエッチング法
によって加工することにより、可動梁１１３となる。同
様に、出力用光導波路２２、２３は、光集積回路製造技
術を用いて形成され、出力用光導波路が形成された領域
は、上部クラッド１７と下部クラッド１６をドライエッ
チング法によって加工することにより、可動梁１１４と
なる。中間光導波路２４、２５、２６、２７は、光集積
回路製造技術を用いて下部クラッド上に形成される。可
動梁１１３及び１１４をドライエッチング法で形成後、
それらが形成された領域のシリコン基板１０をウエット
エッチング法で裏面から除去し、分離孔１３３及び１３
４を形成する。分離孔１３３及び１３４を形成すること
によって、可動梁１１３及び１１４はシリコン基板１０
に対して浮いた構造になる。このようにすることによっ
て、中間光導波路２４、２５、２６、２７に対する可動
梁上の入力用光導波路２０、２１及び出力用光導波路２
２、２３の相対的な位置を変化させることが可能とな
る。上部クラッド１７と下部クラッド１６をドライエッ
チング法で加工することにより形成した停止部材１４
１、１４２、１４３、１４４は、可動梁１１３及び１１
４の位置を規定するものである。可動梁１１３が、停止
部材１４１と接触しているときの位置を第１の位置、停
止部材１４２と接触しているときの位置を第２の位置と
する。また、可動梁１１４が、停止部材１４３と接触し
ているときの位置を第１の位置、停止部材１４４と接触
しているときの位置を第２の位置とする。すなわち、可
動梁１１３及び１１４は、停止部材１４１、１４３によ
って決められた第１の位置と、停止部材１４２、１４４
によって決められた第２の位置の間を往復運動すること
になる。可動梁１１３及び１１４に隣接した領域の上部
クラッド上には、鉄とニッケルの合金からなるヨーク３
０１及び３０２が配置され、これらのヨークに隣接して
コイル３３１、３３２、サマリウムとコバルトの合金か
らなる永久磁石３１１、３１２が配置される。可動梁１
１３及び１１４の先端上には、鉄とニッケルの合金から
なる軟磁性膜３４３及び３４４が配置され、中間光導波
路２４〜２７が形成された領域の上部クラッド上には、
鉄とニッケルの合金からなる軟磁性膜３４が形成され
る。コイル３３１の芯には、鉄とニッケルの合金からな
るコア３２１が、コイル３３２の芯には、鉄とニッケル
の合金からなるコア３２２が、それぞれ配置されてい
る。

【００２９】本実施の形態においては、永久磁石３１１
の磁束とコア３２１の磁束が同じ向きになるようにコイ
ル３３１に電流を流し、永久磁石３１２の磁束とコア３
２２の磁束が反対の向きになるようにコイル３３２に電
流を流すと、可動梁１１３及び１１４にヨーク３０１側
を向いた力が働き、可動梁１１３及び１１４がともに第
１の位置に移動する。この時、入力用光導波路２０と出
力用光導波路２２が中間光導波路２４と光学的に結合
し、また、入力用光導波路２１と出力用光導波路２３が
中間光導波路２５と光学的に結合するため、入力用光導
波路２０に入った光は出力用光導波路２２に、入力用光
導波路２１に入った光は出力用光導波路２３にそれぞれ
伝搬する。逆に、永久磁石３１１の磁束とコア３２１の
磁束が反対の向きになるようにコイル３３１に電流を流
し、永久磁石３１２の磁束とコア３２２の磁束が同じ向
きになるようにコイル３３２に電流を流すと、可動梁１
１３及び１１４にヨーク３０２側を向いた力が働き、可
動梁１１３及び１１４がともに第２の位置に移動する。
この時、入力用光導波路２０と出力用光導波路２３が中
間光導波路２６と光学的に結合し、また、入力用光導波
路２１と出力用光導波路２２が中間光導波路２７と光学
的に結合するため、入力用光導波路２０に入った光は出
力用光導波路２３に、入力用光導波路２１に入った光は
出力用光導波路２２にそれぞれ伝搬する。

【００３０】従って、本実施の形態の光スイッチも、２
入力２出力の光スイッチを２個のコイルで駆動できるた
め、消費電力が小さく、制御も容易である。また、第
１，第２の実施の形態の光スイッチと同様、切り換え動
作時にのみ電力を消費し、それ以外の時は電力をまった
く消費しなくてよい。

【００３１】次に本発明の第４の実施の形態である光ス
イッチの構造を説明する。

【００３２】図１０は本実施の形態の光スイッチの底面
図を、図１１は図１０のIV−IV縦断面図をそれぞれ示
す。本光スイッチは、磁気回路部材が配置されたアクチ
ェエータ基板１０１と、光学部材と構造部材が配置され
たシリコン基板１０を、スペーサ１０２、１０３を介し
て張り合わせた構造になっている。図１２は、アクチェ
エータ基板１０１の底面図を示す。アクチェエータ基板
１０１には、シリコン基板上に配置された鉄とニッケル
の合金からなるヨーク３０１、３０２、サマリウムとコ
バルトの合金からなる永久磁石３１１、３１２、コイル
３３１、３３２、鉄とニッケルの合金からなるコイルの
コア３２１、３２２が配置されている。また、図１３は
光学部材と構造部材が配置されたシリコン基板１０の上
面図を、スペーサ１０２と１０３を含めて示したもので
ある。図１１と組み合わせて見ればわかるように、シリ
コン基板１０には、順次積層された下部クラッド１６、
中間光導波路２４、２５、上部クラッド１７、入力用光
導波路２０、２１、出力用光導波路２２、２３、中間光
導波路２６、２７、上部クラッド１８からなる光学部
材、及び下部クラッド１６と上部クラッド１７、１８を
ドライエッチング法により加工することによって形成さ
れた固定梁１１１、１１２、可動部材１５からなる構造
部材が配置されている。可動部材１５は、下部クラッド
１６と上部クラッド１７、１８をドライエッチング法に
より加工することによって形成された支持バネ１２１、
１２２、１２３、１２４によって支持されており、シリ
コン基板面に対し垂直な方向に移動できるようになって
いる。可動部材と支持バネをシリコン基板から浮かすた
めに、シリコン基板には分離孔１３が形成されている。
分離孔１３は、シリコン基板を裏面からウェットエッチ
ングで除去することによって形成される。可動部材１５
上の上部クラッド１８の上には、鉄とニッケルの合金か
らなる軟磁性膜３４が配置されている。

【００３３】本実施の形態においては、可動部材１５が
製造直後にある位置を第１の位置、可動部材１５上の軟
磁性膜３４がヨーク３０１及び３０２に接触していると
きの位置を第２の位置とする。コイル３３１及び３３２
に電流を流さなければ、可動部材１５は第１の位置にあ
り、この時、入力用光導波路２０は中間光導波路２６を
介して出力用光導波路２３に、入力用光導波路２１は中
間光導波路２７を介して出力用光導波路２２に光学的に
結合する。永久磁石３１１及び３１２の磁束とコア３２
１及び３２２の磁束が同じ向きになるように、コイル３
３１及び３３２に電流を流すと、永久磁石とコイルの磁
束が強め合い、非常に強い磁束がヨーク３０１及び３０
２に発生し、可動部材上の軟磁性膜３４がヨーク側に強
く引き寄せられる。この結果、可動部材１５がヨーク側
に移動して第２の位置に固定される。この時、入力用光
導波路２０は中間光導波路２４を介して出力用光導波路
２２に、入力用光導波路２１は中間光導波路２５を介し
て出力用光導波路２３に光学的に結合する。もちろん、
ひとたび可動部材１５が第２の位置に固定されると、そ
の後はコイルに流す電流を切っても、永久磁石の磁束の
みによって可動部材はその場所に保持される。可動部材
１５を第２の位置から第１の位置に戻すためには、永久
磁石の磁束と反対向きの磁束をコア内に生じさせるよう
にコイルに電流を流せばよい。この時は、可動部材上の
軟磁性膜をヨーク側に引き寄せる力がほとんどなくな
り、可動部材は自己の復元力によって第１の位置に戻
る。

【００３４】本実施の形態の光スイッチも、２入力２出
力の光スイッチを２個のコイルで駆動できるため、消費
電力が小さく、制御も容易である。また、第１ないし第
３の実施の形態の光スイッチと同様、切り換え動作時に
のみ電力を消費し、それ以外の時は電力をまったく消費
しなくてよい。

【００３５】次に本発明の第５の実施の形態である光ス
イッチの構造を図１４を用いて説明する。図１４は、本
実施の形態の光スイッチの上面図を示す。本光スイッチ
は、シリコン基板１０上に順次積層された下部クラッド
１６、入力用光導波路２０、２１、出力用光導波路２
２、２３、中間光導波路２４、２５、２６、２７、上部
クラッド１７からなる光学部材、及び下部クラッド１６
と上部クラッド１７をドライエッチング法により加工す
ることによって形成された固定梁１１１、１１２、可動
部材１５からなる構造部材、及び上部クラッド１７上に
配置された電極４０、４１、４２、４３からなる電気回
路部材、より構成されている。なお、光学部材及び構造
部材の構成は、第２の実施の形態の光スイッチのものと
同一で、可動部材１５を、停止部材１４１、１４３によ
って決められた第１の位置と停止部材１４２、１４４に
よって決められた第２の位置の間を往復運動させること
によって、入力用光導波路と出力用光導波路の結合状態
を切り換えることができる。可動部材１５をシリコン基
板１０から浮かすための分離孔１３は、図７、図８を用
いて説明した光スイッチと同じように、シリコン基板の
表面から可動部材１５の下側のシリコン基板をドライエ
ッチッグ法によって除去することによって形成する。上
部クラッド１７と下部クラッド１６には、シリコン基板
のドライエッチングが容易にできるようにエッチング補
助孔１３１、１３２が形成されている。可動部材１５上
の上部クラッド上には、電極４１、４３が配置され、電
極４１に対向する位置に電極４０が、電極４３に対向す
る位置に電極４２がそれぞれ配置されている。

【００３６】電極４０と４１の間に電位差を与えると、
ふたつの電極間に静電的な引力が生じ、可動部材１５が
第１の位置に移動する。そして、入力用光導波路２０と
出力用光導波路２３が、また入力用光導波路２１と出力
用光導波路２２が、それぞれ中間光導波路２６と２７を
通して光学的に結合する。一方、電極４２と４３の間に
電位差を与えると、可動部材１５が第２の位置に移動
し、入力用光導波路２０と出力用光導波路２２が、また
入力用光導波路２１と出力用光導波路２３が、それぞれ
中間光導波路２４と２５を通して光学的に結合する。

【００３７】本実施の形態の光スイッチは、２入力２出
力の光スイッチを２組の電極対で駆動できるため、制御
が容易である。また、可動部材の駆動に磁石やコイルを
用いていないため、空間的にこの光スイッチを多数隣接
して配置しても、可動部材の動作に相互の干渉がない。
すなわち、磁石やコイルで可動部材を駆動する場合、複
数の光スイッチが近づきすぎると隣接する光スイッチの
コイルによって、他の光スイッチの駆動部材が誤動作し
てしまうことがあるが、本実施の形態の光スイッチでは
そのような誤動作がない。従って、本実施の形態の光ス
イッチを多数並べることによって、きわめて小型のＭ入
力Ｎ出力マトリック型光スイッチを形成することが可能
となる。

【００３８】次に本発明の第６の実施の形態である光ス
イッチの構造を図１５を用いて説明する。図１５は、本
実施の形態の光スイッチの上面図を示す。本光スイッチ
は、光学部材及び構造部材の構成は第１の実施の形態で
説明した光スイッチのものと同一である。また、可動部
材１５の運動による光の結合状態の切り換え動作も第１
の実施例と同様である。本実施の形態の特徴は、上部ク
ラッド上に、第５の実施の形態で用いた電極のかわりに
形状記憶合金でできたバネ５０、５１が配置されている
ことである。この形状記憶合金バネ５０、５１は、加熱
されると伸びるように設計されている。

【００３９】形状記憶合金バネ５０に電位差を与える
と、形状記憶合金バネ５０に電流が流れて発熱し伸び
る。このとき、可動部材１５は形状記憶合金バネ５０に
押され、第２の位置に移動し、入力用光導波路２０と出
力用光導波路２２が、また入力用光導波路２１と出力用
光導波路２３が、それぞれ中間光導波路２４と２５を通
して光学的に結合する。一方、形状記憶合金バネ５１に
電位差を与えると、形状記憶合金バネ５１が発熱し伸び
る。このとき、可動部材１５が形状記憶合金バネ５１に
押され、第１の位置に移動し、入力用光導波路２０と出
力用光導波路２３が、また入力用光導波路２１と出力用
光導波路２２が、それぞれ中間光導波路２６と２７を通
して光学的に結合する。

【００４０】本実施の形態の光スイッチは、２入力２出
力の光スイッチを２個の形状記憶合金バネで駆動できる
ため、制御が容易である。また、第５の実施例と同様、
可動部材の駆動に磁石やコイルを用いていないため、空
間的にこの光スイッチを多数隣接して配置しても、可動
部材の動作に相互の干渉がない。従って、本実施の形態
の光スイッチを多数並べることによって、きわめて小型
のＭ入力Ｎ出力マトリック型光スイッチを形成すること
が可能となる。

【００４１】最後に、本発明の第７の実施の形態である
光スイッチの構造を図１６および図１７を用いて説明す
る。

【００４２】図１６は、本光スイッチの上面図を、図１
７は、図１６の光スイッチのＶ−Ｖ縦断面図をそれぞれ
示す。本光スイッチは、中央部に４本の支持バネ１２
１、１２２、１２３、１２４で支持された可動部材１５
を有するステンレス基板１０４上に、光ファイバーを固
定する光ファイバー固定部材１９０、１９１、１９２、
１９３、１９４、入力用光ファイバー２００、２１０、
出力用光ファイバー２２０、２３０、中間光ファイバー
２４０、２５０、２６０、２７０、中心に鉄とニッケル
の合金からなるコア３２１を有するコイル３３１、中心
に鉄とニッケルの合金からなるコア３２２を有するコイ
ル３３２、鉄とニッケルの合金からなるヨーク３０１、
３０２、サマリウムとコバルトの合金からなる永久磁石
３１１、３１２を配置した構造になっている。入力用光
ファイバー２００、２１０は、光ファイバー固定部材１
９０、１９１と図示しない光ファイバー押さえ部材とに
よって支持され、光ファイバー固定部材１９０、１９１
は、ステンレス基板１０４に固定されている。出力用光
ファイバー２２０、２３０は、光ファイバー固定部材１
９３、１９４と図示しない光ファイバー押さえ部材とに
よって支持され、光ファイバー固定部材１９３、１９４
は、ステンレス基板１０４に固定されている。中間光フ
ァイバー２４０、２５０、２６０、２７０は、光ファイ
バー固定部材１９２と光ファイバー押さえ部材１９２１
とによって支持され、光ファイバー固定部材１９２は、
ステンレス基板１０４内の可動部材１５に固定されてい
る。光ファイバー固定部材１９２は、停止部材１４１、
１４２、１４３、１４４によって位置を規定され、ヨー
ク３０１側の端面に接触しているときの位置を第１の位
置、ヨーク３０２側の端面に接触しているときの位置を
第２の位置とする。光ファイバー固定部材１９２の上面
には、鉄とニッケルの合金からなる軟磁性膜３４が配置
されている。

【００４３】本実施の形態の光スイッチの動作は、第１
の実施の形態である光スイッチとほぼ同じである。すな
わち、永久磁石３１１の磁束とコア３２１の磁束が同じ
向きになるようにコイル３３１に電流を流し、永久磁石
３１２の磁束とコア３２２の磁束が反対の向きになるよ
うにコイル３３２に電流を流すと、光ファイバー固定部
材１９２にヨーク３０１側を向いた力が働き、光ファイ
バー固定部材１９２が第１の位置に移動する。この時、
入力用光ファイバー２００と出力用光ファイバー２３０
が中間光ファイバー２６０と光学的に結合し、また、入
力用光ファイバー２１０と出力用光ファイバー２２０が
中間光ファイバー２７０と光学的に結合するため、入力
用光ファイバー２００に入った光は出力用光ファイバー
２３０に、入力用光ファイバー２１０に入った光は出力
用光ファイバー２３０にそれぞれ伝搬する。逆に、永久
磁石３１１の磁束とコア３２１の磁束が反対の向きにな
るようにコイル３３１に電流を流し、永久磁石３１２の
磁束とコア３２２の磁束が同じ向きになるようにコイル
３３２に電流を流すと、光ファイバー固定部材１９３及
び１９４にヨーク３０２側を向いた力が働き、光ファイ
バー固定部材１９３及び１９４がともに第２の位置に移
動する。この時、入力用光ファイバー２００と出力用光
ファイバー２３０が中間光ファイバー２４０と光学的に
結合し、また、入力用光ファイバー２１０と出力用光フ
ァイバー２３０が中間光ファイバー２５０と光学的に結
合するため、入力用光ファイバー２００に入った光は出
力用光ファイバー２２０に、入力用光ファイバー２１０
に入った光は出力用光ファイバー２３０にそれぞれ伝搬
する。

【００４４】従って、本実施の形態の光スイッチは、２
入力２出力の光スイッチを２個のコイルで駆動できるた
め、消費電力が小さく、制御も容易である。また、第１
ないし第４の実施の形態の光スイッチと同様、切り換え
動作時にのみ電力を消費し、それ以外の時は電力をまっ
たく消費しなくてよい。また、光が光ファイバー内を伝
搬するため、光の損失を低く抑えることが可能である。
尚、本実施の形態では、軟磁性膜３４を、光ファイバー
固定部材１９２の上面に配置しているが、光ファイバー
固定部材１９２もしくは光ファイバー押さえ部材１９２
１を軟磁性材料で形成してもよく、その場合は軟磁性膜
３４は不要となる。

【００４５】以上述べてきた実施の形態の多くでは、基
板としてシリコンを用いてきたがこれはシリコンに限定
する必要はなく、第７の実施の形態のようにステンレス
をはじめとする各種金属や石英をはじめとする絶縁物を
用いても良い。また、コイルや永久磁石の配置について
も、図１に示した配置に限定する必要はなく、ヨークの
まわりに直接コイルを形成しても良い。

【００４６】図１８は、第１の実施の形態から第７の実
施の形態までで説明してきた２入力２出力の光スイッチ
６０をシリコン基板１０の上に６個並べて４入力４出力
の光スイッチを構成した例を示す。この例では、それぞ
れの２入力２出力の光スイッチの入出力部は、接続用光
ファイバー７０で接続されているが、これは光導波路を
用いても良い。同じように、第１の実施の形態から第７
の実施の形態までで説明してきた２入力２出力の光スイ
ッチ６０を多数並べることによって、Ｍ入力Ｎ出力の光
スイッチも容易に形成することが可能である。

【００４７】

【発明の効果】本発明によれば、消費電力が少なく、駆
動のための制御が簡単なＭ入力Ｎ出力の光スイッチを提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の光スイッチの上面
図である。

【図２】図１の光スイッチのＩ−Ｉ縦断面図である。

【図３】図２の光スイッチのII−II横断面図である。

【図４】図１の光スイッチの光の伝搬動作を示す上面図
である。

【図５】図１の光スイッチの光の伝搬動作を示す上面図
である。

【図６】図１の光スイッチの駆動方法を示す上面図であ
る。

【図７】本発明の第２の実施の形態の光スイッチの上面
図である。

【図８】図１の光スイッチのIII−III縦断面図である。

【図９】本発明の第３の実施の形態の光スイッチの上面
図である。

【図１０】本発明の第４の実施の形態の光スイッチの底
面図である。

【図１１】図１０の光スイッチのIV−IV縦断面図であ
る。

【図１２】図１０の光スイッチの磁気回路部材の底面図
である。

【図１３】図１０の光スイッチの構造部材および光学部
材の上面図である。

【図１４】本発明の第５の実施の形態の光スイッチの上
面図である。

【図１５】本発明の第６の実施の形態の光スイッチの上
面図である。

【図１６】本発明の第７の実施の形態の光スイッチの上
面図である。

【図１７】図１６の光スイッチのＶ−Ｖ断面図である。

【図１８】本発明の光スイッチを６個並べて構成した４
入力４出力の光スイッチの上面図である。

【符号の説明】

１０ シリコン基板 １３ 分離孔 １５ 可動部材 １６ 下部クラッド １７、１８ 上部クラッド ２０、２１ 入力用光導波路 ２２、２３ 出力用光導波路 ２４、２５、２６、２７ 中間光導波路 ３４、３４１、３４２、３４３、３４４ 軟磁性膜 ４０、４１、４２、４３ 電極 ５０、５１ 形状記憶合金バネ ６０ ２入力２出力光スイッチ ７０ 接続用光ファイバー １０１ アクチュエータ基板 １０２、１０３ スペーサ １１１、１１２ 固定はり １１３、１１４ 可動はり １２１、１２２、１２３、１２４ 支持バネ １３１、１３２ エッチング補助孔 １３３、１３４ 分離孔 １３５ 光ファイバー駆動溝 １４１、１４２、１４３、１４４ 停止部材 １９０、１９１、１９２、１９２０ 光ファイバー固定
部材 １９３、１９４ 光ファイバー駆動部材 ３０１、３０２ ヨーク ３１１、３１２ 永久磁石 ３２１、３２２ コア ３３１、３３２ コイル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小松 礼文 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地 株 式会社日立製作所情報通信事業部内 (72)発明者 原田 武 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 村西 勝 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上の対向する位置に形成された複数
   の光導波路と、 前記対向する複数の光導波路に挟まれた位置に、弾性変
   形可能な支持バネによって支持された可動部材と、 前記可動部材上に形成された少なくとも１本の光導波路
   と、 前記基板上の対向する複数の光導波路と前記可動部材上
   の光導波路との結合関係を変化せしめる第１および第２
   の位置の間で前記可動部材を移動させるための駆動力発
   生部材とを備えたことを特徴とする光スイッチ。
2. 【請求項２】 基板上に形成された第１および第２の光
   導波路と、 同一基板上の、前記第１および第２の光導波路に対向す
   る位置に形成された第３および第４の光導波路と、 前記第１および第２の光導波路と前記第３および第４の
   光導波路とに挟まれた位置に、弾性変形可能な支持バネ
   によって支持された可動部材と、 前記可動部材上に形成された第５、第６、第７および第
   ８の光導波路と、 前記第１の光導波路と前記第３の光導波路とが前記第５
   の光導波路によって光学的に結合し、かつ、前記第２の
   光導波路と前記第４の光導波路とが前記第６の光導波路
   によって光学的に結合する第１の位置と、前記第１の光
   導波路と前記第４の光導波路とが前記第７の光導波路に
   よって光学的に結合し、かつ、前記第２の光導波路と前
   記第３の光導波路とが前記第８の光導波路によって光学
   的に結合する第２の位置との間で、前記可動部材を移動
   させるための駆動力を発生する駆動力発生部材とを備え
   たことを特徴とする光スイッチ。
3. 【請求項３】 基板内に片持ち梁状に支持された弾性変
   形可能な第１の可動部材と、 前記第１の可動部材上に形成された第１および第２の光
   導波路と、 前記基板内の前記第１の可動部材に対向する位置に片持
   ち梁状に支持された弾性変形可能な第２の可動部材と、 前記第２の可動部材上に形成された第３および第４の光
   導波路と、 前記基板上の前記第１の可動部材と前記第２の可動部材
   とに挟まれた位置に形成された第５、第６、第７及び第
   ８の光導波路と、 前記第１の光導波路と前記第３の光導波路が前記第５の
   光導波路によって光学的に結合し、かつ、前記第２の光
   導波路と前記第４の光導波路が前記第６の光導波路によ
   って光学的に結合する第１の位置に前記第１および第２
   の可動部材をそれぞれ移動させ、前記第１の光導波路と
   前記第４の光導波路が前記第７の光導波路によって光学
   的に結合し、かつ、前記第２の光導波路と前記第３の光
   導波路が前記第８の光導波路によって光学的に結合する
   第２の位置に前記第１および第２の可動部材をそれぞれ
   移動させるための駆動力を発生する駆動力発生部材とを
   備えたことを特徴とする光スイッチ。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれか１項に記載
   の光スイッチにおいて、 前記基板上に永久磁石、コイル及び軟磁性材料からなる
   ヨークを、前記可動部材上に軟磁性材料からなる軟磁性
   部材を、それぞれ配置して前記駆動力発生部材を構成し
   たことを特徴とする光スイッチ。
5. 【請求項５】 請求項１ないし３のいずれか１項に記載
   の光スイッチにおいて、 前記基板上に第１の電極を、前記可動部材上に第２の電
   極を、それぞれ配置して前記駆動力発生部材を構成した
   ことを特徴とする光スイッチ。
6. 【請求項６】 請求項１ないし３のいずれか１項に記載
   の光スイッチにおいて、 前記基板上に形状記憶合金からなる弾性部材を配置して
   前記駆動力発生部材を構成したことを特徴とする光スイ
   ッチ。
7. 【請求項７】 請求項１ないし３のいずれか１項に記載
   の光スイッチにおいて、 前記光導波路のすべてを第１の基板上に形成し、かつ前
   記駆動力発生部材のすべてを前記第１の基板上に配置し
   て構成したことを特徴とする光スイッチ。
8. 【請求項８】 請求項１ないし３のいずれか１項に記載
   の光スイッチにおいて、 前記光導波路のすべてを第１の基板上に形成し、かつ前
   記駆動力発生部材の一部または全部を前記第１の基板と
   は異なる第２の基板上に配置し、前記第２の基板を前記
   第１の基板に接合して構成したことを特徴とする光スイ
   ッチ。
9. 【請求項９】 請求項１ないし３のいずれか１項に記載
   の光スイッチにおいて、 前記光導波路のすべてを第１の基板上に形成し、かつ前
   記駆動力発生部材の一部または全部を前記第１の基板と
   は異なる第２の基板上に配置し、前記第１の基板と前記
   第２の基板をともに第３の基板に接合して構成したこと
   を特徴とする光スイッチ。
10. 【請求項１０】 対向する複数の光ファイバー固定部材
    に固定された複数の光ファイバーと、 前記対向する複数の光ファイバーに挟まれた位置に支持
    された光ファイバー駆動部材と、 前記光ファイバー駆動部材上に固定された少なくとも１
    本の光ファイバーと、 前記対向する複数の光ファイバー固定部材に固定された
    光ファイバーと前記光ファイバー駆動部材上の光ファイ
    バーとの結合位置を変化せしめる第１および第２の位置
    の間で前記光ファイバー駆動部材を移動させるための駆
    動力を発生する駆動力発生部材とを備えたことを特徴と
    する光スイッチ。
11. 【請求項１１】 第１の光ファイバー固定部材に固定さ
    れた第１および第２の光ファイバーと、 前記第１の光ファイバー固定部材に対向する位置にある
    第２の光ファイバー固定部材に固定された第３および第
    ４の光ファイバーと、 前記第１の光ファイバー固定部材と前記第２の光ファイ
    バー固定部材とに挟まれた位置に支持された光ファイバ
    ー駆動部材と、 前記光ファイバー駆動部材上に固定された第５、第６、
    第７および第８の光ファイバーと、 前記第１の光ファイバーと前記第３の光ファイバーが前
    記第５の光ファイバーによって光学的に結合し、かつ、
    前記第２の光ファイバーと前記第４の光ファイバーが前
    記第６の光ファイバーによって光学的に結合する第１の
    位置と、前記第１の光ファイバーと前記第４の光ファイ
    バーが前記第７の光ファイバーによって光学的に結合
    し、かつ、前記第２の光ファイバーと前記第３の光ファ
    イバーが前記第８の光ファイバーによって光学的に結合
    する第２の位置との間で前記光ファイバー駆動部材を移
    動させるための駆動力を発生する駆動力発生部材とを備
    えたことを特徴とする光スイッチ。
12. 【請求項１２】 片持ち梁状に支持され、自由端側を第
    １の光ファイバー駆動部材に固定された第１および第２
    の光ファイバーと、 前記第１および第２の光ファイバーに対向する位置にあ
    り、片持ち梁状に支持され、自由端側を第２の光ファイ
    バー駆動部材に固定された第３および第４の光ファイバ
    ーと、 前記第１の光ファイバー駆動部材と前記第２の光ファイ
    バー駆動部材とに挟まれた位置に固定された光ファイバ
    ー固定部材と、 前記光ファイバー固定部材に固定された第５、第６、第
    ７および第８の光ファイバーと、 前記第１の光ファイバーと前記第３の光ファイバーが前
    記第５の光ファイバーによって光学的に結合し、かつ、
    前記第２の光ファイバーと前記第４の光ファイバーが前
    記第６の光ファイバーによって光学的に結合する第１の
    位置と、前記第１の光ファイバーと前記第４の光ファイ
    バーが前記第７の光ファイバーによって光学的に結合
    し、かつ、前記第２の光ファイバーと前記第３の光ファ
    イバーが前記第８の光ファイバーによって光学的に結合
    する第２の位置との間で前記第１および第２の光ファイ
    バー駆動部材をそれぞれ移動させるための駆動力を発生
    する駆動力発生部材とを備えたことを特徴とする光スイ
    ッチ。
13. 【請求項１３】 請求項１ないし請求項３または請求項
    １０ないし請求項１２のいずれか１項に記載された光ス
    イッチを同一基板上に複数個配置し、 かつ、それらの光スイッチを光導波路または光ファバー
    によって互いに光学的に結合して構成したことを特徴と
    する光スイッチ。
14. 【請求項１４】 請求項１ないし請求項３または請求項
    １０ないし請求項１２のいずれかに１項に記載された光
    スイッチを有する光通信装置、光伝送装置、光交換機ま
    たは光路切り換え装置。