JP2602409Y2 - 基板収納円板 - Google Patents
基板収納円板Info
- Publication number
- JP2602409Y2 JP2602409Y2 JP5879393U JP5879393U JP2602409Y2 JP 2602409 Y2 JP2602409 Y2 JP 2602409Y2 JP 5879393 U JP5879393 U JP 5879393U JP 5879393 U JP5879393 U JP 5879393U JP 2602409 Y2 JP2602409 Y2 JP 2602409Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- disk
- arm
- recess
- arms
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、例えばイオン注入装
置、ドライエッチング装置、薄膜形成装置等のように基
板を処理する装置に用いられるものであって、大きさ等
の異なる基板を収納してあたかも一つの基板のように扱
うことのできる基板収納円板に関し、より具体的には、
不定形の基板に対応可能な基板収納円板に関する。
置、ドライエッチング装置、薄膜形成装置等のように基
板を処理する装置に用いられるものであって、大きさ等
の異なる基板を収納してあたかも一つの基板のように扱
うことのできる基板収納円板に関し、より具体的には、
不定形の基板に対応可能な基板収納円板に関する。
【０００２】
【従来の技術】イオン注入装置等において、大きさの異
なる基板（例えばウェーハ）にイオン注入する場合、通
常は、注入室内で基板をイオン注入のために保持するホ
ルダや、真空予備室内で基板を一旦保持する基板受け等
の部品を基板寸法に合ったものに交換する必要がある
が、この交換時間の浪費防止等のために、大きさ等の異
なる基板を収納してあたかも一つの基板のように扱うこ
とのできる基板収納円板が使用される場合がある。
なる基板（例えばウェーハ）にイオン注入する場合、通
常は、注入室内で基板をイオン注入のために保持するホ
ルダや、真空予備室内で基板を一旦保持する基板受け等
の部品を基板寸法に合ったものに交換する必要がある
が、この交換時間の浪費防止等のために、大きさ等の異
なる基板を収納してあたかも一つの基板のように扱うこ
とのできる基板収納円板が使用される場合がある。
【０００３】そのような基板収納円板の従来例を図５に
示す。この基板収納円板２は、円板４の平面円形の凹部
６の側部に、前後動可能な押し当て片８を設け、これを
Ｖ字状をした線ばね１０で弾性的に押し出し、この押し
当て片８と凹部６の側壁６ａとの間に基板１２を挟んで
保持する構造をしている。内壁６ａは、基板１２の浮き
上がり防止のために、下広がりに傾斜している（図２ま
たは図３の内壁２６ａ参照）。
示す。この基板収納円板２は、円板４の平面円形の凹部
６の側部に、前後動可能な押し当て片８を設け、これを
Ｖ字状をした線ばね１０で弾性的に押し出し、この押し
当て片８と凹部６の側壁６ａとの間に基板１２を挟んで
保持する構造をしている。内壁６ａは、基板１２の浮き
上がり防止のために、下広がりに傾斜している（図２ま
たは図３の内壁２６ａ参照）。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】ところが、上記基板収
納円板は、大きさの異なる基板１２には一応対応できる
ものの、図５の例では対応できる基板１２の形状は円形
に限定されており、半円、１／４円、矩形等を含む不定
形（任意形状）の基板には対応できず、基板が不定形の
場合はそれに応じた基板収納円板を別々に作らなければ
ならず、そのためコストや管理の手間等が増大するとい
う問題があった。
納円板は、大きさの異なる基板１２には一応対応できる
ものの、図５の例では対応できる基板１２の形状は円形
に限定されており、半円、１／４円、矩形等を含む不定
形（任意形状）の基板には対応できず、基板が不定形の
場合はそれに応じた基板収納円板を別々に作らなければ
ならず、そのためコストや管理の手間等が増大するとい
う問題があった。
【０００５】そこでこの考案は、不定形の基板に対応す
ることができるようにした基板収納円板を提供すること
を主たる目的とする。
ることができるようにした基板収納円板を提供すること
を主たる目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この考案の基板収納円板は、平面円形の凹部を有
し、その内壁が下広がりに傾斜している円板と、この円
板の凹部内の周辺部にほぼ１２０度間隔で設けられた三
つの支柱と、前記円板の凹部内に収納されていて、それ
ぞれが、内向きに湾曲しており、一端部が前記支柱によ
って回動自在に支持されており、かつ内外の側壁が断面
逆ハ字状に傾斜している３本の互いに独立して回動可能
なアームと、前記円板の凹部の底部であって、前記各ア
ームと凹部の内壁との間に、しかも各アームに対して複
数個ずつ設けられた小穴と、前記円板の凹部の内壁と各
アームとの間にそれぞれ設けられていて、Ｖ字状をして
いてその一端部に下に折れ曲がった差し込み部を有し、
その差し込み部を各アームに対する前記複数の小穴の内
の一つにそれぞれ着脱自在に差し込んでいる線ばねとを
備えることを特徴とする。
め、この考案の基板収納円板は、平面円形の凹部を有
し、その内壁が下広がりに傾斜している円板と、この円
板の凹部内の周辺部にほぼ１２０度間隔で設けられた三
つの支柱と、前記円板の凹部内に収納されていて、それ
ぞれが、内向きに湾曲しており、一端部が前記支柱によ
って回動自在に支持されており、かつ内外の側壁が断面
逆ハ字状に傾斜している３本の互いに独立して回動可能
なアームと、前記円板の凹部の底部であって、前記各ア
ームと凹部の内壁との間に、しかも各アームに対して複
数個ずつ設けられた小穴と、前記円板の凹部の内壁と各
アームとの間にそれぞれ設けられていて、Ｖ字状をして
いてその一端部に下に折れ曲がった差し込み部を有し、
その差し込み部を各アームに対する前記複数の小穴の内
の一つにそれぞれ着脱自在に差し込んでいる線ばねとを
備えることを特徴とする。
【０００７】
【作用】上記構成によれば、３本の互いに独立して回動
可能な各アームは、それに対応する線ばねによって、円
板の中心方向に向けて弾性的に付勢されており、この３
本のアームの間に基板を収納すると、当該基板は、３本
のアームによって３方向から掴まれて保持される。その
場合、３本の内向きに湾曲したアームを用いているの
で、任意の形状の基板、即ち不定形の基板を掴んで保持
することができる。
可能な各アームは、それに対応する線ばねによって、円
板の中心方向に向けて弾性的に付勢されており、この３
本のアームの間に基板を収納すると、当該基板は、３本
のアームによって３方向から掴まれて保持される。その
場合、３本の内向きに湾曲したアームを用いているの
で、任意の形状の基板、即ち不定形の基板を掴んで保持
することができる。
【０００８】
【実施例】図１は、この考案の一実施例に係る基板収納
円板を示す平面図である。図２は、図１の線Ａ−Ｏに概
ね沿う拡大断面図であり、便宜上、アームが基板に当接
する辺りまで断面で示している。図３は、図１の線Ｏ−
Ｂに概ね沿う拡大断面図である。
円板を示す平面図である。図２は、図１の線Ａ−Ｏに概
ね沿う拡大断面図であり、便宜上、アームが基板に当接
する辺りまで断面で示している。図３は、図１の線Ｏ−
Ｂに概ね沿う拡大断面図である。
【０００９】この実施例の基板収納円板２２は、平面形
状が円形をした凹部２６を有する円板２４を備えてい
る。この凹部２６の内壁２６ａは、後述する線ばね３０
の浮き上がり防止のために、図２および図３に示すよう
に、下広がりに（換言すれば断面ハ字状に）傾斜してい
る。
状が円形をした凹部２６を有する円板２４を備えてい
る。この凹部２６の内壁２６ａは、後述する線ばね３０
の浮き上がり防止のために、図２および図３に示すよう
に、下広がりに（換言すれば断面ハ字状に）傾斜してい
る。
【００１０】この円板２４の凹部２６内の周辺部には、
ほぼ１２０度間隔で三つの支柱２９が設けられている。
ほぼ１２０度間隔で三つの支柱２９が設けられている。
【００１１】円板２４の凹部２６内には、一端部が前記
各支柱２９によってそれぞれ回動自在に支持された３本
のアーム２８が収納されている。各アーム２８は、内向
きに湾曲している。また、各アーム２８の内外の側壁２
８ａおよび２８ｂは、後述する線ばね３０および基板３
２の浮き上がり防止のために、図２および図３に示すよ
うに、断面逆ハ字状に傾斜している。なお、各支柱２９
の上部は、各アーム２８が上に抜けないように、例えば
カシメられている。
各支柱２９によってそれぞれ回動自在に支持された３本
のアーム２８が収納されている。各アーム２８は、内向
きに湾曲している。また、各アーム２８の内外の側壁２
８ａおよび２８ｂは、後述する線ばね３０および基板３
２の浮き上がり防止のために、図２および図３に示すよ
うに、断面逆ハ字状に傾斜している。なお、各支柱２９
の上部は、各アーム２８が上に抜けないように、例えば
カシメられている。
【００１２】円板２４の凹部２６の底部であって、各ア
ーム２８と凹部２６の内壁２６ａとの間には、小穴３４
が、各アーム２８に対し複数個ずつ設けられている。こ
の各アーム２８に対する小穴３４の数は、この実施例で
は２個であるが、それに限られるものではなく２個以上
で任意である。
ーム２８と凹部２６の内壁２６ａとの間には、小穴３４
が、各アーム２８に対し複数個ずつ設けられている。こ
の各アーム２８に対する小穴３４の数は、この実施例で
は２個であるが、それに限られるものではなく２個以上
で任意である。
【００１３】円板２４の凹部２６の内壁２６ａと各アー
ム２８との間には、線ばね３０がそれぞれ設けられてい
る。各線ばね３０は、図４にも示すように、Ｖ字状をし
ていてその一端部に下に折れ曲がった差し込み部３０ａ
を有している。この差し込み部３０ａを、図３にも示す
ように、各アーム２８に対する複数の小穴３４の内の一
つにそれぞれ着脱自在に差し込んでいる。
ム２８との間には、線ばね３０がそれぞれ設けられてい
る。各線ばね３０は、図４にも示すように、Ｖ字状をし
ていてその一端部に下に折れ曲がった差し込み部３０ａ
を有している。この差し込み部３０ａを、図３にも示す
ように、各アーム２８に対する複数の小穴３４の内の一
つにそれぞれ着脱自在に差し込んでいる。
【００１４】上記構成によって、各アーム２８は、支柱
２９を中心にして矢印Ｃのように互いに独立して回動可
能であり、かつ対応する線ばね３０によって、円板２４
の中心方向に向けて弾性的に付勢されている。
２９を中心にして矢印Ｃのように互いに独立して回動可
能であり、かつ対応する線ばね３０によって、円板２４
の中心方向に向けて弾性的に付勢されている。
【００１５】この３本のアーム２８の間に基板３２を収
納すると、当該基板３２は、３本のアーム２８によって
３方向から掴まれて保持される。その場合、３本の内向
きに湾曲したアーム２８を用いているので、基板３２の
形状が図１に示すような異形であっても、それを確実に
掴んで保持することができる。
納すると、当該基板３２は、３本のアーム２８によって
３方向から掴まれて保持される。その場合、３本の内向
きに湾曲したアーム２８を用いているので、基板３２の
形状が図１に示すような異形であっても、それを確実に
掴んで保持することができる。
【００１６】このような異形の基板３２を保持すること
ができるのであるから、当然、それ以外の例えば円形、
半円、１／４円、矩形等の任意の形状の基板、即ち不定
形の基板を保持することができる。従ってこの基板収納
円板２２は、不定形の基板に対応することができる。勿
論、大きさの異なる基板にも対応することができる。
ができるのであるから、当然、それ以外の例えば円形、
半円、１／４円、矩形等の任意の形状の基板、即ち不定
形の基板を保持することができる。従ってこの基板収納
円板２２は、不定形の基板に対応することができる。勿
論、大きさの異なる基板にも対応することができる。
【００１７】その場合、線ばね３０を差し込む位置が各
アーム２８の支柱２９に近づくほど線ばね３０からアー
ム２８に与えられる力が強くなるので、外形の小さい基
板を収納保持する場合は、線ばね３０を支柱２９に近い
方の小穴３４に差し込むのが好ましい。
アーム２８の支柱２９に近づくほど線ばね３０からアー
ム２８に与えられる力が強くなるので、外形の小さい基
板を収納保持する場合は、線ばね３０を支柱２９に近い
方の小穴３４に差し込むのが好ましい。
【００１８】また、長さやばね定数の異なる線ばね３０
を何種類か用意しておいて、基板の形状や大きさに応じ
て、用いる線ばね３０を変えたり、またはそれと差し込
む小穴３４を変えることとを組み合わせたりしても良
く、そのようにすれば、対応可能な基板の形状および大
きさの範囲が一層拡大する。
を何種類か用意しておいて、基板の形状や大きさに応じ
て、用いる線ばね３０を変えたり、またはそれと差し込
む小穴３４を変えることとを組み合わせたりしても良
く、そのようにすれば、対応可能な基板の形状および大
きさの範囲が一層拡大する。
【００１９】
【考案の効果】以上のようにこの考案によれば、３本の
内向きに湾曲していて互いに独立して回動可能なアーム
を用いていて、各アームは線ばねによって内向きに弾性
的に付勢されているので、基板がどのような形状であっ
ても、これらのアームによって基板を確実に掴んで保持
することができる。即ち、不定形の基板に対応すること
ができる。また、大きさの異なる基板にも対応すること
ができる。
内向きに湾曲していて互いに独立して回動可能なアーム
を用いていて、各アームは線ばねによって内向きに弾性
的に付勢されているので、基板がどのような形状であっ
ても、これらのアームによって基板を確実に掴んで保持
することができる。即ち、不定形の基板に対応すること
ができる。また、大きさの異なる基板にも対応すること
ができる。
【００２０】その結果、一つの基板収納円板で多くの基
板に対応することができるので、従来のように基板の形
状に合わせた基板収納円板を幾つも作る場合に比べて、
コストおよび管理の手間等を低減することができる。し
かも、円板の凹部の内壁は下広がりに傾斜しているの
で、線ばねの浮き上がりを防止することができる。従っ
て、基板を確実に保持することができる。 また、各アー
ムの内外の側壁が断面逆ハ字状に傾斜しているので、基
板および線ばねの浮き上がりを防止することができる。
従って、この理由からも基板を確実に保持することがで
きる。 更に、線ばねを差し込む小穴を各アームに対して
複数個ずつ設けているので、基板の形状や大きさに応じ
て、線ばねを差し込む小穴を変えることができる。従っ
て、対応可能な基板の形状および大きさの範囲が拡大す
る。
板に対応することができるので、従来のように基板の形
状に合わせた基板収納円板を幾つも作る場合に比べて、
コストおよび管理の手間等を低減することができる。し
かも、円板の凹部の内壁は下広がりに傾斜しているの
で、線ばねの浮き上がりを防止することができる。従っ
て、基板を確実に保持することができる。 また、各アー
ムの内外の側壁が断面逆ハ字状に傾斜しているので、基
板および線ばねの浮き上がりを防止することができる。
従って、この理由からも基板を確実に保持することがで
きる。 更に、線ばねを差し込む小穴を各アームに対して
複数個ずつ設けているので、基板の形状や大きさに応じ
て、線ばねを差し込む小穴を変えることができる。従っ
て、対応可能な基板の形状および大きさの範囲が拡大す
る。
【図１】この考案の一実施例に係る基板収納円板を示す
平面図である。
平面図である。
【図２】図１の線Ａ−Ｏに概ね沿う拡大断面図であり、
便宜上、アームが基板に当接する辺りまで断面で示して
いる。
便宜上、アームが基板に当接する辺りまで断面で示して
いる。
【図３】図１の線Ｏ−Ｂに概ね沿う拡大断面図である。
【図４】図１中の線ばねの拡大斜視図である。
【図５】従来の基板収納円板の一例を示す平面図であ
る。
る。
２２ 基板収納円板 ２４ 円板 ２６ 凹部 ２８ アーム ２９ 支柱 ３０ 線ばね ３２ 基板 ３４ 小穴
Claims (1)
- 【請求項１】 平面円形の凹部を有し、その内壁が下広
がりに傾斜している円板と、この円板の凹部内の周辺部
にほぼ１２０度間隔で設けられた三つの支柱と、前記円
板の凹部内に収納されていて、それぞれが、内向きに湾
曲しており、一端部が前記支柱によって回動自在に支持
されており、かつ内外の側壁が断面逆ハ字状に傾斜して
いる３本の互いに独立して回動可能なアームと、前記円
板の凹部の底部であって、前記各アームと凹部の内壁と
の間に、しかも各アームに対して複数個ずつ設けられた
小穴と、前記円板の凹部の内壁と各アームとの間にそれ
ぞれ設けられていて、Ｖ字状をしていてその一端部に下
に折れ曲がった差し込み部を有し、その差し込み部を各
アームに対する前記複数の小穴の内の一つにそれぞれ着
脱自在に差し込んでいる線ばねとを備えることを特徴と
する基板収納円板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5879393U JP2602409Y2 (ja) | 1993-10-04 | 1993-10-04 | 基板収納円板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5879393U JP2602409Y2 (ja) | 1993-10-04 | 1993-10-04 | 基板収納円板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727155U JPH0727155U (ja) | 1995-05-19 |
| JP2602409Y2 true JP2602409Y2 (ja) | 2000-01-17 |
Family
ID=33156495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5879393U Expired - Lifetime JP2602409Y2 (ja) | 1993-10-04 | 1993-10-04 | 基板収納円板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2602409Y2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2783055B1 (fr) * | 1998-09-04 | 2000-11-24 | Essilor Int | Support pour lentille optique, et son procede de mise en oeuvre |
| JP2008128925A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Rigaku Industrial Co | 下面照射蛍光ｘ線分析用の異形試料保持具およびそれを備えた下面照射型蛍光ｘ線分析装置 |
| EP2460907A4 (en) * | 2009-07-30 | 2014-03-26 | Hoya Corp | STEAM DEPOSITING DEVICE FOR OPTICAL LENSES |
| JP5818711B2 (ja) * | 2012-02-14 | 2015-11-18 | 三菱電機株式会社 | ウェハ保持構造およびそれを備えた蒸着装置 |
| EP4112769A1 (en) | 2021-06-30 | 2023-01-04 | Satisloh AG | Holder for holding a substrate, in particular a spectacle lens, during vacuum coating thereof in a box coating apparatus and device for loading/unloading the substrate into/from such holder |
-
1993
- 1993-10-04 JP JP5879393U patent/JP2602409Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0727155U (ja) | 1995-05-19 |
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