JPH10302257A - 成膜用ディスクホルダ - Google Patents
成膜用ディスクホルダInfo
- Publication number
- JPH10302257A JPH10302257A JP10691497A JP10691497A JPH10302257A JP H10302257 A JPH10302257 A JP H10302257A JP 10691497 A JP10691497 A JP 10691497A JP 10691497 A JP10691497 A JP 10691497A JP H10302257 A JPH10302257 A JP H10302257A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- holder
- disk substrate
- film forming
- support arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ディスク基板自身の自重を巧みに活かして、ホ
ルダに装荷したディスクを安定よく保持できるようにし
た簡易な構造の成膜用ディスクホルダを提供する。 【解決手段】ディスク基板３に記録層を成膜するスパッ
タ成膜工程でディスク基板を縦向き姿勢に受容保持する
ための成膜用ディスクホルダであって、ホルダの本体フ
レーム１にディスク基板の周縁を左右からクランプする
一対の梃子式支持アーム２Ｌ，２Ｒを軸受５を介して装
備するとともに、各アームの上下端には爪４を取付け
る。かかる構成で、支持アームはその梃子支点となる軸
受を中心に待機状態ではアーム自身の自重と梃子比によ
り開放位置に揺動し、ディスク基板のローディング状態
では支持アームの梃子比とディスク基板の自重とにより
閉位置に揺動してディスク基板を左右からクランプす
る。
ルダに装荷したディスクを安定よく保持できるようにし
た簡易な構造の成膜用ディスクホルダを提供する。 【解決手段】ディスク基板３に記録層を成膜するスパッ
タ成膜工程でディスク基板を縦向き姿勢に受容保持する
ための成膜用ディスクホルダであって、ホルダの本体フ
レーム１にディスク基板の周縁を左右からクランプする
一対の梃子式支持アーム２Ｌ，２Ｒを軸受５を介して装
備するとともに、各アームの上下端には爪４を取付け
る。かかる構成で、支持アームはその梃子支点となる軸
受を中心に待機状態ではアーム自身の自重と梃子比によ
り開放位置に揺動し、ディスク基板のローディング状態
では支持アームの梃子比とディスク基板の自重とにより
閉位置に揺動してディスク基板を左右からクランプす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、磁気ディスク，
光ディスクなどの情報記録媒体を製造するスパッタ成膜
工程で使用する治具としての成膜用ディスクホルダに関
する。
光ディスクなどの情報記録媒体を製造するスパッタ成膜
工程で使用する治具としての成膜用ディスクホルダに関
する。
【０００２】
【従来の技術】頭記した記録媒体のディスク基板に記録
層を成膜する手段として、スパッタ成膜法が一般に採用
されている。また、そのスパッタ成膜装置は量産性の面
から連続バッチ方式を採用し、成膜ディスクホルダに複
数枚のディスク基板を縦向き姿勢に装荷し、スパッタ成
膜装置に搬入してディスク基板の板面に記録層を成膜す
るようにしている。
層を成膜する手段として、スパッタ成膜法が一般に採用
されている。また、そのスパッタ成膜装置は量産性の面
から連続バッチ方式を採用し、成膜ディスクホルダに複
数枚のディスク基板を縦向き姿勢に装荷し、スパッタ成
膜装置に搬入してディスク基板の板面に記録層を成膜す
るようにしている。
【０００３】この場合に、従来では、例えば実用新案登
録第２５１０２７号の公報に開示されているように、衝
立状になるホルダ板の板面に複数のディスク装荷穴を開
口し、各ディスク装荷穴の内周面に形成したＶ溝，もし
くはＵ溝にディスク基板を１枚ずつ嵌め込んで鉛直姿勢
に保持するようにしたディスクホルダが使用されてい
る。
録第２５１０２７号の公報に開示されているように、衝
立状になるホルダ板の板面に複数のディスク装荷穴を開
口し、各ディスク装荷穴の内周面に形成したＶ溝，もし
くはＵ溝にディスク基板を１枚ずつ嵌め込んで鉛直姿勢
に保持するようにしたディスクホルダが使用されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記した従
来の成膜用ディスクホルダでは、ディスク保持性の面で
次記のような問題点がある。すなわち、前記のディスク
装荷穴の内周面に形成した溝の深さは１mm以下の極めて
浅い溝であり、ディスク基板を装荷した状態でディスク
ホルダを移動する際に加わる振動，揺れなどでディスク
基板が装荷穴から脱落し易い。
来の成膜用ディスクホルダでは、ディスク保持性の面で
次記のような問題点がある。すなわち、前記のディスク
装荷穴の内周面に形成した溝の深さは１mm以下の極めて
浅い溝であり、ディスク基板を装荷した状態でディスク
ホルダを移動する際に加わる振動，揺れなどでディスク
基板が装荷穴から脱落し易い。
【０００５】一方、前記したディスク基板の脱落防止対
策として、ディスクホルダの装荷穴に嵌め込んだディス
クを上方からばね部材で押さえつける保持方法も知られ
ているが、この方法ではディスクの挿脱，ばね押さえ操
作を誤ると、ばね部材がディスクの板面に当たって基
板，成膜面に傷を付けるおそれがあるほか、長期間の使
用によりばね部材にスパッタ膜が付着してばね動作が不
安定になるといった問題がある。
策として、ディスクホルダの装荷穴に嵌め込んだディス
クを上方からばね部材で押さえつける保持方法も知られ
ているが、この方法ではディスクの挿脱，ばね押さえ操
作を誤ると、ばね部材がディスクの板面に当たって基
板，成膜面に傷を付けるおそれがあるほか、長期間の使
用によりばね部材にスパッタ膜が付着してばね動作が不
安定になるといった問題がある。
【０００６】この発明は上記の点に鑑みなされたもので
あり、その目的は前記課題を解決し、ばね部材など使わ
ずに、ディスク基板自身の自重を巧みに活かしてディス
クを安定よく保持できるようにした簡易な構造の成膜用
ディスクホルダを提供することにある。
あり、その目的は前記課題を解決し、ばね部材など使わ
ずに、ディスク基板自身の自重を巧みに活かしてディス
クを安定よく保持できるようにした簡易な構造の成膜用
ディスクホルダを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明によれば、ホルダ本体のフレームにディス
ク基板の周縁を左右から挟み込んで担持する略円弧状に
なる一対の梃子式支持アームを軸支装備し、該支持アー
ムはその梃子支点を中心に待機状態ではアーム自身の自
重と梃子比により開放位置に揺動し、ディスク基板のロ
ーディング状態では支持アームの梃子比とディスク基板
の自重とにより閉位置に揺動してディスク基板を左右か
らクランプするように構成するものとする。（請求項
１）上記により、ディスクホルダにディスク基板を上方
からローディングすると、待機状態で“逆ハ字形”に開
放していた左右一対の梃子式支持アームがディスク基板
の重量を受けて閉位置に揺動し、ディスク基板の周縁を
左右からクランプする。また、スパッタ成膜後のアンロ
ーディング行程で、ディスクホルダからディスクを上方
に引き上げると、支持アームに加わる荷重が無くなり、
これにより支持アームはローディング前の待機状態に揺
動復帰する。
に、この発明によれば、ホルダ本体のフレームにディス
ク基板の周縁を左右から挟み込んで担持する略円弧状に
なる一対の梃子式支持アームを軸支装備し、該支持アー
ムはその梃子支点を中心に待機状態ではアーム自身の自
重と梃子比により開放位置に揺動し、ディスク基板のロ
ーディング状態では支持アームの梃子比とディスク基板
の自重とにより閉位置に揺動してディスク基板を左右か
らクランプするように構成するものとする。（請求項
１）上記により、ディスクホルダにディスク基板を上方
からローディングすると、待機状態で“逆ハ字形”に開
放していた左右一対の梃子式支持アームがディスク基板
の重量を受けて閉位置に揺動し、ディスク基板の周縁を
左右からクランプする。また、スパッタ成膜後のアンロ
ーディング行程で、ディスクホルダからディスクを上方
に引き上げると、支持アームに加わる荷重が無くなり、
これにより支持アームはローディング前の待機状態に揺
動復帰する。
【０００８】また、この発明によれは、前記ディスクホ
ルダの動作の信頼性をより一層高めるために、具体的に
次記のような形態で構成することができる。 (1) 各支持アームの両端部にその内周側に向けて突き出
すディスク保持用の爪を設け、ディスク基板のローディ
ング状態では前記爪を介してディスク基板の上下周縁を
左右から４点支持してディスクの安定保持とともに、爪
の長さサイズを変更することで直径の異なる各種仕様の
ディスクにも対応できるようにする。（請求項２） (2) 支持アームをホルダ本体のフレームに軸支する軸受
の端面をシールドで覆い、該軸受にスパッタ膜が付着す
るのを防止するようにする。（請求項３）
ルダの動作の信頼性をより一層高めるために、具体的に
次記のような形態で構成することができる。 (1) 各支持アームの両端部にその内周側に向けて突き出
すディスク保持用の爪を設け、ディスク基板のローディ
ング状態では前記爪を介してディスク基板の上下周縁を
左右から４点支持してディスクの安定保持とともに、爪
の長さサイズを変更することで直径の異なる各種仕様の
ディスクにも対応できるようにする。（請求項２） (2) 支持アームをホルダ本体のフレームに軸支する軸受
の端面をシールドで覆い、該軸受にスパッタ膜が付着す
るのを防止するようにする。（請求項３）
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
示実施例に基づいて説明する。図１(a),(b) において、
(a) 図はディスク基板のローディング状態，(b) 図はア
ンローディング状態を示している。図において、ディス
クホルダの本体フレーム１には、左右一対の梃子式支持
アーム２Ｌ，２Ｒを組とする複数組の支持アーム（図示
には１組の支持アームのみが描かれている）が上下，左
右に並べて装着されている。
示実施例に基づいて説明する。図１(a),(b) において、
(a) 図はディスク基板のローディング状態，(b) 図はア
ンローディング状態を示している。図において、ディス
クホルダの本体フレーム１には、左右一対の梃子式支持
アーム２Ｌ，２Ｒを組とする複数組の支持アーム（図示
には１組の支持アームのみが描かれている）が上下，左
右に並べて装着されている。
【００１０】ここで、梃子式支持アーム２Ｌ，２Ｒはデ
ィスク基板３の直径よりも一回り大きな曲率半径の円弧
状アームで、その上下両端には内周側に向けて突き出す
ディスク保持用の爪４がねじ止めして取付けてあり、支
持アームの中間部が軸受５を介して本体フレーム１に軸
支されている。また、支持アームの弧長は後記のように
ディスク基板３をクランプした状態で、上下端部に取付
けた爪４がディスク基板３の中心を挟んで上下域の周縁
に当接するように選定されいる。
ィスク基板３の直径よりも一回り大きな曲率半径の円弧
状アームで、その上下両端には内周側に向けて突き出す
ディスク保持用の爪４がねじ止めして取付けてあり、支
持アームの中間部が軸受５を介して本体フレーム１に軸
支されている。また、支持アームの弧長は後記のように
ディスク基板３をクランプした状態で、上下端部に取付
けた爪４がディスク基板３の中心を挟んで上下域の周縁
に当接するように選定されいる。
【００１１】さらに、各支持アームは、前記軸受５を梃
子支点Ｏ，支持アームの上下端をそれぞれＡ，Ｂとして
距離ＯＡがＯＢよりも大（ＯＡ＞ＯＢ）であり、かつ後
記のようにディスク基板３のアンローディング，ローデ
ィング状態に対応して支持アーム２Ｌ，２Ｒが開，閉位
置に反転するようにその梃子比が設定されている。さら
に、前記した軸受５の端面をシールド６で覆い、スパッ
タ成膜工程でスパッタ膜が軸受５に付着するのを防止す
るようにしている。
子支点Ｏ，支持アームの上下端をそれぞれＡ，Ｂとして
距離ＯＡがＯＢよりも大（ＯＡ＞ＯＢ）であり、かつ後
記のようにディスク基板３のアンローディング，ローデ
ィング状態に対応して支持アーム２Ｌ，２Ｒが開，閉位
置に反転するようにその梃子比が設定されている。さら
に、前記した軸受５の端面をシールド６で覆い、スパッ
タ成膜工程でスパッタ膜が軸受５に付着するのを防止す
るようにしている。
【００１２】次に、かかる構成になるディスクホルダの
ディスク保持動作について述べる。まず、ディスクホル
ダにディスク基板１を装荷してない待機状態（アンロー
ディング）では、左右一対の支持アーム２Ｌ，２Ｒが軸
受５を揺動支点として、アーム自身の自重と前記した支
持アームの梃子比で軸受の上下側に配分された回転モー
メントの差により、図１(b) で示すように左側の支持ア
ーム２Ｌが反時計方向，右側の支持アーム２Ｒが時計方
向に揺動し、“逆ハ字形”を呈するように開放位置に後
退する。なお、この開放位置では支持アーム２Ｌ，２Ｒ
が本体フレーム１に当たって必要以上の倒れ込みを阻止
している。
ディスク保持動作について述べる。まず、ディスクホル
ダにディスク基板１を装荷してない待機状態（アンロー
ディング）では、左右一対の支持アーム２Ｌ，２Ｒが軸
受５を揺動支点として、アーム自身の自重と前記した支
持アームの梃子比で軸受の上下側に配分された回転モー
メントの差により、図１(b) で示すように左側の支持ア
ーム２Ｌが反時計方向，右側の支持アーム２Ｒが時計方
向に揺動し、“逆ハ字形”を呈するように開放位置に後
退する。なお、この開放位置では支持アーム２Ｌ，２Ｒ
が本体フレーム１に当たって必要以上の倒れ込みを阻止
している。
【００１３】一方、図１(a) で示すように、前記の待機
状態からハンドリングロボットの操作でディスク基板３
を上方からディスクホルダにローディング（装荷）する
と、ディスク基板３の周縁が支持アーム２Ｌ，２Ｒの下
部側の爪４に載ってディスク重量Ｗが荷重される。これ
により、支持アーム２Ｌ，２Ｒは軸受５を梃子支点とし
て図示矢印方向に揺動して閉位置に回転するとともに、
上部側の爪４がディスク基板１の周縁に当たって左右か
らクランプする。この場合に、上部側の爪はディスク基
板３の中心よりも上方，下部側の爪は中心よりも下方に
当接しており、これによりディスク基板３は４点支持さ
れ、多少の振動，揺れに対しても脱落することなく鉛直
の装荷姿勢で安定保持される。
状態からハンドリングロボットの操作でディスク基板３
を上方からディスクホルダにローディング（装荷）する
と、ディスク基板３の周縁が支持アーム２Ｌ，２Ｒの下
部側の爪４に載ってディスク重量Ｗが荷重される。これ
により、支持アーム２Ｌ，２Ｒは軸受５を梃子支点とし
て図示矢印方向に揺動して閉位置に回転するとともに、
上部側の爪４がディスク基板１の周縁に当たって左右か
らクランプする。この場合に、上部側の爪はディスク基
板３の中心よりも上方，下部側の爪は中心よりも下方に
当接しており、これによりディスク基板３は４点支持さ
れ、多少の振動，揺れに対しても脱落することなく鉛直
の装荷姿勢で安定保持される。
【００１４】そして、スパッタ成膜を行った後のアンロ
ーディング時にロボット操作でディスクを上方に引き上
げると、いままで支持アーム２Ｌ，２Ｒに加わっていた
ディスク基板３の荷重が無くなり、これにより支持アー
ムは開放位置に揺動して図１(b) に示す待機状態に自動
復帰する。なお、前記のように軸受５の端面がシールド
６で覆われているので、軸受自身がスパッタ成膜の際に
膜が付着して動作不良を引き起こすおそれがない。ま
た、支持アームに上下端に取付ける爪４のサイズ（突き
出し長さ）を変更することにより、直径の異なる各種仕
様のディスク基板にも対応できる。
ーディング時にロボット操作でディスクを上方に引き上
げると、いままで支持アーム２Ｌ，２Ｒに加わっていた
ディスク基板３の荷重が無くなり、これにより支持アー
ムは開放位置に揺動して図１(b) に示す待機状態に自動
復帰する。なお、前記のように軸受５の端面がシールド
６で覆われているので、軸受自身がスパッタ成膜の際に
膜が付着して動作不良を引き起こすおそれがない。ま
た、支持アームに上下端に取付ける爪４のサイズ（突き
出し長さ）を変更することにより、直径の異なる各種仕
様のディスク基板にも対応できる。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように、この発明の構成によ
れば、ホルダ本体のフレームに左右一対の梃子式支持ア
ームを取付けただけの簡単な構成で、ディスクホルダに
装荷したディスク基板を左右からクランプして安定よく
保持することができ、搬送過程で加わる振動，揺れなど
でディスクがホルダから不測に脱落するおそれのない高
信頼性の成膜用ディスクホルダを提供できる。
れば、ホルダ本体のフレームに左右一対の梃子式支持ア
ームを取付けただけの簡単な構成で、ディスクホルダに
装荷したディスク基板を左右からクランプして安定よく
保持することができ、搬送過程で加わる振動，揺れなど
でディスクがホルダから不測に脱落するおそれのない高
信頼性の成膜用ディスクホルダを提供できる。
【図１】この発明の実施例によるディスクホルダの構
成，動作の説明図であり、(a) はディスク基板のローデ
ィング状態を表す図、(b) はアンローディング状態を表
す図
成，動作の説明図であり、(a) はディスク基板のローデ
ィング状態を表す図、(b) はアンローディング状態を表
す図
１ 本体フレーム ２Ｌ，２Ｒ 支持アーム ３ ディスク基板 ４ 爪 ５ 軸受 ６ シールド
Claims (3)
- 【請求項１】ディスク基板に記録層を成膜するスパッタ
成膜工程でディスク基板を縦向き姿勢に受容保持するた
めの成膜用ディスクホルダであって、ホルダ本体のフレ
ームにディスク基板の周縁を左右からクランプして担持
する略円弧状になる一対の梃子式支持アームを装備し、
該支持アームはその梃子支点を中心に待機状態ではアー
ム自身の自重と梃子比により開放位置に揺動し、ディス
ク基板のローディング状態では支持アームの梃子比とデ
ィスク基板の自重とにより閉位置に揺動してディスク基
板を左右からクランプするよう構成したことを特徴とす
る成膜用ディスクホルダ。 - 【請求項２】請求項１記載の成膜用ディスクホルダにお
いて、各支持アームの両端部にその内周側に向けて突き
出すディスク保持用の爪を設け、ディスク基板のローデ
ィング状態では前記爪を介してディスク基板の上下周縁
を左右から４点支持するようにしたことを特徴とする成
膜用ディスクホルダ。 - 【請求項３】請求項１記載の成膜用ディスクホルダにお
いて、支持アームをホルダ本体のフレームに軸支する軸
受の端面をシールドで覆ったことを特徴とする成膜用デ
ィスクホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10691497A JPH10302257A (ja) | 1997-04-24 | 1997-04-24 | 成膜用ディスクホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10691497A JPH10302257A (ja) | 1997-04-24 | 1997-04-24 | 成膜用ディスクホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10302257A true JPH10302257A (ja) | 1998-11-13 |
Family
ID=14445705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10691497A Pending JPH10302257A (ja) | 1997-04-24 | 1997-04-24 | 成膜用ディスクホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10302257A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006188747A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Samsung Sdi Co Ltd | 基板固定トレイ及びこれを利用した基板整列システム及びその方法 |
| US20120138455A1 (en) * | 2010-12-02 | 2012-06-07 | Yasuyoshi Miyaji | Anodizing apparatus |
-
1997
- 1997-04-24 JP JP10691497A patent/JPH10302257A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006188747A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Samsung Sdi Co Ltd | 基板固定トレイ及びこれを利用した基板整列システム及びその方法 |
| US8166641B2 (en) | 2005-01-05 | 2012-05-01 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Holding tray for substrate, substrate alignment system using the same and method thereof |
| US20120138455A1 (en) * | 2010-12-02 | 2012-06-07 | Yasuyoshi Miyaji | Anodizing apparatus |
| US8992746B2 (en) * | 2010-12-02 | 2015-03-31 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Anodizing apparatus |
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