JPH1036134A - アルミナ封着用紫外線透過ガラス - Google Patents
アルミナ封着用紫外線透過ガラスInfo
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- JPH1036134A JPH1036134A JP21191896A JP21191896A JPH1036134A JP H1036134 A JPH1036134 A JP H1036134A JP 21191896 A JP21191896 A JP 21191896A JP 21191896 A JP21191896 A JP 21191896A JP H1036134 A JPH1036134 A JP H1036134A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C4/00—Compositions for glass with special properties
- C03C4/0085—Compositions for glass with special properties for UV-transmitting glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
- C03C3/093—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium containing zinc or zirconium
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＥＰ−ＲＯＭの窓用カバーガラスに求められ
る諸特性を満足し、特に優れた耐候性を有するアルミナ
封着用紫外線透過ガラスを提供する。 【解決手段】 重量百分率でＳｉＯ2 ５０〜７０％、
Ａｌ2 Ｏ3 １〜１０％、Ｂ2 Ｏ3 １５〜２５％、Ｌｉ
2 Ｏ＋Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ５〜１５％、ＭｇＯ＋ＣａＯ
＋ＳｒＯ＋ＺｎＯ ０〜５％、ＺｒＯ2 ０．０５〜２
％、Ｆ2 ０〜２の組成を有し、Ｆｅ2 Ｏ3 の量が５０ｐ
ｐｍ以下、Ｕ、Ｔｈの量が各々５０ｐｐｂ以下であるこ
とを特徴とする。
る諸特性を満足し、特に優れた耐候性を有するアルミナ
封着用紫外線透過ガラスを提供する。 【解決手段】 重量百分率でＳｉＯ2 ５０〜７０％、
Ａｌ2 Ｏ3 １〜１０％、Ｂ2 Ｏ3 １５〜２５％、Ｌｉ
2 Ｏ＋Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ５〜１５％、ＭｇＯ＋ＣａＯ
＋ＳｒＯ＋ＺｎＯ ０〜５％、ＺｒＯ2 ０．０５〜２
％、Ｆ2 ０〜２の組成を有し、Ｆｅ2 Ｏ3 の量が５０ｐ
ｐｍ以下、Ｕ、Ｔｈの量が各々５０ｐｐｂ以下であるこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は紫外線透過率の高いアル
ミナ封着用ガラス組成物に関し、特にＥＰ−ＲＯＭ用ア
ルミナセラミックパッケ−ジのガラス窓として用いられ
るアルミナ封着用紫外線透過ガラスに関するものであ
る。
ミナ封着用ガラス組成物に関し、特にＥＰ−ＲＯＭ用ア
ルミナセラミックパッケ−ジのガラス窓として用いられ
るアルミナ封着用紫外線透過ガラスに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】ＥＰ−ＲＯＭは、紫外線照射によってプ
ログラムのメモリーの消去が可能な読み出し専用記憶半
導体のことであり、アルミナパッケージ内に半導体素子
が収納され、またパッケージの蓋部には素子と対向する
位置に紫外線を透過するガラス窓が設けられている。
ログラムのメモリーの消去が可能な読み出し専用記憶半
導体のことであり、アルミナパッケージ内に半導体素子
が収納され、またパッケージの蓋部には素子と対向する
位置に紫外線を透過するガラス窓が設けられている。
【０００３】ガラス窓に用いられるカバーガラスには、
紫外線、特に２５３．７ｎｍの波長における紫外線の透
過率が高いこと、アルミナパッケージと直接封着させて
パッケージの一部を構成するためアルミナと適合する５
０〜５８×１０-7／℃の平均線膨張係数を有すること、
ガラス表面が経時変化しないように高い耐候性を有する
こと等の特性が要求される。また、近年では半導体素子
がソフトエラーを起こさないようにα線放射量が極めて
少ないという特性も重要視されている。
紫外線、特に２５３．７ｎｍの波長における紫外線の透
過率が高いこと、アルミナパッケージと直接封着させて
パッケージの一部を構成するためアルミナと適合する５
０〜５８×１０-7／℃の平均線膨張係数を有すること、
ガラス表面が経時変化しないように高い耐候性を有する
こと等の特性が要求される。また、近年では半導体素子
がソフトエラーを起こさないようにα線放射量が極めて
少ないという特性も重要視されている。
【０００４】従来、この種のカバーガラスの材質として
は硼珪酸ガラスや無アルカリガラスが使用されている。
例えば特公平１−１４１９５号には、ＳｉＯ2 −Ａｌ2
Ｏ3−Ｂ2 Ｏ3 −Ｒ2 Ｏ（Ｒ2 ＯはＮａ2 、Ｋ2 Ｏ、Ｌ
ｉ2 Ｏから選ばれる１種以上）系の組成を有するアルミ
ナ封着用紫外線透過ガラスが開示されている。
は硼珪酸ガラスや無アルカリガラスが使用されている。
例えば特公平１−１４１９５号には、ＳｉＯ2 −Ａｌ2
Ｏ3−Ｂ2 Ｏ3 −Ｒ2 Ｏ（Ｒ2 ＯはＮａ2 、Ｋ2 Ｏ、Ｌ
ｉ2 Ｏから選ばれる１種以上）系の組成を有するアルミ
ナ封着用紫外線透過ガラスが開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが特公平１−１
４１９５号に開示されたアルミナ封着用紫外線透過ガラ
スは、耐候性がやや不十分である。ガラスの耐候性が悪
いと、長期に渡って使用している間に、ガラス表面から
アルカリ金属やアルカリ土類金属の結晶が析出したり、
母材ガラスに比べ表面層のガラスがＳｉＯ2 リッチの異
質な層を形成したりし、その結果クラックが発生し外観
上の欠陥を生じるばかりでなく、このことによって透明
性が損なわれ、紫外線透過率の低下を引き起こし、ＥＰ
−ＲＯＭの消去性低下という重大な問題を発生させる可
能性がある。
４１９５号に開示されたアルミナ封着用紫外線透過ガラ
スは、耐候性がやや不十分である。ガラスの耐候性が悪
いと、長期に渡って使用している間に、ガラス表面から
アルカリ金属やアルカリ土類金属の結晶が析出したり、
母材ガラスに比べ表面層のガラスがＳｉＯ2 リッチの異
質な層を形成したりし、その結果クラックが発生し外観
上の欠陥を生じるばかりでなく、このことによって透明
性が損なわれ、紫外線透過率の低下を引き起こし、ＥＰ
−ＲＯＭの消去性低下という重大な問題を発生させる可
能性がある。
【０００６】本発明の目的は、ＥＰ−ＲＯＭの窓用カバ
ーガラスに求められる諸特性を満足し、特に優れた耐候
性を有するアルミナ封着用紫外線透過ガラスを提供する
ことである。
ーガラスに求められる諸特性を満足し、特に優れた耐候
性を有するアルミナ封着用紫外線透過ガラスを提供する
ことである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のアルミナ封着用
紫外線透過ガラスは、重量百分率でＳｉＯ2 ５０〜７０
％、Ａｌ2 Ｏ3 １〜１０％、Ｂ2 Ｏ3 １５〜２５％、
Ｌｉ2 Ｏ＋Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ５〜１５％、ＭｇＯ＋Ｃ
ａＯ＋ＳｒＯ＋ＺｎＯ ０〜５％、ＺｒＯ2０．０５〜
２％、Ｆ2 ０〜２の組成を有し、Ｆｅ2 Ｏ3 の量が５０
ｐｐｍ以下、Ｕ、Ｔｈの量が各々５０ｐｐｂ以下である
ことを特徴とする。
紫外線透過ガラスは、重量百分率でＳｉＯ2 ５０〜７０
％、Ａｌ2 Ｏ3 １〜１０％、Ｂ2 Ｏ3 １５〜２５％、
Ｌｉ2 Ｏ＋Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ５〜１５％、ＭｇＯ＋Ｃ
ａＯ＋ＳｒＯ＋ＺｎＯ ０〜５％、ＺｒＯ2０．０５〜
２％、Ｆ2 ０〜２の組成を有し、Ｆｅ2 Ｏ3 の量が５０
ｐｐｍ以下、Ｕ、Ｔｈの量が各々５０ｐｐｂ以下である
ことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明のアルミナ封着用紫外線透過ガラスは、
ガラスにＺｒＯ2 を所定量含有させることにより、ＥＰ
−ＲＯＭの窓用カバーガラスとして要求される諸特性を
損なうことなく、耐候性を著しく向上させることができ
る。
ガラスにＺｒＯ2 を所定量含有させることにより、ＥＰ
−ＲＯＭの窓用カバーガラスとして要求される諸特性を
損なうことなく、耐候性を著しく向上させることができ
る。
【０００９】また、ガラスのα線放射量が０．０５ｃ／
ｃｍ2 ・ｈｒを越える場合、α線がパッケージ内の半導
体素子に入射して半導体に瞬間的な誤動作を引き起こす
所謂ソフトエラーと呼ばれる現象を引き起こし易いが、
本発明のガラスは、α線発生の主因である不純物Ｕ、Ｔ
ｈの量を各々５０ｐｐｂ以下に抑えることにより、α線
放射量を０．０５ｃ／ｃｍ2 ・ｈｒにし、ソフトエラー
の発生率を極めて低くすることができる。
ｃｍ2 ・ｈｒを越える場合、α線がパッケージ内の半導
体素子に入射して半導体に瞬間的な誤動作を引き起こす
所謂ソフトエラーと呼ばれる現象を引き起こし易いが、
本発明のガラスは、α線発生の主因である不純物Ｕ、Ｔ
ｈの量を各々５０ｐｐｂ以下に抑えることにより、α線
放射量を０．０５ｃ／ｃｍ2 ・ｈｒにし、ソフトエラー
の発生率を極めて低くすることができる。
【００１０】さらにアルミナ封着用紫外線透過ガラスに
おいては、紫外線の透過率が高いことが重要であり、特
に波長２５３．７ｎｍの波長の紫外線の透過率が厚さ１
ｍｍにおいて６０％以上であることが望ましい。ところ
で従来より、ガラスに不純物として混入する鉄分がガラ
スの紫外線吸収を増大させることが知られている。これ
は、Ｆｅ3+が紫外に大きな吸収を持つためである。従っ
てガラスの紫外線吸収を減少させて透過率を増大させる
ためには、不純物である鉄分を減少させるとともに、ガ
ラスを還元状態ににしてＦｅ3+をＦｅ2+にすることが有
効である。ガラスを還元状態にするには、ガラスバッチ
中に還元剤を加えれば良い。還元剤としては、カ−ボン
粉末、金属シリコン、金属アルミニウム、酒石酸、ロッ
セル塩、ショ糖等を用いることができる。但し不純物で
ある鉄分が、Ｆｅ2 Ｏ3 として５０ｐｐｍを超えるとガ
ラスを還元状態にしても十分に高い透過率を得ることが
困難になる。従ってＦｅ2 Ｏ3 の混入量は５０ｐｐｍに
制限する必要がある。
おいては、紫外線の透過率が高いことが重要であり、特
に波長２５３．７ｎｍの波長の紫外線の透過率が厚さ１
ｍｍにおいて６０％以上であることが望ましい。ところ
で従来より、ガラスに不純物として混入する鉄分がガラ
スの紫外線吸収を増大させることが知られている。これ
は、Ｆｅ3+が紫外に大きな吸収を持つためである。従っ
てガラスの紫外線吸収を減少させて透過率を増大させる
ためには、不純物である鉄分を減少させるとともに、ガ
ラスを還元状態ににしてＦｅ3+をＦｅ2+にすることが有
効である。ガラスを還元状態にするには、ガラスバッチ
中に還元剤を加えれば良い。還元剤としては、カ−ボン
粉末、金属シリコン、金属アルミニウム、酒石酸、ロッ
セル塩、ショ糖等を用いることができる。但し不純物で
ある鉄分が、Ｆｅ2 Ｏ3 として５０ｐｐｍを超えるとガ
ラスを還元状態にしても十分に高い透過率を得ることが
困難になる。従ってＦｅ2 Ｏ3 の混入量は５０ｐｐｍに
制限する必要がある。
【００１１】更に、ガラスの紫外線の吸収は、Ｆｅ3+の
吸収のみで生じるのではなく、ガラス成分によっても影
響を受ける。一般にガラス成分としてアルカリ金属酸化
物やアルカリ土類金属酸化物を加えると紫外域に吸収が
生じる。例えば、ガラスがアルミナの封着に適する５０
〜５８×１０-7／℃の平均線膨張係数をもつようにする
には、アルカリ金属酸化物やアルカリ土類金属酸化物を
合量で５〜１７％重量％程度含有させればよいが、これ
らの成分をこのように多量に加えると紫外線吸収が増大
する。その結果、鉄分を５０ｐｐｍ以下に抑え、かつ、
還元剤を加えて溶融しても、十分な紫外線透過率を有す
るガラスを得ることは難しい。ところが、本発明では、
Ａｌ2 Ｏ3 及びＢ2 Ｏ3 を所定量含有するため、このよ
うな紫外線吸収が起こり難く、高い紫外線透過率を維持
することが可能である。
吸収のみで生じるのではなく、ガラス成分によっても影
響を受ける。一般にガラス成分としてアルカリ金属酸化
物やアルカリ土類金属酸化物を加えると紫外域に吸収が
生じる。例えば、ガラスがアルミナの封着に適する５０
〜５８×１０-7／℃の平均線膨張係数をもつようにする
には、アルカリ金属酸化物やアルカリ土類金属酸化物を
合量で５〜１７％重量％程度含有させればよいが、これ
らの成分をこのように多量に加えると紫外線吸収が増大
する。その結果、鉄分を５０ｐｐｍ以下に抑え、かつ、
還元剤を加えて溶融しても、十分な紫外線透過率を有す
るガラスを得ることは難しい。ところが、本発明では、
Ａｌ2 Ｏ3 及びＢ2 Ｏ3 を所定量含有するため、このよ
うな紫外線吸収が起こり難く、高い紫外線透過率を維持
することが可能である。
【００１２】次に、本発明のアルミナ封着用紫外線透過
ガラスの組成を上記のように限定した理由を述べる。
ガラスの組成を上記のように限定した理由を述べる。
【００１３】ＳｉＯ2 はガラスの耐候性を向上させる作
用を有し、その含有量は５０〜７０％、好ましくは５５
〜６５％である。ＳｉＯ2 が５０％より少ないと耐候性
が悪化し、また紫外線透過率が減少する。一方、７０％
より多いとガラスの溶融、成形が困難になる。
用を有し、その含有量は５０〜７０％、好ましくは５５
〜６５％である。ＳｉＯ2 が５０％より少ないと耐候性
が悪化し、また紫外線透過率が減少する。一方、７０％
より多いとガラスの溶融、成形が困難になる。
【００１４】Ａｌ2 Ｏ3 もガラスの耐候性を向上させる
成分であり、その含有量は１〜１０％、好ましくは３〜
８％である。アルミナが１％より少ないと耐候性が悪化
し、長期に渡って使用している間に、ガラス表面からア
ルカリ金属やアルカリ土類金属の結晶が析出して透明性
が損なわれるという問題が発生する。一方、１０％より
多いときはガラスの溶融及び成形が困難になる。
成分であり、その含有量は１〜１０％、好ましくは３〜
８％である。アルミナが１％より少ないと耐候性が悪化
し、長期に渡って使用している間に、ガラス表面からア
ルカリ金属やアルカリ土類金属の結晶が析出して透明性
が損なわれるという問題が発生する。一方、１０％より
多いときはガラスの溶融及び成形が困難になる。
【００１５】Ｂ2 Ｏ3 はガラスの溶解性を向上させる成
分であり、その含有量は１５〜２５％、好ましくは１８
〜２３％である。Ｂ2 Ｏ3 が１５％より少ないと紫外線
透過率が低下すると共に溶解性が悪くなり、２５％より
多いと耐候性が悪化する。
分であり、その含有量は１５〜２５％、好ましくは１８
〜２３％である。Ｂ2 Ｏ3 が１５％より少ないと紫外線
透過率が低下すると共に溶解性が悪くなり、２５％より
多いと耐候性が悪化する。
【００１６】Ｎａ2 Ｏ、Ｋ2 Ｏ及びＬｉ2 Ｏは平均線膨
張係数を調整すると共にガラスの溶解性を向上させる成
分であり、その含有量は合量で５〜１５％、好ましくは
７〜１２％含有する。これら成分の合量がが５％より少
ないと膨張係数が小さくなり過ぎ、また溶解性が悪化す
る。一方１５％より多いと平均線膨張係数が大きくなり
過ぎると共に紫外線透過率が減少する。
張係数を調整すると共にガラスの溶解性を向上させる成
分であり、その含有量は合量で５〜１５％、好ましくは
７〜１２％含有する。これら成分の合量がが５％より少
ないと膨張係数が小さくなり過ぎ、また溶解性が悪化す
る。一方１５％より多いと平均線膨張係数が大きくなり
過ぎると共に紫外線透過率が減少する。
【００１７】ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＺｎＯはガラ
スの溶解性を向上させる効果があり、その含有量は合量
で０〜５％、好ましくは０〜２％添加する。しかしこれ
ら成分の合量が５％より多いと紫外線透過率が減少す
る。
スの溶解性を向上させる効果があり、その含有量は合量
で０〜５％、好ましくは０〜２％添加する。しかしこれ
ら成分の合量が５％より多いと紫外線透過率が減少す
る。
【００１８】ＺｒＯ2 はガラスの耐候性を特に向上させ
る成分であり、その含有量は０．０５〜２％、好ましく
は、０．１〜１％である。ＺｒＯ2 が、０．０５％より
少ないと耐候性を向上させる効果が殆どない。一方２％
より多いときはガラスの溶融及び成形が困難になるとと
もにα線放射量が高くなる。
る成分であり、その含有量は０．０５〜２％、好ましく
は、０．１〜１％である。ＺｒＯ2 が、０．０５％より
少ないと耐候性を向上させる効果が殆どない。一方２％
より多いときはガラスの溶融及び成形が困難になるとと
もにα線放射量が高くなる。
【００１９】Ｆ2 はガラスの溶解性及び泡切れに効果が
あるが、２％より多いとガラスが乳濁化し、またフッ素
の揮発量が増大して環境上好ましくない。
あるが、２％より多いとガラスが乳濁化し、またフッ素
の揮発量が増大して環境上好ましくない。
【００２０】以上の組成を有するガラスは、耐候性が高
いとともに、３０〜３８０℃における平均線膨張係数が
５０〜５８×１０-7／℃であり、アルミナパッケージと
適合した膨張特性を示す。
いとともに、３０〜３８０℃における平均線膨張係数が
５０〜５８×１０-7／℃であり、アルミナパッケージと
適合した膨張特性を示す。
【００２１】次に本発明のアルミナ封着用透過ガラスを
製造する方法を説明する。
製造する方法を説明する。
【００２２】先ず重量百分率でＳｉＯ2 ５０〜７０
％、Ａｌ2 Ｏ3 １〜１０％、Ｂ2 Ｏ3 １５〜２５％、
Ｌｉ2 Ｏ＋Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ５〜１５％、ＭｇＯ＋Ｃ
ａＯ＋ＳｒＯ＋ＺｎＯ ０〜５％、ＺｒＯ2 ０．０５
〜２％、Ｆ2 ０〜２の組成を有するガラスとなるように
ガラスバッチを調合する。なお、ガラスのα線発生の主
因は、ガラス原料に不純物として含まれるＵ、Ｔｈ等の
放射性元素であるため、高純度に精製され、これらの不
純物を極力取り除いた原料を選定し、Ｕ、Ｔｈの量を各
々５０ｐｐｂ以下に制限することにより、α線放射量を
０．０５０ｃ／ｃｍ2 ・ｈｒ以下に抑えることができ
る。同様にガラスバッチに混入するＦｅ2 Ｏ3 を５０ｐ
ｐｍ以下に制限することにより、高い紫外線透過率が達
成できる。さらにガラスバッチ中に、カーボン粉末、金
属シリコン、金属アルミニウム、酒石酸、ロッセル塩、
ショ糖等の還元剤を０．０１〜０．２０重量％程度添加
することが好ましい。これはガラス中の鉄分を紫外域の
吸収が小さいＦｅ2+の状態で存在させるためである。
％、Ａｌ2 Ｏ3 １〜１０％、Ｂ2 Ｏ3 １５〜２５％、
Ｌｉ2 Ｏ＋Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ５〜１５％、ＭｇＯ＋Ｃ
ａＯ＋ＳｒＯ＋ＺｎＯ ０〜５％、ＺｒＯ2 ０．０５
〜２％、Ｆ2 ０〜２の組成を有するガラスとなるように
ガラスバッチを調合する。なお、ガラスのα線発生の主
因は、ガラス原料に不純物として含まれるＵ、Ｔｈ等の
放射性元素であるため、高純度に精製され、これらの不
純物を極力取り除いた原料を選定し、Ｕ、Ｔｈの量を各
々５０ｐｐｂ以下に制限することにより、α線放射量を
０．０５０ｃ／ｃｍ2 ・ｈｒ以下に抑えることができ
る。同様にガラスバッチに混入するＦｅ2 Ｏ3 を５０ｐ
ｐｍ以下に制限することにより、高い紫外線透過率が達
成できる。さらにガラスバッチ中に、カーボン粉末、金
属シリコン、金属アルミニウム、酒石酸、ロッセル塩、
ショ糖等の還元剤を０．０１〜０．２０重量％程度添加
することが好ましい。これはガラス中の鉄分を紫外域の
吸収が小さいＦｅ2+の状態で存在させるためである。
【００２３】次いでガラスバッチを溶融する。ここで、
ガラスバッチや溶融ガラスが直接接触する部分にはＵ、
Ｔｈを多く含有するジルコニア原料を主に用いたＺｒＯ
2 耐火物の使用を避け、Ｕ、Ｔｈの量が各々５０ｐｐｍ
以下である耐火物、例えば、石英ガラス、アルミナ、白
金等で作製したガラス溶融装置を使用すると、工程中か
らの不純物混入を回避でき、一層、α線放射量を低減さ
せることができる。なお、白金を用いた場合、微小な白
金粒子がガラス中に混入することがあるが、これが問題
となる用途については、ガラス化を白金以外の耐火物か
らなる溶融装置で行い、均質化を白金からなるガラス溶
融装置で行えば良い。
ガラスバッチや溶融ガラスが直接接触する部分にはＵ、
Ｔｈを多く含有するジルコニア原料を主に用いたＺｒＯ
2 耐火物の使用を避け、Ｕ、Ｔｈの量が各々５０ｐｐｍ
以下である耐火物、例えば、石英ガラス、アルミナ、白
金等で作製したガラス溶融装置を使用すると、工程中か
らの不純物混入を回避でき、一層、α線放射量を低減さ
せることができる。なお、白金を用いた場合、微小な白
金粒子がガラス中に混入することがあるが、これが問題
となる用途については、ガラス化を白金以外の耐火物か
らなる溶融装置で行い、均質化を白金からなるガラス溶
融装置で行えば良い。
【００２４】その後、溶融ガラスを所望の形状に成形す
ることによって、本発明のアルミナ封着用紫外線透過ガ
ラスを得る。
ることによって、本発明のアルミナ封着用紫外線透過ガ
ラスを得る。
【００２５】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
【００２６】表１〜３は本発明の実施例（試料Ｎｏ．１
〜１３）及び比較例（Ｎｏ．１４）を示している。
〜１３）及び比較例（Ｎｏ．１４）を示している。
【００２７】
【表１】
【００２８】
【表２】
【００２９】
【表３】
【００３０】試料Ｎｏ．１〜１４は次のようにして作製
した。まず、表の組成になるように高純度に精製された
ガラス原料を用いてガラスバッチを調合し、さらに還元
剤として金属シリコンを０．１重量％添加した。次にガ
ラスバッチをＵ、Ｔｈの量が各々５０ｐｐｍ以下の白金
製坩堝に入れ、１５００℃で４時間溶融した。その後、
溶融ガラスをカーボン板上に流し出して板状試料を得
た。
した。まず、表の組成になるように高純度に精製された
ガラス原料を用いてガラスバッチを調合し、さらに還元
剤として金属シリコンを０．１重量％添加した。次にガ
ラスバッチをＵ、Ｔｈの量が各々５０ｐｐｍ以下の白金
製坩堝に入れ、１５００℃で４時間溶融した。その後、
溶融ガラスをカーボン板上に流し出して板状試料を得
た。
【００３１】得られた試料について、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｕ及
びＴｈの含有量、２５３．７ｎｍの波長における紫外線
透過率、３０〜３８０℃における平均線膨張係数、アル
カリ溶出量、α線放射量について評価した。結果を各表
に示す。
びＴｈの含有量、２５３．７ｎｍの波長における紫外線
透過率、３０〜３８０℃における平均線膨張係数、アル
カリ溶出量、α線放射量について評価した。結果を各表
に示す。
【００３２】表から明らかなように、本発明の実施例で
ある試料Ｎｏ．１〜１３は、Ｆｅ2Ｏ3 が４４ｐｐｍ
以下、Ｕ及びＴｈがともに４０ｐｐｂ以下、２５３．７
ｎｍの波長の紫外線透過率が７７％以上、平均線膨張係
数が５０〜５８×１０-7／℃、アルカリ溶出量が０．４
５ｍｇ以下、α線放射量が０．０４７０ｃ／ｃｍ2 ・ｈ
ｒ以下であった。
ある試料Ｎｏ．１〜１３は、Ｆｅ2Ｏ3 が４４ｐｐｍ
以下、Ｕ及びＴｈがともに４０ｐｐｂ以下、２５３．７
ｎｍの波長の紫外線透過率が７７％以上、平均線膨張係
数が５０〜５８×１０-7／℃、アルカリ溶出量が０．４
５ｍｇ以下、α線放射量が０．０４７０ｃ／ｃｍ2 ・ｈ
ｒ以下であった。
【００３３】一方、比較例である試料Ｎｏ．１４は、Ｆ
ｅ2 Ｏ3 が２９ｐｐｍ以下、Ｕ及びＴｈが、２５ｐｐｂ
及び２０ｐｐｂ、２５３．７ｎｍの波長の紫外線透過率
が７７％、平均線膨張係数が５７×１０-7／℃、α線放
射量が０．０２４０ｃ／ｃｍ2 ・ｈｒであり、実施例と
同等であったが、ＺｒＯ2 を含有していないためにアル
カリ溶出量が１．７０ｍｇと多く、耐候性が悪いことが
明らかである。
ｅ2 Ｏ3 が２９ｐｐｍ以下、Ｕ及びＴｈが、２５ｐｐｂ
及び２０ｐｐｂ、２５３．７ｎｍの波長の紫外線透過率
が７７％、平均線膨張係数が５７×１０-7／℃、α線放
射量が０．０２４０ｃ／ｃｍ2 ・ｈｒであり、実施例と
同等であったが、ＺｒＯ2 を含有していないためにアル
カリ溶出量が１．７０ｍｇと多く、耐候性が悪いことが
明らかである。
【００３４】なおＦｅ2 Ｏ3 の含有量はＩＣＰ−発光分
析法によって、またＵ、Ｔｈの含有量はＩＣＰ−質量分
析法によって測定した。紫外線透過率は板状試料から小
片を切り出し、酸化セリウムによって鏡面研磨して１ｍ
ｍの肉厚にした後、２５３．７ｎｍにおける透過率を分
光光度計で測定して求めた。平均線膨張係数は、板状試
料から小片を切り出し、火炎加工により長さ５０ｍｍ×
径３．５ｍｍの棒状サンプルを作成し、石英管式膨張計
を用いて３０〜３８０℃における平均値を求めた。アル
カリ溶出量は、ＪＩＳ Ｒ−３５０２に基づくアルカリ
溶出試験によって測定した値であり、耐候性を判断する
ために行った。即ち、ガラス表面の劣化は空気中の水分
の作用によってガラス中のアルカリが表面に析出し、炭
酸塩や水酸化物などの反応生成物を形成することによっ
て進むものであるため、アルカリ溶出試験でアルカリ溶
出量が多いガラスほど耐候性に劣り、逆にアルカリ溶出
量が少ないガラスほど耐候性に優れていると判断でき
る。α線放射量の測定は、板状試料の一部を粉末にし、
ガスフロー比例係数管測定装置を用いて求めた。
析法によって、またＵ、Ｔｈの含有量はＩＣＰ−質量分
析法によって測定した。紫外線透過率は板状試料から小
片を切り出し、酸化セリウムによって鏡面研磨して１ｍ
ｍの肉厚にした後、２５３．７ｎｍにおける透過率を分
光光度計で測定して求めた。平均線膨張係数は、板状試
料から小片を切り出し、火炎加工により長さ５０ｍｍ×
径３．５ｍｍの棒状サンプルを作成し、石英管式膨張計
を用いて３０〜３８０℃における平均値を求めた。アル
カリ溶出量は、ＪＩＳ Ｒ−３５０２に基づくアルカリ
溶出試験によって測定した値であり、耐候性を判断する
ために行った。即ち、ガラス表面の劣化は空気中の水分
の作用によってガラス中のアルカリが表面に析出し、炭
酸塩や水酸化物などの反応生成物を形成することによっ
て進むものであるため、アルカリ溶出試験でアルカリ溶
出量が多いガラスほど耐候性に劣り、逆にアルカリ溶出
量が少ないガラスほど耐候性に優れていると判断でき
る。α線放射量の測定は、板状試料の一部を粉末にし、
ガスフロー比例係数管測定装置を用いて求めた。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のアルミナ
封着用紫外線透過ガラスは、紫外線透過率が高く、アル
ミナの封着に適した５０〜５８×１０-7／℃の平均線膨
張係数を示す。またα線放射量が少なく、しかも耐候性
が高いため、ＥＰ−ＲＯＭの窓用カバーガラスとして好
適である。
封着用紫外線透過ガラスは、紫外線透過率が高く、アル
ミナの封着に適した５０〜５８×１０-7／℃の平均線膨
張係数を示す。またα線放射量が少なく、しかも耐候性
が高いため、ＥＰ−ＲＯＭの窓用カバーガラスとして好
適である。
Claims (1)
- 【請求項１】 重量百分率でＳｉＯ2 ５０〜７０％、
Ａｌ2 Ｏ3 １〜１０％、Ｂ2 Ｏ3 １５〜２５％、Ｌ
ｉ2 Ｏ＋Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ５〜１５％、ＭｇＯ＋Ｃａ
Ｏ＋ＳｒＯ＋ＺｎＯ ０〜５％、ＺｒＯ2 ０．０５〜
２％、Ｆ2 ０〜２の組成を有し、Ｆｅ2 Ｏ3 の量が５０
ｐｐｍ以下、Ｕ、Ｔｈの量が各々５０ｐｐｂ以下である
ことを特徴とするアルミナ封着用紫外線透過ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21191896A JPH1036134A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | アルミナ封着用紫外線透過ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21191896A JPH1036134A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | アルミナ封着用紫外線透過ガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1036134A true JPH1036134A (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=16613827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21191896A Pending JPH1036134A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | アルミナ封着用紫外線透過ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1036134A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011032162A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Schott Ag | 低減されたホウ素含有量を有する高紫外線透過性ホウケイ酸ガラス |
| JP2015193521A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-11-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
| WO2017057375A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 旭硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
| US20180057393A1 (en) * | 2015-05-29 | 2018-03-01 | Asahi Glass Company, Limited | Ultraviolet transmitting glass |
| JP2019147722A (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
-
1996
- 1996-07-22 JP JP21191896A patent/JPH1036134A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011032162A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Schott Ag | 低減されたホウ素含有量を有する高紫外線透過性ホウケイ酸ガラス |
| JP2015193521A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-11-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
| JP2018131384A (ja) * | 2014-03-19 | 2018-08-23 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラスの製造方法 |
| JP2018197190A (ja) * | 2014-03-19 | 2018-12-13 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
| US20180057393A1 (en) * | 2015-05-29 | 2018-03-01 | Asahi Glass Company, Limited | Ultraviolet transmitting glass |
| JPWO2016194780A1 (ja) * | 2015-05-29 | 2018-03-15 | 旭硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
| US10689288B2 (en) * | 2015-05-29 | 2020-06-23 | AGC Inc. | Ultraviolet transmitting glass |
| WO2017057375A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 旭硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
| JPWO2017057375A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2018-07-19 | 旭硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
| JP2019147722A (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
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