JPH10326348A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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- JPH10326348A JPH10326348A JP9136802A JP13680297A JPH10326348A JP H10326348 A JPH10326348 A JP H10326348A JP 9136802 A JP9136802 A JP 9136802A JP 13680297 A JP13680297 A JP 13680297A JP H10326348 A JPH10326348 A JP H10326348A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 単純な構成で安価かつ高精度な外観検査装置
を提供する。 【解決手段】 ワークＷに具備されたオブジェクトＯの
数量及び外観形状を検査する外観検査装置において、ワ
ークＷの所定領域にあるオブジェクトＯを撮像する第１
カメラと、第１カメラによる撮像領域の部分領域にある
オブジェクトＯを撮像する第２カメラ２ａ及び２ｂを備
えて、第１カメラによる第１の画像信号に基づきワーク
Ｗに具備されたオブジェクトＯの数量を検査し、第２カ
メラ２ａ及び２ｂによる高解像度の第２の画像信号に基
づきオブジェクトＯの外観形状を検査するので、ワーク
Ｗの大きさと比較してオブジェクトＯが小さい場合で
も、画素数の多い高価なカメラを用いることなく、単純
な構成で安価かつ高精度なものとすることができる。
を提供する。 【解決手段】 ワークＷに具備されたオブジェクトＯの
数量及び外観形状を検査する外観検査装置において、ワ
ークＷの所定領域にあるオブジェクトＯを撮像する第１
カメラと、第１カメラによる撮像領域の部分領域にある
オブジェクトＯを撮像する第２カメラ２ａ及び２ｂを備
えて、第１カメラによる第１の画像信号に基づきワーク
Ｗに具備されたオブジェクトＯの数量を検査し、第２カ
メラ２ａ及び２ｂによる高解像度の第２の画像信号に基
づきオブジェクトＯの外観形状を検査するので、ワーク
Ｗの大きさと比較してオブジェクトＯが小さい場合で
も、画素数の多い高価なカメラを用いることなく、単純
な構成で安価かつ高精度なものとすることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のオブジェク
トを具備したワークを撮像し、画像処理によって外観検
査を行う外観検査装置に関するものである。
トを具備したワークを撮像し、画像処理によって外観検
査を行う外観検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】複数のオブジェクトを具備したワーク
は、そのオブジェクトが所定の数量あるか否か、及び、
オブジェクトが所定の外観形状を備えているか否かを画
像処理による検査対象としている。例えば、ワークとし
ては積層チップインダクタの製造過程における所定寸法
のセラミックシート等であり、このワークのオブジェク
トとしてはセラミックシートに所定の径又は面積で空け
られた所定個数のスルーホール等である。
は、そのオブジェクトが所定の数量あるか否か、及び、
オブジェクトが所定の外観形状を備えているか否かを画
像処理による検査対象としている。例えば、ワークとし
ては積層チップインダクタの製造過程における所定寸法
のセラミックシート等であり、このワークのオブジェク
トとしてはセラミックシートに所定の径又は面積で空け
られた所定個数のスルーホール等である。
【０００３】従来の外観検査装置は、ＣＣＤカメラ等に
よってワークに具備した検査対象となるオブジェクトが
撮像領域に含まれるように撮像し、この画像信号に基づ
きオブジェクトの数量及び外観形状を検査していた。
よってワークに具備した検査対象となるオブジェクトが
撮像領域に含まれるように撮像し、この画像信号に基づ
きオブジェクトの数量及び外観形状を検査していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
外観検査装置では、ワークの大きさと比較してオブジェ
クトが極端に小さい場合には、オブジェクト形状につい
て的確な検査を行うためには解像度の高い画像信号を必
要としていた。
外観検査装置では、ワークの大きさと比較してオブジェ
クトが極端に小さい場合には、オブジェクト形状につい
て的確な検査を行うためには解像度の高い画像信号を必
要としていた。
【０００５】この高解像度の画像信号を得るために、画
素数の多いＣＣＤカメラ等を用いる方法が考えられる
が、画素数の多いものは非常に高価であり、また、ワー
ク及びオブジェクトの大きさによっては適当な画像信号
を出力するＣＣＤカメラ等が存在しないため、従来の外
観検査装置の構成では、安価かつ容易に高精度のものを
提供することは困難であった。
素数の多いＣＣＤカメラ等を用いる方法が考えられる
が、画素数の多いものは非常に高価であり、また、ワー
ク及びオブジェクトの大きさによっては適当な画像信号
を出力するＣＣＤカメラ等が存在しないため、従来の外
観検査装置の構成では、安価かつ容易に高精度のものを
提供することは困難であった。
【０００６】また、高解像度の画像信号を得るために、
図６に示すように、ワークＷの上方に複数のカメラ２０
１ａ〜２０１ｄを設置し、各カメラ２０１ａ〜２０１ｄ
がワークＷ全体ではなく一部の領域のみ撮像することに
より、各カメラ２０１ａ〜２０１ｄによって高解像度の
画像信号を得る方法が考えらている。この方法によれ
ば、オブジェクトＯの形状検査においては各カメラによ
る高解像度の画像信号により的確な外観形状検査を行う
ことができる。しかしながら、この方法においては、ワ
ークＷの全てのオブジェクトＯを確実に漏れなく撮像す
ることを目的として各カメラが撮像する撮像領域に相互
に重複する領域を設ける必要があるため、ワークＷに具
備されたオブジェクトＯの数量を検査するには、この重
複領域におけるオブジェクトＯの数量を考慮した複雑な
画像処理を行う必要があり、これは技術的に困難かつ構
成が複雑なものになるという難点がある。
図６に示すように、ワークＷの上方に複数のカメラ２０
１ａ〜２０１ｄを設置し、各カメラ２０１ａ〜２０１ｄ
がワークＷ全体ではなく一部の領域のみ撮像することに
より、各カメラ２０１ａ〜２０１ｄによって高解像度の
画像信号を得る方法が考えらている。この方法によれ
ば、オブジェクトＯの形状検査においては各カメラによ
る高解像度の画像信号により的確な外観形状検査を行う
ことができる。しかしながら、この方法においては、ワ
ークＷの全てのオブジェクトＯを確実に漏れなく撮像す
ることを目的として各カメラが撮像する撮像領域に相互
に重複する領域を設ける必要があるため、ワークＷに具
備されたオブジェクトＯの数量を検査するには、この重
複領域におけるオブジェクトＯの数量を考慮した複雑な
画像処理を行う必要があり、これは技術的に困難かつ構
成が複雑なものになるという難点がある。
【０００７】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、単純な構成で安価かつ高
精度な外観検査装置を提供することにある。
で、その目的とするところは、単純な構成で安価かつ高
精度な外観検査装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、複数のオブジェクトを具備したワークの
外観を撮像手段によって撮像し、この画像信号に基づき
オブジェクトの数量及び外観形状を検査する外観検査装
置において、ワークの少なくとも所定領域にあるオブジ
ェクトを撮像して第１の画像信号を出力する第１撮像手
段と、前記撮像領域の部分領域にあるオブジェクトを撮
像して第２の画像信号を出力する第２撮像手段と、第１
撮像手段によって撮像された第１の画像信号に基づきオ
ブジェクトの数量を検査し、第２撮像手段によって撮像
された第２の画像信号に基づきオブジェクトの外観形状
を検査する画像処理手段を備えたことを特徴とする。
め、本発明は、複数のオブジェクトを具備したワークの
外観を撮像手段によって撮像し、この画像信号に基づき
オブジェクトの数量及び外観形状を検査する外観検査装
置において、ワークの少なくとも所定領域にあるオブジ
ェクトを撮像して第１の画像信号を出力する第１撮像手
段と、前記撮像領域の部分領域にあるオブジェクトを撮
像して第２の画像信号を出力する第２撮像手段と、第１
撮像手段によって撮像された第１の画像信号に基づきオ
ブジェクトの数量を検査し、第２撮像手段によって撮像
された第２の画像信号に基づきオブジェクトの外観形状
を検査する画像処理手段を備えたことを特徴とする。
【０００９】この発明によれば、第１撮像手段によって
撮像された第１の画像信号に基づいてワークに具備され
たオブジェクト数量が検査される。また、第２撮像手段
が撮像するワークの撮像領域が第１撮像手段が撮像する
撮像領域の部分領域となっているため、第２の画像信号
の解像度が第１の画像信号よりも高解像度となり、この
高解像の第２の画像信号に基づいてオブジェクトの外観
形状が検査される。
撮像された第１の画像信号に基づいてワークに具備され
たオブジェクト数量が検査される。また、第２撮像手段
が撮像するワークの撮像領域が第１撮像手段が撮像する
撮像領域の部分領域となっているため、第２の画像信号
の解像度が第１の画像信号よりも高解像度となり、この
高解像の第２の画像信号に基づいてオブジェクトの外観
形状が検査される。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態に係る外観
検査装置について図１を参照して説明する。図１は、外
観検査装置の要部構成図である。図において、１は第１
カメラ、２ａ及び２ｂは第２カメラ、３ａ及び３ｂは照
明器、１１は画像処理装置、１１ａは画像メモリ、１１
ｂは処理判定部、１２はＣＲＴ、Ｗはワーク、Ｏはオブ
ジェクトである。
検査装置について図１を参照して説明する。図１は、外
観検査装置の要部構成図である。図において、１は第１
カメラ、２ａ及び２ｂは第２カメラ、３ａ及び３ｂは照
明器、１１は画像処理装置、１１ａは画像メモリ、１１
ｂは処理判定部、１２はＣＲＴ、Ｗはワーク、Ｏはオブ
ジェクトである。
【００１１】ワークＷは所定寸法の矩形シート状のもの
で、これに貫通した孔であるオブジェクトＯを所定個数
備えており、例えば、積層チップインダクタの製造過程
における十数ｃｍ角のセラミックシートに約１００μｍ
のスルーホールを所定個数空けたものである。
で、これに貫通した孔であるオブジェクトＯを所定個数
備えており、例えば、積層チップインダクタの製造過程
における十数ｃｍ角のセラミックシートに約１００μｍ
のスルーホールを所定個数空けたものである。
【００１２】第１カメラ１は、ワークＷに具備されたオ
ブジェクトＯの数量検査に用いられる第１の一次元画像
信号Ｉ0を出力するためのもので、所定の画素数を有す
るＣＣＤラインセンサ及びレンズを内蔵している。ま
た、第１カメラ１は、所定の撮像位置に搬送されたワー
クＷの上方に配置されており、ワークＷの上平面を横切
り、ワークＷの幅よりもわずかに長い線状の撮像領域Ｌ
0を撮像可能に視野を調整してある。
ブジェクトＯの数量検査に用いられる第１の一次元画像
信号Ｉ0を出力するためのもので、所定の画素数を有す
るＣＣＤラインセンサ及びレンズを内蔵している。ま
た、第１カメラ１は、所定の撮像位置に搬送されたワー
クＷの上方に配置されており、ワークＷの上平面を横切
り、ワークＷの幅よりもわずかに長い線状の撮像領域Ｌ
0を撮像可能に視野を調整してある。
【００１３】第２カメラ２ａ及び２ｂは、ワークＷに具
備されたオブジェクトＯの外観形状検査に用いられる第
２の一次元画像信号Ｉａ及びＩｂを出力するためのもの
で、第１カメラ１と同様の画素数を備えたＣＣＤライン
センサ及びレンズを内蔵している。また、第２カメラ２
ａ及び２ｂは、それぞれ前記撮像領域Ｌ0の半分よりも
やや長い線状の撮像領域Ｌａ及びＬｂを撮像可能に視野
を調整してあり、撮像領域Ｌａ及びＬｂに重複撮像領域
Ｌａｂが生じるようにワークＷの上面を撮像する。この
第２カメラ２ａ及び２ｂによる第２の一次元画像信号Ｉ
ａ及びＩｂは、第１カメラ１とＣＣＤラインセンサの画
素数が同数であり、且つ、撮像領域が約半分であるた
め、第１の一次元画像信号Ｉ0の約２倍の解像度とな
る。
備されたオブジェクトＯの外観形状検査に用いられる第
２の一次元画像信号Ｉａ及びＩｂを出力するためのもの
で、第１カメラ１と同様の画素数を備えたＣＣＤライン
センサ及びレンズを内蔵している。また、第２カメラ２
ａ及び２ｂは、それぞれ前記撮像領域Ｌ0の半分よりも
やや長い線状の撮像領域Ｌａ及びＬｂを撮像可能に視野
を調整してあり、撮像領域Ｌａ及びＬｂに重複撮像領域
Ｌａｂが生じるようにワークＷの上面を撮像する。この
第２カメラ２ａ及び２ｂによる第２の一次元画像信号Ｉ
ａ及びＩｂは、第１カメラ１とＣＣＤラインセンサの画
素数が同数であり、且つ、撮像領域が約半分であるた
め、第１の一次元画像信号Ｉ0の約２倍の解像度とな
る。
【００１４】照明器３ａは、搬送装置（図示省略）によ
って長さ方向に移動するワークＷの下側に配置され、上
面に設けられた線状の照明面から上方のワークＷの少な
くとも前記撮像領域Ｌ0に光を照射可能である。また、
照明器３ｂは、照明器３ａと同様の構成であり、照明器
３ａからワークＷの長さ方向に所定距離だけ離れた位置
に配置されて前記撮像領域Ｌａ及びＬｂに光を照射可能
としている。この照明器３ａ及び３ｂにより、各カメラ
は、ワークＷの撮像領域Ｌ0，Ｌａ，Ｌｂを撮像すると
オブジェクトＯ部分は高輝度でその他の部分は低輝度の
一次元画像信号を出力することになる。
って長さ方向に移動するワークＷの下側に配置され、上
面に設けられた線状の照明面から上方のワークＷの少な
くとも前記撮像領域Ｌ0に光を照射可能である。また、
照明器３ｂは、照明器３ａと同様の構成であり、照明器
３ａからワークＷの長さ方向に所定距離だけ離れた位置
に配置されて前記撮像領域Ｌａ及びＬｂに光を照射可能
としている。この照明器３ａ及び３ｂにより、各カメラ
は、ワークＷの撮像領域Ｌ0，Ｌａ，Ｌｂを撮像すると
オブジェクトＯ部分は高輝度でその他の部分は低輝度の
一次元画像信号を出力することになる。
【００１５】画像処理装置１１は、画像メモリ１１ａ及
び処理判定部１１ｂからなり、各カメラからの第１の一
次元画像信号Ｉ0並びに第２の一次元画像信号Ｉａ及び
Ｉｂを画像メモリ１１ａに記憶するとともに、処理判定
部１１ｂによってワークＷに具備されたオブジェクトＯ
の数量及び外観形状を検査し、その検査結果をＣＲＴ１
２に出力する。
び処理判定部１１ｂからなり、各カメラからの第１の一
次元画像信号Ｉ0並びに第２の一次元画像信号Ｉａ及び
Ｉｂを画像メモリ１１ａに記憶するとともに、処理判定
部１１ｂによってワークＷに具備されたオブジェクトＯ
の数量及び外観形状を検査し、その検査結果をＣＲＴ１
２に出力する。
【００１６】次に、この外観検査装置によるワークＷの
外観検査に係る一連の検査手順を図２のフローチャート
を参照して説明する。
外観検査に係る一連の検査手順を図２のフローチャート
を参照して説明する。
【００１７】まず、照明器３ａ及び３ｂによって照明を
あてながら搬送装置（図示省略）によってワークＷを長
さ方向に撮像領域Ｌ0，Ｌａ，Ｌｂを横切るように移動
させて、この撮像領域Ｌ0を第１カメラ１により、撮像
領域Ｌａを第２カメラ２ａにより、撮像領域Ｌｂを第２
カメラ２ｂにより撮像し、各カメラから出力される第１
の一次元画像信号Ｉ0並びに第２の一次元画像信号Ｉａ
及びＩｂを画像メモリ１１ａに逐次記憶して、それぞれ
ワークＷ上面の全領域の第１の二次元画像信号Ｓ0，ワ
ークＷ上面の約半分の領域の第２の二次元画像信号Ｓａ
及びＳｂを生成する（ステップＳｔ１）。尚、第２の一
次元画像信号Ｉａ及びＩｂの解像度が第１の一次元画像
信号Ｉ0の約２倍となっていることから、第２の二次元
画像信号Ｓａ及びＳｂの解像度は第１の二次元画像信号
Ｓ0の約２倍となっている。
あてながら搬送装置（図示省略）によってワークＷを長
さ方向に撮像領域Ｌ0，Ｌａ，Ｌｂを横切るように移動
させて、この撮像領域Ｌ0を第１カメラ１により、撮像
領域Ｌａを第２カメラ２ａにより、撮像領域Ｌｂを第２
カメラ２ｂにより撮像し、各カメラから出力される第１
の一次元画像信号Ｉ0並びに第２の一次元画像信号Ｉａ
及びＩｂを画像メモリ１１ａに逐次記憶して、それぞれ
ワークＷ上面の全領域の第１の二次元画像信号Ｓ0，ワ
ークＷ上面の約半分の領域の第２の二次元画像信号Ｓａ
及びＳｂを生成する（ステップＳｔ１）。尚、第２の一
次元画像信号Ｉａ及びＩｂの解像度が第１の一次元画像
信号Ｉ0の約２倍となっていることから、第２の二次元
画像信号Ｓａ及びＳｂの解像度は第１の二次元画像信号
Ｓ0の約２倍となっている。
【００１８】次に、各二次元画像信号Ｓ0，Ｓａ，Ｓｂ
に雑音除去，歪補正等の前処理を施す（ステップＳｔ
２）。
に雑音除去，歪補正等の前処理を施す（ステップＳｔ
２）。
【００１９】次に、画像信号Ｓ0において高輝度となっ
ている箇所を判別してオブジェクトＯの数量を抽出し
（ステップＳｔ３）、ワークＷがオブジェクトＯを所定
個数備えていない場合はＣＲＴ１２にその旨を表示し
（ステップＳｔ４，ステップＳｔ８）、所定個数備えて
いる場合は処理をステップＳｔ５に移す。
ている箇所を判別してオブジェクトＯの数量を抽出し
（ステップＳｔ３）、ワークＷがオブジェクトＯを所定
個数備えていない場合はＣＲＴ１２にその旨を表示し
（ステップＳｔ４，ステップＳｔ８）、所定個数備えて
いる場合は処理をステップＳｔ５に移す。
【００２０】次に、画像信号Ｓａ及びＳｂに基づき高輝
度となっている箇所を判別して各々のオブジェクトＯの
形状の特徴を抽出し（ステップＳｔ５）、所定の形状で
ない場合にはＣＲＴ１２にその旨を表示し（ステップＳ
ｔ６，ステップＳｔ８）、所定の形状である場合にはＣ
ＲＴ１２にオブジェクトＯの数量及び外観形状が共に所
定の範囲内である旨を表示して検査を終了する（ステッ
プＳｔ７）。
度となっている箇所を判別して各々のオブジェクトＯの
形状の特徴を抽出し（ステップＳｔ５）、所定の形状で
ない場合にはＣＲＴ１２にその旨を表示し（ステップＳ
ｔ６，ステップＳｔ８）、所定の形状である場合にはＣ
ＲＴ１２にオブジェクトＯの数量及び外観形状が共に所
定の範囲内である旨を表示して検査を終了する（ステッ
プＳｔ７）。
【００２１】この外観検査装置によれば、第１カメラ１
による第１の一次元画像信号Ｉ0からワークＷ全体の第
１の二次元画像信号Ｓ0が生成され、この画像信号に基
づきワークＷに具備されたオブジェクトＯの数量を的確
に検査することができる。また、第２カメラ２ａ及び２
ｂによる第２の一次元画像信号Ｉａ及びＩｂから、ワー
クＷの約半分の領域で第１の二次元画像信号Ｓ0の約２
倍の解像度の第２の二次元画像信号Ｓａ及びＳｂが生成
され、この高解像度の画像信号に基づき的確なオブジェ
クトＯの外観形状検査をすることができる。従って、画
素数の多く高価なＣＣＤカメラ等を用いずに、また、画
像処理においても単純な構成をもって高精度の外観検査
装置を構築することができる。
による第１の一次元画像信号Ｉ0からワークＷ全体の第
１の二次元画像信号Ｓ0が生成され、この画像信号に基
づきワークＷに具備されたオブジェクトＯの数量を的確
に検査することができる。また、第２カメラ２ａ及び２
ｂによる第２の一次元画像信号Ｉａ及びＩｂから、ワー
クＷの約半分の領域で第１の二次元画像信号Ｓ0の約２
倍の解像度の第２の二次元画像信号Ｓａ及びＳｂが生成
され、この高解像度の画像信号に基づき的確なオブジェ
クトＯの外観形状検査をすることができる。従って、画
素数の多く高価なＣＣＤカメラ等を用いずに、また、画
像処理においても単純な構成をもって高精度の外観検査
装置を構築することができる。
【００２２】尚、本実施の形態では、オブジェクトＯの
外観形状を検査するための第２の画像信号と出力する手
段として２つの第２カメラ２ａ及び２ｂを用いてワーク
Ｗを撮像し高解像度の画像信号を出力したが、第２の画
像信号を出力するカメラを増設し、各カメラの撮像する
撮像領域を狭くすることによって、さらに高解像度の画
像信号を得て外観形状検査の精度を向上することができ
る。
外観形状を検査するための第２の画像信号と出力する手
段として２つの第２カメラ２ａ及び２ｂを用いてワーク
Ｗを撮像し高解像度の画像信号を出力したが、第２の画
像信号を出力するカメラを増設し、各カメラの撮像する
撮像領域を狭くすることによって、さらに高解像度の画
像信号を得て外観形状検査の精度を向上することができ
る。
【００２３】また、本実施の形態では、オブジェクトＯ
の外観形状を検査するための第２の画像信号を出力する
手段として２つの第２カメラ２ａ及び２ｂを用いたが、
第２カメラ２ａのみを用いてもよい。この場合、外観形
状検査のための第２の画像信号を得るためには、ワーク
Ｗを長さ方向に移動させながら撮像領域Ｌａを撮像して
ワークＷの約半分の第２の一次元画像信号を出力し、そ
の後にワークＷを幅方向に約半分ずらして再びワークＷ
を長さ方向に移動させながら撮像領域Ｌａを撮像するこ
とによりワークＷの残り半分の第２の一次元画像信号を
出力する（図３参照）。
の外観形状を検査するための第２の画像信号を出力する
手段として２つの第２カメラ２ａ及び２ｂを用いたが、
第２カメラ２ａのみを用いてもよい。この場合、外観形
状検査のための第２の画像信号を得るためには、ワーク
Ｗを長さ方向に移動させながら撮像領域Ｌａを撮像して
ワークＷの約半分の第２の一次元画像信号を出力し、そ
の後にワークＷを幅方向に約半分ずらして再びワークＷ
を長さ方向に移動させながら撮像領域Ｌａを撮像するこ
とによりワークＷの残り半分の第２の一次元画像信号を
出力する（図３参照）。
【００２４】さらに、第２カメラ２ａ及び２ｂのどちら
も用いず、視野を変更制御可能な第１カメラ１のみを用
いてもよい。この場合、まず撮像領域Ｌ0を撮像可能に
視野を調整し、ワークＷを移動させながら撮像して第１
の画像信号を画像処理装置に出力する。次に、視野を約
半分に変更制御して撮像領域Ｌ0′を撮像可能とし、ワ
ークＷを幅方向にずらしたのちに長さ方向に移動させな
がら撮像してワークＷの約半分の第２の画像信号を出力
する（図４(a)参照）。最後に、ワークＷを幅方向にず
らしたのちに長さ方向に移動させながら撮像してワーク
Ｗの残り半分の第２の画像信号を出力する（図４(b)参
照）。
も用いず、視野を変更制御可能な第１カメラ１のみを用
いてもよい。この場合、まず撮像領域Ｌ0を撮像可能に
視野を調整し、ワークＷを移動させながら撮像して第１
の画像信号を画像処理装置に出力する。次に、視野を約
半分に変更制御して撮像領域Ｌ0′を撮像可能とし、ワ
ークＷを幅方向にずらしたのちに長さ方向に移動させな
がら撮像してワークＷの約半分の第２の画像信号を出力
する（図４(a)参照）。最後に、ワークＷを幅方向にず
らしたのちに長さ方向に移動させながら撮像してワーク
Ｗの残り半分の第２の画像信号を出力する（図４(b)参
照）。
【００２５】さらに、また、本実施の形態では、各カメ
ラとしてＣＣＤラインセンサを内蔵したものを用いた
が、ＣＣＤエリアセンサを内蔵したカメラ１０１，１０
２ａ〜１０２ｄを用いてもよい。この場合は、ワークＷ
を移動させることなく直接二次元画像信号を画像処理装
置に出力することができる（図５参照）。
ラとしてＣＣＤラインセンサを内蔵したものを用いた
が、ＣＣＤエリアセンサを内蔵したカメラ１０１，１０
２ａ〜１０２ｄを用いてもよい。この場合は、ワークＷ
を移動させることなく直接二次元画像信号を画像処理装
置に出力することができる（図５参照）。
【００２６】さらに、また、本実施の形態では、ワーク
Ｗがシート状であり、オブジェクトＯがワークＷに貫通
した孔であったが、ワークＷ及びオブジェクトＯの形状
にかかわらず適用することができ、特に、ワークＷ上で
のオブジェクトＯの分布範囲とオブジェクトＯの大きさ
に極端な差がある場合に有効である。
Ｗがシート状であり、オブジェクトＯがワークＷに貫通
した孔であったが、ワークＷ及びオブジェクトＯの形状
にかかわらず適用することができ、特に、ワークＷ上で
のオブジェクトＯの分布範囲とオブジェクトＯの大きさ
に極端な差がある場合に有効である。
【００２７】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
第１撮像手段によって撮像された第１の画像信号に基づ
いてワークに具備されたオブジェクト数量が検査され、
また、第２撮像手段が撮像するワークの撮像領域が第１
撮像手段が撮像する撮像領域の部分領域となっているた
め、第２の画像信号の解像度が第１の画像信号よりも高
解像度となり、この高解像の第２の画像信号に基づいて
オブジェクトＯの外観形状が検査される。これにより、
画素数が多く高価な撮像手段を用いることなく、また、
複雑な画像処理構成を用いることなく、安価かつ高精度
な外観検査装置を単純な構成で構築することができる。
第１撮像手段によって撮像された第１の画像信号に基づ
いてワークに具備されたオブジェクト数量が検査され、
また、第２撮像手段が撮像するワークの撮像領域が第１
撮像手段が撮像する撮像領域の部分領域となっているた
め、第２の画像信号の解像度が第１の画像信号よりも高
解像度となり、この高解像の第２の画像信号に基づいて
オブジェクトＯの外観形状が検査される。これにより、
画素数が多く高価な撮像手段を用いることなく、また、
複雑な画像処理構成を用いることなく、安価かつ高精度
な外観検査装置を単純な構成で構築することができる。
【図１】外観検査装置の要部構成図
【図２】検査手順を示すフローチャート
【図３】本発明の他の実施の形態に係る外観検査装置の
要部構成図
要部構成図
【図４】本発明の他の実施の形態に係る外観検査装置の
要部構成図
要部構成図
【図５】本発明の他の実施の形態に係る外観検査装置の
要部構成図
要部構成図
【図６】従来の外観検査装置の要部構成図
１…第１カメラ、２ａ，２ｂ…第２カメラ、３ａ，３ｂ
…照明器、１１…画像処理装置、１１ａ…画像メモリ、
１１ｂ…処理判定部、１２…ＣＲＴ、Ｗ…ワーク、Ｏ…
オブジェクト
…照明器、１１…画像処理装置、１１ａ…画像メモリ、
１１ｂ…処理判定部、１２…ＣＲＴ、Ｗ…ワーク、Ｏ…
オブジェクト
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のオブジェクトを具備したワークの
外観を撮像手段によって撮像し、この画像信号に基づき
オブジェクトの数量及び外観形状を検査する外観検査装
置において、 ワークの少なくとも所定領域にあるオブジェクトを撮像
して第１の画像信号を出力する第１撮像手段と、 前記撮像領域の部分領域にあるオブジェクトを撮像して
第２の画像信号を出力する第２撮像手段と、 第１撮像手段によって撮像された第１の画像信号に基づ
きオブジェクトの数量を検査し、第２撮像手段によって
撮像された第２の画像信号に基づきオブジェクトの外観
形状を検査する画像処理手段を備えたことを特徴とする
外観検査装置。 - 【請求項２】 前記第２撮像手段を複数設けたことを特
徴とする請求項１記載の外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9136802A JPH10326348A (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9136802A JPH10326348A (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10326348A true JPH10326348A (ja) | 1998-12-08 |
Family
ID=15183867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9136802A Withdrawn JPH10326348A (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10326348A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101297395B1 (ko) * | 2011-12-09 | 2013-08-14 | 주식회사 엠플러스 | 이차 전지용 극판 비젼 검사 방법 |
| CN105092594A (zh) * | 2015-08-28 | 2015-11-25 | 白薇 | 基于多重滤波的陶瓷外观分析平台 |
| CN105181705A (zh) * | 2015-08-28 | 2015-12-23 | 白薇 | 一种基于多重滤波的陶瓷外观分析方法 |
| JP2017146302A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-24 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 |
-
1997
- 1997-05-27 JP JP9136802A patent/JPH10326348A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101297395B1 (ko) * | 2011-12-09 | 2013-08-14 | 주식회사 엠플러스 | 이차 전지용 극판 비젼 검사 방법 |
| CN105092594A (zh) * | 2015-08-28 | 2015-11-25 | 白薇 | 基于多重滤波的陶瓷外观分析平台 |
| CN105181705A (zh) * | 2015-08-28 | 2015-12-23 | 白薇 | 一种基于多重滤波的陶瓷外观分析方法 |
| JP2017146302A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-24 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040803 |