JPH10312981A - 金属膜の研磨方法及びその研磨装置 - Google Patents
金属膜の研磨方法及びその研磨装置Info
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- H01L21/32134—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by liquid etching only
Abstract
金属膜を効率よく除去する。 【解決手段】 半導体ウェハー1を酸化性溶液中に浸漬
し、酸化性溶液のエッチング効果を利用して半導体ウェ
ハー1の外周端縁に付着した余分なW膜11を、ウェハ
ー表面側のW膜を研磨する前に予め除去する。
Description
し、特に化学的機械的研磨(Chemical Mec
hanical Polishing,以下、CMPと
いう)法を用いた金属膜の研磨方法及びその研磨装置に
関するものである。
上の配線下絶縁膜(BPSG膜)14に設けられたコン
タクトホール20内にブランケットW膜11が1000
nmの膜厚に埋設され、次にW膜11に対して化学的・
機械的ポリッシング(CMP)法を用いて研磨が行われ
ていた。
リッシングパッド上で行われ、Al2O3等の研磨性粒
子、及びH2O2、KOH又はNH1OH等の酸、塩基を
含有するスラリーが用いられていた。このCMP法は、
米国特許第4,992,135号明細書に開示されてい
る。この方法を用いた場合、図7(b)に示されるよう
に、BPSG膜14中のコンタクトホール20に埋設さ
れたW膜11の表面がBPSG膜14の表面に対して凹
状に窪んでしまうという課題が生じていた。
膜凹状プラグ21を改善する方法として、BPSG膜1
4に対して選択的にCMP法が行われていた。このCM
P法で用いるスラリーとしては、コロイド性シリカスラ
リーが使用され、このスラリーには、BPSG膜14に
対して選択的に作用するH2O2及びKOH等が含まれて
いた。このCMP法は図7(c)に示されるように、コ
ンタクトホール20の開口縁より若干上方に迫り出した
凸状のプラグ22が得られるまで続けられていた。
ップ数の増加を目的とした全面成膜のブランケットW膜
はウェハーの外周縁を通して裏面にも廻り込むため、ウ
ェハーの外周縁及び裏面周辺にも形成されることとな
る。このウェハーの外周縁及びウェハー裏面の周辺に形
成されたW膜は、研磨により除去できず、次工程で汚染
の原因になってしまうという課題があった。
ウェハーを支持する際、ウェハーを飛び出し防止リング
でウェハーの周縁部が覆われてしまうため、軟質研磨パ
ッドを用いた研磨でもウェハーの外周縁のW膜が研磨さ
れずに残り、このW膜が汚染の原因となるためである。
縁、ウェハーの裏面にも廻り込むが、荷重をかけて研磨
するため、ウェハー表面側のW膜の研磨速度は、ウェハ
ー外周縁のW膜のエッチングレートよりはるかに早く、
ウェハーの外周縁のW膜が研磨する前に研磨作業が停止
され、従って、ウェハーの外周縁のW膜は除去されずに
ほとんど残ってしまうためである。
ハー裏面の金属膜を効率よく除去する金属膜の研磨方法
及びその装置を提供することにある。
め、本発明に係る金属膜の研磨方法は、金属膜研磨前
に、余分な金属膜が付着したウェハを少なくとも1種類
以上の酸化性溶液に一定時間浸漬し、該酸化性溶液を用
いて前記余分な金属膜をエッチングして除去するもので
ある。
ハーカセット内に収容した複数枚のウェハーを同時に浸
漬する工程であることを特徴とする請求項1に記載の金
属膜の研磨方法。
つ半導体ウェハーを浸漬する工程である。
銅(Cu)、アルミニウム(Al)合金、チタン(T
i)合金、シリコン(Si)のうち少なくとも1つ以上
含むものである。
ッチング部を有し、半導体ウェハーに付着した余分な金
属膜を除去する金属膜の研磨装置であって、エッチング
部は、エッチング槽の酸化性溶液中に、金属膜研磨前の
前記半導体ウェハーを浸漬し、該酸化性溶液により前記
半導体ウェハーに付着した金属膜をエッチング除去する
ものである。
磨機構を有し、半導体ウェハーに付着した余分な金属膜
を除去する金属膜の研磨装置であって、研磨機構は、ウ
ェハー回転部と、研磨部とを有し、ウェハー回転部は、
金属膜研磨前の前記半導体ウェハーの中心を吸着して回
転させるものであり、研磨部は、前記回転する半導体ウ
ェハーの外周端縁に付着した余分な金属膜に研磨パッド
を接触させ、該接触部に研磨剤を供給して前記金属膜を
研磨除去するものである。
たブランケットW膜は、ウェハー外周縁や裏面周辺(以
下、ウェハー外周縁及び裏面周辺を含めて外周端縁とい
う)にも余分に形成される。そこで、ウェハーを酸化性
溶液中に浸漬し、酸化性溶液のエッチング効果を利用し
てウェハーの外周端縁に付着した余分なW膜を、ウェハ
ー表面側のW膜を研磨する前に予め除去する。この方法
により、ウェハー外終端面の余分なW膜を効率良く、か
つ効果的に除去することができ、余分なW膜を完全に除
去して、次工程以降での汚染を未然に回避し、半導体装
置の製造歩留りを向上させる。
を参照して説明する。
1に係る研磨装置を示す構成図である。
研磨装置は、エッチング部7と、ウェハー搬送部8と、
アンローダ部9とを有している。
エレベータ7bと、酸化性溶液供給管3と、洗浄液供給
管4とを含んでいる。
し、排出口6は排出バルブ5により開閉されるようにな
っている。酸化性溶液供給管3は、酸化性溶液をエッチ
ング槽7a内に供給するようになっており、洗浄液供給
管4は、洗浄液をエッチング槽7a内に供給するように
なっている。
には図3に示すように、ウェハー表面1a側に所定膜厚
の金属膜11が形成され、かつ表面1a側から裏面1d
側に廻り込んだ余分な金属膜11がウェハー外周縁1c
と裏面1dの周辺とに付着してしまう。この半導体ウェ
ハー1は、ウェハーカセット2に上下に一定間隔を置い
て複数段に保持され、金属膜11の除去処理が施され
る。
内の溶液中に浸漬されるものであり、耐酸性処理が施さ
れ、かつ溶液を半導体ウェハーに接触させるために通水
性を備えた構造になっている。
7bが設置されており、エレベータ7bは、ウェハーカ
セット2を保持して該ウェハーカセット2をエレベータ
槽7a内に昇降させ、処理済の半導体ウェハー1を一枚
ずつウェハーの取出し高さ位置まで引き上げるようにな
っている。またエッチング槽7aは、酸化性溶液に対し
て耐腐食性をもつポリエチレン或いはポリプロビレン等
のような化合物を用いて構成されている。
トから構成されており、ウェハー搬送ロボット8は、上
下方向への昇降、水平方向への往復動、かつ水平面内上
での回転動作を行うようになっており、この動きに伴
い、エレベータ7bによりエッチング槽7aの液面より
引き上げられた半導体ウェハー1をウェハーカセット2
から1枚ずつ引き出し、これをアンローダ部9に移送す
るようになっている。
り、エッチング槽7a内での酸化処理が終了してウェハ
ー搬送ロボット8により移送された半導体ウェハー1を
受入れて次工程に引き渡すようになっている。
て説明する。
a側に所定膜厚の金属膜11が形成されているととも
に、表面1aに連続する外周縁1b及び裏面1cの周辺
に渡って余分な金属膜11が形成されている。この半導
体ウェハー1は、ウェハーカセット2に複数段に保持さ
れ、半導体ウェハー1を収納したウェハーカセット2
は、エレベータ7bに搭載されてエッチング槽7a内に
セットされる。このとき、エッチング槽7aの排出バル
ブ5は閉じられている。
セットされると、酸化性溶液供給管3からの酸化性溶液
がエッチング槽7a内に供給され、ウェハーカセット2
内の半導体ウェハー1が酸化性溶液に浸漬される。
酸化性溶液に浸漬されると、酸化性溶液のエッチング効
果によって半導体ウェハー1上の金属膜11がエッチン
グされる。
ウェハー1の表面1a、外周縁1b、裏面1cの周辺に
かけて金属膜11が形成されており、次工程でCMP法
を用いて半導体ウェハー1の表面1a側の金属膜11が
ウェハー表面付近まで研磨されて除去されることになっ
ている。この場合、半導体ウェハー1の外周縁1b、裏
面1cの周辺に付着した金属膜11は、次工程でのCM
P法による研磨で除去することができないものである。
外周縁1b、裏面1cの周辺に付着した金属膜11につ
いて検討した結果、この金属膜11は、半導体ウェハー
1の表面1a側から外周縁1bを介して裏面1cの周辺
に廻り込んだ余分なものであって、その膜厚も半導体ウ
ェハー1の表面1a側のものと比較して薄く、半導体ウ
ェハー1の表面1a側のものよりも比較的速くエッチン
グ処理によって除去可能なことが分かった。
ー1の外周縁1b及び裏面1cの周辺に付着している金
属膜11がエッチング除去処理によって除去される時点
で、半導体ウェハー1の表面1a側の金属膜11は、除
去されずに残る可能性があるが、この表面1a側の金属
膜11に対してはCMP法による研磨処理が行われて除
去されることとなっているため、エッチング処理によっ
て残留することは技術的な課題となることはない。
での研磨処理の際に、ウェハー飛び出し防止リングで覆
われてしまう半導体ウェハー1の外周縁1bと裏面1c
の周辺にかけての範囲a’b’に付着する金属膜11を
エッチング槽7a内の酸化性溶液を使用してエッチング
により除去する。
ッチング槽7a内の酸化性溶液中に半導体ウェハー1を
浸漬させ、酸化性溶液のエッチング効果を半導体ウェハ
ー1の金属膜11に作用させ、不要な金属膜11をエッ
チング除去する。
が終了した後に、排出バルブ5を開弁し、エッチング槽
7a内の酸化性溶液を排液する。
4から純水をエッチング槽7a内に供給し、この純水を
用いて半導体ウェハー1上での残存酸化性溶液濃度を低
下させる。
セット2を半導体ウェハー1の取出し高さ位置に1枚分
ずつ引き上げる。その引き上げられた半導体ウェハー1
をウェハー搬送ロボット8を用いてウェハーカセット2
から1枚ずつ取り出し、これをウェハーカップ9に移送
して移替える。
ェハー1は、表面1a側に残留した金属膜11が公知の
研磨方法を用いて研磨除去され、半導体ウェハー1上に
凸状のプラグが形成される。
よる研磨処理の前処理として、研磨処理の際にウェハー
飛び出し防止リングで覆われてしまう半導体ウェハー1
の外周縁1bと裏面1cの周辺にかけての範囲に付着し
た金属膜11を酸化性溶液を用いたエッチング処理によ
り除去しているため、CMP法による研磨処理後に半導
体ウェハー1の外周端縁に余分な金属膜が残留すること
を未然に回避することができ、ウェハー1に残留した余
分な金属膜11による汚染を防止することができる。
1の具体例を実施例1として説明する。
うに、基板13上に、配線下絶縁膜としてBPSG膜1
4、配線としてTi膜16、TiN膜17、AlSiC
u膜18、TiN膜17の積層金属配線を形成し、その
後に、層間絶縁膜としてバイアスECRSiO2膜15
を堆積し、SiO2膜15にスルーホール19を開口
し、スルーホール19の内面を含む基板全面にTi膜、
TiN膜17を成膜する。
ル19を含む基板全面に金属膜としてのブランケットW
膜11を堆積し、スルーホール19内にブランケットW
膜11を充填する。
及びCMP法の研磨処理を行う。
収納したウェハーカセット2全体を酸化性溶液供給管3
から供給される酸化性溶液、例えば過酸化水素(H
2O2)水に浸漬し、ウェハー1の外周縁1b及び裏面1
cの周辺に付着したW膜11をエッチングして除去す
る。
後の半導体ウェハーの断面形状を示す。図3(a)に示
す半導体ウェハー1の外周縁1bと裏面1cの周辺に渡
る範囲a,bに付着したW膜11は、エッチング後に図
3(b)の範囲a’b’で完全に除去される。
漬時間はウェハーの周縁部1b及び裏面1cの周辺に付
着したW膜が除去するのに要する時間とする。例えばH
2O2の濃度が30%のときのウェハー表面1a上のW膜
11に対するエッチング速度は約15nm/min、ウ
ェハー外周縁1b及び裏面1cの周辺に付着したW膜1
1に対するエッチング速度は約30nm/minである
ため、ウェハーの外周縁及び裏面周辺のW膜11が完全
に除去されても、ウェハー表面1aのW膜11は、CM
Pを施すことができる膜厚として十分に残存する。
浄液供給管4から供給される純水に浸漬して洗浄し、エ
レベータ7bにてウェハーを1枚ずつエッチング槽7a
内の純水から引き上げ、これをウェハー搬送ロボット8
でウェハーカップ9に移送する。
公知のCMP法により研磨をウェハー表面1aのW膜1
1に施し、ウェハー表面1aのW膜11を研磨により除
去し、図1(c)に示すようなWプラグ12を形成す
る。
次工程以降でウェハー1の外周縁1b及び裏面1cに残
存するW膜に起因するパーティクル(メタル残りによる
剥がれ)の発生がなく、W膜による汚染を防止すること
ができる。
ハーをエッチング槽内の酸化性溶液中に没して浸漬した
が、酸化性溶液によるシャワーをウェハーに吹き付けて
浸漬するようにしても同様の効果を得ることができる。
2を示す構成図である。
溶液により半導体ウェハーを1枚ずつ処理する枚葉式の
構成としたものである。
槽7a外に設置されたウェハーカセット2内に供給さ
れ、ウェハーカセット2はエレベータ2aにより昇降さ
れる。
ロボット8aと後段のウェハー搬送ロボット8bとから
構成されている。前段のウェハー搬送ロボット8aは、
ウェハーカセット2から半導体ウェハー1を1枚ずつ取
り出し、これをエッチング槽7a内に移送する。後段の
ウェハー搬送ロボット8bは、エレベータ7bによりエ
ッチング槽7a内の酸化性溶液から引き上げられた半導
体ウェハー1を取り出し、これをウェハーカップ9内に
移送する。
に酸化性溶液供給管3が設けられているが、実施形態2
では、エッチング槽7a内にウェハー1の裏面を支持す
るウェハー保持部10がエレベータ7bにより昇降可能
に設置されている。ウェハー保持部10は、ウェハー裏
面を桟10aで支えて半導体ウェハーを溶液中に浸漬す
るようになっている。
酸化性溶液によるウェハー1の酸化処理のみが行われ、
純水による洗浄処理が省略されている。
施形態2の具体例を実施例2として説明する。
示す製造工程までは、実施例1と同じである。
設置したウェハーカセット2に複数の半導体ウェハー1
を供給してセットして置く。次にエレベータ1aにより
ウェハーカセット2を上昇又は下降させてウェハーカセ
ット2からウェハー1を1枚ずつウェハー搬送ロボット
8aを用いてエッチング槽7aに搬送する。ここで、酸
化性溶液供給管3から供給される酸化性溶液は、実施例
1と同様にH2O2水を用い、H2O2水にウェハー1を浸
漬し、ウェハー1の外周縁1b及び裏面1cの周辺に付
着したW膜11を除去する。実施例2におけるウェハー
の外周縁1b及び裏面1cの周辺に付着したW膜の除去
効果は、実施例1と同様である。
保持部10上のウェハー1をエッチング槽7a内の酸化
性溶液から引き上げ、ウェハーカップ9にウェハー搬送
ロボット8bを用いて搬送する。
P法を施してウェハー表面1a側に残留したW膜11を
均一に研磨し、ウェハー1の表面上からW膜11を除去
し、図4(c)に示すように、スルーホール19にWプ
ラグ12を形成する。
において、ウェハー1の外周縁1b及び裏面1cのW膜
に起因するパーティクル(メタル残りによる剥がれ)の
発生がない金属膜の研磨を行うことが可能となる。実施
例2においては、H2O2水を用いてウェハーの外周縁及
び裏面の外周端縁に付着したW膜を除去した後に、純水
による洗浄を行わなかったが、実施例2において、酸化
性溶液を用いたエッチング処理を行った後に、その処理
済みのウェハーを純水を用いて洗浄しても、本発明の実
施例2による効果が劣化することはない。
3を示す構成図である。
ータ2aにより1枚のウェハー1分ずつ上昇又は下降さ
れるウェハーカセット2と、ウェハーカセット2内のウ
ェハー1を1枚ずつ取出して中間のウェハーカップ9a
上に水平姿勢にセットするウェハー搬送ロボット8と、
ウェハー1の端面側を研磨する研磨機構と、研磨済みの
ウェハー1を後段のウェハーカップ9b上に水平姿勢に
移送するウェハー搬送部とからなっている。
1が上下に一定間隔を置いて複数段に保持されている。
かつ水平方向に往復動し、さらにウェハー1を水平面内
で回転させることにより、ウェハー1をウェハーカップ
9a上に水平姿勢にセットするようになっている。
を有している。ウェハー回転部は、ウェハー保持アーム
32を含み、金属膜研磨前の半導体ウェハー1の中心を
吸着して回転させるようになっている。また研磨部は、
研磨パッド保持台30及び研磨パッド31と、研磨剤供
給管33とを含み、回転する半導体ウェハー1の外周端
縁に付着した余分な金属膜11に研磨パッド31を接触
させ、該接触部に研磨剤を供給して金属膜11を研磨除
去するようになっている。
着部32aを有し、回転可能な軸状をなしている。ウェ
ハー保持アーム32は、ウェハーカップ9aの上方位置
で真空吸着部32aを下方に向けて垂直姿勢にセットさ
れ、ウェハー1を真空吸着したウェハー保持アーム32
は、基部32b側を支点として90°上方に回転されて
水平姿勢となり、半導体ウェハー1を縦置き姿勢に保持
するようになっている。水平方向に回転されたウェハー
保持アーム32は、研磨パッド保持台30まで水平移動
する。
ッド31,31の表面同士を張り合わせ、これを縦置き
姿勢に保持し、2枚の研磨パッド31,31の研磨面3
1aを上方に向けてセットしてある。
磨面31aに研磨剤を供給するようになっている。また
トルク電流測定器34は、回転するウェハー保持アーム
32に加わるトルクを測定し、そのトルク値を電流に変
換し、その電流値の変化に基づいて半導体ウェハー1の
外周端縁に対する研磨パッド31による研磨度合を検出
するようになっている。
搬送部を兼ねており、ウェハー保持アーム32は、水平
姿勢のままウェハーカップ9b上まで半導体ウェハー1
を搬送し、その後、垂直姿勢に方向転換して半導体ウェ
ハー1を水平姿勢でウェハーカップ9b上にセットする
ようになっている。
図面を参照して詳細に説明する。
ンケットW膜16を埋設した半導体ウェハー1の金属膜
11を研磨装置で研磨する。図5に示すように、半導体
ウェハー1を収納したウェハーカセット2から半導体ウ
ェハー1を1枚ずつウェハー搬送ロボット8を用いてウ
ェハーカップ9a上に搬送する。
勢に転換し、その真空吸着部32aに半導体ウェハー1
を保持し、このウェハー保持アーム32を90°回転さ
せてウェハー保持アーム32を水平姿勢に転換し、半導
体ウェハー1を縦向きに配置された2枚の研磨パッド3
0上に水平移動させる。
から研磨剤を供給しながらウェハー保持アーム32を下
方向に移動させ、ウェハー保持アーム32で半導体ウェ
ハー1を回転させたまま、図6に示すようにウェハー1
の周縁部1b及び裏面1cに回り込んだ金属膜11に研
磨パッド31を接触させ、該接触部に研磨剤を供給して
金属膜11を研磨除去する。このときの半導体ウェハー
1の回転数は10〜30rpm、研磨パッド31への接
触圧は0.3〜1.0psi、研磨剤の供給量は20〜
50cc/minが望ましい。研磨終点は、トルク電流
測定器34を用いて判定する。ここで、図6において、
半導体ウェハー1の周縁部1b及び裏面1cに回り込ん
だ金属膜11に研磨パッド31を接触させると、最初に
水平な位置H1から研磨が開始され、圧下力を受けて半
導体ウェハー1の外周端縁が研磨パッド31に食い込
み、その研磨範囲が半導体ウェハー1の外周端縁をカバ
ーする範囲V1に変化し、半導体ウェハー1の外周端縁
の金属膜が完全に研磨除去されることとなる。
2を上方向へ移動させ、回転を停止する。次に、ウェハ
ーカップ9b上へ水平移動させた後、90°回転させ、
ウェハーカップ9b上に半導体ウェハー1を水平に置
く。
Pを施して半導体ウェハー1の表面を均一にし、Wプラ
グを形成する。
ウェハー1の外終端縁に残留するW膜に起因したパーテ
ィクル(メタル残りによる剥がれ)の発生を防止するこ
とができる。ウェハーカップ9b上での半導体ウェハー
1の表面に付着した金属膜の研磨においては、図6に示
すように研磨時の接触面がほぼ半導体ウェハー1の外周
端縁の全面に及んでいるために、図3と同様に半導体ウ
ェハー1の外周端縁に付着したW膜を効果的に除去する
ことが可能になる。尚、金属膜の研磨に於いては、トル
ク電流測定器34を使用したが、ウェハー1が10〜3
0rpmと低速回転であるため、目視または、光学的な
膜厚測定においても十分に終点検知が可能であることは
言うまでもない。また、半導体ウェハー1の外周端縁の
W膜を研磨除去する際、研磨剤供給管33から供給され
る溶液を研磨剤としたが、研磨粒子を含まず金属膜に対
して選択的に作用する酸化性溶液を研磨剤として用いて
も、同様の効果が得られることも言うまでもない。
ェハーの外周端縁に付着した余分な金属膜を完全に除去
することができ、次工程での金属膜の剥がれによる汚染
を未然に防止することができる。
性溶液を用いて除去する過程を示す断面図である。
る方法を製造工程順に示す断面図である。
を示す断面図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 金属膜研磨前に、余分な金属膜が付着し
たウェハを少なくとも1種類以上の酸化性溶液に一定時
間浸漬し、 該酸化性溶液を用いて前記余分な金属膜をエッチングし
て除去することを特徴とする金属膜の研磨方法。 - 【請求項2】 前記酸化性溶液に浸す工程は、ウェハー
カセット内に収容した複数枚のウェハーを同時に浸漬す
る工程であることを特徴とする請求項1に記載の金属膜
の研磨方法。 - 【請求項3】 前記酸化性溶液に浸す工程は、一枚ずつ
半導体ウェハーを浸漬する工程であることを特徴とする
請求項1に記載の金属膜の研磨方法。 - 【請求項4】 前記金属膜は、タングステン(W)、銅
(Cu)、アルミニウム(Al)合金、チタン(Ti)
合金、シリコン(Si)のうち少なくとも1つ以上含む
ものであることを特徴とする請求項1に記載の金属膜の
研磨方法。 - 【請求項5】 エッチング部を有し、半導体ウェハーに
付着した余分な金属膜を除去する金属膜の研磨装置であ
って、 エッチング部は、エッチング槽の酸化性溶液中に、金属
膜研磨前の前記半導体ウェハーを浸漬し、該酸化性溶液
により前記半導体ウェハーに付着した金属膜をエッチン
グ除去するものであることを特徴とする金属膜の研磨装
置。 - 【請求項6】 研磨機構を有し、半導体ウェハーに付着
した余分な金属膜を除去する金属膜の研磨装置であっ
て、 研磨機構は、ウェハー回転部と、研磨部とを有し、 ウェハー回転部は、金属膜研磨前の前記半導体ウェハー
の中心を吸着して回転させるものであり、 研磨部は、前記回転する半導体ウェハーの外周端縁に付
着した余分な金属膜に研磨パッドを接触させ、該接触部
に研磨剤を供給して前記金属膜を研磨除去するものであ
ることを特徴とする金属膜の研磨装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09123940A JP3111928B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | 金属膜の研磨方法 |
US09/078,559 US6361708B1 (en) | 1997-05-14 | 1998-05-14 | Method and apparatus for polishing a metal film |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09123940A JP3111928B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | 金属膜の研磨方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10312981A true JPH10312981A (ja) | 1998-11-24 |
JP3111928B2 JP3111928B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=14873125
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09123940A Expired - Fee Related JP3111928B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | 金属膜の研磨方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6361708B1 (ja) |
JP (1) | JP3111928B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002367939A (ja) * | 2001-06-05 | 2002-12-20 | Speedfam Co Ltd | 半導体装置の製造方法及びそのための周辺部不要膜除去装置 |
US6558478B1 (en) | 1999-10-06 | 2003-05-06 | Ebara Corporation | Method of and apparatus for cleaning substrate |
US6773335B2 (en) | 2001-05-02 | 2004-08-10 | Speedfam Co., Ltd. | Apparatus for polishing periphery of device wafer and polishing method |
JP2006066891A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-03-09 | Toshiba Corp | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2007306018A (ja) * | 2007-07-09 | 2007-11-22 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2008042220A (ja) * | 2007-09-25 | 2008-02-21 | Ebara Corp | 基板処理方法及び装置 |
JP2009027198A (ja) * | 2008-10-31 | 2009-02-05 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
US7718526B2 (en) | 2001-04-17 | 2010-05-18 | Renesas Technology Corporation | Fabrication method of semiconductor integrated circuit device |
US7964509B2 (en) | 1999-08-31 | 2011-06-21 | Renesas Electronics Corporation | Mass production method of semiconductor integrated circuit device and manufacturing method of electronic device |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11221742A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-08-17 | Hoya Corp | 研磨方法及び研磨装置並びに磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体 |
JP4284215B2 (ja) * | 2004-03-24 | 2009-06-24 | 株式会社東芝 | 基板処理方法 |
KR100792819B1 (ko) * | 2006-05-15 | 2008-01-14 | (주)글로벌 해드 컴퍼니 | 디젤 자동차의 연료 종류 알림장치 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5913331A (ja) | 1982-07-14 | 1984-01-24 | Toshiba Corp | パタ−ン形成方法 |
US4956313A (en) | 1987-08-17 | 1990-09-11 | International Business Machines Corporation | Via-filling and planarization technique |
JPH0682660B2 (ja) | 1987-08-17 | 1994-10-19 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | 導電性スタツドを形成する方法 |
US4992135A (en) | 1990-07-24 | 1991-02-12 | Micron Technology, Inc. | Method of etching back of tungsten layers on semiconductor wafers, and solution therefore |
JPH04167448A (ja) | 1990-10-31 | 1992-06-15 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
DE4103084A1 (de) * | 1991-02-01 | 1992-08-13 | Wacker Chemitronic | Magazin zur halterung von scheibenfoermigen werkstuecken, insbesondere halbleiterscheiben, bei der nasschemischen oberflaechenbehandlung in fluessigkeitsbaedern |
US5128281A (en) * | 1991-06-05 | 1992-07-07 | Texas Instruments Incorporated | Method for polishing semiconductor wafer edges |
US5244534A (en) | 1992-01-24 | 1993-09-14 | Micron Technology, Inc. | Two-step chemical mechanical polishing process for producing flush and protruding tungsten plugs |
JPH07193030A (ja) * | 1993-12-25 | 1995-07-28 | Kyushu Komatsu Denshi Kk | 半導体ウェハの製造方法 |
JPH0885051A (ja) * | 1994-09-14 | 1996-04-02 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体シリコン基板の面取り部研磨方法 |
JPH08124886A (ja) | 1994-10-26 | 1996-05-17 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置の研磨方法及び研磨装置 |
JPH08139060A (ja) | 1994-11-04 | 1996-05-31 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置の製造方法及び化学的機械研磨装置 |
US5681215A (en) * | 1995-10-27 | 1997-10-28 | Applied Materials, Inc. | Carrier head design for a chemical mechanical polishing apparatus |
US5885900A (en) | 1995-11-07 | 1999-03-23 | Lucent Technologies Inc. | Method of global planarization in fabricating integrated circuit devices |
JPH09186234A (ja) | 1995-12-27 | 1997-07-15 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法およびその製造装置 |
JPH1041310A (ja) | 1996-07-23 | 1998-02-13 | Sony Corp | 半導体基板の加工方法 |
US5958288A (en) * | 1996-11-26 | 1999-09-28 | Cabot Corporation | Composition and slurry useful for metal CMP |
-
1997
- 1997-05-14 JP JP09123940A patent/JP3111928B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-05-14 US US09/078,559 patent/US6361708B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7964509B2 (en) | 1999-08-31 | 2011-06-21 | Renesas Electronics Corporation | Mass production method of semiconductor integrated circuit device and manufacturing method of electronic device |
US8293648B2 (en) | 1999-08-31 | 2012-10-23 | Renesas Electronics Corporation | Mass production method of semiconductor integrated circuit device and manufacturing method of electronic device |
US8034717B2 (en) | 1999-08-31 | 2011-10-11 | Renesas Electronics Corporation | Mass production method of semiconductor integrated circuit device and manufacturing method of electronic device |
US6558478B1 (en) | 1999-10-06 | 2003-05-06 | Ebara Corporation | Method of and apparatus for cleaning substrate |
US6745784B2 (en) | 1999-10-06 | 2004-06-08 | Ebara Corporation | Method of and apparatus for cleaning substrate |
US7977234B2 (en) | 2001-04-17 | 2011-07-12 | Renesas Electronics Corporation | Fabrication method of semiconductor integrated circuit device |
US7718526B2 (en) | 2001-04-17 | 2010-05-18 | Renesas Technology Corporation | Fabrication method of semiconductor integrated circuit device |
US6773335B2 (en) | 2001-05-02 | 2004-08-10 | Speedfam Co., Ltd. | Apparatus for polishing periphery of device wafer and polishing method |
DE10219450B4 (de) * | 2001-05-02 | 2005-06-09 | Speedfam Co., Ltd., Ayase | Poliervorrichtung zum Polieren des Umfangs eines Wafers |
US6638147B2 (en) | 2001-06-05 | 2003-10-28 | Speedfam Co., Ltd. | Polishing method for removing corner material from a semi-conductor wafer |
JP2002367939A (ja) * | 2001-06-05 | 2002-12-20 | Speedfam Co Ltd | 半導体装置の製造方法及びそのための周辺部不要膜除去装置 |
JP2006066891A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-03-09 | Toshiba Corp | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2007306018A (ja) * | 2007-07-09 | 2007-11-22 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2008042220A (ja) * | 2007-09-25 | 2008-02-21 | Ebara Corp | 基板処理方法及び装置 |
JP2009027198A (ja) * | 2008-10-31 | 2009-02-05 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6361708B1 (en) | 2002-03-26 |
JP3111928B2 (ja) | 2000-11-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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