JP2005215270A - 光スイッチ - Google Patents

光スイッチ

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JP2005215270A JP2004021234A JP2004021234A JP2005215270A JP 2005215270 A JP2005215270 A JP 2005215270A JP 2004021234 A JP2004021234 A JP 2004021234A JP 2004021234 A JP2004021234 A JP 2004021234A JP 2005215270 A JP2005215270 A JP 2005215270A
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Mitsukazu Kondo
充和 近藤
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NEC Tokin Iwate Ltd
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NEC Tokin Corp
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Abstract


【課題】 従来のメカニカル方式の光スイッチに比べて信頼性が高く小型で、さらに低価格な光スイッチを提供すること。
【解決手段】 2つの側片部を有し、コイルが巻回されたコ字形磁心と、前記側片部の各々に対向可能でかつ揺動可能に支持された軟磁性の接極子2と、前記コ字形磁心および前記接極子に磁束を付加するように配置された永久磁石とからなる電磁駆動系1と、接極子2上に直接固定された光路変換手段である互いにほぼ直交する2つの反射面322および323を持つガラス板3と、前記光路変換手段に光を入射するための入射側光ファイバ14と、前記光路変換手段により光路変換された光が結合される出射側光ファイバ15および16とを備えた光スイッチ。
【選択図】 図1

Description

本発明は光通信システム等に用いる光スイッチに関し、特に光路の切り替えを行うのに好適な光スイッチに関する。
光スイッチには石英光導波路やニオブ酸リチウム結晶光導波路を使った導波路形光スイッチや光ファイバ、プリズムなどを機械的に移動させるメカニカル方式の光スイッチがある。
導波路形光スイッチは光導波路上に設置した薄膜ヒーターに電流を流したり、電気光学効果を利用して電極に電圧を加えることによって光導波路の一部の屈折率を変化させることによってスイッチングを行う。このため可動部がなく信頼性が高いことが利点であるが、一般的に高価であり損失が大きいという欠点があるため、現在実際に使用されているものはメカニカル方式の光スイッチの方が圧倒的に多い。この方式の光スイッチに関する特許文献は多数にわたるが、特許文献1にはその一例が開示されている。
メカニカル方式の光スイッチは導波路形光スイッチに比べると低価格であり損失が小さいが、可動部があるため信頼性が低いという問題がある。また、最近は光通信ネットワークが都市内の様々な領域に張り巡らされ、その信号経路の制御を柔軟に行う機能を実現させるために光スイッチが必要となっており、さらに低価格で信頼性の高い小型の光スイッチが要求されている。
特開2003−161899号公報
上記の状況にあって本発明の課題は従来のメカニカル方式の光スイッチに比べて信頼性が高く小型で、さらに低価格な光スイッチを提供することにある。
本発明の光スイッチは、上記課題を解決するため、2つの側片部を有しコイルが巻回されたコ字形磁心、前記側片部の各々に対向可能でかつ揺動可能に支持された軟磁性の接極子、および前記接極子の付近に配置された永久磁石からなる電磁駆動系と、前記接極子上の前記側片部に対向する端部付近に直接固定された少なくとも1つの光路変換手段と、前記光路変換手段に光を入射するための入射側光ファイバを含む入射側光学系と、前記光路変換手段により光路変換された光が結合される出射側光ファイバを含む出射側光学系とを備える光スイッチにおいて、前記接極子における揺動運動は前記コ字形磁心の各側片部と前記接極子との間の磁気的吸引力により駆動され前記接極子の中央部付近を支点とする往復的な回転運動による揺動運動であり、前記光路変換手段は互いにほぼ直交しかつ前記接極子の揺動方向にほぼ平行な2つの反射面を有する透明体からなり、前記入射側光ファイバと前記出射側光ファイバの少なくとも一方は複数個である構成とする。
前記光路変換手段は、互いにほぼ直交しかつ前記接極子の揺動方向にほぼ平行な2つの反射面を有する透明体2個からなってもよい。
前記光路変換手段は、前記接極子上の前記2つの側片部に対向する両方の端部付近にそれぞれ設置されてもよい。
前記永久磁石の一方の磁極となる一端が前記コ字形磁心の中央付近の内側に位置して、他方の磁極となる一端が前記接極子の揺動運動の支点の付近になるように配置されてもよい。
前記永久磁石は、両端が同極の磁極となり、中央部が他の磁極となる複合的な永久磁石であり、前記コ字形磁心の両端の側片部間に嵌挿されてもよい。
前記永久磁石のN極またはS極のいずれかが、前記接極子に接触して固定され、前記接極子とともに揺動するようにしてもよい。
前記コ字形磁心および永久磁石を一体的に保持する固定側絶縁体基台と、前記接極子を保持する可動側絶縁体とを有し、前記固定側絶縁体基台の一体成形により前記コ字形磁心および永久磁石が固定され、かつ前記コ字形磁心の一部に前記永久磁石を接触させた状態を保持して固定されるとよい。
前記接極子における揺動運動に付勢力または減勢力を加えながら前記接極子を支持するヒンジばね部と、前記接極子における揺動運動に連動する可動ばね部とを備えるとよい。
本発明によれば、従来の電磁継電器の電磁駆動系構造と簡単な光学部品を組み合わせることにより従来のメカニカル方式の光スイッチに比べて信頼性が高く、また安価で小型の光スイッチを得ることができる。
次に、本発明の実施形態を図1〜図6に従って説明する。
図1は本発明による光スイッチの実施の形態1を示す斜視図であり、図1(a)、図1(b)はそれぞれ光路を切り替えたときの状態を示す。図1に於いて、1は電磁駆動系であり、揺動可能に支持された接極子2、および電磁駆動系1に含まれるコイルに電流を流すための電極端子4が設置されている。また上記接極子2の一方の端部の上面には入出射面321および互いに直交する2つの反射面322、323を持つ透明なガラス板3がそれらの反射面322、323が前記接極子2の揺動方向とほぼ平行になり、入出射面321への入射角がほぼ0となり、かつ揺動方向に垂直な面内での反射面322への光の入射角が45度程度となるように接着や半田固定などの方法により設置されている。ここでガラス板3の入出射面321には無反射コーティングが施されている。
そのガラス板3の入射側には入射側光ファイバ14を含む入射光学系が設置され、出射側には出射光ファイバ15、16を含む出射光学系が設置されている。入射側光ファイバ14からの出射光をガラス板3に導くためのレンズ17、ガラス板3を透過した光またはガラス板3の上方を通過した光をそれぞれ出射側光ファイバ15または16に導くためのレンズ18または19がそれぞれ設置されている。なお、電磁駆動系1および光ファイバ14、15、16やレンズ17、18、19は図1には省略されている1つの筐体に接着、半田、溶接などにより固定されている。
図2は上記図1の光スイッチに使用する電磁駆動系の構成例1の原理動作を示す図である。図2において、コイル9が巻回されたコ字形鉄心21の内側中央部に永久磁石22が配置され、両端の側片部21a、21bのそれぞれに揺動運動を行う接極子2の両端部がそれぞれ対向するように配置され、また永久磁石22の一端が前記接極子の揺動運動の支点となるように配置されている。
コイル9の無励磁状態を示す図2(a)では、永久磁石22より生じる磁束φ1によって接極子2が一方の側片部21b側に吸引されている。
コイル励磁状態を示す図2(b)においては、励磁によりコ字形鉄心21に生じる磁束φ0が磁束φ1を打ち消し、かつ接極子2の他側片部21aにおける磁束φ2に加算されるため、接極子2は支点Aを中心に揺動して他方(時計回り方向)に反転する。この状態では、コイル9の励磁を断っても図2(c)に示すように、磁束φ2によって接極子2は側片部21a側に吸引状態となる。
さらにこの状態を反転して図2(a)の状態に戻すにはコイルの電流方向を逆にすればよい。本電磁駆動系については特開昭63−301441号公報に詳細な原理、構造が記載されている。
次に、図1により本実施の形態の光スイッチの動作を説明する。図1(a)は接極子2のガラス板3が設置された側と反対側の端部がコ字形鉄心に吸着された状態を示し、図1(b)はガラス板3が設置された側が吸着された状態を示す。図1(a)において、入射側光ファイバ14を出射した光63はレンズ17によってコリメートされガラス板3に入出射面321より入射する。ガラス板3に入射した光は反射面322で反射されて進行し反射面322と直交する反射面323により再び反射され入射方向と平行シフトして逆方向に出射され出射光64となる。出射光64はレンズ18によって収束され出射側光ファイバ15に入射する。
次に電極端子4からコイルに電流が印加され接極子2が反対方向に倒れた図1(b)の状態では、ガラス板3が下側に移動し、入射側光ファイバ14から出射した光63はガラス板3の上方を通過し、出射側光ファイバ16にレンズ19を介して入射する。さらに元の図1(a)の状態に戻すには電極端子4に逆方向の電流を印加すればよい。
以上のように電極端子4への電流の印加により出力ポートを切り替えることができた。ここでガラス板3の形状、位置および光ビーム径は接極子2の移動距離(通常0.3〜0.6mm)を考慮し、図1(a)の状態では入射した光63のほとんどのエネルギーがガラス板3中を通過し、図1(b)の状態では光のほとんどのエネルギーがガラス板3の外側を通過するように設定されている。
本実施の形態において使用する図2の構造の電磁駆動系は従来の電磁継電器に使用されているものと同じ構造、原理であり、既に数年以上にわたり実用されており高い信頼性が確立されている。また安価な製造方法も確立されている。他に使用する光学系部品も従来の光デバイスに汎用されているものであり本実施の形態の光スイッチは安価に製造することができる。また、ガラス板を直接接極子上に固定しているので小型化が図れる。
なお、本発明の出願人が先に提出した特願2002−248012号の明細書の実施の形態には光路変換手段としてミラーを使用し、本発明と同様な電磁駆動系を使用した光スイッチが示されているが、このようなミラーを使用する場合は、光スイッチの繰り返し動作を行う場合、ミラーで反射されるように設定される各状態で電磁駆動系の接極子の角度が変動した場合にはミラーの反射光の出射角度が接極子の角度の2倍変動し、その結果、光ファイバの前に設置されたレンズヘの入射角が変動する。このレンズヘの入射角の変化は光ファイバ端面の収束点での位置変化に変換され、光ファイバヘの結合効率が変動し、その結果損失の変動をもたらす。すなわち電磁駆動系の変動、安定性の影響が現れやすい。一方、本実施の形態のようなガラス板を通過させて光ビームをシフトさせる場合は、接極子の角度が変動した場合は出射光の角度は変動せず、シフトする量が変化することになる。レンズヘの入射位置が変化しても入射方向が同じであれば光ファイバ端面の収束点は変化しないので光ファイバヘの結合効率の変化は小さい。すなわち本実施の形態は上述のミラーを使用する場合に比べて電磁駆動系の変動の影響が小さいという特長を有する。
図3(a)、図3(b)、図3(c)は、本発明に使用することができる電磁駆動系の構成例2の原理動作を示す図である。図3において、コイル29が巻回されたコ字形鉄心31の両端の側片部間に中央がN極、両端がS極となっている永久磁石32が嵌挿され、両端の側片部31a、31bのそれぞれに揺動運動を行う接極子30の両端部がそれぞれ対向するように配置されている。また、前記接極子30の中央には揺動運動の支点となる突起が設けられ、それが永久磁石32の中央に接するように配置されている。コイル29の無励磁状態を示す図3(a)では、永久磁石32より生じる磁束φ1によって接極子30が一方の側片部31b側に吸引されている。コイル励磁状態を示す図3(b)においては、励磁によりコ字形鉄心31に生じる磁束φ0が磁束φ1を打ち消し、かつ接極子30の他側片部31aにおける磁束φ2に加算されるため、接極子30は支点Aを中心に揺動して他方(時計方向)に反転する。この状態では、コイル29の励磁を断っても図3(c)に示すように、磁束φ2によって接極子30は側片部31a側に吸引状態となる。さらに、この状態を反転して図3(a)の状態に戻すにはコイルの電流方向を逆にすればよい。本電磁駆動系も従来の電磁継電器に使用されているものと同じ構造、原理であり、既に高い信頼性や安価な製造方法も確立されている。本電磁駆動系については特開2000−311568公報に詳細な原理、構造が記載されている。
ここで、図2、図3の電磁駆動系の構造としてコ字形鉄心および永久磁石を一体的に保持する固定側絶縁体基台と、前記接極子を保持する可動側絶縁体とを前記コ字形鉄心の一部に前記永久磁石を接触させた状態を保持して一体成形により形成することにより、永久磁石とコ字形鉄心を接着剤で固定する必要がなくなるため、接着剤の硬化に必要な待機時間が不要になるという利点が生じる。また、一体形成により工程の簡素化が図られ、コ字形鉄心、永久磁石、電気端子間の位置精度を向上させることができる。
また、電磁継電器で用いられているように前記接極子の揺動運動を支持するヒンジばねと前記接極子の揺動運動に連動する可動ばねを設けることにより揺動運動に対して付加的な力が与えられ、切り替え動作するのに必要な消費電力を小さくすることができる。また、可動ばねの端部を電気接点として用いることによる揺動運動の固定された状態をチェックでき、切り替え状態の把握や動作の安定化を図ることができる。
図4(a)、図4(b)、図4(c)は本発明に使用することができる電磁駆動系の構成例3の原理動作を示す図である。図4において、コイル39が巻回されたコ字形鉄心41の両端の側片部41a、41bのそれぞれに両端が対向するように揺動運動を行う接極子40が配置され、その内側中央部に接極子40側がN極、反対側がS極となる永久磁石42が設置されており、また永久磁石42の中央部が前記接極子の揺動運動の支点となるように配置されている。また、前記永久磁石42の下部中央には揺動運動の支点となる非磁性体の突起が設けられている。
コイル39の無励磁状態を示す図4(a)では、永久磁石42より生じる磁束φ1によって接極子40が一方の側片部41b側に吸引されている。コイル励磁状態を示す図4(b)においては、励磁によりコ字形鉄心41に生じる磁束φ0が磁束φ1を打ち消し、かつ接極子40の他側片部41aにおける磁束φ2に加算されるため、接極子40は支点Aを中心に揺動して他方(時計方向)に反転する。この状態では、コイル39の励磁を断っても図4(c)に示すように、磁束φ2によって接極子40は側片部41a側に吸引状態となる。さらにこの状態を反転して図4(a)の状態に戻すにはコイルの電流方向を逆にすればよい。本電磁駆動系も従来の電磁継電器に使用されているものと同じ構造、原理であり、既に高い信頼性や安価な製造方法も確立されている。
図5は、本発明による光スイッチの実施の形態2を示す斜視図である。図5において、71は電磁駆動系であり、揺動可能に支持された接極子72、および電磁駆動系71に含まれるコイルに電流を流すための電極端子44が設置されている。また、接極子72の一方の端部の上面には接極子72の揺動方向に平行でかつ互いに直交する反射面52および53を持つ実施の形態1のガラス板3と同様の形状のガラス板54と、接極子72の揺動方向に平行でかつ互いに直交する反射面55および56を持つ同じく実施の形態1のガラス板3と同様の形状のガラス板57とが互いに対称な向きに設置されている。
そのガラス板54および57のそれぞれの入射側には入射側光ファイバ74および75、出射側には出射側光ファイバ76および77がそれぞれ設置されている。入射側光ファイバ74および75からの出射光をそれぞれガラス板54および57の入出射面58および59にそれぞれ導くためのレンズ78および79、ガラス板54および57を透過した光をそれぞれ出射側光ファイバ76および77に導くためのレンズ80および81がそれぞれ設置されている。なお、電磁駆動系71および光ファイバ74、75、76、77やレンズ78、79、80、81は、図5では省略されている1つの筐体に接着、半田、溶接などにより固定されている。
図5は接極子72のガラス板54、57が設置された側と反対側の端部がコ字形鉄心に吸着された状態を示し、ガラス板54、57が設置された側が吸着された状態は省略されている。
図5において、入射側光ファイバ74を出射した光91はレンズ78によってコリメートされガラス板54に入出射面58より入射する。ガラス板54に入射した光は反射面52で反射されて進行し反射面52と直交する他の反射面53により再び反射され入射方向と平行シフトして逆方向に出射され出射光95となる。出射光95はレンズ80によって収束され出射側光ファイバ76に入射する。同様に入射側光ファイバ75を出射した光はレンズ79によってコリメートされガラス板57に入出射面59より入射する。ガラス板57に入射した光は反射面55で反射されて進行し反射面55と直交する他の反射面56により再び反射され入射方向と平行シフトして逆方向に出射され出射光96となる。出射光96はレンズ81によって収束され出射側光ファイバ77に入射する。
ここでガラス板54およびガラス板57の設置位置は、電極端子44からコイルに電流が印加され接極子72が反対方向に倒れた状態で、ガラス板54、57が下側に移動したとき、入射側光ファイバ74から出射した光がガラス板54、57の上方を通過し、出射光96の光路と一致するように設定される。
上記のように、本実施の形態においては、接極子72が図5の状態では光ファイバ74と76、光ファイバ75と77がそれぞれ結合され、接極子が反転したときには光ファイバ74と77が結合される擬似的な2×2スイッチの動作が可能となる。このような擬似的な2×2スイッチは光ネットワークにおいて、光アド/ドロップ装置の鍵となるデバイスである。すなわち、通常の状態では光ファイバ74の信号が光ファイバ77に直接伝送されており、信号の取り出しまたは入れ替えが必要なときには光スイッチを切り替えることにより光ファイバ74の信号が光ファイバ76に取り出され、同時に光ファイバ75の信号が光ファイバ77へ伝送される。
また、本実施の形態においては、光ファイバ74と光ファイバ77が結合される光スイッチ状態になったとき、光ファイバ75の入射光が洩れて光ファイバ76に直接結合するのを防ぐため、光ファイバ75と76を結ぶ光路中、例えばガラス板54または57上に光を遮蔽する物質を設置してもよい。
図6は、本発明による光スイッチの実施の形態3を示す斜視図である。図6において、101は電磁駆動系であり、揺動可能に支持された接極子82、および電磁駆動系101に含まれるコイルに電流を流すための電極端子46が設置されている。また、接極子82の両方の端部の上面には接極子82の揺動方向に平行でかつ互いに直交する2つの反射面を持つ実施の形態1のガラス板3と同様の形状のガラス板83およびが84が設置されている。このガラス板83および84の形状、光入射方向に対する角度は図1の実施の形態のガラス板3と同じに設定されている。
そのガラス板83の入射側には入射側光ファイバ85、出射側には出射光ファイバ86および87が設置され、ガラス板84の入射側には入射側光ファイバ88、出射側には出射光ファイバ89および90が設置されている。また、入射側光ファイバ85および88からの出射光をそれぞれガラス板83および84に導くためのレンズ102および105、ガラス板83を透過した光およびガラス板83の上方を通過した光をそれぞれ出射側光ファイバ86および87に導くためのレンズ103および104、ガラス板84を透過した光およびガラス板84の上方を通過した光をそれぞれ出射側光ファイバ89および90に導くためのレンズ106および107がそれぞれ設置されている。なお、電磁駆動系101および光ファイバ85、86、87、88、89、90やレンズ102、103、104、105、106、107は、図7では省略されている1つの筐体に接着、半田、溶接などにより固定されている。
図6は、接極子82のガラス板84が設置された側の端部がコ字形鉄心に吸着された状態を示し、ガラス板83が設置された側が吸着された状態は省略されている。図6において、入射側光ファイバ85を出射した光はレンズ102によってコリメートされてガラス板83に入射し、ガラス板83に入射した光は2つの反射面で反射され入射方向と平行シフトして逆方向に出射されレンズ103によって収束され出射側光ファイバ86に入射する。他方、入射側光ファイバ88を出射した光はレンズ105によってコリメートされガラス板84の上方を通過しレンズ107によって収束され出射側光ファイバ90に入射する。
また、接極子が反転したときには、入射側光ファイバ85を出射した光はレンズ102によってコリメートされガラス板83の上方を通過しレンズ104によって収束され出射側光ファイバ87に入射する。他方、入射側光ファイバ88を出射した光はレンズ105によってコリメートされてガラス板84に入射し、ガラス板84に入射した光は2つの反射面で反射され入射方向と平行シフトして逆方向に出射されレンズ106によって収束され出射側光ファイバ89に入射する。
上述のように、本実施の形態では2チャンネルの1×2光スイッチが実現された。独立の2個の光スイッチを使用する場合に比べ、低価格でかつ小型で実装面積の小さい2チャンネルの光スイッチが実現できる。
実施の形態1による光スイッチの斜視図。図1(a)および図1(b)はそれぞれ光路の切り替えられた状態を示す斜視図。 本発明に使用される電磁駆動系の構成例1を示す原理構成図。図2(a)はコイルによる励磁がない場合を示し、図2(b)はコイルによる励磁状態を示し、図2(c)はコイルによる励磁がない他の状態を示す図。 本発明に使用される電磁駆動系の構成例2を示す原理構成因。図3(a)はコイルによる励磁がない場合を示し、図3(b)はコイルによる励磁状態を示し、図3(c)はコイルによる励磁がない他の状態を示す図。 本発明に使用される電磁駆動系の構成例3を示す原理構成図。図4(a)はコイルによる励磁がない場合を示し、図4(b)はコイルによる励磁状態を示し、図4(c)はコイルによる励磁がない他の状態を示す図。 実施の形態2による光スイッチの斜視図。 実施の形態3による光スイッチの斜視図。
符号の説明
1,71,101 電磁駆動系
2,30,40,72,82 接極子
3,54,57,83,84 ガラス板
9,29,39 コイル
14,74,75,85,88 入射側光ファイバ
15,16,76,77,86,87,89,90 出射側光ファイバ
17,18,19,78,79,80,81,102,103,104,105,106,107 レンズ
21,31,41 コ字形鉄心
21a,21b,31a,31b,41a,41b 側片部
22,32,42 永久磁石
43 非磁性体の突起
4,44,46 電極端子
52,53,55,56,322,323 反射面
58,59,321 入出射面
63,91 光
64,95,96 出射光
A 支点
φ0,φ1,φ2 磁束

Claims (8)

  1. 2つの側片部を有しコイルが巻回されたコ字形磁心、前記側片部の各々に対向可能でかつ揺動可能に支持された軟磁性の接極子、および前記接極子の付近に配置された永久磁石からなる電磁駆動系と、前記接極子上の前記側片部に対向する端部付近に直接固定された少なくとも1つの光路変換手段と、前記光路変換手段に光を入射するための入射側光ファイバを含む入射側光学系と、前記光路変換手段により光路変換された光が結合される出射側光ファイバを含む出射側光学系とを備える光スイッチにおいて、前記接極子における揺動運動は前記コ字形磁心の各側片部と前記接極子との間の磁気的吸引力により駆動され前記接極子の中央部付近を支点とする往復的な回転運動による揺動運動であり、前記光路変換手段は互いにほぼ直交しかつ前記接極子の揺動方向にほぼ平行な2つの反射面を有する透明体からなり、前記入射側光ファイバと前記出射側光ファイバの少なくとも一方は複数個であることを特徴とする光スイッチ。
  2. 前記光路変換手段は、互いにほぼ直交しかつ前記接極子の揺動方向にほぼ平行な2つの反射面を有する透明体2個からなることを特徴とする請求項1記載の光スイッチ。
  3. 前記光路変換手段は、前記接極子上の前記2つの側片部に対向する両方の端部付近にそれぞれ設置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光スイッチ。
  4. 前記永久磁石の一方の磁極となる一端が前記コ字形磁心の中央付近の内側に位置して、他方の磁極となる一端が前記接極子の揺動運動の支点の付近になるように配置されたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の光スイッチ。
  5. 前記永久磁石は、両端が同極の磁極となり、中央部が他の磁極となる複合的な永久磁石であり、前記コ字形磁心の両端の側片部間に嵌挿されたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の光スイッチ。
  6. 前記永久磁石のN極またはS極のいずれかが、前記接極子に接触して固定され、前記接極子とともに揺動することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の光スイッチ。
  7. 前記コ字形磁心および永久磁石を一体的に保持する固定側絶縁体基台と、前記接極子を保持する可動側絶縁体とを有し、前記固定側絶縁体基台の一体成形により前記コ字形磁心および永久磁石が固定され、かつ前記コ字形磁心の一部に前記永久磁石を接触させた状態を保持して固定されたことを特徴とする請求項4または5に記載の光スイッチ。
  8. 前記接極子における揺動運動に付勢力または減勢力を加えながら前記接極子を支持するヒンジばね部と、前記接極子における揺動運動に連動する可動ばね部とを備えたことを特徴とする請求項4ないし7のいずれかに記載の光スイッチ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN115524843A (zh) * 2022-10-20 2022-12-27 中国科学院光电技术研究所 一种基于电磁驱动的微开关阵列及其制作方法

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