JPH08125003A - 挟込み式基板搬送アーム - Google Patents
挟込み式基板搬送アームInfo
- Publication number
- JPH08125003A JPH08125003A JP26546794A JP26546794A JPH08125003A JP H08125003 A JPH08125003 A JP H08125003A JP 26546794 A JP26546794 A JP 26546794A JP 26546794 A JP26546794 A JP 26546794A JP H08125003 A JPH08125003 A JP H08125003A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- transfer arm
- substrate transfer
- view
- electromagnet
- Prior art date
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板の側面のみに接触し、基板の表，裏面に
接触することがなく、基板の表，裏面に塵埃が付着する
量を少なくする。 【構成】 ベースフレーム１５の端部に、基板８の側面
を挟込むツメ１４の基部を軸１８で枢支し、一方のツメ
１４に電磁石１６を埋設し、他方のツメ１４に、電磁石
１６に対向して磁性板１９を取付けると共に両ツメ１４
の基端部間にスプリング１７を取着してなる。
接触することがなく、基板の表，裏面に塵埃が付着する
量を少なくする。 【構成】 ベースフレーム１５の端部に、基板８の側面
を挟込むツメ１４の基部を軸１８で枢支し、一方のツメ
１４に電磁石１６を埋設し、他方のツメ１４に、電磁石
１６に対向して磁性板１９を取付けると共に両ツメ１４
の基端部間にスプリング１７を取着してなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造装置、硝
子基板処理装置など、基板を成膜処理，熱処理する等の
基板処理装置において、基板を搬送する基板搬送ユニッ
トの基板搬送アームに関するものである。
子基板処理装置など、基板を成膜処理，熱処理する等の
基板処理装置において、基板を搬送する基板搬送ユニッ
トの基板搬送アームに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ従来の基
板処理装置の１例の構成を示す説明用正面図及び平面図
である。基板処理装置は、ウェーハキャリア７を格納す
るカセット室５、搬送ロボット１が置かれる搬送室３、
基板８を処理する反応室６からなる。カセット室５内の
ウェーハキャリア７は、キャリア載置台１０に置かれて
おり、載置台１０は、図示しない機構部により上下に動
く構造になっている。また、カセット室５にはウェーハ
キャリア７を出し入れするための扉１１を設けてある。
搬送室３内の搬送ロボット１には、基板８を載せる基板
搬送アーム２がついている。反応室６内には、ウェーハ
を置く電極１２があり、電極１２には、基板８を搬送ア
ーム２から受け取り、電極１２に置くためのペデスタル
９が内蔵されている。カセット室５と搬送室３の間及び
反応室６と搬送室３の間には仕切弁４，４が設けられて
おり、それぞれの部屋を区切っている。
板処理装置の１例の構成を示す説明用正面図及び平面図
である。基板処理装置は、ウェーハキャリア７を格納す
るカセット室５、搬送ロボット１が置かれる搬送室３、
基板８を処理する反応室６からなる。カセット室５内の
ウェーハキャリア７は、キャリア載置台１０に置かれて
おり、載置台１０は、図示しない機構部により上下に動
く構造になっている。また、カセット室５にはウェーハ
キャリア７を出し入れするための扉１１を設けてある。
搬送室３内の搬送ロボット１には、基板８を載せる基板
搬送アーム２がついている。反応室６内には、ウェーハ
を置く電極１２があり、電極１２には、基板８を搬送ア
ーム２から受け取り、電極１２に置くためのペデスタル
９が内蔵されている。カセット室５と搬送室３の間及び
反応室６と搬送室３の間には仕切弁４，４が設けられて
おり、それぞれの部屋を区切っている。
【０００３】このような基板処理装置に使用される基板
搬送アーム２には、図４に示すようにベースフレーム１
５の端部に基板８を単に載せる双又部２０を有するすく
い上げ式のものと、図５に示すようにベースフレーム１
５内に真空吸着用孔１３を設け、ベースフレーム１５の
吸着部に真空吸着穴１３Ａを開口し、この吸着穴１３Ａ
に基板８を吸着する真空吸着式のものとがあり、基板搬
送が大気中で行われるか、真空中で行われるかにより使
用する基板搬送アームを選択している。
搬送アーム２には、図４に示すようにベースフレーム１
５の端部に基板８を単に載せる双又部２０を有するすく
い上げ式のものと、図５に示すようにベースフレーム１
５内に真空吸着用孔１３を設け、ベースフレーム１５の
吸着部に真空吸着穴１３Ａを開口し、この吸着穴１３Ａ
に基板８を吸着する真空吸着式のものとがあり、基板搬
送が大気中で行われるか、真空中で行われるかにより使
用する基板搬送アームを選択している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の基板搬送ア
ームにあっては、基板の裏面に接触し、この接触部分か
らの塵埃付着量が多いという課題がある。
ームにあっては、基板の裏面に接触し、この接触部分か
らの塵埃付着量が多いという課題がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の基板搬送アーム
は、上記の課題を解決するため、ベースフレーム１５の
端部に、基板８の側面を挟込むツメ１４の基部を枢支
し、磁力又は磁力とバネ力により開閉動作を行うことを
特徴とする。
は、上記の課題を解決するため、ベースフレーム１５の
端部に、基板８の側面を挟込むツメ１４の基部を枢支
し、磁力又は磁力とバネ力により開閉動作を行うことを
特徴とする。
【０００６】
【作 用】本発明の基板搬送アームは、上記のような構
成であるから、ツメ１４を開き、次いで閉じて基板８の
側面を挟込み搬送することになる。従って、基板搬送ア
ームが基板８の裏面に接触することがなく、基板８の
表，裏面に塵埃が付着する量を少なくすることができ
る。
成であるから、ツメ１４を開き、次いで閉じて基板８の
側面を挟込み搬送することになる。従って、基板搬送ア
ームが基板８の裏面に接触することがなく、基板８の
表，裏面に塵埃が付着する量を少なくすることができ
る。
【０００７】
【実施例】図１（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本発明の基板
搬送アームの１実施例を示すウェーハ挟込み状態の平面
図及びウェーハ挟込み直前状態の平面図、図２（Ａ），
（Ｂ）はそれぞれ本実施例の側面図及びツメの拡大側面
図である。本実施例は、ベースフレーム１５の端部に、
基板（ウェーハ）８の側面を挟込むツメ１４の基部を軸
１８で枢支し、一方のツメ１４に電磁石１６を埋設し、
他方のツメ１４に、電磁石１６に対向して磁性板１９を
取付けると共に両ツメ１４の基端部間にスプリング１７
を取着してなる。
搬送アームの１実施例を示すウェーハ挟込み状態の平面
図及びウェーハ挟込み直前状態の平面図、図２（Ａ），
（Ｂ）はそれぞれ本実施例の側面図及びツメの拡大側面
図である。本実施例は、ベースフレーム１５の端部に、
基板（ウェーハ）８の側面を挟込むツメ１４の基部を軸
１８で枢支し、一方のツメ１４に電磁石１６を埋設し、
他方のツメ１４に、電磁石１６に対向して磁性板１９を
取付けると共に両ツメ１４の基端部間にスプリング１７
を取着してなる。
【０００８】上記構成の本実施例の作用を説明する。初
め、ツメ１４，１４は図１（Ｂ）に示すようにスプリン
グ１７により開いている。次にツメ１４に埋め込まれて
いる電磁石１６に図示しない電源より電流を流す。電磁
石１６に電流が流れると、磁力が発生し、対向する磁性
板１９を引き寄せる。電磁石１６と磁性板１９の間が、
スプリング１７のバネ力より強い力で引き合うと、スプ
リング１７は伸び、電磁石１６と磁性板１９は近づく。
電磁石１６と磁性板１９が近づくことによりツメ１４，
１４がウェーハ８の側面を挟み込む。また、ツメ１４，
１４はウェーハ８全体を挟むのではなく、外周部分の３
点以上（片方のツメ）のみ接するように挟む。
め、ツメ１４，１４は図１（Ｂ）に示すようにスプリン
グ１７により開いている。次にツメ１４に埋め込まれて
いる電磁石１６に図示しない電源より電流を流す。電磁
石１６に電流が流れると、磁力が発生し、対向する磁性
板１９を引き寄せる。電磁石１６と磁性板１９の間が、
スプリング１７のバネ力より強い力で引き合うと、スプ
リング１７は伸び、電磁石１６と磁性板１９は近づく。
電磁石１６と磁性板１９が近づくことによりツメ１４，
１４がウェーハ８の側面を挟み込む。また、ツメ１４，
１４はウェーハ８全体を挟むのではなく、外周部分の３
点以上（片方のツメ）のみ接するように挟む。
【０００９】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、基板搬送
アームが基板の側面のみに接触し、基板の表，裏面に接
触することがなく、基板の表，裏面に塵埃が付着する量
を少なくすることができる。
アームが基板の側面のみに接触し、基板の表，裏面に接
触することがなく、基板の表，裏面に塵埃が付着する量
を少なくすることができる。
【図１】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本発明の基板搬送ア
ームの１実施例を示すウェーハ挟込み状態の平面図及び
ウェーハ挟込み直前状態の平面図である。
ームの１実施例を示すウェーハ挟込み状態の平面図及び
ウェーハ挟込み直前状態の平面図である。
【図２】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本実施例の側面図及
びツメの拡大側面図である。
びツメの拡大側面図である。
【図３】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ従来の基板処理装置
の１例の構成を示す説明用正面図及び平面図である。
の１例の構成を示す説明用正面図及び平面図である。
【図４】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ従来の基板搬送アー
ムの第１例を示す平面図及び側面図である。
ムの第１例を示す平面図及び側面図である。
【図５】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ従来の第２例を示す
平面図及び側面図である。
平面図及び側面図である。
２ 基板搬送アーム ８ 基板 １４ ツメ １５ ベースフレーム １６ 電磁石 １７ スプリング １８ 軸 １９ 磁性板
Claims (1)
- 【請求項１】 ベースフレームの端部に、基板の側面を
挟込むツメの基部を枢支し、磁力又は磁力とバネ力によ
り開閉動作を行うことを特徴とする挟込み式基板搬送ア
ーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26546794A JPH08125003A (ja) | 1994-10-28 | 1994-10-28 | 挟込み式基板搬送アーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26546794A JPH08125003A (ja) | 1994-10-28 | 1994-10-28 | 挟込み式基板搬送アーム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08125003A true JPH08125003A (ja) | 1996-05-17 |
Family
ID=17417579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26546794A Pending JPH08125003A (ja) | 1994-10-28 | 1994-10-28 | 挟込み式基板搬送アーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08125003A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130084920A (ko) * | 2012-01-18 | 2013-07-26 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 |
| CN103753590A (zh) * | 2013-12-18 | 2014-04-30 | 大连佳峰电子有限公司 | 一种单电磁双运动电磁夹爪机构 |
| CN106945276A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-07-14 | 山东科锐特新材料科技有限公司 | 一种龙门式连续打印3d打印机 |
| CN107053655A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-08-18 | 山东科锐特新材料科技有限公司 | 一种连续打印3d打印机 |
-
1994
- 1994-10-28 JP JP26546794A patent/JPH08125003A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130084920A (ko) * | 2012-01-18 | 2013-07-26 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 |
| CN103753590A (zh) * | 2013-12-18 | 2014-04-30 | 大连佳峰电子有限公司 | 一种单电磁双运动电磁夹爪机构 |
| CN106945276A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-07-14 | 山东科锐特新材料科技有限公司 | 一种龙门式连续打印3d打印机 |
| CN107053655A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-08-18 | 山东科锐特新材料科技有限公司 | 一种连续打印3d打印机 |
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