JPH10326590A - イオン注入用ウエハスキャン装置 - Google Patents
イオン注入用ウエハスキャン装置Info
- Publication number
- JPH10326590A JPH10326590A JP13668897A JP13668897A JPH10326590A JP H10326590 A JPH10326590 A JP H10326590A JP 13668897 A JP13668897 A JP 13668897A JP 13668897 A JP13668897 A JP 13668897A JP H10326590 A JPH10326590 A JP H10326590A
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- Japan
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- wafer
- chuck
- screw shaft
- rail
- wafer chuck
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 パーティクルの発生を抑制することができる
イオン注入用ウエハスキャン装置を提供する。 【解決手段】 イオン注入用ウエハスキャン装置におい
て、ウエハチャック２１の支持部に配置されるチルトモ
ータ２３と、前記ウエハチャック２１とレール２５を連
結するプレート２２と、イオンビーム３０に対し垂直に
固定されるレールブロック２８と、このレールブロック
２８に並設されるスクリュー軸２６と、このスクリュー
軸２６を駆動するスキャンモータ２７とを備え、前記チ
ルトモータ２３の駆動により、ウエハチャック２１を、
イオンビーム３０に対し垂直になるように傾斜させると
ともに、前記スキャンモータ２７の駆動により、前記ス
クリュー軸２６と前記プレート２２を介して、ウエハチ
ャック２１をイオンビーム３０に対し垂直方向に移動可
能にする。
イオン注入用ウエハスキャン装置を提供する。 【解決手段】 イオン注入用ウエハスキャン装置におい
て、ウエハチャック２１の支持部に配置されるチルトモ
ータ２３と、前記ウエハチャック２１とレール２５を連
結するプレート２２と、イオンビーム３０に対し垂直に
固定されるレールブロック２８と、このレールブロック
２８に並設されるスクリュー軸２６と、このスクリュー
軸２６を駆動するスキャンモータ２７とを備え、前記チ
ルトモータ２３の駆動により、ウエハチャック２１を、
イオンビーム３０に対し垂直になるように傾斜させると
ともに、前記スキャンモータ２７の駆動により、前記ス
クリュー軸２６と前記プレート２２を介して、ウエハチ
ャック２１をイオンビーム３０に対し垂直方向に移動可
能にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、イオン注入装置に
係り、特に枚葉式のウエハスキャン装置の構造に関する
ものである。
係り、特に枚葉式のウエハスキャン装置の構造に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
以下に示すようなものがあった。図４はかかる従来のウ
エハスキャン装置の構成図であり、図４（ａ）はそのウ
エハスキャン部の平面図、図４（ｂ）はそのウエハスキ
ャン部の第１の側面図、図４（ｃ）はそのウエハスキャ
ン部の第２の側面（スキャン開始位置）を示す図、第４
（ｄ）は図４（ｃ）のウエハスキャン部のアームの拡大
図、図４（ｅ）はそのウエハスキャン部の第３の側面
（スキャン動作中の位置）を示す図である。
以下に示すようなものがあった。図４はかかる従来のウ
エハスキャン装置の構成図であり、図４（ａ）はそのウ
エハスキャン部の平面図、図４（ｂ）はそのウエハスキ
ャン部の第１の側面図、図４（ｃ）はそのウエハスキャ
ン部の第２の側面（スキャン開始位置）を示す図、第４
（ｄ）は図４（ｃ）のウエハスキャン部のアームの拡大
図、図４（ｅ）はそのウエハスキャン部の第３の側面
（スキャン動作中の位置）を示す図である。
【０００３】これらの図に示すように、真空チャンバー
４の外側（大気側）にはチルトモータ５が配置され、こ
のチルトモータ５の回転により、ベルト８を介して、ス
キャンモータ６自体を回転させる。スキャンモータ６
は、ベアリング兼真空シールのモータ受け９を介し、真
空チャンバー４内でローテートアーム７に接続されてい
る。
４の外側（大気側）にはチルトモータ５が配置され、こ
のチルトモータ５の回転により、ベルト８を介して、ス
キャンモータ６自体を回転させる。スキャンモータ６
は、ベアリング兼真空シールのモータ受け９を介し、真
空チャンバー４内でローテートアーム７に接続されてい
る。
【０００４】また、ウエハ１がセットされるウエハチャ
ック１０は、ウエハ保持機構、ローテーション用のモー
タ、温度上昇を抑える冷却機構を備えており、それらに
供給する電気、冷却水、エアーチューブ等が束になった
ケーブル１１で接続されている。さらに、ウエハチャッ
ク１０は、プレート２によりレール３とアーム１２のエ
クステンションアーム１５に接続し、スライドする機構
になっており、スキャンモータのモータ軸１３の回転
が、ベルト１６で歯車１４に連動し、エクステンション
アーム１５が伸縮する〔図１（ｄ）参照〕。
ック１０は、ウエハ保持機構、ローテーション用のモー
タ、温度上昇を抑える冷却機構を備えており、それらに
供給する電気、冷却水、エアーチューブ等が束になった
ケーブル１１で接続されている。さらに、ウエハチャッ
ク１０は、プレート２によりレール３とアーム１２のエ
クステンションアーム１５に接続し、スライドする機構
になっており、スキャンモータのモータ軸１３の回転
が、ベルト１６で歯車１４に連動し、エクステンション
アーム１５が伸縮する〔図１（ｄ）参照〕。
【０００５】この一連の動作は、チルトモータ５により
スキャンモータ６自体を回転させることで、レール３を
傾ける〔図４（ｂ）から図４（ｃ）を参照〕。さらに、
スキャンモータ６の軸１３の回転により、プレート２が
移動し、ウエハチャック１０がスキャン（上下動）する
ことで、イオンビーム１７を照射してウエハ１に均一な
イオンを注入する〔図４（ｃ）から図４（ｅ）を参
照〕。
スキャンモータ６自体を回転させることで、レール３を
傾ける〔図４（ｂ）から図４（ｃ）を参照〕。さらに、
スキャンモータ６の軸１３の回転により、プレート２が
移動し、ウエハチャック１０がスキャン（上下動）する
ことで、イオンビーム１７を照射してウエハ１に均一な
イオンを注入する〔図４（ｃ）から図４（ｅ）を参
照〕。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のウエハスキャン装置では、可動するアームがウ
エハに近いため、パーティクルが付着し易いという問題
がある。また、構造が複雑であり、可動部品が多いた
め、パーティクルの発生源となる箇所が多いという問題
がある。
た従来のウエハスキャン装置では、可動するアームがウ
エハに近いため、パーティクルが付着し易いという問題
がある。また、構造が複雑であり、可動部品が多いた
め、パーティクルの発生源となる箇所が多いという問題
がある。
【０００７】更に、ウエハチャックに接続しているケー
ブルは、チャックが動作する度に応力を受け、劣化（擦
れ）により、パーティクルが発生するという問題があっ
た。本発明は、上記問題点を除去し、パーティクルの発
生を抑制することができるイオン注入用ウエハスキャン
装置を提供することを目的とする。
ブルは、チャックが動作する度に応力を受け、劣化（擦
れ）により、パーティクルが発生するという問題があっ
た。本発明は、上記問題点を除去し、パーティクルの発
生を抑制することができるイオン注入用ウエハスキャン
装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕イオン注入用ウエハスキャン装置において、ウエ
ハチャックの支持部に配置されるチルトモータと、前記
ウエハチャックとレールを連結するプレートと、イオン
ビームに対し垂直に固定されるレールブロックと、この
レールブロックに並設されるスクリュー軸と、このスク
リュー軸を駆動するスキャンモータとを備え、前記チル
トモータの駆動により、前記ウエハチャックをイオンビ
ームに対し垂直になるように傾斜させるとともに、前記
スキャンモータの駆動により、前記スクリュー軸と前記
プレートを介して、前記ウエハチャックを前記イオンビ
ームに対し垂直方向に移動可能にするようにしたもので
ある。
成するために、 〔１〕イオン注入用ウエハスキャン装置において、ウエ
ハチャックの支持部に配置されるチルトモータと、前記
ウエハチャックとレールを連結するプレートと、イオン
ビームに対し垂直に固定されるレールブロックと、この
レールブロックに並設されるスクリュー軸と、このスク
リュー軸を駆動するスキャンモータとを備え、前記チル
トモータの駆動により、前記ウエハチャックをイオンビ
ームに対し垂直になるように傾斜させるとともに、前記
スキャンモータの駆動により、前記スクリュー軸と前記
プレートを介して、前記ウエハチャックを前記イオンビ
ームに対し垂直方向に移動可能にするようにしたもので
ある。
【０００９】〔２〕イオン注入用ウエハスキャン装置に
おいて、真空チャンバー外に配置されるレールと、この
レールに並設されるスクリュー軸と、このスクリュー軸
を駆動するスキャンモータと、前記スクリュー軸と係合
して駆動されるとともに、前記レールに案内されるプレ
ートと、このプレートに基部を固定されるとともに、真
空チャンバーを貫通してこの真空チャンバー内に延びる
チャック支持柱を介して、イオンビームに対し垂直方向
に移動可能に配置されるウエハチャックとを設けるよう
にしたものである。
おいて、真空チャンバー外に配置されるレールと、この
レールに並設されるスクリュー軸と、このスクリュー軸
を駆動するスキャンモータと、前記スクリュー軸と係合
して駆動されるとともに、前記レールに案内されるプレ
ートと、このプレートに基部を固定されるとともに、真
空チャンバーを貫通してこの真空チャンバー内に延びる
チャック支持柱を介して、イオンビームに対し垂直方向
に移動可能に配置されるウエハチャックとを設けるよう
にしたものである。
【００１０】〔３〕請求項２記載のイオン注入用ウエハ
スキャン装置において、チャック支持柱内部を通してウ
エハチャックに供給するケーブルを配置するようにした
ものである。
スキャン装置において、チャック支持柱内部を通してウ
エハチャックに供給するケーブルを配置するようにした
ものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
第１実施例を示すイオン注入用ウエハスキャン装置の構
造を示す図であり、図１（ａ）はそのウエハスキャン部
の側面図、図１（ｂ）はそのウエハチャック部の側面
図、図１（ｃ）はそのウエハスキャン部の第１側面図、
図１（ｄ）はそのウエハスキャン部の第２側面図であ
る。
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
第１実施例を示すイオン注入用ウエハスキャン装置の構
造を示す図であり、図１（ａ）はそのウエハスキャン部
の側面図、図１（ｂ）はそのウエハチャック部の側面
図、図１（ｃ）はそのウエハスキャン部の第１側面図、
図１（ｄ）はそのウエハスキャン部の第２側面図であ
る。
【００１２】これらの図において、２０はウエハ、２１
はウエハチャック、２２はプレート、２３はチルトモー
タ、２４は真空チャンバー、２５はレール、２６はスク
リュー軸、２７はスキャンモータ、２８はレールブロッ
ク、２９はケーブル、３０はイオンビームである。ウエ
ハチャック２１とプレート２２はチルトモータ２３で接
続され、プレート２２はレール２５とスクリュー軸２６
に接続しており、スクリュー軸２６はスキャンモータ２
７により回転する。レール２５、スクリュー軸２６、ス
キャンモータ２７を備えたレールブロック２８は、イオ
ンビーム３０に対して垂直に真空チャンバー２４に固定
されている。
はウエハチャック、２２はプレート、２３はチルトモー
タ、２４は真空チャンバー、２５はレール、２６はスク
リュー軸、２７はスキャンモータ、２８はレールブロッ
ク、２９はケーブル、３０はイオンビームである。ウエ
ハチャック２１とプレート２２はチルトモータ２３で接
続され、プレート２２はレール２５とスクリュー軸２６
に接続しており、スクリュー軸２６はスキャンモータ２
７により回転する。レール２５、スクリュー軸２６、ス
キャンモータ２７を備えたレールブロック２８は、イオ
ンビーム３０に対して垂直に真空チャンバー２４に固定
されている。
【００１３】以下、そのウエハスキャン装置の動作につ
いて説明する。ウエハチャック２１にウエハ２０をセッ
トした後、チルトモータ２３がウエハチャック２１を傾
斜可能にする。スキャンモータ２７によりスクリュー軸
２６が回転し、連結するプレート２２がレール２５に沿
って移動する。スキャンモータ２７が正、逆転すること
によりスキャン動作する。
いて説明する。ウエハチャック２１にウエハ２０をセッ
トした後、チルトモータ２３がウエハチャック２１を傾
斜可能にする。スキャンモータ２７によりスクリュー軸
２６が回転し、連結するプレート２２がレール２５に沿
って移動する。スキャンモータ２７が正、逆転すること
によりスキャン動作する。
【００１４】このように、第１実施例によれば、従来の
駆動アームをなくし、動作部をウエハから遠ざけること
により、パーティクルの付着を低減することができる。
また、構造が簡略になり、部品点数も低減することがで
きる。次に、本発明の第２実施例について説明する。図
２は本発明の第２実施例を示すイオン注入用ウエハスキ
ャン装置の構造を示す図であり、図２（ａ）はそのウエ
ハスキャン部の第１側面図、図２（ｂ）はそのウエハス
キャン部の上面図、図２（ｃ）はそのウエハスキャン部
の第２側面図である。
駆動アームをなくし、動作部をウエハから遠ざけること
により、パーティクルの付着を低減することができる。
また、構造が簡略になり、部品点数も低減することがで
きる。次に、本発明の第２実施例について説明する。図
２は本発明の第２実施例を示すイオン注入用ウエハスキ
ャン装置の構造を示す図であり、図２（ａ）はそのウエ
ハスキャン部の第１側面図、図２（ｂ）はそのウエハス
キャン部の上面図、図２（ｃ）はそのウエハスキャン部
の第２側面図である。
【００１５】これらの図において、３１はウエハチャッ
ク、３２はチャック支持柱、３３は真空チャンバー、３
４はベローズ、３５はレール、３６はプレート、３７は
スクリュー軸、３８はスキャンモータである。これらの
図に示すように、ウエハチャック３１とチャック支持柱
３２は、第１実施例と同様にチルトモータ（図示なし）
に接続している。チャック支持柱３２は真空チャンバー
３３を貫通し、大気側に設けたプレート３６に接続す
る。真空シールとチャック支持柱３２が伸縮できるよう
にベローズ３４がプレート３６と真空チャンバー３３を
繋いでいる。プレート３６はレール３５とスクリュー軸
３７に接続し、スキャンモータ３８によりスクリュー軸
３７を回転させると、レール３５に沿って移動すること
ができる。
ク、３２はチャック支持柱、３３は真空チャンバー、３
４はベローズ、３５はレール、３６はプレート、３７は
スクリュー軸、３８はスキャンモータである。これらの
図に示すように、ウエハチャック３１とチャック支持柱
３２は、第１実施例と同様にチルトモータ（図示なし）
に接続している。チャック支持柱３２は真空チャンバー
３３を貫通し、大気側に設けたプレート３６に接続す
る。真空シールとチャック支持柱３２が伸縮できるよう
にベローズ３４がプレート３６と真空チャンバー３３を
繋いでいる。プレート３６はレール３５とスクリュー軸
３７に接続し、スキャンモータ３８によりスクリュー軸
３７を回転させると、レール３５に沿って移動すること
ができる。
【００１６】以下、そのウエハスキャン装置の動作につ
いて説明する。スキャンモータ３８によりスクリュー軸
３７が回転し、連結するプレート３６がレール３５に沿
って移動する。それにより、ベローズ３４が縮み、その
分チャック支持柱３２が伸びる。スキャンモータ３８の
正、逆転により、チャック支持柱３２が伸縮し、スキャ
ン動作する。なお、３９はイオンビームの照射方向を示
している。
いて説明する。スキャンモータ３８によりスクリュー軸
３７が回転し、連結するプレート３６がレール３５に沿
って移動する。それにより、ベローズ３４が縮み、その
分チャック支持柱３２が伸びる。スキャンモータ３８の
正、逆転により、チャック支持柱３２が伸縮し、スキャ
ン動作する。なお、３９はイオンビームの照射方向を示
している。
【００１７】このように、第２実施例によれば、イオン
注入用ウエハスキャン装置のスキャン動作する駆動部を
真空チャンバー３３の外部に設けたことにより、真空チ
ャンバー３３内の可動部が減り、パーティクルの発生源
が少なくなるという効果が期待できる。次に、本発明の
第３実施例について説明する。
注入用ウエハスキャン装置のスキャン動作する駆動部を
真空チャンバー３３の外部に設けたことにより、真空チ
ャンバー３３内の可動部が減り、パーティクルの発生源
が少なくなるという効果が期待できる。次に、本発明の
第３実施例について説明する。
【００１８】図３は、本発明の第３実施例を示すイオン
注入用ウエハスキャン装置のチャック支持柱の構造を示
す図であり、図３（ａ）はその全体構成図、図３（ｂ）
はそのウエハチャック接続部の拡大図である。これらの
図において、４１はウエハチャック、４２はチャック支
持柱、４３は真空チャンバー、４４はベローズ、４５は
プレート、４６はケーブル、４７はチルトモータ、４８
はチャック本体、４９は歯車である。
注入用ウエハスキャン装置のチャック支持柱の構造を示
す図であり、図３（ａ）はその全体構成図、図３（ｂ）
はそのウエハチャック接続部の拡大図である。これらの
図において、４１はウエハチャック、４２はチャック支
持柱、４３は真空チャンバー、４４はベローズ、４５は
プレート、４６はケーブル、４７はチルトモータ、４８
はチャック本体、４９は歯車である。
【００１９】ここで、チャック支持柱４２は真空チャン
バー４３を貫通し、大気側に設けたプレート４５に接続
する。真空シールとチャック支持柱４２が伸縮できるよ
うにベローズ４４がプレート４５と真空チャンバー４３
を繋いでおり、第２実施例と同様の構成である。また、
ウエハチャック４１とチャック支持柱４２は、図３
（ｂ）に示すように、チャック本体４８に歯車４９が接
続され、チャック支持柱４２内部に設けたチルトモータ
４７により、チャック本体４８が回転する。
バー４３を貫通し、大気側に設けたプレート４５に接続
する。真空シールとチャック支持柱４２が伸縮できるよ
うにベローズ４４がプレート４５と真空チャンバー４３
を繋いでおり、第２実施例と同様の構成である。また、
ウエハチャック４１とチャック支持柱４２は、図３
（ｂ）に示すように、チャック本体４８に歯車４９が接
続され、チャック支持柱４２内部に設けたチルトモータ
４７により、チャック本体４８が回転する。
【００２０】更に、歯車４９は筒状であり、電気、冷却
水、エアーチューブ等が束になったケーブル４６がチャ
ック支持柱４２内部を通って、歯車４９内を通りウエハ
チャック４１に供給される。また、ウエハチャック４１
にウエハ（図示なし）をセットした後、チルトモータ４
７により歯車４９が回転し、ウエハチャック４１が傾斜
する。
水、エアーチューブ等が束になったケーブル４６がチャ
ック支持柱４２内部を通って、歯車４９内を通りウエハ
チャック４１に供給される。また、ウエハチャック４１
にウエハ（図示なし）をセットした後、チルトモータ４
７により歯車４９が回転し、ウエハチャック４１が傾斜
する。
【００２１】以下、スキャン動作については、第２実施
例と同様であるが、チャック支持柱４２内に設けたケー
ブル４６はスキャン動作分伸縮する。このように、第３
実施例によれば、ケーブル４６をチャック支持柱内部の
穴５０を通してウエハチャック４１に供給することによ
り、ケーブル４６は真空内に晒されることがなくなり、
その分スキャン動作によるパーティクルの発生を抑える
ことができる。
例と同様であるが、チャック支持柱４２内に設けたケー
ブル４６はスキャン動作分伸縮する。このように、第３
実施例によれば、ケーブル４６をチャック支持柱内部の
穴５０を通してウエハチャック４１に供給することによ
り、ケーブル４６は真空内に晒されることがなくなり、
その分スキャン動作によるパーティクルの発生を抑える
ことができる。
【００２２】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００２３】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、従来の駆動アーム
をなくし、動作部をウエハから遠ざけることにより、パ
ーティクルの付着を低減することができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、従来の駆動アーム
をなくし、動作部をウエハから遠ざけることにより、パ
ーティクルの付着を低減することができる。
【００２４】また、構造が簡略になり、部品点数も低減
することができる。 （２）請求項２記載の発明によれば、スキャン動作する
駆動部を、真空チャンバーの外部に配置することによ
り、真空チャンバー内の可動部が減り、パーティクルの
発生源を低減することができる。 （３）請求項３記載の発明によれば、ケーブルをチャッ
ク支持柱内部を通してウエハチャックに供給することに
より、ケーブルが真空内に晒されることがなくなり、ス
キャン動作によるパーティクルの発生を抑えることがで
きる。
することができる。 （２）請求項２記載の発明によれば、スキャン動作する
駆動部を、真空チャンバーの外部に配置することによ
り、真空チャンバー内の可動部が減り、パーティクルの
発生源を低減することができる。 （３）請求項３記載の発明によれば、ケーブルをチャッ
ク支持柱内部を通してウエハチャックに供給することに
より、ケーブルが真空内に晒されることがなくなり、ス
キャン動作によるパーティクルの発生を抑えることがで
きる。
【図１】本発明の第１実施例を示すイオン注入用ウエハ
スキャン装置の構造を示す図である。
スキャン装置の構造を示す図である。
【図２】本発明の第２実施例を示すイオン注入用ウエハ
スキャン装置の構造を示す図である。
スキャン装置の構造を示す図である。
【図３】本発明の第３実施例を示すイオン注入用ウエハ
スキャン装置のチャック支持柱の構造を示す図である。
スキャン装置のチャック支持柱の構造を示す図である。
【図４】従来のウエハスキャン装置の構成図である。
２０ ウエハ ２１，３１，４１ ウエハチャック ２２，３６，４５ プレート ２３，４７ チルトモータ ２４，４３ 真空チャンバー ２５，３５ レール ２６，３７ スクリュー軸 ２７，３８ スキャンモータ ２８ レールブロック ２９，４６ ケーブル ３０ イオンビーム ３２，４２ チャック支持柱 ３３ 真空チャンバー ３４，４４ ベローズ ３９ イオンビームの照射方向 ４８ チャック本体 ４９ 歯車
Claims (3)
- 【請求項１】（ａ）ウエハチャックの支持部に配置され
るチルトモータと、（ｂ）前記ウエハチャックとレール
を連結するプレートと、（ｃ）イオンビームに対し垂直
に固定されるレールブロックと、（ｃ）該レールブロッ
クに並設されるスクリュー軸と、（ｄ）該スクリュー軸
を駆動するスキャンモータとを備え、（ｅ）前記チルト
モータの駆動により、前記ウエハチャックをイオンビー
ムに対し垂直になるように傾斜させるとともに、前記ス
キャンモータの駆動により、前記スクリュー軸と前記プ
レートを介して、前記ウエハチャックを前記イオンビー
ムに対し垂直方向に移動可能にすることを特徴とするイ
オン注入用ウエハスキャン装置。 - 【請求項２】（ａ）真空チャンバー外に配置されるレー
ルと、（ｂ）該レールに並設されるスクリュー軸と、
（ｃ）該スクリュー軸を駆動するスキャンモータと、
（ｄ）前記スクリュー軸と係合して駆動されるととも
に、前記レールに案内されるプレートと、（ｅ）該プレ
ートに基部を固定されるとともに、真空チャンバーを貫
通して該真空チャンバー内に延びるチャック支持柱を介
して、イオンビームに対し垂直方向に移動可能に配置さ
れるウエハチャックとを具備することを特徴とするイオ
ン注入用ウエハスキャン装置。 - 【請求項３】 請求項２記載のイオン注入用ウエハスキ
ャン装置において、チャック支持柱内部を通してウエハ
チャックに供給するケーブルを配置するようにしたこと
を特徴とするイオン注入用ウエハスキャン装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13668897A JPH10326590A (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | イオン注入用ウエハスキャン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13668897A JPH10326590A (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | イオン注入用ウエハスキャン装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10326590A true JPH10326590A (ja) | 1998-12-08 |
Family
ID=15181155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13668897A Withdrawn JPH10326590A (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | イオン注入用ウエハスキャン装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10326590A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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