JPH10322160A - 圧電共振子及びその製造方法 - Google Patents
圧電共振子及びその製造方法Info
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- JPH10322160A JPH10322160A JP9128782A JP12878297A JPH10322160A JP H10322160 A JPH10322160 A JP H10322160A JP 9128782 A JP9128782 A JP 9128782A JP 12878297 A JP12878297 A JP 12878297A JP H10322160 A JPH10322160 A JP H10322160A
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
-
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
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- H03H9/56—Monolithic crystal filters
- H03H9/562—Monolithic crystal filters comprising a ceramic piezoelectric layer
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 不要リップル及び／またはスプリアスを効果
的に抑圧し得るフィルタ特性に優れた圧電共振子を得
る。 【解決手段】 圧電基板２の一方主面に第１，第２の励
振電極３ａ，３ｂを形成し、他方主面に第１，第２の励
振電極３ａ，３ｂと表裏対向するように共通電極４を形
成し、第１，第２の励振電極３ａ，３ｂに接続されてい
る励振用リードライン５ａ〜５ｃのうち、下面に形成さ
れたアース端子電極１０と圧電基板２を介して部分的に
重なり合う励振用リードラインとして、圧電基板２の長
手方向端縁に沿うように２本の励振用リードライン５
ｂ，５ｃを形成してなる圧電共振子１。
的に抑圧し得るフィルタ特性に優れた圧電共振子を得
る。 【解決手段】 圧電基板２の一方主面に第１，第２の励
振電極３ａ，３ｂを形成し、他方主面に第１，第２の励
振電極３ａ，３ｂと表裏対向するように共通電極４を形
成し、第１，第２の励振電極３ａ，３ｂに接続されてい
る励振用リードライン５ａ〜５ｃのうち、下面に形成さ
れたアース端子電極１０と圧電基板２を介して部分的に
重なり合う励振用リードラインとして、圧電基板２の長
手方向端縁に沿うように２本の励振用リードライン５
ｂ，５ｃを形成してなる圧電共振子１。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばテレビジョ
ン受像機の音声フィルタ回路等に用いられる圧電共振子
及びその製造方法に関し、より詳細には、励振電極に接
続される励振用リードラインの位置を制御することによ
り不要振動を抑制することが可能とされている圧電共振
子及びその製造方法に関する。
ン受像機の音声フィルタ回路等に用いられる圧電共振子
及びその製造方法に関し、より詳細には、励振電極に接
続される励振用リードラインの位置を制御することによ
り不要振動を抑制することが可能とされている圧電共振
子及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】テレビジョン受像機の音声フィルタ回路
などにおいては、帯域フィルタとして、種々の圧電共振
子が用いられている。
などにおいては、帯域フィルタとして、種々の圧電共振
子が用いられている。
【０００３】図１４は、この種の圧電共振子の一例を示
す平面図である。圧電共振子５１は、細長い矩形の圧電
基板５２を用いて構成されている。圧電基板５２は、チ
タン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスなどにより構成
されており、図示の矢印Ｐ方向に分極処理されている。
す平面図である。圧電共振子５１は、細長い矩形の圧電
基板５２を用いて構成されている。圧電基板５２は、チ
タン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスなどにより構成
されており、図示の矢印Ｐ方向に分極処理されている。
【０００４】圧電基板５２の上面５２ａには、ギャップ
を隔てて第１，第２の励振電極５３ａ，５３ｂが形成さ
れており、第１，第２の励振電極５３ａ，５３ｂと所定
距離を隔てた位置に、同じくギャップを隔てて第３，第
４の励振電極５４ａ，５４ｂが形成されている。
を隔てて第１，第２の励振電極５３ａ，５３ｂが形成さ
れており、第１，第２の励振電極５３ａ，５３ｂと所定
距離を隔てた位置に、同じくギャップを隔てて第３，第
４の励振電極５４ａ，５４ｂが形成されている。
【０００５】第１の励振電極５３ａは、励振用リードラ
イン５５ａを介して端子電極５６に電機的に接続されて
いる。第２の励振電極５３ｂと第３の励振電極５４ａと
は、励振用リードライン５５ｂにより接続されている。
第４の励振電極５４ｂは、励振用リードライン５５ｃを
介して端子電極５７に電気的に接続されている。
イン５５ａを介して端子電極５６に電機的に接続されて
いる。第２の励振電極５３ｂと第３の励振電極５４ａと
は、励振用リードライン５５ｂにより接続されている。
第４の励振電極５４ｂは、励振用リードライン５５ｃを
介して端子電極５７に電気的に接続されている。
【０００６】他方、圧電基板５２の下面においては、第
１，第２の励振電極５３ａ，５３ｂと表裏対向するよう
に共通電極５８が形成されている。共通電極５８及び後
述する下面に形成される電極及びリードラインは、その
輪郭が破線で示されている。また、この破線で示す輪郭
を明確化するために、例えば共通電極５８は、第１，第
２の励振電極５３ａ，５３ｂを下面に投影した領域より
も大きく図示されているが、実際には、共通電極５８
は、励振電極５３ａ，５３ｂを下方に投影した領域の外
形に沿うような寸法とされている。本明細書に添付の各
図においては、このように、下面に形成されるリードラ
インや共通電極は、破線でその外形を明確化するため
に、実際の寸法よりも大きく図示してある。
１，第２の励振電極５３ａ，５３ｂと表裏対向するよう
に共通電極５８が形成されている。共通電極５８及び後
述する下面に形成される電極及びリードラインは、その
輪郭が破線で示されている。また、この破線で示す輪郭
を明確化するために、例えば共通電極５８は、第１，第
２の励振電極５３ａ，５３ｂを下面に投影した領域より
も大きく図示されているが、実際には、共通電極５８
は、励振電極５３ａ，５３ｂを下方に投影した領域の外
形に沿うような寸法とされている。本明細書に添付の各
図においては、このように、下面に形成されるリードラ
インや共通電極は、破線でその外形を明確化するため
に、実際の寸法よりも大きく図示してある。
【０００７】共通電極５８は、アースリードライン５９
ａによりアース端子電極６０に電気的に接続されてい
る。また、アース端子電極６０の反対側には、アースリ
ードライン５９ｂが接続されており、アースリードライ
ン５９ｂは、第３，第４の励振電極５４ａ，５４ｂと表
裏対向するように形成された第２の共通電極６１に接続
されている。
ａによりアース端子電極６０に電気的に接続されてい
る。また、アース端子電極６０の反対側には、アースリ
ードライン５９ｂが接続されており、アースリードライ
ン５９ｂは、第３，第４の励振電極５４ａ，５４ｂと表
裏対向するように形成された第２の共通電極６１に接続
されている。
【０００８】圧電共振子５１では、上記第１，第２の励
振電極５３ａ，５４ｂ及び共通電極５８により第１のフ
ィルタ部が構成されており、励振電極５４ａ，５４ｂ及
び第２の共通電極６１により第２のフィルタ部が構成さ
れている。入力信号を端子電極５６に加えた場合、第
１，第２のフィルタ部が振動し、端子電極５７から出力
信号が取り出される。
振電極５３ａ，５４ｂ及び共通電極５８により第１のフ
ィルタ部が構成されており、励振電極５４ａ，５４ｂ及
び第２の共通電極６１により第２のフィルタ部が構成さ
れている。入力信号を端子電極５６に加えた場合、第
１，第２のフィルタ部が振動し、端子電極５７から出力
信号が取り出される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】圧電効果を利用するも
のであるため、第１，第２のフィルタ部は上記のように
振動されねばならないが、他の部分では、所望でない振
動が生じないことが望ましい。
のであるため、第１，第２のフィルタ部は上記のように
振動されねばならないが、他の部分では、所望でない振
動が生じないことが望ましい。
【００１０】ところが、圧電共振子５１では、励振用リ
ードライン５５ｂと、アース端子電極６０とが圧電基板
５２を介して重なり合っている。また、実使用時には、
励振用リードライン５５ｂと、アース端子電極６０との
間には電位差が生じるため、これらの重なり合っている
部分が共振し、不要振動が生じることになる。同様に、
励振用リードライン５５ｂと下面のアースリードライン
５９ａ，５９ｂとが重なり合っている部分においても、
不要振動が生じる。
ードライン５５ｂと、アース端子電極６０とが圧電基板
５２を介して重なり合っている。また、実使用時には、
励振用リードライン５５ｂと、アース端子電極６０との
間には電位差が生じるため、これらの重なり合っている
部分が共振し、不要振動が生じることになる。同様に、
励振用リードライン５５ｂと下面のアースリードライン
５９ａ，５９ｂとが重なり合っている部分においても、
不要振動が生じる。
【００１１】他方、圧電共振子等においては、共振部を
構成している電極以外のリードラインなどについては、
圧電基板の表裏面で対向しないように配置することが望
ましいことが知られている。
構成している電極以外のリードラインなどについては、
圧電基板の表裏面で対向しないように配置することが望
ましいことが知られている。
【００１２】しかしながら、上記圧電共振子５１におい
て、単に励振用リードライン５５ｂと、アースリードラ
イン５９ａ，５９ｂとを重ならないように配置しただけ
では、なお不要振動が大きく、特に、中心周波数５〜８
ＭＨｚの帯域フィルタとして用いる圧電共振子では、リ
ップルやスプリアスを十分に抑圧することが困難であっ
た。
て、単に励振用リードライン５５ｂと、アースリードラ
イン５９ａ，５９ｂとを重ならないように配置しただけ
では、なお不要振動が大きく、特に、中心周波数５〜８
ＭＨｚの帯域フィルタとして用いる圧電共振子では、リ
ップルやスプリアスを十分に抑圧することが困難であっ
た。
【００１３】本発明の目的は、第１，第２の励振電極と
共通電極とを有する共振部に励振用リードライン、アー
スリードライン及びアース端子電極が接続されている構
成を有する圧電共振子において、上記励振用リードライ
ンの位置に起因する不要リップルやスプリアスの発生を
効果的に抑圧することができ、従って良好なフィルタ特
性を実現することを可能とする圧電共振子及びその製造
方法を提供することにある。
共通電極とを有する共振部に励振用リードライン、アー
スリードライン及びアース端子電極が接続されている構
成を有する圧電共振子において、上記励振用リードライ
ンの位置に起因する不要リップルやスプリアスの発生を
効果的に抑圧することができ、従って良好なフィルタ特
性を実現することを可能とする圧電共振子及びその製造
方法を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、圧電基板と、前記圧電基板の一方主面においてギャ
ップを隔てて形成された第１，第２の励振電極と、前記
第２の励振電極に接続された励振用リードラインと、前
記圧電基板の他方主面に形成されており、かつ第１，第
２の励振電極と圧電基板を介して表裏対向するように配
置された共通電極と、前記共通電極に接続されたアース
リードラインと、前記圧電基板の他方主面上に形成され
ており、前記アースリードラインに接続されておりかつ
前記励振用リードラインと圧電基板を介して重なってい
るアース端子電極とを備え、前記励振用リードラインが
圧電基板の両端縁に沿うように形成された第１，第２の
励振用リードラインとされていることを特徴とする。
は、圧電基板と、前記圧電基板の一方主面においてギャ
ップを隔てて形成された第１，第２の励振電極と、前記
第２の励振電極に接続された励振用リードラインと、前
記圧電基板の他方主面に形成されており、かつ第１，第
２の励振電極と圧電基板を介して表裏対向するように配
置された共通電極と、前記共通電極に接続されたアース
リードラインと、前記圧電基板の他方主面上に形成され
ており、前記アースリードラインに接続されておりかつ
前記励振用リードラインと圧電基板を介して重なってい
るアース端子電極とを備え、前記励振用リードラインが
圧電基板の両端縁に沿うように形成された第１，第２の
励振用リードラインとされていることを特徴とする。
【００１５】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載の発明に係る圧電共振子において、第１，第２の励振
電極と所定距離を隔てて圧電基板の一方主面においてギ
ャップを隔てて形成された第３，第４の励振電極と、第
３，第４の励振電極と圧電基板を介して表裏対向するよ
うに圧電基板の他方主面に形成された第２の共通電極と
をさらに備え、前記圧電基板の一方主面において、前記
第２，第３の励振電極が前記第１，第２の励振用リード
ラインで接続されており、前記第２の共通電極が第２の
アースリードラインを介して前記アース端子電極に接続
されていることを特徴とする。
載の発明に係る圧電共振子において、第１，第２の励振
電極と所定距離を隔てて圧電基板の一方主面においてギ
ャップを隔てて形成された第３，第４の励振電極と、第
３，第４の励振電極と圧電基板を介して表裏対向するよ
うに圧電基板の他方主面に形成された第２の共通電極と
をさらに備え、前記圧電基板の一方主面において、前記
第２，第３の励振電極が前記第１，第２の励振用リード
ラインで接続されており、前記第２の共通電極が第２の
アースリードラインを介して前記アース端子電極に接続
されていることを特徴とする。
【００１６】請求項３に記載の発明は、分断により請求
項１に記載の圧電基板が得られるように構成されたマザ
ー基板を用意する工程と、前記マザー基板上の励振用リ
ードラインのピッチとほぼ同じピッチでかつ励振用リー
ドライン内で該励振用リードラインの長さ方向に沿って
マザー基板を切断する工程とを備えることを特徴とす
る、圧電共振子の製造方法である。
項１に記載の圧電基板が得られるように構成されたマザ
ー基板を用意する工程と、前記マザー基板上の励振用リ
ードラインのピッチとほぼ同じピッチでかつ励振用リー
ドライン内で該励振用リードラインの長さ方向に沿って
マザー基板を切断する工程とを備えることを特徴とす
る、圧電共振子の製造方法である。
【００１７】請求項４に記載の発明は、矩形の圧電基板
と、圧電基板の一方主面においてギャップを隔てて形成
された第１，第２の励振電極と、前記第２の励振電極に
接続されており、圧電基板の長さ方向に略並行に延びる
励振用リードラインと、前記圧電基板の他方主面に形成
されておりかつ第１，第２の励振電極と表裏対向するよ
うに形成された共通電極と、前記共通電極に接続された
アースリードラインと、前記アースリードラインに接続
されておりかつ前記励振用リードラインと圧電基板を隔
てて表裏対向するように配置されたアース端子電極とを
備える圧電共振子であって、前記圧電基板の幅方向寸法
をＷ、厚みをｔ、前記圧電基板の長さ方向に延びる端縁
から励振用リードラインまでの距離をａ、平面視した場
合の前記励振用リードラインとアースリードラインとの
間の距離をｂとしたときに、 ０≦ａ≦Ｗ／４…式（１） ｂ≧（３／２）ｔ…式（２） 上記式（１）及び（２）を満たすように構成されている
ことを特徴とする。
と、圧電基板の一方主面においてギャップを隔てて形成
された第１，第２の励振電極と、前記第２の励振電極に
接続されており、圧電基板の長さ方向に略並行に延びる
励振用リードラインと、前記圧電基板の他方主面に形成
されておりかつ第１，第２の励振電極と表裏対向するよ
うに形成された共通電極と、前記共通電極に接続された
アースリードラインと、前記アースリードラインに接続
されておりかつ前記励振用リードラインと圧電基板を隔
てて表裏対向するように配置されたアース端子電極とを
備える圧電共振子であって、前記圧電基板の幅方向寸法
をＷ、厚みをｔ、前記圧電基板の長さ方向に延びる端縁
から励振用リードラインまでの距離をａ、平面視した場
合の前記励振用リードラインとアースリードラインとの
間の距離をｂとしたときに、 ０≦ａ≦Ｗ／４…式（１） ｂ≧（３／２）ｔ…式（２） 上記式（１）及び（２）を満たすように構成されている
ことを特徴とする。
【００１８】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
の発明に係る圧電共振子において、第１，第２の励振電
極と所定距離を隔てて圧電基板の一方主面においてギャ
ップを隔てて形成された第３，第４の励振電極と、第
３，第４の励振電極と圧電基板を介して表裏対向するよ
うに圧電基板の他方主面に形成された第２の共通電極と
をさらに備え、前記圧電基板の一方主面において、前記
第２，第３の励振電極が前記第１，第２の励振用リード
ラインで接続されており、前記第２の共通電極が第２の
アースリードラインを介して前記アース端子電極に接続
されていることを特徴とする。
の発明に係る圧電共振子において、第１，第２の励振電
極と所定距離を隔てて圧電基板の一方主面においてギャ
ップを隔てて形成された第３，第４の励振電極と、第
３，第４の励振電極と圧電基板を介して表裏対向するよ
うに圧電基板の他方主面に形成された第２の共通電極と
をさらに備え、前記圧電基板の一方主面において、前記
第２，第３の励振電極が前記第１，第２の励振用リード
ラインで接続されており、前記第２の共通電極が第２の
アースリードラインを介して前記アース端子電極に接続
されていることを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
圧電共振子の具体的な構造につき説明する。図１は、本
発明の第１の実施例に係る圧電共振子を示す平面図であ
る。
圧電共振子の具体的な構造につき説明する。図１は、本
発明の第１の実施例に係る圧電共振子を示す平面図であ
る。
【００２０】圧電共振子１は、細長い矩形の圧電基板２
を用いて構成されている。圧電基板２は、例えばチタン
酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスのような圧電セラミ
ックスにより構成されており、図１に矢印Ｐで示すよう
に圧電基板２の面内方向のうち長さ方向に沿って分極処
理されている。なお、圧電セラミックスに代えて、水晶
やＬｉＴａＯ3 などの圧電単結晶により圧電基板２を構
成してもよい。
を用いて構成されている。圧電基板２は、例えばチタン
酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスのような圧電セラミ
ックスにより構成されており、図１に矢印Ｐで示すよう
に圧電基板２の面内方向のうち長さ方向に沿って分極処
理されている。なお、圧電セラミックスに代えて、水晶
やＬｉＴａＯ3 などの圧電単結晶により圧電基板２を構
成してもよい。
【００２１】圧電基板２上には、第１，第２の励振電極
３ａ，３ｂが所定のギャップを隔てて形成されている。
励振電極３ａ，３ｂと圧電基板２を介して表裏対向する
ように下面には共通電極４が形成されている。励振電極
３ａ，３ｂ及び共通電極４により、すべりモードを利用
した第１の共振部が構成されている。
３ａ，３ｂが所定のギャップを隔てて形成されている。
励振電極３ａ，３ｂと圧電基板２を介して表裏対向する
ように下面には共通電極４が形成されている。励振電極
３ａ，３ｂ及び共通電極４により、すべりモードを利用
した第１の共振部が構成されている。
【００２２】第１の励振電極３ａには、励振用リードラ
イン５ａが接続されており、励振用リードライン５ａ
は、圧電基板２の長さ方向一端側に形成された端子電極
６に電気的に接続されている。第２の励振電極３ｂに
は、励振用リードライン５ｂ，５ｃが接続されている。
励振用リードライン５ｂ，５ｃは、圧電基板２の長さ方
向両端縁に沿うようにそれぞれ形成されている。
イン５ａが接続されており、励振用リードライン５ａ
は、圧電基板２の長さ方向一端側に形成された端子電極
６に電気的に接続されている。第２の励振電極３ｂに
は、励振用リードライン５ｂ，５ｃが接続されている。
励振用リードライン５ｂ，５ｃは、圧電基板２の長さ方
向両端縁に沿うようにそれぞれ形成されている。
【００２３】また、第１，第２の励振電極３ａ，３ｂと
所定距離を隔てて、第３，第４の励振電極７ａ，７ｂが
所定のギャップを隔てて形成されている。第３，第４の
励振電極７ａ，７ｂと圧電基板２を介して表裏対向する
ように第２の共通電極８が形成されている。第３，第４
の励振電極７ａ，７ｂと共通電極８とにより第２の共振
部が構成されている。
所定距離を隔てて、第３，第４の励振電極７ａ，７ｂが
所定のギャップを隔てて形成されている。第３，第４の
励振電極７ａ，７ｂと圧電基板２を介して表裏対向する
ように第２の共通電極８が形成されている。第３，第４
の励振電極７ａ，７ｂと共通電極８とにより第２の共振
部が構成されている。
【００２４】上記励振用リードライン５ｂ，５ｃは第３
の共振電極７ａに接続されている。また、第４の共振電
極７ｂには、励振用リードライン５ｄが接続されてい
る。励振用リードライン５ｄの他端は圧電基板２の長さ
方向他方端部に形成された端子電極９に電気的に接続さ
れている。
の共振電極７ａに接続されている。また、第４の共振電
極７ｂには、励振用リードライン５ｄが接続されてい
る。励振用リードライン５ｄの他端は圧電基板２の長さ
方向他方端部に形成された端子電極９に電気的に接続さ
れている。
【００２５】圧電基板２の下面においては上記共通電極
４と第２の共通電極８との間の中央領域にアース端子電
極１０が形成されている。アース端子電極１０は、圧電
基板２の幅方向両端に至るように形成されており、従っ
て励振用リードライン５ｂ，５ｃと部分的に重なり合っ
ている。
４と第２の共通電極８との間の中央領域にアース端子電
極１０が形成されている。アース端子電極１０は、圧電
基板２の幅方向両端に至るように形成されており、従っ
て励振用リードライン５ｂ，５ｃと部分的に重なり合っ
ている。
【００２６】他方、アース端子電極１０は、アース用リ
ードライン１１ａ，１１ｂにより、それぞれ、共通電極
４，８に電気的に接続されている。入力信号を端子電極
６に入力することにより、第１，第２の共振部が励振さ
れ、出力信号が端子電極９から取り出される。この場
合、本実施例の圧電共振子１では、励振用リードライン
５ａ〜５ｄのうち、アース端子電極１０と重なり合って
いる励振用リードライン５ｂ，５ｃが、それぞれ、圧電
基板２の長さ方向に延びる端縁に沿って形成されている
ので、不要リップルが効果的に抑圧される。これを、具
体的な実験例に基づき説明する。
ードライン１１ａ，１１ｂにより、それぞれ、共通電極
４，８に電気的に接続されている。入力信号を端子電極
６に入力することにより、第１，第２の共振部が励振さ
れ、出力信号が端子電極９から取り出される。この場
合、本実施例の圧電共振子１では、励振用リードライン
５ａ〜５ｄのうち、アース端子電極１０と重なり合って
いる励振用リードライン５ｂ，５ｃが、それぞれ、圧電
基板２の長さ方向に延びる端縁に沿って形成されている
ので、不要リップルが効果的に抑圧される。これを、具
体的な実験例に基づき説明する。
【００２７】今、圧電共振子１として、長さ方向寸法８
ｍｍ、幅方向寸法１．２ｍｍ、厚み０．１８ｍｍのチタ
ン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスからなる圧電基板
２上に、Ａｇにより上述した各種電極及びリードライン
を形成し、中心周波数６．５ＭＨｚのフィルタを作製し
た。なお、第１，第２の励振電極３ａ，３ｂ及び第３，
第４の励振電極７ａ，７ｂの各面積は５ｍｍ2 とした。
ｍｍ、幅方向寸法１．２ｍｍ、厚み０．１８ｍｍのチタ
ン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスからなる圧電基板
２上に、Ａｇにより上述した各種電極及びリードライン
を形成し、中心周波数６．５ＭＨｚのフィルタを作製し
た。なお、第１，第２の励振電極３ａ，３ｂ及び第３，
第４の励振電極７ａ，７ｂの各面積は５ｍｍ2 とした。
【００２８】また、比較のために、図１４に従って、励
振用リードライン５５ｂを圧電基板２の幅方向中央近傍
に位置するように構成したことを除いては、上記圧電共
振子１と同様にして中心周波数６．５ＭＨｚのフィルタ
を構成し、従来例とした。
振用リードライン５５ｂを圧電基板２の幅方向中央近傍
に位置するように構成したことを除いては、上記圧電共
振子１と同様にして中心周波数６．５ＭＨｚのフィルタ
を構成し、従来例とした。
【００２９】上記のようにして用意した従来例及び実施
例の圧電共振子の減衰量周波数特性を、それぞれ、図２
及び図３に示す。図２から明らかなように、従来例の圧
電共振子では、矢印Ａで示すリップルが中心周波数近傍
に表れているのに対し、図３に示す実施例の減衰量周波
数特性では、上記リップルが見られないことがわかる。
例の圧電共振子の減衰量周波数特性を、それぞれ、図２
及び図３に示す。図２から明らかなように、従来例の圧
電共振子では、矢印Ａで示すリップルが中心周波数近傍
に表れているのに対し、図３に示す実施例の減衰量周波
数特性では、上記リップルが見られないことがわかる。
【００３０】従って、アース端子電極１０と部分的に重
なり合っている励振用リードライン５ｂ，５ｃを圧電基
板２の長さ方向端縁に沿うように形成することにより、
通過帯域内リップルを抑圧することができ、かつ通過帯
域近傍における減衰量を大きくし得ることがわかる。
なり合っている励振用リードライン５ｂ，５ｃを圧電基
板２の長さ方向端縁に沿うように形成することにより、
通過帯域内リップルを抑圧することができ、かつ通過帯
域近傍における減衰量を大きくし得ることがわかる。
【００３１】また、図２では、通過帯域近傍の減衰量が
小さく、かつ矢印Ａで示すリップル以外の部分において
も波形が若干波打っているのに対し、図３に示すよう
に、本実施例では、通過帯域近傍の減衰量が大きく、通
過帯域近傍における波形も滑らかなものとなっており、
すなわちシェイプファクターが改善されている。
小さく、かつ矢印Ａで示すリップル以外の部分において
も波形が若干波打っているのに対し、図３に示すよう
に、本実施例では、通過帯域近傍の減衰量が大きく、通
過帯域近傍における波形も滑らかなものとなっており、
すなわちシェイプファクターが改善されている。
【００３２】上記従来例及び実施例に従ってそれぞれ１
００００個の圧電共振子を作製し、矢印Ａで示すリップ
ルが減衰量で１．０ｄＢ以上の大きさとなっているもの
を不良品として、不良率を評価したところ、従来品では
約１０％の不良であるのに対し、実施例の圧電共振子で
は不良０％と効果の高いことが確かめられた。
００００個の圧電共振子を作製し、矢印Ａで示すリップ
ルが減衰量で１．０ｄＢ以上の大きさとなっているもの
を不良品として、不良率を評価したところ、従来品では
約１０％の不良であるのに対し、実施例の圧電共振子で
は不良０％と効果の高いことが確かめられた。
【００３３】上記のように、励振用リードライン５ｂ，
５ｃを圧電基板２の長手方向端縁に沿うように形成した
ことにより、中心周波数近傍のリップルを抑圧し得るの
は、励振用リードライン５ｂ，５ｃの振動による影響が
通過帯域及びその近傍の波形に悪影響をあまり与えない
ためと考えられる。また、本実施例では、上記励振用リ
ードライン５ｂ，５ｃの２本のリードラインを設けてい
るので、励振用リードラインとアース端子電極１０との
重なり面積が従来例に比べて２倍とされているので、中
継容量の増大により、フィルタ特性におけるシェイプフ
ァクターが改善されているものと考えられる。
５ｃを圧電基板２の長手方向端縁に沿うように形成した
ことにより、中心周波数近傍のリップルを抑圧し得るの
は、励振用リードライン５ｂ，５ｃの振動による影響が
通過帯域及びその近傍の波形に悪影響をあまり与えない
ためと考えられる。また、本実施例では、上記励振用リ
ードライン５ｂ，５ｃの２本のリードラインを設けてい
るので、励振用リードラインとアース端子電極１０との
重なり面積が従来例に比べて２倍とされているので、中
継容量の増大により、フィルタ特性におけるシェイプフ
ァクターが改善されているものと考えられる。
【００３４】（第１の実施例の変形例）図４は、本発明
の第１の実施例に係る圧電共振子１の変形例を示す平面
図である。図１に示した圧電共振子１では、励振用リー
ドライン５ｂ，５ｃが圧電基板２の長さ方向に延びる端
縁に沿うようにそれぞれ形成されており、アース端子電
極１０と重なり合っていない残りの励振用リードライン
５ａ，５ｄについては圧電基板２の幅方向略中央部に配
置されていた。しかしながら、図４に示す変形例のよう
に、第１，第４の励振電極３ａ，７ｂに接続される各励
振用リードラインについても、圧電基板２の長さ方向に
延びる各端縁に沿うように形成してもよい。すなわち、
図４に示す圧電共振子１２では、第１の励振電極３ａと
端子電極６とが、圧電基板２の長さ方向に延びる端縁に
沿うように形成された励振用リードライン５ａ1 ，５ａ
2 により接続されており、第４の励振電極７ｂと端子電
極９についても、圧電基板２の長さ方向端縁に沿って延
びるように配置された励振用リードライン５ｄ1 ，５ｄ
2 により接続されている。
の第１の実施例に係る圧電共振子１の変形例を示す平面
図である。図１に示した圧電共振子１では、励振用リー
ドライン５ｂ，５ｃが圧電基板２の長さ方向に延びる端
縁に沿うようにそれぞれ形成されており、アース端子電
極１０と重なり合っていない残りの励振用リードライン
５ａ，５ｄについては圧電基板２の幅方向略中央部に配
置されていた。しかしながら、図４に示す変形例のよう
に、第１，第４の励振電極３ａ，７ｂに接続される各励
振用リードラインについても、圧電基板２の長さ方向に
延びる各端縁に沿うように形成してもよい。すなわち、
図４に示す圧電共振子１２では、第１の励振電極３ａと
端子電極６とが、圧電基板２の長さ方向に延びる端縁に
沿うように形成された励振用リードライン５ａ1 ，５ａ
2 により接続されており、第４の励振電極７ｂと端子電
極９についても、圧電基板２の長さ方向端縁に沿って延
びるように配置された励振用リードライン５ｄ1 ，５ｄ
2 により接続されている。
【００３５】圧電共振子１２においても、励振用リード
ライン５ｂ，５ｃは、第１の実施例の圧電共振子１と同
様に圧電基板２の長さ方向端縁に延びるように形成され
ているので、上記実施例の圧電共振子１と同様に通過帯
域内リップルを抑制することができ、かつフィルタ特性
のシェイプファクターも改善される。加えて、励振用リ
ードライン５ａ1 ，５ａ2 ，５ｄ1 ，５ｄ2 についても
圧電基板２の長さ方向端縁に沿うように形成されている
ので、圧電基板２の上面において電極を形成する際のパ
ターニングを容易に行い得る。
ライン５ｂ，５ｃは、第１の実施例の圧電共振子１と同
様に圧電基板２の長さ方向端縁に延びるように形成され
ているので、上記実施例の圧電共振子１と同様に通過帯
域内リップルを抑制することができ、かつフィルタ特性
のシェイプファクターも改善される。加えて、励振用リ
ードライン５ａ1 ，５ａ2 ，５ｄ1 ，５ｄ2 についても
圧電基板２の長さ方向端縁に沿うように形成されている
ので、圧電基板２の上面において電極を形成する際のパ
ターニングを容易に行い得る。
【００３６】（圧電共振子１２の製造方法）圧電共振子
１２の製造方法の一例を図５を参照して説明する。圧電
共振子１２を得るにあたっては、図５に示すように、複
数の圧電共振子１２のための電極構造が形成されたマザ
ー基板１３を用意する。なお、図５の左側には、マザー
基板１３上の電極構造のみが示されている。また、下面
にも、圧電共振子１２と同様の電極構造が複数形成され
ている。
１２の製造方法の一例を図５を参照して説明する。圧電
共振子１２を得るにあたっては、図５に示すように、複
数の圧電共振子１２のための電極構造が形成されたマザ
ー基板１３を用意する。なお、図５の左側には、マザー
基板１３上の電極構造のみが示されている。また、下面
にも、圧電共振子１２と同様の電極構造が複数形成され
ている。
【００３７】マザー基板１３においては、隣接する圧電
共振子１２において、励振用リードライン５ｂ，５ｃが
連なっており、従って励振用リードライン５ｂ，５ｃの
倍の太さに切断しろを加えた太さＥのリードライン１４
が形成されている。同様に、励振用リードライン５ａ1
についても、隣接する圧電共振子１２の励振用リードラ
イン５ａ2 と連なっており、従って励振用リードライン
５ａ1 ，５ａ2 の倍の太さに切断しろを加えた太さのリ
ードライン１５が形成されている。さらに、励振用リー
ドライン５ｄ1 についても、隣接する圧電共振子１２の
励振用リードライン５ｄ2 と連なっているため、励振用
リードライン５ｄ1 ，５ｄ2 の倍の太さに切断しろを加
えた太さのリードライン１６が形成されている。励振用
リードライン１４〜１６は、各圧電共振子１２の幅方向
に沿ってピッチＢで繰り返すように形成されている。
共振子１２において、励振用リードライン５ｂ，５ｃが
連なっており、従って励振用リードライン５ｂ，５ｃの
倍の太さに切断しろを加えた太さＥのリードライン１４
が形成されている。同様に、励振用リードライン５ａ1
についても、隣接する圧電共振子１２の励振用リードラ
イン５ａ2 と連なっており、従って励振用リードライン
５ａ1 ，５ａ2 の倍の太さに切断しろを加えた太さのリ
ードライン１５が形成されている。さらに、励振用リー
ドライン５ｄ1 についても、隣接する圧電共振子１２の
励振用リードライン５ｄ2 と連なっているため、励振用
リードライン５ｄ1 ，５ｄ2 の倍の太さに切断しろを加
えた太さのリードライン１６が形成されている。励振用
リードライン１４〜１６は、各圧電共振子１２の幅方向
に沿ってピッチＢで繰り返すように形成されている。
【００３８】次に、マザー基板１３を、図５の一点鎖線
Ｄに沿って切断する。一点鎖線Ｄは、上述した励振用リ
ードライン１４〜１６の幅方向中央を通過しており、従
って、切断ピッチＦについても、上記ピッチＢと同一の
大きさとされる。その結果、リードライン１４〜１６が
幅方向中央で切断されるため、図５の右側に示すように
圧電基板２の長さ方向両端縁に沿うように励振用リード
ライン５ａ1 ，５ａ2，５ｂ，５ｃ，５ｄ1 ，５ｄ2 が
形成された圧電共振子１２（図４）を得ることができ
る。
Ｄに沿って切断する。一点鎖線Ｄは、上述した励振用リ
ードライン１４〜１６の幅方向中央を通過しており、従
って、切断ピッチＦについても、上記ピッチＢと同一の
大きさとされる。その結果、リードライン１４〜１６が
幅方向中央で切断されるため、図５の右側に示すように
圧電基板２の長さ方向両端縁に沿うように励振用リード
ライン５ａ1 ，５ａ2，５ｂ，５ｃ，５ｄ1 ，５ｄ2 が
形成された圧電共振子１２（図４）を得ることができ
る。
【００３９】すなわち、圧電共振子１２の製造に際して
は、リードライン１４〜１６の繰り返しピッチＢと略等
しいピッチＦで切断することにより、確実に圧電共振子
１２を得ることができる。この場合、切断に際してのピ
ッチＦは、リードライン１４〜１６の繰り返しピッチと
正確に一致していることが望ましいが、リードライン１
４〜１６の幅方向内で切断し得る限り、ピッチＢと切断
ピッチＦとは必ずしも一致されずともよく、切断に際し
てのピッチＦはピッチＢとほぼ等しければよい。
は、リードライン１４〜１６の繰り返しピッチＢと略等
しいピッチＦで切断することにより、確実に圧電共振子
１２を得ることができる。この場合、切断に際してのピ
ッチＦは、リードライン１４〜１６の繰り返しピッチと
正確に一致していることが望ましいが、リードライン１
４〜１６の幅方向内で切断し得る限り、ピッチＢと切断
ピッチＦとは必ずしも一致されずともよく、切断に際し
てのピッチＦはピッチＢとほぼ等しければよい。
【００４０】なお、図１に示した第１の実施例の圧電共
振子１についても、上記と同様に、マザー基板を切断す
ることにより得ることができる。すなわち、マザー基板
１３において、励振用リードライン１５，１６に代え
て、図１に示した励振用リードライン５ａ，５ｄを各圧
電共振子部分に構成しておけば、リードライン１４の幅
方向寸法内で切断することにより、図１に示した圧電共
振子１を確実に得ることができる。
振子１についても、上記と同様に、マザー基板を切断す
ることにより得ることができる。すなわち、マザー基板
１３において、励振用リードライン１５，１６に代え
て、図１に示した励振用リードライン５ａ，５ｄを各圧
電共振子部分に構成しておけば、リードライン１４の幅
方向寸法内で切断することにより、図１に示した圧電共
振子１を確実に得ることができる。
【００４１】従って、たとえ、リードライン１４の位置
精度が若干ばらついたとしても、切断に際して、リード
ライン１４の幅方向寸法内で切断し得る限り、励振用リ
ードライン５ｂ，５ｃが圧電基板２の長さ方向端縁に接
触するように形成されている圧電共振子１，１２を確実
に得ることができる。
精度が若干ばらついたとしても、切断に際して、リード
ライン１４の幅方向寸法内で切断し得る限り、励振用リ
ードライン５ｂ，５ｃが圧電基板２の長さ方向端縁に接
触するように形成されている圧電共振子１，１２を確実
に得ることができる。
【００４２】（第２の実施例）図６は、本発明の第２の
実施例に係る圧電共振子を説明するための平面図であ
る。圧電共振子２１は、細長い矩形の圧電基板２２を用
いて構成されている。圧電基板２２は、チタン酸ジルコ
ン酸鉛系圧電セラミックスのような圧電セラミックスに
より構成されており、図示の矢印Ｐで示すように長さ方
向に分極処理されている。なお、圧電セラミックスに代
えて、水晶やＬｉＴａＯ3 などの圧電単結晶を用いて圧
電基板２２を構成してもよい。
実施例に係る圧電共振子を説明するための平面図であ
る。圧電共振子２１は、細長い矩形の圧電基板２２を用
いて構成されている。圧電基板２２は、チタン酸ジルコ
ン酸鉛系圧電セラミックスのような圧電セラミックスに
より構成されており、図示の矢印Ｐで示すように長さ方
向に分極処理されている。なお、圧電セラミックスに代
えて、水晶やＬｉＴａＯ3 などの圧電単結晶を用いて圧
電基板２２を構成してもよい。
【００４３】圧電基板２２上には、第１の実施例の圧電
基板１と同様に、第１，第２の共振電極２３ａ，２３ｂ
が所定のギャップを隔てて形成されている。第１，第２
の共振電極２３ａ，２３ｂと圧電基板２２を介して表裏
対向するように共通電極２４が形成されている。励振電
極２３ａ，２３ｂ及び共通電極２４により第１の共振部
が構成されている。
基板１と同様に、第１，第２の共振電極２３ａ，２３ｂ
が所定のギャップを隔てて形成されている。第１，第２
の共振電極２３ａ，２３ｂと圧電基板２２を介して表裏
対向するように共通電極２４が形成されている。励振電
極２３ａ，２３ｂ及び共通電極２４により第１の共振部
が構成されている。
【００４４】第１の共振電極２３ａには、励振用リード
ライン２５ａが接続されており、励振用リードライン２
５ａは、圧電基板２２の長さ方向一端側に形成された端
子電極２６に接続されている。また、第２の励振電極２
３ｂには、励振用リードライン２５ｂが接続されてい
る。
ライン２５ａが接続されており、励振用リードライン２
５ａは、圧電基板２２の長さ方向一端側に形成された端
子電極２６に接続されている。また、第２の励振電極２
３ｂには、励振用リードライン２５ｂが接続されてい
る。
【００４５】励振用リードライン２５ｂは、圧電基板２
２の長さ方向に延びる一方端縁２２ａから距離ａを隔て
た位置において、端縁２２ａに並行に延びるように形成
されている。
２の長さ方向に延びる一方端縁２２ａから距離ａを隔て
た位置において、端縁２２ａに並行に延びるように形成
されている。
【００４６】圧電基板２２の上面においては、第１の共
振部から所定距離隔てられた位置に、第３，第４の励振
電極２７ａ，２７ｂが形成されている。励振用リードラ
イン２５ｂは第３の励振電極２７ａに接続されている。
振部から所定距離隔てられた位置に、第３，第４の励振
電極２７ａ，２７ｂが形成されている。励振用リードラ
イン２５ｂは第３の励振電極２７ａに接続されている。
【００４７】また、励振電極２７ａ，２７ｂと圧電基板
２２を介して表裏対向するように共通電極２８が形成さ
れている。励振電極２７ａ，２７ｂ及び共通電極２８に
より第２の共振部が構成されている。
２２を介して表裏対向するように共通電極２８が形成さ
れている。励振電極２７ａ，２７ｂ及び共通電極２８に
より第２の共振部が構成されている。
【００４８】第４の励振電極２７ｂには、励振用リード
ライン２５ｃが接続されており、励振用リードライン２
５ｃは、圧電基板２２の他方端側に形成された端子電極
２９に接続されている。
ライン２５ｃが接続されており、励振用リードライン２
５ｃは、圧電基板２２の他方端側に形成された端子電極
２９に接続されている。
【００４９】圧電基板２２の下面においては、中央にア
ース端子電極３０が形成されている。アース端子電極３
０は、圧電基板２２の幅方向両端に至るように形成され
ており、従って励振用リードライン２５ｂと部分的に重
なり合っている。また、アース端子電極３０は、アース
リードライン３１ａ，３１ｂにより共通電極２４，２８
に電気的に接続されている。
ース端子電極３０が形成されている。アース端子電極３
０は、圧電基板２２の幅方向両端に至るように形成され
ており、従って励振用リードライン２５ｂと部分的に重
なり合っている。また、アース端子電極３０は、アース
リードライン３１ａ，３１ｂにより共通電極２４，２８
に電気的に接続されている。
【００５０】本実施例の圧電共振子２１の特徴は、圧電
基板２２の幅寸法をＷ、厚みをｔ、励振用リードライン
２５ｂと端縁２２ａとの間の距離をａ、平面視した場合
の励振用リードライン２５ｂとアースリードライン３１
ａ，３１ｂとの間の距離をｂとしたときに、上述した式
（１）及び（２）を満たすように、これらの寸法が定め
られていることにある。
基板２２の幅寸法をＷ、厚みをｔ、励振用リードライン
２５ｂと端縁２２ａとの間の距離をａ、平面視した場合
の励振用リードライン２５ｂとアースリードライン３１
ａ，３１ｂとの間の距離をｂとしたときに、上述した式
（１）及び（２）を満たすように、これらの寸法が定め
られていることにある。
【００５１】本実施例の圧電共振子２１では、式（１）
及び（２）を満たすように上記各寸法が定められている
ため、減衰量周波数特性における不要リップル及びスプ
リアスの抑圧を図ることができる。これを、図７及び図
８を参照して説明する。
及び（２）を満たすように上記各寸法が定められている
ため、減衰量周波数特性における不要リップル及びスプ
リアスの抑圧を図ることができる。これを、図７及び図
８を参照して説明する。
【００５２】今、圧電基板２２として、チタン酸ジルコ
ン酸鉛系圧電セラミックスからなり、長さ８ｍｍ、幅Ｗ
＝１．０ｍｍ、厚みｔ＝０．２ｍｍ、ａ＝０．２ｍｍ、
ｂ＝０．３ｍｍの受信周波数５．５ＭＨｚの圧電共振子
２１を作製し、第２の実施例の圧電共振子とした。
ン酸鉛系圧電セラミックスからなり、長さ８ｍｍ、幅Ｗ
＝１．０ｍｍ、厚みｔ＝０．２ｍｍ、ａ＝０．２ｍｍ、
ｂ＝０．３ｍｍの受信周波数５．５ＭＨｚの圧電共振子
２１を作製し、第２の実施例の圧電共振子とした。
【００５３】比較のために、ａ＝０．４ｍｍ、ｂ＝０．
２ｍｍとしたことを除いては、第２の実施例の圧電共振
子２１と同様にして構成された圧電共振子を中心周波数
５．５ＭＨｚの従来の圧電共振子として作製した。
２ｍｍとしたことを除いては、第２の実施例の圧電共振
子２１と同様にして構成された圧電共振子を中心周波数
５．５ＭＨｚの従来の圧電共振子として作製した。
【００５４】上記のようにして用意した従来の圧電共振
子の減衰量周波数特性を図７に、第２の実施例の圧電共
振子の減衰量周波数特性を図８に示す。図７から明らか
なように、従来品では、矢印Ｙで示すスプリアスが通過
帯域近傍に表れているのに対し、図８に示す第２の実施
例の圧電共振子の特性ではこのようなスプリアスがほと
んど見られないことがわかる。
子の減衰量周波数特性を図７に、第２の実施例の圧電共
振子の減衰量周波数特性を図８に示す。図７から明らか
なように、従来品では、矢印Ｙで示すスプリアスが通過
帯域近傍に表れているのに対し、図８に示す第２の実施
例の圧電共振子の特性ではこのようなスプリアスがほと
んど見られないことがわかる。
【００５５】本願発明者の実験によれば、上述した式
（１）及び（２）を満たすように構成すれば、図８に示
したように通過帯域近傍における大きなスプリアスを抑
制し得ることが確かめられた。これは、励振用リードラ
イン２５ｂの端縁２２ａからの距離ａにより矢印Ｙで示
したスプリアスの発生周波数が変化し、ａ≦（１／４）
Ｗとすることにより、リードライン２５ｂの振動による
上記スプリアスを通過帯域近傍から遠ざけることがで
き、かつ上記寸法ｂを厚みｔの３／２以上とすることに
より、リードライン２５ｂの振動による影響を抑制し、
Ｙで示すスプリアスの大きさ自体を小さくし得ることに
よる。
（１）及び（２）を満たすように構成すれば、図８に示
したように通過帯域近傍における大きなスプリアスを抑
制し得ることが確かめられた。これは、励振用リードラ
イン２５ｂの端縁２２ａからの距離ａにより矢印Ｙで示
したスプリアスの発生周波数が変化し、ａ≦（１／４）
Ｗとすることにより、リードライン２５ｂの振動による
上記スプリアスを通過帯域近傍から遠ざけることがで
き、かつ上記寸法ｂを厚みｔの３／２以上とすることに
より、リードライン２５ｂの振動による影響を抑制し、
Ｙで示すスプリアスの大きさ自体を小さくし得ることに
よる。
【００５６】距離ａが（１／４）Ｗよりも大きいと、矢
印Ｙで示したスプリアスが通過帯域近傍に近づき、距離
ｂが厚みｔの３／２未満の場合には、上記矢印Ｙで示し
たスプリアスが大きくなる。
印Ｙで示したスプリアスが通過帯域近傍に近づき、距離
ｂが厚みｔの３／２未満の場合には、上記矢印Ｙで示し
たスプリアスが大きくなる。
【００５７】従って、上記式（１）及び（２）を満たす
ように圧電基板２２の寸法並びに励振用リードライン２
５ｂ、及びアース用リードライン３１ａ，３１ｂの位置
を制御することにより、リードラインとアース端子電極
３０及びアースリードライン３１ａ，３１ｂとの間で生
じる不要振動を効果的に抑制することができ、フィルタ
特性の良好な圧電共振子２１とし得ることがわかる。
ように圧電基板２２の寸法並びに励振用リードライン２
５ｂ、及びアース用リードライン３１ａ，３１ｂの位置
を制御することにより、リードラインとアース端子電極
３０及びアースリードライン３１ａ，３１ｂとの間で生
じる不要振動を効果的に抑制することができ、フィルタ
特性の良好な圧電共振子２１とし得ることがわかる。
【００５８】（第２の実施例の変形例）図９は、第２の
実施例の圧電共振子２１の変形例に係る圧電共振子４１
を示す平面図である。圧電共振子４１では、励振用リー
ドライン４５ａ，４５ｃが、圧電基板２２の幅方向略中
央に配置されている。すなわち、励振用リードライン２
５ｂのみが、端縁２２ａから距離ａ隔てた位置に形成さ
れている。その他の点については、圧電共振子２１と全
く同様に構成されている。このように請求項４に記載の
発明に係る圧電共振子では、アース端子電極３０と部分
的に重なり合う励振用リードライン２５ｂと圧電基板２
２の長さ方向端縁との距離が上記式（１）及び（２）を
満たすように設定されている限り、他の励振用リードラ
イン４５ａ，４５ｃの形成位置は任意である。
実施例の圧電共振子２１の変形例に係る圧電共振子４１
を示す平面図である。圧電共振子４１では、励振用リー
ドライン４５ａ，４５ｃが、圧電基板２２の幅方向略中
央に配置されている。すなわち、励振用リードライン２
５ｂのみが、端縁２２ａから距離ａ隔てた位置に形成さ
れている。その他の点については、圧電共振子２１と全
く同様に構成されている。このように請求項４に記載の
発明に係る圧電共振子では、アース端子電極３０と部分
的に重なり合う励振用リードライン２５ｂと圧電基板２
２の長さ方向端縁との距離が上記式（１）及び（２）を
満たすように設定されている限り、他の励振用リードラ
イン４５ａ，４５ｃの形成位置は任意である。
【００５９】次に、圧電共振子４１においても、通過帯
域近傍の不要スプリアスが抑圧されることを具体的な実
験例に基づき説明する。圧電共振子４１を構成する圧電
基板２２として、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミッ
クスからなり、長さ８ｍｍ、幅Ｗ＝１．２ｍｍ、厚みｔ
＝０．１９ｍｍのものを用い、距離ａ＝０．２ｍｍ、距
離ｂ＝０．４ｍｍとなるようにして中心周波数６ＭＨｚ
のフィルタを作成した。この場合、ａ＝（１／６）Ｗ＜
（１／４）Ｗであり、かつｂ＝２．１ｔ＞（３／２）ｔ
であるため、式（１）及び（２）を満たしている。
域近傍の不要スプリアスが抑圧されることを具体的な実
験例に基づき説明する。圧電共振子４１を構成する圧電
基板２２として、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミッ
クスからなり、長さ８ｍｍ、幅Ｗ＝１．２ｍｍ、厚みｔ
＝０．１９ｍｍのものを用い、距離ａ＝０．２ｍｍ、距
離ｂ＝０．４ｍｍとなるようにして中心周波数６ＭＨｚ
のフィルタを作成した。この場合、ａ＝（１／６）Ｗ＜
（１／４）Ｗであり、かつｂ＝２．１ｔ＞（３／２）ｔ
であるため、式（１）及び（２）を満たしている。
【００６０】比較のために、上記と同じ圧電基板を用
い、ａ＝０．５ｍｍ、ｂ＝０．２ｍｍとしたことを除い
ては、上記圧電共振子４１と同様にして構成した中心周
波数６ＭＨｚのフィルタを従来品として用意した。
い、ａ＝０．５ｍｍ、ｂ＝０．２ｍｍとしたことを除い
ては、上記圧電共振子４１と同様にして構成した中心周
波数６ＭＨｚのフィルタを従来品として用意した。
【００６１】上記従来品及び圧電共振子４１の減衰量周
波数特性を、それぞれ、図１０及び図１１に示す。図１
０に示す減衰量周波数特性では、矢印Ｙで示すスプリア
スが通過帯域近傍に大きく表れているのに対し、図１１
に示す圧電共振子４１の減衰量周波数特性では上記スプ
リアスの表れていないことがわかる。
波数特性を、それぞれ、図１０及び図１１に示す。図１
０に示す減衰量周波数特性では、矢印Ｙで示すスプリア
スが通過帯域近傍に大きく表れているのに対し、図１１
に示す圧電共振子４１の減衰量周波数特性では上記スプ
リアスの表れていないことがわかる。
【００６２】（第１，第２の実施例を組み合わせた圧電
共振子）第１の実施例に係る圧電共振子１では、励振用
リードライン５ｂ，５ｃが圧電基板２の長さ方向端縁に
沿うように２本配置されており、図６に示した第２の実
施例の圧電共振子２１では、１本の励振用リードライン
２５ｂが端縁２２ａから距離ａ離された位置に配置され
ており、かつ距離ｂが上記特定の範囲となるように設定
されていた。
共振子）第１の実施例に係る圧電共振子１では、励振用
リードライン５ｂ，５ｃが圧電基板２の長さ方向端縁に
沿うように２本配置されており、図６に示した第２の実
施例の圧電共振子２１では、１本の励振用リードライン
２５ｂが端縁２２ａから距離ａ離された位置に配置され
ており、かつ距離ｂが上記特定の範囲となるように設定
されていた。
【００６３】本発明においては、好ましくは、図１に示
した圧電共振子１において、平面視した場合の励振用リ
ードライン５ｂ，５ｃのうちアースリードライン１１
ａ，１１ｂに近い側の励振用リードライン５ｃと、アー
ス用リードライン１１ａ，１１ｂとの間の距離をｂとし
たときに、ｂ≧（３／２）ｔとすれば、ａ＝０であるた
め、式（１），（２）を満たすように圧電共振子１が構
成される。
した圧電共振子１において、平面視した場合の励振用リ
ードライン５ｂ，５ｃのうちアースリードライン１１
ａ，１１ｂに近い側の励振用リードライン５ｃと、アー
ス用リードライン１１ａ，１１ｂとの間の距離をｂとし
たときに、ｂ≧（３／２）ｔとすれば、ａ＝０であるた
め、式（１），（２）を満たすように圧電共振子１が構
成される。
【００６４】このように、第１の圧電共振子１におい
て、式（１）及び（２）を満たすように距離ｂを設定す
れば、より一層不要リップル及びスプリアスのない良好
なフィルタ波形を得ることができる。これを、図１２及
び図１３を参照して説明する。図１に示した圧電共振子
１において、圧電基板２として、チタン酸ジルコン酸鉛
系圧電セラミックスからなり、長さ８ｍｍ、幅Ｗ＝１．
１ｍｍ、厚みｔ＝０．２５ｍｍのものを用い、距離ｂが
０．４ｍｍとなるようにして、中心周波数４．５ＭＨｚ
のフィルタを本発明例として用意した。
て、式（１）及び（２）を満たすように距離ｂを設定す
れば、より一層不要リップル及びスプリアスのない良好
なフィルタ波形を得ることができる。これを、図１２及
び図１３を参照して説明する。図１に示した圧電共振子
１において、圧電基板２として、チタン酸ジルコン酸鉛
系圧電セラミックスからなり、長さ８ｍｍ、幅Ｗ＝１．
１ｍｍ、厚みｔ＝０．２５ｍｍのものを用い、距離ｂが
０．４ｍｍとなるようにして、中心周波数４．５ＭＨｚ
のフィルタを本発明例として用意した。
【００６５】比較のために、図１４に示した圧電共振子
５１のように励振用リードライン５５ａ，５５ｂ，５５
ｃが圧電基板の幅方向略中央に形成されており、他は同
様として、中心周波数４．５ＭＨｚの従来の圧電共振子
を作成した。
５１のように励振用リードライン５５ａ，５５ｂ，５５
ｃが圧電基板の幅方向略中央に形成されており、他は同
様として、中心周波数４．５ＭＨｚの従来の圧電共振子
を作成した。
【００６６】上記のようにして用意した従来の圧電共振
子の減衰量周波数特性を図１２に、本発明例の圧電共振
子の減衰量周波数特性を図１３に示す。図１２及び図１
３の比較から、図１２では、矢印Ｙで示す大きなスプリ
アスが表れており、かつ通過帯域近傍における減衰量が
小さく、さらに矢印Ｚで示すスプリアスが低域側に表れ
ていることがわかる。これに対して、図１３に示す減衰
量周波数特性では、このようなスプリアスがほとんど見
られず、かつシェイプファクターも改善されていること
がわかる。
子の減衰量周波数特性を図１２に、本発明例の圧電共振
子の減衰量周波数特性を図１３に示す。図１２及び図１
３の比較から、図１２では、矢印Ｙで示す大きなスプリ
アスが表れており、かつ通過帯域近傍における減衰量が
小さく、さらに矢印Ｚで示すスプリアスが低域側に表れ
ていることがわかる。これに対して、図１３に示す減衰
量周波数特性では、このようなスプリアスがほとんど見
られず、かつシェイプファクターも改善されていること
がわかる。
【００６７】なお、図示の実施例では、何れも第１，第
２の共振部を有するように構成されていたが、請求項１
〜５に記載の発明に係る圧電共振子では、第１，第２の
共振電極とこれらに表裏対向するように形成された共通
電極を有する１つの共振部のみが構成されている圧電共
振子にも適用することができる。
２の共振部を有するように構成されていたが、請求項１
〜５に記載の発明に係る圧電共振子では、第１，第２の
共振電極とこれらに表裏対向するように形成された共通
電極を有する１つの共振部のみが構成されている圧電共
振子にも適用することができる。
【００６８】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、第１，
第２の励振電極に接続された励振用リードラインのう
ち、アース端子電極と重なり合っている励振用リードラ
インが、圧電基板の長手方向端縁に沿うように形成され
た第１，第２のリードラインにより構成されているた
め、励振用リードラインの振動による減衰量周波数特性
上に表れる不要リップルを効果的に抑圧することができ
る。また、励振用リードラインが、第１，第２の励振用
リードラインの２本のリードラインで構成されているの
で、アース端子電極との重なり面積が２倍となり、中継
容量の増大により、フィルタ波形のシェイプファクター
が改善される。よって、フィルタ特性の良好な圧電共振
子を提供することが可能となる。
第２の励振電極に接続された励振用リードラインのう
ち、アース端子電極と重なり合っている励振用リードラ
インが、圧電基板の長手方向端縁に沿うように形成され
た第１，第２のリードラインにより構成されているた
め、励振用リードラインの振動による減衰量周波数特性
上に表れる不要リップルを効果的に抑圧することができ
る。また、励振用リードラインが、第１，第２の励振用
リードラインの２本のリードラインで構成されているの
で、アース端子電極との重なり面積が２倍となり、中継
容量の増大により、フィルタ波形のシェイプファクター
が改善される。よって、フィルタ特性の良好な圧電共振
子を提供することが可能となる。
【００６９】請求項２に記載の発明では、第１，第２の
励振電極と距離を隔てて、第３，第４の励振電極及び第
３，第４の励振電極に表裏対向するように形成された第
２の共通電極とをさらに備えており、従って複数の共振
部が構成された圧電フィルタにおいて、請求項１に記載
の発明と同様に励振用リードラインのうちアース端子電
極と重なり合っている励振用リードラインが圧電基板の
長手方向端縁に沿うように形成された第１，第２の励振
用リードラインを有するように構成されているので、励
振用リードラインの振動による不要リップルを効果的に
抑圧することができると共に、中継容量の増大によりフ
ィルタ波形のシェイプファクターを改善することが可能
となる。
励振電極と距離を隔てて、第３，第４の励振電極及び第
３，第４の励振電極に表裏対向するように形成された第
２の共通電極とをさらに備えており、従って複数の共振
部が構成された圧電フィルタにおいて、請求項１に記載
の発明と同様に励振用リードラインのうちアース端子電
極と重なり合っている励振用リードラインが圧電基板の
長手方向端縁に沿うように形成された第１，第２の励振
用リードラインを有するように構成されているので、励
振用リードラインの振動による不要リップルを効果的に
抑圧することができると共に、中継容量の増大によりフ
ィルタ波形のシェイプファクターを改善することが可能
となる。
【００７０】請求項３に記載の発明に係る圧電共振子の
製造方法によれば、マザー基板を用意した後に、励振用
リードラインピッチと同じピッチでかつ励振用リードラ
インの幅方向寸法内でマザー基板を切断すればよいだけ
であるため、請求項１，２に記載の発明に係る圧電共振
子を容易にかつ確実に提供することが可能となる。
製造方法によれば、マザー基板を用意した後に、励振用
リードラインピッチと同じピッチでかつ励振用リードラ
インの幅方向寸法内でマザー基板を切断すればよいだけ
であるため、請求項１，２に記載の発明に係る圧電共振
子を容易にかつ確実に提供することが可能となる。
【００７１】請求項４に記載の発明によれば、上記式
（１）及び（２）を満たすように圧電基板寸法、励振用
リードラインの位置及びアースリードラインの位置が設
定されているので、フィルタ特性に表れる不要スプリア
スを通過帯域から遠ざけることができ、かつスプリアス
自体の大きさを効果的に小さくし得るため、フィルタ特
性の良好な圧電共振子を提供することが可能となる。
（１）及び（２）を満たすように圧電基板寸法、励振用
リードラインの位置及びアースリードラインの位置が設
定されているので、フィルタ特性に表れる不要スプリア
スを通過帯域から遠ざけることができ、かつスプリアス
自体の大きさを効果的に小さくし得るため、フィルタ特
性の良好な圧電共振子を提供することが可能となる。
【００７２】請求項５に記載の発明においても、第１，
第２の励振電極と所定距離を隔てて第３，第４の励振電
極及び第３，第４の励振電極と表裏対向するように配置
された第２の共通電極とをさらに備え、従って複数の共
振部が構成された圧電共振子において、請求項４に記載
の発明と同様に、式（１）及び（２）を満たすように励
振用リードラインが構成されているので、請求項４に記
載の発明と同様に励振用リードラインの振動に起因する
スプリアスを通過帯域から遠ざけることができ、かつ該
スプリアスの強度自体を効果的に小さくすることができ
る。
第２の励振電極と所定距離を隔てて第３，第４の励振電
極及び第３，第４の励振電極と表裏対向するように配置
された第２の共通電極とをさらに備え、従って複数の共
振部が構成された圧電共振子において、請求項４に記載
の発明と同様に、式（１）及び（２）を満たすように励
振用リードラインが構成されているので、請求項４に記
載の発明と同様に励振用リードラインの振動に起因する
スプリアスを通過帯域から遠ざけることができ、かつ該
スプリアスの強度自体を効果的に小さくすることができ
る。
【図１】本発明の第１の実施例に係る圧電共振子を示す
平面図。
平面図。
【図２】比較のために用意した従来の圧電共振子の減衰
量周波数特性を示す図。
量周波数特性を示す図。
【図３】第１の実施例に係る圧電共振子の減衰量周波数
特性を示す図。
特性を示す図。
【図４】第１の実施例の変形例に係る圧電共振子を説明
するための平面図。
するための平面図。
【図５】図４に示した圧電共振子を製造する方法を説明
するための模式的平面図。
するための模式的平面図。
【図６】本発明の第２の実施例に係る圧電共振子を示す
平面図。
平面図。
【図７】比較のために用意した従来の圧電共振子の減衰
量周波数特性を示す図。
量周波数特性を示す図。
【図８】第２の実施例の圧電共振子の減衰量周波数特性
を示す図。
を示す図。
【図９】第２の実施例の圧電共振子の変形例を説明する
ための平面図。
ための平面図。
【図１０】従来の圧電共振子の減衰量周波数特性を示す
図。
図。
【図１１】図９に示した変形例に係る圧電共振子の減衰
量周波数特性を示す図。
量周波数特性を示す図。
【図１２】従来の圧電共振子の減衰量周波数特性を示す
図。
図。
【図１３】第１の実施例に係る圧電共振子において、式
（１），（２）を満たすように構成された場合の減衰量
周波数特性を示す図。
（１），（２）を満たすように構成された場合の減衰量
周波数特性を示す図。
【図１４】従来の圧電共振子の一例を示す平面図。
１…圧電共振子 ２…圧電基板 ３ａ，３ｂ…第１，第２の励振電極 ４…共通電極 ５ａ〜５ｄ…励振用リードライン ７ａ，７ｂ…第３，第４の励振電極 ８…共通電極 １０…アース端子電極 １１ａ，１１ｂ…アースリードライン １２…圧電共振子 １３…マザー基板 １４〜１６…励振用リードライン ２１…圧電共振子 ２２…圧電基板 ２２ａ，２２ｂ…長手方向に延びる端縁 ２３ａ，２３ｂ…第１，第２の励振電極 ２４…共通電極 ２５ａ〜２５ｃ…励振用リードライン ２７ａ，２７ｂ…第３，第４の励振電極 ２８…共通電極 ３０…アース端子電極 ３１ａ，３１ｂ…アースリードライン ４１…圧電共振子
Claims (5)
- 【請求項１】 圧電基板と、 前記圧電基板の一方主面においてギャップを隔てて形成
された第１，第２の励振電極と、 前記第２の励振電極に接続された励振用リードライン
と、 前記圧電基板の他方主面に形成されており、かつ第１，
第２の励振電極と圧電基板を介して表裏対向するように
配置された共通電極と、 前記共通電極に接続されたアースリードラインと、 前記圧電基板の他方主面上に形成されており、前記アー
スリードラインに接続されておりかつ前記励振用リード
ラインと圧電基板を介して重なっているアース端子電極
とを備え、 前記励振用リードラインが圧電基板の両端縁に沿うよう
に形成された第１，第２の励振用リードラインとされて
いることを特徴とする、圧電共振子。 - 【請求項２】 第１，第２の励振電極と所定距離を隔て
て圧電基板の一方主面においてギャップを隔てて形成さ
れた第３，第４の励振電極と、 第３，第４の励振電極と圧電基板を介して表裏対向する
ように圧電基板の他方主面に形成された第２の共通電極
とをさらに備え、 前記圧電基板の一方主面において、前記第２，第３の励
振電極が前記第１，第２の励振用リードラインで接続さ
れており、 前記第２の共通電極が第２のアースリードラインを介し
て前記アース端子電極に接続されている、請求項１に記
載の圧電共振子。 - 【請求項３】 分断により請求項１に記載の圧電基板が
得られるように構成されたマザー基板を用意する工程
と、 前記マザー基板上の励振用リードラインのピッチとほぼ
同じピッチでかつ励振用リードライン内で該励振用リー
ドラインの長さ方向に沿ってマザー基板を切断する工程
とを備えることを特徴とする、圧電共振子の製造方法。 - 【請求項４】 矩形の圧電基板と、 圧電基板の一方主面においてギャップを隔てて形成され
た第１，第２の励振電極と、 前記第２の励振電極に接続されており、圧電基板の長さ
方向に略並行に延びる励振用リードラインと、 前記圧電基板の他方主面に形成されておりかつ第１，第
２の励振電極と表裏対向するように形成された共通電極
と、 前記共通電極に接続されたアースリードラインと、 前記アースリードラインに接続されておりかつ前記励振
用リードラインと圧電基板を隔てて表裏対向するように
配置されたアース端子電極とを備え、 前記圧電基板の幅方向寸法をＷ、厚みをｔ、前記圧電基
板の長さ方向に延びる端縁から励振用リードラインまで
の距離をａ、平面視した場合の前記励振用リードライン
とアースリードラインとの間の距離をｂとしたときに、 ０≦ａ≦Ｗ／４…式（１） ｂ≧（３／２）ｔ…式（２） 上記式（１）及び（２）を満たすように構成されている
ことを特徴とする、圧電共振子。 - 【請求項５】 第１，第２の励振電極と所定距離を隔て
て圧電基板の一方主面においてギャップを隔てて形成さ
れた第３，第４の励振電極と、 第３，第４の励振電極と圧電基板を介して表裏対向する
ように圧電基板の他方主面に形成された第２の共通電極
とをさらに備え、 前記圧電基板の一方主面において、前記第２，第３の励
振電極が前記第１，第２の励振用リードラインで接続さ
れており、 前記第２の共通電極が第２のアースリードラインを介し
て前記アース端子電極に接続されている、請求項４に記
載の圧電共振子。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12878297A JP3709907B2 (ja) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | 圧電共振子及びその製造方法 |
| US09/076,530 US5898348A (en) | 1997-05-19 | 1998-05-12 | Piezoelectric resonator having specific lead line arrangements and method of manufacturing same |
| CN98109265A CN1110895C (zh) | 1997-05-19 | 1998-05-19 | 压电谐振器及其制造方法 |
| MYPI98002221A MY116741A (en) | 1997-05-19 | 1998-05-19 | Piezoelectric resonator and method of manufacturing the same |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12878297A JP3709907B2 (ja) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | 圧電共振子及びその製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10322160A true JPH10322160A (ja) | 1998-12-04 |
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| JP (1) | JP3709907B2 (ja) |
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