JPH1036134A - アルミナ封着用紫外線透過ガラス - Google Patents
アルミナ封着用紫外線透過ガラスInfo
- Publication number
- JPH1036134A JPH1036134A JP21191896A JP21191896A JPH1036134A JP H1036134 A JPH1036134 A JP H1036134A JP 21191896 A JP21191896 A JP 21191896A JP 21191896 A JP21191896 A JP 21191896A JP H1036134 A JPH1036134 A JP H1036134A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- alumina
- ultraviolet
- amount
- sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C4/00—Compositions for glass with special properties
- C03C4/0085—Compositions for glass with special properties for UV-transmitting glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
- C03C3/093—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium containing zinc or zirconium
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 EP−ROMの窓用カバーガラスに求められ
る諸特性を満足し、特に優れた耐候性を有するアルミナ
封着用紫外線透過ガラスを提供する。 【解決手段】 重量百分率でSiO2 50〜70%、
Al2 O3 1〜10%、B2 O3 15〜25%、Li
2 O+Na2 O+K2 O 5〜15%、MgO+CaO
+SrO+ZnO 0〜5%、ZrO2 0.05〜2
%、F2 0〜2の組成を有し、Fe2 O3 の量が50p
pm以下、U、Thの量が各々50ppb以下であるこ
とを特徴とする。
る諸特性を満足し、特に優れた耐候性を有するアルミナ
封着用紫外線透過ガラスを提供する。 【解決手段】 重量百分率でSiO2 50〜70%、
Al2 O3 1〜10%、B2 O3 15〜25%、Li
2 O+Na2 O+K2 O 5〜15%、MgO+CaO
+SrO+ZnO 0〜5%、ZrO2 0.05〜2
%、F2 0〜2の組成を有し、Fe2 O3 の量が50p
pm以下、U、Thの量が各々50ppb以下であるこ
とを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は紫外線透過率の高いアル
ミナ封着用ガラス組成物に関し、特にEP−ROM用ア
ルミナセラミックパッケ−ジのガラス窓として用いられ
るアルミナ封着用紫外線透過ガラスに関するものであ
る。
ミナ封着用ガラス組成物に関し、特にEP−ROM用ア
ルミナセラミックパッケ−ジのガラス窓として用いられ
るアルミナ封着用紫外線透過ガラスに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】EP−ROMは、紫外線照射によってプ
ログラムのメモリーの消去が可能な読み出し専用記憶半
導体のことであり、アルミナパッケージ内に半導体素子
が収納され、またパッケージの蓋部には素子と対向する
位置に紫外線を透過するガラス窓が設けられている。
ログラムのメモリーの消去が可能な読み出し専用記憶半
導体のことであり、アルミナパッケージ内に半導体素子
が収納され、またパッケージの蓋部には素子と対向する
位置に紫外線を透過するガラス窓が設けられている。
【0003】ガラス窓に用いられるカバーガラスには、
紫外線、特に253.7nmの波長における紫外線の透
過率が高いこと、アルミナパッケージと直接封着させて
パッケージの一部を構成するためアルミナと適合する5
0〜58×10-7/℃の平均線膨張係数を有すること、
ガラス表面が経時変化しないように高い耐候性を有する
こと等の特性が要求される。また、近年では半導体素子
がソフトエラーを起こさないようにα線放射量が極めて
少ないという特性も重要視されている。
紫外線、特に253.7nmの波長における紫外線の透
過率が高いこと、アルミナパッケージと直接封着させて
パッケージの一部を構成するためアルミナと適合する5
0〜58×10-7/℃の平均線膨張係数を有すること、
ガラス表面が経時変化しないように高い耐候性を有する
こと等の特性が要求される。また、近年では半導体素子
がソフトエラーを起こさないようにα線放射量が極めて
少ないという特性も重要視されている。
【0004】従来、この種のカバーガラスの材質として
は硼珪酸ガラスや無アルカリガラスが使用されている。
例えば特公平1−14195号には、SiO2 −Al2
O3−B2 O3 −R2 O(R2 OはNa2 、K2 O、L
i2 Oから選ばれる1種以上)系の組成を有するアルミ
ナ封着用紫外線透過ガラスが開示されている。
は硼珪酸ガラスや無アルカリガラスが使用されている。
例えば特公平1−14195号には、SiO2 −Al2
O3−B2 O3 −R2 O(R2 OはNa2 、K2 O、L
i2 Oから選ばれる1種以上)系の組成を有するアルミ
ナ封着用紫外線透過ガラスが開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが特公平1−1
4195号に開示されたアルミナ封着用紫外線透過ガラ
スは、耐候性がやや不十分である。ガラスの耐候性が悪
いと、長期に渡って使用している間に、ガラス表面から
アルカリ金属やアルカリ土類金属の結晶が析出したり、
母材ガラスに比べ表面層のガラスがSiO2 リッチの異
質な層を形成したりし、その結果クラックが発生し外観
上の欠陥を生じるばかりでなく、このことによって透明
性が損なわれ、紫外線透過率の低下を引き起こし、EP
−ROMの消去性低下という重大な問題を発生させる可
能性がある。
4195号に開示されたアルミナ封着用紫外線透過ガラ
スは、耐候性がやや不十分である。ガラスの耐候性が悪
いと、長期に渡って使用している間に、ガラス表面から
アルカリ金属やアルカリ土類金属の結晶が析出したり、
母材ガラスに比べ表面層のガラスがSiO2 リッチの異
質な層を形成したりし、その結果クラックが発生し外観
上の欠陥を生じるばかりでなく、このことによって透明
性が損なわれ、紫外線透過率の低下を引き起こし、EP
−ROMの消去性低下という重大な問題を発生させる可
能性がある。
【0006】本発明の目的は、EP−ROMの窓用カバ
ーガラスに求められる諸特性を満足し、特に優れた耐候
性を有するアルミナ封着用紫外線透過ガラスを提供する
ことである。
ーガラスに求められる諸特性を満足し、特に優れた耐候
性を有するアルミナ封着用紫外線透過ガラスを提供する
ことである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明のアルミナ封着用
紫外線透過ガラスは、重量百分率でSiO2 50〜70
%、Al2 O3 1〜10%、B2 O3 15〜25%、
Li2 O+Na2 O+K2 O 5〜15%、MgO+C
aO+SrO+ZnO 0〜5%、ZrO20.05〜
2%、F2 0〜2の組成を有し、Fe2 O3 の量が50
ppm以下、U、Thの量が各々50ppb以下である
ことを特徴とする。
紫外線透過ガラスは、重量百分率でSiO2 50〜70
%、Al2 O3 1〜10%、B2 O3 15〜25%、
Li2 O+Na2 O+K2 O 5〜15%、MgO+C
aO+SrO+ZnO 0〜5%、ZrO20.05〜
2%、F2 0〜2の組成を有し、Fe2 O3 の量が50
ppm以下、U、Thの量が各々50ppb以下である
ことを特徴とする。
【0008】
【作用】本発明のアルミナ封着用紫外線透過ガラスは、
ガラスにZrO2 を所定量含有させることにより、EP
−ROMの窓用カバーガラスとして要求される諸特性を
損なうことなく、耐候性を著しく向上させることができ
る。
ガラスにZrO2 を所定量含有させることにより、EP
−ROMの窓用カバーガラスとして要求される諸特性を
損なうことなく、耐候性を著しく向上させることができ
る。
【0009】また、ガラスのα線放射量が0.05c/
cm2 ・hrを越える場合、α線がパッケージ内の半導
体素子に入射して半導体に瞬間的な誤動作を引き起こす
所謂ソフトエラーと呼ばれる現象を引き起こし易いが、
本発明のガラスは、α線発生の主因である不純物U、T
hの量を各々50ppb以下に抑えることにより、α線
放射量を0.05c/cm2 ・hrにし、ソフトエラー
の発生率を極めて低くすることができる。
cm2 ・hrを越える場合、α線がパッケージ内の半導
体素子に入射して半導体に瞬間的な誤動作を引き起こす
所謂ソフトエラーと呼ばれる現象を引き起こし易いが、
本発明のガラスは、α線発生の主因である不純物U、T
hの量を各々50ppb以下に抑えることにより、α線
放射量を0.05c/cm2 ・hrにし、ソフトエラー
の発生率を極めて低くすることができる。
【0010】さらにアルミナ封着用紫外線透過ガラスに
おいては、紫外線の透過率が高いことが重要であり、特
に波長253.7nmの波長の紫外線の透過率が厚さ1
mmにおいて60%以上であることが望ましい。ところ
で従来より、ガラスに不純物として混入する鉄分がガラ
スの紫外線吸収を増大させることが知られている。これ
は、Fe3+が紫外に大きな吸収を持つためである。従っ
てガラスの紫外線吸収を減少させて透過率を増大させる
ためには、不純物である鉄分を減少させるとともに、ガ
ラスを還元状態ににしてFe3+をFe2+にすることが有
効である。ガラスを還元状態にするには、ガラスバッチ
中に還元剤を加えれば良い。還元剤としては、カ−ボン
粉末、金属シリコン、金属アルミニウム、酒石酸、ロッ
セル塩、ショ糖等を用いることができる。但し不純物で
ある鉄分が、Fe2 O3 として50ppmを超えるとガ
ラスを還元状態にしても十分に高い透過率を得ることが
困難になる。従ってFe2 O3 の混入量は50ppmに
制限する必要がある。
おいては、紫外線の透過率が高いことが重要であり、特
に波長253.7nmの波長の紫外線の透過率が厚さ1
mmにおいて60%以上であることが望ましい。ところ
で従来より、ガラスに不純物として混入する鉄分がガラ
スの紫外線吸収を増大させることが知られている。これ
は、Fe3+が紫外に大きな吸収を持つためである。従っ
てガラスの紫外線吸収を減少させて透過率を増大させる
ためには、不純物である鉄分を減少させるとともに、ガ
ラスを還元状態ににしてFe3+をFe2+にすることが有
効である。ガラスを還元状態にするには、ガラスバッチ
中に還元剤を加えれば良い。還元剤としては、カ−ボン
粉末、金属シリコン、金属アルミニウム、酒石酸、ロッ
セル塩、ショ糖等を用いることができる。但し不純物で
ある鉄分が、Fe2 O3 として50ppmを超えるとガ
ラスを還元状態にしても十分に高い透過率を得ることが
困難になる。従ってFe2 O3 の混入量は50ppmに
制限する必要がある。
【0011】更に、ガラスの紫外線の吸収は、Fe3+の
吸収のみで生じるのではなく、ガラス成分によっても影
響を受ける。一般にガラス成分としてアルカリ金属酸化
物やアルカリ土類金属酸化物を加えると紫外域に吸収が
生じる。例えば、ガラスがアルミナの封着に適する50
〜58×10-7/℃の平均線膨張係数をもつようにする
には、アルカリ金属酸化物やアルカリ土類金属酸化物を
合量で5〜17%重量%程度含有させればよいが、これ
らの成分をこのように多量に加えると紫外線吸収が増大
する。その結果、鉄分を50ppm以下に抑え、かつ、
還元剤を加えて溶融しても、十分な紫外線透過率を有す
るガラスを得ることは難しい。ところが、本発明では、
Al2 O3 及びB2 O3 を所定量含有するため、このよ
うな紫外線吸収が起こり難く、高い紫外線透過率を維持
することが可能である。
吸収のみで生じるのではなく、ガラス成分によっても影
響を受ける。一般にガラス成分としてアルカリ金属酸化
物やアルカリ土類金属酸化物を加えると紫外域に吸収が
生じる。例えば、ガラスがアルミナの封着に適する50
〜58×10-7/℃の平均線膨張係数をもつようにする
には、アルカリ金属酸化物やアルカリ土類金属酸化物を
合量で5〜17%重量%程度含有させればよいが、これ
らの成分をこのように多量に加えると紫外線吸収が増大
する。その結果、鉄分を50ppm以下に抑え、かつ、
還元剤を加えて溶融しても、十分な紫外線透過率を有す
るガラスを得ることは難しい。ところが、本発明では、
Al2 O3 及びB2 O3 を所定量含有するため、このよ
うな紫外線吸収が起こり難く、高い紫外線透過率を維持
することが可能である。
【0012】次に、本発明のアルミナ封着用紫外線透過
ガラスの組成を上記のように限定した理由を述べる。
ガラスの組成を上記のように限定した理由を述べる。
【0013】SiO2 はガラスの耐候性を向上させる作
用を有し、その含有量は50〜70%、好ましくは55
〜65%である。SiO2 が50%より少ないと耐候性
が悪化し、また紫外線透過率が減少する。一方、70%
より多いとガラスの溶融、成形が困難になる。
用を有し、その含有量は50〜70%、好ましくは55
〜65%である。SiO2 が50%より少ないと耐候性
が悪化し、また紫外線透過率が減少する。一方、70%
より多いとガラスの溶融、成形が困難になる。
【0014】Al2 O3 もガラスの耐候性を向上させる
成分であり、その含有量は1〜10%、好ましくは3〜
8%である。アルミナが1%より少ないと耐候性が悪化
し、長期に渡って使用している間に、ガラス表面からア
ルカリ金属やアルカリ土類金属の結晶が析出して透明性
が損なわれるという問題が発生する。一方、10%より
多いときはガラスの溶融及び成形が困難になる。
成分であり、その含有量は1〜10%、好ましくは3〜
8%である。アルミナが1%より少ないと耐候性が悪化
し、長期に渡って使用している間に、ガラス表面からア
ルカリ金属やアルカリ土類金属の結晶が析出して透明性
が損なわれるという問題が発生する。一方、10%より
多いときはガラスの溶融及び成形が困難になる。
【0015】B2 O3 はガラスの溶解性を向上させる成
分であり、その含有量は15〜25%、好ましくは18
〜23%である。B2 O3 が15%より少ないと紫外線
透過率が低下すると共に溶解性が悪くなり、25%より
多いと耐候性が悪化する。
分であり、その含有量は15〜25%、好ましくは18
〜23%である。B2 O3 が15%より少ないと紫外線
透過率が低下すると共に溶解性が悪くなり、25%より
多いと耐候性が悪化する。
【0016】Na2 O、K2 O及びLi2 Oは平均線膨
張係数を調整すると共にガラスの溶解性を向上させる成
分であり、その含有量は合量で5〜15%、好ましくは
7〜12%含有する。これら成分の合量がが5%より少
ないと膨張係数が小さくなり過ぎ、また溶解性が悪化す
る。一方15%より多いと平均線膨張係数が大きくなり
過ぎると共に紫外線透過率が減少する。
張係数を調整すると共にガラスの溶解性を向上させる成
分であり、その含有量は合量で5〜15%、好ましくは
7〜12%含有する。これら成分の合量がが5%より少
ないと膨張係数が小さくなり過ぎ、また溶解性が悪化す
る。一方15%より多いと平均線膨張係数が大きくなり
過ぎると共に紫外線透過率が減少する。
【0017】MgO、CaO、SrO及びZnOはガラ
スの溶解性を向上させる効果があり、その含有量は合量
で0〜5%、好ましくは0〜2%添加する。しかしこれ
ら成分の合量が5%より多いと紫外線透過率が減少す
る。
スの溶解性を向上させる効果があり、その含有量は合量
で0〜5%、好ましくは0〜2%添加する。しかしこれ
ら成分の合量が5%より多いと紫外線透過率が減少す
る。
【0018】ZrO2 はガラスの耐候性を特に向上させ
る成分であり、その含有量は0.05〜2%、好ましく
は、0.1〜1%である。ZrO2 が、0.05%より
少ないと耐候性を向上させる効果が殆どない。一方2%
より多いときはガラスの溶融及び成形が困難になるとと
もにα線放射量が高くなる。
る成分であり、その含有量は0.05〜2%、好ましく
は、0.1〜1%である。ZrO2 が、0.05%より
少ないと耐候性を向上させる効果が殆どない。一方2%
より多いときはガラスの溶融及び成形が困難になるとと
もにα線放射量が高くなる。
【0019】F2 はガラスの溶解性及び泡切れに効果が
あるが、2%より多いとガラスが乳濁化し、またフッ素
の揮発量が増大して環境上好ましくない。
あるが、2%より多いとガラスが乳濁化し、またフッ素
の揮発量が増大して環境上好ましくない。
【0020】以上の組成を有するガラスは、耐候性が高
いとともに、30〜380℃における平均線膨張係数が
50〜58×10-7/℃であり、アルミナパッケージと
適合した膨張特性を示す。
いとともに、30〜380℃における平均線膨張係数が
50〜58×10-7/℃であり、アルミナパッケージと
適合した膨張特性を示す。
【0021】次に本発明のアルミナ封着用透過ガラスを
製造する方法を説明する。
製造する方法を説明する。
【0022】先ず重量百分率でSiO2 50〜70
%、Al2 O3 1〜10%、B2 O3 15〜25%、
Li2 O+Na2 O+K2 O 5〜15%、MgO+C
aO+SrO+ZnO 0〜5%、ZrO2 0.05
〜2%、F2 0〜2の組成を有するガラスとなるように
ガラスバッチを調合する。なお、ガラスのα線発生の主
因は、ガラス原料に不純物として含まれるU、Th等の
放射性元素であるため、高純度に精製され、これらの不
純物を極力取り除いた原料を選定し、U、Thの量を各
々50ppb以下に制限することにより、α線放射量を
0.050c/cm2 ・hr以下に抑えることができ
る。同様にガラスバッチに混入するFe2 O3 を50p
pm以下に制限することにより、高い紫外線透過率が達
成できる。さらにガラスバッチ中に、カーボン粉末、金
属シリコン、金属アルミニウム、酒石酸、ロッセル塩、
ショ糖等の還元剤を0.01〜0.20重量%程度添加
することが好ましい。これはガラス中の鉄分を紫外域の
吸収が小さいFe2+の状態で存在させるためである。
%、Al2 O3 1〜10%、B2 O3 15〜25%、
Li2 O+Na2 O+K2 O 5〜15%、MgO+C
aO+SrO+ZnO 0〜5%、ZrO2 0.05
〜2%、F2 0〜2の組成を有するガラスとなるように
ガラスバッチを調合する。なお、ガラスのα線発生の主
因は、ガラス原料に不純物として含まれるU、Th等の
放射性元素であるため、高純度に精製され、これらの不
純物を極力取り除いた原料を選定し、U、Thの量を各
々50ppb以下に制限することにより、α線放射量を
0.050c/cm2 ・hr以下に抑えることができ
る。同様にガラスバッチに混入するFe2 O3 を50p
pm以下に制限することにより、高い紫外線透過率が達
成できる。さらにガラスバッチ中に、カーボン粉末、金
属シリコン、金属アルミニウム、酒石酸、ロッセル塩、
ショ糖等の還元剤を0.01〜0.20重量%程度添加
することが好ましい。これはガラス中の鉄分を紫外域の
吸収が小さいFe2+の状態で存在させるためである。
【0023】次いでガラスバッチを溶融する。ここで、
ガラスバッチや溶融ガラスが直接接触する部分にはU、
Thを多く含有するジルコニア原料を主に用いたZrO
2 耐火物の使用を避け、U、Thの量が各々50ppm
以下である耐火物、例えば、石英ガラス、アルミナ、白
金等で作製したガラス溶融装置を使用すると、工程中か
らの不純物混入を回避でき、一層、α線放射量を低減さ
せることができる。なお、白金を用いた場合、微小な白
金粒子がガラス中に混入することがあるが、これが問題
となる用途については、ガラス化を白金以外の耐火物か
らなる溶融装置で行い、均質化を白金からなるガラス溶
融装置で行えば良い。
ガラスバッチや溶融ガラスが直接接触する部分にはU、
Thを多く含有するジルコニア原料を主に用いたZrO
2 耐火物の使用を避け、U、Thの量が各々50ppm
以下である耐火物、例えば、石英ガラス、アルミナ、白
金等で作製したガラス溶融装置を使用すると、工程中か
らの不純物混入を回避でき、一層、α線放射量を低減さ
せることができる。なお、白金を用いた場合、微小な白
金粒子がガラス中に混入することがあるが、これが問題
となる用途については、ガラス化を白金以外の耐火物か
らなる溶融装置で行い、均質化を白金からなるガラス溶
融装置で行えば良い。
【0024】その後、溶融ガラスを所望の形状に成形す
ることによって、本発明のアルミナ封着用紫外線透過ガ
ラスを得る。
ることによって、本発明のアルミナ封着用紫外線透過ガ
ラスを得る。
【0025】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
【0026】表1〜3は本発明の実施例(試料No.1
〜13)及び比較例(No.14)を示している。
〜13)及び比較例(No.14)を示している。
【0027】
【表1】
【0028】
【表2】
【0029】
【表3】
【0030】試料No.1〜14は次のようにして作製
した。まず、表の組成になるように高純度に精製された
ガラス原料を用いてガラスバッチを調合し、さらに還元
剤として金属シリコンを0.1重量%添加した。次にガ
ラスバッチをU、Thの量が各々50ppm以下の白金
製坩堝に入れ、1500℃で4時間溶融した。その後、
溶融ガラスをカーボン板上に流し出して板状試料を得
た。
した。まず、表の組成になるように高純度に精製された
ガラス原料を用いてガラスバッチを調合し、さらに還元
剤として金属シリコンを0.1重量%添加した。次にガ
ラスバッチをU、Thの量が各々50ppm以下の白金
製坩堝に入れ、1500℃で4時間溶融した。その後、
溶融ガラスをカーボン板上に流し出して板状試料を得
た。
【0031】得られた試料について、Fe2 O3 、U及
びThの含有量、253.7nmの波長における紫外線
透過率、30〜380℃における平均線膨張係数、アル
カリ溶出量、α線放射量について評価した。結果を各表
に示す。
びThの含有量、253.7nmの波長における紫外線
透過率、30〜380℃における平均線膨張係数、アル
カリ溶出量、α線放射量について評価した。結果を各表
に示す。
【0032】表から明らかなように、本発明の実施例で
ある試料No.1〜13は、Fe2O3 が44ppm
以下、U及びThがともに40ppb以下、253.7
nmの波長の紫外線透過率が77%以上、平均線膨張係
数が50〜58×10-7/℃、アルカリ溶出量が0.4
5mg以下、α線放射量が0.0470c/cm2 ・h
r以下であった。
ある試料No.1〜13は、Fe2O3 が44ppm
以下、U及びThがともに40ppb以下、253.7
nmの波長の紫外線透過率が77%以上、平均線膨張係
数が50〜58×10-7/℃、アルカリ溶出量が0.4
5mg以下、α線放射量が0.0470c/cm2 ・h
r以下であった。
【0033】一方、比較例である試料No.14は、F
e2 O3 が29ppm以下、U及びThが、25ppb
及び20ppb、253.7nmの波長の紫外線透過率
が77%、平均線膨張係数が57×10-7/℃、α線放
射量が0.0240c/cm2 ・hrであり、実施例と
同等であったが、ZrO2 を含有していないためにアル
カリ溶出量が1.70mgと多く、耐候性が悪いことが
明らかである。
e2 O3 が29ppm以下、U及びThが、25ppb
及び20ppb、253.7nmの波長の紫外線透過率
が77%、平均線膨張係数が57×10-7/℃、α線放
射量が0.0240c/cm2 ・hrであり、実施例と
同等であったが、ZrO2 を含有していないためにアル
カリ溶出量が1.70mgと多く、耐候性が悪いことが
明らかである。
【0034】なおFe2 O3 の含有量はICP−発光分
析法によって、またU、Thの含有量はICP−質量分
析法によって測定した。紫外線透過率は板状試料から小
片を切り出し、酸化セリウムによって鏡面研磨して1m
mの肉厚にした後、253.7nmにおける透過率を分
光光度計で測定して求めた。平均線膨張係数は、板状試
料から小片を切り出し、火炎加工により長さ50mm×
径3.5mmの棒状サンプルを作成し、石英管式膨張計
を用いて30〜380℃における平均値を求めた。アル
カリ溶出量は、JIS R−3502に基づくアルカリ
溶出試験によって測定した値であり、耐候性を判断する
ために行った。即ち、ガラス表面の劣化は空気中の水分
の作用によってガラス中のアルカリが表面に析出し、炭
酸塩や水酸化物などの反応生成物を形成することによっ
て進むものであるため、アルカリ溶出試験でアルカリ溶
出量が多いガラスほど耐候性に劣り、逆にアルカリ溶出
量が少ないガラスほど耐候性に優れていると判断でき
る。α線放射量の測定は、板状試料の一部を粉末にし、
ガスフロー比例係数管測定装置を用いて求めた。
析法によって、またU、Thの含有量はICP−質量分
析法によって測定した。紫外線透過率は板状試料から小
片を切り出し、酸化セリウムによって鏡面研磨して1m
mの肉厚にした後、253.7nmにおける透過率を分
光光度計で測定して求めた。平均線膨張係数は、板状試
料から小片を切り出し、火炎加工により長さ50mm×
径3.5mmの棒状サンプルを作成し、石英管式膨張計
を用いて30〜380℃における平均値を求めた。アル
カリ溶出量は、JIS R−3502に基づくアルカリ
溶出試験によって測定した値であり、耐候性を判断する
ために行った。即ち、ガラス表面の劣化は空気中の水分
の作用によってガラス中のアルカリが表面に析出し、炭
酸塩や水酸化物などの反応生成物を形成することによっ
て進むものであるため、アルカリ溶出試験でアルカリ溶
出量が多いガラスほど耐候性に劣り、逆にアルカリ溶出
量が少ないガラスほど耐候性に優れていると判断でき
る。α線放射量の測定は、板状試料の一部を粉末にし、
ガスフロー比例係数管測定装置を用いて求めた。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のアルミナ
封着用紫外線透過ガラスは、紫外線透過率が高く、アル
ミナの封着に適した50〜58×10-7/℃の平均線膨
張係数を示す。またα線放射量が少なく、しかも耐候性
が高いため、EP−ROMの窓用カバーガラスとして好
適である。
封着用紫外線透過ガラスは、紫外線透過率が高く、アル
ミナの封着に適した50〜58×10-7/℃の平均線膨
張係数を示す。またα線放射量が少なく、しかも耐候性
が高いため、EP−ROMの窓用カバーガラスとして好
適である。
Claims (1)
- 【請求項1】 重量百分率でSiO2 50〜70%、
Al2 O3 1〜10%、B2 O3 15〜25%、L
i2 O+Na2 O+K2 O 5〜15%、MgO+Ca
O+SrO+ZnO 0〜5%、ZrO2 0.05〜
2%、F2 0〜2の組成を有し、Fe2 O3 の量が50
ppm以下、U、Thの量が各々50ppb以下である
ことを特徴とするアルミナ封着用紫外線透過ガラス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21191896A JPH1036134A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | アルミナ封着用紫外線透過ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21191896A JPH1036134A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | アルミナ封着用紫外線透過ガラス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1036134A true JPH1036134A (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=16613827
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21191896A Pending JPH1036134A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | アルミナ封着用紫外線透過ガラス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1036134A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011032162A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Schott Ag | 低減されたホウ素含有量を有する高紫外線透過性ホウケイ酸ガラス |
JP2015193521A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-11-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
WO2017057375A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 旭硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
US20180057393A1 (en) * | 2015-05-29 | 2018-03-01 | Asahi Glass Company, Limited | Ultraviolet transmitting glass |
JP2019147722A (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
-
1996
- 1996-07-22 JP JP21191896A patent/JPH1036134A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011032162A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Schott Ag | 低減されたホウ素含有量を有する高紫外線透過性ホウケイ酸ガラス |
JP2015193521A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-11-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
JP2018131384A (ja) * | 2014-03-19 | 2018-08-23 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラスの製造方法 |
JP2018197190A (ja) * | 2014-03-19 | 2018-12-13 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
US20180057393A1 (en) * | 2015-05-29 | 2018-03-01 | Asahi Glass Company, Limited | Ultraviolet transmitting glass |
JPWO2016194780A1 (ja) * | 2015-05-29 | 2018-03-15 | 旭硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
US10689288B2 (en) * | 2015-05-29 | 2020-06-23 | AGC Inc. | Ultraviolet transmitting glass |
WO2017057375A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 旭硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
JPWO2017057375A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2018-07-19 | 旭硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
JP2019147722A (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH02141438A (ja) | Uv透過ガラス | |
JPH07187706A (ja) | 改良された紫外線透過性及び加水分解安定性を有する還元溶融ホウケイ酸ガラス及びその利用法 | |
JPS6332733B2 (ja) | ||
JP2002249340A (ja) | 半導体パッケージ用カバーガラス | |
JP2007051055A (ja) | 光学ガラス | |
JPH0733260B2 (ja) | 陰極線管前面板用ガラス | |
JPH0114185B2 (ja) | ||
JPH07121814B2 (ja) | トープされた石英ガラス | |
JPS6369732A (ja) | モリブデンシ−ル用ガラス | |
JPS63156038A (ja) | 陰極線管フェースプレート用ガラス | |
JP2000290038A (ja) | 蛍光ランプ用ガラス、蛍光ランプ用ガラス管、及び蛍光ランプ | |
JPH1036134A (ja) | アルミナ封着用紫外線透過ガラス | |
JPH08283038A (ja) | 紫外線透過黒色ガラス | |
JP2619345B2 (ja) | 殺菌灯用ガラス | |
JP3288169B2 (ja) | パッケージ用ガラスの製造方法 | |
JPS60215547A (ja) | 紫外線透過ガラス | |
US5942793A (en) | Low alpha-ray level glass and method for manufacturing the same | |
JP3192013B2 (ja) | 紫外線透過ガラス | |
JPH1081543A (ja) | アルミナ封着用紫外線透過ガラス及びその製造方法 | |
JPS6344699B2 (ja) | ||
JP4758618B2 (ja) | 紫外線透過フィルター用ガラスおよび紫外線透過フィルター | |
JP2881573B2 (ja) | 鉛を含まないクリスタルなガラス組成物の製造方法 | |
JPH07215733A (ja) | 固体撮像素子用カバーガラス | |
EP4067317B1 (en) | Multicomponent oxide glass, optical element, optical fiber, and method of producing multicomponent oxide glass | |
JP3386058B2 (ja) | 半導体パッケージ用カバーガラス及びその製造方法 |