JP3221948B2 - ハードディスク用基板の搬送用保持具 - Google Patents
ハードディスク用基板の搬送用保持具Info
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- JP3221948B2 JP3221948B2 JP34112292A JP34112292A JP3221948B2 JP 3221948 B2 JP3221948 B2 JP 3221948B2 JP 34112292 A JP34112292 A JP 34112292A JP 34112292 A JP34112292 A JP 34112292A JP 3221948 B2 JP3221948 B2 JP 3221948B2
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータのハード
ディスク用基板の製造工程等において、外周部が面取り
加工された基板を搬送するのに使用される搬送用保持具
に関するものである。
ディスク用基板の製造工程等において、外周部が面取り
加工された基板を搬送するのに使用される搬送用保持具
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータのハードディスク用基板の
製造工程においては、自動化が進み、該基板をコンベア
等の搬送手段で洗浄工程や乾燥工程等の次工程に自動的
に搬送するようにしており、その際、該搬送手段に取り
付けた保持具に外周部が面取り加工された基板を保持さ
せるようにしている。
製造工程においては、自動化が進み、該基板をコンベア
等の搬送手段で洗浄工程や乾燥工程等の次工程に自動的
に搬送するようにしており、その際、該搬送手段に取り
付けた保持具に外周部が面取り加工された基板を保持さ
せるようにしている。
【０００３】図６は従来の保持具を示すもので、この保
持具１は、コンベア２に取り付けるための台座３に形成
された３本のアーム３ａの上端に、Ｖ字溝５を先端に備
えた板状の保持片４（図７参照）をそれぞれ取り付け、
各保持片４の先端のＶ字溝５内に基板６の面取り加工さ
れた外周部を嵌合させることにより、該基板６を３点に
おいて縦向きに保持するものとして構成されている。
持具１は、コンベア２に取り付けるための台座３に形成
された３本のアーム３ａの上端に、Ｖ字溝５を先端に備
えた板状の保持片４（図７参照）をそれぞれ取り付け、
各保持片４の先端のＶ字溝５内に基板６の面取り加工さ
れた外周部を嵌合させることにより、該基板６を３点に
おいて縦向きに保持するものとして構成されている。
【０００４】しかしながら、上記従来の保持具１は、保
持片４に形成されたＶ字溝５の傾斜する両溝壁のなす角
θが、基板６の面取部７における両傾斜面のなす角β
（図３参照）と等しいため、図８に示すように、該基板
６の面取部７がＶ字溝５の溝壁と強く面接触し、該基板
６に擦過傷や圧痕等の接触傷が付き易いという欠点があ
った。
持片４に形成されたＶ字溝５の傾斜する両溝壁のなす角
θが、基板６の面取部７における両傾斜面のなす角β
（図３参照）と等しいため、図８に示すように、該基板
６の面取部７がＶ字溝５の溝壁と強く面接触し、該基板
６に擦過傷や圧痕等の接触傷が付き易いという欠点があ
った。
【０００５】特に最近では、基板の製造工程の全自動化
により、残留ひずみを除去する燒鈍のための熱処理工程
をも製造ライン中に取り入れる傾向があり、この熱処理
によって、基板の材質上の特性は向上するものの、基板
の高温軟化や熱膨張等が生じて保持具との接触部に接触
傷が発生し易くなり、不良基板の増大による歩止まり低
下が大きな問題となっていた。
により、残留ひずみを除去する燒鈍のための熱処理工程
をも製造ライン中に取り入れる傾向があり、この熱処理
によって、基板の材質上の特性は向上するものの、基板
の高温軟化や熱膨張等が生じて保持具との接触部に接触
傷が発生し易くなり、不良基板の増大による歩止まり低
下が大きな問題となっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、基板
を擦過傷や圧痕等の接触傷を生じることなく保持するこ
とができる保持具を提供することにある。
を擦過傷や圧痕等の接触傷を生じることなく保持するこ
とができる保持具を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の保持具は、ハードディスク用基板を搬送す
るための搬送手段に取り付けられ、該基板を面取り加工
された外周部において縦向きに保持するためのものであ
って、上記搬送手段に取り付けるための台座に、基板の
外周部が嵌合するＶ字溝を外周面に備えた複数の円板形
の保持片を、それらのＶ字溝を同一鉛直面内に位置させ
た状態で回転自在且つ基板の外周部を複数点において保
持可能に取り付けてなり、該保持片のＶ字溝における傾
斜する両溝壁のなす角を、基板の面取部における両傾斜
面のなす角よりも、基板を点接触により安定的に保持し
得る範囲内で大きくしたことを特徴とするものである。
め、本発明の保持具は、ハードディスク用基板を搬送す
るための搬送手段に取り付けられ、該基板を面取り加工
された外周部において縦向きに保持するためのものであ
って、上記搬送手段に取り付けるための台座に、基板の
外周部が嵌合するＶ字溝を外周面に備えた複数の円板形
の保持片を、それらのＶ字溝を同一鉛直面内に位置させ
た状態で回転自在且つ基板の外周部を複数点において保
持可能に取り付けてなり、該保持片のＶ字溝における傾
斜する両溝壁のなす角を、基板の面取部における両傾斜
面のなす角よりも、基板を点接触により安定的に保持し
得る範囲内で大きくしたことを特徴とするものである。
【０００８】上記保持片のＶ字溝には、四弗化エチレン
やシリコン等の保持する基板より軟質の合成樹脂をコー
ティングすることにより、耐熱性の緩衝被膜を形成する
ことができる。
やシリコン等の保持する基板より軟質の合成樹脂をコー
ティングすることにより、耐熱性の緩衝被膜を形成する
ことができる。
【０００９】
【作用】上記保持具は、ハードディスク用基板を、面取
り加工された外周部が保持片のＶ字溝内に嵌合した状態
で縦向きに保持し、次工程に搬送する。このとき、Ｖ字
溝における傾斜する両溝壁のなす角が、基板の面取部に
おける両傾斜面のなす角よりも大きいため、該基板が面
取部においてＶ字溝の溝壁と面又は線で接触することな
く、外周の角部において溝壁と点接触した状態で保持さ
れることになる。このため、基板の面取部に保持に伴う
擦過傷や圧痕等の接触傷が付きにくい。また、保持片が
回転自在であるため、熱処理工程において基板の高温軟
化や熱膨張等により保持片との間にずれが生じても、保
持片の回転によりそのずれが吸収され、基板に擦過傷が
つきにくい。
り加工された外周部が保持片のＶ字溝内に嵌合した状態
で縦向きに保持し、次工程に搬送する。このとき、Ｖ字
溝における傾斜する両溝壁のなす角が、基板の面取部に
おける両傾斜面のなす角よりも大きいため、該基板が面
取部においてＶ字溝の溝壁と面又は線で接触することな
く、外周の角部において溝壁と点接触した状態で保持さ
れることになる。このため、基板の面取部に保持に伴う
擦過傷や圧痕等の接触傷が付きにくい。また、保持片が
回転自在であるため、熱処理工程において基板の高温軟
化や熱膨張等により保持片との間にずれが生じても、保
持片の回転によりそのずれが吸収され、基板に擦過傷が
つきにくい。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照しなが
ら詳細に説明するに、図１において、１０はコンベア等
の搬送手段、１１は該搬送手段１０に取り付けられた保
持具、１２は該保持具１１に縦向きに保持されたハード
ディスク用基板を示している。
ら詳細に説明するに、図１において、１０はコンベア等
の搬送手段、１１は該搬送手段１０に取り付けられた保
持具、１２は該保持具１１に縦向きに保持されたハード
ディスク用基板を示している。
【００１１】上記保持具１１は、搬送手段１０に取り付
けるための台座１５に、３本の取付アーム１５ａを中央
に位置するものが低尺であるように形成し、各取付アー
ム１５ａの先端に基板１２を保持する保持片１６をそれ
ぞれ取り付けてなるもので、該保持片１６は、図２に示
すように、基板１２の面取り加工された外周部が嵌合す
るＶ字溝１７を外周面に備えた円板形とし、各保持片１
６を、それらのＶ字溝１７が同一鉛直面内に位置するよ
うに上記各取付アーム１５ａに回転自在に取り付けるこ
とにより、基板１２の外周部を複数点において点接触に
より保持するものとして構成されている。上記Ｖ字溝１
７は、基板１２の外周面が接触しない範囲内で溝底を平
坦にしたり丸みを帯びた形状にすることもできる。
けるための台座１５に、３本の取付アーム１５ａを中央
に位置するものが低尺であるように形成し、各取付アー
ム１５ａの先端に基板１２を保持する保持片１６をそれ
ぞれ取り付けてなるもので、該保持片１６は、図２に示
すように、基板１２の面取り加工された外周部が嵌合す
るＶ字溝１７を外周面に備えた円板形とし、各保持片１
６を、それらのＶ字溝１７が同一鉛直面内に位置するよ
うに上記各取付アーム１５ａに回転自在に取り付けるこ
とにより、基板１２の外周部を複数点において点接触に
より保持するものとして構成されている。上記Ｖ字溝１
７は、基板１２の外周面が接触しない範囲内で溝底を平
坦にしたり丸みを帯びた形状にすることもできる。
【００１２】ここで、上記保持具１１で基板１２を保持
した際に該基板１２の面取部１２ａがＶ字溝１７の溝壁
に面又は線で接触するのを防止するため、保持片１６の
Ｖ字溝１７における傾斜する両溝壁のなす角（溝角）α
を、基板１２の面取部１２ａにおける両傾斜面のなす角
（面取角：図３参照）βよりも若干大きく形成しておく
ことが重要である。それらの角度差は、Ｖ字溝１７の溝
壁に基板１２の外周部が点接触した状態で安定的に保持
され得る範囲内であれば何度でも良いが、好ましくは１
〜３５度の範囲であり、より好ましくは２〜３０度の範
囲である。これにより、保持片１６が小径円板形をなし
ていることと相俟って、上記基板１２が面取部１２ａに
おいてＶ字溝１７の溝壁と面又は線で接触することな
く、図４に示すように、外周の角部においてＶ字溝１７
の溝壁と点接触した状態で保持されることになる。この
ため、基板１２の面取部１２ａは勿論のこと、平面部１
２ｂや周側面１２ｃ等にも保持に伴う擦過傷や圧痕等の
接触傷が生じない。
した際に該基板１２の面取部１２ａがＶ字溝１７の溝壁
に面又は線で接触するのを防止するため、保持片１６の
Ｖ字溝１７における傾斜する両溝壁のなす角（溝角）α
を、基板１２の面取部１２ａにおける両傾斜面のなす角
（面取角：図３参照）βよりも若干大きく形成しておく
ことが重要である。それらの角度差は、Ｖ字溝１７の溝
壁に基板１２の外周部が点接触した状態で安定的に保持
され得る範囲内であれば何度でも良いが、好ましくは１
〜３５度の範囲であり、より好ましくは２〜３０度の範
囲である。これにより、保持片１６が小径円板形をなし
ていることと相俟って、上記基板１２が面取部１２ａに
おいてＶ字溝１７の溝壁と面又は線で接触することな
く、図４に示すように、外周の角部においてＶ字溝１７
の溝壁と点接触した状態で保持されることになる。この
ため、基板１２の面取部１２ａは勿論のこと、平面部１
２ｂや周側面１２ｃ等にも保持に伴う擦過傷や圧痕等の
接触傷が生じない。
【００１３】上記保持片１６におけるＶ字溝１７の溝面
には、四弗化エチレンやシリコン等の基板より軟質の合
成樹脂をコーティングすることにより、該基板１２を緩
衝的に接触させるための耐熱性の緩衝被膜を形成するこ
とが望ましく、これにより、熱処理工程に一層適した保
持具とすることができる。このときの上記緩衝被膜の厚
さは、基板１２の保持に障害とならない適当な厚さとす
ることができるが、２０μｍより小さいと被膜としての
緩衝効果がやや小さくなり、また７０μｍを越えると、
緩衝効果は十分であるものの、保持片１６から剥離し易
くなったり、被膜にクラックを生じ易くなる。従って２
０〜７０μｍの範囲が最も好ましいといえる。
には、四弗化エチレンやシリコン等の基板より軟質の合
成樹脂をコーティングすることにより、該基板１２を緩
衝的に接触させるための耐熱性の緩衝被膜を形成するこ
とが望ましく、これにより、熱処理工程に一層適した保
持具とすることができる。このときの上記緩衝被膜の厚
さは、基板１２の保持に障害とならない適当な厚さとす
ることができるが、２０μｍより小さいと被膜としての
緩衝効果がやや小さくなり、また７０μｍを越えると、
緩衝効果は十分であるものの、保持片１６から剥離し易
くなったり、被膜にクラックを生じ易くなる。従って２
０〜７０μｍの範囲が最も好ましいといえる。
【００１４】かくしてＶ字溝１７に耐熱性の緩衝被膜を
形成することにより、熱処理工程において基板１２の高
温軟化や熱膨張等が生じた場合に、該基板１２を緩衝的
に保持することができるため、擦過傷や圧痕等の接触傷
の発生をより確実に防止することが可能になる。
形成することにより、熱処理工程において基板１２の高
温軟化や熱膨張等が生じた場合に、該基板１２を緩衝的
に保持することができるため、擦過傷や圧痕等の接触傷
の発生をより確実に防止することが可能になる。
【００１５】上記構成を有する保持具１１は、ハードデ
ィスク用基板１２を、その面取り加工された外周部が保
持片１６のＶ字溝１７内に嵌合した状態で縦向きに保持
し、次工程に搬送する。
ィスク用基板１２を、その面取り加工された外周部が保
持片１６のＶ字溝１７内に嵌合した状態で縦向きに保持
し、次工程に搬送する。
【００１６】このとき、Ｖ字溝１７における傾斜する両
溝壁のなす溝角αが、基板１２の面取部１２ａにおける
両傾斜面のなす面取角βよりも大きく、しかも保持片１
６が小径円板形をなしているため、該基板１２が面取部
１２ａにおいてＶ字溝１７の溝壁と面又は線で広く接触
することなく、図４に示すごとく、外周の角部において
Ｖ字溝１７の溝壁と点接触した状態で保持されることに
なり、このため、基板１２の面取部１２ａに保持に伴う
接触傷が生じない。
溝壁のなす溝角αが、基板１２の面取部１２ａにおける
両傾斜面のなす面取角βよりも大きく、しかも保持片１
６が小径円板形をなしているため、該基板１２が面取部
１２ａにおいてＶ字溝１７の溝壁と面又は線で広く接触
することなく、図４に示すごとく、外周の角部において
Ｖ字溝１７の溝壁と点接触した状態で保持されることに
なり、このため、基板１２の面取部１２ａに保持に伴う
接触傷が生じない。
【００１７】また、熱処理工程において基板１２の高温
軟化や熱膨張等により保持片１６との間にずれが生じた
場合には、保持片１６が回転自在であるため、該保持片
１６の回転によりそのずれが吸収され、基板１２に保持
片１６と擦りあうことによる擦過傷がつきにくい。
軟化や熱膨張等により保持片１６との間にずれが生じた
場合には、保持片１６が回転自在であるため、該保持片
１６の回転によりそのずれが吸収され、基板１２に保持
片１６と擦りあうことによる擦過傷がつきにくい。
【００１８】次に、実験例について説明する。
【実験例１】図１に示すような円板形の保持片を備えた
保持具と、図６に示すような平板形の保持片を備えた従
来の保持具とについて、それぞれ保持片におけるＶ字溝
の溝角を９０°，９２°，９５°，１００°，１１０
°，１２０°としたものを用意し、それらに面取角が４
５°の基板を保持させ、それぞれ室温中で同一条件の衝
撃力を２０回加えた場合と、基板の落下を１０回繰り返
した場合とについて、基板が保持具の保持片と接触した
と思われる近傍を実体顕微鏡で観察し、Ａ〜Ｄランクの
評価した。その結果を表１に示す。なお、基板には接触
傷があってはならないとの判断から、Ａランクのみを合
格とする。但し、 Ａランク：接触傷なし Ｂランク：面取部１２ａの外周端寄りの一部に接触傷あ
り｛図５（Ａ）｝ Ｃランク：面取部１２ａの全体に接触傷あり｛図５
（Ｂ）｝ Ｄランク：面取部１２ａから平面部１２ｂ及び周側面１
２ｃにかけて接触傷あり｛図５（Ｃ）｝
保持具と、図６に示すような平板形の保持片を備えた従
来の保持具とについて、それぞれ保持片におけるＶ字溝
の溝角を９０°，９２°，９５°，１００°，１１０
°，１２０°としたものを用意し、それらに面取角が４
５°の基板を保持させ、それぞれ室温中で同一条件の衝
撃力を２０回加えた場合と、基板の落下を１０回繰り返
した場合とについて、基板が保持具の保持片と接触した
と思われる近傍を実体顕微鏡で観察し、Ａ〜Ｄランクの
評価した。その結果を表１に示す。なお、基板には接触
傷があってはならないとの判断から、Ａランクのみを合
格とする。但し、 Ａランク：接触傷なし Ｂランク：面取部１２ａの外周端寄りの一部に接触傷あ
り｛図５（Ａ）｝ Ｃランク：面取部１２ａの全体に接触傷あり｛図５
（Ｂ）｝ Ｄランク：面取部１２ａから平面部１２ｂ及び周側面１
２ｃにかけて接触傷あり｛図５（Ｃ）｝
【００１９】
【００２０】この結果から分るように、ランクＡとして
合格基準に達したものは、本発明に含まれる円板形保持
片の溝角が９２°から１２０°までのものだけであり、
溝角が９０°では、基板面取り部がＶ字溝に全面接触し
て接触傷が発生している。また、平面状保持片の場合
は、Ｖ字溝の角度に拘らず全て接触傷が発生して不合格
であった。
合格基準に達したものは、本発明に含まれる円板形保持
片の溝角が９２°から１２０°までのものだけであり、
溝角が９０°では、基板面取り部がＶ字溝に全面接触し
て接触傷が発生している。また、平面状保持片の場合
は、Ｖ字溝の角度に拘らず全て接触傷が発生して不合格
であった。
【００２１】
【実験例２】上記実験例１においてＡランクの評価のも
の、即ち、溝角が９２°，９５°，１００°，１１０
°，１２０°のものについて、保持片１６に四弗化エチ
レンを２０，４０，６０μｍの厚さにコーティングして
緩衝被膜を形成し、３００℃の高温中で衝撃試験を行っ
た。その結果を表２に示す。
の、即ち、溝角が９２°，９５°，１００°，１１０
°，１２０°のものについて、保持片１６に四弗化エチ
レンを２０，４０，６０μｍの厚さにコーティングして
緩衝被膜を形成し、３００℃の高温中で衝撃試験を行っ
た。その結果を表２に示す。
【００２２】この結果から、いずれの場合も基板に擦過
傷や圧痕等が認められず、高温中での保持能力に優れて
いることが分る。
傷や圧痕等が認められず、高温中での保持能力に優れて
いることが分る。
【００２３】
【発明の効果】このように本発明の保持具によれば、基
板を保持する保持片を円板形として台座に回転自在に取
り付けると共に、該保持片に形成したＶ字溝の溝角を基
板の面取部における両傾斜面のなす角よりも大きく形成
したので、該基板を擦過傷や圧痕等の接触傷を生じるこ
となく確実に保持することができ、この結果、基板不良
の発生率を著しく低下させることが可能となって経済的
効果が向上するばかりでなく、接触傷を検査する工程の
簡略化や投入人員の削減等を図ることができる等の顕著
な利点がある。
板を保持する保持片を円板形として台座に回転自在に取
り付けると共に、該保持片に形成したＶ字溝の溝角を基
板の面取部における両傾斜面のなす角よりも大きく形成
したので、該基板を擦過傷や圧痕等の接触傷を生じるこ
となく確実に保持することができ、この結果、基板不良
の発生率を著しく低下させることが可能となって経済的
効果が向上するばかりでなく、接触傷を検査する工程の
簡略化や投入人員の削減等を図ることができる等の顕著
な利点がある。
【図１】本発明に係る保持具の一実施例を示す正面図で
ある。
ある。
【図２】図１の保持具における保持片の側面図である。
【図３】基板の中間部を省略して示す側面図である。
【図４】図１の保持具における保持片で基板を保持した
状態の要部断面図である。
状態の要部断面図である。
【図５】基板の接触傷がつき易い位置を示す要部断面図
である。
である。
【図６】従来の保持具の正面図である。
【図７】図６の保持具における保持片の側面図である。
【図８】従来の保持具における保持片で基板を保持した
状態の要部断面図である。
状態の要部断面図である。
１０ 搬送手段 １１ 保持具 １２ 基板 １２ａ 面取
部 １５ 台座 １６ 保持片 １７ Ｖ字溝 α 溝角 β 面取角
部 １５ 台座 １６ 保持片 １７ Ｖ字溝 α 溝角 β 面取角
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−267611（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−157382（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−310367（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−106518（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−121572（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−141847（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−52815（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−151414（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/84 - 5/858 B65G 47/00 - 47/96
Claims (2)
- 【請求項１】 ハードディスク用基板を搬送するための
搬送手段に取り付けられ、該基板を面取り加工された外
周部において縦向きに保持する保持具であって、 上記搬送手段に取り付けるための台座に、基板の外周部
が嵌合するＶ字溝を外周面に備えた複数の円板形の保持
片を、それらのＶ字溝を同一鉛直面内に位置させた状態
で回転自在且つ基板の外周部を複数点において保持可能
に取り付けてなり、該保持片のＶ字溝における傾斜する
両溝壁のなす角を、基板の面取部における両傾斜面のな
す角よりも、基板を点接触により安定的に保持し得る範
囲内で大きくしたことを特徴とするハードディスク用基
板の搬送用保持具。 - 【請求項２】 保持片のＶ字溝に、四弗化エチレンやシ
リコン等の基板より軟質の合成樹脂をコーティングする
ことにより、耐熱性の緩衝被膜を形成してあることを特
徴とする請求項１に記載のハードディスク用基板の搬送
用保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34112292A JP3221948B2 (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | ハードディスク用基板の搬送用保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34112292A JP3221948B2 (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | ハードディスク用基板の搬送用保持具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06168445A JPH06168445A (ja) | 1994-06-14 |
| JP3221948B2 true JP3221948B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=18343463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34112292A Expired - Fee Related JP3221948B2 (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | ハードディスク用基板の搬送用保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3221948B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0836184B1 (en) * | 1996-10-10 | 2004-12-29 | Lg Electronics Inc. | A disc loading and unloading apparatus of an optical disc player |
| JP4767476B2 (ja) * | 2002-10-22 | 2011-09-07 | 昭和電工株式会社 | 磁気ディスク用アルミニウム基板の製造方法 |
| JP4767939B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2011-09-07 | 昭和電工株式会社 | 磁気ディスク用アルミニウム基板の製造方法 |
| JP5226443B2 (ja) * | 2008-09-22 | 2013-07-03 | 株式会社ウインズ | 半導体ウエーハ搬送用ハンド |
| CN102189542B (zh) * | 2010-03-19 | 2014-01-22 | 东京毅力科创株式会社 | 半导体晶圆输送用机械手 |
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1992
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